KR101273772B1 - 접점내장형 터치식 액정표시장치 및 그 제조방법 - Google Patents

접점내장형 터치식 액정표시장치 및 그 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 제조 공정의 복잡화나 동일 공정으로 제조된 동일 종의 복수의 표시장치 사이에서의 접점 압압력 및 화상 품질의 차이를 생기게 하지 않는 접점내장형 터치식 액정표시장치를 제공한다.
접점내장형 터치식 액정표시장치에 있어서는, 제 1 기판과 제 2 기판을 서로 지지하는 기판 지지 구조의 주상 스페이서가 제 2 기판의 대향면에 있어서, 복수의 접점용 돌기와 동시에 동일한 재료로 동일한 높이로 형성되어 있다. 기판 지지 구조는 제 1 기판의 대향면에 있어서 복수의 주상 스페이서의 선단이 접촉되는 선단을 갖고, 각각이 서로 동일한 높이를 갖는 복수의 토대도 포함한다.

Description

접점내장형 터치식 액정표시장치 및 그 제조방법{TOUCH-TYPE LIQUID CRYSTAL DISPLAY APPARATUS WITH BUILT-IN CONTACT AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
이 발명은 접점내장형 터치식 액정표시장치 및 그 제조방법에 관한 것이다.
종래의 접점내장형 터치식 액정표시장치의 구조는 일본국 특개 2007-95044호 공보에 의해 알려져 있다.
종래의 접점내장형 터치식 액정표시장치는 도 8 및 도 9중에 주요부가 확대되어 개략적으로 도시되어 있는 바와 같이, 서로 평행하게 대향해서 배치되어 있는 제 1 기판(100)과 제 2 기판(102)을 구비하고 있다. 제 1 기판(100) 및 제 2 기판 (102)의 각각은 투명한 유리제이다.
제 1 기판(100)과 제 2 기판(102)의 사이에는 제 1 기판(100) 및 제 2 기판 (102)을 서로 평행하게 이간(離間)시켜 지지하는 기판 지지 구조(104)가 개재되어 있다.
제 1 기판(100)과 제 2 기판(102)은 둘레 가장자리부에 있어서 프레임형상의 시일(seal)재를 통해 접합되어 있고, 제 1 기판(100)과 제 2 기판(102)의 간극이며 시일재에 의해 둘러싸인 영역에는 액정(140)이 봉입되어 있다.
제 1 기판(100)과 제 2 기판(102)의 각각의 대향면에는, 이들 사이의 액정 (140)의 원하는 복수의 부위를 선택적으로 조작하고 이들 원하는 복수의 부위의 광투과율을 선택적으로 조정하기 위한 액정 조작 구조가 형성되어 있다. 상기 원하는 복수의 부위는 화소라고 불리고 있고, 제 1 기판(100)과 제 2 기판(102)의 각각의 대향면 사이에 매트릭스 형상으로 배치되어 있다.
상기 액정 조작 구조는 제 1 기판(100)의 대향면상에 있어서 한방향(도 8중에서는 왼쪽에서 오른쪽을 향하거나 또는 이 반대를 향하는 방향이며, X방향이라고 함)과 직교하는 다른 방향(도 8중에서는 상하를 향하는 방향이며, Y방향이라고 함)으로 미리 정한 간격으로 서로 이간한 복수의 위치의 각각에서 상기 한방향으로 연장돌출한 복수의 주사선(106)과, 제 1 기판(100)의 대향면상에 있어서 상기 한방향으로 미리 정한 간격으로 서로 이간한 복수의 위치의 각각에서 상기 다른 방향으로 연장돌출한 복수의 신호선(108)을 포함한다.
즉, 제 1 기판(100)의 대향면상에 있어서 복수의 주사선(106)과 복수의 신호선(108)은 격자형상으로 배치되어 있고, 상기 격자의 간극에 액정(140)의 상술한 매트릭스형상으로 배치되어 있는 원하는 복수의 화소가 위치하고 있다. 즉, 격자형상으로 배치되어 있는 복수의 주사선(106)과 복수의 신호선(108)은 액정(140)의 상술한 매트릭스형상으로 배치되어 있는 원하는 복수의 화소를 둘러싸고 있다.
상기 액정 조작 구조는 또한, 제 1 기판(100)의 대향면상에 상술한 원하는 복수의 화소에 대응해서 매트릭스형상으로 배치되어 있는 복수의 화소전극(110)을 포함한다. 복수의 화소전극(110)의 각각은 투명한 도전성 재료에 의해 형성되어 있다.
상기 액정 조작 구조는 또한, 제 1 기판(100)의 대향면상에 복수의 화소전극 (110)의 각각에 대응해서 배치된 복수의 박막 트랜지스터(112)를 포함하고 있다. 복수의 박막 트랜지스터(112)의 각각은 대응하는 화소전극(110)과, 대응하는 화소전극(110)에 인접한 1개의 신호선(108)과, 대응하는 화소전극(110)에 인접한 1개의 주사선(106)에 접속되고, 1개의 신호선(108)으로부터 대응하는 화소전극(110)을 향하는 신호를 상술한 1개의 주사선(106)으로부터의 신호에 의해 제어해서 대응하는 화소전극(110)의 동작을 제어한다.
복수의 박막 트랜지스터(112)는 복수의 주사선(106), 복수의 신호선(108), 그리고 복수의 화소전극(110)과 함께, 동시에 동일한 제조기술에 의해 제 1 기판 (100)의 대향면상에 형성되어 있다.
여기에 있어서, 복수의 주사선(106), 복수의 신호선(108), 그리고 복수의 화소전극(110)은 박막 트랜지스터(112)의 제조기술에 의해 제공되어 있는 다층의 절연막을 포함하는 투명절연막 부분(114)에서 서로 전기적으로 절연되어 있다. 제 1 기판(100)의 대향면상에 있어서 복수의 화소전극(110)은 투명절연막 부분(114)상에 배치되어 있다.
또, 복수의 박막 트랜지스터(112)의 각각의 드레인 전극(112a), 소스 전극 (112b), 그리고 게이트 전극(112c)은 대응하는 화소전극(110), 대응하는 화소전극 (110)에 인접한 1개의 신호선(108), 그리고 대응하는 화소전극(110)에 인접한 1개의 주사선(106)에 전기적으로 접속되어 있다.
제 2 기판(102)의 대향면상에는 제 1 기판(100)의 대향면상에 액정(140)의 상술한 원하는 복수의 화소를 둘러싸도록 격자형상으로 배치되어 있는 복수의 주사선(106)과 복수의 신호선(108)에 대응한 격자형상의 차광막(116)(소위, 블랙 마스크)이 형성되어 있다.
제 2 기판(102)의 대향면상에는 또한, 제 1 기판(100)의 대향면상의 복수의 화소전극(110)에 대응해서 미리 정한 배열로 복수의 적색 필터, 녹색 필터, 그리고 청색 필터가 형성되어 있다.
상기 액정 조작 구조는 또한, 제 2 기판(102)의 대향면상에 있어서 격자형상의 차광막(116), 복수의 적색 필터, 녹색 필터, 그리고 청색 필터를 덮는 대향전극 (118)을 포함하고 있다.
종래의 접점내장형 터치식 액정표시장치는 제 1 기판(100) 및 제 2 기판 (102)의 각각의 대향면에 설치되고, 제 2 기판(102)의 외측면의 터치 위치를 검출하는 터치 위치 검출 구조를 구비하고 있다.
터치 위치 검출 구조는 제 1 기판(100)의 대향면상에서 복수의 신호선(108) 중의 원하는 복수의 신호선(108)을 따라 연장돌출한 X좌표 검출라인(120)과, 제 1 기판(100)의 대향면상에서 복수의 주사선(106)중의 원하는 복수의 주사선(106)을 따라 연장돌출한 복수의 Y좌표 검출라인(122)을 포함한다.
복수의 X좌표 검출라인(120)과 복수의 Y좌표 검출라인(122)은 투명절연막 부분(114)의 다층의 절연막에 의해 서로 전기적으로 절연되어 있는 동시에, 복수의 주사선(106)이나 복수의 신호선(108)이나 복수의 화소전극(110)에 대해서도 투명절연막 부분(114)의 다층의 절연막에 의해 전기적으로 절연되어 있다.
복수의 X좌표 검출라인(120)의 각각은 복수의 Y좌표 검출라인(122)과의 교차 위치 근방의 복수의 위치에 X좌표 검출용 접점(120a)을 갖고 있다. 또, 복수의 Y좌표 검출라인(122)의 각각은 복수의 X좌표 검출라인(120)과의 교차 위치 근방의 복수의 위치에 있어서 X좌표 검출용 접점(120a)과 인접해서 Y좌표 검출용 접점 (122a)을 갖고 있다.
복수의 X좌표 검출용 접점(120a)과 복수의 Y좌표 검출용 접점(122a)은 제 1 기판(100)의 대향면상의 상기 복수의 위치의 각각에, 복수의 박막 트랜지스터(112)를 위한 제조기술과 동일한 제조기술에 의해 복수의 박막 트랜지스터(112)와 동시에 작성된다.
이 박막 트랜지스터(112)의 제조기술에 있어서 사용되는 다층의 절연막이 투명절연막 부분(114)의 다층의 절연막을 제공하고 있다.
상기 터치 위치 검출 구조는 또한, 제 2 기판(102)의 대향면에 있어서 제 1 기판(100)상의 상기 복수의 위치에 대향한 복수의 제 1 위치에 형성되고 각각이 미리 정한 높이를 갖고 있는 접점용 돌기(124)를 포함하고 있다. 상기 복수의 제 1 위치는 제 2 기판(102)의 대향면상의 차광막(116)상에 있고, 접점용 돌기(124)는 대향전극(118)의 형성 전에 차광막(116)상에 형성되고, 대향전극(118)에 의해 덮여져 있다.
대향전극(118)에 있어서 접점용 돌기(124)의 돌출단면(선단)을 덮는 부분은 제 1 기판(100)의 대향면상에 있어서 접점용 돌기(124)의 돌출단면(선단)에 대향하고 있는 1조의 서로 인접한 X좌표 검출용 접점(120a) 및 Y좌표 검출용 접점(122a)과 협동(act together)하는 접점전극(124a)으로서 기능한다.
기판 지지 구조(104)는 제 2 기판(102)의 대향면에 있어서 대향전극(118)에 덮여져 있는 차광막(116)상에서 복수의 접점용 돌기(124)의 복수의 제 1 위치와는 다른 복수의 제 2 위치에 형성된 복수의 주상(柱狀) 스페이서(126)를 포함하고 있다.
