CN207313699U - 一种曲面玻璃镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种曲面玻璃镀膜装置，包括装置本体、基片台、溅射台、横向转动杆和竖向转动杆，装置本体顶端设有横向转动电机、内腔壁设有环形导轨、中心位置设有转动块，竖向转动电机通过环形导轨副连接装置本体，基片台上设有基片口，溅射台上设有溅射喷头，基片口位于溅射喷头正上方。通过对沿着空间竖直或水平或两个方向同时旋转的控制，实现在不破坏镀膜室真空环境情况下，对曲面玻璃单、双面镀膜的自由控制，并通过多个溅射喷头和多个基片口，在基片台旋转状态下，实现高效率的曲面玻璃镀膜。

Description

一种曲面玻璃镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及玻璃制备领域，具体为一种曲面玻璃镀膜装置。

背景技术

随着国民经济水平的提高，玻璃行业和其他行业的诸多联系越来越明显，玻璃行业的发展对推动整个国民经济的发展都起着积极作用，但是在各种不同的环境中对所需玻璃的各种特性要求也越来越高，特别是镀膜玻璃的工艺技术要求也越来越高。现有专利CN206467286U提供了一种改进的磁控溅射镀膜设备，包括真空室体、呈圆盘状的基片台，真空室体上方安装有伺服电机和减速机构，与伺服电机输出端相对的真空室体底面位置安装有一轴承，一连接轴穿过所述基片台中心且两端分别与动力装置输出端连接及固定于轴承上，连接轴与基片台螺纹连接，且通过预调螺母固定，基片台上沿其圆周方向均匀设置有若干个溅射孔，每个溅射孔与其外圆边相切设置有两平行的压板条，压板条通过调节螺栓固定在基片台上，真空室体底面上与基片台上溅射孔相对的位置固定设有至少一个靶座。该技术优点在拓展了样品台的利用效率，满足了试验对样品数量、多元膜的均匀性及一致性的要求。但是该技术基片台采用单一的旋转方向只能完成单面玻璃镀膜，如果要玻璃双面镀膜，则还需要打开镀膜装置调整基片上下面方向，就会破坏镀膜装置的真空环境，并且二次镀膜时需要再次制造真空环境，耗费大量人力、物力和财力，存在很大的局限性。

本实用新型提供了一种曲面玻璃的镀膜装置，通过对沿着空间竖直旋转或水平旋转或两个方向同时旋转的控制，实现在不破坏镀膜室真空环境情况下，对面曲面玻璃单、双镀膜的自由控制，并通过设置多个溅射喷头和多个基片口，在基片台旋转状态下，实现高效率的曲面玻镀膜。

实用新型内容

为了克服现有背景技术中不能实现在不破坏真空环境情况下自主调整曲面玻璃单、双面镀膜的不足之处，本实用新型提供了一种曲面玻璃镀膜装置。

该装置包括装置本体、基片台、溅射台、横向转动杆和竖向转动杆，所述溅射台焊接在装置本体的下端面；

所述装置本体为腔体结构，其顶端设有横向转动电机、沿着其内腔壁设有环形导轨，所述装置本体中心设有转动块，所述转动块通过横向转动杆和横向转动电机传动连接，所述环形导轨圆周端上方设有两个竖向转动电机，所述环形导轨上开设有滑槽，所述竖向转动电机下端设有滑块，所述环形导轨通过滑槽和滑块的连接和竖向转动电机滑动连接；

所述竖向转动杆贯穿焊接于基片台，所述竖向转动电机通过竖向转动杆和转动块传动连接，所述基片台上设有若干放置玻璃的基片口和用于固定玻璃的夹具，所述溅射台上设有若干溅射喷头，所述基片口位于溅射喷头正上方。

优选的，横向转动杆和竖向转动杆为传动轴。

优选的，夹具平行安装在基片台上。

优选的，溅射喷头通过橡胶套无缝安装在溅射台上。

优选的，述转动块为腔体结构，其内腔壁设有转动轴承，所述竖向转动杆通过转动轴承和转动块滚动连接。

优选的，横向转动杆上开设有螺纹，所述转动块通过螺母和螺纹的配合固定连接横向转动杆。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过对沿着空间竖直旋转或水平旋转或两个方向同时旋转的控制，实现在不破坏镀膜室真空环境情况下，对曲面玻璃单、双面镀膜的自由控制，并通过设置多个溅射喷头和多个基片口，在基片台旋转状态下，实现高效率的曲面镀膜。

附图说明

图1为本实用新型一种曲面玻璃的镀膜装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种曲面玻璃的镀膜装置的竖向转动电机与导轨副的装配示意图；

图3为本实用新型一种曲面玻璃的镀膜装置的基片台的俯视图；

图4为本实用新型一种曲面玻璃的镀膜装置的中转块与竖向转动杆的装配示意图；

附图标记：1-装置本体，2-基片台，3-溅射台，4-横向转动杆，5-竖向转动杆，6-溅射喷头，7-橡胶套，8-基片口，9-夹具，10-竖向转动电机，11-环形导轨，12-滑块，13-横向转动电机，14-中转块，15-滚动轴承。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4

