JP2011020161A - レーザ加工機 - Google Patents
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Abstract
【課題】各加工ノズルをある程度独立に変位させることができるという自由度を確保しながら、ケーブルキャリアの設置数を減らすことにより容易に実装することができるレーザ加工機を提供する。
【解決手段】グループ化された複数本の加工ノズル4と、各加工ノズル4を個別に所定方向に移送して位置決めするためのノズル移送手段5と、各加工ノズル4やノズル移送手段5にエネルギまたは制御信号を伝送するケーブル群6と、前記グループ化された加工ノズル4及びそのノズル移送手段5に接続しているケーブル群6を一纏めにするフレキシブルなケーブル保持手段と、前記ケーブル保持手段を前記所定方向に移送して前記グループ化された加工ノズル4に追従させるためのキャリア移送手段8とを具備する。
【選択図】図2
【解決手段】グループ化された複数本の加工ノズル4と、各加工ノズル4を個別に所定方向に移送して位置決めするためのノズル移送手段5と、各加工ノズル4やノズル移送手段5にエネルギまたは制御信号を伝送するケーブル群6と、前記グループ化された加工ノズル4及びそのノズル移送手段5に接続しているケーブル群6を一纏めにするフレキシブルなケーブル保持手段と、前記ケーブル保持手段を前記所定方向に移送して前記グループ化された加工ノズル4に追従させるためのキャリア移送手段8とを具備する。
【選択図】図2
Description
本発明は、例えば太陽電池パネル、有機ELディスプレイやプラズマディスプレイの製造工程における薄膜のレーザスクライブ、パターニング等を実施するレーザ加工機に関する。
従来、基板の被加工面の薄膜にレーザを照射する複数本の加工ノズルと、これらの加工ノズルを個別に搬送するためのレール及び台車を備えているレーザ加工機が知られている(例えば、特許文献1を参照)。また、これらの各加工ノズルに接続されレーザ光を入射するための光ファイバや、各台車に接続され制御信号を入力するための電気線等、種々のケーブルも備えている。
このようなレーザ加工機では、その用途目的上、これら複数本の加工ノズルが相互に関連することなく自由に位置決めできるよう制御している。そのため、各加工ノズルに接続される複数本のケーブルは、加工ノズル毎に別々に設けられたケーブルキャリアを通してエネルギまたは制御信号の供給源に接続されることが多い。
一般的にケーブルキャリアは、限られた方向のみの動作に対してケーブル群を無理なく移動させるものであり、動作方向など一定の設計上の制約があるとともに、このケーブルキャリアが移動する空間容積が必要となる。
このような性質を有するケーブルキャリアは、複数本の加工ノズルを独立に移動させる、すなわち各ノズル毎の相対位置を変化させ得ることが求められるため、従来は各加工ノズル毎に独立して設ける必要があった。そのため、限られたサイズのレーザ加工装置筐体内部に多数のケーブルキャリアを実装することは極めて困難となっていた。
本発明は、各加工ノズルをある程度独立に変位させることができるという自由度を確保しながら、ケーブルキャリアの設置数を減らすことにより容易に実装することを目的としている。
本発明は、以上のような目的を達成するために、次のような手段を講じたものである。すなわち、本発明に係るレーザ加工機は、集光光学系を内蔵しワークに向けてレーザ光を照射するグループ化された複数本の加工ノズルと、各加工ノズルを個別に所定方向に移送して位置決めするためのノズル移送手段と、各加工ノズルやノズル移送手段にエネルギまたは制御信号を伝送するケーブル群と、前記グループ化された加工ノズル及びそのノズル移送手段に接続しているケーブル群を一纏めにするフレキシブルなケーブル保持手段と、
前記ケーブル保持手段を前記所定方向に移送して前記グループ化された加工ノズルに追従させるためのキャリア移送手段とを具備する。
前記ケーブル保持手段を前記所定方向に移送して前記グループ化された加工ノズルに追従させるためのキャリア移送手段とを具備する。
ここで、ケーブル保持手段とは、例えば保持ホースや保持ダクトのように、その内部にケーブル群をまとめることができるフレキシブルなものであれば、駆動源の種類にかかわらずどのようなものであってもよいが、ケーブルキャリア(ケーブルベア)を適用するのが好ましい一例として挙げられる。
このようなものであれば、複数本の加工ノズルがグループ化されることでその各グループに対して一つのケーブル保持手段を設ければよいので、ケーブル保持手段の設置数を減らすことができて実装が簡便となり、かつ、コスト面でも有利になる。さらに、グループ化された各加工ノズルは、前記ノズル移送手段により、前記キャリア移送手段の開放端の位置からある一定の領域内において、独立に変位させることができるため、多様な加工方法に対応し得る。
