CN202181349U - 真空镀膜自动转换装置 - Google Patents
真空镀膜自动转换装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN202181349U CN202181349U CN2011202657819U CN201120265781U CN202181349U CN 202181349 U CN202181349 U CN 202181349U CN 2011202657819 U CN2011202657819 U CN 2011202657819U CN 201120265781 U CN201120265781 U CN 201120265781U CN 202181349 U CN202181349 U CN 202181349U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- gate
- chamber
- track
- vacuum
- carriage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
一种真空镀膜自动转换装置包括并排相连的进料室、真空镀膜室和出料室，进料室与真空镀膜室之间以及真空镀膜室与出料室之间分别设有能密封关闭的第二闸门和第三闸门，进料室设有用于托架滑动的第一轨道、控制托架沿第一轨道滑动的第一滑动机构以及能送入托架并密封关闭的第一闸门；真空镀膜室设有能由第一轨道上托架通过第二闸门滑入的第二轨道、控制托架沿第二轨道滑动的第二滑动机构；出料室设有由第二轨道上托架通过第三闸门能滑入的第三轨道、控制托架沿第三轨道滑动的第二滑动机构以及能取出托架并密封关闭的第四闸门，第一、第二和第三滑动机构分别设于对应轨道上并能支撑托架滑动的滚轮组，各滚轮组分别通过对应驱动马达控制滚动。
Description
技术领域
本实用新型属于镀膜设备，特别涉及一种能送料、镀膜和出料连续操作的真空镀膜自动装置。
背景技术
真空镀膜技术在经济社会各个领域有着广泛应用，特别是科技迅速发展、人们生活的不断提高以及高科技镀膜产品的不断涌现，给真空镀膜技术的发展和推广应用带来了新的机遇。
真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。如蒸发镀膜就是加热靶材，使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。
常见的蒸发镀膜就是将放置镀膜工件的托架置于真空沉积腔室内，关闭闸门后，启动控制装置抽真空，启动加热装置对镀膜工件加热，启动加热装置对靶材加热达到靶材蒸发，实现对托架上工件镀膜操作，镀膜工序结束后，打开闸门再取出镀膜工件，再放入下一批镀膜工件，按照上述重复操作。然而，这样操作效率低下。
实用新型内容
为了克服上述缺陷，本实用新型提供一种真空镀膜自动转换装置，能将放置工件、进行真空镀膜和取出镀膜工件连续进行，提高了加工效率。
本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种真空镀膜自动转换装置，包括并排相连的进料室、真空镀膜室和出料室，该进料室与真空镀膜室之间，以及该真空镀膜室与出料室之间分别设有能密封关闭的第二闸门和第三闸门，其中：
1)该进料室设有用于托架滑动的第一轨道、控制托架沿该第一轨道滑动的第一滑动机构以及能送入托架并密封关闭的第一闸门；
2)该真空镀膜室设有能由该第一轨道上托架通过该第二闸门滑入的第二轨道、控制托架沿该第二轨道滑动的第二滑动机构；
3)该出料室设有由该第二轨道上托架通过该第三闸门能滑入的第三轨道、控制托架沿该第三轨道滑动的第二滑动机构以及能取出托架并密封关闭的第四闸门。
作为本实用新型的进一步改进，该托架设有能放置镀膜工件的支撑板或挂钩。
作为本实用新型的进一步改进，该第一滑动机构、第二滑动机构和第三滑动机构分别设于对应轨道上并能支撑托架滑动的滚轮组，各滚轮组分别通过对应驱动马达控制滚动。
作为本实用新型的进一步改进，该第一闸门、第二闸门、第三闸门和第四闸门分别通过马达控制关闭或打开。
作为本实用新型的进一步改进，该真空镀膜室内侧顶部至少设有一个能对托架上的工件加热的电阻加热体或红外加热体。
作为本实用新型的进一步改进，该进料室内侧顶部至少设有一个能对托架上的工件加热的电阻加热体或红外加热体。
作为本实用新型的进一步改进，该真空镀膜室位于该第二轨道下方设
有靶材，该靶材通过加热机构加热蒸发，该加热机构为安装于该真空镀膜室内并可放置该靶材的槽状金属加热体，该槽状金属加热体两侧设有一对电极，该对电极另一端引出于该真空镀膜室后，分别与电源变压器之次级绕组引出端连接。
