KR101398792B1

KR101398792B1 - 레이저 스크라이브 장치

Info

Publication number: KR101398792B1
Application number: KR1020120065474A
Authority: KR
Inventors: 긴야 오오따
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2011-07-20
Filing date: 2012-06-19
Publication date: 2014-05-30
Also published as: KR20130011912A; TWI445587B; JP2013022612A; CN102886608A; JP5271394B2; TW201304893A; CN102886608B

Abstract

본 발명의 과제는, 가공 유닛이나 반송 기구의 배리에이션에 맞추어, 대응하기 쉬운 구조의 레이저 스크라이브 장치를 제공하는 것이다.
가공 유닛(A)과 레이저 유닛(B)으로 이루어지고, 가공 유닛(A)은 직육면체의 외관을 구성하도록 조성된 가공 유닛 프레임(1)에 의해 둘러싸이고, 레이저 유닛(B)은 가공 유닛 프레임(1)의 상면과 동일 형태로 되는 저면 형상을 갖는 직육면체의 외관을 구성하도록 조성된 레이저 유닛 프레임(22)에 의해 둘러싸이고, 가공 유닛(A)은, 가공 유닛 프레임(1)에 둘러싸인 내측 공간에서 지지되는 석정반(3), 이동 스테이지(13), 테이블(15)을 구비하고, 레이저 유닛(B)은, 레이저 유닛 프레임(22)에 지지되는 레이저 광원(16) 및 레이저 광 조사부(17)를 구비하고, 레이저 유닛 프레임(22)과 가공 유닛 프레임(1)은 착탈할 수 있도록 유닛화한다.

Description

레이저 스크라이브 장치 {LASER SCRIBE DEVICE}

본 발명은, 글래스 기판, 사파이어 기판, 반도체 기판 등의 취성 재료 기판에 레이저 빔을 조사하여 스크라이브 홈을 형성하기 위한 레이저 스크라이브 장치에 관한 것이다.

취성 재료 기판을 분단하는 과정에 있어서, 취성 재료 기판의 표면에 레이저 광을 스크라이브 예정 라인을 따라 조사시키면서 상대적으로 이동시킴으로써, 스크라이브 홈을 형성하는 방법은 일반적으로 알려져 있고, 예를 들어, 특허 문헌 1에서 개시되어 있다.

레이저 스크라이브 장치에서는, 서로 직교하는 X방향과 Y방향으로 이동 가능한 X―Y 스테이지 상의 테이블에 취성 재료 기판을 적재하고, 레이저 광을 조사하면서 테이블을 X방향 및 Y방향으로 이동시켜 취성 재료 기판에 스크라이브 홈을 형성하고 있다. 대형 기판을 처리하는 X―Y 스테이지를 지지하는 대반(臺盤)에는, 온도 변화가 적고 물리적, 기계적 강도가 우수한 석정반이 사용되고 있다. 석정반은 정밀 기계 가공의 분야에서 사용되고 있는 것과 동등한 것이며, 화강암(미카게석)에 의해 후판 형상으로 형성되고, 상하면의 수평도가 정밀하게 마무리되어 있다.

도 4는 석정반을 내장한 종래의 레이저 스크라이브 장치를 도시하는 개략적인 정면도이다.

금속제의 프레임재로 조성된 하부 프레임(31)의 상면에, 높이 조정 가능한 연결부(32)를 통해 석정반(33)을 베이스로 하는 금속제의 상부 프레임(34)이 고정되어 있다. 석정반(33)의 상면에는, X방향(도 4의 전후 방향)으로 연장 설치된 레일(35)을 따라 이동 가능하게 배치된 X 스테이지(36)와, 이 X 스테이지 상에서 Y방향(도 4의 좌우 방향)으로 연장 설치된 레일(37)을 따라 이동 가능하게 배치된 Y 스테이지(38)로 이루어지는 X―Y 스테이지(39)가 설치되어 있다. Y 스테이지(38) 상에는 연직축(종축)의 주위에서 회전하는 회전 기구(40)를 통해 테이블(41)이 설치되고, 테이블(41) 상에 가공해야 할 취성 재료 기판(W)이 적재된다.

