EA201791800A1 - Способ эксплуатации поточной установки для нанесения покрытия и поточная установка для нанесения покрытия - Google Patents

Способ эксплуатации поточной установки для нанесения покрытия и поточная установка для нанесения покрытия

Info

Publication number
EA201791800A1
EA201791800A1 EA201791800A EA201791800A EA201791800A1 EA 201791800 A1 EA201791800 A1 EA 201791800A1 EA 201791800 A EA201791800 A EA 201791800A EA 201791800 A EA201791800 A EA 201791800A EA 201791800 A1 EA201791800 A1 EA 201791800A1
Authority
EA
Eurasian Patent Office
Prior art keywords
chamber
buffer chamber
lock
coating
buffer
Prior art date
Application number
EA201791800A
Other languages
English (en)
Other versions
EA034259B1 (ru
Inventor
Удо Шрайбер
Инго Вегенер
Ютта Трубе
Original Assignee
Бюлер Альценау Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Бюлер Альценау Гмбх filed Critical Бюлер Альценау Гмбх
Publication of EA201791800A1 publication Critical patent/EA201791800A1/ru
Publication of EA034259B1 publication Critical patent/EA034259B1/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
    • B05D3/04—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by exposure to gases
    • B05D3/0493—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by exposure to gases using vacuum
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
    • C23C14/566—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases using a load-lock chamber
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

Изобретение относится к способу эксплуатации поточной установки для нанесения покрытия, которая имеет входную шлюзовую камеру (220) с входными шлюзовыми воротами (260), примыкающую к входной шлюзовой камере (220) первую буферную камеру (221), которая выполнена с возможностью отделения с помощью первых шлюзовых ворот (261) от входной шлюзовой камеры (220), примыкающую к первой буферной камере (221) обрабатывающую камеру (235), которая выполнена с возможностью отделения с помощью вторых шлюзовых ворот (264) от буферной камеры (221), примыкающую к обрабатывающей камере (235) вторую буферную камеру (222), которая выполнена с возможностью отделения с помощью третьих шлюзовых ворот (265) от обрабатывающей камеры (235), примыкающую ко второй буферной камере (222) выходную шлюзовую камеру (240) с выходными воротами (263), которая выполнена с возможностью отделения с помощью четвертых шлюзовых ворот (262) от второй буферной камеры (222), при этом входная шлюзовая камера (220), буферная камера (221), буферная камера (222) и выходная шлюзовая камера (240) выполнены в виде модуля для размещения подложек до заданной длины, при этом подложки (200) для нанесения покрытия транспортируется от входной шлюзовой камеры (220) через первую буферную камеру (221) к обрабатывающей камере (235) и от обрабатывающей камеры (235) через вторую буферную камеру (222) к выходной шлюзовой камере (240), который отличается тем, что первая буферная камера (221) имеет щелевое шлюзовое устройство по меньшей мере с одной щелевой диафрагмой (221b), с помощью которой при открытых или закрытых первых шлюзовых воротах (261) внутри первой буферной камеры (221) устанавливается градиент давления между давлением в зоне вторых шлюзовых ворот (264) и давлением в зоне первых шлюзовых ворот (261). Кроме того, изобретение относится к поточной установке для нанесения покрытия для выполнения способа.
EA201791800A 2015-02-13 2016-02-15 Способ эксплуатации поточной установки для нанесения покрытия и поточная установка для нанесения покрытия EA034259B1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102015001706 2015-02-13
PCT/EP2016/053187 WO2016128581A1 (de) 2015-02-13 2016-02-15 Verfahren zum betrieb einer inline-beschichtungsanlage und inline-beschichtungsanlage

Publications (2)

Publication Number Publication Date
EA201791800A1 true EA201791800A1 (ru) 2017-11-30
EA034259B1 EA034259B1 (ru) 2020-01-22

Family

ID=55404702

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EA201791800A EA034259B1 (ru) 2015-02-13 2016-02-15 Способ эксплуатации поточной установки для нанесения покрытия и поточная установка для нанесения покрытия

Country Status (8)

Country Link
US (1) US10150139B2 (ru)
EP (1) EP3256618B1 (ru)
JP (1) JP6463846B2 (ru)
KR (1) KR102062441B1 (ru)
CN (1) CN107429397B (ru)
EA (1) EA034259B1 (ru)
MX (1) MX2017010439A (ru)
WO (1) WO2016128581A1 (ru)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102020004935B4 (de) 2020-08-13 2022-08-25 Singulus Technologies Aktiengesellschaft Spaltblende
CN117305801B (zh) * 2023-11-29 2024-03-08 龙焱能源科技（杭州）有限公司 用于基板镀膜的传动装置及镀膜传动系统

