JP6463846B2 - インライン式コーティング設備を運転する方法およびインライン式コーティング設備 - Google Patents
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- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
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Description
3 プロセスチャンバ
4 搬出チャンバ
18 スリットダイヤフラム懸架部
19 スリットダイヤフラム懸架部
21 バッファチャンバ
22 バッファチャンバ
29 スリットダイヤフラム
30 スリットダイヤフラム
31 トランスファチャンバ
33 トランスファチャンバ
60 ロックゲート
61 ロックゲート
62 ロックゲート
63 ロックゲート
64 ロックゲート
65 ロックゲート
200 基板
218 スリットダイヤフラム懸架部
219 スリットダイヤフラム懸架部
220 搬入チャンバ
220a ポンプ接続部
221 バッファチャンバ
221a ポンプ接続部
221b スリットダイヤフラム
221c スリットダイヤフラム懸架部
222 バッファチャンバ
222a ポンプ接続部
229 スリットダイヤフラム
230 スリットダイヤフラム
231 トランスファチャンバ
233 トランスファチャンバ
235 プロセスチャンバ
240 搬出チャンバ
240a ポンプ接続部
260 ロックゲート
261 ロックゲート
262 ロックゲート
263 ロックゲート
264 ロックゲート
265 ロックゲート
Claims (10)
- インライン式コーティング設備を運転する方法であって、前記インライン式コーティング設備は、
搬入ゲート(260)を有する搬入チャンバ(220)と、
前記搬入チャンバ(220)に接続し、前記搬入チャンバ(220)から第1のロックゲート(261)により遮断可能な第1のバッファチャンバ(221)と、
前記第1のバッファチャンバ(221)に接続し、前記第1のバッファチャンバ(221)から第2のロックゲート(264)により遮断可能なプロセスチャンバ(235)と、
前記プロセスチャンバ(235)に接続し、前記プロセスチャンバ(235)から第3のロックゲート(265)により遮断可能な第2のバッファチャンバ(222)と、
前記第2のバッファチャンバ(222)に接続し、前記第2のバッファチャンバ(222)から第4のロックゲート(262)により遮断可能な、出口ゲート(263)を有する搬出チャンバ(240)と、
を有し、前記搬入チャンバ(220)と、前記第1のバッファチャンバ(221)と、前記第2のバッファチャンバ(222)と、前記搬出チャンバ(240)とは、予め決められたサイズまでの基板(200)を収容するモジュールとして形成されており、
前記基板(200)は、コーティングのために前記搬入チャンバ(220)から前記第1のバッファチャンバ(221)を通して前記プロセスチャンバ(235)に、そして前記プロセスチャンバ(235)から前記第2のバッファチャンバ(222)を通して前記搬出チャンバ(240)に搬送され、
前記第1のバッファチャンバ(221)は、少なくとも1つのスリットダイヤフラム(221b)を有するスリット式ロック装置を有し、前記スリット式ロック装置により、前記第1のロックゲート(261)が開放または閉鎖されているとき、前記第1のバッファチャンバ(221)内において、圧力勾配を、前記第2のロックゲート(264)の領域における圧力と、前記第1のロックゲート(261)の領域における圧力との間に形成する、
方法において、
前記搬入ゲート(260)が開放され、前記第1のロックゲート(261)が開放されているとき、前記第1のバッファチャンバ(221)に接続されたポンプの運転により、前記第1のバッファチャンバ(221)内において、前記第2のロックゲート(264)の領域における圧力と、前記第1のロックゲート(261)の領域における圧力との間に圧力勾配を維持する、
ことを特徴とする、インライン式コーティング設備を運転する方法。 - モジュールより小さい基板をコーティングすべく、
前記第1のロックゲート(261)を閉鎖し、
前記搬入ゲート(260)を開放しておいて、
基板を前記搬入チャンバ(220)内に搬送し、
前記搬入ゲート(260)を閉鎖し、
前記搬入チャンバ(220)を予め決められた圧力まで排気し、
前記第1のロックゲート(261)を開放し、
前記基板を前記第1のバッファチャンバ(221)内にフィードし、このとき、前記第1のバッファチャンバ(221)内に前記第2のロックゲート(264)の領域において、前記搬入チャンバ(220)内より低い圧力を形成し、
前記第1のロックゲート(261)を再び閉鎖し、
前記第1のバッファチャンバ(221)をトランスファ圧力まで排気し、前記第2のロックゲート(264)を開放し、
前記基板を前記プロセスチャンバ(235)内に搬送し、
前記第2のロックゲート(264)を閉鎖し、前記基板を前記プロセスチャンバ(235)内で加工する、