如图1所示的一种曲面玻璃镀膜装置，包括装置本体1、基片台2、溅射台3、横向转动杆4和竖向转动杆5，横向转动杆4和竖向转动杆5为传动轴，溅射台3焊接在装置本体1的下端面，当原材变为气体后，在通过溅射喷头6时利用磁场对原材气体分子分解出的原子、电子进行加速喷向等离子体层进行镀膜。

装置本体1为曲面玻璃的镀膜室，为腔体结构，其顶端设有横向转动电机13、沿着其内腔壁设有环形导轨11，装置本体1中心设有转动块14，转动块14通过横向转动杆4和横向转动电机13传动连接，横向转动杆4上开设有螺纹，转动块14通过螺母和螺纹的配合固定连接横向转动杆4。

如图2所示，环形导轨11圆周端上方设有两个竖向转动电机10，环形导轨11上开设有滑槽，竖向转动电机10下端设有滑块12，环形导轨11通过滑槽和滑块12的连接和竖向转动电机10滑动连接。

竖向转动杆5贯穿焊接于基片台2，如图3所示，转动块14为腔体结构，其内腔壁设有转动轴承15，竖向转动杆5通过转动轴承15和转动块14滚动连接，竖向转动电机10通过竖向转动杆5和转动块14传动连接。

如图4所示，基片台2上设有若干放置玻璃的基片口8和用于固定玻璃的夹具9，其平行安装在基片台2上，溅射台3上设有若干溅射喷头6，其通过橡胶套7无缝安装在溅射台3上，基片口8位于溅射喷头6正上方，将曲面玻璃放入基片口8，通过夹具9对曲面玻璃进行固定，溅射喷头6正对着曲面玻璃的正下方进行溅射镀膜。

当曲面玻璃放入基片口8并用过夹具9夹紧后，根据需要的工艺要求进行设定，如果只需曲面玻璃单面镀膜，则只需启动横向转动电机13，在镀膜过程中，横向转动电机13带动横向转动杆4转动，通过中转块14带动基片台2转动。虽然曲面玻璃表面有弧度，但是转动的曲面玻璃配合镀膜材料穿越磁场溅射到曲面玻璃上，解决了镀膜过程中可能会出现的镀膜不均匀情况。如果需要曲面玻璃双面镀膜，则固定曲面玻璃后，只需开启竖向转动电机10或同时开启横向转动电机13和竖向转动电机10，在镀膜过程中，曲面玻璃在竖向转动杆5和横向转动杆4的带动下，实现在镀膜室内的全方位旋转，镀膜材料能均匀的吸附贴合在曲面玻璃两表面上。若干溅射喷头6的安装，使得操作人员采用不同的喷头分时段溅射不同的镀膜材料，实现本装置在不破坏镀膜室真空环境下多层、多元化镀膜。

最后应说明的是：以上仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种曲面玻璃镀膜装置，其特征在于，包括：

装置本体(1)、基片台(2)、溅射台(3)、横向转动杆(4)和竖向转动杆(5)，所述溅射台(3)焊接在装置本体(1)的下端面；

所述装置本体(1)为腔体结构，其顶端设有横向转动电机(13)、沿着其内腔壁设有环形导轨(11)，所述装置本体(1)中心设有转动块(14)，所述转动块(14)通过横向转动杆(4)和横向转动电机(13)传动连接，所述环形导轨(11)圆周端上方设有两个竖向转动电机(10)，所述环形导轨(11)上开设有滑槽，所述竖向转动电机(10)下端设有滑块(12)，所述环形导轨(11)通过滑槽和滑块(12)的连接和竖向转动电机(10)滑动连接；

所述竖向转动杆(5)贯穿固定于基片台(2)，所述竖向转动电机(10)通过竖向转动杆(5)和转动块(14)传动连接，所述基片台(2)上设有若干放置玻璃的基片口(8)和用于固定玻璃的夹具(9)，所述溅射台(3)上设有若干溅射喷头(6)，所述基片口(8)位于溅射喷头(6)正上方。

2.根据权利要求1所述的一种曲面玻璃镀膜装置，其特征在于，所述横向转动杆(4)和竖向转动杆(5)为传动轴。

3.根据权利要求1所述的一种曲面玻璃镀膜装置，其特征在于，所述夹具(9)平行安装在基片台(2)上。

4.根据权利要求1所述的一种曲面玻璃镀膜装置，其特征在于，所述溅射喷头(6)通过橡胶套(7)无缝安装在溅射台(3)上。

5.根据权利要求1所述的一种曲面玻璃镀膜装置，其特征在于，所述转动块(14)为腔体结构，其内腔壁设有转动轴承(15)，所述竖向转动杆(5)通过转动轴承(15)和转动块(14)滚动连接。

6.根据权利要求1所述的一种曲面玻璃镀膜装置，其特征在于，所述横向转动杆(4)上开设有螺纹，所述转动块(14)通过螺母和螺纹的配合固定连接横向转动杆(4)。