JP6113245B2 - 液晶表示装置、液晶表示装置の製造方法 - Google Patents

Description

本技術は、画像を表示する液晶表示装置、液晶表示装置の製造方法に関する。

マトリックス状に配置された複数の画素領域を備え、画素領域毎にトランジスタが形成されたアレイ基板と、アレイ基板と対向して配置された対向基板と、アレイ基板と対向基板との間に形成された液晶層とを有する液晶表示装置がある。各画素領域は、光を透過する開口領域と、開口領域を包囲する遮光領域とを備えている。

この液晶表示装置では、例えば、液晶層に対して画素領域毎に、画素電極と共通電極とにより画像データに基づいた電界が供給され、これにより、画素領域毎に所定の表示が行われる。この結果、例えば、対向基板の外側に画像が表示される。

このような液晶表示装置では、液晶層を形成するための空間を確保するため、アレイ基板と対向基板との間にスペーサが形成されている。スペーサは、例えば、対向基板側に固定されている。また、スペーサは、遮光領域と重なるように配置されている。

ここで、外部からの力によりアレイ基板または対向基板が撓むと、アレイ基板と対向基板とが横方向（基板面と平行な方向）にずれることがある。この場合、スペーサがアレイ基板の開口領域にはみ出し、例えば、開口領域に配置されている配向膜等の膜や素子に接触して傷をつけてしまう可能性がある。この結果、光漏れが発生する可能性がある。

これに対して、スペーサが配置される遮光領域の面積を大きくし、スペーサが遮光領域からはみ出すことを抑制する方法がある。

特開２０００−２０６５４１号公報

しかしながら、スペーサが配置される遮光領域の面積を大きくする方法では、開口領域が小さくなってしまうため、高精細の画像を表示する液晶表示装置には用いることができない可能性がある。

このような点に鑑み、開示の液晶表示装置、液晶表示装置の製造方法、および、電子機器では、開口領域の面積を確保しつつ、スペーサが開口領域に配置されている膜や素子を傷つけてしまう可能性を低減することを目的とする。

上記目的を達成するために以下のような液晶表示装置、液晶表示装置の製造方法、および、電子機器が提供される。

この液晶表示装置は、第１の表面を有し、第１の表面が、格子状の遮光領域と、それぞれが遮光領域に包囲された複数の開口領域とを備え、遮光領域が、第１の方向に延在する複数の第１の延在部と第１の方向と交差する第２の方向に延在する複数の第２の延在部とを含む第１の基板と、第２の表面を有し、第２の表面が第１の表面と対向および離間して配置され、遮光領域に重なるべく形成された遮光部を備えた第２の基板と、第１の表面と第２の表面との間に配置された液晶層と、第２の方向に長手を備え、第１の表面上に設けられ、複数の第１の延在部と複数の第２の延在部とが交差して得られる複数の交差位置のうちのいずれかに配置された、液晶層に突出した第１のスペーサ部と、第１の方向に長手を備え、第２の表面の遮光部と重なる位置に設けられ、第１のスペーサ部が配置された交差位置に第１のスペーサ部と交差した状態に配置された、液晶層に突出した第２のスペーサ部と、を有し、第１のスペーサ部の長手方向の両端部の一方または両方の幅は、第２のスペーサ部の長手方向の両端部の一方または両方の幅よりも狭い。

また、この液晶表示装置の製造方法は、第１の表面を有し、第１の表面が、格子状の遮光領域と、それぞれが遮光領域に包囲された複数の開口領域とを備え、遮光領域が、第１の方向に延在する複数の第１の延在部と第１の方向と交差する第２の方向に延在する複数の第２の延在部とを含む第１の基板の第１の表面上に、長手を備えた第１のスペーサ部を、複数の第１の延在部と複数の第２の延在部とが交差して得られる複数の交差位置のうちのいずれかに位置し、第２の方向が長手となるように形成する工程と、第２の基板の第２の表面上に、光領域と重なる位置に遮光部を形成するとともに、遮光部と重なる位置に、長手を備えた第２のスペーサ部を形成する工程と、第１の表面と第２の表面とが対向および離間し、かつ、第２のスペーサ部が、第１のスペーサ部が配置された交差位置に位置し、第１の方向が長手となり第１のスペーサ部と交差するように、第１および第２の基板を配置する工程と、第１の表面と第２の表面との間に液晶層を形成する工程と、を有し、第１のスペーサ部の長手方向の両端部の一方または両方の幅は、第２のスペーサ部の長手方向の両端部の一方または両方の幅よりも狭く形成される。

また、この電子機器は、画像を表示する液晶表示装置を備え、液晶表示装置が、第１の表面を有し、第１の表面が、格子状の遮光領域と、それぞれが遮光領域に包囲された複数の開口領域とを備え、遮光領域が、第１の方向に延在する複数の第１の延在部と第１の方向と交差する第２の方向に延在する複数の第２の延在部とを含む第１の基板と、第２の表面を有し、第２の表面が第１の表面と対向および離間して配置され、遮光領域に重なるべく形成された遮光部を備えた第２の基板と、第１の表面と第２の表面との間に配置された液晶層と、第２の方向に長手を備え、第１の表面上に設けられ、複数の第１の延在部と複数の第２の延在部とが交差して得られる複数の交差位置のうちのいずれかに配置された、液晶層に突出した第１のスペーサ部と、第１の方向に長手を備え、第２の表面の遮光部と重なる位置に設けられ、第１のスペーサ部が配置された交差位置に第１のスペーサ部と交差した状態に配置された、液晶層に突出した第２のスペーサ部と、を有し、第１のスペーサ部の長手方向の両端部の一方または両方の幅は、第２のスペーサ部の長手方向の両端部の一方または両方の幅よりも狭い。

開示の液晶表示装置、液晶表示装置の製造方法、および、電子機器によれば、開口領域の面積を確保しつつ、スペーサが開口領域に配置されている膜や素子を傷つけてしまう可能性を低減することが可能となる。

第１の実施の形態に係る液晶表示装置の一例を示す図である。 第１の実施の形態に係る液晶表示装置においてアレイ基板と対向基板とがずれた様子を示す上面図である。 第２の実施の形態に係る液晶表示装置の一例を示す上面図である。 図３のスペーサ部周辺の部分拡大図である。 図３の点線Ｂ−Ｂ´における断面図である。 第２の実施の形態に係る液晶表示装置の製造方法の一例を示す図である。 第２の実施の形態に係る液晶表示装置の製造方法の一例を示す図である。 第２の実施の形態に係る液晶表示装置の製造方法の一例を示す図である。 第２の実施の形態に係る液晶表示装置の製造方法の一例を示す図である。 第２の実施の形態に係る液晶表示装置においてアレイ基板と対向基板とがずれた様子を示す上面図である。 変形例１を示す断面図である。 第３の実施の形態に係る液晶表示装置の一例を示す断面図である。 変形例２を示す断面図である。 第４の実施の形態に係る液晶表示装置の一例を示す断面図である。 変形例３を示す断面図である。 第５の実施の形態に係る液晶表示装置の一例を示す上面図である。 第６の実施の形態に係る液晶表示装置の一例を示す上面図である。 液晶表示装置が適用されるテレビジョン装置の外観の一例を示す図である。 液晶表示装置が適用されるデジタルカメラの外観の一例を示す図である。 液晶表示装置が適用されるノート型パーソナルコンピュータの外観の一例を示す図である。 液晶表示装置が適用されるビデオカメラの外観の一例を示す図である。 液晶表示装置が適用される携帯電話機の外観の一例を示す図である。