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8300443A (nl) * 1983-02-04 1984-09-03 Integrated Automation Module voor hoogvacuum processing.
NL8400658A (nl) * 1984-03-01 1985-10-01 Bok Edward Verbeterde installatie voor vacuum processing van substraten.
DE10348639B4 (de) 2003-10-15 2009-08-27 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Schleusensystem für eine Vakuumanlage
DE102004008598B4 (de) 2004-02-21 2006-12-28 Applied Films Gmbh & Co. Kg Verfahren für den Betrieb einer Inline-Beschichtungsanlage
US20080223294A1 (en) * 2007-03-14 2008-09-18 Applied Materials, Inc. Flooding Chamber For Coating Installations
DE112008000006A5 (de) * 2007-06-22 2009-05-14 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Schleusen eines Substrats in eine und aus einer Vakuumbeschichtungsanlage
WO2009004048A1 (de) 2007-07-03 2009-01-08 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Verfahren und vorrichtung zum schleusen überlanger substrate in einer vakuumbeschichtungsanlage
DE102007058052B4 (de) * 2007-11-30 2013-12-05 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage
CN202181349U (zh) * 2011-07-26 2012-04-04 御林汽配(昆山)有限公司 真空镀膜自动转换装置
EP2762608B1 (en) * 2013-01-31 2019-10-02 Applied Materials, Inc. Gas separation by adjustable separation wall

Also Published As

Publication number Publication date
JP6463846B2 (ja) 2019-02-06
KR102062441B1 (ko) 2020-01-03
WO2016128581A1 (de) 2016-08-18
CN107429397B (zh) 2022-02-15
US10150139B2 (en) 2018-12-11
EP3256618A1 (de) 2017-12-20
CN107429397A (zh) 2017-12-01
JP2018505563A (ja) 2018-02-22
KR20170113661A (ko) 2017-10-12
EA034259B1 (ru) 2020-01-22
EP3256618B1 (de) 2020-01-08
US20180036768A1 (en) 2018-02-08
MX2017010439A (es) 2018-01-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BR112018002386A8 (pt) Anticorpo contra glypican-3 e aplicação do mesmo
BR112018001015A2 (pt) dispositivo e método para conectar regiões de porta separadas usando um corte de porta
EA201592027A1 (ru) Способ обработки для извлечения благородных, цветных и редких элементов
BR112017020845A2 (pt) ?dispositivo para capturar e remover material magnético de um fluxo de material?
BR112017002708A2 (pt) material avançado para equipamento de processamento de metal fundido
MX2017004646A (es) Aparato y metodo de tratamiento de sustrato de piel de animal.
GB2561994A (en) Open-top microfluidic devices and methods for simulating a function of a tissue
UY36696A (es) Un método y un aparato para formar una fracción de lignina, una composición de lignina y su uso
BR112017000956A2 (pt) extração de emulsão de um separador de óleo/água e processamento por diluição de água do mesmo separador
DK3802918T3 (da) Fremgangsmåde og anordning til tilvejebringelse af i det mindste en produktstrøm ved hjælp af elektrolyse
MX2017004798A (es) Espectrometro de movilidad de iones con modificacion de iones.
EP2944763A3 (en) Hot gas path component
EA201791800A1 (ru) Способ эксплуатации поточной установки для нанесения покрытия и поточная установка для нанесения покрытия
CL2017000602A1 (es) Inodoro con sistema de chorro cebado.
BR112019003309A2 (pt) hidrofone de estado sólido, método utilizando um hidrofone de estado sólido, e, ferramenta de furo de poço.
MX2017001095A (es) Impactor en cascada.
EA201792395A1 (ru) Способ и устройство для управления реакцией
CL2020000642A1 (es) Aparato de preparación de muestras en lote.
BR112019004299A2 (pt) peptídeos de nnif e relacionados a nnif e métodos relacionados
FR3024946B1 (fr) Procede pour determiner le pronostic de survie d'un patient atteint d'un cancer du pancreas
CL2018000046A1 (es) Instalación transportadora.
GB2546644A (en) Solids control methods, apparatus, and systems
AR096609A1 (es) Aparato y método para control de fluidos
MX2018000936A (es) Herramienta de analisis de fluido de formacion que comprende un elemento informatico integrado y un filtro optico.
EA201592088A1 (ru) Фурма для введения твердых веществ