KR20120086913A - System for treating web - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 65
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 41
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 81
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 11
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 claims description 6
- 238000007667 floating Methods 0.000 claims description 6
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 claims description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 5
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 claims description 4
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 claims description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims 1
- JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N benzene-1,4-diol;bis(4-fluorophenyl)methanone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1.C1=CC(F)=CC=C1C(=O)C1=CC=C(F)C=C1 JUPQTSLXMOCDHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 7
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000123 paper Substances 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 241000402754 Erythranthe moschata Species 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 2
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- PCTMTFRHKVHKIS-BMFZQQSSSA-N (1s,3r,4e,6e,8e,10e,12e,14e,16e,18s,19r,20r,21s,25r,27r,30r,31r,33s,35r,37s,38r)-3-[(2r,3s,4s,5s,6r)-4-amino-3,5-dihydroxy-6-methyloxan-2-yl]oxy-19,25,27,30,31,33,35,37-octahydroxy-18,20,21-trimethyl-23-oxo-22,39-dioxabicyclo[33.3.1]nonatriaconta-4,6,8,10 Chemical compound C1C=C2C[C@@H](OS(O)(=O)=O)CC[C@]2(C)[C@@H]2[C@@H]1[C@@H]1CC[C@H]([C@H](C)CCCC(C)C)[C@@]1(C)CC2.O[C@H]1[C@@H](N)[C@H](O)[C@@H](C)O[C@H]1O[C@H]1/C=C/C=C/C=C/C=C/C=C/C=C/C=C/[C@H](C)[C@@H](O)[C@@H](C)[C@H](C)OC(=O)C[C@H](O)C[C@H](O)CC[C@@H](O)[C@H](O)C[C@H](O)C[C@](O)(C[C@H](O)[C@H]2C(O)=O)O[C@H]2C1 PCTMTFRHKVHKIS-BMFZQQSSSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010011469 Crying Diseases 0.000 description 1
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 1
- 239000011280 coal tar Substances 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000002079 cooperative effect Effects 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002006 petroleum coke Substances 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
- 239000006253 pitch coke Substances 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 1
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- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
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- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H19/00—Changing the web roll
- B65H19/22—Changing the web roll in winding mechanisms or in connection with winding operations
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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- H10K77/00—Constructional details of devices covered by this subclass and not covered by groups H10K10/80, H10K30/80, H10K50/80 or H10K59/80
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- H10K77/111—Flexible substrates
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- Y02E10/549—Organic PV cells
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Abstract
Description
본 발명은 웹 처리 시스템에 관한 것으로, 웹의 이송, 흡착(chucking) 및 가이드가 용이한 웹 처리 시스템에 관한 것이다.
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a web processing system and to a web processing system that is easy to transport, chuck, and guide webs.
플렉서블 디스플레이(Flexible display)는 플라스틱 등 휠 수 있는 기판에 만들어진 평판 디스플레이로, 우수한 표시특성을 그대로 가지면서 접거나 구부리거나 두루마리 형태로 변형이 가능하기 때문에 현재의 평판 디스플레이 시장의 차세대 기술로 전세계적인 관심이 증대되고 있다.Flexible display is a flat panel display made of plastic and bendable substrate, and it can be folded, bent or rolled without sacrificing display characteristics. Is increasing.
플렉서블 디스플레이란 기존의 디스플레이 특성의 손실없이 종이와 같이 수 센티미터 이내로 휘거나, 구부리거나, 말 수 있는 얇고 유연한 기판을 사용하여 제조된 디스플레이이며, 기존의 유리기판 등을 사용하여 딱딱한 디스플레이와는 달리 가볍고, 얇고, 내충격성이 강하며, 구부림을 자유롭게 할 수 있는 디스플레이이다. 플렉서블 디스플레이는 용도 및 기능으로 깨지지 않는(rugged) 디스플레이, 굽혀지는(bending) 디스플레이, 두루마리가 가능한(rollable) 디스플레이로 구별할 수 있다. 가볍고, 견고하며, 구부림이 가능한 디스플레이는 DMB, WiBro, PDA 등 휴대화되고 있는 고품위 모바일용으로 적용될 수 있으며, 향후 두루마리형 디스플레이로 발전될 전망이다.Flexible displays are displays that are manufactured using thin, flexible substrates that can bend, bend, or roll within a few centimeters, such as paper, without losing traditional display characteristics. Thin, impact resistant and free to bend the display. Flexible displays can be distinguished into displays that are not rugged, bent, or rollable in purpose and function. Lightweight, rugged, and bendable displays can be used for high-end mobiles, such as DMB, WiBro, and PDA, and are expected to evolve into scrollable displays in the future.
플렉서블 액정 디스플레이를 롤투롤(roll to roll) 공정으로 제조하기 위해서는 웹의 일면에 폴리이미드(Polyimide) 등의 배향막 형성, 스페이서 도포, 실/쇼트 디스펜스, 액정 디스펜스 또는 액정 주입 공정 등의 공정이 수행되며 이러한 공정들은 정지상태에서 수행될 수 있다. 플렉서블 액정 디스플레이를 제조하기 위한 전술한 각종 공정이 웹의 일면에서 수행되기 때문에 이러한 공정이 수행되는 웹의 일면에는 이송을 위한 접촉이 사실상 불가능하고, 웹의 에지만 닙 롤러(nip roller) 적용시 웹의 우는 현상이나 사향이 발생할 가능성이 있기 때문에 닙 롤러에 의한 이송도 어렵다. 또한 텐션(tension)을 가한 상태에서 공정 진행시 상/하판의 정밀한 얼라인이 어렵다.
In order to manufacture the flexible liquid crystal display in a roll-to-roll process, processes such as forming an alignment layer such as polyimide on one surface of the web, applying a spacer, sealing / short dispensing, liquid crystal dispensing or liquid crystal injection, etc. are performed. These processes can be performed at standstill. Since the aforementioned various processes for manufacturing the flexible liquid crystal display are performed on one side of the web, contact on the one side of the web on which this process is performed is practically impossible, and the web only when the nip roller of the web is applied It is also difficult to feed by nip rollers because there is a possibility of crying or musk. In addition, it is difficult to precisely align the upper and lower plates during the process in the state of applying a tension (tension).
본 발명의 목적은 롤투롤 공정에 적합한 웹 처리 시스템을 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a web processing system suitable for a roll to roll process.
본 발명의 다른 목적은 웹의 이송, 흡착(chucking) 및 가이드가 용이한 웹 처리 시스템을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a web processing system that is easy to transport, chuck and guide webs.
본 발명의 또 다른 목적은 정지상태에서 웹의 일면에 소정의 공정을 용이하게 진행할 수 있는 웹 처리 시스템을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a web processing system that can easily perform a predetermined process on one surface of a web in a stationary state.
본 발명의 또 다른 목적은 플렉서블 액정 디스플레이 제조가 용이한 롤투롤 방식의 웹 처리 시스템을 제공하는 것이다.
Still another object of the present invention is to provide a roll-to-roll web processing system that is easy to manufacture a flexible liquid crystal display.
