JP2007119322A - Glass roll and manufacturing method of glass substrate with functional film using the same - Google Patents

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Shozo Ninomiya
祥三 二宮
Masaru Higashioji
賢 東陰地
Taiji Shinokawa
泰治 篠川
Hisayo Ohata
久代 大畑
Hiroshi Seki
博司 関
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  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To manufacture continuously a glass substrate with a functional film of a predetermined size by using a glass roll obtained by winding a thin glass sheet around a core. <P>SOLUTION: Scribe lines (2) for cutting are formed on a continuous glass sheet (1), then the sheet is rolled around a core (6) to produce a glass roll (100). A functional film is formed on the surface of a glass sheet supplied from this glass roll in which the scribe line is not formed, then the glass sheet is cut along the scribe line, and thereby the glass substrate with the functional film of the predetermined size can be obtained. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば、表面に機能性膜を連続して形成する基板材料として使用されるガラスロールおよびそれを使用した機能性膜付きガラス基板の製造方法に関するものである。   The present invention relates to, for example, a glass roll used as a substrate material for continuously forming a functional film on a surface and a method for producing a glass substrate with a functional film using the glass roll.

フィルムの表面に機能性膜を形成した基板は、表示デバイス等に用いられる。機能性膜付き基板の製造方法として、例えば、PET等の高分子フィルムをロール状に巻き取り、ロール ツー ロール法を用いて機能性膜を形成する方法が知られている。ロール ツー ロール法は、生産性においては優れている。尤も、この方法においては、基板として耐熱性が必ずしも十分でない高分子フィルムを使用することから、得られる機能性膜付き基板(ひいては、これを使用したデバイスの性能)には限界がある。   A substrate having a functional film formed on the surface of a film is used for a display device or the like. As a method for producing a substrate with a functional film, for example, a method of winding a polymer film such as PET in a roll shape and forming a functional film using a roll-to-roll method is known. The roll-to-roll method is excellent in productivity. However, in this method, since a polymer film that does not necessarily have sufficient heat resistance is used as the substrate, there is a limit to the obtained substrate with a functional film (and thus the performance of a device using the same).

これに対し、ガラスは材料の熱的安定性が高いために、高性能な機能性膜を形成する基板材料として確固たる地位を築いている。ガラスを使用する場合には、パネル状のガラス基板に機能性膜を形成し、機能性膜を形成したパネルをそのまま1つの部材として使用する、あるいはパネルを複数個に分割して複数個の機能性膜付きガラス基板を得ることが行われている。即ち、機能性膜付きガラス基板は一般的にバッチ処理により製造される。具体的には、図13に示すように、大型パネル25を用意し、これに機能性膜を形成した後、スクライブライン(切溝)26を設け、機械的または熱的応力を加えてスクライブラインに沿ってブレイク(切断)することにより、所定寸法のガラス基板27を製造する。   On the other hand, glass has established a firm position as a substrate material for forming a high-performance functional film because of the high thermal stability of the material. When glass is used, a functional film is formed on a panel-shaped glass substrate, and the panel on which the functional film is formed is used as it is as one member, or the panel is divided into a plurality of functions. It has been performed to obtain a glass substrate with a conductive film. That is, the glass substrate with a functional film is generally produced by batch processing. Specifically, as shown in FIG. 13, after a large panel 25 is prepared and a functional film is formed thereon, a scribe line (cut groove) 26 is provided, and mechanical or thermal stress is applied to the scribe line. The glass substrate 27 having a predetermined size is manufactured by breaking (cutting) along the line.

ガラス基板を切断する方法としては、特許第3478762号公報(特許文献1)に開示されているように、スクライブラインをガラス基板上に形成し、レーザー光を出射させてミューへの照射を行いアブレーション効果でミューにレーザー光の持つエネルギーを吸収させて、その原子間結合あるいは分子間結合を切ることでガラス基板をスクライブラインに沿ってブレイクする方法や、特許第3577492号公報(特許文献2)に開示されているように、ガラス基板にダイヤモンドや超硬合金製のホイールカッター等で母材表面を引っ掻いてスクライブラインを形成し、スクライブライン形成時に生じたガラスのひび割れを除去するケミカル処理を行った後、スクライブラインに機械的または熱的応力を加えてガラスを切断分離する方法がある。   As a method of cutting the glass substrate, as disclosed in Japanese Patent No. 3478762 (Patent Document 1), a scribe line is formed on the glass substrate, laser light is emitted, and the mu is irradiated to perform ablation. The method of breaking the glass substrate along the scribe line by absorbing the energy of the laser beam to the mu by the effect and breaking the interatomic bond or intermolecular bond, or Japanese Patent No. 3577492 (Patent Document 2) As disclosed, a scribe line was formed by scratching the surface of the base material with a wheel cutter made of diamond or cemented carbide on a glass substrate, and a chemical treatment was performed to remove glass cracks that occurred during the formation of the scribe line. After that, the glass is cut and separated by applying mechanical or thermal stress to the scribe line. A.

