KR101296523B1 - 탐침의 전기 접점 구조가 개선된 집적회로 테스트카드 - Google Patents

탐침의 전기 접점 구조가 개선된 집적회로 테스트카드 Download PDF

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Abstract

본 발명은 집적회로의 테스트카드에 관한 것으로 회로판, 하나 이상의 캔틸레버식 탐침, 제 1 지지구조 및 제 2 지지구조를 포함하여 구성된다. 상기 회로판은 하나 이상의 전성 가이드바를 포함하여 구성되고, 상기 캔틸레버식 탐침은 후단부, 절곡부, 연결아암 및 첨부를 포함한다. 상기 연결아암은 상기 첨부와 상기 절곡부를 연결시키도록 형성되고, 상기 후단부는 상기 절곡부와 상기 하나 이상의 전성 가이드바를 연결시키도록 형성한다. 상기 연결아암과 수평선은 제 1 협각을 형성하고, 상기 절곡부와 상기 수평선은 제 2 협각을 형성하는데, 상기 제 1 협각은 상기 제 2 협각와 서로 다르게 형성된다. 상기 제 1 지지구조는 상기 회로판 상에 형성되어 상기 절곡부를 지지하고, 상기 제 2 지지구조는 상기 회로판 상에 형성되어 상기 연결아암을 지지한다.

Description

탐침의 전기 접점 구조가 개선된 집적회로 테스트카드{INTEGRATED CIRCUITS PROBE CARD HAVING A REINFORCED STRUCTURE OF ELECTRIC CONTACT FOR PROBES}
본 발명은 집적회로 테스트카드에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 탐침의 전기 접점 구조가 개선된 집적회로 테스트카드에 관한 것이다.
일반적으로, 웨이퍼 상의 집적회로에 대해서는 필수적으로 전기적 특성에 대한 테스트가 진행되어 집적회로 부품들이 양호한지 판단하는 과정이 이루어져야 한다. 양호하다고 판단된 집적회로에 대하여는 후속되는 밀봉과정이 진행되고, 불량으로 판단된 것은 폐기됨으로써 밀봉비용이 증가되는 것을 방지한다. 완전밀봉된 집적회로에 대하여는 다시 한 번 1차 전기적 특성 테스트를 걸쳐 밀봉 불량품에 대한 필터링을 진행함으로써, 최종 완성품의 불량률을 줄이게 된다. 즉, 집적회로 부품의 제작과정에서는 수차례의 전기적 특성 테스트를 걸치게 되는 것이다.
집적회로 테스트카드는 테스트 부재의 규격, 예를 들어 핀의 수(Pin count), 거리(Pitch), 크기(pad size) 및 측정기계에 설정된 높이(probe depth) 등의 기준에 따라 이에 부합되는 집적회로 테스트카드가 제작된다. 테스트 부재의 전기적 특성을 테스트할 때, 집접회로 테스트카드의 탐침이 측정기계의 테스트신호를 테스트부재까지 전송하고, 테스트부재에서 측정된 전기적 특성의 파라미터를 측정기계에 재전송함으로써 전기적 특성 분석을 진행하게 된다.
도 1은 종래 기술에 따른 집적회로 테스트카드(10)의 단면도인데, 이를 참조한다. 상기 집적회로 테스트카드(10)는 회로판(12), 상기 회로판(12) 상에 형성되는 지지체(14), 상기 지지체(14) 상에 고정되는 다수 개의 탐침(16) 및 상기 탐침(16)과 가이드선(26)을 전기적으로 연결시키는 가이드통공(20)을 포함하여 구성된다. 상기 탐침(16)은 에폭시수지(24)를 사용하여 상기 지지체(14) 상에 고정된다. 테스트를 진행할 때, 상기 집적회로 테스트카드(10)는 측정기계(도 1에 미도시됨) 상에 안치되고, 상기 탐침(16)과 테스트부재(30)의 신호접점(38)은 전기접촉을 하게 되는데, 전기접촉에 의해 생성된 전기적 특성의 파라미터 신호가 전송된다. 그러나, 상기 탐침(16)은 용접방식으로 상기 가이드통공(20)과 고정된 것이기 때문에, 상기 탐침(16)과 상기 가이드통공(20) 사이의 연결부분은 사용시간이 증가되고 나아가 충분한 강도가 보장되지 않은 탐침(16)에 장시간 회로판(12)의 부하가 가해질 경우에는 쉽게 파열되는 상황이 발생하게 된다.