상부 프레임(34)의 최상부에는, 레이저 광원(42)이나 위치 확인에 사용하는 관찰부(도시하지 않음)가 장착되어 있다. 레이저 광원(42)은 내부에 레이저 발진원과, 레이저 발진원으로부터의 광을 레이저 광 조사부(43)로 유도하는 반사 미러나 집광 렌즈 등의 광학 소자를 구비하고 있다. 취성 재료 기판(W)을 테이블(41) 상에 적재하고, 레이저 광 조사부(43)로부터 레이저 광을 취성 재료 기판(W)에 조사하면서, X―Y 스테이지(39)에 의해 테이블(41)을 X방향 및 Y방향으로 이동시킴으로써, 취성 재료 기판(W)에 대하여 X방향 및 Y방향의 스크라이브 홈을 가공할 수 있도록 구성되어 있다.

일본 특허 출원 공개 제2010-089143호 공보

상술한 레이저 스크라이브 장치에서는, 석정반(33)이 하부 프레임(31)의 상방에 배치되고, 석정반(33)의 상면에 상부 프레임(34)이 조립되어 있다. 하부 프레임(31)은, 석정반 적재면의 높이 L₁을 800 내지 850㎜ 정도로 하기 위해 설치되는 것이며, 이에 의해, 상면의 높이가 사람이 작업하기 쉬운 높이로 되도록 되어 있다. 상부 프레임(34)은, 테이블(41)에 적재한 취성 재료 기판(W)에 대하여, 상방으로부터 레이저 빔을 조사하기 위해, 레이저 광원(42)이나 레이저 광 조사부(43)를 상방에 장착하기 위해 조립되는 것이다.

상부 프레임(34)과 하부 프레임(31)은, 각각 다른 목적으로 사용되므로, 장치마다, 상부 프레임(34)과 하부 프레임(31)은 독립적으로 설계되고, 이들과 석정반(33)에 의해 장치의 골격을 형성하도록 하고 있었다.

따라서, 사용하는 석정반(33)에 대응하여, 이 위에 조립하는 상부 프레임(34)의 크기를 변경하거나, 석정반(33)을 지지하는 하부 프레임을 변경하거나 할 필요가 있어, 장치마다 상부 프레임(34)과 하부 프레임(31)을 각각 설계하고 있었다.

또한, 상부 프레임(34)의 크기, 형상이 다르면, 이에 맞추어, 레이저 광학계에 대해서도 장착 위치를 설계할 필요가 있었다.

또한, 가공 대상의 취성 재료 기판의 종류나 두께가 다르면, 가공에 적합한 레이저 광원의 종류나 출력의 크기, 레이저 광 조사부의 광학계를 변경할 필요가 있으므로, 이들 레이저 광학계의 사용 기종의 차이에 의해서도, 상부 프레임(34)으로의 장착 방법을 설계할 필요가 있었다.

또한, 테이블(41) 상에 취성 재료 기판(W)을 반송하거나, 가공 후의 취성 재료 기판(W)을 반출하거나 하는 공정을, 반송 로봇으로 자동화하는 경우나, 수동으로 행하는 경우가 있고, 시험 제작 단계에서는 수동으로 기판 반송을 행하고, 생산 단계에서는 자동화하는 경우에는, 반송 방식을 변경하게 된다. 그러한 경우에 반송 로봇에 대해서도 상부 프레임(34)이나 하부 프레임(31)이나 석정반(33)에 맞추어 설계하도록 하고 있었다.