차광막(116)상의 복수의 제 1 위치의 복수의 접점용 돌기(124)의 각각은 차광막(116)상에 직접적으로 형성되어 있고, 차광막(116)상의 복수의 제 2 위치의 복수의 주상 스페이서(126)는 차광막(116)상에 대향전극(118)을 통해 간접적으로 형성되어 있다. 각각의 접점용 돌기(124)와 각각의 주상 스페이서(126)는 서로 동일한 재료이며 서로 동일한 제조공정(광경화성 수지재료의 도포, 노광, 현상, 그리고 경화)에 의해 형성되어 있지만, 서로 다른 제조 시기에 서로 다른 높이를 갖도록 형성되어 있다. 따라서, 각각의 접점용 돌기(124)의 치수 정밀도와 각각의 주상 스페이서(126)의 치수 정밀도는 다르다.
제 1 기판(100)의 대향면상의 투명절연막 부분(114)은 복수의 화소전극 (110), X좌표 검출용 접점(120a), Y좌표 검출용 접점(122a), 그리고 복수의 박막 트랜지스터(112)와 함께, 제 1 배향막(128)에 의해 덮여져 있다. 제 1 배향막 (128)의 바깥 표면이 러빙(rubbing)처리가 되면, X좌표 검출용 접점(120a) 및 Y좌표 검출용 접점(122a)으로부터 제 1 배향막(128)이 벗겨 내어지고, 이들은 제 1 배향막(128)으로부터 노출된다.
제 2 기판(102)의 대향면상의 대향전극(118)은 주상 스페이서(126)와 함께, 제 2 배향막(130)에 의해 덮여져 있다. 제 2 배향막(130)의 바깥 표면이 러빙처리되는 동안에, 제 2 배향막(130)에 있어서 주상 스페이서(126)의 돌출단면(선단) 및 접점용 돌기(124)의 돌출단면(선단)상에 배치되어 있는 부분이 벗겨 내어지고, 이들은 제 2 배향막(130)으로부터 노출된다.
제 1 기판(100) 및 제 2 기판(102)은 제 1 배향막(128) 또는 제 2 배향막 (130)상의 상술한 미리 정한 범위를 상술한 프레임형상의 시일부재에 의해 둘러싼 후에, 제 2 기판(102)의 대향면상의 복수의 주상 스페이서(126)의 각각의 돌출단면 (선단)을 제 1 기판(100)의 대향면상의 투명절연막 부분(114)에 있어서의 대향 위치에 제 1 배향막(128)을 통해 탑재되어진다. 이것에 의해, 제 1 기판(100)과 제 2 기판(102)은 상술한 프레임형상의 시일부재에 의해 서로 접합되어 있는 동안에, 서로 이간하고 서로 평행하게 지지된다. 이 후, 상술한 프레임형상의 시일부재에 둘러싸인 시일부에 형성한 액정 주입구를 통해 제 1 기판(100)과 제 2 기판(102)의 사이에 기판 지지 구조(104)의 주상 스페이서(126)에 의해 규정된 미리 정한 높이의 제 1 간극 SG에 액정(140)이 주입되고, 마지막으로 상기 액정 주입구가 막힌다.
이때, 기판 지지 구조(104)는 제 2 기판(102)의 복수의 접점용 돌기(124)의 각각의 돌출단면(선단)에 있어서의 대향전극(118)의 부분(접점전극(124a))과 제 1 기판(100)에 있어서의 대응하는 X좌표 검출용 접점(120a) 및 Y좌표 검출용 접점 (122a)의 사이에 미리 정한 제 2 간극(접점 간격) CG를 제공한다.
상술한 종래의 접점내장형 터치식 액정표시장치의 제 2 기판(102)에 있어서는 접점용 돌기(124)의 형성은 대향전극(118)의 형성 전에 실행되고, 기판 지지 구조(104)의 주상 스페이서(126)의 형성은 대향전극(118)의 형성 후에 실행된다.
접점용 돌기(124) 및 주상 스페이서(126)의 각각은 동일한 재료를 사용하고 동일한 제조공정(광경화성 수지재료의 도포, 노광, 현상, 그리고 경화)에 의해 형성되지만, 각각의 형성은 상술한 바와 같이 서로 독립되고 서로 다른 시기에 실행된다. 이것은 제 2 기판(102) 및 그 대향면상에 형성된 상술한 여러 가지의 부재를 포함하는 유닛(CF기판 유닛 CFU)의 제조공정을 복잡화시키고 있다.
또한, 서로 다른 높이의 접점용 돌기(124) 및 주상 스페이서(126)의 각각의 형성을 서로 독립되고 서로 다른 시기에 실행하는 것에 의해, 접점용 돌기(124) 및 주상 스페이서(126)의 각각의 치수의 마무리 정밀도가 다르고 있다. 이것은 복수의 CF기판 유닛 CFU와 제 1 기판(100) 및 그 대향면상에 형성된 상술한 여러 가지의 부재를 포함하는 유닛(TFT기판 유닛 TFU)의 복수의 조합에 있어서, 제 2 간극(접점 간격) CG에 많은 차이가 생기는 것을 의미하고 있다.
즉, 상술한 종래의 복수의 접점내장형 터치식 액정표시장치 사이에서는, CF기판 유닛 CFU의 접점용 돌기(124)의 돌출단면(선단)에 위치하는 대향전극(118)의 부분(접점전극(124a))을 제 1 기판(100)이 대응하는 X좌표 검출용 접점(120a) 및 Y좌표 검출용 접점(122a)에 접촉시키는 데에 필요한 제 2 기판(102)을 압압(押壓)하는 힘이 서로 다르고, 또 상기 압압에 의해 제 2 기판(102)이 휘는 양도 다르다. 제 2 기판(102)의 휘는 양의 다르기는 제 2 기판(102)과 제 1 기판(100)의 사이에 있어서의 접점용 돌기(124)의 주변에 있어서의 액정(140)의 두께(즉, 광투과량)의 다르기를 생기게 하고, 종래의 복수의 접점내장형 터치식 액정표시장치 사이에서 화상 표시 품질의 차이를 생기게 한다.
이 발명의 접점내장형 터치식 액정표시장치의 형태의 하나는,
서로 대향해서 배치된 제 1 기판 및 제 2 기판과,
상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판의 사이에 협지되는 액정과,
상기 제 1 기판과 대향하는 상기 제 2 기판의 대향면에 설치된 적어도 1개의 대향전극과,
상기 제 1 기판에 설치되고 상기 대향전극과 대향해서 배열된 복수의 화소를 형성하기 위한 복수의 화소전극과,
상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 형성된 접점용 돌기와,
상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 형성되고, 상기 접점용 돌기와 동일한 재료에 의해 형성된 주상 스페이서와,
상기 제 1 기판에 있어서 상기 접점용 돌기에 대향해서 설치된 접점과,
상기 제 1 기판에 있어서 상기 주상 스페이서에 대향해서 설치된 상기 접점보다 높은 토대를 포함하고,
상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에,
상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 한다.
상기 토대는, 박막 트랜지스터의 복수의 재료의 적어도 일부를 사용해서 형성되는 토대 파운딩부(base founding portion)와, 상기 박막 트랜지스터 형성 후에 형성되는 높이 조정부를 포함하고, 적층해서 형성되어 있을 수 있다.
상기 접점용 돌기에 대향해서 설치되는 상기 제 1 기판의 상기 접점은 박막 트랜지스터의 복수의 재료의 적어도 일부를 사용해서 형성될 수 있다.
상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소의 사이에 격자형상의 차광막이 형성되어 있고, 상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서 상기 접점용 돌기 및 상기 주상 스페이서는 상기 차광막상에 형성되어 있을 수 있다.
상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기 및 상기 주상 스페이서를 적어도 덮도록 상기 대향전극이 형성되어 있을 수 있다.
상기 제 2 기판의 상기 대향전극을 적어도 덮도록 제 2 배향막이 형성되고, 상기 제 2 기판측에서의 액정분자 배향처리가 실시되어 있을 수 있다.
상기 제 1 기판의 상기 화소전극과, 상기 접점과, 상기 토대를 적어도 덮도록 제 1 배향막이 형성되고, 상기 제 1 기판측에서의 액정분자 배향처리가 실시되어 있을 수 있다.
상기 주상 스페이서는 상기 접점용 돌기와 동일한 높이를 갖고 있을 수 있다.
상기 접점은 복수 있고, 서로 동일한 높이를 갖고 있을 수 있다.
상기 토대는 복수 있고, 서로 동일한 높이를 갖고 있을 수 있다.
상기 접점용 돌기는 복수 있고, 서로 동일한 높이를 갖고 있을 수 있다.
상기 주상 스페이서는 복수 있고, 서로 동일한 높이를 갖고 있을 수 있다.
이 발명의 접점내장형 터치식 액정표시장치의 제조방법의 형태의 하나는,
복수의 화소를 형성하기 위해 복수의 화소전극이 형성되는 제 1 기판의 제 1 면에, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 접점을 형성하는 동시에, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 상기 접점보다 높은 토대를 형성하는 공정과,
적어도 1개의 대향전극이 형성되는 제 2 기판의 제 2 면에, 상기 접점에 대응한 위치에 접점용 돌기를 형성하는 동시에, 상기 접점용 돌기와 동시에 동일한 재료에 의해 상기 토대에 대응한 위치에 주상 스페이서를 형성하는 공정과,
상기 제 1 기판의 상기 제 1 면과 상기 제 2 기판의 상기 제 2 면을 대향시키고, 상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에, 상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하는 공정과,
상기 제 1 기판의 상기 제 1 면과 상기 제 2 기판의 상기 제 2 면의 사이에 액정을 봉입하는 공정을 포함한다.
상기 주상 스페이서는 상기 접점용 돌기와 동일한 높이를 갖고 있을 수 있다.
상기 접점은 복수 있고, 서로 동일한 높이를 갖고 있을 수 있다.
상기 토대는 복수 있고, 서로 동일한 높이를 갖고 있을 수 있다.
상기 접점용 돌기는 복수 있고, 서로 동일한 높이를 갖고 있을 수 있다.
상기 주상 스페이서는 복수 있고, 서로 동일한 높이를 갖고 있을 수 있다.
본 발명에 따르면, 제조 공정의 복잡화나 동일 공정으로 제조된 동일 종의 복수의 표시장치 사이에서의 접점 압압력 및 화상 품질의 차이를 생기게 하지 않는 접점내장형 터치식 액정표시장치를 제공한다.
도 1은 이 발명의 1실시형태에 따른 접점내장형 터치식 액정표시장치의 TFT기판의 대향면에 있어서의 박막 트랜지스터(TFT), 주상 스페이서, X좌표 검출용 접점, 그리고 Y좌표 검출용 접점의 구성을 확대해서 개략적으로 나타내는 확대 부분 평면도이다.