1.US Patent No. US 7,253,646 2.US Patent No. US 7,295,023
본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창작된 것으로, 본 발명이 제공하는 집적회로의 테스트카드는 회로판, 하나 이상의 캔틸레버식 탐침, 제 1 지지구조 및 제 2 지지구조를 포함하여 구성된다. 상기 회로판은 하나 이상의 전성 가이드바를 포함하여 구성되고, 상기 캔틸레버식 탐침은 후단부, 절곡부, 연결아암 및 첨부를 포함한다. 상기 연결아암은 상기 첨부와 상기 절곡부를 연결시키도록 형성되고, 상기 후단부는 상기 절곡부와 상기 하나 이상의 전성 가이드바를 연결시키도록 형성한다. 상기 지지구조는 상기 회로판 상에 형성되어 상기 하나 이상의 캔틸레버식 탐침을 지지한다. 상기 제 1 지지구조는 상기 회로판 상에 형성되어 상기 절곡부를 지지한다. 상기 연결아암과 수평선은 제 1 협각을 형성하고, 상기 절곡부와 상기 수평선은 제 2 협각을 형성하는데, 상기 제 1 협각은 상기 제 2 협각와 서로 다르게 형성된다.
본 발명이 제공하는 또 다른 집적회로의 테스트카드는 회로판, 하나 이상의 직립식 탐침 및 하나 이상의 지지구조를 포함하여 구성된다. 상기 회로판은 하나 이상의 전성 가이드바를 포함하여 구성되고, 상기 하나 이상의 직립식 탐침은 후단부, 선형 본체 및 첨부를 포함한다. 상기 선형 본체는 상기 첨부와 상기 후단부를 연결시키도록 형성되고, 상기 후단부는 상기 하나 이상의 전성 가이드바를 연결시키도록 형성된다. 상기 지지구조는 상기 회로판 상에 형성되어 상기 하나 이상의 직립식 탐침을 지지한다. 상기 후단부와 수평선은 제 1 협각을 형성한다.
첨부된 도면과 구체적인 실시예를 통해서 본 기술분야의 통상의 기술자가 본 발명의 목적, 기술수단 및 다양한 실시태양을 이해할 수 있도록 이하에서 상세하게 설명하도록 한다. 본 기술분야의 통상의 기술자라면 아래에서 개시된 기술적 개념 및 특정 실시예에 기초하여 다양한 변형을 실시할 수 있고 또한 설계구조나 제작과정의 변형을 통해서 본 발명이 달성하고자 하는 목적과 동일한 결과를 달성할 수 있는 것이다. 즉 본 발명의 정신과 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능한 것이다.
도 1은 종래 기술에 따른 집적회로의 테스트카드(10)의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 집적회로의 테스트카드이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 집적회로 테스트카드의 국부단면도이다.
도 4는 도 3의 탐침과 회로판 사이의 전기적 접촉 구조를 보여주는 확대설명도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 집적회로 테스트카드의 국부단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 집적회로 테스트카드의 국부단면도이다.
도 7은 도 6의 탐침과 회로판 사이의 전기적 접촉 구조를 보여주는 확대설명도이다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 집적회로 테스트카드의 국부단면도이다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 집적회로의 테스트카드이다.
도 10은 본 발명의 실시예에 따른 집적회로 테스트카드의 국부단면도이다.
도 11은 도 10의 탐침과 회로판 사이의 전기적 접촉 구조를 보여주는 확대설명도이다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 집적회로 테스트카드의 국부단면도이다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 집적회로 테스트카드의 국부단면도이다.
도 14는 도 13의 탐침과 회로판 사이의 전기적 접촉 구조를 보여주는 확대설명도이다.
