JP3513378B2

JP3513378B2 - 基板処理装置

Info

Publication number: JP3513378B2
Application number: JP32654797A
Authority: JP
Inventors: 芳弘小山
Original assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Screen Holdings Co Ltd; Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1997-11-27
Filing date: 1997-11-27
Publication date: 2004-03-31
Anticipated expiration: 2017-11-27
Also published as: JP2000183125A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ、液
晶表示装置用ガラス基板、ＰＤＰ（プラズマディスプレ
イパネル）用ガラス基板などの各種の被処理基板に対し
て処理を施すための基板処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程においては、半導
体ウエハや角形ガラス基板に対して種々の処理を施すた
めの基板処理装置が用いられる。基板処理装置には、通
常、処理対象である基板を所定方向に向けて搬送するた
めの装置が備えられている。この基板を搬送するための
装置としては、たとえば、水平面に沿って回動可能な下
アームと、この下アームの先端において垂直面に沿って
回動可能な上アームとを含む屈伸式の搬送ロボットを例
示することができる。

【０００３】この屈伸式の搬送ロボットは、下アームと
上アームとが上下に重なり合った収縮状態から、下アー
ムが回転され、上アームが下アームの回転方向とは逆方
向に下アームの回転角度の２倍の角度だけ回転されるこ
とにより、下アームおよび上アームが展開した伸長状態
に変位できる。上アームの先端上面には、搬送すべき基
板をその裏面の周縁部の複数箇所で保持するための保持
部が設けられている。これにより、上アームの保持部に
基板を保持した状態で、上アームおよび下アームを屈伸
させることにより、基板を所定の方向に搬送することが
できる。

【０００４】この搬送ロボットにおいて、上アームに駆
動源からの駆動力を伝達するための伝達機構として、プ
ーリおよびベルトを含むベルト機構が用いられることが
ある。上アームに駆動力を伝達するためのベルト機構の
概念的な構成を図５に示す。このベルト機構には、駆動
源からの駆動力が入力される駆動プーリ１と、上面にア
ーム２の基端部が固定された従動プーリ３と、駆動プー
リ１および従動プーリ３に巻き掛けられたベルト４とが
備えられている。駆動プーリ１および従動プーリ３は、
その周面に多数の歯が形成された歯付プーリで構成さ
れ、ベルト４は、いわゆるタイミングベルトで構成され
ている。したがって、駆動プーリ１を基板の搬送距離に
応じた角度だけ回転させると、この駆動プーリ１の回転
がベルト４を介して従動プーリ３に伝達されて、従動プ
ーリ３が駆動プーリ１の回転角度に対応した角度だけ回
転する。これにより、アーム２に保持された基板が、所
望の位置まで精度良く搬送される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ベルト機構では、基板の搬送を繰り返すうちに、駆動プ
ーリ１および従動プーリ３の歯またはベルト４の歯が摩
耗して、駆動プーリ１および従動プーリ３に巻き掛けら
れたベルト４に弛みを生じることがあった。ベルト４に
弛みが生じると、駆動プーリ１の回転角度が従動プーリ
３に確実に伝達されず、アーム２による基板の搬送精度
にばらつきを生じるおそれがある。したがって、ベルト
機構を備えた基板処理装置においては、ベルト４の張力
を定期的に調整したり、ベルト４を新品と交換したりす
る必要があった。

【０００６】また、駆動プーリ１および従動プーリ３の
歯やベルト４の歯の摩耗粉が、パーティクルとなって基
板に付着し、基板を汚染するおそれがあった。そこで、
本発明の目的は、プーリおよびベルトの摩耗が抑制され
た基板処理装置を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段および発明の効果】上記の
目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板に対
する処理を行うために移動する移動部材と、駆動源から
の駆動力を上記移動部材に与えるために、回転可能に設
けられて金属材料からなるプーリおよびこのプーリに巻
き掛けられたベルトを有する駆動力伝達機構とを備え、
薬液を用いて基板に処理を施す基板処理装置であって、
上記プーリの上記ベルトに接触する表面には、多孔質皮
膜を形成し、その多孔質皮膜にフッ素樹脂を含浸させる
処理が施されていることを特徴とする基板処理装置であ
る。