도 2의 (a), 도 2의 (b), 그리고 도 2의 (c)는 도 1의 ⅦB-ⅦB선, ⅦC-ⅦC선, 그리고 ⅦD-ⅦD선을 따른 TFT기판에 있어서의 기판 지지 구조의 토대, X좌표 검출용 접점, 그리고 Y좌표 검출용 접점의 주위를, 이들에 대응하고 있는 CF기판에 있어서의 기판 지지 구조의 주상 스페이서, 및 접점용 돌기와 함께 확대해서 개략적으로 나타내는 종단면도이다.
도 3의 (a), 도 3의 (b), 도 3의 (c), 그리고 도 3의 (d)는 도 1의 ⅦA-ⅦA선, ⅦB-ⅦB선, ⅦC-ⅦC선, 그리고 ⅦD-ⅦD선을 따른 TFT기판의 대향면의 박막 트랜지스터(TFT), 주상 스페이서 대응부, X좌표 검출용 접점, 그리고 Y좌표 검출용 접점의 작성 공정의 최초의 단계를 개략적으로 나타내는 종단면도이다.
도 4의 (a), 도 4의 (b), 도 4의 (c), 그리고 도 4의 (d)는 도 1의 ⅦA-ⅦA선, ⅦB-ⅦB선, ⅦC-ⅦC선, 그리고 ⅦD-ⅦD선을 따른 TFT기판의 대향면의 박막 트랜지스터(TFT), 주상 스페이서 대응부, X좌표 검출용 접점, 그리고 Y좌표 검출용 접점의 작성 공정에 있어서, 제 3 절연막(오버코트 절연막)이 형성되기 직전의 단계를 개략적으로 나타내는 종단면도이다.
도 5의 (a), 도 5의 (b), 도 5의 (c), 그리고 도 5의 (d)는 도 1의 ⅦA-ⅦA선, ⅦB-ⅦB선, ⅦC-ⅦC선, 그리고 ⅦD-ⅦD선을 따른 TFT기판의 대향면의 박막 트랜지스터(TFT), 주상 스페이서 대응부, X좌표 검출용 접점, 그리고 Y좌표 검출용 접점의 작성 공정에 있어서, 제 3 절연막(오버코트 절연막)이 형성된 직후의 단계를 개략적으로 나타내는 종단면도이다.
도 6의 (a), 도 6의 (b), 도 6의 (c), 그리고 도 6의 (d)는 도 1의 ⅦA-ⅦA선, ⅦB-ⅦB선, ⅦC-ⅦC선, 그리고 ⅦD-ⅦD선을 따른 TFT기판의 대향면의 박막 트랜지스터(TFT), 주상 스페이서 대응부, X좌표 검출용 접점, 그리고 Y좌표 검출용 접점의 작성 공정에 있어서, 예를 들면 ITO(Indium Tin Oxide)와 같은 투명한 도전성 재료의 막의 가공 전의 단계를 개략적으로 나타내는 종단면도이다.
도 7의 (a), 도 7의 (b), 도 7의 (c), 그리고 도 7의 (d)는 도 1의 ⅦA-ⅦA선, ⅦB-ⅦB선, ⅦC-ⅦC선, 그리고 ⅦD-ⅦD선을 따른 TFT기판의 대향면의 박막 트랜지스터(TFT), 주상 스페이서 대응부, X좌표 검출용 접점, 그리고 Y좌표 검출용 접점의 작성 공정에 있어서, 박막 트랜지스터(TFT), X좌표 검출용 접점, 그리고 Y좌표 검출용 접점의 완성 후에 주상 스페이서 대응부가 완성된 직후의 단계를 개략적으로 나타내는 종단면도이다.
도 8은 종래의 접점내장형 터치식 액정표시장치의 TFT기판의 대향면에 있어서의 박막 트랜지스터(TFT), 주상 스페이서 대응부, X좌표 검출용 접점, 그리고 Y좌표 검출용 접점의 구성을 확대해서 개략적으로 나타내는 확대 부분 평면도이다.
도 9의 (a), 도 9의 (b), 그리고 도 9의 (c)는 도 8의 ⅨA-ⅨA선, ⅨB-ⅨB선, 그리고 ⅨC-ⅨC선을 따른 종래의 접점내장형 터치식 액정표시장치의 TFT기판에 있어서의 주상 스페이서 대응부, X좌표 검출용 접점, 그리고 Y좌표 검출용 접점의 주위를, 이들에 대응하고 있는 CF기판에 있어서의 주상 스페이서, 및 접점용 돌기와 함께 확대해서 개략적으로 나타내는 종단면도이다.
최초로, 도 1, 도 2의 (a), 도 2의 (b), 그리고 도 2의 (c)를 참조하면서, 이 발명의 1실시형태에 따른 접점내장형 터치식 액정표시장치(10)의 주요부의 구성을 설명한다. 접점내장형 터치식 액정표시장치(10)는 직사각형의 제 1 기판(12a)을 수반한 제 1 기판 유닛(12)과, 직사각형의 제 2 기판(14a)을 수반한 제 2 기판 유닛(14)을 구비하고 있다. 제 1 기판(12a) 및 제 2 기판(14a)의 각각은 투명한 유리제이다.
제 1 기판(12a)과 제 2 기판(14a)은 제 1 기판(12a)과 제 2 기판(14a)의 사이에 개재되어 있는 기판 지지 구조(16)에 의해 서로 이간하고 서로 평행하게 지지되어 있다.
제 1 기판(12a)의 대향면의 주변부와 제 2 기판(14a)의 대향면의 주변부의 사이는 프레임형상의 시일부재에 의해 시일되어 있고, 이 사이에는 액정(70)이 홀딩되어 있다.
제 1 기판(12a)과 제 2 기판(14a)의 각각의 대향면에는 이들 대향면 사이의 미리 정한 영역의 원하는 복수의 부위의 액정(70)을 선택적으로 조작하고, 상기 원하는 복수의 부위의 광투과율을 선택적으로 조정하는 액정 조작 구조 LCO가 설치되어 있다. 상기 원하는 복수의 부위는 매트릭스형상으로 배치되어 있다. 그리고, 이와 동일한 복수의 부위의 각각은 화소라고 불리고 있다.
제 1 기판(12a)과 제 2 기판(14a)의 각각의 대향면에는 또한, 제 2 기판 (14a)의 외측면의 터치 위치를 검출하는 터치 위치 검출 구조 TPS가 설치되어 있다.
제 1 기판(12a) 및 제 2 기판(14a)의 각각의 대향면 사이에 있어서 원하는 복수의 부위의 액정(70)을 선택적으로 조작하고, 상기 원하는 복수의 부위의 광투과율을 선택적으로 조정하기 위한 액정 조작 구조 LCO는 제 1 기판(12a)의 대향면상에 있어서 한방향(도 1중에서는 왼쪽에서 오른쪽을 향하거나 또는 이 반대를 향하는 방향이며, X방향이라고 함)과 직교하는 다른 방향(도 1중에서는 위 또는 아래를 향하는 방향이며, Y방향이라고 함)으로 미리 정한 간격으로 서로 이간한 복수의 위치의 각각에서 상기 한방향(X방향)으로 연장돌출한 복수의 주사선(18)과, 제 1 기판(12a)의 대향면상에 있어서 상기 한방향(X방향)으로 미리 정한 간격으로 서로 이간한 복수의 위치의 각각에서 상기 다른 방향(Y방향)으로 연장돌출한 복수의 신호선(20)을 포함한다.
제 1 기판(12a)의 대향면상에 있어서 복수의 주사선(18)과 복수의 신호선 (20)은 상술한 도시되어 있지 않은 액정(70)의 매트릭스형상으로 배치되어 있는 원하는 복수의 부위(화소)를 둘러싸도록 격자형상으로 배치되어 있다.
제 1 기판(12a)의 대향면상에 있어서의 액정 조작 구조 LCO의 일부는 제 1 기판(12a)의 대향면상에 상술한 원하는 복수의 부위(화소)에 대응해서 매트릭스형상으로 배치되어 있는 복수의 화소전극(22)을 포함한다. 복수의 화소전극(22)의 각각은 예를 들면 ITO(Indium Tin Oxide)와 같은 투명한 도전성 재료의 막에 의해 형성되어 있다.
복수의 주사선(18)의 각각은 상기 한방향(X방향)을 따라 배열되어 있는 복수의 화소전극(22)의 한쪽측을 따르고 있고, 복수의 신호선(20)의 각각은 상기 다른 방향(Y방향)을 따라 배열되어 있는 복수의 화소전극(22)의 한쪽측을 따르고 있다.
제 1 기판(12a)의 대향면상에 있어서의 액정 조작 구조 LCO의 일부는 또한, 제 1 기판(12a)의 대향면상에 복수의 화소전극(22)의 각각에 대응해서 배치된 복수의 박막 트랜지스터(24)를 포함하고 있다. 복수의 박막 트랜지스터(24)의 각각은 대응하는 화소전극(22), 대응하는 화소전극(22)에 인접한 1개의 신호선(20), 그리고 대응하는 화소전극(22)에 인접한 1개의 주사선(18)에 접속되어 있고, 상기 1개의 신호선(20)으로부터 대응하는 화소전극(22)을 향하는 신호의 전달을 상기 1개의 주사선(18)으로부터의 신호에 의해 제어해서 대응하는 화소전극(22)의 동작을 제어한다.
복수의 박막 트랜지스터(24)의 각각은 대응하는 화소전극(22)과 드레인선 (24a)에 의해 접속되고, 대응하는 화소전극(22)에 인접한 상기 1개의 신호선(20)과 소스선(24b)에 의해 접속되고, 대응하는 화소전극(22)에 인접한 상기 1개의 주사선 (18)과 게이트선(24c)에 의해 접속되고, 그리고, 드레인선(24a)과 소스선(24b)과 게이트선(24c)의 사이에는 반도체의 오믹층(24d)이 개재되어 있다. 박막 트랜지스터(24)는 상기 1개의 신호선(20)으로부터 소스선(24b) 및 드레인선(24a)을 통해 대응하는 화소전극(22)을 향하는 신호의 전달을, 상기 1개의 주사선(18)으로부터의 게이트선(24c)을 통한 신호에 의해 오믹층(24d)에 있어서 제어해서, 대응하는 화소전극(22)의 동작을 제어한다.
복수의 박막 트랜지스터(24)는 복수의 주사선(18), 복수의 신호선(20), 그리고 복수의 화소전극(22)과 함께, 제 1 기판(12a)의 대향면상에 형성되어 있다.