도 15는 본 발명의 실시예에 따른 집적회로 테스트카드의 국부단면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 집적회로의 테스트카드(40)이고, 도 3은 도 2의 1-1 절개선의 국부단면도인데, 이를 참조한다. 상기 집적회로의 테스트카드(40A)는 회로판(42), 제 1 지지구조(44'), 제 2 지지구조(44), 하나 이상의 캔틸레버식 탐침(46), 제 1 접착체(48') 및 제 2 접착체(48)를 포함하여 구성된다. 상기 지지구조(44)는 상기 회로판(42) 상에 형성되어 상기 캔틸레버식 탐침(46)을 지지한다. 상기 회로판(42)는 하나 이상의 전성 가이드바(33)을 포함하고, 상기 하나 이상의 캔틸레버식 탐침(46)은 후단부(41), 절곡부(43), 연결아암(45) 및 첨부(47)를 포함한다. 상기 후단부(41)는 상기 회로판에 직접 접촉하고 있는 하나 이상의 전성 가이드바(33)에 형성된다. 상기 절곡부(43)는 상기 후단부(41) 및 상기 연결아암(45)과 연결되어 상기 후단부(41)의 강도를 증가시킨다. 상기 제 1 접착체(48')는 상기 절곡부(43)를 상기 제 1 지지구조(44') 상에 고정시키고, 상기 제 2 접착체(48)는 상기 연결아암(45)을 상기 제 2 지지구조(44) 상에 고정시킨다. 상기 연결아암(45)의 타단은 상기 첨부(47)에 연결된다. 여기서, 하나 이상의 캔틸레버식 탐침(46), 상기 회로판(42)의 하나 이상의 전성 가이드바(33) 및 상기 하나 이상의 전성 가이드바(33)에 연결된 가이드선(31)은 전기 신호 전도 경로를 형성한다. 상기 회로판(42)에는 중앙개구(42')가 형성되는데, 상기 제 2 지지구조(44)가 상기 중앙개구(42')의 둘레를 둘러싸고 있다.
도 4는 도 3의 캔틸레버식 탐침(46)과 회로판(42) 사이의 전기적 접촉 구조를 보여주는 확대설명도이다. 도 4를 통해서 알 수 있는 바와 같이, 상기 연결아암(45)과 수평선은 제 1 협각(55)을 형성하고, 상기 절곡부(43)와 상기 수평선은 제 2 협각(57)을 형성하는데, 상기 제 1 협각은 상기 제 2 협각와 서로 다르다. 상기 후단부(41)와 상기 회로판(42)은 제 3 협각(49)을 형성하는데, 상기 제 3 협각(49)의 각도는 15도 내지 60도 사이가 된다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 집적회로 테스트카드(40B)의 국부단면도인데, 이를 참조한다. 도 3에 도시된 집적회로 테스트카드(40A)와 비교하여, 도 5에 도시된 집적회로 테스트카드(40B)에 형성된 하나 이상의 캔틸레버식 탐침(46)은 평면부(132)를 더 포함하는데, 상기 회로판(42)과 직접 접촉되는 하나 이상의 전성 가이드바(33)을 형성하여 상기 하나 이상의 전성 가이드바(33)의 접촉면이 긁히는 것을 방지한다. 상기 하나 이상의 캔틸레버식 탐침(46), 상기 평면부(132), 상기 회로판(42)에 형성된 하나 이상의 전성 가이드바(33) 및 상기 하나 이상의 전성 가이드바(33)와 연결된 가이드선(31)은 전기 신호 전도 경로를 형성한다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 집적회로 테스트카드(40C)의 국부단면도인데, 이를 참조한다. 도 3에 도시된 집적회로 테스트카드(40A)와 비교하여, 도 6에 도시된 집적회로 테스트카드(40C)는 상기 후단부(41) 및 이에 대응되는 하나 이상의 전성 가이드바(33) 사이에 형성되는 매개질(51)을 더 포함한다. 상기 매개질(51)은 수직방향으로 배치되어 전기 신호를 상기 전성 가이드바(33) 또는 상기 하나 이상의 캔틸레버식 탐침(46)까지 전도한다. 상기 하나 이상의 캔틸레버식 탐침(46), 상기 매개질(51), 상기 회로판(42)에 형성되는 하나 이상의 전성 가이드바(33) 및 상기 하나 이상의 전성 가이드바(33)에 연결되는 가이드선(31)은 전기 신호 전도 경로를 형성한다.
