KR101327715B1

KR101327715B1 - 진공 배기 장치 및 진공 배기 방법, 그리고 기판 처리 장치

Info

Publication number: KR101327715B1
Application number: KR1020127019175A
Authority: KR
Inventors: 도시야 이노우에; 겐지 하시모토; 마사히로 야마모토
Original assignee: 가부시키가이샤 알박
Priority date: 2009-12-28
Filing date: 2010-11-29
Publication date: 2013-11-11
Also published as: WO2011080980A1; JPWO2011080980A1; CN102713287B; KR20120096101A; JP5377666B2; CN102713287A; TW201139851A; TWI503481B

Abstract

기존의 진공 상태를 유지하는 운전 (대기 운전) 을 실시할 때에, 하나의 진공 펌프 (12a) 에 의해 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 용적실의 배기를 실시하여 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 진공을 유지하고, 대기 운전시에 있어서의 다른 진공 펌프 (12) 의 동력을 기계 손실만이 되어, 보조 펌프 등을 사용하지 않고 진공 펌프 (12) 의 소비 전력을 대폭 억제한다.

Description

진공 배기 장치 및 진공 배기 방법, 그리고 기판 처리 장치{VACUUM EXHAUST DEVICE AND VACUUM EXHAUST METHOD, AND SUBSTRATE TREATMENT DEVICE}

본 발명은, 처리실을 진공 상태로 배기하는 진공 배기 장치 및 진공 배기 방법에 관한 것이다.

또, 본 발명은, 진공 배기 장치가 접속된 기판 처리 장치에 관한 것이다.

배선용 금속막의 성막 처리를 실시하는 처리 장치에는, 소정의 프로세스를 실시하기 위한 기판 처리실 (처리실) 이 구비되어 있다. 기판 처리실은 진공 펌프에 의해 배기되어, 처리에 따른 진공 환경이 만들어지고 있다. 성막 처리 등에서는 반응성이 강한 가스가 많이 사용되기 때문에, 진공 펌프로는, 흡입실에 오일을 존재시키지 않고 대기압으로부터 진공을 얻는 드라이 진공 펌프가 이용되고 있다.

반도체의 제조 프로세스의 복합화에 수반하여, 복수의 처리실을 독립시킨 상태에서 모든 처리실을 진공 배기하는 기판 처리 장치가 설비의 주류를 차지하고 있다. 이 때문에, 복수 대의 진공 펌프를 병렬로 접속한 진공 배기 장치가 사용되고 있다. 소정의 진공 환경을 얻기 위해서는 복수 대의 진공 펌프를 작동시켜 기판 처리실의 진공 상태를 얻고 있는데, 처리에 따라, 소정의 진공 상태를 얻기 위한 정격 운전과, 이미 얻어진 진공 상태를 유지하는 운전 (대기 운전) 이 반복되고 있다.

진공 배기 장치에 사용되는 진공 펌프는 용적 이송형인 것이 일반적이고, 운전 중에는 최종단 (段) 의 용적부는 배기시에 대기에 노출되는 것이 반복되고 있다. 대기 운전시에는 기체의 이송을 실시하지 않기 때문에, 진공 펌프의 작업은 이론적으로는 제로이지만, 최종단의 용적부를 진공 상태로 하는 (감압하는) 동력이 필요하게 된다. 이 때문에, 최종단의 용적부의 배기를 실시하는 보조 펌프를 형성하고, 보조 펌프에 의해 최종단의 용적부의 진공 상태를 유지함으로써, 대기 운전시에 있어서의 진공 펌프의 작업량을 줄여, 소비 전력을 억제하는 것이 종래부터 실시되고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1, 특허문헌 2 참조).

최근, 플랫 패널 디스플레이와 같이, 대형 유리 기판에 대해 배선용 금속의 성막 등이 실시되도록 되고 있다. 이 때문에, 처리실의 용적이 대형화되고 있다. 기판이 커져도 처리 시간을 길게 하는 것은 생산성이 저하되기 때문에, 대형 기판에 대한 처리실을 구비한 기판 처리 장치의 진공 배기 장치에서는, 진공 펌프의 대수 (臺數) 를 많게 하여 큰 처리실에 대해서도 단시간에 진공 상태가 얻어지도록 되어 있다. 복수 대의 진공 펌프를 구비한 진공 배기 장치라도, 보조 펌프를 이용하여 대기 운전시의 소비 전력을 억제할 수 있다.

그러나, 복수 대의 진공 펌프에 대해 각각 보조 펌프를 형성한 경우, 보조 펌프의 대수가 많아져, 소비 전력을 억제하는 이상으로 설비 비용이 높아질 우려가 있기 때문에, 복수 대의 진공 펌프를 갖는 진공 배기 장치에는 적용하기 어려운 것이 실정이다. 또, 복수 대의 진공 펌프에 대해 하나의 보조 펌프를 접속하는 경우, 보조 펌프 자체의 설비 비용에 더하여, 다수의 진공 펌프에 대한 배관 등의 설비 비용이 커질 우려가 있어, 마찬가지로, 복수 대의 진공 펌프를 갖는 진공 배기 장치에는 적용하기 어려운 것이 실정이다.

일본 공개특허공보 2003-155988호 일본 공개특허공보 2003-139054호

본 발명은 상기 상황을 감안하여 이루어진 것으로, 보조 펌프를 사용하지 않고 복수 대의 진공 펌프의 소비 전력을 억제할 수 있는 진공 배기 장치 및 진공 배기 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또, 본 발명은 상기 상황을 감안하여 이루어진 것으로, 보조 펌프를 사용하지 않고 복수 대의 진공 펌프의 소비 전력을 억제할 수 있는 진공 배기 장치를 구비한 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위한 청구항 1 에 관련된 본 발명의 진공 배기 장치는, 처리실에 대해 병렬로 접속되어 상기 처리실을 소정의 진공 상태로 하는 복수의 진공 펌프와, 상기 진공 펌프의 배기측이 연통되는 배기 집합관과, 적어도 하나의 상기 진공 펌프의 흡기측과 상기 배기 집합관을 접속하는 보조 배관과, 상기 처리실측 혹은 상기 보조 배관측에 상기 적어도 하나의 상기 진공 펌프의 흡기측의 유로를 전환하는 전환 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 1 에 관련된 본 발명에서는, 기존의 진공압 상태를 유지하는 운전을 실시하는 경우, 전환 수단에 의해 적어도 하나의 상기 진공 펌프의 흡기측의 유로를 배기 집합관측에 연통하고, 적어도 하나의 진공 펌프에 의해 다른 진공 펌프의 최종단의 용적부의 배기를 실시하여, 다른 진공 펌프에서의 기체의 이송에 의한 부하를 제로에 근사시킨다. 이 결과, 전환 수단의 동작에 의해, 보조 펌프를 사용하지 않고 복수 대의 진공 펌프의 소비 전력을 억제하는 것이 가능해진다.

플랫 패널 디스플레이와 같이 대형 유리 기판을 처리하는 처리실에 대해서는, 수 대 내지 수십 대의 진공 펌프를 병렬로 형성하게 되지만, 이와 같은 경우에도, 기존의 진공압 상태를 유지하는 운전을 실시하기 위해서는, 하나의 진공 펌프에 의해 다른 진공 펌프의 최종단의 용적부의 배기를 실시함으로써, 다른 진공 펌프의 소비 전력을 대폭 억제할 수 있다. 즉, 각 진공 펌프에 대해 개별적으로 보조 펌프를 사용했을 때와 동일하게 소비 전력을 억제할 수 있다.

예를 들어, 10 대의 진공 펌프를 병렬로 접속한 진공 배기 장치에 본원을 적용했을 경우, 수십만 엔의 설비 비용이 드는 보조 펌프를 10 대분 생략하여, 즉, 수백만 엔의 설비 비용을 삭감한 상태에서, 보조 펌프를 사용했을 때와 동일한 정도의 소비 전력의 억제가 가능해진다. 요컨대, 기존의 진공압 상태를 유지할 때에 최종단의 용적부를 감압하기 위한 운전을 수반하는 진공 펌프의 경우, 예를 들어, 7.5 Kw 의 소비 전력이 필요했지만, 최종단의 용적부의 배기가 실시되고 있는 경우, 소비 전력은, 예를 들어, 2.5 Kw 가 된다. 따라서, 수백만 엔의 설비 비용을 삭감시켜, 기존의 진공압 상태를 유지하는 운전을 실시할 때에는 1 대의 진공 펌프에 대해, 예를 들어, 5 Kw 의 전력을 억제하는 것이 가능해진다.

그리고, 청구항 2 에 관련된 본 발명의 진공 배기 장치는, 청구항 1 에 기재된 진공 배기 장치에 있어서, 상기 적어도 하나의 상기 진공 펌프는 흡기관에 의해 상기 처리실에 접속되고, 상기 전환 수단은, 상기 흡기관의 유로를 개폐하는 배기 조정 밸브가 상기 흡기관에 구비되고, 상기 배기 조정 밸브의 하류측의 상기 흡기관에 상기 보조 배관이 접속되고, 상기 보조 배관의 유로를 상기 배기 조정 밸브의 개폐에 따라 폐개 (閉開) 하는 보조 배기 밸브가 상기 보조 배관에 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 2 에 관련된 본 발명에서는, 배기 조정 밸브 및 보조 배기 밸브의 개폐를 제어함으로써, 적어도 하나의 진공 펌프에 의해 다른 진공 펌프의 최종단의 용적부의 배기를 실시할 수 있다. 이 때문에, 간단한 조작으로 복수의 진공 펌프의 소비 전력을 억제할 수 있다.

또, 청구항 3 에 관련된 본 발명의 진공 배기 장치는, 청구항 1 또는 청구항 2 중 어느 한 항에 기재된 진공 배기 장치에 있어서, 상기 적어도 하나의 진공 펌프 이외의 상기 진공 펌프의 배기측이 배기관에 의해 상기 배기 집합관에 접속되고, 상기 배기관에는 상기 보조 배기 밸브의 개폐에 연동하여 개폐되는 진공 유지 밸브가 구비되어 있는 것을 특징으로 한다.

청구항 3 에 관련된 본 발명에서는, 적어도 하나의 진공 펌프에 의해 다른 진공 펌프의 최종단의 용적부의 배기를 실시한 후에, 진공 유지 밸브에 의해 배기관을 폐쇄함으로써, 다른 진공 펌프의 최종단의 용적부의 배기측의 유로가 진공 상태로 유지되어, 다음에 최종단의 용적부의 배기를 실시할 때의 부하를 최소한으로 할 수 있다.

또, 청구항 4 에 관련된 본 발명의 진공 배기 장치는, 청구항 1∼청구항 3 중 어느 한 항에 기재된 진공 배기 장치에 있어서, 상기 적어도 하나의 진공 펌프의 배기측을 감압하는 감압 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 4 에 관련된 본 발명에서는, 감압 수단에 의해, 적어도 하나의 진공 펌프의 최종단의 용적부의 배기를 실시할 수 있어, 적어도 하나의 진공 펌프의 소비 전력을 억제할 수 있다.

또, 청구항 5 에 관련된 본 발명의 진공 배기 장치는, 청구항 1∼청구항 4 중 어느 한 항에 기재된 진공 배기 장치에 있어서, 상기 처리실측의 압력 상태를 검출하는 압력 검출 수단을 구비하고, 상기 전환 수단은 상기 압력 검출 수단의 검출 정보에 기초하여 동작되는 것을 특징으로 한다.

청구항 5 에 관련된 본 발명에서는, 처리실측의 압력 상태에 따라 전환 수단을 동작시킬 수 있고, 실제의 압력 상태에 따라 진공 펌프의 운전을 제어할 수 있다. 처리실측의 압력 상태는, 처리실 내의 압력을 검출하는 것도 가능하고, 복수의 진공 펌프의 흡기측의 집합관 내의 압력을 검출할 수도 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 청구항 6 에 관련된 본 발명의 진공 배기 방법은, 병렬로 배치된 복수의 진공 펌프에 의해 처리실을 소정의 진공 상태로 할 때에, 상기 처리실의 진공압을 유지하기 위한 상기 진공 펌프의 운전시에는, 적어도 하나의 상기 진공 펌프에 의해 다른 상기 진공 펌프의 배기측의 대기 개방 용적부의 배기를 실시하는 것을 특징으로 한다.

청구항 6 에 관련된 본 발명에서는, 진공압 상태를 유지하는 운전을 실시할 때에, 적어도 하나의 상기 진공 펌프에 의해 다른 상기 진공 펌프의 배기측의 대기 개방 용적부의 배기를 실시함으로써, 보조 펌프를 사용하지 않고 복수 대의 진공 펌프의 소비 전력을 억제할 수 있다.

또, 청구항 7 에 관련된 본 발명의 진공 배기 방법은, 청구항 6 에 기재된 진공 배기 방법에 있어서, 상기 처리실의 진공압을 유지하기 위한 상기 진공 펌프의 운전시에는, 상기 처리실을 소정의 진공 상태로 하는 운전시의 회전수보다 낮은 회전수로 다른 상기 진공 펌프가 운전되는 것을 특징으로 한다.

청구항 7 에 관련된 본 발명에서는, 대기 상태에 있는 다른 상기 진공 펌프가, 처리실을 소정의 진공 상태로 하는 운전시의 회전수보다 낮은 회전수로 제어되므로, 진공 펌프의 소비 전력을 억제할 수 있다.

또, 청구항 8 에 관련된 본 발명의 진공 배기 방법은, 청구항 7 에 기재된 진공 배기 방법에 있어서, 상기 처리실의 진공압을 유지하기 위한 상기 진공 펌프의 운전시에 있어서의 다른 상기 진공 펌프의 회전수는, 소정의 복귀 시간 내에 상기 처리실을 소정의 진공 상태로 할 수 있는 회전수인 것을 특징으로 한다.

청구항 8 에 관련된 본 발명에서는, 대기 상태에 있는 다른 상기 진공 펌프가, 소정의 복귀 시간 내에 처리실을 진공 상태로 할 수 있는 대기 운전의 회전수로 제어됨으로써, 최소의 회전수로 진공 펌프를 회전시킬 수 있어, 소비 전력을 억제할 수 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 청구항 9 에 관련된 본 발명의 기판 처리 장치는, 기판이 반입되어 소정의 처리가 실시되는 기판 처리실을 구비하고, 청구항 1∼청구항 5 중 어느 한 항에 기재된 진공 배기 장치의 상기 복수의 진공 펌프를 상기 기판 처리실에 병렬로 접속한 것을 특징으로 한다.

청구항 9 에 관련된 본 발명에서는, 전환 수단의 동작에 의해, 보조 펌프를 사용하지 않고 복수 대의 진공 펌프의 소비 전력을 억제하는 것이 가능한 진공 배기 장치를 구비한 기판 처리 장치가 된다.

또, 청구항 10 에 관련된 본 발명의 기판 처리 장치는, 청구항 9 에 기재된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 기판 처리 장치로부터의 기판이 반입되어 소정의 처리가 실시되는 제 2 기판 처리실을 구비하고, 상기 제 2 기판 처리실에 제 2 진공 펌프를 접속하고, 상기 진공 펌프 중 하나와 상기 제 2 진공 펌프의 흡기측을 병렬로 접속하고, 상기 진공 펌프 중 하나와 상기 제 2 진공 펌프의 접속부에 유로 선택 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

청구항 10 에 관련된 본 발명에서는, 제 2 기판 처리실을 진공 상태로 하는 제 2 진공 펌프에 문제가 생긴 경우에도, 유로 선택 수단으로 진공 펌프 중 하나를 제 2 기판 처리실에 접속함으로써, 진공 펌프 중 하나를 제 2 기판 처리실의 진공 유지용으로 적용할 수 있다.

또, 청구항 11 에 관련된 본 발명의 기판 처리 장치는, 청구항 10 에 기재된 기판 처리 장치에 있어서, 상기 배기 집합관에 상기 제 2 진공 펌프의 배기측이 연통되고, 적어도 하나의 상기 진공 펌프에 의해 상기 배기 집합관을 통하여 상기 제 2 진공 펌프의 배기측의 유체가 배출되는 것을 특징으로 한다.

청구항 11 에 관련된 본 발명에서는, 제 2 진공 펌프의 대기 운전시 등에서 진공압 상태를 유지하는 운전을 실시할 때에, 진공 펌프에 의해 제 2 진공 펌프의 배기측 용적부의 배기를 실시할 수 있어, 제 2 진공 펌프의 배기를 실시하기 위한 소비 전력을 억제할 수 있다.

본 발명의 진공 배기 장치 및 진공 배기 방법은, 보조 펌프를 사용하지 않고 복수 대의 진공 펌프의 소비 전력을 억제할 수 있다.

또, 본 발명의 기판 처리 장치는, 보조 펌프를 사용하지 않고 복수 대의 진공 펌프의 소비 전력을 억제할 수 있는 진공 배기 장치를 구비한 기판 처리 장치가 된다.

도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통도이다.
도 2 는 본 발명의 제 2 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통도이다.
도 3 은 본 발명의 제 3 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통도이다.
도 4 는 본 발명의 제 4 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통도이다.
도 5 는 본 발명의 제 5 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통도이다.
도 6 은 본 발명의 제 6 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통도이다.
도 7 은 본 발명의 제 7 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통도이다.
도 8 은 본 발명의 제 8 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통도이다.
도 9 는 본 발명의 제 9 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통도이다.
도 10 은 펌프 회전수의 상황 그래프이다.
도 11 은 소비 전력의 그래프이다.

이하에 나타낸 실시형태예는, 기판 처리 장치로서, 대형 유리 기판에 처리를 실시하는, 가열 장치, 플라즈마 CVD 장치, 스퍼터링 장치, 드라이 에칭 장치 등의 처리실이 직렬로 나열되고, 일방 단부의 처리실 (로드 로크실：기판 처리실) 로부터 기판을 반입·반출하는 인라인식의 종형 (縱型) 처리 장치를 예로 들어 설명되어 있다. 그리고, 로드 로크실에 복수의 진공 펌프가 병렬로 접속되고, 진공 펌프의 구동에 의해 로드 로크실을 포함하는 복수의 처리실의 내부가 소정의 진공 상태가 된다.