이와 같이, 상부 프레임(34), 하부 프레임(31), 석정반(33), X―Y 스테이지(39)를 포함하는 레이저 스크라이브 장치의 본체 부분(가공 유닛이라 칭함)의 크기, 형상에 맞추어, 레이저 광학계, 자동화 시의 반송 기구를 선택하고, 개별적으로 장착 방법을 설계할 필요가 있어, 그때마다, 프레임에 대해 전용의 설계가 필요해지고 있었다.

따라서, 본 발명은, 레이저 스크라이브 장치의 본체 부분(가공 유닛), 레이저종, 반송 기구의 배리에이션에 맞추어, 대응하기 쉬운 구조의 장치 구성을 실현하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 본 발명의 레이저 스크라이브 장치는, 가공 유닛과 레이저 유닛으로 이루어지고, 상기 가공 유닛은 프레임재로 직육면체의 외관을 구성하도록 조성된 가공 유닛 프레임에 의해 둘러싸이고, 상기 레이저 유닛은 상기 가공 유닛 프레임의 상면과 동일 형태로 되는 저면 형상을 갖는 직육면체의 외관을 구성하도록 조성된 레이저 유닛 프레임에 의해 둘러싸이고, 상기 가공 유닛은, 상기 가공 유닛 프레임에 둘러싸인 내측 공간에서 지지되는 석정반과, 상기 석정반의 상면에 장착되는 이동 스테이지와, 상기 이동 스테이지에 의해 이동 가능하게 지지되고 기판이 적재되는 테이블을 구비하고, 상기 레이저 유닛은, 상기 레이저 유닛 프레임에 지지되는 레이저 광원 및 레이저 광 조사부를 구비하고, 상기 레이저 유닛 프레임과 상기 가공 유닛 프레임은 착탈할 수 있도록 유닛화되어 있다.

또한, 반송 유닛을 더 구비하고, 상기 반송 유닛은 프레임재로 직육면체의 외관을 구성하도록 조성된 반송 유닛 프레임에 의해 둘러싸이고, 상기 반송 유닛 프레임에 둘러싸인 내측 공간에는, 상기 테이블에 대하여, 기판을 반송하기 위한 반송 수단을 구비하고, 상기 반송 유닛 프레임과 상기 가공 유닛 프레임은 착탈할 수 있도록 유닛화해도 된다.

본 발명에서는, 가공 유닛에 대하여, 레이저 유닛(혹은 레이저 유닛과 반송 유닛)이 프레임을 통해 연결, 분리 가능하게 조립되어 있으므로, 가공되는 취성 재료 기판의 두께나 소재의 종류에 따라, 각각에 적합한 출력을 갖는 다른 레이저 광원을 구비한 레이저 유닛이나, 반송 방식이나 반송 방향이 다른 반송 기구를 구비한 다른 반송 유닛을 가공 유닛에 선택적으로 조합하여 조성할 수 있어, 다양한 배리에이션으로 효과적으로 사용하는 것이 가능해진다.

또한, 종래는 하부 프레임으로 석정반을 「높은 자세」로 지지하고, 하부 프레임과는 분리된 상부 프레임을 석정반 상에 조립하여 레이저 유닛을 지지하도록 하고 있었지만, 본 발명에서는 프레임재로 직육면체의 외관을 구성하도록 조성한 1개의 가공 유닛 프레임으로 석정반을 지지하도록 하고 있으므로, 석정반의 높이를 낮게 할 수 있다. 그 결과, 설치면으로부터 석정반까지의 높이를 낮게 할 수 있다.

일반적으로, 이동 스테이지(X―Y 스테이지)로 구동되는 테이블이 급정지할 때의 관성력에 의해 발생하는 수평 방향의 진동은, 이동 스테이지가 적재되는 석정반을 통해 프레임에 전달되지만, 석정반의 높이가 설치면으로부터 멀수록(무게 중심이 높을수록) 진동은 긴 주기로 되고, 설치면에 가까울수록 짧은 주기로 된다. 일반적으로, 진동은 긴 주기일수록 감쇠할 때까지의 시간을 필요로 하므로, 진동의 주기를 짧게 함으로써 감쇠 시간을 단축할 수 있다.