【０００８】上記プーリは、その周面に多数の歯が形成
された歯付プーリで構成されるのが好ましく、ベルト
は、プーリの周面と接触する面に多数の歯が形成された
タイミングベルトで構成されるのが好ましい。この構成
によれば、プーリのベルトに接触する表面に、多孔質皮
膜を形成して、その多孔質皮膜にフッ素樹脂を含浸させ
る処理が施されているので、プーリとベルトとの間で生
じる摩擦力が小さくなり、プーリやベルトが摩耗するの
を抑制することができる。また、耐熱性および耐薬液性
が向上する。よって、フッ酸などの薬液がプーリやベル
トに付着しても、その薬液成分によってプーリやベルト
が腐食されるおそれがない。

【０００９】これにより、プーリやベルトの摩耗に起因
したベルトの弛みを防止することができるので、ベルト
の張力を一定張力に保つための張力調整の頻度を減らす
ことができる。また、プーリおよびベルトの寿命を延ば
すことができる。さらには、プーリおよびベルトの摩耗
が抑制されることにより、摩耗によって生じるパーティ
クルの量が減少するので、このパーティクルによって基
板が汚染されるおそれを少なくすることができる。

【００１０】請求項２記載の発明は、上記移動部材は、
基板を保持するための基板保持部材を含むことを特徴と
する請求項１記載の基板処理装置である。この請求項２
に記載されているように、移動部材が基板保持部材で基
板を保持しつつ移動できるものである場合、プーリやベ
ルトの摩耗に起因したベルトの弛みを防止することがで
きるので、移動部材による基板の搬送精度を良好に保つ
ことができる。また、他に設けられた基板保持手段（た
とえばスピンチャック）との間で基板の受渡しを行う際
に、その基板保持手段が設けられた位置まで基板保持部
材を精度良く移動させることができるので、基板保持部
材と他の基板保持手段との間で基板を受渡しを良好に行
うことができる。

【００１１】また、請求項３記載のように、上記多孔質
皮膜は、無電解ニッケルめっき皮膜または硬質アルマイ
ト皮膜であってもよい。請求項４記載の発明は、上記プ
ーリに関して両側に位置する上記ベルトの外周面にそれ
ぞれ接触した２つのテンションローラと、これら２つの
テンションローラを、上記ベルトと交差する方向に連動
して移動させるための連動機構とをさらに含むことを特
徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の基板処理
装置である。この構成によれば、２つのテンションロー
ラを個別に移動させる必要がなく、ベルトの張力を簡単
に調整することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下では、この発明の実施の形態
を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、この
発明の一実施形態に係る基板処理装置の一部の構成を概
念的に示す平面図である。この基板処理装置は、たとえ
ば、半導体ウエハＷ（以下、単に「ウエハＷ」とい
う。）の表面に付着しているパーティクル、研磨剤また
は余分な薄膜などの不要物を除去するためのものであ
り、薬液処理部ＭＴＣおよび水洗・乾燥処理部ＤＴＣを
備えている。また、薬液処理部ＭＴＣと水洗・乾燥処理
部ＤＴＣとの間には、ウエハＷを薬液処理部ＭＴＣから
水洗・乾燥処理部ＤＴＣへ移送するための搬送ロボット
ＳＴＲが備えられている。

【００１３】処理対象であるウエハＷは、まず、薬液処
理部ＭＴＣに搬入されるようになっている。薬液処理部
ＭＴＣには、ウエハＷを水平に保持しつつ回転するスピ
ンチャック１１と、スピンチャック１１に保持されたウ
エハＷの表面に、たとえばフッ酸などの薬液を供給する
ための薬液ノズル（図示せず）とが備えられている。薬
液処理部ＭＴＣに搬入されたウエハＷは、スピンチャッ
ク１１によって回転されつつ、その表面に薬液ノズルか
ら薬液が供給されることにより、薬液による洗浄処理が
施される。

【００１４】薬液処理部ＭＴＣでの処理を受けたウエハ
Ｗは、搬送ロボットＳＴＲによって水洗・乾燥処理部Ｄ
ＴＣへと移送される。水洗・乾燥処理部ＤＴＣには、ウ
エハＷを水平に保持しつつ回転するスピンチャック２１
と、スピンチャック２１に保持されたウエハＷの表面に
純水を供給するための純水ノズル（図示せず）とが備え
られている。水洗・乾燥処理部ＤＴＣは、スピンチャッ
ク２１に保持されたウエハＷの表面に純水ノズルから純
水を供給して、ウエハＷの表面に付着している薬液を除
去する。その後、スピンチャック２１を高速回転させ
て、ウエハＷに付着している水分を遠心力で振り切って
乾燥させる。

