KR101385595B1 - 기판 이송장치 - Google Patents

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KR101385595B1
KR101385595B1 KR1020120121169A KR20120121169A KR101385595B1 KR 101385595 B1 KR101385595 B1 KR 101385595B1 KR 1020120121169 A KR1020120121169 A KR 1020120121169A KR 20120121169 A KR20120121169 A KR 20120121169A KR 101385595 B1 KR101385595 B1 KR 101385595B1
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박찬경
김진형
이정수
정준모
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주식회사 에스에프에이
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Abstract

기판 이송장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치는,
기판이 안착되어 이송되는 이송유닛; 및 이송유닛의 일측에 마련되어 기판의 이송과정에서 발생되는 정전기를 방지하는 정전기 방지유닛을 포함하며, 이송유닛은, 프레임부; 프레임부에 마련되되, 기판의 이송방향을 따라 상호 이격되게 배치된 복수의 회전축; 회전축에 연결되어 기판을 접촉 지지하는 복수의 롤러; 및 상기 복수의 회전축 중 적어도 어느 하나에 연결되어 상기 복수의 회전축에 회전력을 제공하는 회전구동부를 포함한다.

Description

기판 이송장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 발명은, 기판 이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판의 이송과정에서 발생되는 정전기를 방지할 수 있는 기판 이송장치에 관한 것이다.
이송장치란 피이송물을 이송하는 장치이다.
여기서, 피이송물은 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(PlasmaDisplay Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하는 기판, 반도체용 웨이퍼(wafer), 기판이나 웨이퍼를 수용하여 지지하는 트레이나 카세트가 될 수 있다.
한편, 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display,FPD)가 등장하기 시작하였다.
평면디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, CathodeRay Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이러한 평면디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.
상기와 같은 평면디스플레이는 유리와 같은 기판에 여러 소자를 형성하여 완성한다.
이때, 상기 소자들은 증착 공정, 포토 공정, 식각 공정 및 세정 공정 등을 통해 형성된다.
상기와 같은 공정들을 순차적으로 진행하기 위해서 기판은 진공 챔버들 사이에서 이송되는데, 이는 기판 이송장치에 의해 이뤄진다.
종래 기술에 따른 기판 이송장치는, 프레임부와, 프레임부에 마련되되 기판의 이송방향을 따라 상호 이격되게 배치된 복수의 회전축과, 회전축에 연결되어 기판을 접촉 지지하는 복수의 롤러를 포함한다.
롤러는 하나의 회전축에 소정 간격을 두고 복수 개 마련되며, 회전축이 회전함에 따라 연동되어 회전함으로써 기판을 마찰력에 의해 이송시킨다.
그러나, 건조한 상태에서 기판을 롤러에 접촉하여 이송하는 경우에, 기판과 롤러는 마찰에 의해 대전되어 높은 전압(예를 들어, 약 2,000 V 이상)의 정전기가 발생되고, 정전기에 의해 기판이 손상되는 경우가 빈번하게 발생하였으며, 이에 따라 생산성이 저하되었다.
즉, 기판에 형성된 회로 패턴 등에 높은 전압의 정전기가 가해져 기판을 손상시키는 문제점이 있다.
그러므로, 기판의 이송과정에서 발생하는 정전기를 방지하여 기판의 손상을 방지하고 기판에 대한 생산성을 향상시키는 연구가 필요하다.
[문헌1] 대한민국 공개특허 10-2007-0058978 (동경 엘렉트론 주식회사) 2007.06.11.
따라서 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 기판의 이송 중에 발생되는 정전기를 방지할 수 있는 기판 이송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판이 안착되어 이송되는 이송유닛; 및 상기 이송유닛의 일측에 마련되어 상기 기판의 이송과정에서 발생되는 정전기를 방지하는 정전기 방지유닛을 포함하며, 상기 이송유닛은, 프레임부; 상기 프레임부에 마련되되, 상기 기판의 이송방향을 따라 상호 이격되게 배치된 복수의 회전축; 상기 회전축에 연결되어 상기 기판을 접촉 지지하는 복수의 롤러; 및 상기 복수의 회전축 중 적어도 어느 하나에 연결되어 상기 복수의 회전축에 회전력을 제공하는 회전구동부를 포함하는 기판 이송장치가 제공될 수 있다.
