KR101280340B1 - 기판의 처리 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판에 있어서, 한쌍의 세정 브러시의 간격 조정을 용이하게 행할 수 있도록 한 처리 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

상기 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 처리조(1) 내에 공급된 기판을 소정의 경사 각도로 반송하는 반송 롤러(5)와, 반송되는 기판의 한쪽의 판면과 다른 쪽의 판면을 세정 처리하는 브러시 세정부(7)를 구비하고, 브러시 세정부는, 처리조 내에 축선을 상하 방향을 따르게 하여, 평행하면서 회전 가능하게 설치된 한쌍의 장착축(37)과, 한쌍의 장착축의 상부에 일단이 연결되고 한쌍의 상부암(41)과, 한쌍의 장착축의 다른쪽의 하부에 일단이 연결된 한쌍의 하부암(42)과, 축 방향의 일단부가 상부암의 타단에 회전 가능하게 지지되고, 축 방향의 타단부가 하부암의 중도부에 회전 가능하게 지지되어 설치된 한쌍의 세정 브러시와, 한쌍의 하부암의 타단부에 연결되고, 하부암을 요동시켜서 상부암을 장착축을 통하여 연동시켜서 한쌍의 세정 브러시의 간격을 장착축을 지지점(fulcrum)으로 하여 조정하는 구동 기구에 의해 구성되어 있다.

브러시, 세정, 반송, 간격 조정, 암, 캠 팔로워, 핸들, 롤러, 기판, 경사

Description

기판의 처리 장치{APPARATUS FOR TREATING SUBSTRATES}

도 1은 본 발명의 일실시예의 처리 장치의 내부 구조를 나타낸 정면도이다.

도 2는 상기 처리 장치의 반송축이 설치된 부분의 측단면도이다.

도 3은 상기 처리 장치의 세정 브러시가 설치된 부분의 측단면도이다.

도 4는 한쌍의 세정 브러시의 간격을 조정하는, 2개로 쌍을 이루는 2개 그룹의 하부암을 나타낸 평면도이다.

도 5는 한쌍의 하부암을 구동하는 구동 기구를 나타낸 설명도이다.

[부호의 설명]

1: 처리조 4: 반송축

5: 반송 롤러 7: 브러시 세정부

11: 구동 롤러 12: 구동축

31: 세정 브러시 32: 브러시축

33: 브러시부 37: 장착축

41: 상부암 42: 하부암

44: 구동원 46: 캠 팔로워

47: 구동 부재 48: 나사축

50: 구동 기구 51: 핸들

본 발명은 기판을 소정의 경사 각도로 반송하면서 처리하는 기판의 처리 장치에 관한 것이다.

예를 들어, 액정 표시 장치나 반도체 장치의 제조 공정에서는, 이들 대상물인 유리 기판이나 반도체 웨이퍼 등의 기판에 레지스트를 도포하고, 그 레지스트를 현상 처리한 후에 상기 기판을 에칭(etching) 처리함으로써, 기판의 표면에 회로 패턴을 정밀하게 형성한다. 기판에 회로 패턴이 형성되면, 그 기판의 표면에 부착되어 있는 레지스트막이나 레지스트 잔사(殘渣) 등의 유기물을 약액에 의해 제거하는 처리가 행해진다.

약액에 의한 처리가 행해진 기판은 세정액에 의해 세정 처리된다. 기판의 세정 처리를 행하는 경우, 단지 순수(pure water)나 희석된 약액 등의 세정액을 분사하는 것 만으로는 기판에 부착된 찌꺼기를 확실하게 세정 제거할 수 없는 경우가 있다. 그와 같은 경우, 상기 기판에 세정액을 공급하면서 회전 구동되는 세정 브러시로 상기 기판의 판면을 문지르면서 세정하게 된다.