前記グループが複数存在している場合、各グループ毎にケーブル保持手段及びキャリア移送手段を設けていれば、各グループ毎にノズルを移送させることができるため、多様な加工方法に対応し得る。また、各グループ毎にケーブル保持手段及びキャリア移送手段を設けるので、従来のように各加工ノズル毎にケーブル保持手段を取り付ける必要がなく、実装が簡便になる。
このようなレーザ加工機において、前記ノズル移送手段である加工ノズル用の台車と、前記キャリア移送手段であるケーブルキャリア用の台車とが離間して設けられ、このケーブルキャリア用の台車に前記ケーブル保持手段の開放端が支持されており、各加工ノズルから延びるケーブル群が前記ケーブル保持手段の開放端からその内に収められているものが好ましい一態様として挙げられる。
また、他の態様としては、前記キャリア移送手段であるケーブルキャリア用の台車に前記ノズル移送手段である加工ノズル用の台車が支持されて設けられ、前記ケーブルキャリア用の台車に前記ケーブル保持手段の開放端が支持されており、各加工ノズルから延びるケーブル群が前記ケーブル保持手段の開放端からその内に収められているものが挙げられる。
前記ケーブル群には、レーザ光を伝搬させて前記加工ノズルに入射させる光ファイバを含むものが挙げられる。
本発明は、以上のような構成であるから、各加工ノズルをある程度独立に変位させることができるという自由度を確保しながら、ケーブルキャリアの設置数を減らすことにより容易に実装することができる。
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。以下に述べるレーザ加工機1は、薄膜太陽電池の製造工程において使用されるものである。
<第一実施形態>図1ないし図4に示すレーザ加工機1は、加工対象となるワークたる基板9を支持する架台2と、基板9を搬送する搬送装置3と、集光光学系を内蔵し基板9に向けてレーザ光を照射するグループ化された複数本の加工ノズル4と、レーザ加工時に生じる粉塵を収集する集塵ノズル(図示せず)とを主要な構成要素とする。
また、各加工ノズル4を個別に所定方向に移送して位置決めするためのノズル移送手段5と、各加工ノズル4やノズル移送手段5にエネルギまたは制御信号を伝送するケーブル群6と、前記グループ化された加工ノズル4及びそのノズル移送手段5に接続しているケーブル群6を一纏めにするフレキシブルなケーブル保持手段であるケーブルキャリア7と、前記ケーブルキャリア7を前記所定方向に移送して前記グループ化された加工ノズル4に追従させるためのキャリア移送手段8とをさらに備えている。
前記基板9は、例えばガラス板の表面に光電変換能力を持つ薄膜、透明導電膜、裏面電極膜等を製膜してなり、その薄膜をレーザによりパターニングして薄膜太陽電池を製造する。本実施形態では主として、薄膜のある被加工面を上にして架台2上に配置する。
前記架台2は、前後寸法が基板9の二倍以上、巾寸法も基板9を上回っており、前後方向の中間部をレーザ加工を実施するための加工用領域に設定している。加工用領域を跨いだ前部領域及び後部領域には、気体、特に空気を上方に向けて吹出させる浮上装置21を配設している。浮上装置21の上面には、無数の吹出孔と、幾つかないし無数の吸込孔とを穿ってあり、それら吹出孔からの吹出量(正圧)と吸込孔からの吸込量(負圧)との調整を通じて基板9の浮上高さを制御することができる。加えて、架台2における加工用領域には、精密浮上装置22を巾方向に沿って稠密に配設している。精密浮上装置22の機能自体は浮上装置21と同様であるが、基板9の浮上高さ制御の精度が浮上装置21よりも高い。基板9は、積層膜を製膜した面を上にして架台2上に配置する。
前記搬送装置3は、基板9を前後方向に搬送する。本実施形態では、架台2の両側部にレール23(または、走行軸)を敷設しており、このレール23に沿って移動可能な台車31をもって基板9を搬送するようにしている。台車31の駆動源は、例えばリニアサーボモータである。この台車31には、基板把持用のブラケット32を設けている。ブラケット32は、内側方に延出した平面視略L字形をなし、先端部にローラ33を取り付けてあって、このローラ33を基板9の端縁に当接させて基板9を把持する。
前記加工ノズル4は、基板9の下方からレーザビームを発射し、基板9を通過させて上面側の薄膜に照射する。加工ノズル4には光ファイバ61を接続している。光ファイバ61は、図示しないレーザ発振器から供給されるパルスレーザを入射させて加工ノズル4まで導くものである。加工ノズル4は、架台2上に設定した加工用領域の下部に位置する。より詳しくは、加工用領域の直下に横架フレーム51を横架し、この横架フレーム51に加工ノズル4を支持させている。加工ノズル4の駆動源は、例えばリニアサーボモータである。横架フレーム51にはカメラを実装しており、基板9の縁辺または基板9に付したアライメントマークを撮影して基板9の向きを確認、台車31のブラケット32をフィードバック制御して基板9の向きを回転補正することができる。本実施形態では、巾方向に隣接する2本及び3本の加工ノズル4をそれぞれ1グループとしており、この横架フレーム51には2グループに分けられた計5本の加工ノズル4を配列している。