PETフィルムを使用する場合とは異なり、ガラス基板を使用する場合には、ロール ツー ロール法で長尺の機能性膜付きシートを製造することはない。ガラスシートをフィルムのごとく薄く形成してロール状に巻いたものそれ自体は、特表2002−544104号(特許文献3)に開示されている。具体的に、特許文献3は、フィルムガラス(すなわち、0.7mm未満、好ましくは0.4mm未満の厚さを有するガラス)をロール状に形成したガラスロールを開示している。特許文献3には、図14に示すように、フィルムガラス状に引き延ばされたガラスリボン28を、巻芯29に巻き取ることが開示されている。   Unlike the case of using a PET film, when a glass substrate is used, a long sheet with a functional film is not produced by the roll-to-roll method. A glass sheet that is thinly formed like a film and wound into a roll is disclosed in JP 2002-544104 (Patent Document 3). Specifically, Patent Document 3 discloses a glass roll in which film glass (that is, glass having a thickness of less than 0.7 mm, preferably less than 0.4 mm) is formed in a roll shape. Patent Document 3 discloses that a glass ribbon 28 stretched into a film glass shape is wound around a core 29 as shown in FIG.

特許第3478762号公報Japanese Patent No. 3478762 特許第3577492号公報Japanese Patent No. 3577492 特表2002−544104号公報Special Table 2002-544104

特許文献1および2で説明されている方法は、大きなガラス板を用いて、バッチ式にガラス基板を切断して必要とする大きさの機能性膜付きガラス基板を得る方法である。したがって、これらの方法は、所定寸法の機能性膜付きデバイスを効率よく安価に連続生産するという点で、なお改善の余地を有している。例えば、特許文献1に開示されている方法では、カッティング装置に載置して、スクライブラインをガラス基板上に形成した後、レーザー光を出射させてミューへの照射を行い、アブレーション効果でミューにレーザー光の持つエネルギーを吸収させて、その原子間結合あるいは分子間接合を切ることでガラス基板をスクライブラインに沿ってブレイクするなど複雑な工程を経なければ良質の切断が出来ないという不都合がある。特許文献2に開示されている方法も、ガラスを切断する前に、スクライブライン形成時に生じたガラスのひび割れを除去するケミカル処理を要する点において、その実施は必ずしも容易ではない。さらに、上記特許文献1および2で開示された方法はいずれも、板状のガラスシートに適用されるものであり、特許文献3に開示されているようなガラスロールに適用することは困難である。   The methods described in Patent Documents 1 and 2 are methods for obtaining a glass substrate with a functional film having a required size by cutting a glass substrate batchwise using a large glass plate. Therefore, these methods still have room for improvement in terms of efficiently and inexpensively continuously producing devices with a functional film having a predetermined size. For example, in the method disclosed in Patent Document 1, after placing on a cutting device and forming a scribe line on a glass substrate, a laser beam is emitted to irradiate the mu, and the ablation effect is applied to the mu. Absorbing the energy of the laser beam and cutting the interatomic bond or intermolecular bond to break the glass substrate along the scribe line, there is an inconvenience that high-quality cutting cannot be performed without complicated processes. . The method disclosed in Patent Document 2 is not always easy in that it requires a chemical treatment to remove the cracks in the glass generated during the scribe line formation before cutting the glass. Furthermore, both of the methods disclosed in Patent Documents 1 and 2 are applied to a plate-like glass sheet, and are difficult to apply to a glass roll as disclosed in Patent Document 3. .