본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템은 일면 및 이에 대향하는 타면을 갖는 웹을 처리하는 시스템에 있어서, 상기 웹의 타면을 흡착 또는 플로팅시키는 다공성 흡착판 및 상기 다공성 흡착판의 측면과 하면을 감싸며 상기 다공성 흡착판에 연결되는 통기구가 존재하는 흡착 하우징을 포함하는 흡착장치를 포함한다.In the web processing system according to an embodiment of the present invention, in a system for processing a web having one side and the other side opposite thereto, the porous suction plate for adsorbing or floating the other side of the web and surrounding the side and bottom of the porous suction plate And an adsorption device including an adsorption housing in which a vent connected to the porous adsorption plate is present.
상기 흡착판은 복수 개의 서브 흡착판으로 이루어질 수 있으며, 상기 통기구는 상기 복수 개의 서브 흡착판에 각각 연결되는 복수 개의 서브통기구로 이루어질 수 있으며, 상기 복수 개의 서브 흡착판은 이격공간을 두고 서로 이격되어 존재할 수 있다.The adsorption plate may be composed of a plurality of sub adsorption plates, the vent may be composed of a plurality of sub vents respectively connected to the plurality of sub adsorption plates, and the plurality of sub adsorption plates may be spaced apart from each other with a space.
상기 흡착 하우징은 상기 이격공간을 메우는 격벽을 더 포함할 수 있으며, 상기 복수 개의 서브 흡착판이 존재하는 위치에 상기 복수 개의 서브 흡착판의 진공배기 또는 블로잉을 위한 복수 개의 서브 유로를 더 포함할 수 있다.The adsorption housing may further include a partition wall that fills the separation space, and may further include a plurality of sub flow paths for evacuating or blowing the plurality of sub adsorption plates at a position where the plurality of sub adsorption plates exist.
상기 흡착판은 다공성 탄소, 다공성 세라믹 또는 다공성 금속 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.The adsorption plate may include any one or more of porous carbon, porous ceramics or porous metals.
상기 흡착장치는 상기 흡착판의 전체면 중 일부면에 형성된 정전척을 더 포함할 수 있으며, 상기 정전척과 상기 흡착판 사이의 이격공간을 메우는 격벽을 더 포함할 수 있다.The adsorption device may further include an electrostatic chuck formed on a part of the entire surface of the adsorption plate, and may further include a partition wall filling the space between the electrostatic chuck and the adsorption plate.
상기 흡착판은 단일 흡착판으로 이루어질 수 있으며, 상기 통기구는 상기 단일 흡착판에 연결되는 복수 개의 서브통기구로 이루어질 수 있다.The suction plate may be formed of a single suction plate, and the vent may be formed of a plurality of sub-vents connected to the single suction plate.
본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템은 상기 웹의 장력을 조절하는 장력조절장치를 더 포함할 수 있으며, 상기 장력조절장치는 상기 웹에 장력을 부여하는 텐션롤러 상기 텐션롤러에 의해 가압된 웹을 지지하는 지지롤러 및 상기 텐션롤러에 연결되어 상기 웹에 가해지는 장력을 조절하기 위한 로드셀을 포함할 수 있다.Web processing system according to an embodiment of the present invention may further include a tension control device for adjusting the tension of the web, the tension control device is pressed by the tension roller tension roller for applying tension to the web It may include a support roller for supporting the web and a load cell connected to the tension roller for adjusting the tension applied to the web.
본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템은 상기 웹의 이동시 상기 웹의 에지부 또는 비공정영역을 고정하는 웹 고정수단, 상기 웹의 위치를 감지하는 센서 및 상기 웹 고정수단에 의해 고정된 웹을 이동 또는 회전시키기 위한 모터를 포함하는 웹캐리어장치를 더 포함할 수 있다.Web processing system according to an embodiment of the present invention is a web fixing means for fixing the edge or non-process area of the web when the web is moved, a sensor for detecting the position of the web and the web fixed by the web fixing means It may further include a web carrier device including a motor for moving or rotating.
상기 웹 고정수단은 클램프, 롤러 또는 진공척일 수 있다.The web fixing means may be a clamp, a roller or a vacuum chuck.
본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템은 상기 웹의 타면을 지지하는 구동롤러 및 상기 웹의 일면 측에 위치하여 상하이동이 가능한 고정롤러를 포함하는 웹고정장치를 더 포함할 수 있다.The web processing system according to an embodiment of the present invention may further include a web fixing device including a driving roller supporting the other surface of the web and a fixed roller positioned on one side of the web so as to be movable.
상기 웹고정장치는 상기 웹의 좌, 우 측면에서 상기 웹의 위치를 조절하는 제1가이드롤러를 더 포함할 수 있다.The web fixing device may further include a first guide roller for adjusting the position of the web on the left and right sides of the web.
본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템은 상기 웹의 좌, 우 측면에서 상기 웹의 주행방향을 가이드하는 제2가이드롤러를 더 포함할 수 있으며, 상기 제2가이드롤러는 테프론 또는 PEEK로 이루어질 수 있다.Web processing system according to an embodiment of the present invention may further include a second guide roller for guiding the running direction of the web on the left and right sides of the web, the second guide roller is made of Teflon or PEEK Can be.
본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템은 상기 웹의 타면을 흡착하여 상기 웹의 위치를 조절하는 진공척을 더 포함할 수 있다.Web processing system according to an embodiment of the present invention may further include a vacuum chuck to adjust the position of the web by adsorbing the other surface of the web.
상기 웹은 플렉서블 디스플레이 제조를 위한 플렉서블 기판일 수 있다.
The web may be a flexible substrate for manufacturing a flexible display.
본 발명의 웹 처리 시스템은 웹의 이송, 흡착 및 가이드가 용이하며, 특히 웹의 일면에 소정의 공정이 진행되는 롤투롤 공정 진행이 용이할 수 있다. 또한, 플렉서블 액정 디스플레이 등의 플렉서블 디스플레이를 용이하게 제조할 수 있다.
The web processing system of the present invention can be easily transported, adsorbed, and guided by a web, and in particular, a roll-to-roll process in which a predetermined process is performed on one surface of the web can be easily performed. Moreover, flexible displays, such as a flexible liquid crystal display, can be manufactured easily.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템에 사용되는 웹의 평면도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템의 개략 단면도로서, 도 2는 웹이 정지상태인 경우, 도 3은 웹이 이송상태인 경우를 나타낸 것이다.
도 4는 웹고정장치의 일 실시예를 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 흡착장치의 평면도, 도 6은 그 단면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 흡착장치의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 흡착 하우징의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 흡착장치의 평면도이다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹캐리어장치의 개략 단면도와 개략 평면도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 웹캐리어장치의 개략 측단면도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 웹캐리어 장치의 개략 측단면도이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 장력조절장치의 개략 단면도이다.
도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 장력조절장치의 개략 단면도이다.
도 16 및 도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹 가이드 장치(방법)를 설명하기 위한 평면도와 단면도이다.1 is a plan view of a web used in a web processing system according to an embodiment of the present invention.
