KR101354251B1 - 이중 가접 검사 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 이중 가접 검사 장치에 관한 것으로서, 검사대상이 안착되는 지지부; 상기 지지부 상에 안착된 검사대상에 레이저를 조사하여 검사대상 상에 가접된 부자재의 높이를 검출하기 위한 레이저 변위 센서를 포함하는 검출부; 상기 레이저 변위 센서를 상기 지지부의 상부에서 X축으로 이송시키는 X축 이송부; 상기 지지부를 상기 검출부의 하부에서 Y축으로 이송시키는 Y축 이송부; 상기 지지부, 검출부, X축 이송부, Y축 이송부를 제어하는 제어부; 상기 제어부에 검사대상의 검출사항에 대한 설정값을 입력하는 입력부; 상기 검출부에 의한 검사대상의 이상 유무가 표시되는 표시부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의해, 연성회로기판의 제조 중 연성회로기판 상에 접합되는 투명, 반투명, 불투명한 리드, 소자, 필름, 보강판 등의 가접합 상태를 레이저 변위 센서를 이용하여 검출함으로써, 연성회로기판 상에 접합되는 부자재의 유무 또는 이중 가접을 신속, 정밀하게 검사할 수 있다.
또한, 제조 중간 단계의 연성회로기판에 대한 검사를 수행함으로써, 가접이 불량한 연성회로기판을 조기에 발견함으로써 제조되는 최종 연성회로기판의 불량율을 획기적으로 감소시킬 수 있다.
또한, 이중 가접 검출에 대한 변동적인 설정값(감지 간격, 감지 횟수, 감지 높이 등)을 입력함으로써, 다양한 형태의 연성회로기판의 검출에 대응될 수 있을 뿐만 아니라, 연성회로기판을 신뢰적으로 고정시킬 수 있는 수단(고정바, 흡착부)을 구비하여 검출 결과의 신뢰성을 증대시킬 수 있다.
이에 의해, 연성회로기판의 제조 중 연성회로기판 상에 접합되는 투명, 반투명, 불투명한 리드, 소자, 필름, 보강판 등의 가접합 상태를 레이저 변위 센서를 이용하여 검출함으로써, 연성회로기판 상에 접합되는 부자재의 유무 또는 이중 가접을 신속, 정밀하게 검사할 수 있다.
또한, 제조 중간 단계의 연성회로기판에 대한 검사를 수행함으로써, 가접이 불량한 연성회로기판을 조기에 발견함으로써 제조되는 최종 연성회로기판의 불량율을 획기적으로 감소시킬 수 있다.
또한, 이중 가접 검출에 대한 변동적인 설정값(감지 간격, 감지 횟수, 감지 높이 등)을 입력함으로써, 다양한 형태의 연성회로기판의 검출에 대응될 수 있을 뿐만 아니라, 연성회로기판을 신뢰적으로 고정시킬 수 있는 수단(고정바, 흡착부)을 구비하여 검출 결과의 신뢰성을 증대시킬 수 있다.
Description
본 발명은 이중 가접 검사 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 연성회로기판의 제조 중 연성회로기판 상에 접합되는 투명, 반투명, 불투명한 리드, 소자, 필름, 보강판 등의 가접합 상태를 레이저 변위 센서를 이용하여 검출함으로써, 연성회로기판 상에 접합되는 부자재의 유무 또는 이중 가접을 정밀하게 검사할 수 있는 이중 가접 검사 장치에 관한 것이다.
최근의 전자기기들은 전자기술의 급속한 발달에 따라 점차 소형화되고 경량화 및 고기능화 되어가고 있으며, 그에 사용되는 반도체 패키지 또한 많은 발전을 거듭하고 있다.
여기서, 반도체 패키지의 한 예로 FPCB형 반도체 패키지는, 리드프레임이나 인쇄회로기판(Printed circuit board;PCB) 대신 연성회로기판(FPCB)인 반도체 패키지용 필름을 사용하여 제조되며, LCD모듈에 사용되는 디스플레이 구동용 IC, 카메라 CCD칩 등에 많이 적용되고 있다.