도 7은 도 6의 탐침(46)과 회로판(42) 사이의 전기적 접촉 구조를 보여주는 확대설명도인데, 이를 참조한다. 도 7을 통해서 알 수 있는 바와 같이, 상기 연결아암(45)과 수평선은 제 1 협각(55)을 형성하고, 상기 절곡부(43)와 상기 수평선은 제 2 협각(57)을 형성하는데, 상기 제 1 협각은 상기 제 2 협각과 서로 다르다. 상기 후단부(41)와 상기 회로판(42)은 제 3 협각(49)을 형성하는데, 상기 제 3 협각(49)의 각도는 15도 내지 60도 사이가 된다.
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 집적회로 테스트카드(40D)의 국부단면도인데, 이를 참조한다. 도 6에 도시된 집적회로 테스트카드(40C)와 비교하여, 도 8에 도시된 집적회로 테스트카드(40D)에 형성된 하나 이상의 캔틸레버식 탐침(46)은 평면부(152)를 더 포함하는데, 상기 회로판(42)과 직접 접촉되는 매개질(51)을 형성하여 서로 대응되는 상기 매개질(51)의 접촉면이 긁히는 것을 방지한다. 상기 하나 이상의 캔틸레버식 탐침(46), 상기 평면부(152), 상기 회로판(42)에 형성된 하나 이상의 전성 가이드바(33) 및 상기 하나 이상의 전성 가이드바(33)와 연결된 가이드선(31)은 전기 신호 전도 경로를 형성한다.
도 9는 본 발명의 실시예에 따른 집적회로의 테스트카드(60)이고, 도 10은 도 9의 2-2 절개선의 국부단면도인데, 이를 참조한다. 상기 집적회로의 테스트카드(60A)는 회로판(61), 하나 이상의 지지구조(81) 및 하나 이상의 직립식 탐침(76)을 포함하여 구성된다. 상기 지지구조(81)는 상부 가이드판(83) 및 하부 가이드판(87)을 구비하되, 상기 회로판(61) 상에 형성되어 상기 직립식 탐침(76)을 지지한다. 상기 회로판(61)은 하나 이상의 전성 가이드바(63)를 포함하고, 상기 하나 이상의 직립식 탐침(76)은 후단부(71), 선형 본체(75) 및 첨부(77)를 포함한다. 상기 선형 본체(75)는 상기 첨부(77)와 후단부(71)를 연결되도록 형성된다. 상기 후단부(71)는 하나 이상의 전성 가이드바(63)에 형성된다. 여기서 상기 후단부(71)는 상기 선형 본체(75)의 절곡된 후단 부분이 되는데, 상기 후단부(71)의 강도가 증가되게 형성되고, 상기 선형 본체(75)의 타단은 상기 첨부(77)에 연결된다. 여기서, 하나 이상의 직립식 탐침(76), 상기 회로판(61)의 하나 이상의 전성 가이드바(63) 및 상기 하나 이상의 전성 가이드바(63)에 연결된 가이드선(65)은 전기 신호 전도 경로를 형성한다.
도 11은 도 10의 직립식 탐침(76)과 회로판(61) 사이의 전기적 접촉 구조를 보여주는 확대설명도인데, 이를 참조한다. 도 11을 통해서 알 수 있는바와 같이, 상기 후단부(71)와 수평선은 제 1 협각(85)을 형성하고, 상기 후단부(71)와 상기 회로판(61)은 협각(91)을 형성한다. 상기 제 1 협각(85)의 각도는 15도 내지 60도 사이가 되어, 상기 협각(91)의 각도와 같게 된다.
도 12는 본 발명의 실시예에 따른 집적회로 테스트카드(60B)의 국부단면도인데, 이를 참조한다. 도 10에 도시된 집적회로 테스트카드(60A)와 비교하여, 도 12에 도시된 집적회로 테스트카드(60B)에 형성된 하나 이상의 직립식 탐침(76)은 평면부(172)를 더 포함하는데, 상기 회로판(61)과 직접 접촉되는 하나 이상의 전성 가이드바(63)을 형성하고 상기 하나 이상의 전성 가이드바(63)의 접촉면이 긁히는 것을 방지한다. 상기 하나 이상의 직립식 탐침(76), 상기 평면부(172), 상기 회로판(61)에 형성된 하나 이상의 전성 가이드바(63) 및 상기 하나 이상의 전성 가이드바(63)와 연결된 가이드선(65)은 전기 신호 전도 경로를 형성한다.