2 and 3 are schematic cross-sectional views of a web processing system according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 shows a case where the web is in a stopped state, and FIG. 3 shows a case where the web is in a transport state.
4 is a cross-sectional view showing an embodiment of a web fixing device.
Figure 5 is a plan view of the adsorption device according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a cross-sectional view thereof.
7 is a cross-sectional view of the adsorption device according to another embodiment of the present invention.
8 is a perspective view of an adsorption housing according to an embodiment of the present invention.
9 is a plan view of an adsorption device according to another embodiment of the present invention.
10 and 11 are schematic cross-sectional views and schematic plan views of a web carrier device according to an embodiment of the present invention.
12 is a schematic side cross-sectional view of a web carrier device according to another embodiment of the present invention.
13 is a schematic side cross-sectional view of a web carrier device according to another embodiment of the present invention.
14 is a schematic cross-sectional view of a tension control device according to an embodiment of the present invention.
15 is a schematic cross-sectional view of a tension control device according to another embodiment of the present invention.
16 and 17 are a plan view and a cross-sectional view for explaining a web guide device (method) according to an embodiment of the present invention.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템에 사용되는 웹의 평면도이다. 도 1에 되시된 것과 같이, 웹(W)은 일면과 이에 대향하는 타면을 가지며 상기 일면(또는 양면)에는 각종 공정, 예를 들어 배향막 도포, 스페이서(spacer) 산포, 실 디스펜스, 쇼트 디스펜스, TFT(Thin Film Transistor) 형성 공정, 칼라필터 형성 공정 등의 플렉서블 액정 디스플레이 제조공정이 진행될 수 있다. 또 다른 예를 들어, 동박적층판(FCCL:Flexible Copper Clad Laminate)을 재단하지 않고 그대로 회전 롤에 감아 연성회로기판(Flexible Printed Circuit Board: FPCB)을 제조할 수도 있다. 또 다른 예를 들어, 전자종이 제조를 위한 각종 공정이 진행될 수도 있다.1 is a plan view of a web used in a web processing system according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the web W has one surface and the other surface opposite thereto, and on one surface (or both surfaces) various processes, for example, alignment film coating, spacer dispersion, seal dispensing, short dispensing, and TFT A flexible liquid crystal display manufacturing process such as a thin film transistor forming process and a color filter forming process may be performed. As another example, a flexible printed circuit board (FPCB) may be manufactured by winding a flexible copper clad laminate (FCCL) without winding it to a rotary roll as it is. As another example, various processes for manufacturing electronic paper may be performed.
상기 웹(W)은 플렉서블한 재질이면 제한이 없다. 예를 들어, 플라스틱, 금속, 종이, 고무 등의 재질로 이루어지거나 이들을 혼합한 재질일 수도 있다. 상기 플라스틱의 예로 PET(polyethylene terephthalate), PEN(polyethylene naphthalate), PES(polyether sulfone), PAR(polyarylate), PC(polycarbonate), COC(cycloolefin copolymer) 또는 PI(polyimide) 중 어느 하나 이상을 포함하는 플라스틱을 들 수 있으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다. The web W is not limited as long as it is a flexible material. For example, it may be made of a material such as plastic, metal, paper, rubber, or a mixture thereof. Examples of the plastic include plastics including any one or more of polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate (PEN), polyether sulfone (PES), polyarylate (PAR), polycarbonate (PC), cycloolefin copolymer (COC) or polyimide (PI). Although it may be mentioned the present invention is not limited thereto.
이하, 본 발명에서 전술한 배향막 도포 등의 각종 공정이 수행되는 영역을 공정영역(WP)이라고 칭하도록 하며, 공정영역(WP)과 공정영역(WP) 사이의 공간을 비공정영역(WQ)이라고 칭하도록 한다. 구체적 예를 들어, 도 1에서 공정영역(WP)은 사각형 ABCD가 될 수 있으며, 비공정영역(WQ)은 사각형 EFGH가 될 수 있다. 한편, 웹의 길이방향(주행방향)을 따라 가장자리 부분을 에지부(WE)로 칭하도록 한다. 비공정영역(WQ)과 에지부(WE)는 겹칠 수 있다. 예를 들어, 사각형 DIGH는 비공정영역(WQ)임과 동시에 에지부(WE)를 형성할 수 있다.
Or less, and so referred to as a region in which various processes are performed, such as the alignment film coating described above in the present invention the processing region (W P), the space between the processing region (W P) and the processing region (W P) non-processing region ( W Q ). For example, in FIG. 1, the process region W P may be a rectangle ABCD, and the non-process region W Q may be a rectangle EFGH. On the other hand, the edge portion along the longitudinal direction (traveling direction) of the web is referred to as the edge portion W E. The non-processing area W Q and the edge part W E may overlap. For example, the rectangle DIGH may form the edge portion W E while being the non-processing region W Q.
도 2 및 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템의 개략 단면도로서, 도 2는 웹이 정지상태인 경우, 도 3은 웹이 이송상태인 경우를 나타낸 것이다. 다만, 엄밀한 의미의 단면도를 도시한 것은 아니며, 설명의 편의상 단면도에서 보이지 않을 수 있는 부품(장치)도 함께 도시하였다. 도 2 및 도 3에 도시된 것과 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 웹 처리 시스템은 흡착장치(200)를 포함하며, 웹고정장치(100), 웹캐리어장치(300) 및 장력조절장치(400) 등을 더 포함할 수 있다. 또한, 웹의 주행방향을 따라 소정 위치에 설치된 가이드롤러(도시하지 않음) 등을 더 포함할 수 있다. 2 and 3 are schematic cross-sectional views of a web processing system according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 shows a case where the web is in a stopped state, and FIG. 3 shows a case where the web is in a transport state. However, the cross-sectional view of the present invention is not strictly illustrated, and parts (apparatus) which may not be shown in the cross-sectional view are also shown for convenience of description. As shown in Figure 2 and 3, the web processing system according to an embodiment of the present invention includes a
웹(W)은 일면(W1, 도면의 상면)과 이에 대향하는 타면(W2, 도면의 하면)을 가지며 상기 일면(W1)에는 전술한 각종 공정이 진행될 수 있다. 또한, 흡착장치(200), 웹고정장치(100), 웹캐리어장치(300) 및 장력조절장치(400) 등으로 이루어진 웹 처리 시스템은 하나의 공정유닛별로 설치될 수 있다. 예를 들어, 배향막 도포하는 유닛(장치)의 내/외부에 상기 흡착장치(200), 웹고정장치(100), 웹캐리어장치(300) 및 장력조절장치(400) 등으로 이루어진 웹 처리 시스템이 설치될 수 있으며, 실 디스펜스 하는 유닛(장치)의 내/외부에 상기 흡착장치(200), 웹고정장치(100), 웹캐리어장치(300) 및 장력조절장치(400) 등으로 이루어진 웹 처리 시스템이설치될 수 있다. 물론, 상기 흡착장치(200), 웹고정장치(100), 웹캐리어장치(300) 및 장력조절장치(400)가 모두 공정유닛별로 반드시 존재해야 하는 것은 아니며 어느 하나 이상의 장치가 생략될 수도 있다.The web W has one surface W 1 (upper surface in the drawing) and the other surface W 2 opposite the lower surface in the drawing. The above-described various processes may be performed on the one surface W 1 . In addition, the web processing system consisting of the
웹의 일면(W1)에 각종 공정을 수행하는 경우에는 웹고정장치(100)가 웹(W)을 고정하고 장력조절장치(400)가 웹에 텐션을 부여한 상태에서 흡착장치(200)가 웹을 흡착시키켜 웹(W)을 밀착시킨 상태에서 웹의 일면(W1)에 각종 공정을 수행할 수 있다.In the case of performing various processes on one surface W 1 of the web, the
웹(W)을 이송시키는 경우에는 웹고정장치(100)가 웹을 풀어준 상태에서 웹캐리어장치(300)가 웹의 에지부(WE) 또는 비공정영역(WQ)을 잡고 일정거리 웹을 이동시킬 수 있다. 이때, 흡착장치(200)는 에어(air) 또는 불활성기체를 블로잉(blowing)하여 웹을 플로팅(floating)시킬 수 있으며, 장력조절장치(400)는 웹(W)에서 이탈되어 웹에 텐션을 가하지 않는 상태일 수 있다.
