JP5731432B2 - プローブの電気的接点を強化した構造を備えた集積回路用プローブカード - Google Patents
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Description
12、42、61 回路板
14 支持体
16 プローブ
20 コンタクトホール
24 エポキシ樹脂
26、31、65 リード
30 被検査素子
33、63 導電性柱状体
38 信号コンタクト
41、71 後端部
42’ 中央開口
43 湾曲部
44 第2の支持構造
44’ 第1の支持構造
45 連結アーム
46 カンチレバー型プローブ
47、77 尖端部
48 第2の粘着体
48’ 第1の粘着体
49 第3の角度
51、101 仲介物
55、85 第1の角度
57 第2の角度
75 直線状本体
76 バーチカル型プローブ
81 支持構造
83 上部ガイド板
87 下部ガイド板
91、111 角度
132、152、172、192 平面部
Claims (7)
- 少なくとも一つの導電性柱状体を備えている回路板と、
後端部と、直線状本体と、尖端部とを有している少なくとも一つのバーチカル型プローブであって、前記直線状本体は、前記尖端部と前記後端部とを結合するように配置されており、前記後端部は、前記少なくとも一つの導電性柱状体とを結合するように配置されている少なくとも一つのバーチカル型プローブと、
前記少なくとも一つのバーチカル型プローブを支持するように前記回路板上に設けられている少なくとも一つの支持構造と、
を具備しており、
前記後端部は水平線とで第1の角度をなしており、
前記支持構造が上部ガイド板と下部ガイド板とを備え、前記上部ガイド板が前記直線状本体を隙間なく支持している、ことを特徴とする集積回路用プローブカード。 - 前記回路板が、前記後端部と前記少なくとも一つの導電性柱状体との間に設けられている少なくとも一つの仲介物を備えている、ことを特徴とする請求項1に記載の集積回路用プローブカード。
- 前記仲介物が、電気信号を前記導電性柱状体または前記バーチカル型プローブに垂直方向で伝送するように配置されている、ことを特徴とする請求項2に記載の集積回路用プローブカード。
- 前記第1の角度の角度が15度ないし60度の間である、ことを特徴とする請求項1に記載の集積回路用プローブカード。
- 前記後端部が、前記回路板に接触するように配置されている平面部をさらに有している、ことを特徴とする請求項1に記載の集積回路用プローブカード。
- 前記尖端部が、被検査チップに接触するように配置されている、ことを特徴とする請求項1に記載の集積回路用プローブカード。
- 前記導電性柱状体が、前記バーチカル型プローブの後端部とリードとを電気的に接続するように配置されている、ことを特徴とする請求項1に記載の集積回路用プローブカード。
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