그런데, 최근에는 액정 표시 장치에 사용되는 유리 제품의 기판이 박형화되고, 또한 대형화하는 경향이 있다. 기판이 대형화함으로써, 기판상에 공급되는 처리액의 양이 증대하고, 기판상의 처리액의 양과 비례하여 상기 반송축에 가해지는 하중이 커진다.

따라서, 전술한 바와 같은 요인에 의해, 반송축의 휨이 증대하기 때문에, 기판을 수평으로 반송하면, 반송 롤러 사이에서의 기판이 많이 휘어지고, 각 처리부에서의 처리가 기판의 판면 전체에 걸쳐서 균일하게 행하여지지 않는 문제가 생긴다.

그래서, 상기 기판을 소정의 경사 각도로 경사지게 하여 반송함으로써, 반송축이나 기판에 생기는 휨을 적게 하고, 그 반송 과정에서 상기 기판의 판면을 세정 브러시에 의해 세정 처리하는 방법이 계속적으로 실용화되고 있다.

기판을 소정의 경사 각도로 반송하는 경우, 기판의 경사 방향 아래쪽의 면을 반송 축에 회전 가능하게 설치된 반송 롤러에 의해 지지하는 동시에, 그 기판의 하단을 구동축에 설치된 구동 롤러에 의해 지지한다. 그리고, 구동 롤러를 회전 구동시키면, 이 구동 롤러와 기판의 하단 사이에 생기는 마찰력으로 기판에 구동력을 부여하여, 그 기판을 반송 롤러를 따라서 반송하고 있다.

소정의 경사 각도로 반송되는 기판을 세정 브러시로 세정하는 경우, 한쌍의 세정 브러시는 축선을 상하 방향을 따르게 하여, 평행하면서 소정의 간격으로 배치된다. 그리고, 한쌍의 세정 브러시를 회전 구동하고, 상기 기판을 한쌍의 세정 브러시 사이를 통과시킴으로써, 이 기판의 한쪽의 판면과 다른 쪽의 판면을 세정 브러시로 문지르면서 세정하도록 하고 있다.

또한, 한쌍의 세정 브러시의 간격은 조정할 수 있도록 되어 있다. 이에 따라, 기판의 판면에 대한 세정 브러시의 접촉력, 즉 세정 브러시에 의하여 기판이 세정되는 정도를 설정할 수 있도록 되어 있다.

종래, 한쌍의 세정 브러시의 간격을 조정하기 위해서는, 브러시축의 상단과 하단을 각각 슬라이더에 회전 가능하게 지지한다. 슬라이더는 가이드체에 형성된 가이드 홈을 따라 슬라이드 가능하게 형성되어 있다. 상기 슬라이더에는 나사가 결합된다. 따라서, 상기 나사를 회전시켜서 상기 슬라이더를 상기 가이드 홈을 따라 슬라이드시켜서 한쌍의 세정 브러시의 간격, 즉 기판의 판면에 대한 접촉압을 조정할 수 있도록 되어 있다.

전술한 종래의 구조에 의하면, 한쌍의 세정 브러시의 간격을 조정하기 위해서는, 각 세정 브러시의 브러시축의 상단과 하단에 설치된 슬라이더에 나사 결합된 나사축을 각각 회전시켜서 슬라이더의 위치를 결정해야 한다. 즉, 세정 브러시의 축 방향의 상단과 하단을 각각 별도로 위치를 결정하고 조정하여야 한다.

그러므로, 상기 세정 브러시의 위치 결정의 조정이 번거롭거나 세정 브러시의 브러시축의 상부와 하부를 별도로 조정함으로써, 상부와 하부의 간격, 즉 기판의 판면에 대한 접촉압이 일치하도록 양호한 정밀도로 위치 결정의 조정이 곤란한 문제가 있다.

본 발명은, 세정 브러시의 간격 조정, 즉 세정 브러시의 기판의 판면에 대한 접촉압을, 그 세정 브러시의 축 방향의 상부와 하부의 어느 한쪽으로, 상부와 하부의 양쪽에서 동시에 조정할 수 있도록 한 기판의 처리 장치를 제공한다.