前記ノズル移送手段5は、横架フレーム51に敷設されたレール52と、このレール52に沿って巾方向に加工ノズル4を移送させる加工ノズル用の台車53と、レール52と台車53との間に設けられたリニアサーボ可動子54とを主体に構成される。加工ノズル用の台車53は、リニアサーボ可動子54によりレール52の巾方向に沿って独立に移送し得るようになっている。
前記ケーブル群6は、加工ノズル4またはノズル移送手段5に接続されており、レーザ光を伝搬させて前記加工ノズル4に入射させる光ファイバ61、並びに、加工ノズル4及びノズル移送手段5に制御・駆動用の電気信号や電力を供給するための電気信号供給線、電力供給線等から成る。
前記ケーブルキャリア7は、所定方向、即ち巾方向のみの動作に対してケーブル群6を無理なく移動させ得るものである。本実施形態においては、各加工ノズル4から延びるケーブル群6がケーブルキャリア7の開放端71からその内に収められている。すなわち、ケーブルキャリア7の内部にグループ毎に一纏めにしたケーブル群6を配して、ケーブルキャリア7の他端側をエネルギや制御信号の供給源に接続している。
前記キャリア移送手段8は、前記横架フレーム51に敷設されたレール52と、このレール52に沿って巾方向にケーブルキャリア7を移送させるケーブルキャリア用の台車81と、レール52と台車81との間に設けられたリニアサーボ可動子82とを主体に構成される。ケーブルキャリア用の台車81は、平面視略L字形をなしており、一端側にケーブルキャリア7の開放端71が支持されるとともに、他端側がレール52上に設けられる。ケーブルキャリア用の台車81は、加工ノズル用の台車53の外側に所定距離離間して設けられ、加工ノズル用の台車53の移動と略同期されている。
前記集塵ノズル(図示せず)は、薄膜をパターニングすることで発生する粉塵を吸引するために存在する。集塵ノズルは、基板9の被加工面に近接する下向きに開口した吸引口を有しており、ダクトホースを介して集塵機等に接続している。
このレーザ加工機1では、架台2上の前部領域または後部領域に基板9を配置し、浮上装置21から気体を吹出させてこれを浮上させ、搬送装置3たる台車31で把持して前後方向に搬送する。そして、架台2上の加工用領域において、基板9の上面側にある薄膜にレーザビームを照射し、パターニングを行う。このレーザ加工によって生じる粉塵は基板9の上面から剥落し、集塵ノズル及びダクトホースに吸い込まれる。
しかして、本実施形態においては、グループ化された2本及び3本の加工ノズル4が2グループ存在しているため、各グループ毎にケーブルキャリア7及びキャリア移送手段8を設けている。グループ化された2本または3本の加工ノズル4と、これら加工ノズル4に接続されたケーブルが一纏めにされたケーブルキャリア7は、略同期して移送される。また、各加工ノズル4は、個々に取り付けられたリニアサーボ可動子82によりケーブルキャリア用の台車81からケーブル群6が伸びる範囲内で相互に独立して変位し得る。
以上に述べたように、本実施形態によれば、グループ化された2本または3本の加工ノズル4と、各加工ノズル4を個別に所定の走行方向に移送して位置決めするためのノズル移送手段5を有するレーザ加工機1に、ケーブル群6を一纏めにするケーブルキャリア7と、ケーブルキャリア7を前記所定方向に移送して前記グループ化された加工ノズル4に追従させるためのキャリア移送手段8とを備えるので、5本の各加工ノズル4に対して5つのケーブルキャリア7を設ける必要がない。すなわち、2本または3本の加工ノズル4に対して1つのケーブルキャリア7を設ければよく、本実施形態においては計5本の加工ノズル4に対してケーブルキャリア7は2つのみ設ければ足りることとなる。
したがって、レーザ加工機1全体としてケーブルキャリア7の設置数を減らすことができて実装が簡便となり、かつ、コスト面でも有利になる。さらに、グループ化された各加工ノズル4は、前記ノズル移送手段5により前記キャリア移送手段8の位置とケーブル群6の長さにより定められたある一定の領域内において、独立に変位させることができるため、多様な加工方法に対応し得る。
また、前記グループが2つ存在しており、各グループ毎にケーブルキャリア7及びキャリア移送手段8を設けているので、加工ノズル4の2つのグループをそれぞれ独立に移送させることができ、多様な加工方法に対応することが可能である。