In the case of conveying the web W, the
도 4는 웹고정장치의 일 실시예를 나타낸 단면도이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 웹고정장치(100)는 웹의 타면(하면)을 지지하는 구동롤러(110) 및 웹(W)의 일면(상면) 측에 위치하여 상하이동이 가능한 고정롤러(120)를 포함할 수 있다. 또한, 웹(W)의 측면을 가이드하여 주행방향의 위치를 제어하는 제1가이드롤러(130)를 더 포함할 수 있다.4 is a cross-sectional view showing an embodiment of a web fixing device.
구동롤러(110)는 모터(도시하지 않음)에 연결되어 웹(W)의 이동시 회전할 수 있도록 구성되거나 모터에 연결되지 않고 베어링 등을 사용하여 회전(무부하 회전)하도록 구성될 수 있다. 물론, 회전하지 않도록 구성될 수도 있으나 이 경우 웹(W)의 하면에 마찰이 발생하여 웹(W)을 손상시키거나 주행방향 내지 위치제어에 오류가 발생할 수 있으므로 회전하도록 구성되는 것이 바람직하다.The driving
고정롤러(120)는 상하이동이 가능하도록 구성될 수 있다. 즉, 웹(W)이 정지한 경우에는 고정롤러(120)가 하측으로 이동하여 웹(W)을 가압하여 고정할 수 있고, 웹(W)이 이동하는 경우에는 고정롤러(120)가 상측으로 이동하여 웹(W)이 원활히 이동할 수 있도록 할 수 있다. 고정롤러(120)가 웹(W)을 가압하여 고정할 경우에는 웹의 에지부(WE) 또는 비공정영역(WQ)(도 1 참조)을 가압하도록 할 수 있다.The fixed
또한, 웹고정장치(100)는 웹(W)의 좌,우 측면을 가이드하는 제1가이드롤러(130)를 더 포함할 수 있다. 상기 제1가이드롤러(130)는 웹(W)의 주행(이동)시 위치제어를 정확하게 할 수 있도록 하는 역할을 수행할 수 있다. 상기 제1가이드롤러(130)는 테프론(teflon) 또는 PEEK(Polyether ether ketone)로 이루어질 수 있으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.In addition, the
전술한 웹고정장치(100)는 롤러를 사용하여 웹을 고정하는 경우를 나타낸 것이나 반드시 롤러를 사용해야 하는 것은 아니다. 예를 들어, 고정롤러(120)는 그 단면이 원형이 아닌 타원형, 사각형, 삼각형 등의 형태를 갖는 바(bar) 타입일 수도 있으며, 제1가이드롤러(130) 또한 상기 바(bar) 타입일 수 있다.
The
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 흡착장치의 평면도, 도 6은 단면도이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 흡착장치(200)는 상기 웹의 타면(하면)을 흡착 또는 플로팅시키는 다공성(porous) 흡착판(210)과 다공성 흡착판의 측면과 하면을 감싸며 다공성 흡착판에 연결되는 통기구(H)가 존재하는 흡착 하우징(220)을 포함할 수 있다. Figure 5 is a plan view of the adsorption device according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a cross-sectional view.
다공성 흡착판(210)은 블럭별로 구분되지 않은 단일 흡착판일 수도 있고, 도 5에 도시된 것과 같이 블럭별로 구분된 복수 개의 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)으로 이루어질 수도 있다. 흡착판(210)을 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)으로 구성하고 각각의 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)별로 흡착 및 블로잉을 제어함으로써 플렉서블한 웹의 고정을 정밀하게 수행할 수 있다.The
흡착판(210)은 다공성 재료로서 통기성이 있는 재료이면 제한없이 이용할 수 있다. 예를 들어, 다공성 탄소(C), 다공성 세라믹 또는 다공성 금속 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다. 구체적으로, 알루미나(Al2O3), 티타니아(TiO2), 실리카(SiO2), 지르코니아(ZrO2), 제올라이트 등의 세라믹 분말을 핫 프레싱(hot pressing) 등의 성형 과정을 거쳐 소결시킨 세라믹 흡착판일 수 있다. 또 다른 구체예로서, 석유 코크스petroleum cokes), 석탄에서 추출한 피치 코크스(pitch cokes) 등을 주원료로 하고 콜타르(coal tar), 피치(pitch), 페놀계 수지 등을 결합재로 하여 성형한 후 소성하여 제작된 다공성 카본 그라파이트일 수 있다.The
흡착 하우징(220)은 통기구(H)가 존재할 수 있으며, 통기구(H)는 상기 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)에 대응하는 서브 통기구(Ha, Hb, …, Hi)로 이루어질 수 있다. 도 6에는 Hb, He, Hh만 도시되어 있으나 나머지 도시되지 않은 나머지 서브 통기구의 도면부호를 쉽게 유추할 수 있으므로 도시되지 않은 도면부호(Ha 등)도 필요시 함께 기재하였으며 이하 다른 구성부품을 설명할 경우에도 마찬가지이다.