본 발명은, 기판을 소정의 경사 각도로 반송하면서 세정 처리하는 처리 장치 로서,

처리조와,

상기 처리조 내에 공급된 기판을 소정의 경사 각도로 반송하는 반송 수단과,

상기 처리조 내에 반송되는 기판의 판면을 세정 처리하는 브러시 유닛을 구비하고,

상기 브러시 유닛은,

상기 처리조 내에 축선을 상하 방향을 따르게 하여 회전 가능하게 설치된 장착축과,

상기 장착축의 상부와 하부의 일단부에 연결 고정된 제1 암과,

상기 장착축의 타단부에 연결 고정된 제2 암과,

축선이 상기 장착축과 평행이 되도록 축 방향의 일단부가 상기 제1 암에 회전 가능하게 지지되고, 축 방향의 타단부가 상기 제2 암에 회전 가능하게 지지되어 설치된 세정 브러시와,

상기 제2 암에 연결되고, 제2 암을 요동시킴으로써 상기 제1 암을 상기 장착축을 통하여 연동시켜서 상기 세정 브러시의 상기 기판의 판면에 대한 접촉압을 조정하는 구동 기구

에 의해 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판의 처리 장치이다.

이하, 본 발명의 일실시예를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은 처리 장치의 내부 구조를 나타낸 정면도, 도 2와 도 3은 상이한 부분의 측단면도이다. 처리 장치는 도 1 내지 도 3에 쇄선으로 나타낸 처리조(1)를 구 비한다. 상기 처리조(1)는 도 2와 도 3에 나타낸 바와 같이 단면 형상이 대략 직사각형으로서, 수직선에 대해서 소정 각도, 예를 들어 75°의 각도로 경사지게 설치된다.

상기 처리조(1)에는, 상부와 하부가 후술하는 바와 같이 지지된 복수개의 반송축(4)이 축선을 평행하게 하여, 처리조(1)의 길이 방향에 대하여 소정 간격을 두고 형성되어 있다. 각 반송축(4)에는 축방향을 따라 소정 간격을 두고 복수개의 반송 롤러(5)가 형성되어 있다. 그리고, 각 반송축(4)은 처리조(1)와 마찬가지로, 축선을 75°의 각도로 경사지게 형성되어 있다.

상기 처리조(1) 내에는 처리부로서, 후술하는 한쌍의 브러시 세정부(7)와 건조 처리부(8)가 형성되어 있다. 처리조(1) 내에는 도 1에 쇄선으로 나타낸 기판 W가 화살표 X로 나타낸 방향으로 반송된다. 처리조(1) 내에서 반송되는 기판 W는 상기 브러시 세정부(7)에서 세정액이 공급되면서 브러시로 세정되고, 계속하여 상기 건조 처리부(8)에서 기판 W에 부착된 잔류 세정액이 건조 처리되도록 되어 있다. 상기 건조 처리부(8)는 반송되는 기판 W의 한쪽의 판면과 다른쪽의 판면에 기체를 분사하는 슬릿형의 분사공을 구비하는 한쌍의 에어 나이프(9)(하나만 도시)로 이루어진다.

상기 처리조(1) 내에 반입된 기판 W는, 경사 방향 아래쪽의 판면이 상기 반송축(4)에 설치된 반송 롤러(5)에 의해 지지되고, 하단은 구동 롤러(11)에 의해 지지된다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 구동 롤러(11)는 구동축(12)의 선단부에 장착 고정되어 있다. 구동축(12)의 기단부는, 처리조(1)의 앞면에 장착된 통형의 지지체(13)에 도시하지 않은 베어링에 의해 회전 가능하게 지지되어 있다.

상기 지지체(13)는 중공형의 실부재(14)에 의해 실링되어 있다. 그에 따라, 세정액이 구동축(12)을 거쳐서 외부에 누출되는 것을 방지하고 있다. 그리고, 지지체(13)은 처리조(1)의 앞면 하부에 설치된 앞면 지지판(15)에 장착되어 있다.