따라서, 본 발명에서는, 설치면으로부터 석정반의 적재면까지의 높이를 짧게 할 수 있으므로, 이에 의해, 테이블의 급정지에 의해 진동이 발생해도, 짧은 주기 진동이므로, 단시간 중에 감쇠하게 되고, 다음 회의 테이블 이동이 시작되기 전에 전회의 진동은 완전히 종식하게 되어, 진동의 영향이 적은 스크라이브 가공이 가능해진다.

이에 의해, 스크라이브 홈의 가공을 고정밀도로 행할 수 있는 동시에, 관성력이 커지는 이동 스테이지의 고속 운전도 가능해져, 장치 성능을 높일 수 있다.

도 1은 본 발명에 관한 레이저 스크라이브 장치의 가공 유닛의 프레임 부분을 도시하는 사시도이다.
도 2는 본 발명에 관한 레이저 스크라이브 장치의 일부 단면 정면도이다.
도 3은 상기 스크라이브 장치의 X―Y 스테이지 부분을 도시하는 개략적인 평면도이다.
도 4는 종래의 스크라이브 장치의 정면도이다.

이하에 있어서, 본 발명의 레이저 스크라이브 장치를 도 1 내지 도 3에 기초하여 상세하게 설명한다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 레이저 스크라이브 장치는, 서로 연결, 분리 가능하게 조성된 가공 유닛(A), 레이저 유닛(B), 그리고 기판을 자동 반송하는 경우에 장착하는 반송 유닛(C)으로 이루어진다.

가공 유닛(A)은 외관이 직육면체를 이루도록 프레임(1)으로 둘러싸여 있고, 상면은 사각형으로 되어 있다. 레이저 유닛(B)도 외관이 직육면체를 이루도록 프레임(22)으로 둘러싸여 있고, 그 저면은 가공 유닛(A)의 상면과 동일 형태인 사각형을 이루고 있다. 레이저 유닛(B)은 가공 유닛(A)의 상면에 고정되어 있다.

또한, 반송 유닛(C)은 외관이 직육면체를 이루도록 프레임(23)으로 둘러싸여 있고, 가공 유닛(A)의 측면에 고정된다.

우선, 가공 유닛(A)에 대해 설명한다. 도 1은 가공 유닛(A)의 프레임 부분을 도시하는 사시도이다. 가공 유닛(A)의 프레임(1)은 네 코너에 수직으로 세워 설치된 4개의 기둥 프레임(1a)과, 이들 기둥 프레임(1a) 사이를 수평으로 연결하는 하부 가로 프레임(1b) 및 상부 가로 프레임(1c)과, 보강을 위해 필요에 따라 설치되는 중부 가로 프레임(1d)에 의해 입방체 형상(직육면체여도 됨)으로 조성되어 있다. 이들 프레임재(1a, 1b, 1c, 1d)는 동일 금속 재료의 각 파이프로, 예를 들어 판 두께 9㎜ 정도의 철이나 스테인리스 스틸로 형성되도록 되어 있다.

본 실시 형태에서는, 하부 가로 프레임(1b)은, 인접하는 기둥 프레임(1a)의 최하부끼리를 수평으로 연결하는 4개의 프레임재 이외에, 대향하는 한 쌍의 하부 가로 프레임(1b, 1b)의 중앙끼리를 수평으로 연결하는 또한 1개의 하부 횡단 가로 프레임(1e)(도 2 참조)과의 합계 5개로 구성된다. 기둥 프레임(1a)의 하단부면에는 설치면(R)에 대한 높이 조정의 어저스터(18)가 장착되어 있고, 또한, 하부 가로 프레임(1b)에는 이동용의 캐스터(19)가 장착되어 있다.