또한, 연성회로기판은 전자 통신 제품의 슬림화 추세에 따라 반도체나 전자소자를 실장하기 위한 용도로 널리 사용되고 있다. 연성회로기판은 휘어짐이 가능하기 때문에 3차원적 회로를 구성할 수 있으며, 회로기판의 경량화가 가능한 장점을 갖는다. 그러나 연성회로기판의 강성이 낮은 관계로 제조과정 중에 기판의 파손을 방지하기 위한 보강판을 부착한다.
이러한 연성회로기판의 제조 공정 중에는 각종의 리드, 소자, 보호 필름, 보강판 등이 가접되는 중간 공정이 진행되는 데, 상기 중간 공정에서의 가접되는 투명, 반투명, 불투명체의 부자재가 가접되지 않거나, 이중으로 가접되는 등의 문제점이 있었다.
이와 연관된 종래기술은 대한민국 공개특허공보 제10-2008-0012696호가 있었으며, 상기 종래기술은 연성회로기판 상에 부자재가 접합된 부분의 압흔 이미지를 촬영 및 획득하여 획득된 이미지를 토대로 연산된 압흔 이미지의 높이와 기준 높이를 비교함으로써 이상 유무를 검출하는 방식을 채택하고 있다.
그러나, 상기 종래기술은 최종 완성된 연성회로기판의 압흔 이미지를 토대로 검사를 수행함으로써, 검사 장치 자체의 단가가 높을 수 밖에 없으며, 불량이 발생된 연성회로기판의 경우 전체 연성회로기판을 폐기해야 하므로 중간 공정 단계의 연성회로기판 검사에는 부합하지 못한다는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 문제점을 개선하기 위하여 창작된 것으로써, 본 발명의 목적은, 연성회로기판의 제조 중 연성회로기판 상에 접합되는 투명, 반투명, 불투명한 리드, 소자, 필름, 보강판 등의 가접합 상태를 레이저 변위 센서를 이용하여 검출함으로써, 연성회로기판 상에 접합되는 부자재의 유무 또는 이중 가접을 신속, 정밀하게 검사할 수 있는 이중 가접 검사 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 제조 중간 단계의 연성회로기판에 대한 검사를 수행함으로써, 가접이 불량한 연성회로기판을 조기에 발견함으로써 제조되는 최종 연성회로기판의 불량율을 획기적으로 감소시킬 수 있는 이중 가접 검사 장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 이중 가접 검출에 대한 변동적인 설정값(감지 간격, 감지 횟수, 감지 높이 등)을 입력함으로써, 다양한 형태의 연성회로기판의 검출에 대응될 수 있을 뿐만 아니라, 연성회로기판을 신뢰적으로 고정시킬 수 있는 수단(고정바, 흡착부)을 구비하여 검출 결과의 신뢰성을 증대시킬 수 있는 이중 가접 검사 장치를 제공하는 데 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 검사대상이 안착되는 지지부; 상기 지지부 상에 안착된 검사대상에 레이저를 조사하여 검사대상 상에 가접된 부자재의 높이를 검출하기 위한 레이저 변위 센서를 포함하는 검출부; 상기 레이저 변위 센서를 상기 지지부의 상부에서 X축으로 이송시키는 X축 이송부; 상기 지지부를 상기 검출부의 하부에서 Y축으로 이송시키는 Y축 이송부; 상기 지지부, 검출부, X축 이송부, Y축 이송부를 제어하는 제어부; 상기 제어부에 검사대상의 검출사항에 대한 설정값을 입력하는 입력부; 상기 검출부에 의한 검사대상의 이상 유무가 표시되는 표시부;를 포함하는 이중 가접 검사 장치에 의해 달성될 수 있다.
여기서, 상기 지지부는 지지부의 테두리 일부분에 돌출 형성되어 상기 검사대상의 위치를 고정하는 고정부분을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 이중 가접 검사 장치는 상기 검사대상에 흡착력을 인가하여 검사대상의 상방으로의 변위를 방지하기 위한 흡착부를 더 포함할 수 있다.