상기 구동축(12)의 기단부는 상기 지지체(13)로부터 외부로 돌출하고, 그 돌출단에는 제1 전달 기어(16)가 부착되어 있다. 상기 제1 전달 기어(16)에는 제2 전달 기어(17)가 맞물려 있다. 상기 제2 전달 기어(17)에는 종동 풀리(18)가 일체로 설치되어 있고, 이들은 상기 앞면 지지판(15)에 설치된 브래킷(19)에 회전 가능하게 장착되어있다.

상기 앞면 지지판(15)에는 감속기를 내장하는 구동 기구(21)가 상하 방향의 위치 결정 조정할 수 있도록 설치되어 있다. 상기 구동 기구(21)에 의해 회전 구동되는 구동 풀리(23)와 상기 종동 풀리(18)에는 타이밍 벨트(24)가 설치되어 있다.

따라서, 상기 구동 기구(21)가 작동하면, 상기 구동축(12)과 함께 구동 롤러(11)가 회전 구동되므로, 상기 구동 롤러(11)에 하단을 접촉시킨 기판 W가 구동 롤러(11)와의 마찰력에 의해 상기 반송축(4)에 설치된 반송 롤러(5)에 가이드되어 반송되도록 되어 있다.

상기 반송축(4)은, 하단부가 상기 처리조(1)의 하부벽(1a)의 상면에 설치된 하부 베어링체(26)에 의해 회전 가능하게 지지되고, 상단부는 상기 처리조(1)의 상부벽(1b)의 내면에 설치된 상부 베어링체(27)에 회전 가능하게 지지되어 있다.

상기 브러시 세정부(7)는, 도 3에 나타낸 바와 같이 상기 구동 롤러(11)에 의해 반송되는 상기 기판 W의 한쪽 판면과 다른 쪽 판면을 양쪽에서 지지하는 상태로 배치된 한쌍의 세정 브러시(31)로 이루어진다. 각 세정 브러시(31)는 브러시축(32)과, 상기 브러시축(32)의 외주면에 솔을 붙여서 형성된 브러시부(33)를 구비하고 있다.

상기 브러시축(32)의 상하 단부는, 각각 커플링(34)에 의해 지지축(35)에 분해 가능하게 연결되어 있다. 브러시축(32)의 상하 단부에 설치된 각 지지축(35)은 처리조(1)의 상부벽(1b)과 하부벽(1a)을 액체가 누설되지 않도록 관통하고 있다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 한쌍의 브러시 세정부(7)의 세정 브러시(31)의 측방에는 파이프(36)가 상단과 하단을 각각 상기 처리조(1)의 상부벽(1b)과 하부벽(1a)에 액체가 누설되지 않도록 접속하여 형성되어 있다. 상기 파이프(36)에는 장착축(37)이 축선을 상기 세정 브러시(31)의 축선과 평행하게 하여 회전 가능하게 삽입되어 있다. 상기 파이프(36)로부터 돌출된 장착축(37)의 상단부와 하단부는 각각 지지부재(38)에 설치된, 도시하지 않은 베어링에 회전 가능하게 지지되어 있다.

상기 장착축(37)의 상단부에는 제1 암으로서의 상부암(41)의 일단부가 장착되어 고정되고, 하단부에는 제2 암으로서의 하부암(42)의 일단부가 장착되어 고정되어 있다. 상기 상부암(41)의 타단부와, 상기 하부암(42)의 중도부에는, 각각 상기 세정 브러시(31)의 양단에 연결된 지지축(35)이 각각 도시하지 않은 베어링에 의해 회전 가능하게 지지되어 있다. 상하 한쌍의 베어링 중 한쪽은 자동 중심 정 렬 베어링(self-aligning bearing)이 사용된다. 그에 따라, 상하 한쌍의 지지축(35)의 축심을 확실하게 일치시킬 수가 있다.