【００１５】図２は、搬送ロボットＳＴＲの構成を示す
断面図である。搬送ロボットＳＴＲは、鉛直方向に沿う
回転軸線Ｃ１まわりに回動される下アーム３１と、この
下アーム３１の先端において鉛直方向に沿う回転軸線Ｃ
２まわりに回動自在であるように設けられた上アーム３
２とを備えている。上アーム３２には、ウエハＷの周縁
に沿う円弧形状のガイド面を有する複数のハンド部材３
３が設けられており、このハンド部材３３のガイド面が
ウエハＷの端面に当接した状態で、複数のハンド部材３
３によってウエハＷを保持できる構造となっている。

【００１６】下アーム３１は、回転軸線Ｃ１に沿って配
置された回転軸３４の回動が伝達されることによって回
動する。回転軸３４の下端には、モータＭからの回転力
がプーリ３５，３６およびタイミングベルト３７によっ
て伝達されるようになっている。モータＭの回転状態を
検出するために、このモータＭにはエンコーダＥＮが付
属している。

【００１７】モータＭが付勢されると、回転軸３４が回
動し、それに伴って下アーム３１が回転軸線Ｃ１まわり
に回動する。このとき、上アーム３２は、下アーム３１
に内蔵されたベルト機構（後述する）の働きにより、下
アーム３１の回動方向とは反対方向に、下アーム３１の
回動角度の２倍の角度だけ回動する。したがって、下ア
ーム３１を図１において実線で示す待機状態から回転軸
線Ｃ１を中心として反時計回りに約９０度回転させるこ
とにより、同図において二点鎖線で示すように、上アー
ム３２を薬液処理部ＭＴＣ内に進入させることができ
る。また、下アーム３１を図１において実線で示す待機
状態から回転軸線Ｃ１を中心として時計回りに約９０度
回転させることにより、同図において二点鎖線で示すよ
うに、上アーム３２を水洗・乾燥処理部ＤＴＣ内に進入
させることができる。すなわち、下アーム３１と上アー
ム３２とは、図１において実線で示す待機状態と、同図
において二点鎖線で示す展開された状態との間で屈伸し
て、ウエハＷを薬液処理部ＭＴＣから水洗・乾燥処理部
ＤＴＣに移送することができる。

【００１８】また、搬送ロボットＳＴＲには、上アーム
３２と薬液処理部ＭＴＣのスピンチャック１１および水
洗・乾燥処理部ＤＴＣのスピンチャック２１との間で、
ウエハＷの受け渡しを行うことができるように、下アー
ム３１および上アーム３２が昇降自在にされている。具
体的には、回転軸３４を包囲する保持筒３８は、取付部
材４１に取り付けられており、この取付部材４１には、
鉛直方向に沿って配置されたガイドレール４２上を摺動
する一対のガイドブロック４３が固定されている。取付
部材４１の下端は、エアシリンダ４４のロッド４４ａに
連結されている。したがって、エアシリンダ４４のロッ
ド４４ａを進退させることにより、保持筒３８を上下動
させて、下アーム３１および上アーム３２を昇降させる
ことができる。

【００１９】図３は、下アーム３１の内部構成を示す断
面図であり、図４は、下アーム３１の内部構成を簡略化
して示す平面図である。下アーム３１は、回転軸３４を
包囲する保持筒３８に対して回動自在に設けられてお
り、ベアリング５１を介して保持筒３８の上端に取り付
けられたベース板５２と、このベース板５２の周縁から
立ち上がった周側板５３と、周側板５３の上端を閉塞す
るように設けられた天板５４とを有している。なお、図
４には、天板５４を取り除いた状態が示されている。

【００２０】天板５４は、回転軸３４と天板５４とを連
結するための連結部材５５に対してボルト５６によって
固定されている。また、連結部材５５は、ベース板５２
の基端部にボルト５７で固定されている。したがって、
回転軸３４の回動は、連結部材５５を介してベース板５
２および天板５４に伝達され、これにより、下アーム３
１が保持筒３８（回転軸線Ｃ１）まわりに回動する。

