KR101327508B1 - 프레스 방식의 클리닝장치 - Google Patents

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Abstract

프레스 방식의 클리닝장치가 개시된다. 본 발명에 따른 프레스 방식의 클리닝장치는 상금형과 하금형으로 구성된 금형틀; 하금형의 하부에 결합되는 실린더 본체; 실린더 본체에 결합되어 승강되며, 상기 하금형 및 상금형을 관통하여 상금형에 상단이 고정된 실린더 로드; 실린더 본체의 상부에 형성되며 상기 하금형의 하부에 형성된 장착홈에 결합되어 실린더 본체의 승강작동시 실린더 로드와 실린더 본체를 수직상태로 유지될 수 있도록 하는 구면 형상의 실린더 튜브; 하금형의 장착홈에 형성되며 상기 실린더 튜브와 대응되게 구면형상으로 형성된 구면 브라켓; 실린더 튜브의 외주에 결합되어 상기 구면 브라켓에 지지되어 탄성을 발휘하여 실린더 튜브의 파손을 방지하상기 실린더 튜브의 외주에 결합되어 상기 구면 브라켓에 지지되어 탄성을 발휘하여 실린더 튜브의 파손을 방지하도록 호형이며, 비틀림 형성된 복수의 판 스프링이 상호 맞대어져 원형을 이루면서 상기 실린더 튜브의 외주에 결합되는 탄성수단;을 포함하여 이루어진다.
이에 따르면 미끄럼 가이드를 배제함으로써 구리스 주입 작업이 배제될 수 있고 아울러 분진발생을 원천적으로 방지할 수 있으며, 미끄럼 가이드가 없더라도 프레스가 정확하게 작동될 수 있고, 구성이 간결하여 제조 공수가 절감될 수 있는 효과가 있다.

Description

프레스 방식의 클리닝장치{PRESS TYPE CLEANING APPARATUS}
본 발명은 프레스 방식의 클리닝장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 웨이퍼가 수용되는 안착홈을 갖는 상,하금형을 실린더 구동에 의한 프레스 방식으로 작동시키고, 안착홈의 내부에 고압 공기를 주입하여 웨이퍼의 표면을 세척하도록 하며, 기존 프레스의 왕복을 지지하는 가이드를 제거하여 이물질의 발생을 줄이고 작동 실린더의 파손을 방지하여 보다 안전하게 작동될 수 있도록 한 프레스 방식의 클리닝장치에 관한 것이다.
일반적으로 프레스는 높은 압축력으로 상,하 두개의 프레스 몸체를 압착하여 형상의 제작이나 고압 기체 또는 액체의 압축에 사용된다.
이에 관련된 선행기술로는 국내공개특허 제2009-0097598호 및 국내공개특허 제2006-0053665호가 게시된 바 있다.
한편 도 1은 종래 프레스 방식의 클리닝장치의 일 예를 나타낸 것으로, 실제 압착을 위한 상금형(100) 및 하금형(110)을 열고 닫는 왕복 운동을 하기 위해 고압의 실린더(200)를 장착하여 높은 압축력으로 닫을 수 있도록 한다.
이때 상,하금형(100,110)이 어긋나지 않도록 미끄럼 가이드(300)를 상,하금형(100,110)에 장착하여 어긋나지 않고 똑바로 상승 및 하강할 수 있도록 지지해줄 수 있게 제작되어 있다.