그리고, 상부암(41)의 타단부에 지지된 지지축(35)과, 하부암(42)의 중도부에 지지된 지지축(35)의 축심은, 장착축(37)의 축심으로부터 동일한 거리에 설정되어 있다.

하부암(42)에 지지된 지지축(35)에는 감속 기구가 일체화된 구동원(44)이 연결되어 있다. 그에 따라, 한쌍의 세정 브러시(31)는 지지축(35)을 통하여 상기 구동원(44)에 의해 회전구동되도록 되어 있다.

도 4와 도 5에 나타낸 바와 같이, 상기 하부암(42)의 타단부에는 장공 형태의 결합공(45)이 형성되어 있다. 한쌍의 하부암(42)의 결합공(45)에는 각각 작동체로서의 캠 팔로워(46)가 이동 가능하게 결합되어 있다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 각 캠 팔로워(46)는 블록형의 가동 부재(47)에 회전 가능하게 장착되어 있다. 각 가동 부재(47)에는 나사축(48)이 나사결합되어 있다. 나사축(48)은 일단부와 타단부가 상기 처리조(1)에 고정된 지지편(49)에 회전 가능하게 지지되어 있다.

한쪽 가동 부재(47)와 나사축(48)은 하부암(42)의 하면 측에 설치되고, 다른 쪽 가동 부재(47)와 나사축(48)은 하부암(42)의 상면 측에 설치되어 있다. 그리고, 한쌍의 나사축(48)의 일단부는 상기 처리조(1)의 앞면측 하부로 도출되고, 그 일단부에는 각각 핸들(51)이 장착되어있다. 상기 캠 팔로워(46), 가동 부재(47), 나사축(48) 및 핸들(51)은 구동 기구(50)를 구성하고 있다.

따라서, 상기 핸들(51)이 상기 나사축(48)을 회전시키면, 그 회전에 따라서 가동 부재(47)가 하부암(42)의 길이 방향에 대하여 교차하는 방향으로 구동되므로, 상기 가동 부재(47)에 의해 한쌍의 하부암(42)은 상기 장착축(37)을 지지점(fulcrum)으로 하여 상기 장착축(37)을 회전시키면서 타단이 도 4에 화살표로 나타낸 방향으로 요동하도록 되어 있다.

하부암(42)이 요동하면, 그 요동에 의해 장착축(37)이 회전한다. 장착축(37)이 회전하면, 상기 장착축(37)의 상단에 장착된 상부암(41)이 연동되어 요동한다. 하부암(42)과 상부암(41)이 요동하면, 상부암(41)의 타단부와 하부암(42)의 중도부에, 브러시축(32)의 상부와 하부가 각각 지지된 세정 브러시(31)가 연동한다.

즉, 대향하는 한쌍의 세정 브러시(31)의 하부에 연결된 한쌍의 하부암(42)의 타단부를 도 4의 화살표 A로 나타낸, 접근하는 방향으로 요동시키면, 한쌍의 세정 브러시(31)는 접근하는 방향으로 구동되고, 반대로 한쌍의 하부암(42)의 타단부를 화살표 B로 나타낸, 멀어지는 방향으로 요동시키면, 한쌍의 세정 브러시(31)는 멀어지는 방향으로 구동된다. 따라서, 하부암(42)의 요동 방향에 따라 한쌍의 세정 브러시(31)의 간격을 조정할 수 있게 되어 있다.

그리고, 한쌍의 세정 브러시(31)는 각각 구동 기구(50)에 의해 접근 및 멀어지는 방향으로 구동되도록 되어 있고, 한쪽의 세정 브러시(31), 상기 구동 기구(50), 장착축(37), 상부암(41) 및 하부암(42)으로 제1 브러시 유닛을 구성하고, 다른 쪽의 세정 브러시(31), 상기 구동 기구(50), 장착축(37), 상부암(41) 및 하부암(42)으로 제2 브러시 유닛을 구성하고 있다.