도 13은 본 발명의 실시예에 따른 집적회로의 테스트카드(60C)에서 도 9의 2-2 절개선의 국부단면도인데, 이를 참조한다. 도 13을 통해서 알 수 있는 바와 같이, 상기 집적회로 테스트카드(60C)는 회로판(61), 하나 이상의 지지구조(81), 매개질(101) 및 하나 이상의 직립식 탐침(76)을 포함하여 구성된다. 상기 지지구조(81)는 상부 가이드판(83) 및 하부 가이드판(87)을 구비하되, 상기 회로판(61) 상에 형성되어 상기 직립식 탐침(76)을 지지한다. 상기 회로판(61)은 하나 이상의 전성 가이드바(63)를 포함하고, 상기 매개질(101)은 수직방향으로 배치되어 전기 신호를 상기 전성 가이드바(63) 또는 상기 하나 이상의 직립식 탐침(76)까지 전도한다. 상기 하나 이상의 직립식 탐침(76)은 후단부(71), 선형 본체(75) 및 첨부(77)를 포함한다. 상기 선형 본체(75)는 상기 첨부(77)와 후단부(71)를 연결하도록 형성된다. 상기 후단부(71)는 하나 이상의 전성 가이드바(63)에 연결된다. 상기 매개질(101)은 상기 후단부(71) 및 서로 대응되는 상기 하나 이상의 전성 가이드바(63) 사이에 형성된다. 여기서 상기 후단부(71)는 상기 선형 본체(75)의 절곡된 후단 부분이 되는데, 상기 후단부(71)의 강도가 증가되게 형성되고, 상기 선형 본체(75)의 타단은 상기 첨부(77)에 연결된다. 여기서, 하나 이상의 직립식 탐침(76), 상기 매개질(101), 상기 회로판(72) 상의 하나 이상의 전성 가이드바(63) 및 상기 하나 이상의 전성 가이드바(63)에 연결된 가이드선(65)은 전기 신호 전도 경로를 형성한다.
도 14는 도 13의 탐침(76)과 회로판(61) 사이의 전기적 접촉 구조를 보여주는 확대설명도인데, 이를 참조한다. 도 14를 통해서 알 수 있는 바와 같이, 상기 후단부(71)와 수평선은 제 1 협각(85)을 형성하고, 상기 후단부(71)와 상기 회로판(61)은 협각(111)을 형성한다. 상기 제 1 협각(85)의 각도는 15도 내지 60도 사이가 되어, 상기 협각(111)의 각도와 같게 된다.
도 15는 본 발명의 실시예에 따른 집적회로 테스트카드(60D)의 국부단면도인데, 이를 참조한다. 도 13에 도시된 집적회로 테스트카드(60C)와 비교하여, 도 15에 도시된 집적회로 테스트카드(60D)에 형성된 하나 이상의 직립식 탐침(76)은 평면부(192)를 더 포함하는데, 상기 회로판(61)과 직접 접촉되는 매개질(101)을 형성하고 상기 매개질(101)의 접촉면이 긁히는 것을 방지한다. 상기 하나 이상의 직립식 탐침(76), 상기 평면부(192), 상기 회로판(61)에 형성된 하나 이상의 전성 가이드바(63) 및 상기 하나 이상의 전성 가이드바(63)와 연결된 가이드선(65)은 전기 신호 전도 경로를 형성한다.
본 발명의 기술내용 및 기술적 특징이 위에서 개시되었으나, 상기 개시된 내용은 본 발명의 기술적 특징을 설명하기 위하여 예로서 든 실시태양에 불과한 것으로, 청구범위에 기재된 본 발명의 보호범위를 제한하기 위하여 사용되는 것이 아니다. 그러므로 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 정신과 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해해야 한다.