加工ノズル用の台車53とケーブルキャリア用の台車81とが同じレール52上に所定距離離間して設けられ、このケーブルキャリア用の台車81の一端側にケーブルキャリア7の開放端71が支持されており、各加工ノズル4から延びるケーブル群6がケーブルキャリア7の開放端71からその内に収められているので、ケーブル群6を介して接続されたケーブルキャリア用の台車81と加工ノズル用の台車53との相対位置を変位させることができる。そのため、加工ノズル4が2本または3本ずつにグループ化されてケーブルキャリア用の台車81に間接的に接続されていても、各加工ノズル4の位置を微調整させることが可能である。
また、ケーブル群6に含まれる光ファイバ61により、レーザ発振器から供給されるレーザ光を適切に伝搬させて前記加工ノズル4に入射させることができる。
<第二実施形態>図5ないし図8に示すレーザ加工機1は、加工対象となるワークたる基板9を支持する架台2と、基板9を搬送する搬送装置3と、集光光学系を内蔵し基板9に向けてレーザ光を照射するグループ化された複数本の加工ノズル4と、レーザ加工時に生じる粉塵を収集する集塵ノズル(図示せず)とを主要な構成要素とする。
また、各加工ノズル4を個別に所定方向に移送して位置決めするためのノズル移送手段5と、各加工ノズル4やノズル移送手段5にエネルギまたは制御信号を伝送するケーブル群6と、前記グループ化された加工ノズル4及びそのノズル移送手段5に接続しているケーブル群6を一纏めにするフレキシブルなケーブル保持手段であるケーブルキャリア7と、前記ケーブルキャリア7を前記所定方向に移送して前記グループ化された加工ノズル4に追従させるためのキャリア移送手段8とをさらに備えている。以降、第一実施形態との相違を中心に説明する。
前記加工ノズル4は、架台2上に設定した加工用領域の下部に位置する。より詳しくは、加工用領域の直下に設けられたキャリアケーブル用の台車81に加工ノズル4を支持させている。
前記ノズル移送手段5は、キャリアケーブル用の台車81に敷設されたレール83と、このレール83に沿って巾方向に加工ノズル4を移送させる加工ノズル用の台車53と、レール83と台車53との間に設けられたリニアサーボ可動子54とを主体に構成される。加工ノズル用の台車53は、リニアサーボ可動子54によりレール83の巾方向に沿って独立に移動し得るようになっている。
前記キャリア移送手段8は、加工用領域の直下に横架された横架フレーム51に敷設されたレール52と、このレール52に沿って巾方向にケーブルキャリア7を移送させるケーブルキャリア用の台車81と、レール52と台車81との間に設けられたリニアサーボ可動子82とを主体に構成される。ケーブルキャリア用の台車81は、平面視略コ字形をなしており、一端側にケーブルキャリア7の開放端71が支持されるとともに、他端側から伸びる一辺がレール52上に設けられている。また、ケーブルキャリア用の台車81には、レール52に対向する面と反対側の面に加工ノズル用のレール83を敷設している。すなわち、ケーブルキャリア用の台車81上の各加工ノズル4は、そのケーブルキャリア用の台車81に設けられたレール83の巾方向にわたって移送可能に設けられている。
しかして、本実施形態においては、グループ化された2本または3本の加工ノズル4は、これら加工ノズル4に接続されたケーブル群6が一纏めにされたケーブルキャリア7の移送に伴って移送される。また、各加工ノズル4は、個々に取り付けられたリニアサーボ可動子54によりケーブルキャリア用の台車81からケーブル群6が伸びる範囲内で相互に独立して変位し得る。
本実施形態によれば、ケーブルキャリア用の台車81に敷設されたレール83に加工ノズル用の台車53が支持されて設けられ、前記ケーブルキャリア用の台車81にケーブルキャリア7の開放端71が支持されており、各加工ノズル4から延びるケーブル群6がケーブルキャリア7の開放端71からその内に収められているので、ケーブル群6を介して接続されたケーブルキャリア用の台車81と加工ノズル用の台車53との相対位置を変位させることができる。そのため、加工ノズル4が2本または3本ずつにグループ化されてケーブルキャリア用の台車81に支持されていても、各加工ノズル4の位置を微調整させることが可能である。
なお、本発明は以上に述べた実施形態に限られない。
レーザ加工機において、加工ノズルを基板の上方に配して上方からレーザを照射するとともに、集塵ノズルを基板の下方に配して集塵してもよい。また、基板を移動させず、加工ノズルや集塵ノズルを前後方向に移動させてもよい。あるいは、加工ノズルを基板の薄膜を製膜した面に臨ませ、レーザビームを基板を透過させることなく直に薄膜に照射してもよい。
第一実施形態におけるキャリア移送手段は、電磁石、永久磁石を用いたリニアサーボ可動子で動くものに限られず、ピニオンラック型のものや、駆動手段を用いないもの等種々変更可能である。
加工ノズルのグループは2つに限られず、ケーブルキャリアの実装が簡便な範囲内において変更可能である。また、1つのグループにグループ化される加工ノズルの本数も種々変更可能である。
また、複数のグループがある場合、特定のグループのみ動作させるものであってもよい。