ことを特徴とする、請求項1記載の方法。 - 前記モジュールより大きい基板をコーティングすべく、
前記搬入ゲート(260)と前記第1のロックゲート(261)とを開放し、
基板を前記搬入チャンバ(220)および前記第1のバッファチャンバ(221)内に搬送し、このとき、前記第1のバッファチャンバ(221)内に前記第2のロックゲート(264)の領域において、前記搬入チャンバ(220)内より低い圧力を形成し、
前記搬入ゲート(260)を閉鎖し、
前記搬入チャンバ(220)を予め決められた圧力まで排気し、
前記第1のバッファチャンバ(221)を前記第2のロックゲート(264)の領域においてトランスファ圧力まで排気し、
前記第2のロックゲート(264)を開放し、前記基板(200)を前記プロセスチャンバ(235)内に搬送し、これにより、前記プロセスチャンバ(235)内で加工する、
ことを特徴とする、請求項1記載の方法。 - 前記基板(200)の後縁(200a)が前記第1のロックゲート(261)を通過した後、前記後縁(200a)が前記第2のロックゲート(264)をまだ通過しないうちに、前記第1のロックゲート(261)を閉鎖することを特徴とする、請求項3記載の方法。
- 前記基板(200)の後縁(200a)が前記第2のロックゲート(264)を通過した後、前記第2のロックゲート(264)を閉鎖することを特徴とする、請求項4記載の方法。
- 前記基板(200)の後縁(200a)が前記第2のロックゲート(264)を通過した後、前記第1のロックゲート(261)を開放することを特徴とする、請求項5記載の方法。
- 前記搬入ゲート(260)と前記第1のロックゲート(261)とが開放されているときも、前記第1のバッファチャンバ(221)内に、前記第2のロックゲート(264)の領域において、大気圧を下回る圧力を形成することを特徴とする、請求項1から6までのいずれか1項記載の方法。
- 前記第1のバッファチャンバ(221)に接続されたポンプを用いて前記第1のバッファチャンバ(221)の連続的な排気を行うことを特徴とする、請求項1から7までのいずれか1項記載の方法。
- 前記第1のバッファチャンバ(221)内において、前記第2のロックゲート(264)の領域における圧力と、前記第1のロックゲート(261)の領域における圧力との間に、前記第2のロックゲート(264)の領域における圧力が、前記第1のロックゲート(261)の領域における圧力より少なくとも2倍小さい圧力勾配を形成することを特徴とする、請求項1から8までのいずれか1項記載の方法。
- インライン式コーティング設備であって、
搬入ゲート(260)を有する搬入チャンバ(220)と、
前記搬入チャンバ(220)に接続し、前記搬入チャンバ(220)から第1のロックゲート(261)により遮断可能な第1のバッファチャンバ(221)と、
前記第1のバッファチャンバ(221)に接続し、前記第1のバッファチャンバ(221)から第2のロックゲート(264)により遮断可能なプロセスチャンバ(235)と、
前記プロセスチャンバ(235)に接続し、前記プロセスチャンバ(235)から第3のロックゲート(265)により遮断可能な第2のバッファチャンバ(222)と、
前記第2のバッファチャンバ(222)に接続し、前記第2のバッファチャンバ(222)から第4のロックゲート(262)により遮断可能な、出口ゲート(263)を有する搬出チャンバ(240)と、
を備え、前記搬入チャンバ(220)と、前記第1のバッファチャンバ(221)と、前記第2のバッファチャンバ(222)と、前記搬出チャンバ(240)とは、予め決められたサイズまでの基板(200)を収容するモジュールとして形成されており、
前記基板(200)は、コーティングのために前記搬入チャンバ(220)から前記第1のバッファチャンバ(221)を通して前記プロセスチャンバ(235)に、そして前記プロセスチャンバ(235)から前記第2のバッファチャンバ(222)を通して前記搬出チャンバ(240)に搬送可能であり、
前記第1のバッファチャンバ(221)は、少なくとも1つのスリットダイヤフラム(221b)を有するスリット式ロック装置を有し、前記スリット式ロック装置により、前記第1のロックゲート(261)が開放または閉鎖されているとき、圧力勾配を、前記第1のバッファチャンバ(221)内において、前記第2のロックゲート(264)の領域における圧力と、前記第1のロックゲート(261)の領域における圧力との間に形成可能である、
インライン式コーティング設備において、
前記搬入ゲート(260)が開放され、前記第1のロックゲート(261)が開放されているとき、前記第1のバッファチャンバ(221)に接続されたポンプの運転により、前記第1のバッファチャンバ(221)内において、前記第2のロックゲート(264)の領域における圧力と、前記第1のロックゲート(261)の領域における圧力との間に圧力勾配を維持することが可能である、
ことを特徴とするインライン式コーティング設備。
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