本発明者らは、特許文献3に開示されているガラスロールを、所定寸法を有する機能性膜付き基板の製造に使用することができれば、機能性膜を連続的に形成でき、ディスプレイ等のデバイスの大量生産がより容易になると考えた。さらに、ガラスロールを使用するためには、ガラスロールから繰り出されるガラスシートに機能性膜を形成した後、所定寸法に効率的に切断することが不可欠であると考えた。したがって、本発明は、効率的に切断可能なガラスロールを提供すること、およびこのガラスロールを用いて機能性膜付きガラス基板を効率的に製造する方法を提供することを課題とする。   If the present inventors can use the glass roll disclosed in Patent Document 3 for the production of a substrate with a functional film having a predetermined dimension, the functional film can be continuously formed, and a device such as a display. Thought that mass production would be easier. Furthermore, in order to use a glass roll, after forming a functional film | membrane on the glass sheet drawn | fed out from a glass roll, it thought that it cut | disconnected efficiently to a predetermined dimension. Therefore, this invention makes it a subject to provide the glass roll which can be cut | disconnected efficiently, and to provide the method of manufacturing a glass substrate with a functional film efficiently using this glass roll.

前記課題を解決するために、本発明は、ガラスシートが巻芯に巻き取られたガラスロールであって、ガラスシートがスクライブラインを有するガラスロールを提供する。ロールを構成するガラスシートは、1つのロールにおいて、一体の長尺物であり、そのようなガラスシートは「ガラスリボン」と称されることもある。また、ここで「ガラスシート」は、製造途中のガラスシートを含む意味で使用される。さらにまた、「スクライブライン」とは、溝状の凹部を指す。   In order to solve the above problems, the present invention provides a glass roll in which a glass sheet is wound around a core, and the glass sheet has a scribe line. The glass sheet constituting the roll is an integral long object in one roll, and such a glass sheet may be referred to as a “glass ribbon”. In addition, “glass sheet” is used herein to include a glass sheet that is being manufactured. Furthermore, the “scribe line” refers to a groove-like recess.

本発明のガラスロールは、ロール状に巻き取られたガラスシートがスクライブラインを有することを特徴とする。この特徴により、例えば、ロールから繰り出されるガラスシートに機能性膜を形成し、その後、スクライブラインに沿ってガラスシートを切断することにより、所定寸法の機能性膜付きガラス基板を容易に得ることが可能となる。   The glass roll of the present invention is characterized in that a glass sheet wound in a roll shape has a scribe line. With this feature, for example, a functional film is formed on a glass sheet fed from a roll, and then the glass sheet is cut along a scribe line, thereby easily obtaining a glass substrate with a functional film having a predetermined dimension. It becomes possible.

ガラスシートに設けられるスクライブラインの少なくとも1つは、ガラスシートの幅方向(即ち、ガラスシートの長さ方向に対して垂直な方向)と平行に延びるように設けることが好ましい。即ち、スクライブラインは、ガラスシートの切断線がシートの幅方向と平行となるように、ガラスシートに設けることが好ましい。スクライブラインをガラスシートの幅方向と平行に延びるように設け、かつガラスシートの幅を所定寸法としたガラスロールを使用すれば、スクライブラインに沿って1回切断を実施するだけで、縦×横が所定寸法となるガラスシートを容易に得ることができる。   At least one of the scribe lines provided on the glass sheet is preferably provided so as to extend in parallel with the width direction of the glass sheet (that is, the direction perpendicular to the length direction of the glass sheet). That is, the scribe line is preferably provided on the glass sheet so that the cutting line of the glass sheet is parallel to the width direction of the sheet. If a scribe line is provided so as to extend in parallel with the width direction of the glass sheet and a glass roll having a predetermined width is used, it is possible to cut vertically and horizontally only by cutting once along the scribe line. A glass sheet having a predetermined dimension can be easily obtained.

本発明のガラスロールにおいて、スクライブラインはガラスシートの幅方向と平行な1本の仮想線上に破線状に設けてよい。その場合、破線状のスクライブラインは、ガラスシートの幅方向の両端に位置し、且つガラスシートの全幅の50%以上を占めることが好ましい。破線状にスクライブラインを形成すると、例えば、ガラスシートに引っ張り応力が加わった時の破断強度を大きくできるので、ガラスシートを巻芯に巻き取る工程あるいは巻き取られた状態におけるガラスシートの破断を防止できる。また、破線状にスクライブラインを形成すると、グラインダーを用いてスクライブラインを形成するときに生じる粉塵の量が少なくなり、ひいては、最終製品が粉塵で汚染される可能性がより低くなる。   In the glass roll of the present invention, the scribe line may be provided in a broken line shape on one imaginary line parallel to the width direction of the glass sheet. In that case, it is preferable that the broken-line-shaped scribe lines are located at both ends in the width direction of the glass sheet and occupy 50% or more of the entire width of the glass sheet. When the scribe line is formed in a broken line shape, for example, the breaking strength when tensile stress is applied to the glass sheet can be increased, so that the glass sheet is prevented from being broken in the process of being wound around the winding core or in the wound state. it can. In addition, when the scribe line is formed in a broken line shape, the amount of dust generated when the scribe line is formed using a grinder is reduced, and as a result, the possibility that the final product is contaminated with dust becomes lower.