以下、実施の形態を図面を参照して説明する。
［第１の実施の形態］
図１は、第１の実施の形態に係る液晶表示装置の一例を示す図である。図１（Ａ）は、液晶表示装置１０の上面図を示し、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）の点線Ａ−Ａ´における断面図を示す。なお、図１（Ａ）の上面図では、対向基板２および液晶層３は図示されていない。液晶表示装置１０は、アレイ基板１と、対向基板２と、液晶層３と、スペーサ部４，５と、配向膜８，９とを有している。

アレイ基板１は、例えば、マトリックス状に配置された複数の画素領域を備え、各画素領域には、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）等の薄膜トランジスタおよび画素電極が形成されている。アレイ基板１には、例えば、透明なガラス基板が用いられている。

また、アレイ基板１は、表面１ａと、表面１ａとは反対側の表面１ｂとを有している。表面１ａは、格子状の遮光領域７を備えている。遮光領域７は、Ｘ方向に延在する複数の延在部１１と、Ｙ方向に延在する複数の延在部１２とを含んでいる。例えば、Ｘ方向とＹ方向とは直交している。

ここで、遮光領域７とは、アレイ基板１または対向基板２に形成された遮光膜（ブラックマトリクス等）またはゲート線やソース線等の遮光性を備えた配線パターンと重なる領域である。なお、この遮光膜については図示を省略している。

さらに、表面１ａは、それぞれが遮光領域７に包囲された複数の開口領域１３を有している。すなわち、開口領域１３は、アレイ基板１または対向基板２に形成された遮光膜またはゲート線やソース線等の遮光性を備えた配線パターンから露出した領域である。ここで、各開口領域１３は、各画素領域に対応している。

対向基板２には、例えば、カラーフィルタおよび共通電極が形成されている。対向基板２には、例えば、透明なガラス基板が用いられている。また、対向基板２は、表面２ａと、表面２ａとは反対側の表面２ｂとを有している。そして、対向基板２は、表面２ａがアレイ基板１の表面１ａと対向および離間して配置されている。

液晶層３は、アレイ基板１の表面１ａと、対向基板２の表面２ａとの間に配置されている。ここで、液晶表示装置１０では、例えば、液晶層３に対して画素領域毎に、画素電極と共通電極とにより画像データに基づいた電界が供給される。これにより、画素領域毎に液晶分子の向きが供給される電界に基づいて変化する。

この状態で、例えば、アレイ基板１の表面１ｂ側に配置されたバックライトから照射された光が偏光板を介して入射され、入射された光が液晶層３を透過して対向基板２の表面２ｂ側に偏光板を介して出射することで、表面２ｂ側に所定の画像が表示される。

スペーサ部４は、長手を有する形状、例えば、楕円形状や長方形状を備えている。そして、スペーサ部４は、アレイ基板１の表面１ａ上または対向基板２の表面２ａ上の一方に、液晶層３に突出して形成されている。図１では、スペーサ部４は、アレイ基板１の表面１ａ上に形成されている。さらに、スペーサ部４は、Ｙ方向が長手となり、遮光領域７の延在部１１と延在部１２とが交差して得られる複数の交差位置のうちのいずれかに配置されている。なお、例えば、アレイ基板１の表面１ａ上には、スペーサ部４を覆って配向膜８が形成されている。

スペーサ部５は、長手を有する形状、例えば、楕円形状や長方形状を備えている。そして、スペーサ部５は、アレイ基板１の表面１ａ上または対向基板２の表面２ａ上の他方に、液晶層３に突出して形成されている。図１では、スペーサ部５は、対向基板２の表面２ａ上に形成されている。

さらに、スペーサ部５は、Ｘ方向が長手となり、スペーサ部４が配置された遮光領域７の交差位置にスペーサ部４と交差して配置されている。すなわち、スペーサ部４とスペーサ部５とは、縦方向（表面１ａ，２ａと垂直に交わる方向）から見て交差している。なお、例えば、対向基板２の表面２ａ上には、スペーサ部５を覆って配向膜９が形成されている。

これにより、アレイ基板１の表面１ａと、対向基板２の表面２ａとの間隔は、スペーサ部４およびスペーサ部５により、一定の間隔に維持されている。

このように、液晶表示装置１０によれば、アレイ基板１および対向基板２のそれぞれにスペーサ部４，５が形成されている。さらに、スペーサ部４が、Ｙ方向に長手を備え、遮光領域７の延在部１１と延在部１２とが交差して得られる複数の交差位置のうちのいずれかに配置され、スペーサ部５が、Ｘ方向に長手を備え、スペーサ部４が配置された遮光領域７の交差位置にスペーサ部４と交差して配置されている。

この構成によれば、外部からの力によりアレイ基板１または対向基板２が撓み、アレイ基板１と対向基板２とが、横方向（表面１ａ，２ａと平行な方向）にずれたとしても、スペーサ部４とスペーサ部５とが重なった状態が維持される。これにより、対向基板２側に形成されているスペーサ部が、開口領域１３上に配置されている配向膜等の膜や素子に接触して傷をつけてしまう可能性を低減することができる。

また、この構成によれば、遮光領域７の延在部１１の幅（Ｙ方向の長さ）、および、延在部１２の幅（Ｘ方向の長さ）を大きくすることなく、対向基板２側に形成されているスペーサが、開口領域１３上に配置されている膜や素子を傷つけてしまう可能性を低減できる。すなわち、開口領域１３の面積を確保しつつ、開口領域１３上に配置されている膜や素子を傷つけてしまう可能性を低減することができる。

図２は、第１の実施の形態に係る液晶表示装置においてアレイ基板と対向基板とがずれた様子を示す上面図である。アレイ基板１と対向基板２とが横方向にずれて、例えば、スペーサ部５が、斜め方向Ｄ１にずれた場合、スペーサ部５は、その一部が開口領域１３ａに重なるが、スペーサ部５の端部５ａは、スペーサ部４の端部４ａと重なっている。すなわち、スペーサ部５は、スペーサ部４によって支持されており、開口領域１３ａ上に配置された膜や素子には接触しない。

また、例えば、スペーサ部５が、斜め方向Ｄ２にずれた場合、スペーサ部５は、その一部が開口領域１３ｂに重なるが、スペーサ部５の端部５ｂは、スペーサ部４の端部４ｂと重なっている。すなわち、スペーサ部５は、スペーサ部４によって支持されており、開口領域１３ａ上に配置された膜や素子には接触しない。

［第２の実施の形態］
次に、第２の実施の形態について説明する。図３は、第２の実施の形態に係る液晶表示装置の一例を示す上面図である。図４は、図３のスペーサ部周辺の部分拡大図である。図５は、図３の点線Ｂ−Ｂ´における断面図である。なお、図３では、スペーサ部７４を除いた対向基板３０の各構成、および、画素電極６８については図示されていない。

液晶表示装置１００は、アレイ基板２０と、対向基板３０と、液晶層４０とを有している。液晶表示装置１００では、画素電極６８がアレイ基板２０に形成され、共通電極７３が対向基板３０に形成されている。このような液晶表示装置としては、例えば、ＴＮ（Twisted Nematic）モード、ＶＡ（Vertical Alignment）モード、ＥＣＢ（Electrically Controlled Birefringence）モード等の液晶表示装置がある。

まず、アレイ基板２０について説明する。アレイ基板２０は、表面２１ａと、表面２１ａとは反対側の表面２１ｂとを有した透明基板２１を有している。透明基板２１には、例えば、ガラス基板が用いられている。表面２１ａは、格子状の遮光領域５０を備えている。遮光領域５０は、Ｘ方向に延在する複数の延在部５１と、Ｙ方向に延在する複数の延在部５２とを含んでいる。なお、Ｘ方向とＹ方向とは直交している。

ここで、遮光領域５０とは、アレイ基板２０または対向基板３０に形成された遮光膜（ブラックマトリクス等）またはゲート線６１やソース線６３等の遮光性を備えた配線パターンと重なる領域である。なお、この遮光膜については図示を省略している。また、遮光領域５０の延在部５１の幅（Ｙ方向の長さ）は、延在部５２の幅（Ｘ方向の長さ）よりも広い。なお、表面２１ｂ側には、偏光板およびバックライトが配置される。

さらに、表面２１ａは、それぞれが遮光領域５０に包囲された複数の開口領域５３を有している。すなわち、開口領域５３は、アレイ基板２０または対向基板３０に形成された遮光膜またはゲート線６１やソース線６３等の遮光性を備えた配線パターンから露出した領域である。

透明基板２１の表面２１ａ上には、それぞれが遮光領域５０の延在部５１に重なってＸ方向に延在する複数のゲート線６１が形成されている。ゲート線６１には、例えば、金属膜が用いられている。さらに、表面２１ａ上には、ゲート線６１を覆って層間絶縁膜６２が形成されている。さらに、層間絶縁膜６２上には、それぞれが遮光領域５０の延在部５２に重なってＹ方向に延在する複数のソース線６３が形成されている。ソース線６３には、例えば、金属膜が用いられている。

なお、表面２１ａにおいて、隣接する２つのゲート線６１と隣接する２つのソース線６３とにより囲まれた各領域は、画素領域に相当する。各画素領域には、ゲート電極６１ａと半導体層６４とドレイン電極６５とを有しているトランジスタが形成されている。

半導体層６４の一端はドレイン電極６５に接続され、他端はソース線６３に接続されている。そして、半導体層６４にゲート絶縁膜を介して重なるようにしてゲート電極６１ａが配置されている。ゲート電極６１ａは、ゲート線６１に接続されている。すなわち、このトランジスタは、ゲート線６１に供給される電圧に基づいて、ソース線６３とドレイン電極６５との間の導通状態を制御する。

さらに、層間絶縁膜６２上には、ソース線６３を覆って有機絶縁膜６６が形成されている。ここで、有機絶縁膜６６の一部の領域が、透明基板２１の表面２１ａから遠ざかる方向に突出し、この突出した部分がスペーサ部６７を成している。スペーサ部６７は、開口領域５３に対して、０．２μｍ以上突出している。

スペーサ部６７は、長手を有する形状を備えている。そして、スペーサ部６７は、遮光領域５０の延在部５１と延在部５２とが交差して得られる複数の交差位置のいずれかに、Ｙ方向が長手となるように配置されている。なお、スペーサ部６７は、複数形成されていてもよい。この場合、各スペーサ部６７は、例えば、複数の交差位置に対して間引き配置される。

また、スペーサ部６７は、端部６７ａ，６７ｂと、端部６７ａと端部６７ｂとの間の中間部６７ｃとを有している。端部６７ａ，６７ｂは、遮光領域５０の延在部５２に重なって配置されている。中間部６７ｃは、延在部５１に重なって配置されている。ここで、中間部６７ｃの幅Ｗ１は、端部６７ａ，６７ｂの幅Ｗ２よりも広い。

さらに、有機絶縁膜６６上には、スペーサ部６７の上面６７ｄを露出して複数の画素電極６８が形成されている。各画素電極６８は、各ドレイン電極６５と接続されている。画素電極６８には、例えば、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）やＩＺＯ（Indium Zinc Oxide）等の透明電極が用いられている。さらに、有機絶縁膜６６上には、スペーサ部６７の上面６７ｄおよび画素電極６８を覆って配向膜６９が形成されている。

次に、対向基板３０について説明する。対向基板３０は、表面３１ａと、表面３１ａとは反対側の表面３１ｂとを備えた透明基板３１を有している。透明基板３１には、例えば、ガラス基板が用いられている。透明基板３１は、表面３１ａが透明基板２１の表面２１ａと対向するように配置されている。なお、表面３１ｂ側には、偏光板が配置される。

透明基板３１の表面３１ａ上には、カラーフィルタ７１ａ，７１ｂ，７１ｃが形成されている。例えば、カラーフィルタ７１ａは赤色のフィルタであり、カラーフィルタ７１ｂは青色のフィルタであり、カラーフィルタ７１ｃは緑色のフィルタである。各カラーフィルタ７１ａ〜７１ｃは、画素領域毎に配置されている。

さらに、カラーフィルタ７１ａ〜７１ｃ上には、オーバーコート層７２が形成されている。さらに、オーバーコート層７２上には、共通電極７３が形成されている。共通電極７３には、例えば、ＩＴＯやＩＺＯ等の透明電極が用いられている。

さらに、共通電極７３上には、スペーサ部７４が形成されている。スペーサ部７４には、例えば、アクリル樹脂が用いられている。また、スペーサ部７４は、楕円形状を備えている。なお、スペーサ部７４は、楕円形状に替えて、長方形状を備えていてもよい。

そして、スペーサ部７４は、Ｘ方向が長手となり、アレイ基板２０のスペーサ部６７が配置された遮光領域５０の交差位置にスペーサ部６７と交差して配置されている。すなわち、スペーサ部６７とスペーサ部７４とは、縦方向（透明基板２１，３１の表面２１ａ，３１ａと垂直に交わる方向）から見て交差している。また、スペーサ部７４は、遮光領域５０の延在部５１と重なって配置されている。これにより、アレイ基板２０と対向基板３０との間隔は、スペーサ部６７およびスペーサ部７４により、一定の間隔に維持されている。

さらに、オーバーコート層７２上には、共通電極７３およびスペーサ部７４を覆って配向膜７５が形成されている。ここで、スペーサ部７４の上面７４ａを覆う配向膜７５とアレイ基板２０のスペーサ部６７の上面６７ｄを覆う配向膜６９とは接触している。

次に、液晶層４０について説明する。液晶層４０は、アレイ基板２０の配向膜６９と対向基板３０の配向膜７５との間に形成されている。ここで、アレイ基板２０のスペーサ部６７および対向基板３０のスペーサ部７４は、液晶層４０に突出して形成されている。

次に、液晶表示装置１００の表示動作について説明する。液晶表示装置１００では、例えば、ゲート線６１に制御信号が供給されソース線６３にデータ信号が供給されることで、液晶層４０に対して画素領域毎に、画素電極６８と共通電極７３とにより画像データに基づいた電界が供給される。これにより、画素領域毎に液晶分子の向きが供給される電界に基づいて変化する。

この状態で、透明基板２１の表面２１ｂ側に配置されたバックライトから照射された光が偏光板を介して入射され、入射された光が液晶層４０を透過して透明基板３１の表面３１ｂ側に偏光板を介して出射することで、表面３１ｂ側に所定のカラー画像が表示される。

次に、液晶表示装置１００の製造方法について説明する。図６〜図９は、第２の実施の形態に係る液晶表示装置の製造方法の一例を示す図である。まず、図６に示すように、透明基板２１の表面２１ａ上に、ゲート線６１、ゲート電極６１ａ、半導体層６４、および、層間絶縁膜６２を形成した後、層間絶縁膜６２上に、ソース線６３およびドレイン電極６５を形成する。ここで、ドレイン電極６５は、層間絶縁膜６２に設けられたコンタクトホール６２ａを介して半導体層６４に接続されている。

ゲート線６１、ソース線６３およびドレイン電極６５は、例えば、下地上にスパッタリング技術を用いて金属膜を形成し、この金属膜をフォトリソグラフィ技術により生成したレジストマスクを用いてエッチングすることで生成される。

次に、図７に示すように、層間絶縁膜６２上に、ソース線６３およびドレイン電極６５を覆うように有機絶縁膜６６を形成する。有機絶縁膜６６は、例えば、層間絶縁膜６２上に、有機材料を塗布することで形成される。

次に、図８に示すように、有機絶縁膜６６に対して、一部の領域を残してハーフエッチングを行う。具体的には、有機絶縁膜６６に対して、一部の領域を残してハーフ露光した後、現像を行う。これにより、残された領域がスペーサ部６７となる。なお、このとき、有機絶縁膜６６にコンタクトホール６６ａを設ける。

次に、図９に示すように、画素電極６８を形成する。ここで、画素電極６８は、コンタクトホール６６ａを介してドレイン電極６５に接続されている。画素電極６８は、例えば、有機絶縁膜６６上にスパッタリング技術を用いてＩＴＯ膜を形成し、このＩＴＯ膜を、フォトリソグラフィ技術により生成したレジストマスクを用いてエッチングした後、熱処理することで生成される。

その後、有機絶縁膜６６上に、画素電極６８を覆うように配向膜６９を形成することで、アレイ基板２０が形成される。そして、このアレイ基板２０上に、対向基板３０を、透明基板２１の表面２１ａと透明基板３１の表面３１ａとが対向し、かつ、所定間隔離間するように配置する。そして、アレイ基板２０と対向基板３０との間に液晶層４０を形成することで、液晶表示装置１００が形成される。

以上説明してきたように、液晶表示装置１００によれば、アレイ基板２０および対向基板３０のそれぞれにスペーサ部６７，７４が形成されている。さらに、スペーサ部６７が、Ｙ方向に長手を備え、遮光領域５０の延在部５１と延在部５２とが交差して得られる複数の交差位置のうちのいずれかに配置されている。さらに、スペーサ部７４が、Ｘ方向に長手を備え、スペーサ部６７が配置された遮光領域５０の交差位置にスペーサ部６７と交差して配置されている。

この構成によれば、外部からの力によりアレイ基板２０または対向基板３０が撓み、アレイ基板２０と対向基板３０とが、横方向（表面２１ａ，３１ａと平行な方向）にずれたとしても、スペーサ部６７とスペーサ部７４とが重なった状態が維持される。これにより、スペーサ部７４が開口領域５３上に配置されている配向膜６９等の膜や素子に接触して傷をつけてしまう可能性を低減することができる。

また、この構成によれば、遮光領域５０の延在部５１の幅（Ｙ方向の長さ）、および、延在部５２の幅（Ｘ方向の長さ）を大きくすることなく、スペーサ部７４が開口領域５３上の膜や素子に接触して傷をつけてしまう可能性を低減することができる。すなわち、開口領域５３の面積を確保しつつ、スペーサ部７４が開口領域５３上の膜や素子を傷つけてしまう可能性を低減することができる。

図１０は、第２の実施の形態に係る液晶表示装置においてアレイ基板と対向基板とがずれた様子を示す上面図である。アレイ基板２０と対向基板３０とが横方向にずれて、例えば、スペーサ部７４が、斜め方向Ｄ１１にずれた場合、スペーサ部７４は、その一部が開口領域５３ａに重なるが、スペーサ部７４の端部７４ｂは、スペーサ部６７の端部６７ａと重なっている。すなわち、スペーサ部７４は、スペーサ部６７によって支持されており、開口領域５３ａ上に配置された配向膜６９には接触しない。

また、例えば、スペーサ部７４が、斜め方向Ｄ１２にずれた場合、スペーサ部７４は、その一部が開口領域５３ｂに重なるが、スペーサ部７４の端部７４ｃは、スペーサ部６７の端部６７ｂと重なっている。すなわち、スペーサ部７４は、スペーサ部６７によって支持されており、開口領域５３ｂ上に配置された配向膜６９には接触しない。

また、液晶表示装置１００では、Ｙ方向に長手を備えるスペーサ部６７は、延在部５１よりも幅の狭い延在部５２に重なって延在するため、Ｘ方向に長手を備えるスペーサ部７４よりも高い寸法精度および位置精度が求められる。

液晶表示装置１００によれば、Ｙ方向に長手を備えるスペーサ部６７は、アレイ基板２０側に形成されている。アレイ基板２０側では、例えば、縮小投影およびリセットアンドリピート方式（ステッパー方式）のフォトリソグラフィープロセスが用いられるため、微細加工が可能である。このため、スペーサ部６７を、製造工程を大幅に変更することなく、高い寸法精度および位置精度で形成することが可能となる。

なお、対向基板３０側では、等倍投影および隣接露光方式（一括露光方式、ミラープロジェクションアライナー方式）のリソグラフィープロセスが用いられている。例えば、線幅や位置精度が、対向基板３０側ではミクロンオーダーであるのに対し、アレイ基板２０側ではサブミクロンオーダーである。

また、液晶表示装置１００によれば、スペーサ部６７は、端部６７ａ，６７ｂと、端部６７ａと端部６７ｂとの間の中間部６７ｃとを有している。そして、中間部６７ｃの幅Ｗ１は、端部６７ａ，６７ｂの幅Ｗ２よりも広い。この構成によれば、例えば、対向基板３０に垂直方向の力がかかり、スペーサ部６７がスペーサ部７４によって押されたときの耐性を、向上させることができる。

また、液晶表示装置１００によれば、スペーサ部６７は、有機絶縁膜６６の一部を用いて構成されている。すなわち、スペーサ部６７には、有機絶縁膜６６と同じ材料が用いられている。この構成によれば、新たな材料を用いることなく、スペーサ部６７を形成することが可能となるため、液晶表示装置１００のコストを低減することが可能となる。

また、液晶表示装置１００によれば、スペーサ部６７は、有機絶縁膜６６を、一部の領域を残してハーフエッチングすることで形成される。この構成によれば、工程を大幅に増大させることなくスペーサ部６７を形成することが可能となる。

（変形例１）
次に、第２の実施の形態の変形例を、変形例１として説明する。図１１は、変形例１を示す断面図である。液晶表示装置１１０は、液晶表示装置１００に対し、スペーサ部６７に替えて、スペーサ部８１を形成したものである。その他の構成は液晶表示装置１００と同様である。スペーサ部８１には、例えば、アクリル樹脂が用いられている。なお、スペーサ部８１の形状や配置は、スペーサ部６７と同様である。

すなわち、液晶表示装置１００では、スペーサ部６７が有機絶縁膜６６の一部として形成されているのに対し、液晶表示装置１１０では、スペーサ部８１が有機絶縁膜６６とは個別に形成されている。この構成によれば、例えば、スペーサ部８１に、力に対する耐性がより強い材料を選択して用いることが可能となる。

また、液晶表示装置１１０においても、開口領域５３の面積を確保しつつ、スペーサ部７４が開口領域５３上の膜や素子に接触して傷をつけてしまう可能性を低減することができる。

［第３の実施の形態］
次に、第３の実施の形態について説明する。図１２は、第３の実施の形態に係る液晶表示装置の一例を示す断面図である。液晶表示装置１２０は、共通電極７３ａが対向基板３０側ではなくアレイ基板２０側に形成されている点で、第２の実施の形態の液晶表示装置１００と異なる。液晶表示装置１２０では、有機絶縁膜６６上に、スペーサ部６７の上面６７ｄを覆って共通電極７３ａが形成されている。なお、共通電極がアレイ基板側に形成されている液晶表示装置としては、例えば、ＦＦＳ（Fringe Field Switching）モードの液晶表示装置がある。

さらに、有機絶縁膜６６上には、共通電極７３ａを覆って絶縁膜８２が形成されている。絶縁膜８２には、無機絶縁膜が用いられている。無機絶縁膜としては、例えば、シリコン酸化膜（ＳｉＯ２）、シリコン窒化膜（ＳｉＮ）がある。そして、絶縁膜８２上に画素電極６８が形成され、さらに、画素電極６８を覆って配向膜６９が形成されている。なお、液晶表示装置１２０のその他の構成は、液晶表示装置１００と同様である。

液晶表示装置１２０においても、第２の実施の形態の液晶表示装置１００と同様に、開口領域５３の面積を確保しつつ、スペーサ部７４が開口領域５３上の膜や素子に接触して傷をつけてしまう可能性を低減することができる。

（変形例２）
次に、第３の実施の形態の変形例を、変形例２として説明する。図１３は、変形例２を示す断面図である。液晶表示装置１３０は、共通電極７３ａおよび絶縁膜８２が、スペーサ部６７の上面６７ｄを露出して形成されている点が、液晶表示装置１２０と異なる。液晶表示装置１３０のその他の構成は、液晶表示装置１２０と同様である。

すなわち、液晶表示装置１３０では、共通電極７３ａおよび絶縁膜８２が、スペーサ部６７とスペーサ部７４とによって挟まれていない。これにより、スペーサ部６７がスペーサ部７４によって押された場合に、絶縁膜８２にクラックが生じたり、共通電極７３ａが損傷したりすることを抑制できる。

また、液晶表示装置１３０においても、開口領域５３の面積を確保しつつ、スペーサ部７４が開口領域５３上の膜や素子に接触して傷をつけてしまう可能性を低減することができる。

［第４の実施の形態］
次に、第４の実施の形態について説明する。図１４は、第４の実施の形態に係る液晶表示装置の一例を示す断面図である。液晶表示装置１４０は、第３の実施の形態の液晶表示装置１２０と同様の構造を備えた部分１４０ａと、液晶表示装置１２０に対してスペーサ部６７を形成していない構造を備えた部分１４０ｂとを有している。

すなわち、液晶表示装置１４０は、スペーサ部６７とスペーサ部７４とが対になって形成されている部分１４０ａと、スペーサ部６７，７４のうちスペーサ部７４のみが形成されている部分１４０ｂとを有している。なお、部分１４０ｂでは、スペーサ部７４ではなく、スペーサ部６７のみが形成されていてもよい。

つまり、液晶表示装置１４０は、部分１４０ａでは、スペーサ部７４がスペーサ部６７に接地（支持）され、一方、部分１４０ｂでは、スペーサ部７４が浮いている。

ここで、液晶表示装置１４０に対して、落下の際の衝撃等により急激に大きな力がかかり、液晶表示装置１４０が振動した場合、アレイ基板２０と対向基板３０との間の空間（ギャップ）が変形しにくいと、次の不具合が生じることがある。すなわち、ギャップが減圧状態となり、液晶層４０の一部または液晶層４０の溶存気体が気化し、ギャップに気泡が発生して保持されることがある。

これに対して、液晶表示装置１４０では、部分１４０ｂにおいて、スペーサ部７４が浮いているため、外部から急激に縦方向の力がかかった場合、この力は部分１４０ａにおけるスペーサ部６７に集中する。これにより、部分１４０ａにおけるスペーサ部６７が弾性変形し、この結果、ギャップが容易に変形する。このため、ギャップに気泡が発生してしまうことを抑制できる。

また、液晶表示装置１４０に対して、透明基板３１の表面３１ｂを指で押すときのように、静的に縦方向の力がかかった場合、部分１４０ｂのスペーサ部７４がアレイ基板２０に接地する。このため、縦方向の力は部分１４０ａのスペーサ部６７および部分１４０ｂのスペーサ部７４に分散されるため、スペーサ部６７が塑性変形して潰れてしまうことを抑制できる。これにより、スペーサ部６７が潰れることで発生する表示ムラを抑制することができる。

また、液晶表示装置１４０においても、開口領域５３の面積を確保しつつ、スペーサ部７４が開口領域５３上の膜や素子に接触して傷をつけてしまう可能性を低減することができる。

（変形例３）
次に、第４の実施の形態の変形例を、変形例３として説明する。図１５は、変形例３を示す断面図である。液晶表示装置１５０は、第３の実施の形態の液晶表示装置１２０と同様の構成を備えた部分１５０ａを有している。さらに、液晶表示装置１５０は、変形例２の液晶表示装置１３０に対して配向膜６９と配向膜７５とが離間するようにアレイ基板２０と対向基板３０との間隔を広げた構造を備えた部分１５０ｂとを有している。

すなわち、液晶表示装置１５０は、部分１５０ａでは、スペーサ部７４がスペーサ部６７に接地し、部分１５０ｂでは、スペーサ部７４が浮いている。このため、液晶表示装置１５０においても、液晶表示装置１４０と同様に、ギャップに気泡が発生してしまうことを抑制でき、かつ、表示ムラを抑制できる。

また、液晶表示装置１５０においても、開口領域５３の面積を確保しつつ、スペーサ部７４が開口領域５３上の膜や素子に接触して傷をつけてしまう可能性を低減することができる。

［第５の実施の形態］
次に、第５の実施の形態について説明する。図１６は、第５の実施の形態に係る液晶表示装置の一例を示す上面図である。液晶表示装置１６０は、第２の実施の形態の液晶表示装置１００に対して、スペーサ部６７とスペーサ部７４との対が複数形成されたものである。さらに、各スペーサ部６７がＹ方向において隣接する他のスペーサ部６７と接続部８３を介して連結されている。接続部８３は、例えば、スペーサ部６７と一体形成されている。

さらに、各スペーサ部７４がＸ方向に隣接する他のスペーサ部７４と接続部８４を介して連結されている。接続部８４は、例えば、スペーサ部７４と一体形成されている。なお、液晶表示装置１６０の他の構成は、液晶表示装置１００と同様である。

この構成によれば、開口領域５３の面積を確保しつつ、スペーサ部７４が開口領域５３上の膜や素子に接触して傷をつけてしまう可能性を低減することができる。さらに、この構成によれば、アレイ基板２０と対向基板３０とが横方向に大幅にずれた場合であっても、例えば、接続部８４が接続部８３によって支持されるため、スペーサ部７４が開口領域５３上の膜や素子に接触する可能性を低減できる。

［第６の実施の形態］
次に、第６の実施の形態について説明する。図１７は、第６の実施の形態に係る液晶表示装置の一例を示す上面図である。液晶表示装置１７０は、第２の実施の形態の液晶表示装置１００に対して、スペーサ部６７とスペーサ部７４との対が複数形成されたものである。さらに、Ｙ方向に隣接したスペーサ部７４が、Ｘ方向において互いに反対方向にずれて配置されている。

例えば、Ｘ方向に隣接する上から２段目のスペーサ部７４は、互いに近づくようにシフトし、Ｘ方向に隣接する上から１段目と３段目のスペーサ部７４は、互いに遠ざかるようにシフトして配置されている。なお、Ｘ方向に隣接したスペーサ部７４が、Ｙ方向において互いに反対方向にずれて配置されていてもよい。液晶表示装置１７０の他の構成は、液晶表示装置１００と同様である。

この構成によれば、開口領域５３の面積を確保しつつ、スペーサ部７４が開口領域５３上の膜や素子に接触して傷をつけてしまう可能性を低減することができる。

（モジュールおよび適用例）
次に、図１８〜図２２を参照して、上記実施の形態で説明した液晶表示装置の適用例について説明する。上記実施の形態の液晶表示装置は、外部から入力された映像信号あるいは内部で生成した映像信号を、画像あるいは映像として表示するあらゆる分野の電子機器に適用することが可能である。このような電子機器は、例えば、テレビジョン装置、デジタルカメラ、ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話機等の携帯端末装置あるいはビデオカメラ等である。

（適用例１）
図１８は、液晶表示装置が適用されるテレビジョン装置の外観の一例を示す図である。このテレビジョン装置は、例えば、フロントパネル５１１およびフィルターガラス５１２を含む映像表示画面部５１０を有しており、この映像表示画面部５１０は、上記実施の形態に係る液晶表示装置により構成されている。

（適用例２）
図１９は、液晶表示装置が適用されるデジタルカメラの外観の一例を示す図である。図１９（Ａ）は、表側から見た斜視図であり、図１９（Ｂ）は、裏側見た斜視図である。このデジタルカメラは、例えば、フラッシュ用の発光部５２１、表示部５２２、メニュースイッチ５２３およびシャッターボタン５２４を有しており、その表示部５２２は、上記実施の形態に係る液晶表示装置により構成されている。

（適用例３）
図２０は、液晶表示装置が適用されるノート型パーソナルコンピュータの外観の一例を示す図である。このノート型パーソナルコンピュータは、例えば、本体５３１、文字等の入力操作のためのキーボード５３２および画像を表示する表示部５３３を有しており、その表示部５３３は、上記実施の形態に係る液晶表示装置により構成されている。

（適用例４）
図２１は、液晶表示装置が適用されるビデオカメラの外観の一例を示す図である。このビデオカメラは、例えば、本体部５４１、この本体部５４１の前方側面に設けられた被写体撮影用のレンズ５４２、撮影時のスタート／ストップスイッチ５４３および表示部５４４を有している。その表示部５４４は、上記実施の形態に係る液晶表示装置により構成されている。

（適用例５）
図２２は、液晶表示装置が適用される携帯電話機の外観の一例を示す図である。図２２（Ａ）は、携帯電話機を開いた状態の正面図、図２２（Ｂ）は、図２２（Ａ）の側面図である。さらに、図２２（Ｃ）は、携帯電話機を閉じた状態の正面図、図２２（Ｄ）は、図２２（Ｃ）の左側面図、図２２（Ｅ）は、図２２（Ｃ）の右側面図、図２２（Ｆ）は、図２２（Ｃ）の上側面図、図２２（Ｇ）は、図２２（Ｃ）の下側面図である。

この携帯電話機は、例えば、上側筐体７１０と下側筐体７２０とを連結部（ヒンジ部）７３０で連結したものであり、ディスプレイ７４０、サブディスプレイ７５０、ピクチャーライト７６０およびカメラ７７０を有している。そのディスプレイ７４０およびサブディスプレイ７５０は、上記実施の形態に係る液晶表示装置により構成されている。

なお、本技術は以下のような構成も採ることができる。
（１） 第１の表面を有し、前記第１の表面が、格子状の遮光領域と、それぞれが前記遮光領域に包囲された複数の開口領域とを備え、前記遮光領域が、第１の方向に延在する複数の第１の延在部と前記第１の方向と交差する第２の方向に延在する複数の第２の延在部とを含む第１の基板と、
第２の表面を有し、前記第２の表面が前記第１の表面と対向および離間して配置され、前記遮光領域に重なるべく形成された遮光部を備えた第２の基板と、
前記第１の表面と前記第２の表面との間に配置された液晶層と、
前記第２の方向に長手を備え、前記第１の表面上に設けられ、前記複数の第１の延在部と前記複数の第２の延在部とが交差して得られる複数の交差位置のうちのいずれかに配置された、前記液晶層に突出した第１のスペーサ部と、
前記第１の方向に長手を備え、前記第２の表面の前記遮光部と重なる位置に設けられ、前記第１のスペーサ部が配置された交差位置に前記第１のスペーサ部と交差した状態に配置された、前記液晶層に突出した第２のスペーサ部と、を有し、
前記第１のスペーサ部の長手方向の両端部の一方または両方の幅は、前記第２のスペーサ部の長手方向の両端部の一方または両方の幅よりも狭い、
液晶表示装置。
（２） 前記第１のスペーサ部は、前記第１の延在部と重なる位置に配置され、前記第１のスペーサ部の前記第２の方向の長さが、前記遮光領域の第１の延在部の前記第２の方向の長さよりも長く、
前記第２のスペーサ部の前記第１の方向の長さが、前記遮光領域の第２の延在部の前記第１の方向の長さよりも長い、
前記（１）記載の液晶表示装置。
（３） 前記開口領域は、前記第１の延在部を挟んで前記第２の方向に複数配置されており、
前記第２のスペーサ部の長手方向の両端部の一方または両方は、前記第２の方向に隣り合う前記開口領域の間に位置する、
前記（１）または（２）記載の液晶表示装置。
（４） 前記複数の第１の延在部上にはそれぞれ、ゲート線が設けられ、
前記複数の第２の延在部上にはそれぞれ、ソース線が設けられ、
前記第１の表面上には、前記複数のゲート線および前記複数のソース線を覆う絶縁膜が設けられ、
前記第１のスペーサ部は、前記絶縁膜上に設けられ、
前記第２のスペーサ部は、前記第２の表面上に設けられている、
前記（１）記載の液晶表示装置。
（５） 前記第１のスペーサ部は、長手方向の両端部と、前記両端部の間の中間部とを備え、前記中間部の幅は、前記両端部の一方または両方の幅よりも広い、
前記（４）記載の液晶表示装置。
（６） 前記第１のスペーサ部には、前記絶縁膜と同じ材料が用いられている、
前記（４）または（５）記載の液晶表示装置。
（７） 前記絶縁膜上に、複数の画素電極と共通電極とが設けられ、
前記共通電極は、前記第１のスペーサ部を覆っている、
前記（４）〜（６）のいずれか１つに記載の液晶表示装置。
（８） 前記絶縁膜上に、複数の画素電極と共通電極とが設けられ、
前記共通電極は、前記第１のスペーサ部を露出している、
前記（４）〜（６）のいずれか１つに記載の液晶表示装置。
（９） 前記第１および第２のスペーサ部はそれぞれ複数設けられ、
前記複数の第１および第２のスペーサ部はそれぞれ、前記複数の交差位置に対して配置されている、
前記（１）〜（８）のいずれか１つに記載の液晶表示装置。
（１０） 前記複数の第１のスペーサ部は、前記複数の交差位置に対して間引き配置されている、
前記（９）記載の液晶表示装置。
（１１） 前記複数の第１のスペーサ部は、第３のスペーサ部と、前記第３のスペーサ部よりも高さが低い第４のスペーサ部とを含む、
前記（９）または（１０）記載の液晶表示装置。
（１２） 前記複数の第１または第２のスペーサ部は、互いに連結されている、
前記（９）〜（１１）のいずれか１つに記載の液晶表示装置。
（１３） 前記複数の第１または第２のスペーサ部のうちの前記第１または第２の方向の一方に隣接する第１または第２のスペーサ部は、前記第１または第２の方向の他方において互いに反対方向にずれて配置されている、
前記（９）〜（１１）のいずれか１つに記載の液晶表示装置。
（１４） 第１の表面を有し、前記第１の表面が、格子状の遮光領域と、それぞれが前記遮光領域に包囲された複数の開口領域とを備え、前記遮光領域が、第１の方向に延在する複数の第１の延在部と前記第１の方向と交差する第２の方向に延在する複数の第２の延在部とを含む第１の基板の前記第１の表面上に、長手を備えた第１のスペーサ部を、前記複数の第１の延在部と前記複数の第２の延在部とが交差して得られる複数の交差位置のうちのいずれかに位置し、前記第２の方向が長手となるように形成する工程と、
第２の基板の第２の表面上に、前記遮光領域と重なる位置に遮光部を形成するとともに、前記遮光部と重なる位置に、長手を備えた第２のスペーサ部を形成する工程と、
前記第１の表面と前記第２の表面とが対向および離間し、かつ、前記第２のスペーサ部が、前記第１のスペーサ部が配置された交差位置に位置し、前記第１の方向が長手となり前記第１のスペーサ部と交差するように、前記第１および第２の基板を配置する工程と、 前記第１の表面と前記第２の表面との間に液晶層を形成する工程と、
を有し、
前記第１のスペーサ部の長手方向の両端部の一方または両方の幅は、前記第２のスペーサ部の長手方向の両端部の一方または両方の幅よりも狭く形成される、
液晶表示装置の製造方法。
（１５） 前記複数の第１の延在部上にはそれぞれゲート線が形成され、前記複数の第２の延在部上にはそれぞれソース線が形成され、
前記第１のスペーサ部を形成する工程は、
前記第１の表面上に、前記複数のゲート線および前記複数のソース線を覆うように絶縁膜を形成する工程と、
形成した前記絶縁膜を、一部の領域を残してハーフエッチングする工程と、を有する、
前記（１４）記載の液晶表示装置の製造方法。

１，２０……アレイ基板、１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ，２１ａ，２１ｂ，３１ａ，３１ｂ……表面、２，３０……対向基板、３，４０……液晶層、４，５，６７，７４，８１……スペーサ部、７，５０……遮光領域、８，９，６９，７５……配向膜、１０，１００，１１０，１２０，１３０，１４０，１５０，１６０，１７０……液晶表示装置、１１，１２，５１，５２……延在部、１３，１３ａ，１３ｂ，５３，５３ａ，５３ｂ…開口領域、２１，３１……透明基板、６１……ゲート線、６２……層間絶縁膜、６３……ソース線、６６……有機絶縁膜、６８……画素電極、７１ａ〜７１ｃ……カラーフィルタ、７２……オーバーコート層、７３，７３ａ……共通電極、８２……絶縁膜、８３，８４……接続部

Claims (15)

1. 第１の表面を有し、前記第１の表面が、格子状の遮光領域と、それぞれが前記遮光領域に包囲された複数の開口領域とを備え、前記遮光領域が、第１の方向に延在する複数の第１の延在部と前記第１の方向と交差する第２の方向に延在する複数の第２の延在部とを含む第１の基板と、
   第２の表面を有し、前記第２の表面が前記第１の表面と対向および離間して配置され、前記遮光領域に重なるべく形成された遮光部を備えた第２の基板と、
   前記第１の表面と前記第２の表面との間に配置された液晶層と、
   前記第２の方向に長手を備え、前記第１の表面上に設けられ、前記複数の第１の延在部と前記複数の第２の延在部とが交差して得られる複数の交差位置のうちのいずれかに配置された、前記液晶層に突出した第１のスペーサ部と、
   前記第１の方向に長手を備え、前記第２の表面の前記遮光部と重なる位置に設けられ、前記第１のスペーサ部が配置された交差位置に前記第１のスペーサ部と交差した状態に配置された、前記液晶層に突出した第２のスペーサ部と、を有し、
   前記第１の延在部の前記第２の方向の長さが、前記第２の延在部の前記第１の方向の長さよりも長く、
   前記第１のスペーサ部は、長手方向に設けられ前記第２の延在部の前記交差位置と重ならない部分と重なる一対の端部と、前記一対の端部の間において前記交差位置に重なるとともに、前記第１の延在部の前記交差位置に重ならない部分とも重なる中間部と、を備え、前記第１のスペーサ部の前記第２の方向の長さが前記遮光領域の第１の延在部の前記第２の方向の長さよりも長く、
   前記一対の端部の一方または両方の前記第１の方向の長さは、前記中間部の前記第１の方向の長さよりも短く、かつ、前記第２のスペーサ部の長手方向の両端部の一方または両方の前記第２の方向の長さよりも短い、
   液晶表示装置。
2. 前記中間部の前記第１の方向の長さは、前記第２の延在部の前記第１の方向の長さよりも長く、
   前記一対の端部の一方または両方の前記第１の方向の長さは、前記第２の延在部の前記第１の方向の長さよりも短い、
   請求項１記載の液晶表示装置。
3. 前記開口領域は、前記第１の延在部を挟んで前記第２の方向に複数配置されており、
   前記第２のスペーサ部の長手方向の両端部の一方または両方は、前記第２の方向に隣り合う前記開口領域の間に位置する、
   請求項１又は請求項２記載の液晶表示装置。
4. 前記複数の第１の延在部上にはそれぞれ、ゲート線が設けられ、
   前記複数の第２の延在部上にはそれぞれ、ソース線が設けられ、
   前記第１の表面上には、前記複数のゲート線および前記複数のソース線を覆う絶縁膜が設けられ、
   前記第１のスペーサ部は、前記絶縁膜上に設けられ、
   前記第２のスペーサ部は、前記第２の表面上に設けられている、
   請求項１記載の液晶表示装置。
5. 前記第１のスペーサ部の前記一対の端部は、前記中間部の前記第２の方向に対向する外縁からそれぞれ突出し、前記第２の延在部の延出方向に沿って延びる、
   請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の液晶表示装置。
6. 前記第１のスペーサ部には、前記絶縁膜と同じ材料が用いられている、
   請求項４記載の液晶表示装置。
7. 前記絶縁膜上に、複数の画素電極と共通電極とが設けられ、
   前記共通電極は、前記第１のスペーサ部を覆っている、
   請求項４記載の液晶表示装置。
8. 前記絶縁膜上に、複数の画素電極と共通電極とが設けられ、
   前記共通電極は、前記第１のスペーサ部を露出している、
   請求項４記載の液晶表示装置。
9. 前記第１および第２のスペーサ部はそれぞれ複数設けられ、
   前記複数の第１および第２のスペーサ部はそれぞれ、前記複数の交差位置に対して配置されている、
   請求項１記載の液晶表示装置。
10. 前記複数の第１のスペーサ部は、前記複数の交差位置に対して間引き配置されている、
    請求項９記載の液晶表示装置。
11. 前記複数の第１のスペーサ部は、第３のスペーサ部と、前記第３のスペーサ部よりも高さが低い第４のスペーサ部とを含む、
    請求項９記載の液晶表示装置。
12. 前記複数の第１または第２のスペーサ部は、互いに連結されている、
    請求項９記載の液晶表示装置。
13. 前記複数の第１または第２のスペーサ部のうちの前記第１または第２の方向の一方に隣接する第１または第２のスペーサ部は、前記第１または第２の方向の他方において互いに反対方向にずれて配置されている、
    請求項９記載の液晶表示装置。
14. 第１の表面を有し、前記第１の表面が、格子状の遮光領域と、それぞれが前記遮光領域に包囲された複数の開口領域とを備え、前記遮光領域が、第１の方向に延在する複数の第１の延在部と前記第１の方向と交差する第２の方向に延在する複数の第２の延在部とを含む第１の基板の前記第１の表面上に、長手を備えた第１のスペーサ部を、前記複数の第１の延在部と前記複数の第２の延在部とが交差して得られる複数の交差位置のうちのいずれかに位置し、前記第２の方向が長手となるように形成する工程と、
    第２の基板の第２の表面上に、前記遮光領域と重なる位置に遮光部を形成するとともに、前記遮光部と重なる位置に、長手を備えた第２のスペーサ部を形成する工程と、
    前記第１の表面と前記第２の表面とが対向および離間し、かつ、前記第２のスペーサ部が、前記第１のスペーサ部が配置された交差位置に位置し、前記第１の方向が長手となり前記第１のスペーサ部と交差するように、前記第１および第２の基板を配置する工程と、 前記第１の表面と前記第２の表面との間に液晶層を形成する工程と、
    を有し、
    前記第１の延在部の前記第２の方向の長さが、前記第２の延在部の前記第１の方向の長さよりも長く形成され、
    前記第１のスペーサ部は、長手方向に設けられ前記第２の延在部の前記交差位置と重ならない部分と重なる一対の端部と、前記一対の端部の間において前記交差位置に重なるとともに、前記第１の延在部の前記交差位置に重ならない部分とも重なる中間部と、を備え、前記第１のスペーサ部の前記第２の方向の長さが前記遮光領域の第１の延在部の前記第２の方向の長さよりも長く、
    前記一対の端部の一方または両方の前記第１の方向の長さは、前記中間部の前記第１の方向の長さよりも短く、かつ、前記第２のスペーサ部の長手方向の両端部の一方または両方の前記第２の方向の長さよりも短い、
    液晶表示装置の製造方法。
15. 前記複数の第１の延在部上にはそれぞれゲート線が形成され、前記複数の第２の延在部上にはそれぞれソース線が形成され、
    前記第１のスペーサ部を形成する工程は、
    前記第１の表面上に、前記複数のゲート線および前記複数のソース線を覆うように絶縁膜を形成する工程と、
    形成した前記絶縁膜を、一部の領域を残してハーフエッチングする工程と、を有する、
    請求項１４記載の液晶表示装置の製造方法。
    

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