【００２１】下アーム３１の内部には、下アーム３１の
回動に連動して上アーム３２を回動させるための駆動力
伝達機構としてのベルト機構６０が備えられている。ベ
ルト機構６０は、保持筒３８の上端にボルト６１で固定
された固定プーリ６２と、ベース板５２の先端付近に回
転軸線Ｃ２に沿って立設されたプーリ軸６３まわりに回
動自在な従動プーリ６４と、固定プーリ６２および従動
プーリ６４に掛け渡されたベルト６５とを有している。
固定プーリ６２および従動プーリ６４は、その周面に多
数の歯が形成された歯付プーリで構成され、ベルト６５
は、固定プーリ６２および従動プーリ６４と接触する面
に多数の歯が形成されたタイミングベルトで構成されて
いる。

【００２２】従動プーリ６４には、上方に突出した円柱
状の取付部６６が一体的に形成されている。この取付部
６６は、天板５４の先端付近に形成された孔５８を介し
て、天板５４の上方に突出している。取付部６６の上面
には、上アーム３２の基端部３２ａがボルト５９で固定
されている。これにより、従動プーリ６４の回動に伴っ
て、上アーム３２を下アーム３１の先端において回転軸
線Ｃ２まわりに回動させることができる。

【００２３】上記の構成により、下アーム３１が、回転
軸線Ｃ１を中心として図４における時計回りに回転する
と、ベース板５２に立設された従動プーリ６４のプーリ
軸６３が、固定プーリ６２を中心として同図における時
計回りに公転する。このとき、固定プーリ６２は保持筒
３８に固定されて回転しないので、固定プーリ６２に対
するプーリ軸６３の公転により、従動プーリ６４は、そ
の周面に形成された歯がベルト６５の歯に噛み合いなが
ら、プーリ軸６３まわりに図４における反時計回りに自
転する。その結果、従動プーリ６４に取り付けられた上
アーム３２が、回転軸線Ｃ２を中心として図４における
反時計回りに回転する。また逆に、下アーム３１が、回
転軸線Ｃ１を中心として図４における反時計回りに回転
すると、従動プーリ６４が、プーリ軸６３まわりに同図
における時計回りに公転し、上アーム３２が、回転軸線
Ｃ２を中心として同図における時計回りに自転する。

【００２４】したがって、従動プーリ６４の歯数を固定
プーリ６２の歯数の１／２としておけば、上アーム３２
を、下アーム３１の回動方向とは反対方向に下アーム３
１の回動角度の２倍の角度だけ回動させることができ
る。上記したように、固定プーリ６２および従動プーリ
６４が歯付プーリで構成され、ベルト６５がタイミング
ベルトで構成されているため、使用に伴って固定プーリ
６２および従動プーリ６３の歯やベルト６５の歯が摩耗
し、ベルト６５が弛むおそれがある。ベルト６５が弛む
と、上アーム３２が下アームの回転角度の２倍の角度だ
け正確に回転されず、上アーム３２が水洗・乾燥処理部
ＤＴＣのスピンチャック２１（図１参照）や薬液処理部
ＭＴＣのスピンチャック１１（図１参照）の位置まで正
確に移動されないおそれがある。

【００２５】そこで、この実施形態に係る基板処理装置
では、固定プーリ６２および従動プーリ６４の少なくと
も表面は、金属材料（鉄、ステンレス、銅、アルミニウ
ムあるいはこれらの合金等）で形成されており、固定プ
ーリ６２および従動プーリ６４の表面には、その表面の
摩擦係数よりも低い摩擦係数を有する低摩擦性材料がコ
ーティング処理されている。この固定プーリ６２および
従動プーリ６４に対する低摩擦性材料のコーティング処
理は、たとえば、固定プーリ６２および従動プーリ６４
の表面に無電解ニッケルメッキ皮膜（多孔質皮膜）を形
成し、その皮膜にフッ素樹脂を含浸させることによって
達成される。

【００２６】これにより、固定プーリ６２および従動プ
ーリとベルト６５との間で生じる摩擦力が小さくなり、
固定プーリ６２および従動プーリ６４の歯やベルト６５
の歯が摩耗するのを抑制することができるので、このよ
うな歯の摩耗に起因したベルト６５の弛みを防止するこ
とができる。したがって、薬液処理部ＭＴＣのスピンチ
ャック１１（図１参照）の下方に上アーム３２を精度良
く位置させることができるので、上アーム３２のハンド
部材３３に基板を上手く保持させることができる。ま
た、水洗・乾燥処理部ＤＴＣのスピンチャック２１（図
１参照）の上方に上アーム３２を精度良く位置させるこ
とができるので、上アーム３２に保持したウエハＷを、
水洗・乾燥処理部ＤＴＣのスピンチャック２１（図１参
照）に対して良好に受け渡すことができる。