상기 정전기 방지유닛은, 상기 기판의 이송방향을 따라 배치되며, 상기 기판과 이격되게 마련된 복수의 제전 로프를 포함할 수 있다.
상기 제전 로프는, 상기 기판의 이송과정에서 상기 기판 및 상기 이송유닛에 대전된 전하를 코로나 방전을 이용하여 제거하도록, 외주면에 전도성 재질의 복수의 돌기가 형성될 수 있다.
상기 제전 로프는, 상기 회전축의 길이방향으로 길게 배치되며, 상기 기판 및 상기 롤러로부터 이격되게 마련될 수 있다.
상기 정전기 방지유닛은, 상기 기판이 이송되는 경우에, 상기 제전 로프를 자전시키는 로프 회전구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 로프 회전구동부는, 상기 이송유닛에 연결되며 상기 이송유닛으로부터 회전력을 제공받아 상기 제전 로프를 자전시킬 수 있다.
상기 로프 회전구동부는, 상기 프레임부에 마련되되, 상기 제전 로프의 양단부에 각각 연결되어 상기 제전 로프와 연동되어 회전하는 풀리; 및 일단부가 상기 회전축에 귄취되고 타단부가 상기 풀리에 권취되어 상기 풀리 및 상기 제전 로프를 자전시키는 회전력을 제공하는 벨트를 포함할 수 있다.
상기 이송유닛은, 상기 회전축이 관통 결합되며, 상기 롤러에 삽입되어 상기 롤러를 상기 회전축에 고정하는 고정척; 상기 회전축의 양단부에 각각 연결된 베어링부재; 및 상기 프레임부에 배치되되, 상기 베어링부재를 지지하는 지지블럭을 더 포함할 수 있다.
상기 기판의 이송과정에서 상기 기판 및 상기 이송유닛에 대전된 전하를 제거하기 위하여, 상기 롤러와 상기 고정척과 상기 회전축과 상기 베어링부재 및 상기 지지블럭은 전기적으로 연결되어 접지되도록 전도성 재질로 제조될 수 있다.
상기 롤러는 탄소를 함유한 전도성 폴리머로 제조될 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 기판이 이송되는 이송유닛의 일측에 기판의 이송과정에서 발생되는 정전기를 방지하는 정전기 방지유닛을 구비함으로써, 기판의 이송 중에 발생되는 정전기를 방지하여 기판을 손상을 방지함은 물론 기판의 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치를 나타내는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치를 나타내는 측면도이다.
도 4는 도 1의 A부분 확대도로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송유닛을 나타내는 사시도이다.
도 5는 도 1의 B부분 확대도로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 방지유닛을 나타내는 사시도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
이하에서 설명될 기판은 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(PlasmaDisplay Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등 평면디스플레이(FPD)에 사용되는 기판 및 반도체용 웨이퍼(wafer) 등을 포함한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치를 나타내는 평면도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치를 나타내는 측면도이고, 도 4는 도 1의 A부분 확대도로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송유닛을 나타내는 사시도이고, 도 5는 도 1의 B부분 확대도로서, 본 발명의 일 실시예에 따른 정전기 방지유닛을 나타내는 사시도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치는, 기판(10)이 반입 및 반출되는 챔버(100)와, 챔버(100)의 내부에 마련되어 기판(10)이 안착되어 이송되는 이송유닛(200)과, 이송유닛(200)의 일측에 마련되어 기판(10)의 이송과정에서 발생되는 정전기를 방지하는 정전기 방지유닛(300)을 포함한다.
본 실시예에 따른 기판 이송장치는, 이송유닛(200)의 일측에 정전기 방지유닛(300)을 구비하여, 기판(10)의 이송 중에 기판(10)과 이송유닛(200)의 접촉 마찰에 의한 정전기의 발생을 방지함으로써 기판(10)의 손상을 방지함은 물론 기판(10)의 손상에 따른 불량률을 제거할 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 챔버(100)는 내부에 기판(10)을 수용하는 챔버본체(110)와, 챔버본체(110)의 상부를 덮는 상부커버(130)를 포함한다.