본 발명을 적용하는 기판 처리 장치로는, 실시형태예에서 나타낸 인라인식의 종형 처리 장치에 한정하지 않고, 중앙부에 기판 반송 공통실을 구비하고, 기판 공급실의 주변에 복수의 기판 처리실을 구비한 기판 처리 장치나, 하나의 처리실에서 배치 처리를 실시하는 배치식의 기판 처리 장치를 적용할 수도 있다.

도 1∼도 11 에 기초하여 본 발명의 실시형태예를 설명한다.

도 1 에는 본 발명의 제 1 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통, 도 2 에는 본 발명의 제 2 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통, 도 3 에는 본 발명의 제 3 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통, 도 4 에는 본 발명의 제 4 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통, 도 5 에는 본 발명의 제 5 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통, 도 6 에는 본 발명의 제 6 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통, 도 7 에는 본 발명의 제 7 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통, 도 8 에는 본 발명의 제 8 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통을 나타내고 있다.

또, 도 9 에는 본 발명의 제 9 실시형태예에 관련된 기판 처리 장치의 개략 계통, 도 10 에는 진공 펌프의 회전수에 대한 소비 전력과 복귀 시간의 관계를 나타내는 그래프, 도 11 에는 처리 공정에 있어서의 소비 전력의 변화를 나타내는 그래프를 나타내고 있다.

또한, 제 1 실시형태예∼ 제 9 실시형태예의 부재에 관하여, 동일 부재에는 동일 부호를 붙여 중복되는 설명은 생략하고 있다.

도 1 에 기초하여 제 1 실시형태예를 설명한다.

도시하는 기판 처리 장치 (1) 는, 대략 수직으로 유지된 대형 유리 기판 (기판：예를 들어, 플랫 패널 디스플레이) 에 대해 처리를 실시하는 종형 처리 장치로, 로드 로크실 (2), 가열실 (3), 제 1 처리실 (4), 제 2 처리실 (5), 제 3 처리실 (6) 및 제 4 처리실 (7) 이 순서대로 접속되어 구성되는 인라인식의 장치이다. 기판 처리 장치 (1) 의 내부에는, 기판을 반송하기 위한 왕로 및 귀로가 로드 로크실 (2) 에서 제 4 처리실 (7) 까지 형성되어 있다.

로드 로크실 (2) 에 반입된 기판은, 로드 로크실 (2) 에서 진공 상태로 유지된 후, 가열실 (3) 에서 가열되어, 제 1 처리실 (4) 에서 제 4 처리실 (7) 까지 순차 반송되고, 경로가 반전되어 제 4 처리실 (7) 로부터 제 1 처리실 (4), 가열실 (3) 을 통과하여 로드 로크실 (2) 에 되돌려져 반출된다.

로드 로크실 (2) 에는 진공 배기 장치 (11) 가 접속되고, 진공 배기 장치 (11) 에 의해 로드 로크실 (2) 을 포함하는 복수의 처리실의 내부가 소정의 진공 상태가 된다. 각 처리실은 대형 기판에 대응하여 대용량의 처리실이 되고, 배기 속도를 소정 속도로 유지하기 위해서, 진공 배기 장치 (11) 에는 복수 대 (도시 예에서는 10 대) 의 진공 펌프 (12) 가 병렬로 구비되어 있다.

진공 배기 장치 (11) 를 설명한다.

로드 로크실 (2) 에는 진공 배관 (13) 의 일단이 접속되고, 진공 배관 (13) 의 타단은 흡기 집합관 (14) 에 접속되어 있다. 10 대의 진공 펌프 (12) 의 흡기측에는 흡기관 (15) 이 각각 접속되고, 흡기관 (15) 은 흡기 집합관 (14) 에 접속되어 있다. 요컨대, 10 대의 진공 펌프 (12) 는, 각각의 흡기관 (15), 하나의 흡기 집합관 (14) 및 진공 배관 (13) 에 의해, 기판 처리 장치 (1) 에 대해 병렬로 접속되어 있다.

10 대의 진공 펌프 (12) 는, 예를 들어, 용적 이송형의 드라이 펌프이고, 최종단의 용적부 (용적실) 에는 소음기 (16) 를 구비한 배기계 (17) 가 접속되어 있다. 10 대의 진공 펌프 (12) 를 일제히 구동시킴으로써, 각 진공 펌프 (12) 에서는, 흡기측으로부터의 유체가 순차로 용적실을 이송하여 배기측으로 이송되고, 최후단의 용적실로부터 배기계 (17) 로 배기된다. 이로써, 원하는 진공 상태를 얻을 수 있다.

상기 서술한 진공 배기 장치 (11) 에서는, 기존의 진공 상태를 유지하는 운전 (대기 운전) 을 실시하는 경우, 하나의 진공 펌프 (12a) (도면 중 오른쪽으로부터 5 번째) 에 의해 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 용적실의 배기를 실시하여 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 진공을 유지하고 있다. 이로써, 대기 운전시에 있어서의 다른 진공 펌프 (12) 의 동력은, 이론상 유체의 이송이 없기 때문에 기계 손실만이 되어, 보조 펌프 등을 사용하지 않고 진공 펌프 (12) 의 소비 전력을 대폭 삭감할 수 있다.

또한, 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 진공을 유지하기 위한 펌프는, 진공 펌프 (12a) 와 함께 다른 진공 펌프 (12) 를 병용할 수도 있다.

하나의 진공 펌프 (12a) 에 의해 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 진공을 유지하기 위한 구성을 설명한다.

진공 펌프 (12) (진공 펌프 (12a) 는 제외한다) 의 최종단의 용적실 (배기측) 에는 배기관 (18) 의 일단이 각각 접속되고, 배기관 (18) 의 타단이 접속되는 배기 집합관 (19) 이 구비되어 있다. 한편, 진공 펌프 (12) (진공 펌프 (12a) 를 포함한다) 의 흡기관 (15) 에는 개폐 밸브 (21) 가 각각 형성되고, 진공 펌프 (12a) 의 개폐 밸브가 배기 조정 밸브 (21a) 로 되어 있다. 배기 조정 밸브 (21a) 의 진공 펌프 (12a) 측과 배기 집합관 (19) 에 걸쳐 보조 배관 (22) 이 형성되고, 보조 배관 (22) 에는 보조 배기 밸브 (23) 가 형성되어 있다 (전환 수단).