그러나 상기와 같은 종래 프레스의 구성은 지지하고있는 미끄럼 가이드의 마찰력을 최소화하기 위하여 구리스의 도포가 필수적이고, 항상 미끄럼 마찰운동을 하고있는 관계로 분진발생하게 되어 오염도를 중시하는 제품 제작에는 적합하지 않은 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해 안출된 것으로, 미끄럼 가이드를 배제함으로써 구리스 주입 작업이 배제될 수 있고 아울러 분진발생을 원천적으로 방지할 수 있으며, 미끄럼 가이드가 없더라도 프레스가 정확하게 작동될 수 있도록 중심가이드수단이 형성된 프레스 방식의 클리닝장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기한 본 발명의 목적은, 상금형과 하금형으로 구성된 금형틀; 하금형의 하부에 결합되는 실린더 본체; 실린더 본체에 결합되어 승강되며, 상기 하금형 및 상금형을 관통하여 상금형에 상단이 고정된 실린더 로드; 실린더 본체의 상부에 형성되며 상기 하금형의 하부에 형성된 장착홈에 결합되어 실린더 본체의 승강작동시 실린더 로드와 실린더 본체를 수직상태로 유지될 수 있도록 하는 구면 형상의 실린더 튜브; 하금형의 장착홈에 형성되며 상기 실린더 튜브와 대응되게 구면형상으로 형성된 구면 브라켓; 실린더 튜브의 외주에 결합되어 상기 구면 브라켓에 지지되어 탄성을 발휘하여 실린더 튜브의 파손을 방지하상기 실린더 튜브의 외주에 결합되어 상기 구면 브라켓에 지지되어 탄성을 발휘하여 실린더 튜브의 파손을 방지하도록 호형이며, 비틀림 형성된 복수의 판 스프링이 상호 맞대어져 원형을 이루면서 상기 실린더 튜브의 외주에 결합되는 탄성수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 프레스 방식의 클리닝장치에 의해 달성될 수 있다.
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실린더 로드의 상단에 결합구가 결합되고, 상기 결합구에 복수의 볼트가 체결되어 상금형에 나사 결합되어 고정되는 것을 특징으로 한다.
삭제
상금형 및 하금형에는 고압에어가 주입되는 상부 및 하부런너와, 상부 및 하부런너와 각기 통하며 대상물이 삽입되는 상부 및 하부 캐비티가 각기 형성되고, 상부 런너와 통하는 복수의 에어주입구와, 하부 런너와 통하는 복수의 에어유출구가 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면 미끄럼 가이드를 배제함으로써 구리스 주입 작업이 배제될 수 있고 아울러 분진발생을 원천적으로 방지할 수 있으며, 미끄럼 가이드가 없더라도 프레스가 정확하게 작동될 수 있고, 구성이 간결하여 제조 공수가 절감될 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래 프레스 방식의 클리닝장치의 일 예를 나타낸 도면.
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 프레스 방식의 클리닝장치를 나타낸 작동 단면도.
도 4는 상기 도 2의 요부 확대 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 프레스 방식의 클리닝장치를 상부에서 내려다 본 사시도.
도 6은 본 발명에 따른 프레스 방식의 클리닝장치를 저면에서 바라본 사시도.
이하 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 토대로 상세하게 설명하면 다음과 같다.
첨부된 도면 중에서, 도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 프레스 방식의 클리닝장치를 나타낸 작동 단면도, 도 4는 상기 도 2의 요부 확대 단면도, 도 5는 본 발명에 따른 프레스 방식의 클리닝장치를 상부에서 내려다 본 사시도, 도 6은 본 발명에 따른 프레스 방식의 클리닝장치를 저면에서 바라본 사시도이다.
도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프레스 방식의 클리닝장치(A)는, 상금형(2)과 하금형(4)으로 구성된 금형틀(M); 하금형(4)의 하부에 결합되는 실린더 본체(6); 실린더 본체(6)에 결합되어 승강되며, 하금형(4) 및 상금형(2)을 관통하여 상금형(2)에 상단이 고정된 실린더 로드(62); 실린더 본체(6)의 상부에 형성되며 상기 하금형(4)의 하부에 형성된 장착홈(40)에 결합되어 실린더 본체(6)의 승강작동시 실린더 로드(62)와 실린더 본체(6)를 수직상태로 유지될 수 있도록 하는 구면 형상의 실린더 튜브(64); 하금형(4)의 장착홈(40)에 형성되며 상기 실린더 튜브(64)와 대응되게 구면형상으로 형성된 구면 브라켓(7); 실린더 튜브(64)의 외주에 결합되어 상기 구면 브라켓(7)에 지지되어 탄성을 발휘하여 실린더 튜브(64)의 파손을 방지하는 탄성수단(8);을 포함한다.