作为本实用新型的进一步改进，该靶材还通过转动机构控制能相对该第二轨道上托架转动，该转动机构为通过轴承固定于该真空镀膜室内侧底部的转轴，该转轴上端与绝缘连接杆一端固定，并且该绝缘连接杆与该转轴呈直角连接，该绝缘连接杆另一端固定该槽状金属加热体，该对电极另一端沿该绝缘连接杆，并通过该转轴内的两通孔引出，该转轴下端伸出该真空镀膜室外后固定滚轮，并通过传送带和马达控制转动。
本实用新型的有益技术效果是：所述进料室、真空镀膜室和出料室分别用于装载镀膜工件、进行真空操作和取出镀膜工件，所述第一轨道与第一滑动机构、第二轨道与第二滑动机构以及第三轨道与第三滑动机构，实现了将装有镀膜工件的托架从进料室送入真空镀膜室，再由真空镀膜室送入出料室，而所述第二闸门和第三闸门既起到密封关闭作用(便于真空镀膜室操作)，又有利于托架在各工作室之间转换，所述第一滑动机构、第二滑动机构和第三滑动机构，以及第一闸门、第二闸门、第三闸门和第四闸门都分别通过马达控制操作的，因此整个镀膜过程(包括放置工件、真空镀膜和取出工件)连续进行，提高了加工效率。
附图说明
图1为本实用新型的半剖视结构示意图。
对照以上附图作如下补充：
20——真空镀膜室 3——靶材
21——进料室 46——托架
22——出料室 50——槽状金属加热体
23a——第一闸门 52——绝缘连接杆
23b——第二闸门 60——转轴
23c——第三闸门 61——轴承
23d——第四闸门 62——通孔
24——电热丝加热体 63——滚轮
25——电热丝加热体 64——传送带
30a——第一轨道 66——马达
30b——第二轨道 70——电源变压器
30c——第三轨道
具体实施方式
结合附图1，以下作详细描述：
一种真空镀膜自动转换装置，包括并排相连的进料室21、真空镀膜室20和出料室22，该进料室21与真空镀膜室20之间，以及该真空镀膜室20与出料室22之间分别设有能密封关闭的第二闸门23b和第三闸门23c，该第二闸门23b和第三闸门23c能分别通过马达控制关闭或打开，其中：
1)该进料室21设有用于托架滑动的第一轨道30a、控制托架(图中未示出)沿该第一轨道30a滑动的第一滑动机构以及能送入托架并密封关闭的第一闸门23a，该第一闸门23a能通过马达控制关闭或打开，便于装载托架和工件，该进料室21内侧顶部设有一个能对托架上的工件加热的电热丝加热体24，该第一滑动机构设于该第一轨道上并能支撑托架滑动的滚轮组，该滚轮组通过对应驱动马达控制滚动；
2)该真空镀膜室20设有能由该第一轨道30a上托架通过该第二闸门23b滑入的第二轨道(30b)、控制托46沿该第二轨道(30b)滑动的第二滑动机构，该托架46设有能放置镀膜工件的支撑板或挂钩，该真空镀膜室20内侧顶部设有两个能对托架上的工件加热的电热丝加热体25，图1中显示两个电热丝加热体25，该第二滑动机构设于该第二轨道上并能支撑托架滑动的滚轮组，该滚轮组通过对应驱动马达控制滚动；
3)该出料室22设有由该第二轨道30b上托架通过该第三闸门23c能滑入的第三轨道30c、控制托架沿该第三轨道30c滑动的第二滑动机构以及能取出托架并密封关闭的第四闸门23d，该第三滑动机构设于该第三轨道上并能支撑托架滑动的滚轮组，该滚轮组通过对应驱动马达控制滚动，该第四闸门23d能通过马达控制关闭或打开，便于取出镀膜工件。
该真空镀膜室20位于该第二轨道30b下方设有靶材3，该靶材通过加热机构加热蒸发，还通过转动机构控制能相对该第二轨道30b上托架46转动，该转动机构为通过轴承61固定于该真空镀膜室20内侧底部的转轴60，该转轴60上端与绝缘连接杆52一端固定，并且该绝缘连接杆52与该转轴60呈直角连接，该绝缘连接杆52另一端固定槽状金属加热体50，该对电极另一端沿该绝缘连接杆52，并通过该转轴60内的两通孔62引出后，分别与电源变压器70之次级绕组引出端连接，该转轴60下端伸出该真空镀膜室20外后固定滚轮63，并通过传送带64和马达66控制转动。
上述电热丝加热方式也可以采用红外加热体。所谓金属加热体就是利用金属体两端接通交流电，使得金属体发热产生热量，而红外加热和金属体加热不是本实用新型的创新点，属于现有技术，在此不作详细描述。
Claims (8)
1.一种真空镀膜自动转换装置，包括并排相连的进料室(21)、真空镀膜室(20)和出料室(22)，其特征在于：该进料室(21)与真空镀膜室(20)之间，以及该真空镀膜室(20)与出料室(22)之间分别设有能密封关闭的第二闸门(23b)和第三闸门(23c)，其中：
1)该进料室(21)设有用于托架滑动的第一轨道(30a)、控制托架沿该第一轨道(30a)滑动的第一滑动机构以及能送入托架并密封关闭的第一闸门(23a)；