이와 같이 구성된 처리 장치에 의하면, 소정의 경사 각도로 반송되는 기판 W의 한쪽의 판면과 다른 쪽의 판면을 세정 처리하는 브러시 세정부(7)는, 기판 W의 오염 정도나 두께 등의 각종 조건에 따라 한쌍의 세정 브러시(31)의 간격이 조정 된다.

한쌍의 세정 브러시(31)의 간격을 조정하는 경우, 처리조(1)의 앞면측에 설치된 각 구동 기구(50)의 핸들(51)에 의해 나사축(48)이 회전된다. 나사축(48)을 회전시키면, 그 회전에 의해 가동 부재(47)와 함께 캠 팔로워(46)가 나사축(48)을 따라 구동된다.

캠 팔로워(46)가 구동되면, 이 캠 팔로워(46)는 하부암(42)을, 장착축(37)을 지지점으로 하여 회전시키면서 하부암(42)의 결합공(45)을 따라 이동한다. 하부암(42)이 회전하면 장착축(37)도 회전한다. 상기 장착축(37)이 회전하면, 이 장착축(37)의 상부에 설치된 상부암(41)이 연동하여 요동한다.

이와 같이, 하부암(42)과 상부암(41)이 연동하여 요동하면, 하부암(42)의 중도부에 브러시축(32)의 하부가 지지되고, 상부암(41)의 타단부에 상기 브러시축(32)의 상부가 지지된 세정 브러시(31)가 상기 요동에 연동하여 변위한다. 즉, 핸들(51)의 회전 조작에 의해, 세정 브러시(31)의 하부와 상부를 동시에 변위시킬 수 있다.

따라서, 서로 대향하는 한쌍의 세정 브러시(31)를 각각 구동 기구(50)에 의해, 접근하는 방향 또는 멀어지는 방향으로 변위시키면, 이들 한쌍의 세정 브러시(31)의 간격을 조정할 수 있다. 즉, 한쌍의 세정 브러시(31)의 간격을 조정할 때, 상기 세정 브러시(32)의 축 방향의 하부와 상부의 간격 조정을 동시에 행할 수 있으므로, 별도로 행하고 있던 종래에 비해 그 조정 작업을 용이하게 행할 수 있다.

또한, 세정 브러시(31)의 하부와 상부의 요동의 반경은, 장착축(37)의 축심을 지지점으로 하여 미리 동일한 치수로 설정되어 있으므로, 세정 브러시(31)의 하부와 상부를 동일한 요동 반경에서 요동시킬 수 있다. 그에 따라, 한쌍의 세정 브러시(31)를, 이들 브러시축(2)의 축선의 평행도를 잃지 않고, 고정밀도로 간격을 조정할 수 있게 된다.

또한, 한쌍의 세정 브러시(31)의 간격 조정은, 각각의 구동 기구(50)의 핸들(51)을 회전 조작하기만 하면 되므로, 그 조정 작업을 용이하게 행할 수 있다.

상기 일실시예에서는, 제2 암인 하부암을 구동 기구에 의해 요동시킴으로써, 그 요동에 장착축을 통하여 제1 암인 상부암을 연동시키도록 하였지만, 제1 암을 구동 기구에 의해 요동시켜서, 그 요동에 장착축을 통하여 제2 암을 연동시키도록 해도 된다. 그 경우, 제1 암에 상기 일실시예에 나타낸 하부암과 동일한 것이 사용되어, 제2 암에 상부암과 동일한 것이 사용되는 것이 된다.

또한, 기판을 반송하기 위해, 상기 기판의 하단을 지지하고 구동 롤러를 구동하였지만, 구동 롤러와 모두 기판의 경사 방향의 하면을 지지하고 반송 롤러도 회전 구동하도록 해도 된다.