그리고 설치면(R)에 근접한 위치에 저부 지지판(2)(가공 유닛의 일부)을 통해 석정반(3)이 하부 가로 프레임(1b)[및 하부 횡단 가로 프레임(1e)]에 의해 수평으로 지지되도록 되어 있다.

상부 가로 프레임(1c)은, 인접하는 기둥 프레임(1a)의 최상부끼리를 수평으로 연결하는 4개의 프레임재로 사각형을 이루도록 구성되고, 그 위에 상부 지지판(20)(레이저 유닛의 일부)이 적재되도록 하여 고정되어 있다. 상부 지지판(20) 상에는 후술하는 레이저 광원(16)이 적재되고, 또한 레이저 광 조사부(17)가 상부 지지판(20)에 형성한 개구부(21)로부터 하방을 향해 레이저가 조사되도록 하여 지지되어 있다.

또한, 중부 가로 프레임(1d)은, 기둥 프레임(1a)의 중앙부끼리를 수평으로 연결하는 4개의 프레임재로 사각형을 이루도록 구성된다.

석정반(3)은, 온도 변화가 적고 물리적, 기계적 강도가 우수한 화강암(미카게석)에 의해 후판 형상으로 형성되고, 상하면의 수평도가 정밀하게 마무리되어 있다.

저부 지지판(2)은, 석정반(3)의 저면이 완전히 적재되도록 석정반(3)이 차지하는 면(투영면)보다 크게 되어 있고, 프레임(1)과 석정반(3)이 직접적으로는 접촉하지 않도록 하여 프레임(1)에 둘러싸이는 내측 공간에 장착되어 있다. 또한, 도 2에 도시하는 바와 같이, 석정반(3)의 일측면이 앵글 형상의 장착편(4) 및 볼트(5)를 통해 저부 지지판(2)에 고정하도록 하여 장착되어 있고, 석정반(3)의 반대측의 측부 테두리부는, 압박편(6)에 의해 고정하는 일 없이, 자유롭게 팽창할 수 있도록 하여, 상면이 가볍게 압박편(6)에 접하도록 되어 있다. 이에 의해, 주위 온도의 변화가 발생하였을 때에, 저부 지지판(2)은 석정반(3)에 의해 구속되는 일 없이 열팽창이 허용되어, 석정반(3)과의 열팽창률의 차에 의한 영향으로 저부 지지판(2)에 치우친 변형이 발생하지 않도록 하고, 나아가서는 프레임(1)에 석정반(3)과의 열팽창률의 차에 기인하는 영향이 나오지 않도록 되어 있다.

설치면(R)으로부터 석정반(3) 하면까지의 석정반 적재 높이 L₂는, 지금까지는 사람의 작업성의 관점에서 800㎜ 정도로 하고 있었지만, 후술하는 테이블의 이동에 기인하여 발생하는 진동의 주파수가 설치면(R)으로부터의 높이에 의존하므로, 석정반 적재 높이 L₂를 50㎜ 내지 400㎜, 보다 바람직하게는 50㎜ 내지 200㎜ 이하로 되도록 하여, 발생하는 진동의 주파수를 충분히 높게 하여 단시간 중에 진동이 감쇠하도록 하고 있다.

석정반(3)의 상면에는, 도 2 및 도 3에 도시하는 바와 같이, X방향으로 연장 설치된 레일(7)을 따라 구동축(8)에 의해 이동 가능하게 배치된 X 스테이지(9)와, 이 X 스테이지(9) 상에서 X방향과 평면 상에서 직교하는 Y방향으로 연장 설치된 레일(10)을 따라 구동축(11)에 의해 이동 가능하게 배치된 Y 스테이지(12)로 이루어지는 X―Y 스테이지(13)가 설치되어 있다. Y 스테이지(12) 상에는 종축의 주위에서 회전하는 회전 기구(14)를 통해 테이블(15)이 설치되고, 테이블(15) 상에 가공해야 할 취성 재료 기판(W)이 적재된다.