서브 통기구(Ha, Hb, …, Hi)에는 각각 서브 통기배관(230a, 230b, …, 230i)이 연결될 수 있으며 각각의 서브 통기배관(230a, 230b, …, 230i)에는 개폐밸브(240a, 240b, …, 240i)가 연결되어 제어부(도시하지 않음)에 의해 자동적으로 개폐동작을 수행하도록 구성될 수 있다. 웹이 플렉서블한 재료로 이루어져 있는 경우에는 흡착 또는 플로팅 동작을 순차적으로 수행하는 것이 바람직할 수 있다. 이를 위해, 상기 개폐밸브(240a, 240b, …, 240i)는 제어부(도시하지 않음)에 의해 순차적으로 개폐되도록 조절될 수 있으며, 압력조절을 위해 개폐 정도를 조절하도록 구성될 수 있다.A sub communication hole (H a, H b, ... , H i) , the respective sub-vent pipe (230a, 230b, ..., 230i ) can be connected, each of the sub vent pipe (230a, 230b, ..., 230i ) , the on-off valve ( 240a, 240b,..., 240i may be connected and configured to automatically open and close an operation by a controller (not shown). When the web is made of a flexible material, it may be desirable to perform the adsorption or floating operation sequentially. To this end, the opening and
서브 통기구(Ha, Hb, …, Hi)는 하나의 배관으로 연결되어 체크밸브(250)와 진공펌프(260) 및 블로워(blower, 270)에 연결될 수 있다. 웹을 흡착할 경우에는 진공펌프(26)가 작동되어 통기배관(230), 통기구(H) 및 다공성 흡착판(210)의 내부의 통로를 통해 공기가 흡입될 수 있으며, 웹이 이동시에는 블로워(270)가 작동되어 에어(air) 또는 불활성 가스 등이 블로잉되어 웹을 플로팅시킬 수 있다. 체크밸브(250)는 진공펌프(260)와 블로워(270) 중 어느 하나를 선택하는 역할을 수행할 수 있으며 제어부(도시하지 않음)에 의해 자동적으로 조절될 수 있다.A sub communication hole (H a, H b, ... , H i) is connected to a pipe can be connected to the
흡착 하우징(220)은 격벽(222)을 더 포함할 수 있다. 즉, 격벽(222)은 상기 흡착 하우징(220)의 일부를 구성하도록 일체형으로 제작될 수 있다. 그러나, 별도의 부품으로 제작되어 조립 내지 부착될 수도 있다. 전술한 것과 같이, 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)은 이격공간을 두고 서로 이격되어 존재할 수 있으며 상기 이격공간은 빈 공간으로 존재할 수도 있고, 상기 이격공간을 메우는 격벽(222)이 존재할 수도 있다. 상기 격벽(222)은 에어(공기)가 이웃한 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)으로 흐르지 못하게 하여 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)별로 흡착 내지 플로팅 작업의 제어를 용이하도록 할 수 있다.
The
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 흡착장치의 단면도이다. 도 7을 참조하여 설명하되 전술한 부분과 중복되는 내용은 생략하거나 간단히 설명하도록 한다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 흡착장치(200)는 상기 웹의 타면(하면)을 흡착 또는 플로팅시키는 다공성 흡착판(210)이 단일 흡착판으로 이루어질 수 있으며, 상기 다공성 흡착판(210)에 연결되는 통기구(H)가 복수 개의 서브 통기구로 이루어져 구역별로 진공배기 또는 블로잉 작업을 수행할 수 있다.7 is a cross-sectional view of the adsorption device according to another embodiment of the present invention. A description with reference to FIG. 7 but a description overlapping with the above-described part will be omitted or briefly described.
즉, 흡착 하우징(220)에 존재하는 통기구(H)가 서브 통기구(Ha, Hb, …, Hi)로 이루어질 수 있다. 도 7에는 Hb, He, Hh만 도시되어 있으며, 서브 통기구의 갯수는 일례에 불과하다.
That is, the suction housing may be made of a communication hole (H) present in 220 the sub vent hole (H a, H b, ..., H i). In FIG. 7, only H b , H e , and H h are shown, and the number of sub vents is only an example.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 흡착 하우징의 사시도이다. 도 8에 도시된 흡착 하우징(220)은 격벽이 존재하지 않는 경우를 나타낸 것이다. 흡착판(210)은 서브 흡착판(210a, 210b, …, 210i)으로 이루어질 수도 있고 단일 흡착판일 수도 있다. 통기구(H)는 서브 통기구(Ha, Hb, …, Hi)로 이루어질 수 있으며, 흡착 하우징(220)에는 상기 서브 통기구(Ha, Hb, …, Hi)를 통한 진공배기 또는 블로잉 작업을 원활하게 하기 위한 서브 유로(Ra, Rb, …, Ri)로 이루어진 유로가 존재할 수 있다.8 is a perspective view of an adsorption housing according to an embodiment of the present invention. The
도 8에 도시된 서브 유로(Ra, Rb, …, Ri)의 형태는 일례이며 다른 다양한 형태의 유로가 사용될 수 있다. 예를 들어, 사각형 형태의 유로가 없이 서브 통기구(Ha, Hb, …, Hi)로부터 방사형으로 뻗어가는 유로만 존재하는 형태, 상기 사각형 형태의 유로가 아닌 삼각형, 오각형 등의 다각형, 원형, 타원형 등의 유로 형태 등 유로의 구체적 형태는 다양하게 변형시켜 사용할 수 있다.
The shape of the sub flow paths Ra , R b ,..., R i shown in FIG. 8 is one example, and various other types of flow paths may be used. For example, only a flow path extending radially from the sub-vents (H a , H b , ..., H i ) without a rectangular flow path exists, polygons such as triangles, pentagons, etc., not the rectangular flow paths. The specific shape of the flow path, such as the shape of the flow path, such as oval, can be used in various modifications.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 흡착장치의 평면도이다. 웹의 일면에 각종 구조물을 형성하거나 특정 패턴을 형성하는 공정 등이 진공 중에서 진행될 수 있다. 이 경우, 진공배기에 의한 흡착만으로는 웹을 제대로 고정시키지 못할 수 있다. 도 9에 도시된 것과 같이, 진공 중에서 공정을 진행하는 경우 또는 일반적인 상압 상태에서 공정을 진행하더라도 보다 정밀한 흡착 등을 위해서 정전척(ESC: Electrostatic chuck, 280)을 더 구비할 수 있다.9 is a plan view of an adsorption device according to another embodiment of the present invention. A process of forming various structures or forming a specific pattern on one surface of the web may be performed in a vacuum. In this case, only the adsorption by vacuum exhaust may not properly fix the web. As shown in FIG. 9, an electrostatic chuck (ESC) 280 may be further provided for more accurate adsorption even when the process is performed in a vacuum or at a normal atmospheric pressure.
정전척(280)은 정전기적인 힘(Electrostatic force)를 이용하여 웹을 고정하는 장치로써 평판형 축전지(capacitor)에서의 하전된 평판 간에 발생하는 인력에 의해 웹을 고정할 수 있다. 상기 정전척(280)은 monopolar(unipolar) 타입일 수도 있고 bipolar 타입일 수도 있다. Bipolar 정전척은 두 전극이 절연층에 의하여 웹과 분리된 형태로써 전압이 두 전극에 분리되어 걸리고 정전기 인력은 각 극에서 웹과 전극 사이에 형성된다. Bipolar 정전척은 웹이 회로의 구성요소가 아니기 때문에 플라즈마를 전기적 연결의 매개체로 사용하지 않아도 되는 잇점이 있다.The
도 9에 도시된 정전척(280)은 흡착판(210)에 9개 존재하는 경우를 도시한 경우이나, 그 갯수, 형태 및 위치에 제한이 있는 것은 아니다. 또한, 정전척(280)과 다공성 흡착판(210) 사이에 이격공간이 존재할 수 있으며 상기 이격공간을 메우 우는 격벽이 존재할 수 있다. 상기 격벽은 이격공간을 메워 흡착시 웹의 변형을 억제할 수 있다.