배기 조정 밸브 (21a) (개폐 밸브 (21)) 가 개폐되는 동작에 연동하여, 보조 배기 밸브 (23) 가 폐개 동작된다. 요컨대, 배기 조정 밸브 (21a) (개폐 밸브 (21)) 가 개방되어 있는 경우에 보조 배기 밸브 (23) 가 폐쇄되고, 모든 진공 펌프 (12) 의 구동에 의해 기판 처리 장치 (1) 가 소정의 진공 상태가 된다. 또, 대기 운전시에는, 배기 조정 밸브 (21a) (개폐 밸브 (21)) 가 폐쇄됨과 함께 보조 배기 밸브 (23) 가 개방되어, 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 용적실의 유체가, 배기관 (18), 배기 집합관 (19) 및 보조 배관 (22) 을 통하여 하나의 진공 펌프 (12a) 에 의해 배기되어 진공 상태가 유지된다.

또, 흡기 집합관 (14) 에는 압력 검출 수단 (압력 센서) (24) 이 형성되고, 압력 검출 수단 (24) 의 검출 정보에 기초하여 배기 조정 밸브 (21a) (개폐 밸브 (21)) 의 개폐 동작 및 보조 배기 밸브 (23) 의 폐개 동작이 제어된다. 요컨대, 흡기 집합관 (14) 의 실제의 압력 (진공 정도：기판 처리 장치 (1) 의 진공 정도) 에 기초하여 감압 동작이 제어된다.

또한, 기판 처리 장치 (1) 의 적절한 장소에 압력 검출 수단을 형성하고. 기판 처리 장치 (1) 측의 진공 정도를 직접 검출하여 진공 배기 장치 (11) 의 운전을 제어할 수도 있다.

상기 서술한 진공 배기 장치 (11) 를 구비한 기판 처리 장치 (1) 의 작용을 설명한다.

로드 로크실 (2) 에 반입된 플랫 패널 디스플레이 등의 기판은, 로드 로크실 (2) 에서 진공 상태로 유지된 후, 가열실 (3) 에서 가열되고, 제 1 처리실 (4) 에서 제 4 처리실 (7) 까지 순차 반송되고, 경로가 반전되어 제 4 처리실 (7) 로부터 제 1 처리실 (4), 가열실 (3) 을 통과하여 로드 로크실 (2) 로 되돌려져 반출된다. 이 사이에 필요한 처리가 진공 처리실 내에서 실시된다.

기판 처리 장치 (1) 는 진공 배기 장치 (11) 에 의해 처리실 내가 소정의 진공 상태로 되어 있다. 처리에 필요한 진공 상태를 얻는 운전을 실시하는 경우, 배기 조정 밸브 (21a) (개폐 밸브 (21)) 가 개방됨과 함께 보조 배기 밸브 (23) 가 폐쇄되어, 10 대의 진공 펌프 (12) 의 구동에 의해 기판 처리 장치 (1) 가 소정의 진공 상태 (처리에 따른 진공 상태) 로 된다.

기판의 반송 행정시 등, 기존의 진공 상태를 유지하는 운전 (대기 운전) 을 실시하는 경우, 배기 조정 밸브 (21a) (개폐 밸브 (21)) 가 폐쇄됨과 함께 보조 배기 밸브 (23) 가 개방되어 하나의 진공 펌프 (12a) 이외의 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 용적실의 유체가, 배기관 (18), 배기 집합관 (19) 및 보조 배관 (22) 을 통하여 진공 펌프 (12a) 에 의해 배기되어 진공 상태가 유지된다.

이로써, 대기 운전시에 있어서의 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 처리실은 대기에 개방되지 않아, 다른 진공 펌프 (12) 는, 최종단의 처리실을 대기로부터 진공까지 감압하는 동력이 불필요해진다. 이 때문에, 진공 펌프 (12) 의 동력은 이론상 유체의 이송이 없는 기계 손실만이 되어, 보조 펌프 등을 형성하지 않고 진공 펌프 (12) 의 소비 전력을 대폭 억제할 수 있다.

플랫 패널 디스플레이와 같이 대형 유리 기판을 처리하는 기판 처리 장치 (1) 에서는, 예를 들어, 10 대의 진공 펌프 (12) 를 병렬로 형성하게 되지만, 이와 같은 경우에도, 대기 운전시에는, 하나의 진공 펌프 (12a) 에 의해 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 용적실의 배기를 실시함으로써, 다른 진공 펌프 (12) 의 소비 전력을 대폭 억제할 수 있다.

즉, 각 진공 펌프 (12) 에 대해 개별적으로 보조 펌프를 사용했을 때와 동일하게 소비 전력을 억제할 수 있다. 그리고, 배기 조정 밸브 (21a) 및 보조 배기 밸브 (23) 의 개폐를 제어하기만 하면 되는 간단한 조작으로 복수의 진공 펌프 (12) 의 소비 전력을 억제할 수 있다.

도 2 에 기초하여 제 2 실시형태예를 설명한다.

제 2 실시형태예의 진공 배기 장치 (31) 는, 도 1 에 나타낸 진공 배기 장치 (11) 의 배기관 (18) 에 진공 유지 밸브 (27) 를 구비한 구성으로 되어 있다. 진공 유지 밸브 (27) 는 보조 배기 밸브 (23) 에 연동하여 개폐된다.

즉, 보조 배기 밸브 (23) 가 개방되었을 때에 진공 유지 밸브 (27) 가 개방되어 하나의 진공 펌프 (12a) 에 의해 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 용적실의 배기가 실시되고, 보조 배기 밸브 (23) 가 폐쇄되었을 때에 진공 유지 밸브 (27) 가 폐쇄되어 모든 진공 펌프 (12) 에 의한 운전시에 최종단의 용적실의 진공 상태가 유지된다.

이 때문에, 하나의 진공 펌프 (12a) 에 의해 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 용적실의 배기를 실시한 후에, 진공 유지 밸브 (27) 에 의해 배기관 (18) 을 폐쇄함으로써, 보조 배기 밸브 (23) 에서 진공 유지 밸브 (27) 까지의 사이의 보조 배관 (22) 을 포함하는 유로가 진공 상태로 유지되고, 다음에 최종단의 용적실의 배기를 실시할 때의 부하를 최소한으로 하여 용적실의 배기 운전을 양호한 응답성으로 실시할 수 있다.