【００２７】また、固定プーリ６２、従動プーリ６４お
よびベルト６５の摩耗が抑制されるから、固定プーリ６
２、従動プーリ６４およびベルト６５の寿命を延ばすこ
とができる。さらには、固定プーリ６２、従動プーリお
よびベルト６５の摩耗が抑制されることにより、摩耗に
よって生じるパーティクルの量が減少するので、このパ
ーティクルによって基板が汚染されるおそれを少なくす
ることができる。

【００２８】そのうえ、低摩擦性材料にはフッ素樹脂が
含有されているので、固定プーリ６２および従動プーリ
６４の摩擦係数が低下するとともに、耐熱性および耐薬
液性が向上する。ゆえに、たとえ薬液を含む雰囲気が下
アーム３１内に入り込んでも、薬液成分によって固定プ
ーリ６２および従動プーリ６４が腐食されるおそれがな
い。

【００２９】また、この実施形態に係る基板処理装置に
は、たとえベルト６５に弛みを生じた場合であっても、
ベルト６５の張力を簡単に調整できるように、張力調整
機構７０が備えられている。張力調整機構７０は、鉛直
方向に沿う軸７１ａ，７２ａまわりにそれぞれ回転自在
に設けられたテンションローラ７１，７２と、このテン
ションローラ７１，７２を連動して移動させる連動機構
７３とを有している。

【００３０】連動機構７３は、軸７１ａ，７２ａが相対
向する周縁位置に立設された回転板７５を有し、この回
転板７５は、ベース板５２の中央付近に形成された円形
凹部７４に嵌め込まれている。回転板７５は、回転軸３
４（回転軸線Ｃ１）とプーリ軸６３（回転軸線Ｃ２）と
を結ぶ直線上に設けられたボルト軸７６によってベース
板５２に取り付けられており、ベース板５２に沿う平面
内でボルト軸７６まわりに回転可能となっている。回転
板７５には、ボルト軸７６を中心とする円弧状の長穴７
７，７８が形成されている。長穴７７，７８には、それ
ぞれ固定用ボルト７９ａ，７９ｂが挿通されており、こ
の固定用ボルト７９ａ，７９ｂを締結することによって
回転板７５のベース板５２に対する回転を規制できる。

【００３１】テンションローラ７１，７２は、回転板７
５の上面にボルト軸７６に関して対称に配置されてお
り、回転板７５の回転位置にかかわらず、従動プーリ６
４に関して両側に位置するベルト６５の外周面にそれぞ
れ接触可能にされている。このベルト機構６０を組み立
てた直後の初期状態において、テンションローラ７１の
軸７１ａおよびテンションローラ７２の軸７２ａは、平
面視において回転軸線Ｃ１と回転軸線Ｃ２とを結ぶ直線
に直交する平面内に含まれている。

【００３２】回転板７５を回転させると、２つのテンシ
ョンローラ７１，７２が同じ回転量だけ連動して回転
し、２つのテンションローラ７１，７２がベルト６５に
交差する方向に移動して、固定プーリ６２と従動プーリ
６４との間のベルト６５の経路長が長くなり、ベルト６
５の張力が増加する。したがって、ベルト６５の張力を
調整する際には、固定用ボルト７９ａ，７９ｂを緩めて
回転板７５を回転させ、ベルト６５の張力が所定の張力
となった状態で固定用ボルト７９ａ，７９ｂを締めれば
よく、２つのテンションローラ７１，７２の位置を個別
に調整する必要はない。ゆえに、ベルト６５の張力を簡
単に調整することができる。

【００３３】以上のようにこの実施形態によれば、固定
プーリ６２および従動プーリ６４の表面に低摩擦性材料
がコーティング処理されているので、固定プーリ６２お
よび従動プーリ６４やベルト６５の摩耗が抑制される。
これにより、摩耗に起因したベルト６５の弛みを防止す
ることができるから、上アーム３２によるウエハＷの搬
送精度を良好に保つことができる。また、ベルト６５の
弛みが防止されるので、ベルト６５の張力調整を頻繁に
行う必要がなく、張力調整を行うための手間を軽減する
ことができる。