여기에 있어서, 복수의 주사선(18), 복수의 신호선(20), 그리고 복수의 화소전극(22)은 복수의 박막 트랜지스터(24)의 형성 동안에 나중에 상세하게 설명하는 다층의 투명절연막에 의해 서로 전기적으로 절연되어 있다. 그리고, 제 1 기판 (12a)의 대향면상에 있어서 복수의 화소전극(22)은 상기 다층의 투명절연막의 최상위의 투명절연막상에 배치되어 있다.
그리고, 복수의 박막 트랜지스터(24)의 각각의 드레인선(24a), 소스선(24b), 그리고 게이트선(24c)은 대응하는 화소전극(22), 대응하는 화소전극(22)에 인접한 상기 1개의 신호선(20), 그리고 대응하는 화소전극(22)에 인접한 상기 1개의 주사선(18)에 전기적으로 접속되어 있다.
터치 위치 검출 구조 TPS에 있어서 제 1 기판(12a)의 대향면상에 설치되어 있는 일부는, 제 1 기판(12a)의 대향면상에서 상기 한방향(이 실시형태에서는, X방향)을 따른 복수의 위치에서 상기 한방향에 대해 직교하는 다른 방향(이 실시형태에서는, Y방향)으로 연장돌출한 복수의 제 1 좌표 검출라인(이 실시형태에서는, X좌표 검출라인)(26)과, 제 1 기판(12a)의 대향면상에서 상기 다른 방향(이 실시형태에서는, Y방향)을 따른 복수의 위치에서 상기 한방향(이 실시형태에서는, X방향)으로 연장돌출한 복수의 제 2 좌표 검출라인(이 실시형태에서는, Y좌표 검출라인)(28)을 포함하고 있다.
이 실시형태에 있어서 복수의 제 1 좌표 검출라인(이 실시형태에서는, X좌표 검출라인)(26)은 제 1 기판(12a)의 대향면상에서 복수의 신호선(20)중의 원하는 복수의 신호선(20)을 따라 연장돌출하고 있고, 또, 복수의 제 2 좌표 검출라인(이 실시형태에서는, Y좌표 검출라인)(28)은 제 1 기판(12a)의 대향면상에서 복수의 주사선(18)중의 원하는 복수의 주사선(18)을 따라 연장돌출하고 있다.
복수의 제 1 좌표 검출라인(이 실시형태에서는, X좌표 검출라인)(26)의 각각은 상기 다른 방향(이 실시형태에서는, Y방향)을 따른 복수의 위치에 제 1 좌표검출용 접점(이 실시형태에서는, X좌표 검출용 접점)(26a)을 갖고 있다. 각각의 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)(26)의 복수의 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)은 복수의 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)과의 교차 위치의 근방에 배치되어 있다.
복수의 제 2 좌표 검출라인(이 실시형태에서는, Y좌표 검출라인)(28)의 각각은 상기 한방향(이 실시형태에서는, X방향)을 따른 복수의 위치에 제 2 좌표검출용 접점(이 실시형태에서는, Y좌표 검출용 접점)(28a)을 갖고 있다. 각각의 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)의 복수의 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)은 각각의 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)이 따르고 있는 상기 한방향(X방향)으로 배열되어 있는 복수의 화소전극(22)중에서 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)이 인접해서 배치되어 있는 복수의 화소전극(22)과 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)(26)을 사이에 두고 반대측에 위치하고 있는 복수의 화소전극(22)에 인접해서 배치되어 있다.
기판 지지 구조(16)에 있어서 제 1 기판(12a)의 대향면상에 설치되어 있는 일부는, 원하는 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)에 인접하고, 복수의 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a) 및 복수의 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)과는 다른 위치에 서로 동일한 높이를 갖는 복수의 토대(30)를 포함하고 있다.
복수의 토대(30)는 복수의 박막 트랜지스터(24)의 형성 동안에 복수의 박막 트랜지스터(24)의 형성 기술을 이용해서 제공되어 있다.
즉, 이 실시형태에 있어서는, 제 1 기판(12a)의 대향면상에 설치되어 있는 액정 조작 구조 LCO의 일부, 터치 위치 검출 구조 TPS의 일부, 그리고 기판 지지 구조(16)의 일부는 동일한 형성 기술에 의해 공통하여 제공되어 있다.
도 1, 도 2의 (a), 도 2의 (b), 그리고 도 2의 (c)로부터는 제 1 기판(12a)의 대향면상에 있어서의, 액정 조작 구조 LCO의 일부인 주사선(18), 신호선(20), 화소전극(22), 그리고 박막 트랜지스터(24); 터치 위치 검출 구조 TPS의 일부인 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)(26), 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a), 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28), 그리고 제 2 좌표검출용 접점 (Y좌표 검출용 접점)(28a); 및, 기판 지지 구조(16)의 일부인 토대(30)의 2차원적인 배치 관계 및 3차원적인 배치 관계를 더욱 상세하게 볼 수 있다.
특히, 도 1로부터는 상기 한방향(X방향)으로 연장돌출하고 있는 주사선(18)을 따라 배치되어 있는 복수의 화소전극(22)에 대응해서 주사선(18)상의 복수의 위치에 복수의 박막 트랜지스터(24)가 배치되어 있고, 주사선(18)에 인접한 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)을 따라 주사선(18)상의 복수의 박막 트랜지스터 (24)의 상호간의 복수의 위치에, 토대(30), 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a), 그리고 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)이 미리 정한 순서로 배치되어 있는 것을 알 수 있다.
도 1로부터는 또한, 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)에 있어서 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)에 대응한 부분은 제 2 좌표검출용 접점 (Y좌표 검출용 접점)(28a)과 접속하기 위한 접속 부분(28b)을 제공하고 있는 것을 알 수 있다. 또, 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)(26)에 있어서 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)에 대응한 부분에는, 상술한 다층의 절연막을 포함하는 투명절연막 부분에 의해 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)에 대해 전기적으로 절연되어 있는 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)(26)으로부터 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)과 접속하기 위한 접속 부분(26b)이 연장되어 있는 것을 알 수 있다.
또, 도 2의 (a), 도 2의 (b), 그리고 도 2의 (c)로부터는 제 1 기판(12a)의 대향면상에 있어서, 신호선(20), 화소전극(22), 박막 트랜지스터(24), 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)(26), 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a), 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28), 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a), 그리고 토대(30)가 서로 상하방향으로 이간해서 배치되어 있는 동시에, 이들이 후술하는 다층의 절연막을 포함하는 투명절연막 부분에 의해 서로 절연되어 있는 것을 알 수 있다.
도 2의 (a), 도 2의 (b), 그리고 도 2의 (c)에는 또한, 제 1 기판(12a)의 대향면상에 있어서 제 2 기판(14a)의 대향면에 가장 가까운 위치에 적용되어 있는 제 1 배향막(32)이 도시되어 있다. 제 1 배향막(32)은 제 1 기판(12a)의 대향면으로부터의 돌출 높이가 비교적 큰 복수의 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a), 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a), 그리고 토대(30)의 돌출단면(선단)(30a)에서는 두께가 다른 부분에 비해 얇게 되어 있다.
따라서, 적용 당초의 제 1 배향막(32)의 바깥 표면에 러빙처리를 포함하는 배향 처리를 실시하는 것에 의해, 제 1 배향막(32)에 있어서 토대(30)의 돌출단면(선단)(30a), 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a), 그리고 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)상에 위치하는 두께가 비교적 얇은 부분은 이들의 위로부터 제거되어 있다.
도 2의 (a), 도 2의 (b), 그리고 도 2의 (c)에는 또한, 제 1 기판(12a)의 외측면에 붙여져 있는 편광판(34) 및 제 2 기판(14a)의 외측면에 붙여져 있는 편광판 (36)이 도시되어 있다.
도 2의 (a), 도 2의 (b), 그리고 도 2의 (c)에는, 제 1 기판(12a)의 대향면상에 상술한 원하는 복수의 화소를 둘러싸도록 격자형상으로 배치되어 있는 복수의 주사선(18)과 복수의 신호선(20)에 대향하고 제 2 기판(14a)의 대향면상에 형성되어 있는 격자형상의 차광막(38)(소위 블랙 마스크)이 도시되어 있다.
제 2 기판(14a)의 외측면의 편광판(36)으로부터 제 1 기판(12a)을 보았을 때에, 격자형상의 차광막(38)은 제 1 기판(12a)의 대향면상의 복수의 주사선(18)과 복수의 신호선(20)을 덮고, 또한, 상기 원하는 주사선(18)과 상기 원하는 신호선 (20)을 따르고 있는 복수의 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)과 복수의 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)(26)에 대향하고 복수의 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)과 복수의 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)(26)을 덮고 있다. 차광막(38)은 또, 복수의 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)을 따라 배치되어 있는 복수의 박막 트랜지스터(24), 복수의 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a), 복수의 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a), 그리고 복수의 토대(30)를 덮고 있다. 제 1 기판(12a)의 대향면상의 복수의 화소전극(22)은 격자형상의 차광막(38)중의 복수의 개구에 대응하고 있고, 차광막(38)에 의해 덮여져 있지 않다.
제 2 기판(14a)의 대향면상에는 또한, 격자형상의 차광막(38)중의 복수의 개구에 대응하며, 즉, 제 1 기판(12a)의 대향면상의 복수의 화소전극(22)에 대응해서, 미리 정한 배열로 예를 들면 적색 필터, 녹색 필터, 그리고 청색 필터를 포함하는 복수의 컬러 필터가 형성되어 있다. 상기 각 컬러 필터의 일부분은 차광막 (38)상에도 형성된다.
도 2의 (a), 도 2의 (b), 그리고 도 2의 (c)중에 도시되어 있는 바와 같이, 제 2 기판(14a)의 대향면에 있어서의 상술한 터치 위치 검출 구조 TPS의 남은 부분은 제 2 기판(14a)의 대향면의 차광막(38)상에 있어서, 제 1 기판(12a)의 대향면의 복수의 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a) 및 복수의 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)에 대향한 복수의 제 1 위치에 형성된 복수의 접점용 돌기(40)를 포함한다. 복수의 접점용 돌기(40)는 각각이 서로 동일한 구성이며, 서로 동일한 미리 정한 높이를 갖고 있다. 도 2의 (a), 도 2의 (b), 그리고 도 2의 (c)에는, 제 1 기판(12a)의 대향면의 복수의 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)의 1개에 대향하고 있는 1개의 접점용 돌기(40) 및 제 1 기판(12a)의 대향면의 복수의 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)의 1개에 대향하고 있는 접점용 돌기(40)가 도시되어 있다.