本発明のガラスロールにおいて、ガラスシートの幅方向と平行な方向に延びるスクライブラインは、その深さが、ガラスシートの幅方向において、両端部よりも中央部で深くなるよう形成されていることが好ましい。スクライブラインの両端部(即ち、ガラスシートの側縁部)は製造工程中に外からの力をより受けやすい部分であるから、両端部に位置するスクライブラインの深さを浅くすることにより、製造中にスクライブラインから異常割れが生じることを、より防止できる。   In the glass roll of the present invention, the scribe line extending in the direction parallel to the width direction of the glass sheet is formed so that the depth thereof is deeper at the center than at both ends in the width direction of the glass sheet. preferable. Since both ends of the scribe line (that is, the side edges of the glass sheet) are more susceptible to external force during the manufacturing process, the depth of the scribe line located at both ends is reduced. It is possible to further prevent abnormal cracks from occurring inside the scribe line.

本発明のガラスロールにおいて、巻芯から遠い側に位置し、ガラスシートの幅方向と平行に延びるスクライブラインの深さは、巻芯に近い側に位置し、ガラスシートの幅方向と平行に延びるスクライブラインの深さよりも深くなるように形成されていることが好ましい。巻き取り中にガラスシートに加わる力は巻芯に近い側と遠い側では異なるため、スクライブラインの深さを1つのロール内でこのように変化させることにより、巻芯に近い側でスクライブラインに沿って破損が生じることをより防止でき、安定したガラスロールを得ることができる。   In the glass roll of the present invention, the depth of the scribe line located on the side far from the core and extending in parallel with the width direction of the glass sheet is located on the side near the core and extends in parallel with the width direction of the glass sheet. It is preferably formed so as to be deeper than the depth of the scribe line. Since the force applied to the glass sheet during winding differs between the side near the core and the side far from the core, changing the depth of the scribe line in this way in one roll makes the scribe line closer to the core. Further, it is possible to prevent breakage along the surface and obtain a stable glass roll.

スクライブラインの形状はV字形状の溝であることが好ましい。スクライブラインがV字形状の溝であると、ガラスシートの切断がより容易となる。   The shape of the scribe line is preferably a V-shaped groove. When the scribe line is a V-shaped groove, it becomes easier to cut the glass sheet.

また、スクライブラインは、ガラスシートの片面にのみに設けられることが好ましく、その場合、スクライブラインを形成した面が内側となるようにガラスシートが巻芯に巻き取られることが好ましい。スクライブラインを形成した面が外側になるようにガラスシートが巻芯に巻き取られると、スクライブラインが形成されている面内でスクライブラインに対して垂直方向に引っ張り応力が加わり、ガラスシートを巻芯に巻き取る工程あるいは巻き取られた状態においてガラスシートが破断する可能性が高くなるためである。また、スクライブラインをガラスシートの片面にのみ設け、かつ当該片面が内側となるようにガラスシートをロール状に巻き取ることにより、スクライブラインが形成されていない側の面に、例えば機能性膜を良好に形成できる。   The scribe line is preferably provided only on one side of the glass sheet. In that case, the glass sheet is preferably wound around the core so that the surface on which the scribe line is formed is on the inside. When the glass sheet is wound around the core so that the surface on which the scribe line is formed is on the outside, tensile stress is applied in the direction perpendicular to the scribe line within the surface on which the scribe line is formed, and the glass sheet is wound. This is because there is a high possibility that the glass sheet breaks in the step of winding around the core or in the wound state. In addition, by providing a scribe line only on one side of the glass sheet and winding the glass sheet in a roll shape so that the one side is inside, a functional film, for example, is formed on the side where the scribe line is not formed. It can be formed well.

本発明のガラスロールにおいて、ガラスシートの厚さは、0.05〜0.20mmであってよい。そのような厚さのシートは、スクライブラインを形成し、かつロール状に巻き取るのに適している。   In the glass roll of the present invention, the thickness of the glass sheet may be 0.05 to 0.20 mm. The sheet having such a thickness is suitable for forming a scribe line and winding it into a roll.