또한, 하부암을 요동시키는 구동 기구로서 하부암에 결합공을 형성하고, 상기 결합공에 캠 팔로워를 결합시키고, 상기 캠 팔로워를 나사축에 의해 구동되는 가동 부재에 연동시킴으로써, 상기 하부암을 요동시키도록 하였지만, 구동 기구의 구성은 한정되지 않고, 예를 들어 가동 부재에 링크의 일단을 연결하고, 이 링크의 타단을 상기 하부암에 연결함으로써, 가동 부재의 움직임에 따라 상기 하부암을 링크를 통하여 요동시키도록 해도 된다.

또한, 상기 일실시예에서는 하부암의 일단부에 장착축을 연결하고, 중도부에 세정 브러시의 타단을 지축을 통하여 연결하였지만, 상기 하부암의 중도부에 장착 축을 연결하고, 타단부에 세정 브러시를 연결해도 된다. 그 경우, 하부암의 일단부에 캠 팔로워가 결합되는 결합공을 형성하면 된다.

또한, 하부암을 상부암과 거의 동일한 길이로 형성하고, 그 일단부에 장착 축을 연결하고, 타단부에 세정 브러시를 장착하는 동시에, 그 타단부에 링크를 연결하고, 이 링크를 통하여 하부암을 장착축을 지지점으로 하여 요동시키도록 해도 된다.

본 발명에 의하면, 제2 암을 요동시키면, 그 요동에 장착축을 통하여 제1 암이 연동하기 때문에, 상기 제1 암의 요동에 세정 브러시가 연동하고, 그 축 방향의 일단부와 타단부의 기판의 판면에 대한 접촉압을 동시에 조정할 수 있다.

Claims (4)

1. 기판을 소정의 경사 각도로 반송하면서 세정 처리하는 처리 장치로서,

   처리조와,

   상기 처리조 내에 공급된 기판을 소정의 경사 각도로 반송하는 반송 수단과,

   상기 처리조 내에서 반송되는 기판의 판면을 세정 처리하는 브러시 유닛을 구비하고,

   상기 브러시 유닛은,

   상기 처리조 내에 축선을 상하 방향을 따르게 하여 회전 가능하게 설치된 장착축과,

   상기 장착축의 상부와 하부의 일단부에 연결 고정된 제1 암과,

   상기 장착축의 타단부에 일단이 연결 고정된 제2 암과,

   축선이 상기 장착축과 평행하도록 축 방향의 일단부가 상기 제1 암에 회전 가능하게 지지되고, 축 방향의 타단부가 상기 제2 암에 회전 가능하게 지지되어 설치된 세정 브러시와.

   상기 제2 암을 요동(搖動)시킴으로써 상기 제1 암을 상기 장착축을 통하여 연동(連動)시켜서 상기 세정 브러시의 상기 기판의 판면에 대한 접촉압을 조정하는 구동 기구

   에 의해 구성되어 있고,

   상기 구동 기구는, 핸들에 의해 회전되는 나사축과, 상기 나사축의 회전에 의해 구동되는 가동 부재와, 상기 가동 부재에 설치되어 상기 제2 암의 타단에 형성된 결합공에 결합되는 작동체를 구비하고,

   상기 나사축을 회전시켜 상기 가동 부재를 구동하고, 상기 작동체를 통하여 상기 제2 암을 요동시킴으로써, 상기 제2 암의 요동에 상기 장착축을 통하여 상기 제1 암을 연동시키는 구성인,

   기판의 처리 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 기판의 한쪽의 판면을 세정하는 제1 세정 브러시를 구비한 제1 브러시 유닛과, 상기 기판의 다른 쪽의 판면을 세정하는 제2 세정 브러시를 구비한 제2 브러시 유닛을 구비하는, 기판의 처리 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 장착축의 회전 중심으로부터 상기 제1 암에 일단부가 장착된 세정 브러시의 축심까지의 거리와, 상기 장착축의 회전 중심으로부터 상기 제2 암에 장착된 세정 브러시의 축심까지의 거리가 동일하도록 설정되어 있는, 기판의 처리 장치.
4. 삭제

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