상금형(2)의 하부면에는 대상물이 삽입되도록 상부 캐비티(22)가 형성되고, 상금형(2)의 내부에는 상부 캐비티(22)와 통하며 고압에어가 주입되도록 다수의 상부런너(21)가 형성된다.
그리고 상부런너(21)에는 복수의 에어주입구(52)가 통하도록 연결되어 외부에서 에어를 주입하여 상부 캐비티(22) 내에 주입될 수 있어 이를 통해 대상물에 묻어있는 불순물을 불어내어 제거토록 한다.
하금형(4)의 상부면에는 상기 상부 캐비티(22)와 대응되도록 하부 캐비티(42)가 형성되고, 하금형(4)의 내부에는 하부 캐비티(42)와 통하며 고압에어가 주입되도록 다수의 하부런너(41)가 형성된다.
하부런너(41)에는 복수의 에어유출구(54)가 통하도록 연결되어 상부런너(21) 및 상부 캐비티(22)를 경유한 에어가 하부 캐비티(42) 및 하부런너(41)를 통과하여 대상물에서 이탈된 불순물과 함께 배출될 수 있다.
상기의 설명에서 대상물이란 반도체 웨이퍼나 기타 반도체 물품을 의미함을 밝혀둔다.
실린더 본체(6)는 하금형(4)의 저면에 오목하게 형성된 장착홈(40)에 결합되는 것으로, 공압이나 유압을 동력원으로 하여 내부의 피스톤의 승강작동이 이루어지고, 이에 종동되어 실린더 로드(62)의 승강작동이 유발된다.
실린더 본체(6)의 상부에는 복수의 볼트체결공을 갖는 플랜지(60)가 형성되고, 이 플랜지(60)에 체결되는 볼트(미도시)가 탄성수단(8)을 관통하여 하금형(4)의 장착홈(40)에 결합됨으로써 하금형(4)과 일체가 될 수 있다.
실린더 로드(62)는 상금형(2)을 관통하여 상부로 돌출되고, 이 돌출된 상단에 결합구(63)가 결합되고, 상기 결합구(63)에 복수의 볼트(64)가 체결되어 상금형(2)에 나사 결합되어 고정된다.
바람직하게는 실린더 본체(6)의 상부에 결합되며 실린더 로드(62)가 관통 결합되는 실린더 튜브(64)가 형성되며, 실린더 튜브(64)는 그 상면이 상방으로 볼록하게 형성되어 구면을 이루도록 한다.
이에 대응되도록 하금형(4)의 장착홈(40)에 결합되는 구면 브라켓(7)은 하면이 오목하게 형성되어 구면을 이루도록 한다.
따라서 실린더 튜브(64)가 구면 브라켓(7)과 밀착되어 결합됨으로써 실린더 본체(6)는 항상 수직된 상태가 유지될 수 있고, 아울러 실린더 로드(62)의 수직 상태도 유지될 수 있다.
즉 하금형(4)과 실린더 본체(6)는 일체화되고, 하금형(4)의 상승 및 하강작동에 동반되어 실린더 본체(6)도 상승 및 하강작동된다.
이렇게 실린더 본체(6)의 승강작동을 반복하는 과정에서도 구면으로 형성된 실린더 튜브(64) 및 구면 브라켓(7)에 의해 실린더 로드(62)의 수직된 상태가 유지될 수 있어 승강작동의 오차를 상쇄할 수 있다.
또한 실린더 본체(6)가 상승하면서, 하금형(4)과 상금형(2)이 밀착되었을때 발생되는 충격을 흡수토록 하여 파손이나 변형을 방지하기 위해 탄성수단(8)이 실린더 튜브(64)의 외주연에 장착된다.
탄성수단(8)은 소정의 두께를 갖는 금속재를 가공하여 호형이 되도록 형성되며, 일단에서 타단으로 갈수록 소정의 비틀림 각도를 갖도록 형성된 판 스프링이다.