本発明はまた、ガラスシートのスクライブラインが設けられていない面に機能性膜が形成されている、ガラスロールを提供する。「機能性膜」とは、それを構成する材料が有する特性に応じて所定の機能を奏する膜をいい、例えば、透明導電膜、導電性薄膜、および電磁波シールド膜等である。   The present invention also provides a glass roll in which a functional film is formed on the surface of the glass sheet where no scribe line is provided. “Functional film” refers to a film having a predetermined function according to the characteristics of the material constituting the film, such as a transparent conductive film, a conductive thin film, and an electromagnetic wave shielding film.

本発明はまた、上記本発明のガラスロールを使用して、機能性膜付きガラス基板を製造する方法を提供する。具体的には、本発明の製造方法は、スクライブラインを有するガラスシートが巻芯に巻き取られたガラスロールからガラスシートを供給し、その表面に機能性膜を連続して形成し、その後、スクライブラインに沿ってガラスシートを切断することを含む。この方法によれば、機能性膜付きガラス基板を、機能性膜を例えば常套の連続蒸着装置または連続塗布装置を使用して、効率的に製造することが可能となる。   The present invention also provides a method for producing a glass substrate with a functional film using the glass roll of the present invention. Specifically, the production method of the present invention supplies a glass sheet from a glass roll in which a glass sheet having a scribe line is wound around a core, and continuously forms a functional film on the surface, Cutting the glass sheet along a scribe line. According to this method, it is possible to efficiently manufacture a glass substrate with a functional film using the conventional continuous vapor deposition apparatus or continuous coating apparatus, for example.

本発明の製造方法において、ガラスシートの幅方向と平行に延びるスクライブラインを有し、巻芯から遠い側に位置する当該スクライブラインの深さが巻芯に近い側に位置する当該スクライブラインの深さよりも深いガラスロールを使用する場合には、機能性膜を形成した後に、シートを巻芯に巻き取ることなく、スクライブラインに沿ってガラスシートを切断することが好ましい。巻芯に近い側と遠い側とでスクラブラインの深さに差が設けられている場合に、繰り出したガラスロールを再度ロールに巻き取ると、巻芯に近い側に深いスクライブラインが位置することとなり、ガラスシートの破損が生じることがある。   In the manufacturing method of the present invention, the scribe line has a scribe line extending parallel to the width direction of the glass sheet, and the depth of the scribe line located on the side far from the core is the depth of the scribe line located on the side close to the core. When a deeper glass roll is used, it is preferable to cut the glass sheet along the scribe line without forming the functional film and winding the sheet around the core. When there is a difference in the scrub line depth between the side closer to the core and the side farther, if the rolled glass roll is wound around the roll again, a deep scribe line will be located on the side closer to the core. Thus, the glass sheet may be damaged.

本発明の製造方法においては、機能性膜を形成するときに、ガラスシートを熱処理に付してよい。ガラスシートを熱処理により加熱した状態としながら機能性膜を形成すると、機能性膜の種類によっては良好な特性を有する機能性膜を得ることができる。   In the production method of the present invention, the glass sheet may be subjected to a heat treatment when the functional film is formed. When the functional film is formed while the glass sheet is heated by heat treatment, a functional film having good characteristics can be obtained depending on the type of the functional film.

本発明のガラスロールは、長尺のガラスシートにスクライブラインを形成することを特徴とする。かかる特徴により、本発明のガラスロールは、ロール ツー ロール法で機能性膜を形成したガラス基板を連続的且つ効率的に生産することが可能となる。また、ガラスシートの幅方向と平行に延びるスクライブラインを適当な間隔をあけて形成することによって、一方向の切断処理を繰り返し行うだけで、所定寸法の機能性膜付きガラス基板を得ることができるので、例えば大判パネルから複数枚のシートを切断する場合と比較して、切断工程を容易に且つ安価に実施することができる。   The glass roll of the present invention is characterized in that a scribe line is formed on a long glass sheet. With this feature, the glass roll of the present invention can continuously and efficiently produce a glass substrate on which a functional film is formed by a roll-to-roll method. In addition, by forming scribe lines extending in parallel with the width direction of the glass sheet at an appropriate interval, it is possible to obtain a glass substrate with a functional film having a predetermined size only by repeatedly performing cutting in one direction. Therefore, for example, the cutting process can be easily and inexpensively performed as compared with the case of cutting a plurality of sheets from a large panel.