제 2 기판(14a)의 대향면에 있어서의 기판 지지 구조(16)의 남은 부분은 제 2 기판(14a)의 대향면의 차광막(38)상에 있어서, 제 1 기판(12a)의 대향면의 복수의 토대(30)에 대향하고, 상기 복수의 제 1 위치와는 다른 복수의 제 2 위치에 형성된 복수의 주상 스페이서(42)를 포함한다. 복수의 주상 스페이서(42)의 각각은 복수의 접점용 돌기(40)의 각각과 서로 동일한 구성이고, 서로 동일한 미리 정한 높이를 갖고 있다. 복수의 주상 스페이서(42)의 각각은 복수의 접점용 돌기(40)의 각각과, 동일한 재료를 사용하며 동일한 제조공정(광경화성 수지재료의 도포, 노광, 현상, 그리고 경화)에 의해 형성되어 있다. 따라서, 복수의 주상 스페이서 (42)의 각각과 복수의 접점용 돌기(40)의 각각은 서로 동일한 치수 정밀도로 제 2 기판(14a)의 대향면의 차광막(38)상의 복수의 상기 제 1 위치의 각각 및 복수의 상기 제 2 위치의 각각에 형성되어 있으므로, 제 2 기판(14a)의 대향면상의 차광막 (38), 즉 제 2 기판(14a)의 대향면으로부터 서로 동일한 높이 H로 돌출하고 있다.
그리고, 상술하는 바와 같이 상기 각 컬러 필터의 일부가 차광막(38)상에도 형성되는 경우에는, 차광막(38)상에서 복수의 접점용 돌기(40) 및 복수의 주상 스페이서(42)가 형성되는 장소를 피하도록 상기 각 컬러 필터의 일부가 형성된다.
제 2 기판(14a)의 대향면에 있어서의 상술한 액정 조작 구조 LCO의 남은 부분은 제 2 기판(14a)의 대향면에 형성되어 있는 모든 부재(즉, 차광막(38), 복수의 적색 필터, 녹색 필터, 그리고 청색 필터, 복수의 주상 스페이서(42) 및 복수의 접점용 돌기(40))를 덮는 대향전극(44)을 포함한다. 제 2 기판(14a)의 대향 표면상의 대향전극(44)은 제 1 기판(12a)의 대향면상의 복수의 화소전극(22)과 대향하고 있다. 대향전극(44)은 투명한 도전성 재료를 사용해서 형성되어 있다.
대향전극(44)은 제 2 배향막(46)으로 덮여져 있다. 그렇지만, 제 2 기판 (14a)의 대향면으로부터의 돌출 높이가 비교적 높은 복수의 주상 스페이서(42) 및 복수의 접점용 돌기(40)의 각각의 돌출단면(선단)에서는, 제 2 배향막(46)의 두께가 다른 부분에 비해 얇게 되어 있다.
따라서, 적용 당초의 제 2 배향막(46)의 바깥 표면에 러빙처리를 포함하는 배향 처리를 실시하는 것에 의해, 제 2 배향막(46)에 있어서 복수의 주상 스페이서 (42) 및 복수의 접점용 돌기(40)의 각각의 돌출단면(선단)상에 위치하는 두께가 비교적 얇은 부분은 이들의 위로부터 제거되어 있다. 이 결과로서, 대향전극(44)에 있어서 복수의 접점용 돌기(40)의 각각의 돌출단면(선단)상에 노출된 부분은 복수의 접점용 돌기(40)의 각각의 돌출단면(선단)을 덮는 접점전극(48)으로서도 기능할 수 있다.
이 실시형태에 있어서, 제 1 기판 유닛(12)은, 제 1 기판(12a); 제 1 기판 (12a)의 대향면상에 있어서 액정 조작 구조 LCO의 일부를 구성하고 있는 복수의 주사선(18), 복수의 신호선(20), 복수의 화소전극(22), 복수의 박막 트랜지스터(24), 상술한 다층의 투명절연층; 제 1 기판(12a)의 대향면상에 있어서 터치 위치 검출 구조 TPS의 일부를 구성하고 있는 복수의 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)을 각각이 수반한 복수의 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)(26), 복수의 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)을 각각이 수반한 복수의 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28); 제 1 기판(12a)의 대향면상에 있어서 기판 지지 구조(16)의 일부를 구성하고 있는 복수의 토대(30); 그리고 제 1 기판(12a)의 대향면상의 제 1 배향막(32)에 의해 구성되어 있다. 제 1 기판 유닛(12)은 TFT기판 유닛이라고도 불리며, 단독으로 취급 가능하다.
그리고, 제 2 기판 유닛(14)은, 제 2 기판(14a); 제 2 기판(14a)의 대향면상의 차광막(38); 제 2 기판(14a)의 대향면상의 예를 들면 복수의 적색 필터, 녹색 필터, 그리고 청색 필터를 포함하는 복수의 컬러 필터; 제 2 기판(14a)의 대향면상에 있어서 액정 조작 구조 LCO의 남은 부분을 구성하고 있는 대향전극(44); 제 2 기판(14a)의 대향면상에 있어서 터치 위치 검출 구조 TPS의 남은 부분을 구성하고 있는 복수의 접점용 돌기(40) 및 그 돌출단면(선단)의 접점전극(48); 제 2 기판 (14a)의 대향면상에 있어서 기판 지지 구조(16)의 남은 부분을 구성하고 있는 복수의 주상 스페이서(42); 그리고 제 2 기판(14a)의 대향면상의 제 2 배향막(46)에 의해 구성되어 있다. 제 2 기판 유닛(14)은 CF(Color Filter)기판 유닛이라고도 불리며, 단독으로 취급 가능하다.
상술한 바와 같이 구성된 제 1 기판 유닛(TFT기판 유닛)(12) 및 제 2 기판 유닛(CF기판 유닛)(14)은 제 1 배향막(32) 또는 제 2 배향막(46)상의 미리 정한 범위를 프레임형상의 시일부재에 의해 둘러싼 후에, 제 2 기판(14a)의 대향면상의 기판 지지 구조(16)의 복수의 주상 스페이서(42)의 돌출단면(선단)을 제 1 기판(12a)의 대향면상이 대응하는 복수의 토대(30)의 돌출단면(선단)(30a)상에 탑재되어진다. 이것에 의해, 제 1 기판 유닛(TFT기판 유닛)(12)과 제 2 기판 유닛(CF기판 유닛)(14)은 상술한 시일부재에 의해 서로 접합되고, 제 1 기판(12a)과 제 2 기판 (14a)은 기판 지지 구조(16)에 의해 상호간에 미리 정한 제 1 간극 CL을 통해 서로 이간하고 서로 평행하게 지지된다. 이 후, 상기 프레임형상의 시일부재에 의해 둘러싸인 시일부에 형성한 액정 주입구를 통해 제 1 기판 유닛(TFT기판 유닛)(12)과 제 2 기판 유닛(CF기판 유닛)(14)의 사이의 공간에서 상기 프레임형상의 시일부재에 의해 둘러싸인 상술한 시일부의 미리 정한 범위에 액정(70)이 주입되고, 마지막으로 상기 액정 주입구가 막아진다.
이때, 기판 지지 구조(16)를 제공하고 있는 제 2 기판(14a)의 대향면상의 복수의 주상 스페이서(42)와 제 1 기판(12a)의 대향면상의 대응하는 복수의 토대(30)는, 제 2 기판(14a)의 복수의 접점용 돌기(40)의 각각의 돌출단면(선단)에 있어서의 대향전극(44)의 부분인 접점전극(48)과 제 1 기판(12a)에 있어서의 대응하는 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a) 및 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)의 사이에 미리 정한 제 2 간극(접점 간격) CK를 제공한다. 당연한 것이지만, 제 2 간극(접점 간격) CK는 제 1 기판(12a)과 제 2 기판(14a)의 사이에 기판 지지 구조(16)에 의해 설정된 미리 정한 제 1 간극 CL보다 짧다.
다음에, 도 3의 (a), 도 3의 (b), 도 3의 (c), 도 3의 (d), 내지 도 7의 (a), 도 7의 (b), 도 7의 (c), 도 7의 (d)를 참조하면서, 제 1 기판(12a)의 대향면상에 있어서의 박막 트랜지스터(24), 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a) 및 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)을 포함하는 터치 위치 검출 구조 TPS의 일부, 그리고 기판 지지 구조(16)에 공통의 제조공정에 대해 설명한다.
또한, 도 3의 (a), 도 4의 (a), 도 5의 (a), 도 6의 (a), 그리고 도 7의 (a)에서는, 도 1중에 나타나 있는 접점내장형 터치식 액정표시장치(10)의 제 1 기판 (12a)의 대향면에 있어서, 박막 트랜지스터(24)가 순차 형성되는 모습이 도 1의 단면선 ⅦA-ⅦA을 따른 개략적인 횡단면에 있어서 나타나 있다.
또, 도 3의 (b), 도 4의 (b), 도 5의 (b), 도 6의 (b), 그리고 도 7의 (b)에서는, 도 1중에 나타나 있는 접점내장형 터치식 액정표시장치(10)의 제 1 기판 (12a)의 대향면에 있어서, 박막 트랜지스터(24)의 제조와 동시에 동일하게 기판 지지 구조(16)의 토대(30)가 순차 형성되는 모습이 도 1의 단면선 ⅦB-ⅦB를 따른 개략적인 횡단면에 있어서 나타나 있다.
또, 도 3의 (c), 도 4의 (c), 도 5의 (c), 도 6의 (c), 그리고 도 7의 (c)에서는, 도 1중에 나타나 있는 접점내장형 터치식 액정표시장치(10)의 제 1 기판 (12a)의 대향면에 있어서, 박막 트랜지스터(24)의 제조와 동시에 동일하게, 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)을 포함하는 터치 위치 검출 구조 TPS가 순차 형성되는 모습이 도 1의 단면선 ⅦC-ⅦC를 따른 개략적인 횡단면에 있어서 나타나 있다.
또, 도 3의 (d), 도 4의 (d), 도 5의 (d), 도 6의 (d), 그리고 도 7의 (d)에서는, 도 1중에 나타나 있는 접점내장형 터치식 액정표시장치(10)의 제 1 기판 (12a)의 대향면에 있어서, 박막 트랜지스터(24)의 제조와 동시에 동일하게, 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)을 포함하는 터치 위치 검출 구조 TPS가 순차 형성되는 모습이, 도 1의 단면선 ⅦD-ⅦD를 따른 개략적인 횡단면에 있어서 나타나 있다.