9 illustrates the case where nine
도 10 및 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹캐리어장치의 개략 단면도와 개략 평면도이다. 도 10 및 도 11을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 웹캐리어장치(300)는 센서(310), 웹 고정수단(320) 및 모터(330) 등을 포함할 수 있다.10 and 11 are schematic cross-sectional views and schematic plan views of a web carrier device according to an embodiment of the present invention. 10 and 11, the
본 발명의 일 실시예에 따른 웹캐리어장치(300)는 웹(W) 또는 웹의 에지부(WE)를 센서(310)에 의해 감지하고 웹 고정수단(320)이 상기 웹의 에지부(WE) 또는 비공정영역(WQ)을 잡아(고정하여) 모터(330) 등의 동력에 의해 웹을 이동 또는 회전시킬 수 있다. 도 10 및 도 11에는 웹 고정수단(320)의 일례로 물리적으로 웹의 에지부(WE) 또는 비공정영역(WQ)을 고정하는 클램프(clamp)를 나타내었다.
웹 고정수단(320)에 의해 고정된 웹(W)은 웹이동수단(340)에 의해 이동될 수 있으며, 상기 웹이동수단(340)은 레일 형태로 이루어질 수 있다. 웹이동수단(340)은 모터(330)에 의해 이동 또는 회전하도록 구성될 수 있다. 즉, 웹의 주행뿐만 아니라 위치가 틀어진 경우에 웹을 회전시켜 이동시킴으로써 위치 보정(제어)을 동시에 수행할 수 있다.
The web W fixed by the web fixing means 320 may be moved by the web moving means 340, and the web moving means 340 may have a rail shape. The web moving means 340 may be configured to move or rotate by the
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 웹캐리어장치의 개략 측단면도이며, 도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 웹캐리어 장치의 개략 측단면도이다. 이하 도 12 및 도 13을 참조하여 설명하되 전술한 부분과 중복되는 내용은 생략하거나 간단히 설명하도록 한다.12 is a schematic side cross-sectional view of a web carrier device according to another embodiment of the present invention, and FIG. 13 is a schematic side cross-sectional view of a web carrier device according to another embodiment of the present invention. Hereinafter, a description will be given with reference to FIGS. 12 and 13, but a description overlapping with the above-described parts will be omitted or simply described.
웹캐리어장치(300)의 웹 고정수단(320)은 롤러일 수 있다(도 12). 즉, 상부롤러와 하부롤러로 이루어진 한쌍의 롤러로 구성될 있으며, 웹(W)의 일면 또는 타면에 각종 공정이 진행되기 때문에 공정이 완료되거나 진행될 부분을 피하도록 상기 롤러는 비공정영역(WQ)에 접촉하도록 구성될 수 있다. 또는 상기 롤러는 웹의 에지부에만 접하도록 구성할 수도 있다. 웹의 일면 또는 타면에 소정 패턴, 구조물 등이 형성되는 경우 그 공정면에 접촉이 사실상 불가능할 수 있다. 웹의 에지부(WE)만 닙 롤러를 적용하여 웹을 이동(주행)시키는 경우 웹의 우는 현상이나 사향이 발생할 수 있으므로 상기 롤러는 웹의 비공정영역(WQ)을 가로지르는 전체 면에서 선접촉하는 것이 바람직하다.The web fixing means 320 of the
웹캐리어장치(300)의 웹 고정수단(320)은 진공척일 수 있다(도 13). 상기 진공척은 다공성 흡착판을 포함하는 진공척일 수 있으며, 상기 흡착판은 단일 흡착판으로 이루어지거나 복수 개의 서브 흡착판으로 이루어질 수도 있다. 또한, 진공척과 함께 정전척을 더 포함할 수도 있다. The web fixing means 320 of the
전술한 웹캐리어장치(300)는 공정장비 내에 설치될 수도 있으며 별도의 장비로 분리되어 설치될 수도 있다. 웹캐리어장치는 제품과 제품 사이의 빈 공간(웹의 에지부 또는 비공정영역)을 클램핑하거나 진공 척킹(vacuum chucking)하여 이송할 수 있다. 모든 웹 캐리어장치는 하나의 제어 프로그램으로 동기화될 수도 있으며, 각각의 속도를 조절하여 공정장비 내에서의 텐션(장력) 조절이 가능하도록 할 수도 있다.
The aforementioned
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 장력조절장치의 개략 단면도이다. 도시된 것과 같이, 장력조절장치(400)는 텐션롤러(410), 지지롤러(420), 로드셀(430) 및 액츄에이터(440) 등을 포함할 수 있다.14 is a schematic cross-sectional view of a tension control device according to an embodiment of the present invention. As shown, the
텐션롤러(410)는 액츄에이터(440)에 의해 상하 이동이 가능하도록 구성될 수 있다. 즉, 웹(W)을 정지시킨 상태에서 상기 웹의 일면에 소정 공정을 진행하고자 하는 경우에는 액츄에이터(440)는 텐션롤러(410)를 상측으로 이동시켜 웹의 하면을 가압할 수 있다. 양쪽에 위치하는 지지롤러(420)와의 협동작용에 의해 웹에 장력(텐션)이 가해지고 이때 가해지는 텐션을 로드셀(430)이 계측하여 장력을 조절할 수 있다.The
상기 지지롤러(420)는 상하 이동이 가능하도록 구성될 수도 있고, 위치가 고정된 상태로 존재하도록 할 수도 있다. 또한, 회전할 수도 있고 회전하지 않을 수도 있다. 텐션롤러(420) 또한 회전할 수도 있고 회전하지 않을 수도 있다.The
상기 텐션롤러(410)와 지지롤러(420)는 반드시 롤러일 필요는 없다. 웹에 텐션을 부여하거나 지지할 수 있는 로드 형태의 구조물 등이어도 무방하다.
The
도 15는 본 발명의 다른 실시예에 따른 장력조절장치의 개략 단면도이다. 도시된 것과 같이, 장력조절장치(400)는 텐션롤러(410), 지지롤러(420), 로드셀(430) 및 액츄에이터(440) 등을 포함할 수 있는데, 전술한 것과 달리 텐션롤로(410)가 웹의 상측에 위치할 수 있다.15 is a schematic cross-sectional view of a tension control device according to another embodiment of the present invention. As shown, the
텐션롤러(410), 지지롤러(420), 로드셀(430) 및 액츄에이터(440) 등의 구성 및 동작은 전술한 바와 실질적으로 동일하다. 다만, 웹의 타면(하면)에 각종 공정이 진행되지 않는 경우에는 지지롤러(420)는 상, 하 이동을 하지 않고(고정된 위치에서) 회전이동만 할 수 있다.