여기서, 상기 흡착부는, 흡착력을 인가하는 흡착부분; 상기 흡착부분으로부터 인가된 흡착력이 전달되는 경로를 제공하며 상기 지지부 내부에 형성되는 흡착배관부분; 상기 흡착배관부분에 연결되며 상기 지지부 상부면에서 일정한 간격으로 열과 행을 이루어 형성되는 흡착공부분;을 포함할 수 있다.
한편, 상기 검출부는, 검사 영역의 양측에서 기립 형성되는 한쌍의 지지부분; 상기 한쌍의 지지부분의 상단에서 서로 연결되는 가이드부분; 상기 가이드부분의 양측에 각각 결합되어 상기 X축 이송부로부터 구동력을 전달받아 가이드부분을 따라 좌, 우로 이동하는 제1, 2연결부분; 상기 제1, 2연결부분에 각각 결합되는 제1, 2레이저 변위 센서;를 포함한다.
여기서, 상기 제1, 2연결부분은 상기 가이드부분의 중단을 기준으로 각각의 설치 영역 상에서 좌, 우로 이동되도록 마련될 수 있다.
또한, 상기 Y축 이송부는, 한쌍의 레일부분; 상기 한쌍의 레일부분에서 레일부분을 따라 전, 후로 이동되며, 상부에 상기 지지부가 결합되는 한쌍의 이동부분; 상기 이동부분에 동력을 전달하는 모터;를 포함한다.
본 발명에 의해, 연성회로기판의 제조 중 연성회로기판 상에 접합되는 투명, 반투명, 불투명한 리드, 소자, 필름, 보강판 등의 가접합 상태를 레이저 변위 센서를 이용하여 검출함으로써, 연성회로기판 상에 접합되는 부자재의 유무 또는 이중 가접을 신속, 정밀하게 검사할 수 있다.
또한, 제조 중간 단계의 연성회로기판에 대한 검사를 수행함으로써, 가접이 불량한 연성회로기판을 조기에 발견함으로써 제조되는 최종 연성회로기판의 불량율을 획기적으로 감소시킬 수 있다.
또한, 이중 가접 검출에 대한 변동적인 설정값(감지 간격, 감지 횟수, 감지 높이 등)을 입력함으로써, 다양한 형태의 연성회로기판의 검출에 대응될 수 있을 뿐만 아니라, 연성회로기판을 신뢰적으로 고정시킬 수 있는 수단(고정바, 흡착부)을 구비하여 검출 결과의 신뢰성을 증대시킬 수 있다.
도 1 은 본 발명에 따른 이중 가접 검사 장치의 사시도이다.
도 2 는 본 발명에 따른 이중 가접 검사 장치의 블럭도이다.
도 2 는 본 발명에 따른 이중 가접 검사 장치의 블럭도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다.
이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어는 사전적인 의미로 한정 해석되어서는 아니되며, 발명자는 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절히 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여, 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
따라서, 본 명세서에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 출원 시점에 있어 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 존재할 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1 은 본 발명에 따른 이중 가접 검사 장치의 사시도이며, 도 2 는 본 발명에 따른 이중 가접 검사 장치의 블럭도이다.
도 1 내지 도 2 를 참조하면, 본 발명에 따른 이중 가접 검사 장치는, 검사대상(F)이 안착되는 지지부(10); 지지부(10) 상에 안착된 검사대상(F)에 레이저를 조사하여 검사대상(F) 및 검사대상(F)에 가접된 부자재의 높이를 검출하기 위한 레이저 변위 센서를 포함하는 검출부(20); 상기 레이저 변위 센서를 지지부(10)의 상부에서 X축으로 이송시키는 X축 이송부(30); 지지부(10)를 검출부(20)의 하부에서 Y축으로 이송시키는 Y축 이송부(40); 상기 지지부(10), 검출부(20), X축 이송부(30), Y축 이송부(40)를 제어하는 제어부(50); 제어부(50)에 검사대상(F)의 검출사항에 대한 설정값을 입력하는 입력부(60); 검출부(20)에 의한 검사대상(F)의 이상 유무가 표시되는 표시부(70);를 포함한다.
여기서, 지지부(10)는 도 1 에서와 같이, 검사대상(F, 연성회로기판)이 안착되는 공간을 제공하는 구성으로 판형태로 마련되며, 검사대상이 안착된 지지부(10)는 Y축 이송부(40)의 구동력 전달에 의해 검출부(20)의 하부에서 Y축으로 전, 후 방 이송되도록 마련된다.
또한, 지지부(10)에는 지지부(10) 상에 안착되는 검사대상(F)의 위치를 신뢰적으로 고정시키기 위한 고정수단이 설치되며, 이러한 고정수단은 지지부의 테두리 일부분에 돌출 형성되는 고정부분(12) 및 지지부(10) 상면에 형성되는 흡착공부분(82)에 의해 인가되는 흡착력으로 구현될 수 있다.
여기서, 고정부분(12)은 지지부(10)의 테두리 일부분에 돌출 형성되어 상기 검사대상의 위치를 고정하는 역할을 수행한다.
도 1 에서는 고정부분(12)이 지지부(10)의 일측에 설치된 것으로 도시되어 검사대상(F)의 일측 부분이 고정되는 것으로 표현되었으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 검사대상(F)의 위치를 용이하게 고정시키기 위한 다양한 형태의 고정부분(예를 들면 지지부 테두리 부분에 직각 형태의 고정부분을 둘 이상 돌출 형성)의 형성에 의해 구현될 수 있음은 물론이다.
또한, 본 발명에 따른 이중 가접 검사 장치는 검사대상(F)에 흡착력을 인가하여 검사대상(F)의 상방으로의 변위를 방지하기 위한 흡착부(80)를 더 포함할 수 있다.
여기서, 흡착부(80)는, 장치 내부에 배치되어 흡착력을 제공하는 흡착부분(미도시); 상기 흡착부분으로부터 인가된 흡착력이 전달되는 경로를 제공하며 지지부(10) 내부에 형성되는 흡착배관부분(미도시); 상기 흡착배관부분에 연결되며 지지부(10) 상부면에서 일정한 간격으로 열과 행을 이루어 형성되는 흡착공부분(82);을 포함할 수 있다.
상기 흡착부(80)는 제어부(50)의 제어에 의해 흡착부분에서 흡착력이 제공되며, 제공된 흡착력이 지지부(10) 내부에 형성된 흡착배관부분을 따라 지지부(10) 상면에 형성된 흡착공부분(82)으로 인가되며, 흡착공부분(82)이 배치된 공간 상부에 안착되는 검사대상(F)은 흡착공부분(82)으로 전달되는 흡착력에 의해 지지부(10) 상면에서 밀착되어 검사대상(F)의 들뜸, 기울어짐과 같은 상방 변위가 방지될 수 있다.
검출부(20)는 지지부(10) 상에 안착된 검사대상(F)에 레이저를 조사하여 검사대상(F) 상에 가접된 부자재의 높이를 검출하는 역할을 수행한다.
여기서, 검출부(20)는 도 1 에서와 같이, 검사 영역의 양측에서 기립 형성되는 한쌍의 지지부분(22); 한쌍의 지지부분(22)의 상단에서 서로 연결되는 가이드부분(24); 가이드부분(24)의 양측에 각각 결합되어 X축 이송부(30)로부터 구동력을 전달받아 가이드부분(24)을 따라 좌, 우로 이동하는 제1, 2연결부분(26a, 26b); 제1, 2연결부분(26a, 26b)에 각각 결합되는 제1, 2레이저 변위 센서(28a, 28b);를 포함한다.
여기서, 제1, 2연결부분(26a, 26b)은 가이드부분(24)의 중단을 기준으로 각각의 설치 영역 상에서 좌, 우로 이동되도록 마련될 수 있으며, 분할된 영역에서 상기 제1, 2레이저 변위 센서(28a, 28b)가 각각 부자재 높이에 대한 감지를 독립적으로 수행함으로써 전체적인 검출속도가 향상될 수 있다.
또한, 상기 제1, 2 연결부분은 리니어 서보 모터 및 기어, 체인 등의 동력 전달 수단(제1, 2연결부분에 각각 독립적으로 연동되는 2개의 X축 이송 라인)과 연동되어 제어부(50)의 제어에 의해 각 감지 영역 상에서 좌, 우로 이동되면서 검사를 수행하도록 마련된다.
또한, Y축 이송부(40)는 지지부(10)의 Y축 방향으로의 이송을 담당하는 구성으로, 한쌍의 레일부분(42); 한쌍의 레일부분(42)에서 레일부분을 따라 전, 후로 이동되며, 상부에 지지부(10)가 결합되는 한쌍의 이동부분(44); 이동부분(44)에 동력을 전달하는 모터(미도시);를 포함하여 구성된다.
즉, 검사대상(F)이 고정 및 안착되는 지지부(10)는 Y축 이송부(40)에 의해 전, 후방으로 이동되며, 검사대상(F)에 레이저를 조사하는 제1, 2레이저 변위센서(28a, 28b)는 X축 이송부(30)에 의해 좌, 우방으로 이동됨으로써, 설정 검사 영역에 대한 설정값(감지 간격, 감지 횟수, 감지 높이 등) 기반의 검사를 수행함으로써, 검사대상(F) 상의 이상이 발생된 부분(이중 가접, 미 접합, 접합 불량, 접합 위치 불량 등)의 확인이 구현되는 것이다.
제어부(50)는 전술한 구성들의 전반적 제어, 센서로부터 감지된 결과를 연산하여 해당 영역의 이상 유무 파악을 수행하는 구성이며, 입력부(60)는 제어부(50)로 검사에 대한 각종 설정값(감지 간격, 감지 횟수, 감지 높이 등)을 입력받는 구성이고, 표시부(70)는 제어부(50)의 검사 결과를 사용자 또는 관리자에게 출력시키는 구성이다.
여기서, 입력부(60)의 설정값 입력에 의해 본 발명에 따른 이중 가접 검사 장치는, 검사대상(F)의 전체검사, 선택위치검사, 식별된 이상위치 검사 등의 다양한 검사 방식을 채택할 수 있으며, 단일의 검사대상(F)을 복수의 그룹으로 분할하여 분할된 각 그룹에 대한 검사를 차등적으로 실행시키는 기능도 구현될 수 있다.
즉, 생산되는 중간 공정 단계의 검사대상(F)에서 평균적으로 이상이 많이 발생하는 부분은 해당 영역에 대한 전체 정밀 검사로 설정하며, 이상 발생이 비교적 적은 부분은 해당 영역에 대한 일부 검사로 설정하여 검사대상(F)의 검사속도를 향상시키도록 마련될 수도 있는 것이다.
전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 이중 가접 검사 장치는, 연성회로기판의 제조 중 연성회로기판 상에 접합되는 투명, 반투명, 불투명한 리드, 소자, 필름, 보강판 등의 가접합 상태를 레이저 변위 센서를 이용하여 검출함으로써, 연성회로기판 상에 접합되는 부자재의 유무 또는 이중 가접을 신속, 정밀하게 검사할 수 있다.
또한, 제조 중간 단계의 연성회로기판에 대한 검사를 수행함으로써, 가접이 불량한 연성회로기판을 조기에 발견함으로써 제조되는 최종 연성회로기판의 불량율을 획기적으로 감소시킬 수 있다.
또한, 이중 가접 검출에 대한 변동적인 설정값(감지 간격, 감지 횟수, 감지 높이 등)을 입력함으로써, 다양한 형태의 연성회로기판의 검출에 대응될 수 있을 뿐만 아니라, 연성회로기판을 신뢰적으로 고정시킬 수 있는 수단(고정바, 흡착부)을 구비하여 검출 결과의 신뢰성을 증대시킬 수 있다.