도 3 에 기초하여 제 3 실시형태예를 설명한다.

제 3 실시형태예의 진공 배기 장치 (32) 는, 도 1 에 나타낸 진공 배기 장치 (11) 의 하나의 진공 펌프 (12a) 의 배기측에 감압 수단 (29) 을 구비한 구성으로 되어 있다. 즉, 감압 수단 (29) 에 의해 하나의 진공 펌프 (12a) 의 최종단의 용적실이 감압되어, 진공 펌프 (12a) 에서의 최종단의 처리실을 대기로부터 진공까지 감압하는 동력이 불필요해진다.

이 때문에, 하나의 진공 펌프 (12a) 의 동력은 이론상 유체의 이송이 없는 기계 손실만이 되어, 모든 진공 펌프 (12) 의 소비 전력을 대폭 억제할 수 있다.

도 4 에 기초하여 제 4 실시형태예를 설명한다.

제 4 실시형태예의 진공 배기 장치 (33) 는, 도 2 에 나타낸 진공 유지 밸브 (27) 와 도 3 에서 나타낸 감압 수단 (29) 을 구비한 구성으로 되어 있다. 이 때문에, 하나의 진공 펌프 (12a) 에 의한 최종단의 용적실의 배기 운전 개시시의 진공 상태가 유지됨과 함께, 모든 진공 펌프 (12) 의 소비 전력을 대폭 삭감할 수 있다.

도 5 에 기초하여 제 5 실시형태예를 설명한다.

제 5 실시형태예의 진공 배기 장치 (34) 는, 도 1 에 나타낸 진공 배기 장치 (11) 의 진공 펌프 (12a) 에 인접하는 진공 펌프 (12b) 의 흡기관 (15) 에 보조 배관 (22) 의 분기관 (22b) 을 접속하고, 배기관 (18b) 에 개폐 밸브 (28) 를 구비한 구성으로 되어 있다. 즉, 진공 펌프 (12a) 의 백업으로서, 인접하는 진공 펌프 (12b) 를 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 용적실의 배기를 실시하는 펌프로 한 구성으로 되어 있다.

진공 펌프 (12a) 에 문제가 생긴 경우, 보조 배기 밸브 (23) 를 폐쇄함과 함께 분기관 (22b) 의 보조 배기 밸브 (23b) 를 개방하고, 개폐 밸브 (28) 를 폐쇄함으로써, 인접하는 진공 펌프 (12b) 에 의해 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 용적실의 배기를 실시한다. 이 때문에, 진공 펌프 (12a) 에 문제가 생겨도 진공 펌프 (12) 의 소비 전력의 억제를 확실하게 실시할 수 있다.

도 6 에 기초하여 제 6 실시형태예를 설명한다.

제 6 실시형태예의 진공 배기 장치 (35) 는, 도 2 에 나타낸 진공 유지 밸브 (27) 와 도 5 에 나타낸 백업으로서 인접하는 진공 펌프 (12b) 를 사용한 것을 합한 구성으로 되어 있다.

이 때문에, 다음으로 최종단의 용적실의 배기를 실시할 때의 부하를 최소한으로 하여 용적실의 배기 운전을 양호한 응답성으로 실시할 수 있음과 함께, 진공 펌프 (12a) 에 문제가 생겨도 진공 펌프 (12) 의 소비 전력의 억제를 확실하게 실시할 수 있다.

도 7 에 기초하여 제 7 실시형태예를 설명한다.

제 7 실시형태예의 진공 배기 장치 (36) 는, 도 3 에 나타낸 감압 수단 (29) 과 도 5 에 나타낸 백업으로서 인접하는 진공 펌프 (12b) 를 사용한 것을 합한 구성에 더하여, 추가로, 인접하는 진공 펌프 (12b) 의 최종단의 용적실의 배기를 실시하는 보조 감압 수단 (30) 을 구비한 구성으로 되어 있다.

이 때문에, 진공 펌프 (12a) 에 문제가 생겨도 진공 펌프 (12) 의 소비 전력의 억제를 확실하게 실시할 수 있어, 진공 펌프 (12a) 및 진공 펌프 (12b) 를 포함하는 모든 진공 펌프 (12) 의 소비 전력의 억제를 실시할 수 있다.

도 8 에 기초하여 제 8 실시형태예를 설명한다.

제 8 실시형태예의 진공 배기 장치 (37) 는, 도 2 에 나타낸 진공 유지 밸브 (27) 와 도 7 에 나타낸 감압 수단 (29), 백업으로서 인접하는 진공 펌프 (12b), 보조 감압 수단 (30) 을 합한 구성으로 되어 있다.

이 때문에, 다음에 최종단의 용적실의 배기를 실시할 때의 부하를 최소한으로 하여 용적실의 배기 운전을 양호한 응답성으로 실시할 수 있고, 진공 펌프 (12a) 에 문제가 생겨도 진공 펌프 (12) 의 소비 전력의 억제를 확실하게 실시할 수 있어, 진공 펌프 (12a) 및 진공 펌프 (12b) 를 포함하는 모든 진공 펌프 (12) 의 소비 전력의 억제를 실시할 수 있다.

도 9 내지 도 11 에 기초하여 제 9 실시형태예를 설명한다.

제 9 실시형태예의 진공 배기 장치 (38) 는, 도 8 에 나타낸 진공 배기 장치 (37) 에 대해, 보조 감압 수단 (30) 을 생략한 구성으로 되어 있다. 그리고, 제 2 기판 처리실로서의 가열실 (3), 제 1 처리실 (4), 제 2 처리실 (5), 제 3 처리실 (6) 및 제 4 처리실 (7) 에는, 진공 배관 (40) 을 통하여 하나의 제 2 진공 펌프 (41) 가 접속되어 있다.