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。
図1は、スクライブラインを有する長尺のガラスシート1を巻芯6に巻き取って得られるガラスロール100を模式的に示す。さらに、図1は、ガラスシート1の一部の拡大図を含む。拡大図には、ガラスシート1の幅方向と平行な方向に延びるように、ガラスシートの幅全体に亘って設けられたスクライブライン2が示されている。スクライブライン2はガラスシート1の長手方向において間隔を開けて設けられ、この間隔は所定の基本長さ5を有する基板(またはセル)が得られるように所望のデバイスの寸法に応じて適宜選択される。スクライブライン2はV字形状の溝であり、ガラスシート1の一方の面に設けられ、当該面が内側となるように巻芯に巻き付けられている。スクライブラインが設けられていないガラスシートの他方の面は、機能性膜形成面4として使用される。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 schematically shows a glass roll 100 obtained by winding a long glass sheet 1 having a scribe line around a winding core 6. Further, FIG. 1 includes an enlarged view of a part of the glass sheet 1. In the enlarged view, a scribe line 2 provided across the entire width of the glass sheet so as to extend in a direction parallel to the width direction of the glass sheet 1 is shown. The scribe lines 2 are provided at intervals in the longitudinal direction of the glass sheet 1, and the intervals are appropriately selected according to the dimensions of a desired device so as to obtain a substrate (or cell) having a predetermined basic length 5. The The scribe line 2 is a V-shaped groove, is provided on one surface of the glass sheet 1, and is wound around the core such that the surface is on the inside. The other surface of the glass sheet on which no scribe line is provided is used as the functional film forming surface 4.

ガラスシート1は、例えば、高歪点ガラスであり、より具体的には、SiO・Alを主成分とするソーダライムガラスであって、歪点が520℃、膨張係数が86[10−6/K]であるガラスである。ガラスシート1の厚さは、巻芯6の外径をPET等の高分子フィルムを巻き付けるときに通常使用される巻芯の外径と同等の300mmとした場合、0.05〜0.20mmとすることが好ましい。ガラスシートが0.20mmより厚いと、巻芯に巻き取る際にガラス割れが生じやすく、0.05mmより薄いと、巻き取りは安定して行うことができるが、後の工程でガラスシートを取り扱うときにガラス割れが生じやすくなる。 The glass sheet 1 is, for example, high strain point glass, more specifically, soda lime glass mainly composed of SiO 2 · Al 2 O 3 , having a strain point of 520 ° C. and an expansion coefficient of 86 [ 10 −6 / K]. The thickness of the glass sheet 1 is 0.05 to 0.20 mm when the outer diameter of the core 6 is 300 mm, which is equivalent to the outer diameter of a core that is normally used when a polymer film such as PET is wound. It is preferable to do. If the glass sheet is thicker than 0.20 mm, glass breakage tends to occur when it is wound around the core, and if it is thinner than 0.05 mm, the winding can be performed stably, but the glass sheet is handled in a later step. Sometimes glass breaks easily.

ガラスシート1の幅は、得ようとするデバイス(例えば、ディスプレイおよびタッチパネル等)の大きさ等に応じて、基本長さ5とともに適宜選択される。ガラスシートの幅は、例えば、100〜300mm程度としてよく、基本長さ5は、例えば、50〜1000mm程度としてよい。   The width | variety of the glass sheet 1 is suitably selected with the basic length 5 according to the magnitude | size etc. of the device (for example, a display, a touchscreen, etc.) to obtain. The width of the glass sheet may be about 100 to 300 mm, for example, and the basic length 5 may be about 50 to 1000 mm, for example.

スクライブライン2は、その深さ(V字形状の溝の場合はV字形状の先端の深さ)は、ガラスシート1の厚さの10%〜20%とすることが好ましい。スクライブライン2の深さがガラスシート1の厚さの10%未満であると、切断(ブレイク)時にスクライブラインに沿ってガラスが割れにくくなり、きれいにブレイクできない。また、スクライブラインの深さがガラスシートの厚さの20%を越えると、巻芯に巻き取る際にスクライブラインを起点に割れが生じることがある。   The depth of the scribe line 2 (in the case of a V-shaped groove, the depth of the V-shaped tip) is preferably 10% to 20% of the thickness of the glass sheet 1. When the depth of the scribe line 2 is less than 10% of the thickness of the glass sheet 1, the glass is difficult to break along the scribe line at the time of cutting (break), so that the break cannot be made cleanly. If the depth of the scribe line exceeds 20% of the thickness of the glass sheet, cracking may occur from the scribe line as the starting point when winding on the core.