2)该真空镀膜室(20)设有能由该第一轨道(30a)上托架通过该第二闸门(23b)滑入的第二轨道(30b)、控制托架(46)沿该第二轨道(30b)滑动的第二滑动机构；
3)该出料室(22)设有由该第二轨道(30b)上托架通过该第三闸门(23c)能滑入的第三轨道(30c)、控制托架沿该第三轨道(30c)滑动的第二滑动机构以及能取出托架并密封关闭的第四闸门(23d)。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于：该托架(46)设有能放置镀膜工件的支撑板或挂钩。
3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于：该第一滑动机构、第二滑动机构和第三滑动机构分别设于对应轨道上并能支撑托架滑动的滚轮组，各滚轮组分别通过对应驱动马达控制滚动。
4.根据权利要求1或2所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于：该第一闸门(23a)、第二闸门(23b)、第三闸门(23c)和第四闸门(23d)分别通过马达控制关闭或打开。
5.根据权利要求1或2所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于：该真空镀膜室(20)内侧顶部至少设有一个能对托架上的工件加热的电热丝加热体(25)或红外加热体。
6.根据权利要求1或2所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于：该进料室(21)内侧顶部至少设有一个能对托架上的工件加热的电热丝加热体(24)或红外加热体。
7.根据权利要求1或2所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于：该真空镀膜室位于该第二轨道(30b)下方设有靶材(3)，该靶材通过加热机构加热蒸发，该加热机构为安装于该真空镀膜室内并可放置该靶材(3)的槽状金属加热体(50)，该槽状金属加热体两侧设有一对电极，该对电极另一端引出于该真空镀膜室(20)后，分别与电源变压器(70)之次级绕组引出端连接。
8.根据权利要求7所述的真空镀膜自动转换装置，其特征在于：该靶材(3)还通过转动机构控制能相对该第二轨道(30b)上托架(46)转动，该转动机构为通过轴承(61)固定于该真空镀膜室(20)内侧底部的转轴(60)，该转轴(60)上端与绝缘连接杆(52)一端固定，并且该绝缘连接杆(52)与该转轴(60)呈直角连接，该绝缘连接杆(52)另一端固定该槽状金属加热体(50)，该对电极另一端沿该绝缘连接杆(52)，并通过该转轴(60)内的两通孔(62)引出，该转轴(60)下端伸出该真空镀膜室(20)外后固定滚轮(63)，并通过传送带(64)和马达(66)控制转动。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011202657819U CN202181349U (zh) | 2011-07-26 | 2011-07-26 | 真空镀膜自动转换装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2011202657819U CN202181349U (zh) | 2011-07-26 | 2011-07-26 | 真空镀膜自动转换装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN202181349U true CN202181349U (zh) | 2012-04-04 |
Family
ID=46174392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011202657819U Expired - Fee Related CN202181349U (zh) | 2011-07-26 | 2011-07-26 | 真空镀膜自动转换装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN202181349U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107429397A (zh) * | 2015-02-13 | 2017-12-01 | 布勒阿尔策瑙股份有限公司 | 用于运行在线涂覆设备的方法和在线涂覆设备 |
-
2011