제 2 진공 펌프 (41) 의 흡기측의 진공 배관 (40) 에는 개폐 밸브 (42) 가 구비되고, 개폐 밸브 (42) 를 개방하여 하나의 제 2 진공 펌프 (41) 를 구동시킴으로써, 가열실 (3), 제 1 처리실 (4), 제 2 처리실 (5), 제 3 처리실 (6) 및 제 4 처리실 (7) 의 내부가 진공 상태로 되어, 공정 처리에 필요한 진공 분위기가 된다.

개폐 밸브 (42) 의 상류측에 있어서의 진공 배관 (40) 은, 로드 로크실 (2) 을 소정의 진공 상태로 유지하는 흡기 집합관 (14) (진공 펌프 (12) 중 하나) 에 접속되고, 접속부에는 유로를 전환하는 유로 선택 수단 (43) 이 형성되어 있다. 또, 진공 펌프 (12) 중 하나 (진공 펌프 (12s)) 의 흡기관에 접속되고, 접속부에는 유로 선택 수단 (43) 이 구비되어 있다. 제 2 진공 펌프 (41) 의 최종단의 용적실 (배기측) 은, 배기관 (18) 에 의해 진공 유지 밸브 (27) 를 통하여 배기 집합관 (19) 에 접속되어 있다.

제 2 진공 펌프 (41) 에 문제가 생긴 경우, 유로 선택 수단 (43) 에 의해 진공 펌프 (12s) 측으로 유로를 전환시킴으로써, 진공 펌프 (12s) 에 의해, 가열실 (3), 제 1 처리실 (4), 제 2 처리실 (5), 제 3 처리실 (6) 및 제 4 처리실 (7) 의 내부를 진공 상태로 할 수 있다. 이 때문에, 만일의 경우에도, 공정 처리에 필요한 진공 분위기를 유지할 수 있어, 가열실 (3), 제 1 처리실 (4), 제 2 처리실 (5), 제 3 처리실 (6) 및 제 4 처리실 (7) 에서의 처리를 계속하는 것이 가능해진다.

그리고, 제 2 진공 펌프 (41) 의 최종단의 용적실 (배기측) 이, 배기 집합관 (19) 및 보조 배관 (22) 에 의해 진공 펌프 (12a) 에 접속되어 있으므로, 진공 펌프 (12a) 에 의해, 제 2 진공 펌프 (41) 의 최종단의 용적실의 배기를 실시할 수 있다. 이로써, 대기 운전시에 있어서의 제 2 진공 펌프 (41) 의 동력은, 이론상 유체의 이송이 없기 때문에 기계 손실만이 되어, 소비 전력을 대폭 삭감할 수 있다.

도 10 에 기초하여 진공 펌프 (12) 의 회전 제어에 대해 설명한다.

기판 처리 장치 (1) 에 의해 공정 처리를 실시하는 경우, 진공 펌프 (12), 제 2 진공 펌프 (41) 의 구동에 의해 로드 로크실 (2), 가열실 (3), 제 1 처리실 (4), 제 2 처리실 (5), 제 3 처리실 (6) 및 제 4 처리실 (7) 이 소정의 진공 상태로 된다.

기존의 진공 상태를 유지하는 운전 (대기 운전) 을 실시하는 경우, 하나의 진공 펌프 (12a) 에 의해 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 용적실의 배기를 실시하여 다른 진공 펌프 (12) 의 최종단의 진공을 유지하고 있다. 이 경우, 다른 진공 펌프 (12) 의 회전은, 로드 로크실 (2) 을 소정의 진공 상태로 하는 운전시의 회전수보다 낮은 회전수로 제어되고 있다. 즉, 로드 로크실 (2) 의 진공압을 유지하기 위한 진공 펌프 (12) 의 운전시에 있어서의 회전수는, 소정의 복귀 시간 내에 로드 로크실 (2) 을 소정의 진공 상태로 할 수 있는 최소의 회전수로 설정되어 있다.

도 10 에 나타내는 바와 같이, 진공 펌프 (12) 의 회전수가 높은 경우, 로드 로크실 (2) 의 진공압을 유지하기 위한 복귀 시간은 0 초이다. 또, 진공 펌프 (12) 의 회전수가 소정의 범위에 있을 때에는 (도면 중 T1 rpm∼T3 rpm 사이), 로드 로크실 (2) 의 진공압을 유지하는 상태로 복귀하는 복귀 시간은 큰 변화는 없다. 그리고, 진공 펌프 (12) 의 회전수가 낮은 경우, 로드 로크실 (2) 의 진공압을 유지하는 상태로 복귀하는 복귀 시간이 길어진다 (도면 중 점선을 초과한다).

로드 로크실 (2) 의 진공압을 유지하는 상태로 복귀하기 위한 복귀 시간은 빠른 것이 바람직하지만, 기판 처리 장치 (1) 는 많은 기기가 가동되고 있으므로 복귀 시간을 0 초로 할 필요는 없고, 소정의 복귀 시간 내이면 기판 처리에 영향을 미치는 경우는 없다. 이 때문에, 복귀 시간이 거의 바뀌지 않는 범위의 회전수 (도면 중 T1 rpm∼T3 rpm 사이) 에서, 최단의 복귀 시간에 있어서의 진공 펌프 (12) 의 회전수 (도면 중 T2 rpm 근방) 를, 진공 펌프 (12) 의 회전수로 하여 운전하고 있다.

이 때문에, 대기 운전을 실시하는 경우, 최소의 회전수로 진공 펌프 (12) 를 회전시킬 수 있어, 소비 전력을 억제할 수 있다.

도 11 에 기초하여, 소정의 복귀 시간에 진공 펌프 (12) 의 회전을 제어했을 경우의 소비 전력의 상황을 설명한다.

도면 중 실선으로 나타내는 바와 같이, 시각 t1 에서 대기 운전이 되면, 진공 펌프 (12) 의 회전수가 최단의 복귀 시간에 있어서의 회전수까지 저하되어, 소비 전력이 P1 까지 저하된다. 도면 중 점선으로 나타내는 바와 같이, 진공 펌프 (12) 의 회전수를, 로드 로크실 (2) 을 소정의 진공 상태로 하는 운전시의 회전수로 제어했을 경우, 소비 전력은 P1 보다 높은 P2 까지만 저하된다.