The configuration and operation of the
도 16 및 도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 웹 가이드 장치(방법)를 설명하기 위한 평면도와 단면도이다. 웹의 사행을 방지하는 장치로 엣지 포지션 컨트롤러(EPC: Edge Position Controller) 또는 센터 포지션 컨트롤러(CPC: Center Position Controller) 등의 사행 수정 장치가 일반적으로 사용되나, 상기 EPC 또는 CPC는 웹이 연속적으로 움직이는 경우에 사용하는 것이 바람직하며, 웹이 단속적으로 움직이고 소정 공정을 위해 정지하는 경우에는 바람직하지 않을 수 있다. 또한 웹의 상면에 소정 공정을 진행하여 상면에 접촉이 곤란하고 장력 제어가 용이하지 않아 상기 EPC 또는 CPC는 바람직하지 않다.16 and 17 are a plan view and a cross-sectional view for explaining a web guide device (method) according to an embodiment of the present invention. As a device for preventing the meandering of the web, a meander correcting device such as an edge position controller (EPC) or a center position controller (CPC) is generally used, but the EPC or CPC may be used to continuously move the web. It is preferable to use it in the case, and may not be desirable when the web moves intermittently and stops for a certain process. In addition, the EPC or the CPC is not preferable because a predetermined process is performed on the upper surface of the web, the contact with the upper surface is difficult and the tension control is not easy.
본 발명은 웹의 가이드를 위해 제2가이드롤러(500)를 구비할 수 있다. 상기 제2가이드롤러(500)는 웹의 주행방향을 따라 웹의 양 측면에 복수 개 설치되어 웹이 일정구간 이상 벗어나는 것을 방지할 수 있다. 상기 제2가이드롤러(500)는 테프론(teflon) 또는 PEEK(Polyether ether ketone)로 이루어질 수 있으나 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.The present invention may be provided with a
또한, 단속공정(정지상태)에서 웹의 위치(방향)가 많이 틀어진 경우에는 제2가이드롤러(500)만으로 위치를 조절하는데 한계가 있을 수 있으므로 진공척(510)을 통해 위치 조정을 할 수 있다. 상기 진공척(510)은 모터(520)에 의해 상하 이동(Z방향), 좌우 이동(X방향), 이송방향으로의 이동(Y방향) 및 회전 이동(θ방향)이 가능하게 구성될 수 있다. 아울러, 진공척(510)은 다공성 흡착판으로 구성될 수도 있고 다공성 흡착판으로 이루어지지 않을 수도 있으며, 정전척을 더 포함하여 구성될 수도 있다. 상기 흡착판은 단일 흡착판일 수도 있고, 복수 개의 서브 흡착판으로 이루어진 흡착판일 수도 있다.
In addition, when the position (direction) of the web is misaligned in the intermittent process (stopped state), since there may be a limit in adjusting the position with only the
본 발명의 웹 처리 시스템은 다공성 흡착판에 의한 척킹(chucking)과 블로잉이 수행되기 때문에 웹에 이물질이 올라가 오염원 및 공정불량의 소스가 될 수 있다. 따라서, 흡착장치 내/외부, 웹의 주행방향을 따라 소정 위치에 클리닝장치를 설치할 수 있다. 상기 클리닝장치로는 UV(또는 VUV) 클리너, CO2 클리너, 콘택롤 클리너, UV/O3 클리너 등을 사용할 수 있다.
Since the web processing system of the present invention performs chucking and blowing by the porous adsorption plate, foreign matter may be raised on the web to become a source of contamination and process defects. Therefore, the cleaning apparatus can be installed at a predetermined position in / out of the adsorption apparatus and along the running direction of the web. The cleaning device may be a UV (or VUV) cleaner, CO 2 cleaner, contact roll cleaner, UV / O 3 cleaner and the like.
100 : 웹고정장치 110 : 구동롤러(110)
120 : 고정롤러 130 : 제1가이드롤러
200 : 흡착장치 210 : 흡착판
220 : 흡착 하우징 230 : 통기배관
240 : 개폐밸브 250 : 체크밸브
260 : 진공펌프 270 : 블로워
280 : 정전척 300 : 웹캐리어장치
310 : 센서 320 : 웹 고정수단
400 : 장력조절장치 410 : 텐션롤러
420 : 지지롤러 430 : 로드셀
440 : 액츄에이터 500 : 제2가이드롤러100: web fixing device 110: drive roller (110)
120: fixed roller 130: first guide roller
200: adsorption device 210: adsorption plate
220: adsorption housing 230: vent piping
240: on-off valve 250: check valve
260: vacuum pump 270: blower
280: electrostatic chuck 300: web carrier device
310: sensor 320: web fixing means
400: tension control device 410: tension roller
420: support roller 430: load cell
440: actuator 500: second guide roller
Claims (21)
상기 웹의 타면을 흡착 또는 플로팅시키는 다공성 흡착판; 및
상기 다공성 흡착판의 측면과 하면을 감싸며 상기 다공성 흡착판에 연결되는 통기구가 존재하는 흡착 하우징을 포함하는 흡착장치
를 포함하는 웹 처리 시스템.
In the system for processing a web having one side and the other side opposite thereto,
Porous adsorption plate for adsorbing or floating the other side of the web; And
Adsorption device surrounding the side and bottom of the porous adsorption plate and including an adsorption housing there is a vent connected to the porous adsorption plate
Web processing system comprising a.
상기 흡착판은 복수 개의 서브 흡착판으로 이루어진 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
The suction plate is a web processing system consisting of a plurality of sub suction plate.
상기 통기구는 상기 복수 개의 서브 흡착판에 각각 연결되는 복수 개의 서브통기구로 이루어진 웹 처리 시스템.
The method of claim 2,
And the vent includes a plurality of sub vents connected to the plurality of sub suction plates, respectively.
상기 복수 개의 서브 흡착판은 이격공간을 두고 서로 이격되어 존재하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 2,
The plurality of sub-adsorption plates are spaced apart from each other with a space apart from each other.
상기 흡착 하우징은 상기 이격공간을 메우는 격벽을 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 4, wherein
The adsorption housing further comprises a partition wall filling the separation space.
상기 흡착 하우징은 상기 복수 개의 서브 흡착판이 존재하는 위치에 상기 복수 개의 서브 흡착판의 진공배기 또는 블로잉을 위한 복수 개의 서브 유로를 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 2,
The suction housing further includes a plurality of sub flow paths for evacuating or blowing the plurality of sub suction plates at positions where the plurality of sub suction plates exist.
상기 흡착판은 다공성 탄소, 다공성 세라믹 또는 다공성 금속 중 어느 하나 이상을 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
The adsorbent plate comprises any one or more of porous carbon, porous ceramic or porous metal.
상기 흡착장치는 상기 흡착판의 전체면 중 일부면에 형성된 정전척을 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
The adsorption device further comprises an electrostatic chuck formed on a part of the entire surface of the adsorption plate.
상기 흡착 하우징은 상기 정전척과 상기 흡착판 사이의 이격공간을 메우는 격벽을 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 8,
The adsorption housing further includes a partition wall that fills a space between the electrostatic chuck and the adsorption plate.