처음에는 도 3의 (a), 도 3의 (b), 도 3의 (c), 그리고 도 3의 (d)중에 도시되어 있는 바와 같이, 제 1 기판(12a)의 대향면상에 포토리소그래피법에 의해 게이트 메탈(게이트 전극)인 도전성 금속막을 사용해서 주사선(18) 및 주사선(18)을 따라 연장돌출하고 있는 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)이 형성된다. 그리고, 도 1중에 나타나 있는 바와 같이, 주사선(18)에 있어서 복수의 박막 트랜지스터(24)에 대응한 부분은 박막 트랜지스터(24)를 위한 게이트선(24c)을 제공하고 있다. 또 도 1중에 나타나 있는 바와 같이, 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)에 있어서 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)에 대응한 부분은 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)을 위한 접속 부분(28b)을 제공하고 있다.
다음에, 도 4의 (a), 도 4의 (b), 도 4의 (c), 그리고 도 4의 (d)중에 도시되어 있는 바와 같이, 제 1 기판(12a)의 대향면상에는 예를 들면 SiNx를 사용한 투명한 제 1 절연막(게이트 절연막)(50)이 주사선(18) 및 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)을 덮도록 형성된다.
다음에, 예를 들면 a-Si층(52) 및 n+a-Si층(54)이 부분적으로, 예를 들면 SiNx를 사용한 제 2 절연막(채널 보호층)(56)을 통해 적층된다.
다음에, n+a-Si층(54)을 덮도록 드레인 메탈(드레인 전극)인 도전성 금속막 (58)이 형성된다. 도전성 금속막(58)은 도 1중에 나타나 있는 박막 트랜지스터 (24)의 근방의 신호선(20) 및 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)의 근방의 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)(26)을 제공하고 있다.
그리고, 도 1을 참조하면서 상술한 바와 같이, 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)(26)에 있어서 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)에 대응한 부분은, 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)을 위한 접속 부분(26b)를 제공하고 있다.
n+a-Si층(54) 및 도전성 금속막(58)은 도 1의 단면선 ⅦA-ⅦA를 따른 횡단면의 일부를 나타내고 있는 도 4의 (a)중에 나타나 있는 바와 같이, 화소전극(22)에 가까운 측과 화소전극(22)으로부터 먼 측으로 2분할된다.
a-Si층(52), 제 2 절연막(채널 보호층)(56), 그리고 이와 같이 2분할된 n+a-Si층(54)의 적층의 조합은 박막 트랜지스터(24)의 오믹층(24d)을 제공하고 있다. 또, 이와 같이 2분할된 도전성 금속막(58)은 화소전극(22)에 가까운 측이 도 1중에 나타나 있는 박막 트랜지스터(24)의 드레인선(24a)을, 또 화소전극(22)으로부터 먼 측이 도 1중에 나타나 있는 박막 트랜지스터(24)에 있어서 신호선(20)으로부터 연장되어 있는 소스선(24b)을 제공하고 있다.
다음에, 도 5의 (a), 도 5의 (b), 도 5의 (c), 그리고 도 5의 (d)중에 도시되어 있는 바와 같이, 도전성 금속막(58)을 덮는, 예를 들면 SiNx를 사용한 투명한 제 3 절연막(오버코트 절연막)(60)이 형성된다.
여기서, 도 5의 (a)중에 도시되어 있는 바와 같이, 제 3 절연막(오버코트 절연막)(60)에 있어서 박막 트랜지스터(24)의 대응 부분에 있어서는, 도전성 금속막 (58)의 드레인선(24a)에 대응한 위치에 드레인선(24a)을 노출시키기 위한 콘택트홀 (60a)이 형성된다. 콘택트홀(60a)은 도 1중에도 도시되어 있다.
또, 도 5의 (c)중에 도시되어 있는 바와 같이, 제 3 절연막(오버코트 절연막)(60)에 있어서 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)(26)의 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)을 위한 접속 부분(26b)에 대응한 부분에 접속 부분 (26b)을 노출시키기 위한 콘택트홀(60b)이 형성된다. 콘택트홀(60b)은 도 1중에도 도시되어 있다.
또한, 도 5의 (d)중에 도시되어 있는 바와 같이, 제 3 절연막(오버코트 절연막)(60)에 있어서 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)의 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)을 위한 접속 부분(28b)에 대응한 부분에 접속 부분 (28b)을 노출시키기 위한 콘택트홀(60c)이 형성된다. 콘택트홀(60c)은 제 3 절연막(오버코트 절연막)(60)과 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)을 위한 접속 부분(28b)의 사이에 존재하고 있는 제 1 절연막(게이트 절연막)(50)도 관통하고 있다. 콘택트홀(60c)은 도 1중에도 도시되어 있다.
이 단계에서, 도 5의 (a)중에 도시되어 있는 박막 트랜지스터(24)의 대응 부분에 있어서는, 주사선(18)의 게이트선(24c); 게이트선(24c)에 겹쳐진 제 1 절연막 (게이트 절연막)(50)의 부분; 제 1 절연막(게이트 절연막)(50)의 상기 부분에 겹쳐진 a-Si층(52), 제 2 절연막(채널 보호층)(56), 그리고 2분할된 n+a-Si층(54)을 포함하는 반도체를 위한 오믹층(24d); 오믹층(24d)의 2분할된 n+a-Si층(54)상의 드레인선(24a) 및 소스선(24b); 그리고 드레인선(24a) 및 소스선(24b)을 덮는 제 3 절연막(오버코트 절연막)(60)이 박막 트랜지스터(24)를 제공하고 있다.
다음에, 도 6의 (a), 도 6의 (b), 도 6의 (c), 그리고 도 6의 (d)중에 도시되어 있는 바와 같이, 제 3 절연막(오버코트 절연막)(60)을 덮도록 예를 들면 ITO와 같은 재료가 투명한 도전막(62)이 형성된다.
도전막(62)은 도 6의 (a)중에 도시되어 있는 바와 같이, 드레인선(24a)을 노출시키기 위한 콘택트홀(60a)중에도 형성되어 드레인선(24a)과 전기적으로 접속된다. 도전막(62)은 또, 도 6의 (c)중에 도시되어 있는 바와 같이, 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)을 위한 접속 부분(26b)을 노출시키기 위한 콘택트홀 (60b)중에도 형성되어 접속 부분(26b)과 전기적으로 접속된다. 도전막(62)은 또한, 도 6의 (d)중에 도시되어 있는 바와 같이, 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)을 위한 접속 부분(28b)을 노출시키기 위한 콘택트홀(60c)중에도 형성되어 접속 부분(28b)과 전기적으로 접속된다.
도전막(62)이 형성된 시점에서, 도 6의 (a), 도 6의 (b), 도 6의 (c), 그리고 도 6의 (d)중에 도시되어 있는 도 1의 단면선 ⅦA-ⅦA를 따른 박막 트랜지스터 (24)의 대응 부분의 횡단면의 일부, 도 1의 단면선 ⅦB-ⅦB를 따른 토대(30)의 대응 부분의 횡단면의 일부, 도 1의 단면선 ⅦC-ⅦC를 따른 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)을 포함하는 터치 위치 검출 구조 TPS의 횡단면의 일부, 그리고 도 1의 단면선 ⅦD-ⅦD를 따른 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점) (28a)을 포함하는 터치 위치 검출 구조 TPS의 횡단면의 일부의 각각은, 박막 트랜지스터(24)를 형성하기 위한 상술한 제조방법에 의해서 제 1 기판(12a)의 대향면상에 공통하여 동시에 형성되어 있으므로, 제 1 기판(12a)의 대향면으로부터의 높이는 서로 동일하다.
다음에, 도 1의 단면선 ⅦB-ⅦB를 따른 토대(30)의 대응 부분의 횡단면의 일부를 나타내고 있는 도 6의 (b)에 있어서는 도전막(62)의 위에 또한, 미리 정한 높이가 될 때까지 예를 들면 SiNx를 사용한 투명한 제 4 절연막(토대용 절연막)에 의해 높이 조정 부분(30b)이 형성되고, 그 꼭대기점이 토대(30)의 돌출단면(선단)(30a)을 제공하고 있다.
마지막으로 도전막(62)은 도 1의 박막 트랜지스터(24)의 대응 부분에서는, 도 1의 (a)의 단면선 ⅦA-ⅦA를 따른 박막 트랜지스터(24)의 대응 부분의 횡단면을 나타내고 있는 도 7의 (a)중에 나타나 있는 바와 같이, 드레인선(24a)과 전기적으로 접속된 콘택트홀(60a)중의 부분 및 박막 트랜지스터(24)에 인접한 화소전극(22)을 제공하는 부분을 제외하고 삭제된다.
또, 마지막으로 도전막(62)은 도 1의 토대(30)의 대응 부분에서는, 도 1의 단면선 ⅦB-ⅦB를 따른 토대(30)의 대응 부분의 횡단면을 나타내고 있는 도 7의 (b)중에 나타나 있는 바와 같이, 높이 조정 부분(30b)으로 덮여져 있는 부분을 제외하고 삭제된다.
또, 마지막으로 도전막(62)은 도 1의 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)의 대응 부분 및 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)(26)의 접속 부분 (26b)에서는, 도 1의 단면선 ⅦC-ⅦC를 따른 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)의 대응 부분 및 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)(26)의 접속 부분 (26b)의 횡단면을 나타내고 있는 도 7의 (c)중에 나타나 있는 바와 같이, 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)의 대응 부분 및 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)을 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)(26)의 접속 부분 (26b)에 전기적으로 접속시키는 콘택트홀(60b)중의 부분을 제외하고 삭제된다.
또한 마지막으로 도전막(62)은 도 1의 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)의 대응 부분 및 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)의 접속 부분 (28b)에서는, 도 1의 단면선 ⅦD-ⅦD를 따른 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)의 대응 부분 및 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)의 접속 부분 (28b)의 횡단면을 나타내고 있는 도 7의 (d)중에 나타나 있는 바와 같이, 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)의 대응 부분 및 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)을 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)(28)의 접속 부분 (28b)에 전기적으로 접속시키는 콘택트홀(60c)중의 부분을 제외하고 제거된다.
도 1의 단면선 ⅦA-ⅦA를 따른 박막 트랜지스터(24)의 대응 부분의 최종적인 횡단면을 나타내는 도 7의 (a), 도 1의 단면선 ⅦB-ⅦB를 따른 토대(30)의 대응 부분이 최종적인 횡단면을 나타내는 도 7의 (b), 도 1의 단면선 ⅦC-ⅦC를 따른 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)의 대응 부분의 최종적인 횡단면을 나타내는 도 7의 (c), 그리고, 도 1의 단면선 ⅦD-ⅦD를 따른 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)의 대응 부분의 최종적인 횡단면을 나타내는 도 7의 (d)를 비교해 보면, 이하의 것을 알 수 있다.