- 2011-07-26 CN CN2011202657819U patent/CN202181349U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107429397A (zh) * | 2015-02-13 | 2017-12-01 | 布勒阿尔策瑙股份有限公司 | 用于运行在线涂覆设备的方法和在线涂覆设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106087028B (zh) | 一种电镀夹导电式卷对卷垂直连续电镀设备 | |
| CN102899616A (zh) | 真空镀膜自动转换装置 | |
| CN204849102U (zh) | 一种垂直连续式电镀铜设备 | |
| CN101440475A (zh) | 基片支承装置及包含该基片支承装置的溅射设备 | |
| CN210788969U (zh) | 一种延伸装置用的上料组件 | |
| CN201801582U (zh) | 磁控溅射真空镀膜机组 | |
| CN202181349U (zh) | 真空镀膜自动转换装置 | |
| CN207313699U (zh) | 一种曲面玻璃镀膜装置 | |
| CN202499902U (zh) | 可实现自动翻转的基片架 | |
| CN209243160U (zh) | 管状玻璃真空镀膜装置 | |
| CN215404613U (zh) | 一种具有零件自动烘干功能的电镀装置 | |
| CN202187056U (zh) | 真空镀膜装置的改良结构 | |
| CN202181344U (zh) | 真空镀膜装置 | |
| CN107723677A (zh) | 一种金属板的镀膜方法与设备 | |
| CN206376008U (zh) | 一种自动化的激光熔覆制备装置 | |
| CN207797753U (zh) | 用于电阻炉的取件装置 | |
| CN206215462U (zh) | 一种提拉镀膜装置 | |
| CN108636722A (zh) | 定子线圈自动涂粉设备 | |
| CN102899619B (zh) | 真空镀膜装置的改良结构 | |
| CN108893736A (zh) | 旋耕刀全自动表面涂层成型机及其工作方法 | |
| CN106476400B (zh) | 一种金属封装膜的加工设备及加工方法 | |
| CN103433594A (zh) | 能消除回转盘惯性运动的电极帽堆焊用装置 | |
| CN204356427U (zh) | 电镀设备用上料装置 | |
| CN210140635U (zh) | 一种电镀件工序流转机构 | |
| CN107130225B (zh) | 一种自旋转立式镀膜基架及镀膜设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: HUAIAN YULIN METAL TECHNOLOGY CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: YULIN VEHICLE FITTINGS (KUNSHAN) CO., LTD. Effective date: 20140821 |
|
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 215325 SUZHOU, JIANGSU PROVINCE TO: 223300 HUAIAN, JIANGSU PROVINCE |
|
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20140821 Address after: 223300 No. 267 Qianjiang Road, Huaiyin District, Jiangsu, Huaian Patentee after: Huaian Yulin Metal Technology Co., Ltd. Address before: Suzhou City, Jiangsu province 215325 town Kunshan City Zhaofeng Road No. 8 Patentee before: Yulin Auto Accessories (Kunshan) Co., Ltd. |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20120404 Termination date: 20160726 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |