KR101255106B1 - System for treating web - Google Patents

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Abstract

본 발명은 일면 및 이에 대향하는 타면을 갖는 웹을 처리하는 시스템에 있어서, 상기 웹의 타면을 흡착 또는 플로팅시키는 다공성 흡착판 및 상기 다공성 흡착판의 측면과 하면을 에워싸며 상기 다공성 흡착판에 연결되는 통기구가 존재하는 흡착 하우징을 포함하는 웹 처리 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a system for processing a web having one side and the other side opposite thereto, the porous adsorption plate for adsorbing or floating the other side of the web and the ventilation holes surrounding the side and the lower surface of the porous adsorption plate is connected to the porous adsorption plate It relates to a web processing system comprising a suction housing.

Description

웹 처리 시스템{System for treating web}System for treating web

본 발명은 웹 처리 시스템에 관한 것으로, 웹의 이송, 흡착(chucking) 및 가이드가 용이한 웹 처리 시스템에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a web processing system and to a web processing system that is easy to transport, chuck, and guide webs.

플렉서블 디스플레이(Flexible display)는 플라스틱 등 휠 수 있는 기판에 만들어진 평판 디스플레이로, 우수한 표시특성을 그대로 가지면서 접거나 구부리거나 두루마리 형태로 변형이 가능하기 때문에 현재의 평판 디스플레이 시장의 차세대 기술로 전세계적인 관심이 증대되고 있다.Flexible display is a flat panel display made of plastic and bendable substrate, and it can be folded, bent or rolled without sacrificing display characteristics. Is increasing.

플렉서블 디스플레이란 기존의 디스플레이 특성의 손실없이 종이와 같이 수 센티미터 이내로 휘거나, 구부리거나, 말 수 있는 얇고 유연한 기판을 사용하여 제조된 디스플레이이며, 기존의 유리기판 등을 사용하여 딱딱한 디스플레이와는 달리 가볍고, 얇고, 내충격성이 강하며, 구부림을 자유롭게 할 수 있는 디스플레이이다. 플렉서블 디스플레이는 용도 및 기능으로 깨지지 않는(rugged) 디스플레이, 굽혀지는(bending) 디스플레이, 두루마리가 가능한(rollable) 디스플레이로 구별할 수 있다. 가볍고, 견고하며, 구부림이 가능한 디스플레이는 DMB, WiBro, PDA 등 휴대화되고 있는 고품위 모바일용으로 적용될 수 있으며, 향후 두루마리형 디스플레이로 발전될 전망이다.Flexible displays are displays that are manufactured using thin, flexible substrates that can bend, bend, or roll within a few centimeters, such as paper, without losing traditional display characteristics. Thin, impact resistant and free to bend the display. Flexible displays can be distinguished into displays that are not rugged, bent, or rollable in purpose and function. Lightweight, rugged, and bendable displays can be used for high-end mobiles, such as DMB, WiBro, and PDA, and are expected to evolve into scrollable displays in the future.

플렉서블 액정 디스플레이를 롤투롤(roll to roll) 공정으로 제조하기 위해서는 웹의 일면에 폴리이미드(Polyimide) 등의 배향막 형성, 스페이서 도포, 실/쇼트 디스펜스, 액정 디스펜스 또는 액정 주입 공정 등의 공정이 수행되며 이러한 공정들은 정지상태에서 수행될 수 있다. 플렉서블 액정 디스플레이를 제조하기 위한 전술한 각종 공정이 웹의 일면에서 수행되기 때문에 이러한 공정이 수행되는 웹의 일면에는 이송을 위한 접촉이 사실상 불가능하고, 웹의 에지만 닙 롤러(nip roller) 적용시 웹의 우는 현상이나 사향이 발생할 가능성이 있기 때문에 닙 롤러에 의한 이송도 어렵다. 또한 텐션(tension)을 가한 상태에서 공정 진행시 상/하판의 정밀한 얼라인이 어렵다.
In order to manufacture the flexible liquid crystal display in a roll-to-roll process, processes such as forming an alignment layer such as polyimide on one surface of the web, applying a spacer, sealing / short dispensing, liquid crystal dispensing or liquid crystal injection, etc. are performed. These processes can be performed at standstill. Since the aforementioned various processes for manufacturing the flexible liquid crystal display are performed on one side of the web, contact on the one side of the web on which this process is performed is practically impossible, and the web only when the nip roller of the web is applied It is also difficult to feed by nip rollers because there is a possibility of crying or musk. In addition, it is difficult to precisely align the upper and lower plates during the process in the state of applying a tension (tension).

본 발명의 목적은 롤투롤 공정에 적합한 웹 처리 시스템을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a web processing system suitable for a roll to roll process.

본 발명의 다른 목적은 웹의 이송, 흡착(chucking) 및 가이드가 용이한 웹 처리 시스템을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a web processing system that is easy to transport, chuck and guide webs.

본 발명의 또 다른 목적은 정지상태에서 웹의 일면에 소정의 공정을 용이하게 진행할 수 있는 웹 처리 시스템을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a web processing system that can easily perform a predetermined process on one surface of a web in a stationary state.

본 발명의 또 다른 목적은 플렉서블 액정 디스플레이 제조가 용이한 롤투롤 방식의 웹 처리 시스템을 제공하는 것이다.
Still another object of the present invention is to provide a roll-to-roll web processing system that is easy to manufacture a flexible liquid crystal display.

본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템은 일면 및 이에 대향하는 타면을 갖는 웹을 처리하는 시스템에 있어서, 상기 웹의 타면을 흡착 또는 플로팅시키는 다공성 흡착판 및 상기 다공성 흡착판의 측면과 하면을 감싸며 상기 다공성 흡착판에 연결되는 통기구가 존재하는 흡착 하우징을 포함한다.In the web processing system according to an embodiment of the present invention, in a system for processing a web having one side and the other side opposite thereto, the porous suction plate for adsorbing or floating the other side of the web and surrounding the side and bottom of the porous suction plate It includes an adsorption housing there is a vent connected to the porous adsorption plate.

상기 흡착판은 복수 개의 서브 흡착판으로 이루어질 수 있으며, 상기 통기구는 상기 복수 개의 서브 흡착판에 각각 연결되는 복수 개의 서브통기구로 이루어질 수 있으며, 상기 복수 개의 서브 흡착판은 이격공간을 두고 서로 이격되어 존재할 수 있다.The adsorption plate may be composed of a plurality of sub adsorption plates, the vent may be composed of a plurality of sub vents respectively connected to the plurality of sub adsorption plates, and the plurality of sub adsorption plates may be spaced apart from each other with a space.

상기 흡착 하우징은 상기 이격공간을 메우는 격벽을 더 포함할 수 있으며, 상기 복수 개의 서브 흡착판이 존재하는 위치에 상기 복수 개의 서브 흡착판의 진공배기 또는 블로잉을 위한 복수 개의 서브 유로를 더 포함할 수 있다.The adsorption housing may further include a partition wall that fills the separation space, and may further include a plurality of sub flow paths for evacuating or blowing the plurality of sub adsorption plates at a position where the plurality of sub adsorption plates exist.

상기 흡착판은 다공성 탄소, 다공성 세라믹 또는 다공성 금속 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.The adsorption plate may include any one or more of porous carbon, porous ceramics or porous metals.

상기 흡착장치는 상기 흡착판의 전체면 중 일부면에 형성된 정전척을 더 포함할 수 있으며, 상기 정전척과 상기 흡착판 사이의 이격공간을 메우는 격벽을 더 포함할 수 있다.The adsorption device may further include an electrostatic chuck formed on a part of the entire surface of the adsorption plate, and may further include a partition wall filling the space between the electrostatic chuck and the adsorption plate.

상기 흡착판은 단일 흡착판으로 이루어질 수 있으며, 상기 통기구는 상기 단일 흡착판에 연결되는 복수 개의 서브통기구로 이루어질 수 있다.The suction plate may be formed of a single suction plate, and the vent may be formed of a plurality of sub-vents connected to the single suction plate.

본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템은 상기 웹의 장력을 조절하는 장력조절장치를 더 포함할 수 있으며, 상기 장력조절장치는 상기 웹에 장력을 부여하는 텐션롤러 상기 텐션롤러에 의해 가압된 웹을 지지하는 지지롤러 및 상기 텐션롤러에 연결되어 상기 웹에 가해지는 장력을 조절하기 위한 로드셀을 포함할 수 있다.Web processing system according to an embodiment of the present invention may further include a tension control device for adjusting the tension of the web, the tension control device is pressed by the tension roller tension roller for applying tension to the web It may include a support roller for supporting the web and a load cell connected to the tension roller for adjusting the tension applied to the web.

본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템은 상기 웹의 이동시 상기 웹의 에지부 또는 비공정영역을 고정하는 웹 고정수단, 상기 웹의 위치를 감지하는 센서 및 상기 웹 고정수단에 의해 고정된 웹을 이동 또는 회전시키기 위한 모터를 포함하는 웹캐리어장치를 더 포함할 수 있다.Web processing system according to an embodiment of the present invention is a web fixing means for fixing the edge or non-process area of the web when the web is moved, a sensor for detecting the position of the web and the web fixed by the web fixing means It may further include a web carrier device including a motor for moving or rotating.

상기 웹 고정수단은 클램프, 롤러 또는 진공척일 수 있다.The web fixing means may be a clamp, a roller or a vacuum chuck.

본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템은 상기 웹의 타면을 지지하는 구동롤러 및 상기 웹의 일면 측에 위치하여 상하이동이 가능한 고정롤러를 포함하는 웹고정장치를 더 포함할 수 있다.The web processing system according to an embodiment of the present invention may further include a web fixing device including a driving roller supporting the other surface of the web and a fixed roller positioned on one side of the web so as to be movable.

상기 웹고정장치는 상기 웹의 좌, 우 측면에서 상기 웹의 위치를 조절하는 제1가이드롤러를 더 포함할 수 있다.The web fixing device may further include a first guide roller for adjusting the position of the web on the left and right sides of the web.

본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템은 상기 웹의 좌, 우 측면에서 상기 웹의 주행방향을 가이드하는 제2가이드롤러를 더 포함할 수 있으며, 상기 제2가이드롤러는 테프론 또는 PEEK로 이루어질 수 있다.Web processing system according to an embodiment of the present invention may further include a second guide roller for guiding the running direction of the web on the left and right sides of the web, the second guide roller is made of Teflon or PEEK Can be.

본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템은 상기 웹의 타면을 흡착하여 상기 웹의 위치를 조절하는 진공척을 더 포함할 수 있다.Web processing system according to an embodiment of the present invention may further include a vacuum chuck to adjust the position of the web by adsorbing the other surface of the web.

상기 웹은 플렉서블 디스플레이 제조를 위한 플렉서블 기판일 수 있다.
The web may be a flexible substrate for manufacturing a flexible display.

본 발명의 웹 처리 시스템은 웹의 이송, 흡착 및 가이드가 용이하며, 특히 웹의 일면에 소정의 공정이 진행되는 롤투롤 공정 진행이 용이할 수 있다. 또한, 플렉서블 액정 디스플레이 등의 플렉서블 디스플레이를 용이하게 제조할 수 있다.
The web processing system of the present invention can be easily transported, adsorbed, and guided by a web, and in particular, a roll-to-roll process in which a predetermined process is performed on one surface of the web can be easily performed. Moreover, flexible displays, such as a flexible liquid crystal display, can be manufactured easily.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템에 사용되는 웹의 평면도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템의 개략 단면도로서, 도 2는 웹이 정지상태인 경우, 도 3은 웹이 이송상태인 경우를 나타낸 것이다.
도 4는 웹고정장치의 일 실시예를 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 흡착장치의 평면도, 도 6은 그 단면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 흡착장치의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 흡착 하우징의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 흡착장치의 평면도이다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹캐리어장치의 개략 단면도와 개략 평면도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 웹캐리어장치의 개략 측단면도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 웹캐리어 장치의 개략 측단면도이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 장력조절장치의 개략 단면도이다.
도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 장력조절장치의 개략 단면도이다.
도 16 및 도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹 가이드 장치(방법)를 설명하기 위한 평면도와 단면도이다.1 is a plan view of a web used in a web processing system according to an embodiment of the present invention.
2 and 3 are schematic cross-sectional views of a web processing system according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 shows a case where the web is in a stopped state, and FIG. 3 shows a case where the web is in a transport state.
4 is a cross-sectional view showing an embodiment of a web fixing device.
Figure 5 is a plan view of the adsorption device according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a cross-sectional view thereof.
7 is a cross-sectional view of the adsorption device according to another embodiment of the present invention.
8 is a perspective view of an adsorption housing according to an embodiment of the present invention.
9 is a plan view of an adsorption device according to another embodiment of the present invention.
10 and 11 are schematic cross-sectional views and schematic plan views of a web carrier device according to an embodiment of the present invention.
12 is a schematic side cross-sectional view of a web carrier device according to another embodiment of the present invention.
13 is a schematic side cross-sectional view of a web carrier device according to another embodiment of the present invention.
14 is a schematic cross-sectional view of a tension control device according to an embodiment of the present invention.
15 is a schematic cross-sectional view of a tension control device according to another embodiment of the present invention.
16 and 17 are a plan view and a cross-sectional view for explaining a web guide device (method) according to an embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템에 사용되는 웹의 평면도이다. 도 1에 되시된 것과 같이, 웹(W)은 일면과 이에 대향하는 타면을 가지며 상기 일면(또는 양면)에는 각종 공정, 예를 들어 배향막 도포, 스페이서(spacer) 산포, 실 디스펜스, 쇼트 디스펜스, TFT(Thin Film Transistor) 형성 공정, 칼라필터 형성 공정 등의 플렉서블 액정 디스플레이 제조공정이 진행될 수 있다. 또 다른 예를 들어, 동박적층판(FCCL:Flexible Copper Clad Laminate)을 재단하지 않고 그대로 회전 롤에 감아 연성회로기판(Flexible Printed Circuit Board: FPCB)을 제조할 수도 있다. 또 다른 예를 들어, 전자종이 제조를 위한 각종 공정이 진행될 수도 있다.1 is a plan view of a web used in a web processing system according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the web W has one surface and the other surface opposite thereto, and on one surface (or both surfaces) various processes, for example, alignment film coating, spacer dispersion, seal dispensing, short dispensing, and TFT A flexible liquid crystal display manufacturing process such as a thin film transistor forming process and a color filter forming process may be performed. As another example, a flexible printed circuit board (FPCB) may be manufactured by winding a flexible copper clad laminate (FCCL) without winding it to a rotary roll as it is. As another example, various processes for manufacturing electronic paper may be performed.

상기 웹(W)은 플렉서블한 재질이면 제한이 없다. 예를 들어, 플라스틱, 금속, 종이, 고무 등의 재질로 이루어지거나 이들을 혼합한 재질일 수도 있다. 상기 플라스틱의 예로 PET(polyethylene terephthalate), PEN(polyethylene naphthalate), PES(polyether sulfone), PAR(polyarylate), PC(polycarbonate), COC(cycloolefin copolymer) 또는 PI(polyimide) 중 어느 하나 이상을 포함하는 플라스틱을 들 수 있으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다. The web W is not limited as long as it is a flexible material. For example, it may be made of a material such as plastic, metal, paper, rubber, or a mixture thereof. Examples of the plastic include plastics including any one or more of polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyether sulfone (PES), polyarylate (PAR), polycarbonate (PC), cycloolefin copolymer (COC) or polyimide (PI). Although it may be mentioned the present invention is not limited thereto.

이하, 본 발명에서 전술한 배향막 도포 등의 각종 공정이 수행되는 영역을 공정영역(WP)이라고 칭하도록 하며, 공정영역(WP)과 공정영역(WP) 사이의 공간을 비공정영역(WQ)이라고 칭하도록 한다. 구체적 예를 들어, 도 1에서 공정영역(WP)은 사각형 ABCD가 될 수 있으며, 비공정영역(WQ)은 사각형 EFGH가 될 수 있다. 한편, 웹의 길이방향(주행방향)을 따라 가장자리 부분을 에지부(WE)로 칭하도록 한다. 비공정영역(WQ)과 에지부(WE)는 겹칠 수 있다. 예를 들어, 사각형 DIGH는 비공정영역(WQ)임과 동시에 에지부(WE)를 형성할 수 있다.
Or less, and so referred to as a region in which various processes are performed, such as the alignment film coating described above in the present invention the processing region (W P), the space between the processing region (W P) and the processing region (W P) non-processing region ( W Q ). For example, in FIG. 1, the process region W P may be a rectangle ABCD, and the non-process region W Q may be a rectangle EFGH. On the other hand, the edge portion along the longitudinal direction (traveling direction) of the web is referred to as the edge portion W E. The non-processing area W Q and the edge part W E may overlap. For example, the rectangle DIGH may form the edge portion W E while being the non-processing region W Q.

도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템의 개략 단면도로서, 도 2는 웹이 정지상태인 경우, 도 3은 웹이 이송상태인 경우를 나타낸 것이다. 다만, 엄밀한 의미의 단면도를 도시한 것은 아니며, 설명의 편의상 단면도에서 보이지 않을 수 있는 부품(장치)도 함께 도시하였다. 도 2 및 도 3에 도시된 것과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템은 흡착장치(200)를 포함하며, 웹고정장치(100), 웹캐리어장치(300) 및 장력조절장치(400) 등을 더 포함할 수 있다. 또한, 웹의 주행방향을 따라 소정 위치에 설치된 가이드롤러(도시하지 않음) 등을 더 포함할 수 있다. 2 and 3 are schematic cross-sectional views of a web processing system according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 shows a case where the web is in a stopped state, and FIG. 3 shows a case where the web is in a transport state. However, the cross-sectional view of the present invention is not strictly illustrated, and parts (apparatus) which may not be shown in the cross-sectional view are also shown for convenience of description. As shown in Figure 2 and 3, the web processing system according to an embodiment of the present invention includes a suction device 200, the web fixing device 100, the web carrier device 300 and the tension control device ( 400) may be further included. In addition, it may further include a guide roller (not shown) and the like installed in a predetermined position along the running direction of the web.

웹(W)은 일면(W1, 도면의 상면)과 이에 대향하는 타면(W2, 도면의 하면)을 가지며 상기 일면(W1)에는 전술한 각종 공정이 진행될 수 있다. 또한, 흡착장치(200), 웹고정장치(100), 웹캐리어장치(300) 및 장력조절장치(400) 등으로 이루어진 웹 처리 시스템은 하나의 공정유닛별로 설치될 수 있다. 예를 들어, 배향막 도포하는 유닛(장치)의 내/외부에 상기 흡착장치(200), 웹고정장치(100), 웹캐리어장치(300) 및 장력조절장치(400) 등으로 이루어진 웹 처리 시스템이 설치될 수 있으며, 실 디스펜스 하는 유닛(장치)의 내/외부에 상기 흡착장치(200), 웹고정장치(100), 웹캐리어장치(300) 및 장력조절장치(400) 등으로 이루어진 웹 처리 시스템이설치될 수 있다. 물론, 상기 흡착장치(200), 웹고정장치(100), 웹캐리어장치(300) 및 장력조절장치(400)가 모두 공정유닛별로 반드시 존재해야 하는 것은 아니며 어느 하나 이상의 장치가 생략될 수도 있다.The web W has one surface W 1 (upper surface in the drawing) and the other surface W 2 opposite the lower surface in the drawing. The above-described various processes may be performed on the one surface W 1 . In addition, the web processing system consisting of the adsorption device 200, the web fixing device 100, the web carrier device 300 and the tension control device 400 may be installed for each process unit. For example, a web processing system including the adsorption device 200, the web fixing device 100, the web carrier device 300, the tension control device 400, and the like inside / outside the unit (apparatus) for applying the alignment film is provided. It can be installed, the web processing system consisting of the adsorption device 200, the web fixing device 100, the web carrier device 300 and the tension control device 400, etc. inside / outside the unit (apparatus) for dispensing the seal Can be installed. Of course, the adsorption device 200, the web fixing device 100, the web carrier device 300 and the tension control device 400 are not necessarily present for each process unit, any one or more devices may be omitted.

웹의 일면(W1)에 각종 공정을 수행하는 경우에는 웹고정장치(100)가 웹(W)을 고정하고 장력조절장치(400)가 웹에 텐션을 부여한 상태에서 흡착장치(200)가 웹을 흡착시키켜 웹(W)을 밀착시킨 상태에서 웹의 일면(W1)에 각종 공정을 수행할 수 있다.In the case of performing various processes on one surface W 1 of the web, the web fixing device 100 fixes the web W, and the adsorption device 200 performs the web in a state in which the tension adjusting device 400 gives tension to the web. By adsorbing and adhering the web (W) can be carried out various processes on one surface (W 1 ) of the web.

웹(W)을 이송시키는 경우에는 웹고정장치(100)가 웹을 풀어준 상태에서 웹캐리어장치(300)가 웹의 에지부(WE) 또는 비공정영역(WQ)을 잡고 일정거리 웹을 이동시킬 수 있다. 이때, 흡착장치(200)는 에어(air) 또는 불활성기체를 블로잉(blowing)하여 웹을 플로팅(floating)시킬 수 있으며, 장력조절장치(400)는 웹(W)에서 이탈되어 웹에 텐션을 가하지 않는 상태일 수 있다.
In the case of conveying the web W, the web carrier device 300 holds the edge portion W E or the non-processing area W Q of the web while the web fixing device 100 releases the web. Can be moved. In this case, the adsorption device 200 may float the air by blowing air or inert gas, and the tension control device 400 is separated from the web W to not apply tension to the web. It may be in a non-state.

도 4는 웹고정장치의 일 실시예를 나타낸 단면도이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 웹고정장치(100)는 웹의 타면(하면)을 지지하는 구동롤러(110) 및 웹(W)의 일면(상면) 측에 위치하여 상하이동이 가능한 고정롤러(120)를 포함할 수 있다. 또한, 웹(W)의 측면을 가이드하여 주행방향의 위치를 제어하는 제1가이드롤러(130)를 더 포함할 수 있다.4 is a cross-sectional view showing an embodiment of a web fixing device. Web fixing device 100 according to an embodiment of the present invention is located on one side (upper surface) of the driving roller 110 and the web (W) for supporting the other surface (lower surface) of the web is fixed to the movable roller 120 ) May be included. In addition, the first guide roller 130 for controlling the position of the driving direction by guiding the side of the web (W) may be further included.

구동롤러(110)는 모터(도시하지 않음)에 연결되어 웹(W)의 이동시 회전할 수 있도록 구성되거나 모터에 연결되지 않고 베어링 등을 사용하여 회전(무부하 회전)하도록 구성될 수 있다. 물론, 회전하지 않도록 구성될 수도 있으나 이 경우 웹(W)의 하면에 마찰이 발생하여 웹(W)을 손상시키거나 주행방향 내지 위치제어에 오류가 발생할 수 있으므로 회전하도록 구성되는 것이 바람직하다.The driving roller 110 may be connected to a motor (not shown) and configured to rotate when the web W moves, or may be configured to rotate (no load rotation) using a bearing or the like without being connected to the motor. Of course, it may be configured not to rotate, but in this case, friction may occur on the lower surface of the web W, which may damage the web W or may cause an error in the driving direction or position control.

고정롤러(120)는 상하이동이 가능하도록 구성될 수 있다. 즉, 웹(W)이 정지한 경우에는 고정롤러(120)가 하측으로 이동하여 웹(W)을 가압하여 고정할 수 있고, 웹(W)이 이동하는 경우에는 고정롤러(120)가 상측으로 이동하여 웹(W)이 원활히 이동할 수 있도록 할 수 있다. 고정롤러(120)가 웹(W)을 가압하여 고정할 경우에는 웹의 에지부(WE) 또는 비공정영역(WQ)(도 1 참조)을 가압하도록 할 수 있다.The fixed roller 120 may be configured to be shangdong. That is, when the web W is stopped, the fixed roller 120 moves downward to pressurize and fix the web W. When the web W moves, the fixed roller 120 moves upward. By moving the web (W) can be moved smoothly. When the fixing roller 120 presses and fixes the web W, the fixing roller 120 may press the edge portion W E or the non-process area W Q (see FIG. 1) of the web.

또한, 웹고정장치(100)는 웹(W)의 좌,우 측면을 가이드하는 제1가이드롤러(130)를 더 포함할 수 있다. 상기 제1가이드롤러(130)는 웹(W)의 주행(이동)시 위치제어를 정확하게 할 수 있도록 하는 역할을 수행할 수 있다. 상기 제1가이드롤러(130)는 테프론(teflon) 또는 PEEK(Polyether ether ketone)로 이루어질 수 있으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.In addition, the web fixing device 100 may further include a first guide roller 130 for guiding the left and right sides of the web (W). The first guide roller 130 may serve to precisely control the position of the web (W) when traveling (moving). The first guide roller 130 may be made of teflon or polyether ether ketone (PEEK), but the present invention is not limited thereto.

전술한 웹고정장치(100)는 롤러를 사용하여 웹을 고정하는 경우를 나타낸 것이나 반드시 롤러를 사용해야 하는 것은 아니다. 예를 들어, 고정롤러(120)는 그 단면이 원형이 아닌 타원형, 사각형, 삼각형 등의 형태를 갖는 바(bar) 타입일 수도 있으며, 제1가이드롤러(130) 또한 상기 바(bar) 타입일 수 있다.
The web fixing device 100 described above shows a case of fixing a web using a roller, but does not necessarily use a roller. For example, the fixed roller 120 may be a bar type having a cross section of an elliptical shape, a square shape, a triangle shape, and the like, and the first guide roller 130 may also be the bar type. Can be.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 흡착장치의 평면도, 도 6은 단면도이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 흡착장치(200)는 상기 웹의 타면(하면)을 흡착 또는 플로팅시키는 다공성(porous) 흡착판(210)과 다공성 흡착판의 측면과 하면을 감싸며 다공성 흡착판에 연결되는 통기구(H)가 존재하는 흡착 하우징(220)을 포함할 수 있다. Figure 5 is a plan view of the adsorption device according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a cross-sectional view. Adsorption apparatus 200 according to an embodiment of the present invention is a porous suction plate 210 for adsorbing or floating the other surface (lower surface) of the web and the vent holes connected to the porous suction plate while wrapping the side and bottom of the porous suction plate ( H) may include adsorption housing 220 present.

다공성 흡착판(210)은 블럭별로 구분되지 않은 단일 흡착판일 수도 있고, 도 5에 도시된 것과 같이 블럭별로 구분된 복수 개의 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)으로 이루어질 수도 있다. 흡착판(210)을 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)으로 구성하고 각각의 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)별로 흡착 및 블로잉을 제어함으로써 플렉서블한 웹의 고정을 정밀하게 수행할 수 있다.The porous adsorption plate 210 may be a single adsorption plate not divided for each block, or may be formed of a plurality of sub adsorption plates 210a, 210b,. By configuring the adsorption plate 210 as the sub adsorption plates 210a, 210b, ..., 210i and controlling the adsorption and blowing for each sub adsorption plate 210a, 210b, ..., 210i, it is possible to precisely fix the flexible web. have.

흡착판(210)은 다공성 재료로서 통기성이 있는 재료이면 제한없이 이용할 수 있다. 예를 들어, 다공성 탄소(C), 다공성 세라믹 또는 다공성 금속 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. 구체적으로, 알루미나(Al2O3), 티타니아(TiO2), 실리카(SiO2), 지르코니아(ZrO2), 제올라이트 등의 세라믹 분말을 핫 프레싱(hot pressing) 등의 성형 과정을 거쳐 소결시킨 세라믹 흡착판일 수 있다. 또 다른 구체예로서, 석유 코크스petroleum cokes), 석탄에서 추출한 피치 코크스(pitch cokes) 등을 주원료로 하고 콜타르(coal tar), 피치(pitch), 페놀계 수지 등을 결합재로 하여 성형한 후 소성하여 제작된 다공성 카본 그라파이트일 수 있다.The adsorption plate 210 may be used without limitation as long as it is a porous material as a porous material. For example, it may include any one or more of porous carbon (C), porous ceramic, or porous metal. Specifically, ceramic sintered ceramic powders such as alumina (Al 2 O 3 ), titania (TiO 2 ), silica (SiO 2 ), zirconia (ZrO 2 ), zeolite and the like by hot pressing It may be a suction plate. In another embodiment, petroleum cokes, pitch cokes extracted from coal, etc. are used as the main raw materials, and coal tar, pitch, phenolic resins, etc. are formed as a binder and then fired. It may be a porous carbon graphite produced.

흡착 하우징(220)은 통기구(H)가 존재할 수 있으며, 통기구(H)는 상기 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)에 대응하는 서브 통기구(Ha, Hb, …, Hi)로 이루어질 수 있다. 도 6에는 Hb, He, Hh만 도시되어 있으나 나머지 도시되지 않은 나머지 서브 통기구의 도면부호를 쉽게 유추할 수 있으므로 도시되지 않은 도면부호(Ha 등)도 필요시 함께 기재하였으며 이하 다른 구성부품을 설명할 경우에도 마찬가지이다.Suction housing 220 has a vent hole (H) may be present, the communication hole (H) is in the sub-suction plates (210a, 210b, ..., 210i ) the sub vent holes corresponding to the (H a, H b, ..., H i) Can be done. Is Figure 6 is shown only H b, H e, H h, but the rest can be easily infer the reference numerals of the not-shown rest of the sub vent holes, not shown, the reference numeral (H a, etc.) were described together if required other components below The same applies to the description of the parts.

서브 통기구(Ha, Hb, …, Hi)에는 각각 서브 통기배관(230a, 230b, …, 230i)이 연결될 수 있으며 각각의 서브 통기배관(230a, 230b, …, 230i)에는 개폐밸브(240a, 240b, …, 240i)가 연결되어 제어부(도시하지 않음)에 의해 자동적으로 개폐동작을 수행하도록 구성될 수 있다. 웹이 플렉서블한 재료로 이루어져 있는 경우에는 흡착 또는 플로팅 동작을 순차적으로 수행하는 것이 바람직할 수 있다. 이를 위해, 상기 개폐밸브(240a, 240b, …, 240i)는 제어부(도시하지 않음)에 의해 순차적으로 개폐되도록 조절될 수 있으며, 압력조절을 위해 개폐 정도를 조절하도록 구성될 수 있다.A sub communication hole (H a, H b, ... , H i) , the respective sub-vent pipe (230a, 230b, ..., 230i ) can be connected, each of the sub vent pipe (230a, 230b, ..., 230i ) , the on-off valve ( 240a, 240b,..., 240i may be connected and configured to automatically open and close an operation by a controller (not shown). When the web is made of a flexible material, it may be desirable to perform the adsorption or floating operation sequentially. To this end, the opening and closing valves 240a, 240b, ..., 240i may be adjusted to be opened and closed sequentially by a controller (not shown), it may be configured to adjust the opening and closing degree for pressure control.

서브 통기구(Ha, Hb, …, Hi)는 하나의 배관으로 연결되어 체크밸브(250)와 진공펌프(260) 및 블로워(blower, 270)에 연결될 수 있다. 웹을 흡착할 경우에는 진공펌프(26)가 작동되어 통기배관(230), 통기구(H) 및 다공성 흡착판(210)의 내부의 통로를 통해 공기가 흡입될 수 있으며, 웹이 이동시에는 블로워(270)가 작동되어 에어(air) 또는 불활성 가스 등이 블로잉되어 웹을 플로팅시킬 수 있다. 체크밸브(250)는 진공펌프(260)와 블로워(270) 중 어느 하나를 선택하는 역할을 수행할 수 있으며 제어부(도시하지 않음)에 의해 자동적으로 조절될 수 있다.A sub communication hole (H a, H b, ... , H i) is connected to a pipe can be connected to the check valve 250 and the vacuum pumps 260 and the blower (blower, 270). When the web is adsorbed, the vacuum pump 26 is operated to allow air to be sucked through the passages inside the vent pipe 230, the vent H, and the porous suction plate 210, and the blower 270 when the web is moved. ) May be activated to blow air or an inert gas or the like to float the web. The check valve 250 may serve to select one of the vacuum pump 260 and the blower 270 and may be automatically adjusted by a controller (not shown).

흡착 하우징(220)은 격벽(222)을 더 포함할 수 있다. 즉, 격벽(222)은 상기 흡착 하우징(220)의 일부를 구성하도록 일체형으로 제작될 수 있다. 그러나, 별도의 부품으로 제작되어 조립 내지 부착될 수도 있다. 전술한 것과 같이, 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)은 이격공간을 두고 서로 이격되어 존재할 수 있으며 상기 이격공간은 빈 공간으로 존재할 수도 있고, 상기 이격공간을 메우는 격벽(222)이 존재할 수도 있다. 상기 격벽(222)은 에어(공기)가 이웃한 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)으로 흐르지 못하게 하여 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)별로 흡착 내지 플로팅 작업의 제어를 용이하도록 할 수 있다.
The adsorption housing 220 may further include a partition 222. That is, the partition wall 222 may be integrally manufactured to form a part of the adsorption housing 220. However, it may be manufactured as a separate part and assembled or attached. As described above, the sub adsorption plates 210a, 210b,..., 210i may be spaced apart from each other with a space therebetween, and the space may exist as an empty space, or a partition wall 222 may fill the space. have. The partition wall 222 does not allow air (air) to flow to neighboring sub adsorption plates 210a, 210b,..., 210i to facilitate control of adsorption or floating operations for each sub adsorption plates 210a, 210b,..., 210i. Can be.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 흡착장치의 단면도이다. 도 7을 참조하여 설명하되 전술한 부분과 중복되는 내용은 생략하거나 간단히 설명하도록 한다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 흡착장치(200)는 상기 웹의 타면(하면)을 흡착 또는 플로팅시키는 다공성 흡착판(210)이 단일 흡착판으로 이루어질 수 있으며, 상기 다공성 흡착판(210)에 연결되는 통기구(H)가 복수 개의 서브 통기구로 이루어져 구역별로 진공배기 또는 블로잉 작업을 수행할 수 있다.7 is a cross-sectional view of the adsorption device according to another embodiment of the present invention. A description with reference to FIG. 7 but a description overlapping with the above-described part will be omitted or briefly described. Adsorption apparatus 200 according to another embodiment of the present invention is a porous adsorption plate 210 for adsorbing or floating the other surface (lower surface) of the web may be made of a single adsorption plate, the vent connected to the porous adsorption plate 210 ( H) consists of a plurality of sub-vents to perform vacuum exhaust or blowing operations for each zone.

즉, 흡착 하우징(220)에 존재하는 통기구(H)가 서브 통기구(Ha, Hb, …, Hi)로 이루어질 수 있다. 도 7에는 Hb, He, Hh만 도시되어 있으며, 서브 통기구의 갯수는 일례에 불과하다.
That is, the suction housing may be made of a communication hole (H) present in 220 the sub vent hole (H a, H b, ..., H i). In FIG. 7, only H b , H e , and H h are shown, and the number of sub vents is only an example.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 흡착 하우징의 사시도이다. 도 8에 도시된 흡착 하우징(220)은 격벽이 존재하지 않는 경우를 나타낸 것이다. 흡착판(210)은 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)으로 이루어질 수도 있고 단일 흡착판일 수도 있다. 통기구(H)는 서브 통기구(Ha, Hb, …, Hi)로 이루어질 수 있으며, 흡착 하우징(220)에는 상기 서브 통기구(Ha, Hb, …, Hi)를 통한 진공배기 또는 블로잉 작업을 원활하게 하기 위한 서브 유로(Ra, Rb, …, Ri)로 이루어진 유로가 존재할 수 있다.8 is a perspective view of an adsorption housing according to an embodiment of the present invention. The adsorption housing 220 illustrated in FIG. 8 illustrates a case where the partition wall does not exist. The adsorption plate 210 may be composed of sub adsorption plates 210a, 210b, ..., 210i or may be a single adsorption plate. Ventilation (H) may be made of a sub-ventilation (H a , H b , ..., H i ), the suction housing 220 is a vacuum exhaust through the sub-vent (H a , H b , ..., Hi ) or sub-flow path to facilitate the blowing operation may be present in a flow path made of a (R a, R b, ... , R i).

도 8에 도시된 서브 유로(Ra, Rb, …, Ri)의 형태는 일례이며 다른 다양한 형태의 유로가 사용될 수 있다. 예를 들어, 사각형 형태의 유로가 없이 서브 통기구(Ha, Hb, …, Hi)로부터 방사형으로 뻗어가는 유로만 존재하는 형태, 상기 사각형 형태의 유로가 아닌 삼각형, 오각형 등의 다각형, 원형, 타원형 등의 유로 형태 등 유로의 구체적 형태는 다양하게 변형시켜 사용할 수 있다.
The shape of the sub flow paths Ra , R b ,..., R i shown in FIG. 8 is one example, and various other types of flow paths may be used. For example, only a flow path extending radially from the sub-vents (H a , H b , ..., H i ) without a rectangular flow path exists, polygons such as triangles, pentagons, etc., not the rectangular flow paths. The specific shape of the flow path, such as the shape of the flow path, such as oval, can be used in various modifications.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 흡착장치의 평면도이다. 웹의 일면에 각종 구조물을 형성하거나 특정 패턴을 형성하는 공정 등이 진공 중에서 진행될 수 있다. 이 경우, 진공배기에 의한 흡착만으로는 웹을 제대로 고정시키지 못할 수 있다. 도 9에 도시된 것과 같이, 진공 중에서 공정을 진행하는 경우 또는 일반적인 상압 상태에서 공정을 진행하더라도 보다 정밀한 흡착 등을 위해서 정전척(ESC: Electrostatic chuck, 280)을 더 구비할 수 있다.9 is a plan view of an adsorption device according to another embodiment of the present invention. A process of forming various structures or forming a specific pattern on one surface of the web may be performed in a vacuum. In this case, only the adsorption by vacuum exhaust may not properly fix the web. As shown in FIG. 9, an electrostatic chuck (ESC) 280 may be further provided for more accurate adsorption even when the process is performed in a vacuum or at a normal atmospheric pressure.

정전척(280)은 정전기적인 힘(Electrostatic force)를 이용하여 웹을 고정하는 장치로써 평판형 축전지(capacitor)에서의 하전된 평판 간에 발생하는 인력에 의해 웹을 고정할 수 있다. 상기 정전척(280)은 monopolar(unipolar) 타입일 수도 있고 bipolar 타입일 수도 있다. Bipolar 정전척은 두 전극이 절연층에 의하여 웹과 분리된 형태로써 전압이 두 전극에 분리되어 걸리고 정전기 인력은 각 극에서 웹과 전극 사이에 형성된다. Bipolar 정전척은 웹이 회로의 구성요소가 아니기 때문에 플라즈마를 전기적 연결의 매개체로 사용하지 않아도 되는 잇점이 있다.The electrostatic chuck 280 is a device for fixing the web by using electrostatic force, and may fix the web by the attraction force generated between the charged plates in the flat capacitor. The electrostatic chuck 280 may be a monopolar (unipolar) type or a bipolar type. Bipolar electrostatic chuck is a type in which two electrodes are separated from the web by an insulating layer, and voltage is applied to the two electrodes and electrostatic attraction is formed between the web and the electrodes at each pole. Bipolar electrostatic chucks have the advantage that the plasma is not a component of the circuit and the plasma is not used as a medium for electrical connection.

도 9에 도시된 정전척(280)은 흡착판(210)에 9개 존재하는 경우를 도시한 경우이나, 그 갯수, 형태 및 위치에 제한이 있는 것은 아니다. 또한, 정전척(280)과 다공성 흡착판(210) 사이에 이격공간이 존재할 수 있으며 상기 이격공간을 메우 우는 격벽이 존재할 수 있다. 상기 격벽은 이격공간을 메워 흡착시 웹의 변형을 억제할 수 있다.
9 illustrates the case where nine electrostatic chucks 280 are present in the adsorption plate 210, but the number, shape, and position of the electrostatic chucks 280 are not limited. In addition, a separation space may exist between the electrostatic chuck 280 and the porous suction plate 210 and a partition wall filling the separation space may exist. The partition wall may fill the separation space to suppress the deformation of the web during adsorption.

도 10 및 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹캐리어장치의 개략 단면도와 개략 평면도이다. 도 10 및 도 11을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 웹캐리어장치(300)는 센서(310), 웹 고정수단(320) 및 모터(330) 등을 포함할 수 있다.10 and 11 are schematic cross-sectional views and schematic plan views of a web carrier device according to an embodiment of the present invention. 10 and 11, the web carrier device 300 according to an embodiment of the present invention may include a sensor 310, a web fixing means 320, a motor 330, and the like.

본 발명의 일 실시예에 따른 웹캐리어장치(300)는 웹(W) 또는 웹의 에지부(WE)를 센서(310)에 의해 감지하고 웹 고정수단(320)이 상기 웹의 에지부(WE) 또는 비공정영역(WQ)을 잡아(고정하여) 모터(330) 등의 동력에 의해 웹을 이동 또는 회전시킬 수 있다. 도 10 및 도 11에는 웹 고정수단(320)의 일례로 물리적으로 웹의 에지부(WE) 또는 비공정영역(WQ)을 고정하는 클램프(clamp)를 나타내었다. Web carrier device 300 according to an embodiment of the present invention detects the web (W) or the edge portion (W E ) of the web by the sensor 310 and the web fixing means 320 is the edge portion of the web ( The web may be moved or rotated by the power of the motor 330 or the like by holding (fixing) W E ) or the non-process area W Q. 10 and 11 illustrate clamps that physically fix the edge W E or the non-process area W Q of the web as an example of the web fixing means 320.

웹 고정수단(320)에 의해 고정된 웹(W)은 웹이동수단(340)에 의해 이동될 수 있으며, 상기 웹이동수단(340)은 레일 형태로 이루어질 수 있다. 웹이동수단(340)은 모터(330)에 의해 이동 또는 회전하도록 구성될 수 있다. 즉, 웹의 주행뿐만 아니라 위치가 틀어진 경우에 웹을 회전시켜 이동시킴으로써 위치 보정(제어)을 동시에 수행할 수 있다.
The web W fixed by the web fixing means 320 may be moved by the web moving means 340, and the web moving means 340 may have a rail shape. The web moving means 340 may be configured to move or rotate by the motor 330. That is, the position correction (control) can be performed simultaneously by rotating and moving the web when the position is shifted as well as the web travel.

도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 웹캐리어장치의 개략 측단면도이며, 도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 웹캐리어 장치의 개략 측단면도이다. 이하 도 12 및 도 13을 참조하여 설명하되 전술한 부분과 중복되는 내용은 생략하거나 간단히 설명하도록 한다.12 is a schematic side cross-sectional view of a web carrier device according to another embodiment of the present invention, and FIG. 13 is a schematic side cross-sectional view of a web carrier device according to another embodiment of the present invention. Hereinafter, a description will be given with reference to FIGS. 12 and 13, but a description overlapping with the above-described parts will be omitted or simply described.

웹캐리어장치(300)의 웹 고정수단(320)은 롤러일 수 있다(도 12). 즉, 상부롤러와 하부롤러로 이루어진 한쌍의 롤러로 구성될 있으며, 웹(W)의 일면 또는 타면에 각종 공정이 진행되기 때문에 공정이 완료되거나 진행될 부분을 피하도록 상기 롤러는 비공정영역(WQ)에 접촉하도록 구성될 수 있다. 또는 상기 롤러는 웹의 에지부에만 접하도록 구성할 수도 있다. 웹의 일면 또는 타면에 소정 패턴, 구조물 등이 형성되는 경우 그 공정면에 접촉이 사실상 불가능할 수 있다. 웹의 에지부(WE)만 닙 롤러를 적용하여 웹을 이동(주행)시키는 경우 웹의 우는 현상이나 사향이 발생할 수 있으므로 상기 롤러는 웹의 비공정영역(WQ)을 가로지르는 전체 면에서 선접촉하는 것이 바람직하다.The web fixing means 320 of the web carrier device 300 may be a roller (FIG. 12). That is, the roller is composed of a pair of rollers consisting of an upper roller and a lower roller. Since the various processes are carried out on one side or the other side of the web W, the roller has a non-processing area (W Q) to avoid a portion where the process is completed or progressed. It can be configured to contact). Alternatively, the roller may be configured to contact only the edge portion of the web. When a predetermined pattern, structure, or the like is formed on one side or the other side of the web, contact with the process surface may be virtually impossible. If only the edge of the web W E is applied to the nip roller to move (driving) the web, the web may squeeze or musk, so that the roller is in the entire plane across the non-process area W Q of the web. It is preferable to make line contact.

웹캐리어장치(300)의 웹 고정수단(320)은 진공척일 수 있다(도 13). 상기 진공척은 다공성 흡착판을 포함하는 진공척일 수 있으며, 상기 흡착판은 단일 흡착판으로 이루어지거나 복수 개의 서브 흡착판으로 이루어질 수도 있다. 또한, 진공척과 함께 정전척을 더 포함할 수도 있다. The web fixing means 320 of the web carrier device 300 may be a vacuum chuck (FIG. 13). The vacuum chuck may be a vacuum chuck including a porous suction plate, and the suction plate may consist of a single suction plate or a plurality of sub suction plates. In addition, the vacuum chuck may further include an electrostatic chuck.

전술한 웹캐리어장치(300)는 공정장비 내에 설치될 수도 있으며 별도의 장비로 분리되어 설치될 수도 있다. 웹캐리어장치는 제품과 제품 사이의 빈 공간(웹의 에지부 또는 비공정영역)을 클램핑하거나 진공 척킹(vacuum chucking)하여 이송할 수 있다. 모든 웹 캐리어장치는 하나의 제어 프로그램으로 동기화될 수도 있으며, 각각의 속도를 조절하여 공정장비 내에서의 텐션(장력) 조절이 가능하도록 할 수도 있다.
The aforementioned web carrier device 300 may be installed in the process equipment or may be installed separately as separate equipment. The web carrier device may transfer by clamping or vacuum chucking an empty space (edge or non-process area of the web) between the product and the product. All web carrier devices may be synchronized to a single control program, and the speed may be adjusted to adjust tension in the process equipment.

도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 장력조절장치의 개략 단면도이다. 도시된 것과 같이, 장력조절장치(400)는 텐션롤러(410), 지지롤러(420), 로드셀(430) 및 액츄에이터(440) 등을 포함할 수 있다.14 is a schematic cross-sectional view of a tension control device according to an embodiment of the present invention. As shown, the tension adjusting device 400 may include a tension roller 410, a support roller 420, a load cell 430 and an actuator 440.

텐션롤러(410)는 액츄에이터(440)에 의해 상하 이동이 가능하도록 구성될 수 있다. 즉, 웹(W)을 정지시킨 상태에서 상기 웹의 일면에 소정 공정을 진행하고자 하는 경우에는 액츄에이터(440)는 텐션롤러(410)를 상측으로 이동시켜 웹의 하면을 가압할 수 있다. 양쪽에 위치하는 지지롤러(420)와의 협동작용에 의해 웹에 장력(텐션)이 가해지고 이때 가해지는 텐션을 로드셀(430)이 계측하여 장력을 조절할 수 있다.The tension roller 410 may be configured to move up and down by the actuator 440. That is, when a predetermined process is to be performed on one surface of the web while the web W is stopped, the actuator 440 may press the lower surface of the web by moving the tension roller 410 upward. The tension (tension) is applied to the web by the cooperative action with the support rollers 420 located on both sides, and the load cell 430 measures the tension applied at this time to adjust the tension.

상기 지지롤러(420)는 상하 이동이 가능하도록 구성될 수도 있고, 위치가 고정된 상태로 존재하도록 할 수도 있다. 또한, 회전할 수도 있고 회전하지 않을 수도 있다. 텐션롤러(420) 또한 회전할 수도 있고 회전하지 않을 수도 있다.The support roller 420 may be configured to be able to move up and down, or may be present in a fixed position. In addition, it may or may not rotate. The tension roller 420 may or may not rotate.

상기 텐션롤러(410)와 지지롤러(420)는 반드시 롤러일 필요는 없다. 웹에 텐션을 부여하거나 지지할 수 있는 로드 형태의 구조물 등이어도 무방하다.
The tension roller 410 and the support roller 420 need not necessarily be rollers. It may be a rod-shaped structure or the like that can tension or support the web.

도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 장력조절장치의 개략 단면도이다. 도시된 것과 같이, 장력조절장치(400)는 텐션롤러(410), 지지롤러(420), 로드셀(430) 및 액츄에이터(440) 등을 포함할 수 있는데, 전술한 것과 달리 텐션롤로(410)가 웹의 상측에 위치할 수 있다.15 is a schematic cross-sectional view of a tension control device according to another embodiment of the present invention. As shown, the tension adjusting device 400 may include a tension roller 410, support roller 420, load cell 430 and the actuator 440, unlike the tension roller 410 is different from the above It may be located above the web.

텐션롤러(410), 지지롤러(420), 로드셀(430) 및 액츄에이터(440) 등의 구성 및 동작은 전술한 바와 실질적으로 동일하다. 다만, 웹의 타면(하면)에 각종 공정이 진행되지 않는 경우에는 지지롤러(420)는 상, 하 이동을 하지 않고(고정된 위치에서) 회전이동만 할 수 있다.
The configuration and operation of the tension roller 410, the support roller 420, the load cell 430 and the actuator 440 is substantially the same as described above. However, when the various processes do not proceed to the other surface (lower surface) of the web, the support roller 420 may only rotate (within a fixed position) without moving up and down.

도 16 및 도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹 가이드 장치(방법)를 설명하기 위한 평면도와 단면도이다. 웹의 사행을 방지하는 장치로 엣지 포지션 컨트롤러(EPC: Edge Position Controller) 또는 센터 포지션 컨트롤러(CPC: Center Position Controller) 등의 사행 수정 장치가 일반적으로 사용되나, 상기 EPC 또는 CPC는 웹이 연속적으로 움직이는 경우에 사용하는 것이 바람직하며, 웹이 단속적으로 움직이고 소정 공정을 위해 정지하는 경우에는 바람직하지 않을 수 있다. 또한 웹의 상면에 소정 공정을 진행하여 상면에 접촉이 곤란하고 장력 제어가 용이하지 않아 상기 EPC 또는 CPC는 바람직하지 않다.16 and 17 are a plan view and a cross-sectional view for explaining a web guide device (method) according to an embodiment of the present invention. As a device for preventing the meandering of the web, a meander correcting device such as an edge position controller (EPC) or a center position controller (CPC) is generally used, but the EPC or CPC may be used to continuously move the web. It is preferable to use it in the case, and may not be desirable when the web moves intermittently and stops for a certain process. In addition, the EPC or the CPC is not preferable because a predetermined process is performed on the upper surface of the web, the contact with the upper surface is difficult and the tension control is not easy.

본 발명은 웹의 가이드를 위해 제2가이드롤러(500)를 구비할 수 있다. 상기 제2가이드롤러(500)는 웹의 주행방향을 따라 웹의 양 측면에 복수 개 설치되어 웹이 일정구간 이상 벗어나는 것을 방지할 수 있다. 상기 제2가이드롤러(500)는 테프론(teflon) 또는 PEEK(Polyether ether ketone)로 이루어질 수 있으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.The present invention may be provided with a second guide roller 500 for guiding the web. The second guide roller 500 may be installed on both sides of the web along the driving direction of the web to prevent the web from deviating from the predetermined section or more. The second guide roller 500 may be made of teflon or polyether ether ketone (PEEK), but the present invention is not limited thereto.

또한, 단속공정(정지상태)에서 웹의 위치(방향)가 많이 틀어진 경우에는 제2가이드롤러(500)만으로 위치를 조절하는데 한계가 있을 수 있으므로 진공척(510)을 통해 위치 조정을 할 수 있다. 상기 진공척(510)은 모터(520)에 의해 상하 이동(Z방향), 좌우 이동(X방향), 이송방향으로의 이동(Y방향) 및 회전 이동(θ방향)이 가능하게 구성될 수 있다. 아울러, 진공척(510)은 다공성 흡착판으로 구성될 수도 있고 다공성 흡착판으로 이루어지지 않을 수도 있으며, 정전척을 더 포함하여 구성될 수도 있다. 상기 흡착판은 단일 흡착판일 수도 있고, 복수 개의 서브 흡착판으로 이루어진 흡착판일 수도 있다.
In addition, when the position (direction) of the web is misaligned in the intermittent process (stopped state), since there may be a limit in adjusting the position with only the second guide roller 500, the position may be adjusted through the vacuum chuck 510. . The vacuum chuck 510 may be configured to be capable of vertical movement (Z direction), horizontal movement (X direction), movement (Y direction) and rotational movement (θ direction) by the motor 520. . In addition, the vacuum chuck 510 may be composed of a porous adsorption plate, may not be made of a porous adsorption plate, and may further include an electrostatic chuck. The adsorption plate may be a single adsorption plate or an adsorption plate consisting of a plurality of sub adsorption plates.

본 발명의 웹 처리 시스템은 다공성 흡착판에 의한 척킹(chucking)과 블로잉이 수행되기 때문에 웹에 이물질이 올라가 오염원 및 공정불량의 소스가 될 수 있다. 따라서, 흡착장치 내/외부, 웹의 주행방향을 따라 소정 위치에 클리닝장치를 설치할 수 있다. 상기 클리닝장치로는 UV(또는 VUV) 클리너, CO2 클리너, 콘택롤 클리너, UV/O3 클리너 등을 사용할 수 있다.
Since the web processing system of the present invention performs chucking and blowing by the porous adsorption plate, foreign matter may be raised on the web to become a source of contamination and process defects. Therefore, the cleaning apparatus can be installed at a predetermined position in / out of the adsorption apparatus and along the running direction of the web. The cleaning device may be a UV (or VUV) cleaner, CO 2 cleaner, contact roll cleaner, UV / O 3 cleaner and the like.

100 : 웹고정장치 110 : 구동롤러(110)
120 : 고정롤러 130 : 제1가이드롤러
200 : 흡착장치 210 : 흡착판
220 : 흡착 하우징 230 : 통기배관
240 : 개폐밸브 250 : 체크밸브
260 : 진공펌프 270 : 블로워
280 : 정전척 300 : 웹캐리어장치
310 : 센서 320 : 웹 고정수단
400 : 장력조절장치 410 : 텐션롤러
420 : 지지롤러 430 : 로드셀
440 : 액츄에이터 500 : 제2가이드롤러100: web fixing device 110: drive roller (110)
120: fixed roller 130: first guide roller
200: adsorption device 210: adsorption plate
220: adsorption housing 230: vent piping
240: on-off valve 250: check valve
260: vacuum pump 270: blower
280: electrostatic chuck 300: web carrier device
310: sensor 320: web fixing means
400: tension control device 410: tension roller
420: support roller 430: load cell
440: actuator 500: second guide roller

Claims (21)

일면 및 이에 대향하는 타면을 갖는 웹을 처리하는 시스템에 있어서,
상기 웹의 타면을 흡착 또는 플로팅시키는 다공성 흡착판; 및
상기 다공성 흡착판의 측면과 하면을 감싸며 상기 다공성 흡착판에 연결되는 통기구가 존재하는 흡착 하우징을 포함하는 웹 처리 시스템.
In the system for processing a web having one side and the other side opposite thereto,
Porous adsorption plate for adsorbing or floating the other side of the web; And
And a suction housing surrounding a side surface and a bottom surface of the porous suction plate and having a vent connected to the porous suction plate.
제1항에 있어서,
상기 흡착판은 복수 개의 서브 흡착판으로 이루어진 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
The suction plate is a web processing system consisting of a plurality of sub suction plate.
제2항에 있어서,
상기 통기구는 상기 복수 개의 서브 흡착판에 각각 연결되는 복수 개의 서브통기구로 이루어진 웹 처리 시스템.
The method of claim 2,
And the vent includes a plurality of sub vents connected to the plurality of sub suction plates, respectively.
제2항에 있어서,
상기 복수 개의 서브 흡착판은 이격공간을 두고 서로 이격되어 존재하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 2,
The plurality of sub-adsorption plates are spaced apart from each other with a space apart from each other.
제4항에 있어서,
상기 흡착 하우징은 상기 이격공간을 메우는 격벽을 더 포함하는 웹 처리 시스템.
5. The method of claim 4,
The adsorption housing further comprises a partition wall filling the separation space.
제2항에 있어서,
상기 흡착 하우징은 상기 복수 개의 서브 흡착판이 존재하는 위치에 상기 복수 개의 서브 흡착판의 진공배기 또는 블로잉을 위한 복수 개의 서브 유로를 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 2,
The suction housing further includes a plurality of sub flow paths for evacuating or blowing the plurality of sub suction plates at positions where the plurality of sub suction plates exist.
제1항에 있어서,
상기 흡착판은 다공성 탄소, 다공성 세라믹 또는 다공성 금속 중 어느 하나 이상을 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
The adsorbent plate comprises any one or more of porous carbon, porous ceramic or porous metal.
제1항에 있어서,
상기 흡착판의 전체면 중 일부면에 형성된 정전척을 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
And an electrostatic chuck formed on part of an entire surface of the suction plate.
제8항에 있어서,
상기 흡착 하우징은 상기 정전척과 상기 흡착판 사이의 이격공간을 메우는 격벽을 더 포함하는 웹 처리 시스템.
9. The method of claim 8,
The adsorption housing further includes a partition wall that fills a space between the electrostatic chuck and the adsorption plate.
제1항에 있어서,
상기 흡착판은 단일 흡착판으로 이루어진 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
The adsorption plate is a web processing system consisting of a single adsorption plate.
제10항에 있어서,
상기 통기구는 상기 단일 흡착판에 연결되는 복수 개의 서브통기구로 이루어진 웹 처리 시스템.
The method of claim 10,
The vent comprises a plurality of sub vents connected to the single suction plate.
제1항에 있어서,
상기 웹의 장력을 조절하는 장력조절장치를 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
And a tension control device for adjusting the tension of the web.
제12항에 있어서, 상기 장력조절장치는
상기 웹에 장력을 부여하는 텐션롤러;
상기 텐션롤러에 의해 가압된 웹을 지지하는 지지롤러; 및
상기 텐션롤러에 연결되어 상기 웹에 가해지는 장력을 조절하기 위한 로드셀
을 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 12, wherein the tension control device
A tension roller for imparting tension to the web;
A support roller for supporting the web pressed by the tension roller; And
A load cell connected to the tension roller to adjust the tension applied to the web
Web processing system comprising a.
제1항에 있어서,
상기 웹의 이동시 상기 웹의 에지부 또는 비공정영역을 고정하는 웹 고정수단;
상기 웹의 위치를 감지하는 센서; 및
상기 웹 고정수단에 의해 고정된 웹을 이동 또는 회전시키기 위한 모터
를 포함하는 웹캐리어장치를 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
Web fixing means for fixing the edge portion or the non-process area of the web when the web is moved;
A sensor for detecting a position of the web; And
A motor for moving or rotating the web fixed by the web fixing means
Web processing system further comprising a web carrier device comprising a.
제11항에 있어서,
상기 웹 고정수단은 클램프, 롤러 또는 진공척인 웹 처리 시스템.
The method of claim 11,
And the web fixing means is a clamp, roller or vacuum chuck.
제1항에 있어서,
상기 웹의 타면을 지지하는 구동롤러; 및
상기 웹의 일면 측에 위치하여 상하이동이 가능한 고정롤러
를 포함하는 웹고정장치를 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
A driving roller supporting the other surface of the web; And
Fixed roller that can be located on one side of the web
Web processing system further comprising a web fixing device comprising a.
제16항에 있어서,
상기 웹고정장치는 상기 웹의 좌, 우 측면에서 상기 웹의 위치를 조절하는 제1가이드롤러를 더 포함하는 웹 처리 시스템.
17. The method of claim 16,
The web fixing device further comprises a first guide roller for adjusting the position of the web on the left and right sides of the web.
제1항에 있어서,
상기 웹의 좌, 우 측면에서 상기 웹의 주행방향을 가이드하는 제2가이드롤러를 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
And a second guide roller for guiding a driving direction of the web on left and right sides of the web.
제18항에 있어서,
상기 제2가이드롤러는 테프론 또는 PEEK로 이루어진 웹 처리 시스템.
19. The method of claim 18,
The second guide roller is made of Teflon or PEEK web processing system.
제1항에 있어서,
상기 웹의 타면을 흡착하여 상기 웹의 위치를 조절하는 진공척을 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
And a vacuum chuck for adsorbing the other side of the web to adjust the position of the web.
제1항에 있어서,
상기 웹은 플렉서블 디스플레이 제조를 위한 플렉서블 기판인 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
And the web is a flexible substrate for manufacturing a flexible display.
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