次に、図1に示すガラスロールを製造する方法の一例を、図2を参照して説明する。図2は、ガラスロール100の製造方法を示す模式図である。図2には、スクライブライン2を形成したガラスシート1の一部を拡大した拡大図を合わせて示している。図2に示すように、ガラスロール100は、溶融窯7から長尺のガラスシート(またはガラスリボン)1を作製し、これに基本長さ5に対応する間隔でスクライブライン2を形成して、巻芯6に巻き取ることにより作製する。スクライブライン2は、ガラスシート1が冷却される前に、ガラスシートがガラスの軟化点以上の温度にあるときに、転写ローラ8と補助ローラ9との間を通過させることによりに形成する。転写ローラ8はV字形状の溝を形成できるようにくさび状の突出した部分(図示せず)を有する。転写ローラ8はガラスシート1の一方の面にのみ接して、ガラスシートの一方の面にのみスクライブライン2を形成する。転写ローラ8によるスクライブライン2の形成は、ガラスシート1の走行速度に応じて、基本長さ5に対応する間隔が設けられるように、一定時間ごとに実施される。具体的な一例としては、一定時間ごとに、転写ローラ8がガラスシート1と接触してスクライブライン2を形成し、それ以外の時間においては、転写ローラ8をガラスシート1と接触しないように移動させる。転写ローラ8によりスクライブライン2を形成した後、ガラスシート1は冷却されて、巻芯6に巻き取られる。転写ローラ8および補助ローラ9は、連続して走行するガラスシート1の幅方向と平行に延びるスクライブラインを形成するために、その位置を適宜制御してよい。   Next, an example of a method for producing the glass roll shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a schematic view showing a method for manufacturing the glass roll 100. FIG. 2 also shows an enlarged view in which a part of the glass sheet 1 on which the scribe line 2 is formed is enlarged. As shown in FIG. 2, the glass roll 100 produces a long glass sheet (or glass ribbon) 1 from the melting furnace 7, forms scribe lines 2 at intervals corresponding to the basic length 5, It is produced by winding it around the core 6. The scribe line 2 is formed by passing between the transfer roller 8 and the auxiliary roller 9 when the glass sheet is at a temperature equal to or higher than the softening point of the glass before the glass sheet 1 is cooled. The transfer roller 8 has a wedge-shaped protruding portion (not shown) so that a V-shaped groove can be formed. The transfer roller 8 is in contact with only one surface of the glass sheet 1 and forms the scribe line 2 only on one surface of the glass sheet. The scribe line 2 is formed by the transfer roller 8 at regular intervals so that an interval corresponding to the basic length 5 is provided according to the traveling speed of the glass sheet 1. As a specific example, the transfer roller 8 contacts the glass sheet 1 to form the scribe line 2 at regular intervals, and the transfer roller 8 moves so as not to contact the glass sheet 1 at other times. Let After the scribe line 2 is formed by the transfer roller 8, the glass sheet 1 is cooled and wound around the core 6. The positions of the transfer roller 8 and the auxiliary roller 9 may be appropriately controlled in order to form a scribe line extending in parallel with the width direction of the continuously running glass sheet 1.

転写ローラ8の突出部分の形状を変更することによって、図3に示すようにスクライブライン2をガラスシート1の全幅にわたって形成することができ、あるいは、図4に示すようにガラスシート1の幅と平行な方向において破線状のスクライブライン2を形成することができる。図4は、ガラスシート1の幅と平行な方向に、3つの短いスクライブライン2a−cが形成されて、全体としてこれらが通過する仮想線(図において点線で表示)に沿って切断可能なスクライブライン2を形成している。ここで。「短い」という用語は全幅にわたって形成したスクライブラインよりも短いという意味で使用している。   By changing the shape of the protruding portion of the transfer roller 8, the scribe line 2 can be formed over the entire width of the glass sheet 1 as shown in FIG. 3, or the width of the glass sheet 1 as shown in FIG. A broken scribe line 2 can be formed in the parallel direction. FIG. 4 shows a scribing system in which three short scribe lines 2a-c are formed in a direction parallel to the width of the glass sheet 1 and can be cut along an imaginary line (indicated by a dotted line in the figure) through which these lines pass as a whole. Line 2 is formed. here. The term “short” is used to mean shorter than a scribe line formed over the entire width.