다음으로, 레이저 유닛(B)에 대해 설명한다. 가공 유닛(A)의 상부 가로 프레임(1c)에는, 상부 지지판(20)(레이저 유닛의 일부)이 비스 등을 통해 착탈 가능하게 장착되어 있다. 상부 지지판(20)은 레이저 유닛(B)의 저면을 이루고, 상부 가로 프레임(1c)이 형성하는 사각형과 동일 형태(동 면적)로 되어 있다. 그리고 상부 지지판(20)은 레이저 유닛(B)의 프레임(22)에 고정되고, 이들에 의해 직육면체를 이루도록 되어 있다. 프레임(22)은 프레임(1)과 동일한 금속 프레임재가 사용되어 있다. 상술한 바와 같이 상부 지지판(20)에는 레이저 광원(16)과 레이저 광 조사부(17)가 장착되어 있다. 레이저 광원(16)에는, 도시는 생략하지만, 레이저 발진원과, 레이저 발진원으로부터의 레이저 광을 레이저 광 조사부(17)로 유도하기 위한 반사 미러나 집광 렌즈 등의 광학계 소자가 포함된다. 또한, 상부 지지판(20) 상에는, 레이저 광을 조사하는 포인트를 검출하여 어긋남을 수정하기 위한 광학계 관찰부(촬상 카메라)도 구비하고 있다. 또한, 레이저 조사에 의한 가열과 함께 가열 직후의 냉각을 행함으로써 열응력을 이용한 스크라이브 가공을 행할 때에는, 냉매 분사 기구도 상부 지지판(20) 상에 장착된다. 레이저 광 조사부(17)는, 상부 지지판(20)에 형성한 개구부(21)로부터 가공 유닛 프레임(1) 내에 레이저 조사할 수 있도록 되어 있다.

다음으로, 반송 유닛(C)에 대해 설명한다. 반송 유닛(C)은, 프레임(1)과 동일 금속 재료의 반송 유닛 프레임(23)으로 둘러싸이고, 그 내측 공간에, 가공 유닛(A)과의 사이에서 취성 재료 기판(W)을 반송하는 반송 로봇(24)이나, 미처리 기판이나 처리 완료 기판을 저장하기 위한 카세트(25)를 구비하고 있다.

이상의 구성에 있어서, 취성 재료 기판(W)에 스크라이브 홈을 가공하는 경우에는, 반송 로봇(24)이 카세트(25)로부터 취성 재료 기판(W)을 취출하고, 취성 재료 기판(W)을 가공 유닛(A)의 테이블(15) 상에 적재하고, 레이저 광 조사부(17)로부터 레이저 광을 취성 재료 기판(W)에 조사하면서, X―Y 스테이지(13)에 의해 테이블(15)을 X방향 및 Y방향으로 이동시킴으로써, 취성 재료 기판(W)에 X방향 및 Y방향의 스크라이브 홈을 가공한다.

가공 유닛(A)은, 프레임(1)의 내부에서 설치면(R)에 근접한 저부 지지판(2)에 석정반(3)을 배치하였으므로, X―Y 스테이지(13)에서 발생한 진동의 주파수는, 석정반(3)으로부터 설치면(R)과의 간격 L₂가 짧은 분만큼 작아져, X―Y 스테이지(13)의 반복 운동에 의한 진동의 증폭을 억제할 수 있다. 이에 의해, 스크라이브 홈의 가공을 고정밀도로 행할 수 있는 동시에, X―Y 스테이지(13)의 고속 운전도 가능해져, 장치 성능을 높일 수 있다. 또한, 장치의 무게 중심을 내림으로써 장치의 안정성이 좋아져, 진동의 발생을 억제할 수 있어, 정밀도가 좋은 스크라이브 홈을 가공할 수 있다.