본 실시예에서 챔버(100)는 기판(10)에 대한 증착, 식각 등의 공정을 수행하는 공정챔버 또는 공정챔버의 전단 또는 후단에 배치되고 각 공정간에 기판(10)의 이송을 위해 이용되는 이송용 챔버 등 기판(10)에 대한 일정한 처리가 진행되는 모든 종류의 챔버가 그 대상이 될 수 있다.
또한, 본 실시예에서 챔버(100)는 기판(10)에 대한 일정한 공정을 수행할 수 있도록 내부가 진공 분위기로 형성된 진공챔버일 수 있다.
상기한 본 실시예에서의 챔버(100)가 진공챔버인 경우에 내부를 진공상태로 유지케 하는 진공모듈(미도시)을 챔버(100)의 일측에 설치할 수 있다.
진공모듈은 도시되지는 않았으나, 진공배관들을 통해 챔버(100)와 연결될 수 있으며, 진공펌프, 압력센서, 압력 조절밸브 등을 포함할 수 있다.
챔버본체(110)는 전방에 기판(10)을 챔버(100)의 내부로 반입하는 유입구와, 후방에 챔버(100) 내부에 반입된 기판(10)을 반출하는 유출구를 포함한다.
유입구 및 유출구에는 게이트(미도시)가 각각 설치되어 유입구 및 유출구를 개폐한다.
그리고, 챔버(100)의 상부커버(130)는 챔버본체(110)의 상측에 형성된 상측 개구부를 개폐한다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 이송유닛(200)은 기판(10)이 안착되며, 기판(10)을 이송하는 역할을 한다.
이송유닛(200)은, 프레임부(210)와, 프레임부(210)에 마련되되 기판(10)의 이송방향을 따라 상호 이격되게 배치된 복수의 회전축(220)과, 회전축(220)에 연결되어 기판(10)을 접촉 지지하는 복수의 롤러(230)와, 복수의 회전축(220)에 회전력을 제공하는 회전구동부(240)와, 회전축(220)이 관통 결합되며 롤러(230)에 삽입되어 롤러(230)를 회전축(220)에 고정하는 고정척(250)과, 회전축(220)의 양단부에 각각 연결된 베어링부재(260)와, 프레임부(210)에 배치되되 베어링부재(260)를 지지하는 지지블럭(270)을 포함한다.
프레임부(210)는 전기적으로 접지되어 있으며, 이송유닛(200)의 구성요소를 지지하는 역할을 한다.
그리고, 도 1 내지 도 3에서 도시한 바와 같이, 복수의 회전축(220)은 프레임부(210)의 상부에 기판(10)의 이송방향을 따라 상호 이격되도록 배치된다.
즉, 복수의 회전축(220)은 기판(10)이 이송되는 방향과 수직한 방향을 따라서 소정 간격 이격되어 상호 평행되게 배치된다.
복수의 회전축(220)은 대형 기판(10)을 이송하기에 충분한 길이를 가지며, 회전축(220)의 양단부는 프레임부(210)에 결합된다.
회전축(220)의 양단부는 회전 가능하도록 프레임부(210)에 고정시키는 베어링부재(260)에 의해 고정된다.
이때, 베어링부재(260)는 프레임부(210)에 배치된 지지블럭(270)에 의해 안착 지지된다.
한편, 복수의 회전축(220)은 회전구동부(240)에 의해 회전되며, 회전구동부(240)는 회전력을 발생시키는 동력원으로서 구동모터를 포함한다.
구동모터는 정밀 제어가 가능한 서보 모터(servo motor)를 포함할 수 있고, 단계적 회전이 가능한 기어드 모터(geared motor(AC,DC))를 포함할 수 있다.
그리고, 복수의 회전축(220)은 복수의 회전축(220)에 각각 연결된 구동모터에 의해 상호 독립적으로 회전될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 복수의 회전축(220) 중 어느 하나에 연결된 구동모터에 의해 상호 연동되어 회전될 수도 있다.
구동모터가 복수의 회전축(220) 중 어느 하나에 연결되어 구동되는 경우에 나머지 회전축(220)은 구동모터가 연결된 회전축(220)과 벨트결합 또는 기어결합 등을 통하여 회전력을 전달받을 수도 있다.
그리고, 회전축(220)에는 기판(10)을 접촉 지지하는 복수의 롤러(230)가 연결된다.
복수의 롤러(230)는 고정척(250)에 의해 회전축(220)에 고정 결합된다.
즉, 회전축(220)에 고정척(250) 및 롤러(230)가 순차로 외삽되어 결합된다. 이처럼, 고정척(250)은 롤러(230)를 회전축(220)에 결합하는 역할을 한다.
한편, 롤러(230)는 각각의 회전축(220)에 소정 간격 이격되어 복수 개 결합되는데, 롤러(230)는 적어도 두 개가 기판(10)의 양측부에 대응되게 위치될 수 있으며, 기판(10)의 크기에 따라 각각의 회전축(220)에 두 개 이상의 롤러(230)가 결합될 수 있다.
롤러(230)는 회전축(220)이 회전함에 따라 연동되어 회전하며, 기판(10)을 이송시킨다.
상기와 같이 이송유닛(200)에 의해 기판(10)이 이송되는데, 기판(10)은 접촉되는 롤러(230)와의 마찰력에 의해 이송된다.
기판(10)과 롤러(230)가 마찰되는 경우에, 기판(10)과 롤러(230)는 각기 다른 전하로 대전되어 정전기를 발생시킨다. 정전기는 기판(10)을 손상시키게 되며, 기판(10)의 불량률을 증가시켜 생산성을 저하시킨다.
본 실시예에서는 기판(10)과 롤러(230)의 마찰에 의해 대전된 전하를 제거 또는 방전하기 위하여, 이송유닛(200)을 접지시켜 대전된 전하를 제거 또는 방전한다.
따라서, 기판(10)과 접촉하는 롤러(230)는 전도성 재질로 제조된다.
또한, 롤러(230)와 순차로 결합되는 고정척(250), 회전축(220), 베어링부재(260) 및 지지블록도 역시 롤러(230)와 전기적으로 연결될 수 있도록 전도성 재질로 제조된다.
상기와 같이, 이송유닛(200)을 전도성 재질로 제조하고 이를 전기적으로 연결하여 기판(10) 및 롤러(230)에 대전된 전하를 프레임부(210)를 통해 또는 직접 지면 등의 접지영역에 연결하여 제거 또는 방전한다.
이처럼, 이송유닛(200)을 전기적으로 접지시켜 대전된 전하를 제거 또는 방전함으로써 기판(10) 상에 정전기가 발생되는 것을 방지할 수 있어 기판(10)이 손상되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 기판(10)과 롤러(230)에 대전된 전하가 급방전되는 경우에, 기판(10)에 미세하게 형성된 금속배선이 상호 단락되는 경우가 발생될 수 있다.
따라서, 롤러(230)는 비교적 전도율이 낮은 탄소를 함유한 전도성 폴리머를 사용하여 제조된다. 다만 급방전의 우려가 없는 경우에는 구리, 알루미늄 등의 사용될 수 있다.
또한, 본 실시예에서 롤러(230) 자체가 전도성 재질로 제조될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 롤러(230)의 일부영역에 전도층을 형성하여 원가를 절감할 수 있다.
정전기 방지유닛(300)은, 기판(10)의 이송과정에서 기판(10)과 롤러(230)의 마찰에 의해 대전된 전하를 제거하여 정전기가 발생되는 것을 방지하는 역할을 한다.
도 2, 도 3 및 도 5를 참조하면, 정전기 방지유닛(300)은 기판(10)의 이송방향을 따라 배치되며 기판(10)과 이격되게 마련된 복수의 제전 로프(310)와, 기판(10)이 이송되는 경우에 제전 로프(310)를 자전시키는 로프 회전구동부(330)를 포함한다.
제전 로프(310)는 기판(10)의 이송과정에서 기판(10) 및 이송유닛(200), 특히 롤러(230)에 대전된 전하를 코로나 방전을 이용하여 제거하는 역할을 한다.
도 3 및 도 5에서 도시한 바와 같이, 제전 로프(310)는 기판(10)의 하부에 이격되게 배치되며, 기판(10)의 이송방향을 따라 상호 이격되게 복수 개 마련된다.
즉, 제전 로프(310)는 회전축(220)의 길이방향을 따라 길게 배치된다.
제전 로프(310)는 대전 전하를 코로나 방전을 이용하여 제거할 수 있도록 외주면에 전도성 재질의 복수의 돌기(311)가 마련된다.
복수의 돌기(311)는 스텐레스 재질의 섬유일 수 있으며, 복수의 돌기(311)는 대전된 기판(10) 및 롤러(230)와의 관계에서 코로나 방전이 발생되어, 기판(10) 및 롤러(230)에 대전된 전하를 제거하는 역할을 한다.
복수의 돌기(311)가 스텐레스 재질로 형성되므로, 기판(10) 및 롤러(230)와 접촉되는 경우에 기판(10) 및 롤러(230)에 스크래치가 생기는 등 손상될 수 있으므로, 제전 로프(310)는 기판(10) 및 롤러(230)로부터 이격되게 배치된다.
그리고, 기판(10) 및 롤러(230)에 대전된 전하를 더욱 효율적으로 제거하기 위하여, 제전 로프(310)를 자전시킨다. 이는 제전 로프(310)를 자전시켜 대전된 기판(10) 및 롤러(230)에 인접하는 돌기(311)의 수를 실질적으로 증가시켜 대전 전하를 더 많이 제거하기 위함이다.
이때, 제전 로프(310)의 자전은 로프 회전구동부(330)에 의해 수행된다.
로프 회전구동부(330)는 이송유닛(200)의 회전축(220)으로부터 회전력을 제공받아 제전 로프(310)를 자전시키는 역할을 한다.
본 실시예에서는 회전축(220)의 회전을 이용하여 제전 로프(310)를 자전시킬 수 있도록, 도 5에서 도시한 바와 같이, 로프 회전구동부(330)는 프레임부(210)에 마련되되 제전 로프(310)의 양단부에 각각 연결되어 제전 로프(310)와 연동되어 회전하는 풀리(331)와, 일단부가 회전축(220)에 귄취되고 타단부가 풀리(331)에 권취되어 풀리(331) 및 제전 로프(310)를 자전시키는 회전력을 제공하는 벨트(333)를 포함한다.
회전축(220)의 양단부에 각각 제1 풀리(221)를 연결하고, 제1 풀리(221)와 연동되어 회전할 수 있도록 제전 로프(310)의 양단부에 대응되는 위치의 프레임부(210)에 제2 풀리(331)를 설치한다.
그리고, 제1 풀리(221)와 제2 풀리(331)는 벨트(333)에 의해 상호 연동되어 회전되게 연결된다.
따라서, 제2 풀리(331)에 연결된 제전 로프(310)는 회전축(220)에 동기되어 자전운동한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 3를 참조하면, 기판(10)이 롤러(230)에 접촉되어 이송되는 경우에 기판(10)과 롤러(230)의 마찰에 의해 기판(10) 및 롤러(230)는 대전된다.
기판(10) 및 롤러(230)에 대전된 대전 전하를 방전시키기 위해, 본 실시예에서는 롤러(230)를 전도성 재질로 제조하고, 롤러(230)에 순차로 연결되는 고정척(250), 회전축(220), 베어링부재(260) 및 지지블럭(270)을 전도성 재질로 제조하여 이를 전기적으로 연결하여 접지되도록 한다.
또한, 기판(10) 및 롤러(230)에 대전된 대전 전하를 코로나 방전을 이용하여 제거하도록 기판(10) 및 롤러(230)로부터 이격된 거리에 제전 로프(310)를 배치한다.
제전 로프(310)는 기판(10)의 이송방향을 따라 상호 이격되게 복수 개 배치되며, 제전 로프(310)는 외주면에 돌출된 돌기(311)에 의한 방전효율을 증가시키도록 자전된다.
이와 같이, 본 실시예는 롤러(230)를 포함한 이송유닛(200)을 전기적으로 접지하고 제전 로프(310)를 포함하는 정전기 방지유닛(300)을 별도로 마련하여 기판(10)의 이송과정에서 발생되는 정전기를 방지함으로써, 정전기로 인한 기판(10)의 손상을 방지함은 물론 기판(10)의 생산성을 향상시킬 수 있다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시 예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100: 챔버 110: 챔버 본체
130: 상부 커버 200: 이송유닛
210: 프레임부 220: 회전축
230: 롤러 240: 회전구동부
221: 제1 풀리 250: 고정척
260: 베어링부재 270: 지지블럭
300: 정전기 방지유닛 310: 제전 로프
311: 돌기 330: 로프 회전구동부
331: 제2 풀리 333: 벨트

Claims (10)

  1. 기판(10)이 안착되어 이송되는 이송유닛(200); 및
    상기 이송유닛(200)의 일측에 마련되어 상기 기판(10)의 이송과정에서 발생되는 정전기를 방지하는 정전기 방지유닛(300)을 포함하며,
    상기 이송유닛(200)은,
    프레임부(210);
    상기 프레임부(210)에 마련되되, 상기 기판(10)의 이송방향을 따라 상호 이격되게 배치된 복수의 회전축(220);
    상기 회전축(220)에 연결되어 상기 기판(10)을 접촉 지지하는 복수의 롤러(230);
    상기 복수의 회전축(220)에 회전력을 제공하는 회전구동부(240);
    상기 회전축(220)이 관통 결합되며, 상기 롤러(230)에 삽입되어 상기 롤러(230)를 상기 회전축(220)에 고정하는 고정척(250);
    상기 회전축(220)의 양단부에 각각 연결된 베어링부재(260); 및
    상기 프레임부(210)에 배치되되, 상기 베어링부재(260)를 지지하는 지지블럭(270)을 포함하며,
    상기 기판(10)의 이송과정에서 상기 기판(10) 및 상기 이송유닛(200)에 대전된 전하를 제거하기 위하여, 상기 롤러(230)와 상기 고정척(250)과 상기 회전축(220)과 상기 베어링부재(260) 및 상기 지지블럭(270)은 전기적으로 연결되어 접지되도록 전도성 재질로 제조되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 정전기 방지유닛(300)은,
    상기 기판(10)의 이송방향을 따라 배치되며, 상기 기판(10)과 이격되게 마련된 복수의 제전 로프(310)를 포함하는 기판 이송장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제전 로프(310)는,
    상기 기판(10)의 이송과정에서 상기 기판(10) 및 상기 이송유닛(200)에 대전된 전하를 코로나 방전을 이용하여 제거하도록, 외주면에 전도성 재질의 복수의 돌기(311)가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제전 로프(310)는,
    상기 회전축(220)의 길이방향으로 길게 배치되며, 상기 기판(10) 및 상기 롤러(230)로부터 이격되게 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 정전기 방지유닛(300)은,
    상기 기판(10)이 이송되는 경우에, 상기 제전 로프(310)를 자전시키는 로프 회전구동부(330)를 더 포함하는 기판 이송장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 로프 회전구동부(330)는,
    상기 이송유닛(200)에 연결되며 상기 이송유닛(200)으로부터 회전력을 제공받아 상기 제전 로프(310)를 자전시키는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 로프 회전구동부(330)는,
    상기 프레임부(210)에 마련되되, 상기 제전 로프(310)의 양단부에 각각 연결되어 상기 제전 로프(310)와 연동되어 회전하는 풀리(331); 및
    일단부가 상기 회전축(220)에 귄취되고 타단부가 상기 풀리(331)에 권취되어 상기 풀리(331) 및 상기 제전 로프(310)를 자전시키는 회전력을 제공하는 벨트(333)를 포함하는 기판 이송장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제1항에 있어서,
    상기 롤러(230)는 탄소를 함유한 전도성 폴리머로 제조되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2009160539A (ja) * 2008-01-09 2009-07-23 Kuroda Denki Kk 除電清掃装置

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