상기 소정의 비틀림 각도는 약 5~10°의 각도이며, 2개의 판 스프링이 실린더 튜브(64)의 외주연에 상호 맞대어져 원형을 이루도록 결합된다.
이와 같이 결합된 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.
공압이나 유압이 실린더 본체(6)에 공급되면, 내부의 피스톤(미도시)의 하강과, 이에 연동되어 실린더 로드(62)가 하강된다.
따라서 하금형(4) 및 실린더 본체(6)가 상방으로 상승하게 되고, 하금형(4)이 상금형과 밀착되어 결합됨으로써 상부 캐비티(22)와 하부 캐비티(42)가 결합되어 공동(恐動)을 이루게 된다.
이렇게 공동을 이루는 상부 캐비티(22)와 하부 캐비티(42)에는 대상물이 안착된다.
이후 에어주입구(52)를 통해 고압에어가 주입되어 상부런너(21)와 상부 캐비티(22) 및 하부 캐비티(42)와 하부런너(41)의 내부를 세척하여 불순물을 제거한다.
이후 상부런너(21) 및 하부런너(41)를 통해 고압에어가 주입되어 상부 및 하부 캐비티(22,42)를 경유하여 그 내부에 잔존하는 불순물을 불어내어 제거한다.
따라서 본 발명은 하금형(4) 및 실린더 본체(6)가 직접 상승 및 하강 작동될 수 있고, 별도의 가이드 수단이 없더라도 뒤틀림 없이 승강작동이 이루어질 수 있어 구성이 간결해질 수 있게 된다.
비록 본 발명이 상기 언급된 바람직한 실시예와 관련하여 설명되어졌지만, 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 청구의 범위에 속함은 자명하다.
2 : 상금형 4 : 하금형
6 : 실린더 본체 7 : 구면 브라켓
8 : 탄성수단 21 : 상부 런너
22 : 상부 캐비티 41 : 하부 런너
40 : 장착홈 42 : 하부 캐비티
52 : 에어주입구 54 : 에어유출구
60 : 플랜지 62 : 실린더 로드
64 : 실린더 튜브

Claims (5)

  1. 상금형과 하금형으로 구성된 금형틀;
    하금형의 하부에 결합되는 실린더 본체;
    상기 실린더 본체에 결합되어 승강되며, 상기 하금형 및 상금형을 관통하여 상금형에 상단이 고정된 실린더 로드;
    상기 실린더 본체의 상부에 형성되며 상기 하금형의 하부에 형성된 장착홈에 결합되어 실린더 본체의 승강작동시 실린더 로드와 실린더 본체를 수직상태로 유지될 수 있도록 하는 구면 형상의 실린더 튜브;
    상기 하금형의 장착홈에 형성되며 상기 실린더 튜브와 대응되게 구면형상으로 형성된 구면 브라켓;
    상기 실린더 튜브의 외주에 결합되어 상기 구면 브라켓에 지지되어 탄성을 발휘하여 실린더 튜브의 파손을 방지하도록 호형이며, 비틀림 형성된 복수의 판 스프링이 상호 맞대어져 원형을 이루면서 상기 실린더 튜브의 외주에 결합되는 탄성수단;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 프레스 방식의 클리닝장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 상금형 및 하금형에는 고압에어가 주입되는 상부 및 하부런너와,
    상기 상부 및 하부런너와 각기 통하며 대상물이 삽입되는 상부 및 하부 캐비티가 각기 형성되고,
    상기 상부 런너와 통하는 복수의 에어주입구와, 상기 하부 런너와 통하는 복수의 에어유출구가 형성된 것을 특징으로 하는 프레스 방식의 클리닝장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 실린더 본체는 상부에 복수의 볼트체결공을 갖는 플랜지가 형성되고, 상기 플랜지에 체결되는 볼트가 상기 탄성수단을 관통하여 하금형의 장착홈에 결합되어 하금형과 일체가 되도록 한 것을 특징으로 하는 프레스 방식의 클리닝장치.
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