이상, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명의 기술적 사상은 이러한 것에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해, 본 발명의 기술적 사상과 하기 될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형 실시가 가능할 것이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
10 : 지지부
12 : 고정부분
20 : 검출부
22 : 지지부분 24 : 가이드부분
26a, 26b : 제1, 2 연결부분 28a, 28b : 제, 2 레이저 변위 센서
30 : X축 이송부
40 : Y축 이송부
42 : 레일부분 44 : 이동부분
50 : 제어부
60 : 입력부
70 : 표시부
80 : 흡착부
82 : 흡착공부분
F : 검사대상
10 : 지지부
12 : 고정부분
20 : 검출부
22 : 지지부분 24 : 가이드부분
26a, 26b : 제1, 2 연결부분 28a, 28b : 제, 2 레이저 변위 센서
30 : X축 이송부
40 : Y축 이송부
42 : 레일부분 44 : 이동부분
50 : 제어부
60 : 입력부
70 : 표시부
80 : 흡착부
82 : 흡착공부분
F : 검사대상
Claims (7)
- 검사대상이 안착되는 지지부;
상기 지지부 상에 안착된 검사대상에 레이저를 조사하여 검사대상 상에 가접된 부자재의 높이를 검출하기 위한 레이저 변위 센서를 포함하는 검출부;
상기 레이저 변위 센서를 상기 지지부의 상부에서 X축으로 이송시키는 X축 이송부;
상기 지지부를 상기 검출부의 하부에서 Y축으로 이송시키는 Y축 이송부;
상기 지지부, 검출부, X축 이송부, Y축 이송부를 제어하는 제어부;
상기 제어부에 검사대상의 검출사항에 대한 설정값을 입력하는 입력부;
상기 검출부에 의한 검사대상의 이상 유무가 표시되는 표시부;를 포함하며,
상기 검출부는,
검사 영역의 양측에서 기립 형성되는 한쌍의 지지부분;
상기 한쌍의 지지부분의 상단에서 서로 연결되는 가이드부분;
상기 가이드부분의 양측에 각각 결합되어 상기 X축 이송부로부터 구동력을 전달받아 가이드부분을 따라 좌, 우로 이동하는 제1, 2연결부분;
상기 제1, 2연결부분에 각각 결합되는 제1, 2레이저 변위 센서;를 포함하는 것을 특징으로 하는
이중 가접 검사 장치. - 제1항에 있어서,
상기 지지부는 지지부의 테두리 일부분에 돌출 형성되어 상기 검사대상의 위치를 고정하는 고정부분을 더 포함하는 것을 특징으로 하는
이중 가접 검사 장치. - 제1항에 있어서,
상기 이중 가접 검사 장치는 상기 검사대상에 흡착력을 인가하여 검사대상의 상방으로의 변위를 방지하기 위한 흡착부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
이중 가접 검사 장치. - 제3항에 있어서,
상기 흡착부는,
흡착력을 인가하는 흡착부분;
상기 흡착부분으로부터 인가된 흡착력이 전달되는 경로를 제공하며 상기 지지부 내부에 형성되는 흡착배관부분;
상기 흡착배관부분에 연결되며 상기 지지부 상부면에서 일정한 간격으로 열과 행을 이루어 형성되는 흡착공부분;을 포함하는 것을 특징으로 하는
이중 가접 검사 장치. - 삭제
- 제1항에 있어서,
상기 제1, 2연결부분은 상기 가이드부분의 중단을 기준으로 각각의 설치 영역 상에서 좌, 우로 이동되는 것을 특징으로 하는
이중 가접 검사 장치. - 제1항에 있어서,
상기 Y축 이송부는,
한쌍의 레일부분;
상기 한쌍의 레일부분에서 레일부분을 따라 전, 후로 이동되며, 상부에 상기 지지부가 결합되는 한쌍의 이동부분;
상기 이동부분에 동력을 전달하는 모터;를 포함하는 것을 특징으로 하는
이중 가접 검사 장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020130117703A KR101354251B1 (ko) | 2013-10-02 | 2013-10-02 | 이중 가접 검사 장치 |
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KR101354251B1 true KR101354251B1 (ko) | 2014-01-22 |
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KR1020130117703A KR101354251B1 (ko) | 2013-10-02 | 2013-10-02 | 이중 가접 검사 장치 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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