즉, 제 1 기판(12a)의 대향면으로부터 도 7의 (c)에 나타나 있는 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)의 돌출단면(선단)까지의 높이 및 도 7의 (d)에 나타나 있는 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)의 돌출단면(선단)까지의 높이는 서로 동일하다. 제 1 기판(12a)의 대향면으로부터 도 7의 (a)에 나타나 있는 박막 트랜지스터(24)의 돌출단면(선단)까지의 높이는, 도 7의 (c)에 나타나 있는 상술한 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)의 돌출단면(선단)까지의 높이 및 도 7의 (d)에 나타나 있는 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)의 돌출단면(선단)까지의 높이보다, 마지막으로 박막 트랜지스터(24)의 돌출단면(선단)으로부터 제거된 도전막(62)의 두께분만큼 낮다. 또한, 제 1 기판 (12a)의 대향면으로부터 토대(30)의 돌출단면(선단)(30a)까지의 높이는, 도 7의 (c)에 나타나 있는 상술한 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)의 돌출단면(선단)까지의 높이 및 도 7의 (d)에 나타나 있는 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)의 돌출단면(선단)까지의 높이보다, 마지막으로 도전막(62)의 위에 형성된 높이 조정 부분(30b)의 돌출단면(선단)(30a)까지의 높이분만큼 높다.
상술한 접점내장형 터치식 액정표시장치(10)에 있어서는, 대향전극(44)을 갖는 제 2 기판 유닛(CF기판 유닛)(14)은 차광막(38) 및 예를 들면 적색 필터, 녹색 필터, 그리고 청색 필터를 포함하는 복수의 컬러 필터를 갖고 있으며, CF기판 유닛이라고 불리고 있었지만, 이 발명의 이념을 따르면, 제 2 기판 유닛(14)은 차광막 (38) 및 예를 들면 적색 필터, 녹색 필터, 그리고 청색 필터를 포함하는 복수의 컬러 필터를 갖고 있지 않아도 좋고, 차광막(38)만을 갖고 있지 않아도 좋고, 또한 예를 들면 적색 필터, 녹색 필터, 그리고 청색 필터를 포함하는 복수의 컬러 필터를 갖고 있지 않아도 좋다.
또한, 광배향처리와 같이 러빙처리를 수반하지 않는 액정 배향 처리의 경우에는, 주상 스페이서(42), 접점용 돌기(40), 토대(30), 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a) 및 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)의 각각의 돌출단면(선단)은 배향막에 덮여진 채로 되지만, 이 경우에도 주상 스페이서(42)와 토대(30)의 접촉에는 문제가 없다. 또한, 이 경우에도 제 2 기판이 압압(눌림)되었을 때의, 접점용 돌기(40)와 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)(26a)의 도통(導通) 및 접점용 돌기(40)와 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)(28a)의 도통에도 문제가 없기 때문에, 러빙처리를 수반하지 않는 액정 배향 처리의 경우에도 본 발명을 적용할 수 있다.
10; 접점내장형 터치식 액정표시장치
12; 제 1 기판 유닛(TFT기판 유닛) 12a; 제 1 기판
14; 제 2 기판 유닛(CF기판 유닛) 14a; 제 2 기판
16; 기판 지지 구조 18; 주사선
20; 신호선 22; 화소전극
24; 박막 트랜지스터 24a; 드레인선
24b; 소스선 24c; 게이트선
24d; 오믹층
26; 제 1 좌표 검출라인(X좌표 검출라인)
26a; 제 1 좌표검출용 접점(X좌표 검출용 접점)
26b; 접속 부분
28; 제 2 좌표 검출라인(Y좌표 검출라인)
28a; 제 2 좌표검출용 접점(Y좌표 검출용 접점)
28b; 접속 부분 30; 토대
30a; 돌출단면(선단) 30b; 높이 조정 부분
32; 제 1 배향막 34, 36; 편광판
38; 차광막 40; 접점용 돌기
42; 주상 스페이서 44; 대향전극
46; 제 2 배향막 48; 접점전극
50; 제 1 절연막(게이트 절연막) 52; a-Si층
54; n+a-Si층 56; 제 2 절연막(채널 보호층)
58; 도전성 금속막
60; 제 3 절연막(오버코트 절연막) 60a, 60b, 60c; 콘택트홀
62; 도전막 70; 액정

Claims (24)

  1. 서로 대향해서 배치된 제 1 기판 및 제 2 기판과,
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판의 사이에 협지되는 액정과,
    상기 제 1 기판과 대향하는 상기 제 2 기판의 대향면에 설치된 적어도 1개의 대향전극과,
    상기 제 1 기판에 설치되고 상기 대향전극과 대향해서 배열된 복수의 화소를 형성하기 위한 복수의 화소전극과,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 형성된 접점용 돌기와,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 형성되고, 상기 접점용 돌기와 동일한 재료에 의해 형성된 주상 스페이서와,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 접점용 돌기에 대향해서 설치된 접점과,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 주상 스페이서에 대향해서 설치된 상기 접점보다 높은 토대를 포함하고,
    상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에,
    상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하고,
    상기 토대는,
    박막 트랜지스터의 복수의 재료의 적어도 일부를 사용해서 형성되는 토대 파운딩부(base founding portion)와, 상기 박막 트랜지스터 형성 후에 형성되는 높이 조정부를 포함하고, 적층해서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 토대의 상기 토대 파운딩부는,
    상기 제 1 기판상에,
    상기 박막 트랜지스터의 게이트 전극과 동일 재료의 제 1 도전성 금속막과,
    상기 박막 트랜지스터의 게이트 절연막과 동일 재료의 제 1 절연막과,
    상기 박막 트랜지스터의 실리콘층과 동일 재료의 진성 실리콘막과,
    상기 박막 트랜지스터의 채널 보호층과 동일 재료의 제 2 절연막과,
    상기 박막 트랜지스터의 오믹층과 동일 재료의 n+ 실리콘막과,
    상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 동일 재료의 제 2 도전성 금속막과,
    상기 박막 트랜지스터의 오버코트 절연막과 동일 재료의 제 3 절연막과,
    상기 박막 트랜지스터에 접속하는 상기 화소전극과 동일 재료의 투명 도전막을 포함하고, 적층해서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 토대의 상기 높이 조정부는 상기 투명 도전막 형성 후에 제 4 절연막을 적층해서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  4. 서로 대향해서 배치된 제 1 기판 및 제 2 기판과,
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판의 사이에 협지되는 액정과,
    상기 제 1 기판과 대향하는 상기 제 2 기판의 대향면에 설치된 적어도 1개의 대향전극과,
    상기 제 1 기판에 설치되고 상기 대향전극과 대향해서 배열된 복수의 화소를 형성하기 위한 복수의 화소전극과,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 형성된 접점용 돌기와,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 형성되고, 상기 접점용 돌기와 동일한 재료에 의해 형성된 주상 스페이서와,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 접점용 돌기에 대향해서 설치된 접점과,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 주상 스페이서에 대향해서 설치된 상기 접점보다 높은 토대를 포함하고,
    상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에,
    상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하고,
    상기 접점용 돌기에 대향해서 설치되는 상기 제 1 기판의 상기 접점은 박막 트랜지스터의 복수의 재료의 적어도 일부를 사용해서 형성되는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 접점은,
    상기 제 1 기판상에,
    상기 박막 트랜지스터의 게이트 전극과 동일 재료의 제 1 도전성 금속막과,
    상기 박막 트랜지스터의 게이트 절연막과 동일 재료의 제 1 절연막과,
    상기 박막 트랜지스터의 실리콘층과 동일 재료의 진성 실리콘막과,
    상기 박막 트랜지스터의 채널 보호층과 동일 재료의 제 2 절연막과,
    상기 박막 트랜지스터의 오믹층과 동일 재료의 n+ 실리콘막과,
    상기 박막 트랜지스터의 드레인 전극과 동일 재료의 제 2 도전성 금속막과,
    상기 박막 트랜지스터의 오버코트 절연막과 동일 재료의 제 3 절연막과,
    상기 박막 트랜지스터에 접속하는 상기 화소전극과 동일 재료의 투명 도전막을 포함하고, 적층해서 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  6. 서로 대향해서 배치된 제 1 기판 및 제 2 기판과,
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판의 사이에 협지되는 액정과,
    상기 제 1 기판과 대향하는 상기 제 2 기판의 대향면에 설치된 적어도 1개의 대향전극과,
    상기 제 1 기판에 설치되고 상기 대향전극과 대향해서 배열된 복수의 화소를 형성하기 위한 복수의 화소전극과,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 형성된 접점용 돌기와,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 형성되고, 상기 접점용 돌기와 동일한 재료에 의해 형성된 주상 스페이서와,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 접점용 돌기에 대향해서 설치된 접점과,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 주상 스페이서에 대향해서 설치된 상기 접점보다 높은 토대를 포함하고,
    상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에,
    상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하고,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소의 사이에 격자형상의 차광막이 형성되어 있고,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서 상기 접점용 돌기 및 상기 주상 스페이서는 상기 차광막상에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서 컬러 필터가 상기 차광막상에 형성될 경우는, 상기 접점용 돌기 및 상기 주상 스페이서가 형성되는 장소를 피하도록 상기 컬러 필터가 형성되는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기 및 상기 주상 스페이서를 적어도 덮도록 상기 대향전극이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기 및 상기 주상 스페이서를 적어도 덮도록 상기 대향전극이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  10. 서로 대향해서 배치된 제 1 기판 및 제 2 기판과,
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판의 사이에 협지되는 액정과,
    상기 제 1 기판과 대향하는 상기 제 2 기판의 대향면에 설치된 적어도 1개의 대향전극과,
    상기 제 1 기판에 설치되고 상기 대향전극과 대향해서 배열된 복수의 화소를 형성하기 위한 복수의 화소전극과,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 형성된 접점용 돌기와,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 형성되고, 상기 접점용 돌기와 동일한 재료에 의해 형성된 주상 스페이서와,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 접점용 돌기에 대향해서 설치된 접점과,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 주상 스페이서에 대향해서 설치된 상기 접점보다 높은 토대를 포함하고,
    상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에,
    상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하고,
    상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기 및 상기 주상 스페이서를 적어도 덮도록 상기 대향전극이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  11. 서로 대향해서 배치된 제 1 기판 및 제 2 기판과,
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판의 사이에 협지되는 액정과,
    상기 제 1 기판과 대향하는 상기 제 2 기판의 대향면에 설치된 적어도 1개의 대향전극과,
    상기 제 1 기판에 설치되고 상기 대향전극과 대향해서 배열된 복수의 화소를 형성하기 위한 복수의 화소전극과,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 형성된 접점용 돌기와,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 형성되고, 상기 접점용 돌기와 동일한 재료에 의해 형성된 주상 스페이서와,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 접점용 돌기에 대향해서 설치된 접점과,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 주상 스페이서에 대향해서 설치된 상기 접점보다 높은 토대를 포함하고,
    상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에,
    상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하고,
    상기 제 2 기판의 상기 대향전극을 적어도 덮도록 제 2 배향막이 형성되고, 상기 제 2 기판측에서의 액정분자 배향처리가 실시되어 있는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  12. 서로 대향해서 배치된 제 1 기판 및 제 2 기판과,