그리고 본 발명에서는, 가공 유닛(A), 레이저 유닛(B), 반송 유닛(C)이 독립하고, 가공되는 취성 재료 기판(W)의 두께나 소재의 종류에 따라, 각각에 적합한 출력을 갖는 다른 레이저 광원을 구비한 레이저 유닛(B)이나, 반송 방식이나 반송 방향이 상이한 반송 기구를 구비한 다른 반송 유닛(C)을 가공 유닛(A)에 선택적으로 조합하여 조성할 수 있으므로, 다양한 배리에이션으로 효과적으로 사용하는 것이 가능해진다.

이상, 본 발명의 대표적인 실시예에 대해 설명하였지만, 본 발명은 반드시 상기한 실시예 구조에만 특정되는 것은 아니다. 예를 들어, 가공 유닛(A)에 있어서, 가공 유닛 프레임(1)의 저면에 설치한 캐스터(19)나 어저스터(18)를 배제하여 프레임(1)을 설치면(R)에 직접 설치하도록 해도 된다.

또한, 이동 스테이지는, X―Y 스테이지 대신에 일방향으로만 이동하는 X 스테이지여도 된다.

또한, 반송 유닛(C)을 사용하여, 스크라이브된 취성 재료 기판(W)을 반송하도록 하였지만, 이것을 생략하여 수동으로 전송하도록 해도 된다.

그 외, 본 발명에서는, 그 목적을 달성하고, 청구의 범위를 일탈하지 않는 범위 내에서 적절하게 수정, 변경하는 것이 가능하다.

본 발명은, 글래스 기판, 사파이어 기판, 반도체 기판 등의 취성 재료 기판에 스크라이브 홈을 형성하기 위한 스크라이브 장치에 적용할 수 있다.

A : 가공 유닛
B : 레이저 유닛
C : 반송 유닛
R : 설치면
W : 취성 재료 기판
1 : 가공 유닛 프레임
2 : 저부 지지판
3 : 석정반
13 : X―Y 스테이지(이동 스테이지)
15 : 테이블
16 : 레이저 광원
17 : 레이저 광 조사부
20 : 상부 지지판
22 : 레이저 유닛 프레임
23 : 반송 유닛 프레임
24 : 반송 로봇

Claims

가공 유닛과 레이저 유닛으로 이루어지고,
상기 가공 유닛은 프레임재로 직육면체의 외관을 구성하도록 조성된 가공 유닛 프레임에 의해 둘러싸이고,
상기 레이저 유닛은 상기 가공 유닛 프레임의 상면과 동일 형태로 되는 저면 형상을 갖는 직육면체의 외관을 구성하도록 조성된 레이저 유닛 프레임에 의해 둘러싸이고,
상기 가공 유닛은, 상기 가공 유닛 프레임에 둘러싸인 내측 공간에서 지지되며 설치면에 근접하게 배치된 석정반과, 상기 석정반의 상면에 장착되는 이동 스테이지와, 상기 이동 스테이지에 의해 이동 가능하게 지지되고 기판이 적재되는 테이블을 구비하고,
상기 레이저 유닛은, 상기 레이저 유닛 프레임에 지지되는 레이저 광원 및 레이저 광 조사부를 구비하고,
상기 레이저 유닛 프레임과 상기 가공 유닛 프레임은 착탈할 수 있도록 유닛화되어 있는 것을 특징으로 하는, 레이저 스크라이브 장치.
제1항에 있어서, 반송 유닛을 더 구비하고, 상기 반송 유닛은 프레임재로 직육면체의 외관을 구성하도록 조성된 반송 유닛 프레임에 의해 둘러싸이고,
상기 반송 유닛 프레임에 둘러싸인 내측 공간에는, 상기 테이블에 대하여, 기판을 반송하기 위한 반송 수단을 구비하고,
상기 반송 유닛 프레임과 상기 가공 유닛 프레임은 착탈할 수 있도록 유닛화되어 있는, 레이저 스크라이브 장치.