상기 흡착판은 단일 흡착판으로 이루어진 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
The adsorption plate is a web processing system consisting of a single adsorption plate.
상기 통기구는 상기 단일 흡착판에 연결되는 복수 개의 서브통기구로 이루어진 웹 처리 시스템.
The method of claim 10,
The vent comprises a plurality of sub vents connected to the single suction plate.
상기 웹의 장력을 조절하는 장력조절장치를 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
And a tension control device for adjusting the tension of the web.
상기 웹에 장력을 부여하는 텐션롤러;
상기 텐션롤러에 의해 가압된 웹을 지지하는 지지롤러; 및
상기 텐션롤러에 연결되어 상기 웹에 가해지는 장력을 조절하기 위한 로드셀
을 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 12, wherein the tension control device
A tension roller for imparting tension to the web;
A support roller for supporting the web pressed by the tension roller; And
A load cell connected to the tension roller to adjust the tension applied to the web
Web processing system comprising a.
상기 웹의 이동시 상기 웹의 에지부 또는 비공정영역을 고정하는 웹 고정수단;
상기 웹의 위치를 감지하는 센서; 및
상기 웹 고정수단에 의해 고정된 웹을 이동 또는 회전시키기 위한 모터
를 포함하는 웹캐리어장치를 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
Web fixing means for fixing the edge portion or the non-process area of the web when the web is moved;
A sensor for detecting a position of the web; And
A motor for moving or rotating the web fixed by the web fixing means
Web processing system further comprising a web carrier device comprising a.
상기 웹 고정수단은 클램프, 롤러 또는 진공척인 웹 처리 시스템.
The method of claim 11,
And the web fixing means is a clamp, roller or vacuum chuck.
상기 웹의 타면을 지지하는 구동롤러; 및
상기 웹의 일면 측에 위치하여 상하이동이 가능한 고정롤러
를 포함하는 웹고정장치를 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
A driving roller supporting the other surface of the web; And
Fixed roller that can be located on one side of the web
Web processing system further comprising a web fixing device comprising a.
상기 웹고정장치는 상기 웹의 좌, 우 측면에서 상기 웹의 위치를 조절하는 제1가이드롤러를 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 16,
The web fixing device further comprises a first guide roller for adjusting the position of the web on the left and right sides of the web.
상기 웹의 좌, 우 측면에서 상기 웹의 주행방향을 가이드하는 제2가이드롤러를 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
And a second guide roller for guiding a driving direction of the web on left and right sides of the web.
상기 제2가이드롤러는 테프론 또는 PEEK로 이루어진 웹 처리 시스템.
19. The method of claim 18,
The second guide roller is made of Teflon or PEEK web processing system.
상기 웹의 타면을 흡착하여 상기 웹의 위치를 조절하는 진공척을 더 포함하는 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
And a vacuum chuck for adsorbing the other side of the web to adjust the position of the web.
상기 웹은 플렉서블 디스플레이 제조를 위한 플렉서블 기판인 웹 처리 시스템.
The method of claim 1,
And the web is a flexible substrate for manufacturing a flexible display.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110008256A KR101255106B1 (en) | 2011-01-27 | 2011-01-27 | System for treating web |
TW101101681A TWI457651B (en) | 2011-01-27 | 2012-01-17 | Web treatment system |
CN201210020318.7A CN102621732B (en) | 2011-01-27 | 2012-01-29 | System for treating web |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110008256A KR101255106B1 (en) | 2011-01-27 | 2011-01-27 | System for treating web |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20120086913A true KR20120086913A (en) | 2012-08-06 |
KR101255106B1 KR101255106B1 (en) | 2013-04-19 |
Family
ID=46561738
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020110008256A KR101255106B1 (en) | 2011-01-27 | 2011-01-27 | System for treating web |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101255106B1 (en) |
CN (1) | CN102621732B (en) |
TW (1) | TWI457651B (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102087234B1 (en) | 2019-01-25 | 2020-03-10 | 박승만 | Web cleaner system |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6066707B2 (en) * | 2012-12-13 | 2017-01-25 | 日東電工株式会社 | Manufacturing method of polarizing film |
CN103950584A (en) * | 2014-05-04 | 2014-07-30 | 安徽永成电子机械技术有限公司 | Gas jetting device for automatic supplying of thin bags |
CN109061917A (en) * | 2018-09-29 | 2018-12-21 | 武汉华星光电技术有限公司 | Clamper and lighting jig |
CN109256039B (en) | 2018-10-18 | 2020-06-16 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | Display panel and electronic device |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54111553A (en) * | 1978-02-20 | 1979-08-31 | Aichi Purasuchitsukusu Kougiyo | Continuous processing apparatus for running film |
JPH02288289A (en) * | 1989-04-27 | 1990-11-28 | Inoue Kinzoku Kogyo Kk | Manufacture of flexible printed substrate |
KR100302652B1 (en) * | 1998-09-11 | 2001-11-30 | 구자홍 | Method for manufacturing flexible printed circuit board and flexible printed circuit board manufactured by the same |
JP2001072286A (en) | 1999-09-03 | 2001-03-21 | Dainippon Printing Co Ltd | Automatic rewinding device in slitter device |
JP2005314019A (en) * | 2004-04-27 | 2005-11-10 | Fuiisa Kk | Sheet conveying roller, and equipment using the same |
JP4378301B2 (en) * | 2005-02-28 | 2009-12-02 | 東京エレクトロン株式会社 | Substrate processing apparatus, substrate processing method, and substrate processing program |
JP2007119322A (en) * | 2005-10-31 | 2007-05-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Glass roll and manufacturing method of glass substrate with functional film using the same |
JP2007230738A (en) * | 2006-03-02 | 2007-09-13 | Shinko Electric Co Ltd | Pneumatic floating unit and method of manufacturing pneumatic floating unit |
TWI297667B (en) * | 2006-07-04 | 2008-06-11 | Au Optronics Corp | Roller assembly |
JP5083524B2 (en) | 2007-08-21 | 2012-11-28 | 凸版印刷株式会社 | Web coating device |
JP5176645B2 (en) * | 2008-03-28 | 2013-04-03 | 凸版印刷株式会社 | Web conveying apparatus and conveying method thereof |
TWI428656B (en) * | 2008-11-28 | 2014-03-01 | Hon Hai Prec Ind Co Ltd | Lens holding fixture |
KR20110139191A (en) * | 2009-03-03 | 2011-12-28 | 히다치 비아 메카닉스 가부시키가이샤 | Method of working thin layer on work and thin layor working apparatus |
-
2011
- 2011-01-27 KR KR1020110008256A patent/KR101255106B1/en active IP Right Grant
-
2012
- 2012-01-17 TW TW101101681A patent/TWI457651B/en not_active IP Right Cessation
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102087234B1 (en) | 2019-01-25 | 2020-03-10 | 박승만 | Web cleaner system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201247510A (en) | 2012-12-01 |
TWI457651B (en) | 2014-10-21 |
CN102621732B (en) | 2014-10-22 |
CN102621732A (en) | 2012-08-01 |
KR101255106B1 (en) | 2013-04-19 |
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