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판의 사이에 협지되는 액정과,
    상기 제 1 기판과 대향하는 상기 제 2 기판의 대향면에 설치된 적어도 1개의 대향전극과,
    상기 제 1 기판에 설치되고 상기 대향전극과 대향해서 배열된 복수의 화소를 형성하기 위한 복수의 화소전극과,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 형성된 접점용 돌기와,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 형성되고, 상기 접점용 돌기와 동일한 재료에 의해 형성된 주상 스페이서와,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 접점용 돌기에 대향해서 설치된 접점과,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 주상 스페이서에 대향해서 설치된 상기 접점보다 높은 토대를 포함하고,
    상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에,
    상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하고,
    상기 제 1 기판의 상기 화소전극과, 상기 접점과, 상기 토대를 적어도 덮도록 제 1 배향막이 형성되고, 상기 제 1 기판측에서의 액정분자 배향처리가 실시되어 있는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  13. 서로 대향해서 배치된 제 1 기판 및 제 2 기판과,
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판의 사이에 협지되는 액정과,
    상기 제 1 기판과 대향하는 상기 제 2 기판의 대향면에 설치된 적어도 1개의 대향전극과,
    상기 제 1 기판에 설치되고 상기 대향전극과 대향해서 배열된 복수의 화소를 형성하기 위한 복수의 화소전극과,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 형성된 접점용 돌기와,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 형성되고, 상기 접점용 돌기와 동일한 재료에 의해 형성된 주상 스페이서와,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 접점용 돌기에 대향해서 설치된 접점과,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 주상 스페이서에 대향해서 설치된 상기 접점보다 높은 토대를 포함하고,
    상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에,
    상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하고,
    상기 주상 스페이서는 상기 접점용 돌기와 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  14. 서로 대향해서 배치된 제 1 기판 및 제 2 기판과,
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판의 사이에 협지되는 액정과,
    상기 제 1 기판과 대향하는 상기 제 2 기판의 대향면에 설치된 적어도 1개의 대향전극과,
    상기 제 1 기판에 설치되고 상기 대향전극과 대향해서 배열된 복수의 화소를 형성하기 위한 복수의 화소전극과,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 형성된 접점용 돌기와,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 형성되고, 상기 접점용 돌기와 동일한 재료에 의해 형성된 주상 스페이서와,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 접점용 돌기에 대향해서 설치된 접점과,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 주상 스페이서에 대향해서 설치된 상기 접점보다 높은 토대를 포함하고,
    상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에,
    상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하고,
    상기 접점은 복수 있고, 서로 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  15. 서로 대향해서 배치된 제 1 기판 및 제 2 기판과,
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판의 사이에 협지되는 액정과,
    상기 제 1 기판과 대향하는 상기 제 2 기판의 대향면에 설치된 적어도 1개의 대향전극과,
    상기 제 1 기판에 설치되고 상기 대향전극과 대향해서 배열된 복수의 화소를 형성하기 위한 복수의 화소전극과,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 형성된 접점용 돌기와,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 형성되고, 상기 접점용 돌기와 동일한 재료에 의해 형성된 주상 스페이서와,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 접점용 돌기에 대향해서 설치된 접점과,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 주상 스페이서에 대향해서 설치된 상기 접점보다 높은 토대를 포함하고,
    상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에,
    상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하고,
    상기 토대는 복수 있고, 서로 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  16. 서로 대향해서 배치된 제 1 기판 및 제 2 기판과,
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판의 사이에 협지되는 액정과,
    상기 제 1 기판과 대향하는 상기 제 2 기판의 대향면에 설치된 적어도 1개의 대향전극과,
    상기 제 1 기판에 설치되고 상기 대향전극과 대향해서 배열된 복수의 화소를 형성하기 위한 복수의 화소전극과,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 형성된 접점용 돌기와,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 형성되고, 상기 접점용 돌기와 동일한 재료에 의해 형성된 주상 스페이서와,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 접점용 돌기에 대향해서 설치된 접점과,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 주상 스페이서에 대향해서 설치된 상기 접점보다 높은 토대를 포함하고,
    상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에,
    상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하고,
    상기 접점용 돌기는 복수 있고, 서로 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  17. 서로 대향해서 배치된 제 1 기판 및 제 2 기판과,
    상기 제 1 기판과 상기 제 2 기판의 사이에 협지되는 액정과,
    상기 제 1 기판과 대향하는 상기 제 2 기판의 대향면에 설치된 적어도 1개의 대향전극과,
    상기 제 1 기판에 설치되고 상기 대향전극과 대향해서 배열된 복수의 화소를 형성하기 위한 복수의 화소전극과,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 형성된 접점용 돌기와,
    상기 제 2 기판의 상기 대향면에 있어서, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 형성되고, 상기 접점용 돌기와 동일한 재료에 의해 형성된 주상 스페이서와,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 접점용 돌기에 대향해서 설치된 접점과,
    상기 제 1 기판에 있어서 상기 주상 스페이서에 대향해서 설치된 상기 접점보다 높은 토대를 포함하고,
    상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에,
    상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하고,
    상기 주상 스페이서는 복수 있고, 서로 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치.
  18. 복수의 화소를 형성하기 위해 복수의 화소전극이 형성되는 제 1 기판의 제 1 면에, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 접점을 형성하는 동시에, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 상기 접점보다 높은 토대를 형성하는 공정과,
    적어도 1개의 대향전극이 형성되는 제 2 기판의 제 2 면에, 상기 접점에 대응한 위치에 접점용 돌기를 형성하는 동시에, 상기 접점용 돌기와 동시에 동일한 재료에 의해 상기 토대에 대응한 위치에 주상 스페이서를 형성하는 공정과,
    상기 제 1 기판의 상기 제 1 면과 상기 제 2 기판의 상기 제 2 면을 대향시키고, 상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에, 상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하는 공정과,
    상기 제 1 기판의 상기 제 1 면과 상기 제 2 기판의 상기 제 2 면의 사이에 액정을 봉입하는 공정을 포함하고,
    상기 주상 스페이서는 상기 접점용 돌기와 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치의 제조방법.
  19. 복수의 화소를 형성하기 위해 복수의 화소전극이 형성되는 제 1 기판의 제 1 면에, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 접점을 형성하는 동시에, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 상기 접점보다 높은 토대를 형성하는 공정과,
    적어도 1개의 대향전극이 형성되는 제 2 기판의 제 2 면에, 상기 접점에 대응한 위치에 접점용 돌기를 형성하는 동시에, 상기 접점용 돌기와 동시에 동일한 재료에 의해 상기 토대에 대응한 위치에 주상 스페이서를 형성하는 공정과,
    상기 제 1 기판의 상기 제 1 면과 상기 제 2 기판의 상기 제 2 면을 대향시키고, 상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에, 상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하는 공정과,
    상기 제 1 기판의 상기 제 1 면과 상기 제 2 기판의 상기 제 2 면의 사이에 액정을 봉입하는 공정을 포함하고,
    상기 접점은 복수 있고, 서로 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치의 제조방법.
  20. 복수의 화소를 형성하기 위해 복수의 화소전극이 형성되는 제 1 기판의 제 1 면에, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 접점을 형성하는 동시에, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 상기 접점보다 높은 토대를 형성하는 공정과,
    적어도 1개의 대향전극이 형성되는 제 2 기판의 제 2 면에, 상기 접점에 대응한 위치에 접점용 돌기를 형성하는 동시에, 상기 접점용 돌기와 동시에 동일한 재료에 의해 상기 토대에 대응한 위치에 주상 스페이서를 형성하는 공정과,
    상기 제 1 기판의 상기 제 1 면과 상기 제 2 기판의 상기 제 2 면을 대향시키고, 상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에, 상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하는 공정과,
    상기 제 1 기판의 상기 제 1 면과 상기 제 2 기판의 상기 제 2 면의 사이에 액정을 봉입하는 공정을 포함하고,
    상기 토대는 복수 있고, 서로 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치의 제조방법.
  21. 복수의 화소를 형성하기 위해 복수의 화소전극이 형성되는 제 1 기판의 제 1 면에, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 접점을 형성하는 동시에, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 상기 접점보다 높은 토대를 형성하는 공정과,
    적어도 1개의 대향전극이 형성되는 제 2 기판의 제 2 면에, 상기 접점에 대응한 위치에 접점용 돌기를 형성하는 동시에, 상기 접점용 돌기와 동시에 동일한 재료에 의해 상기 토대에 대응한 위치에 주상 스페이서를 형성하는 공정과,
    상기 제 1 기판의 상기 제 1 면과 상기 제 2 기판의 상기 제 2 면을 대향시키고, 상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에, 상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하는 공정과,
    상기 제 1 기판의 상기 제 1 면과 상기 제 2 기판의 상기 제 2 면의 사이에 액정을 봉입하는 공정을 포함하고,
    상기 접점용 돌기는 복수 있고, 서로 동일한 높이를 갖는 것을 특징으로 하는 접점내장형 터치식 액정표시장치의 제조방법.
  22. 복수의 화소를 형성하기 위해 복수의 화소전극이 형성되는 제 1 기판의 제 1 면에, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 1 화소에 접점을 형성하는 동시에, 상기 복수의 화소 중의 미리 정한 제 2 화소에 상기 접점보다 높은 토대를 형성하는 공정과,
    적어도 1개의 대향전극이 형성되는 제 2 기판의 제 2 면에, 상기 접점에 대응한 위치에 접점용 돌기를 형성하는 동시에, 상기 접점용 돌기와 동시에 동일한 재료에 의해 상기 토대에 대응한 위치에 주상 스페이서를 형성하는 공정과,
    상기 제 1 기판의 상기 제 1 면과 상기 제 2 기판의 상기 제 2 면을 대향시키고, 상기 제 2 기판의 상기 주상 스페이서의 선단을 상기 제 1 기판의 상기 토대의 선단에 접촉시키는 것에 의해, 상기 대향전극과 상기 화소전극의 사이에 제 1 간극을 생기게 하는 동시에, 상기 제 2 기판의 상기 접점용 돌기의 선단과 상기 제 1 기판의 상기 접점의 사이에 상기 제 1 간극보다 짧은 제 2 간극을 생기게 하는 공정과,
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