【００３４】さらに、張力調整機構７０が備えられてい
るので、たとえベルト６５に弛みが生じた場合であって
も、回転板７５を回転させるだけで簡単にベルト６５の
張力を調整することができる。ゆえに、ベルト６５の張
力調整を行う必要が生じても、その調整作業に手間を要
するといったことがない。この発明の一実施形態の説明
は以上の通りであるが、この発明は、上記の実施形態に
限定されるものではない。たとえば、上記の実施形態に
おいて、固定プーリおよび従動プーリに対する低摩擦性
材料のコーティング処理は、固定プーリおよび従動プー
リの金属表面に無電解ニッケルメッキ皮膜（多孔質皮
膜）を形成し、その皮膜にフッ素樹脂を含浸させること
によって達成されるとしている。しかしながら、固定プ
ーリおよび従動プーリに対する低摩擦性材料のコーティ
ング処理は、特に、少なくとも固定プーリおよび従動プ
ーリの表面がアルミニウムで形成されている場合に、た
とえば、固定プーリおよび従動プーリの表面に硬質アル
マイト処理を施し、フッ素樹脂を含浸させることによっ
て達成することもできる。

【００３５】さらに、上記の実施形態においては、固定
プーリおよび従動プーリの表面が低摩擦性材料でコーテ
ィングされるとしているが、ベルトの固定プーリおよび
従動プーリと接触する面に低摩擦性材料がコーティング
されてもよい。たとえば、このベルトの接触面には、フ
ッ素樹脂等がコーティングされる。また、固定プーリお
よび従動プーリの表面ならびにベルトの表面に、低摩擦
性材料がコーティングされてもよい。たとえば、固定プ
ーリおよび従動プーリの表面には、前述の無電解ニッケ
ルメッキを施してフッ素樹脂を含浸させたものがコーテ
ィングされ、ベルトの表面には、フッ素樹脂がコーティ
ングされる。この場合、プーリおよびベルトのどちらか
一方の表面に低摩擦性材料がコーティングされる場合に
比べて、さらにプーリやベルトの摩耗を抑えることがで
きる。

【００３６】また、上記の実施形態においては、この発
明が屈伸式の搬送ロボットに適用された場合を例にとっ
て説明したが、この発明は、たとえば、プーリおよびベ
ルトを含む駆動力伝達機構を備えたスピンチャックなど
に適用することもできる。さらに、ウエハを処理するた
めの基板処理装置に限らず、たとえば、液晶表示装置用
ガラス基板やＰＤＰ用ガラス基板のような他の種類の基
板を処理するための装置に対しても、この発明を同様に
適用することができる。

【００３７】その他、特許請求の範囲に記載された技術
的事項の範囲内で、種々の設計変更を施すことができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る基板処理装置の一部
構成を概念的に示す平面図である。

【図２】搬送ロボットの構成を示す断面図である。

【図３】下アームの内部構成を示す断面図である。

【図４】下アームに内蔵されたベルト機構の構成を示す
平面図である。

【図５】ベルトを用いた駆動力伝達機構の概念的な構成
を示す図である。

【符号の説明】

３２上アーム（移動部材）３３ハンド部材（基板保持部材）６０ベルト機構（駆動力伝達機構）６２固定プーリ６４従動プーリ６５ベルト

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/68 B65G 49/07 H01L 21/304 648

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】基板に対する処理を行うために移動する移
動部材と、駆動源からの駆動力を上記移動部材に与える
ために、回転可能に設けられて金属材料からなるプーリ
およびこのプーリに巻き掛けられたベルトを有する駆動
力伝達機構とを備え、薬液を用いて基板に処理を施す基
板処理装置であって、上記プーリの上記ベルトに接触する表面には、多孔質皮
膜を形成し、その多孔質皮膜にフッ素樹脂を含浸させる
処理が施されていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】上記移動部材は、基板を保持するための基
板保持部材を含むことを特徴とする請求項１記載の基板
処理装置。
【請求項３】上記多孔質皮膜は、無電解ニッケルめっき
皮膜または硬質アルマイト皮膜であることを特徴とする
請求項１または２に記載の基板処理装置。
【請求項４】上記プーリに関して両側に位置する上記ベ
ルトの外周面にそれぞれ接触した２つのテンションロー
ラと、これら２つのテンションローラを、上記ベルトと交差す
る方向に連動して移動させるための連動機構とをさらに
含むことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記
載の基板処理装置。