その他、本発明の趣旨を損ねない範囲で種々に変更してよい。
1…レーザ加工機
4…加工ノズル
5…ノズル移送手段
53…(加工ノズル用の)台車
6…ケーブル群
61…光ファイバ
7…ケーブルキャリア
8…キャリア移送手段
81…(ケーブルキャリア用の)台車
4…加工ノズル
5…ノズル移送手段
53…(加工ノズル用の)台車
6…ケーブル群
61…光ファイバ
7…ケーブルキャリア
8…キャリア移送手段
81…(ケーブルキャリア用の)台車
Claims (6)
- 集光光学系を内蔵しワークに向けてレーザ光を照射するグループ化された複数本の加工ノズルと、
各加工ノズルを個別に所定方向に移送して位置決めするためのノズル移送手段と、
各加工ノズルやノズル移送手段にエネルギまたは制御信号を伝送するケーブル群と、
前記グループ化された加工ノズル及びそのノズル移送手段に接続しているケーブル群を一纏めにするフレキシブルなケーブル保持手段と、
前記ケーブル保持手段を前記所定方向に移送して前記グループ化された加工ノズルに追従させるためのキャリア移送手段と
を具備するレーザ加工機。 - 前記グループが複数存在しており、各グループ毎にケーブル保持手段及びキャリア移送手段を設けている請求項1記載のレーザ加工機。
- 前記ケーブル保持手段が、ケーブルキャリアである請求項1または2記載のレーザ加工機。
- 前記ノズル移送手段である加工ノズル用の台車と、前記キャリア移送手段であるケーブル保持手段用の台車とが離間して設けられ、このケーブル保持手段用の台車に前記ケーブル保持手段の開放端が支持されており、各加工ノズルから延びるケーブル群が前記ケーブル保持手段の開放端からその内に収められている請求項1、2または3記載のレーザ加工機。
- 前記キャリア移送手段であるケーブル保持手段用の台車に前記ノズル移送手段である加工ノズル用の台車が支持されて設けられ、前記ケーブル保持手段用の台車に前記ケーブル保持手段の開放端が支持されており、各加工ノズルから延びるケーブル群が前記ケーブル保持手段の開放端からその内に収められている請求項1、2または3記載のレーザ加工機。
- 前記ケーブル群が、レーザ光を伝搬させて前記加工ノズルに入射させる光ファイバを含むものである請求項1、2、3、4または5記載のレーザ加工機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009169066A JP2011020161A (ja) | 2009-07-17 | 2009-07-17 | レーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009169066A JP2011020161A (ja) | 2009-07-17 | 2009-07-17 | レーザ加工機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2011020161A true JP2011020161A (ja) | 2011-02-03 |
Family
ID=43630673
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009169066A Pending JP2011020161A (ja) | 2009-07-17 | 2009-07-17 | レーザ加工機 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2011020161A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102886608A (zh) * | 2011-07-20 | 2013-01-23 | 三星钻石工业股份有限公司 | 激光划线装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009220119A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Mitsutoyo Corp | 加工装置 |
-
2009
- 2009-07-17 JP JP2009169066A patent/JP2011020161A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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JP2009220119A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Mitsutoyo Corp | 加工装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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