또, 대기 운전으로부터 소정의 진공 상태로 하는 운전시의 회전수로 진공 펌프 (12) 를 복귀시킨 경우, 낮은 회전수로부터의 복귀가 되기 때문에, 회전수가 지나치게 높아지는 경우가 없고, 도면 중 시각 t2 에 점선으로 나타내는 바와 같이, 일시적으로 소비 전력이 높아지는 것을 억제할 수 있다.

이 때문에, 시각 t1 에서 시각 t2 까지의 1 회의 대기 기간 (복귀할 때까지의 기간) 의 소비 전력을 대폭 줄일 수 있어, 에너지의 유효 소비에 기여하는 것이 가능해진다.

또한, 상기 서술한 진공 펌프 (12) 의 회전수의 제어는, 제 9 실시형태예의 진공 배기 장치 (38) 에 적용한 예를 들어 설명했는데, 제 1 실시형태예 내지 제 8 실시형태예의 진공 배기 장치에 있어서의 진공 펌프 (12) 의 회전수의 제어에 적용할 수도 있다.

상기 서술한 진공 배기 장치는, 보조 펌프를 사용하지 않고 복수 대의 진공 펌프 (12) 의 소비 전력을 억제할 수 있다.

또, 상기 서술한 기판 처리 장치는, 보조 펌프를 사용하지 않고 복수 대의 진공 펌프 (12) 의 소비 전력을 억제할 수 있는 진공 배기 장치를 구비한 기판 처리 장치가 된다.

산업상 이용가능성

본 발명은, 처리실을 진공 상태로 배기하는 진공 배기 장치 및 진공 배기 방법의 산업 분야에서 이용할 수 있다.

또, 본 발명은, 진공 배기 장치가 접속된 기판 처리 장치의 산업 분야에서 이용할 수 있다.

1 : 기판 처리 장치
2 : 로드 로크실
3 : 가열실
4 : 제 1 처리실
5 : 제 2 처리실
6 : 제 3 처리실
7 : 제 4 처리실
11, 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38 : 진공 배기 장치
12, 12a, 12b : 진공 펌프
13, 40 : 진공 배관
14 : 흡기 집합관
15 : 흡기관
16 : 소음기
17 : 배기계
18, 18b : 배기관
19 : 배기 집합관
21 : 개폐 밸브
21a : 배기 조정 밸브
22 : 보조 배관
23 : 보조 배기 밸브
24 : 압력 검출 수단
27 : 진공 유지 밸브
28, 42 : 개폐 밸브
29 : 감압 수단
30 : 보조 감압 수단
41 : 제 2 진공 펌프

Claims

처리실에 대해 병렬로 접속되어 상기 처리실을 소정의 진공 상태로 하는 복수의 진공 펌프와,
상기 진공 펌프의 배기측이 연통되는 배기 집합관과,
적어도 하나의 상기 진공 펌프의 흡기측과 상기 배기 집합관을 접속하는 보조 배관과,
상기 처리실측 혹은 상기 보조 배관측에 상기 적어도 하나의 상기 진공 펌프의 흡기측의 유로를 전환하는 전환 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 진공 배기 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 상기 진공 펌프는 흡기관에 의해 상기 처리실에 접속되고,
상기 전환 수단은,
상기 흡기관의 유로를 개폐하는 배기 조정 밸브가 상기 흡기관에 구비되고,
상기 배기 조정 밸브의 하류측의 상기 흡기관에 상기 보조 배관이 접속되고,
상기 보조 배관의 유로를 상기 배기 조정 밸브의 개폐에 따라 폐개 (閉開) 하는 보조 배기 밸브가 상기 보조 배관에 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 배기 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 진공 펌프 이외의 상기 진공 펌프의 배기측이 배기관에 의해 상기 배기 집합관에 접속되고,
상기 배기관에는 보조 배기 밸브의 개폐에 연동하여 개폐되는 진공 유지 밸브가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 배기 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 적어도 하나의 진공 펌프의 배기측을 감압하는 감압 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 진공 배기 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 처리실측의 압력 상태를 검출하는 압력 검출 수단을 구비하고,
상기 전환 수단은 상기 압력 검출 수단의 검출 정보에 기초하여 동작되는 것을 특징으로 하는 진공 배기 장치.
병렬로 배치된 복수의 진공 펌프에 의해 처리실을 소정의 진공 상태로 할 때에, 상기 처리실의 진공압을 유지하기 위한 상기 진공 펌프의 운전시에는, 적어도 하나의 상기 진공 펌프에 의해 다른 상기 진공 펌프의 배기측의 대기 개방 용적부의 배기를 실시하는 것을 특징으로 하는 진공 배기 방법.
제 6 항에 있어서,
상기 처리실의 진공압을 유지하기 위한 상기 진공 펌프의 운전시에는, 상기 처리실을 소정의 진공 상태로 하는 운전시의 회전수보다 낮은 회전수로 다른 상기 진공 펌프가 운전되는 것을 특징으로 하는 진공 배기 방법.
제 7 항에 있어서,
상기 처리실의 진공압을 유지하기 위한 상기 진공 펌프의 운전시에 있어서의 다른 상기 진공 펌프의 회전수는,
소정의 복귀 시간 내에 상기 처리실을 소정의 진공 상태로 할 수 있는 회전수인 것을 특징으로 하는 진공 배기 방법.
기판이 반입되어 소정의 처리가 실시되는 기판 처리실을 구비하고, 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 기재된 진공 배기 장치의 상기 복수의 진공 펌프를 상기 기판 처리실에 병렬로 접속한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제 9 항에 있어서,
상기 기판 처리 장치로부터의 기판이 반입되어 소정의 처리가 실시되는 제 2 기판 처리실을 구비하고,
상기 제 2 기판 처리실에 제 2 진공 펌프를 접속하고,
상기 진공 펌프 중 하나와 상기 제 2 진공 펌프의 흡기측을 병렬로 접속하고,
상기 진공 펌프 중 하나와 상기 제 2 진공 펌프의 접속부에 유로 선택 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
제 10 항에 있어서,
상기 배기 집합관에 상기 제 2 진공 펌프의 배기측이 연통되고,
적어도 하나의 상기 진공 펌프에 의해 상기 배기 집합관을 통하여 상기 제 2 진공 펌프의 배기측의 유체가 배출되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.