그 밖에, 본 발명의 권리범위는 위에서 개시된 특정 실시예에서의 제작과정, 기계, 물질의 성분, 장치, 방법 또는 단계에 제한되지 않는다. 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 상기 실시예에서 개시된 제작과정, 기계, 물질의 성분, 장치, 방법 또는 단계가 현재 이미 존재하든지 또는 이후 개발되든지 간에 관계없이, 본 발명에서 개시된 것과 동일한 방식에 의해 실시될 경우 서로 동일한 기능을 발휘하고, 서로 동일한 결과에 도달하게 될 것이라는 것을 알 것이다. 따라서, 본 발명의 권리범위는 이러한 종류의 제작과정, 기계, 물질의 성분, 장치, 방법 또는 단계를 모두 포함하는 것이다.
10 : 집적회로 테스트카드 12 : 회로판 14 : 지지체
16 : 탐침 20 : 가이드통공 24 : 에폭시수지
26 : 가이드선 30 : 테스트부재 31 : 가이드선
33 : 전성 가이드바 38 : 신호접점
40A,40B,40C, 40D : 집적회로 테스트카드
41 : 후단부 42 : 회로판 42': 중앙개구
43 : 절곡부 44 : 제 2 지지구조 44': 제 1 지지구조
45 : 연결아암 46 : 캔틸레버식 탐침 47 : 첨부
48 : 제 2 접착체 48': 제 1 접착체 49 : 제 3 협각
51 : 매개질 55 : 제 1 협각 57 : 제 2 협각
60A,60B,60C,60D : 집적회로 테스트카드
61 : 회로판 63 : 전성 가이드바 65 : 가이드선
71 : 후단부 75 : 선형 본체 76 : 직립식 탐침
77 : 첨부 81 : 지지구조 83 : 상부 가이드판
85 : 제 1 협각 87 : 하부 가이드판 91 : 협각
101 : 매개질 111 : 협각
132, 152, 172, 192 : 평면부

Claims (18)

  1. 하나 이상의 전성 가이드바를 구비한 회로판;
    후단부, 절곡부, 연결아암 및 첨부를 구비하되, 상기 연결아암은 상기 첨부와 상기 절곡부를 연결시키도록 형성되고, 상기 후단부는 상기 절곡부와 상기 하나 이상의 전성 가이드바를 연결시키도록 형성되는 하나 이상의 캔틸레버식 탐침;
    상기 회로판 상에 형성되어 상기 절곡부를 지지하는 제 1 지지구조; 및
    상기 회로판 상에 형성되어 상기 연결아암을 지지하는 제 2 지지구조를 포함하여 구성되되,
    상기 연결아암과 수평선은 제 1 협각을 형성하고, 상기 절곡부와 상기 수평선은 제 2 협각을 형성하는데, 상기 제 1 협각은 상기 제 2 협각와 서로 다르게 형성되는 것을 특징으로 하는 집적회로 테스트카드.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 후단부와 상기 회로판은 제 3 협각을 형성하는 집적회로 테스트카드.
  3. 청구항 2에 있어서, 상기 제 3 협각의 각도는 15도 내지 60도 사이가 되는 집적회로 테스트카드.
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 회로판은 상기 후단부 및 상기 하나 이상의 전성 가이드바 사이에 형성되는 매개질을 더 포함하여 구성되는 집적회로 테스트카드.
  5. 청구항 4에 있어서, 상기 매개질은 수직방향으로 배치되어 전기 신호를 상기 전성 가이드바 또는 상기 하나 이상의 캔틸레버식 탐침까지 전도하는 집적회로 테스트카드.
  6. 청구항 1에 있어서, 상기 절곡부를 상기 제 1 지지구조 상에 고정시키는 제 1 접착체를 더 포함하여 구성되는 집적회로 테스트카드.
  7. 청구항 1에 있어서, 상기 연결아암을 상기 제 2 지지구조 상에 고정시키는 제 2 접착체를 더 포함하여 구성되는 집적회로 테스트카드.
  8. 청구항 1에 있어서, 상기 후단부는 상기 회로판과 접촉되게 형성되는 평면부를 더 구비하는 집적회로 테스트카드.
  9. 청구항 1에 있어서, 상기 첨부는 테스트 칩과 접촉되게 형성되는 집적회로 테스트카드.
  10. 청구항 1에 있어서, 상기 전성 가이드바는 상기 탐침의 후단부와 가이드선을 전기적으로 연결시키도록 형성되는 집적회로 테스트카드.
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