図4に示すような、複数の短いスクライブライン2a−cから成る破線状のスクライブライン2を形成する場合には、ガラスシート1の両側縁部に短いスクライブラインを位置させることが好ましい。ガラスシートの両側縁部にスクライブラインが位置しないと、切断のためのガイドが無くなる事から、両サイドのエッジに異常割れが生じやすくなる。さらに、破線状のスクライブライン2を形成する場合には、スクライブライン2を構成する短いスクライブライン2a−cを合わせた長さを、ガラスシート1の全幅の50%以上にすることが好ましい。短いスクライブライン2a−cを合わせた長さがガラスシート1の全幅の50%未満であると、短いスクライブライン間の部分の距離が長くなり、当該部分において異常割れが生じやすくなる。   When forming the scribe line 2 of the broken line shape which consists of several short scribe lines 2a-c as shown in FIG. 4, it is preferable to locate a short scribe line in the both-sides edge part of the glass sheet 1. FIG. If the scribe lines are not positioned on both side edges of the glass sheet, there will be no guide for cutting, and abnormal cracking is likely to occur at the edges on both sides. Furthermore, when forming the scribe line 2 of a broken line shape, it is preferable that the combined length of the short scribe lines 2 a-c constituting the scribe line 2 is 50% or more of the entire width of the glass sheet 1. When the combined length of the short scribe lines 2a-c is less than 50% of the entire width of the glass sheet 1, the distance between the short scribe lines becomes long, and abnormal cracks are likely to occur in the portion.

ここで、幅150mm、厚さ0.1mmのガラスシート1に、種々の破線状のスクライブラインを形成したときのガラスロール製造中の異常割れ発生状況を示す。表1は、破線状のスクライブラインを、短いスクライブラインを合わせた長さがガラスシート1の全幅に占める割合がそれぞれ異なるように形成したときの異常割れ発生状況を示す。スクライブラインの深さは、いずれも、0.015mmとし、基本長さは200mmとした。   Here, the abnormal crack generation | occurrence | production situation during glass roll manufacture when various broken line-shaped scribe lines are formed in the glass sheet 1 of width 150mm and thickness 0.1mm is shown. Table 1 shows the occurrence of abnormal cracks when the broken line-shaped scribe lines are formed such that the lengths of the short scribe lines are different from each other in the total width of the glass sheet 1. The depth of each scribe line was 0.015 mm, and the basic length was 200 mm.

Figure 2007119322
Figure 2007119322

表1からも明らかなように、破線状のスクライブラインの占める割合がガラスシート1の幅の50%未満であると、ガラスロール製造中に異常割れが生じた。破線状のスクライブラインの占める割合がガラスシート1の幅の50%以上であると、スクライブラインをガラスシート1の全幅に亘って設けた場合と同様に、良好に切断されることを確認した。したがって、スクライブライン部分におけるガラスシート1の強度を低下させないためには、破線状のスクライブラインをガラスシート1の幅の50%以上となるように形成することが好ましい。また、後述するように、ホイールカッターを使用してスクライブラインを形成する場合にも、切削により生じるガラス粉を減らすために、破線状のスクライブラインを形成することが好ましい。   As is clear from Table 1, abnormal cracks occurred during the production of the glass roll when the proportion of the broken-line scribe lines was less than 50% of the width of the glass sheet 1. It confirmed that it cut | disconnected favorably similarly to the case where the scribe line was provided over the full width of the glass sheet 1 that the ratio for which the broken line scribe line occupied was 50% or more of the width | variety of the glass sheet 1. FIG. Therefore, in order not to reduce the strength of the glass sheet 1 in the scribe line portion, it is preferable to form the broken-line scribe line so as to be 50% or more of the width of the glass sheet 1. In addition, as will be described later, when a scribe line is formed using a wheel cutter, it is preferable to form a broken line scribe line in order to reduce glass powder generated by cutting.

図4に示すような破線状のスクライブラインを形成する場合には、ガラスシート1の両側部に位置する短いスクライブライン2aおよび2cの深さは、中央部に位置する短いスクライブライン2bの深さよりも浅くすることが好ましい。そのようなスクライブラインを設けたガラスシートを幅に沿って切断した断面図を図5に示す。ガラスシート1の両側縁部は、中央部と比較して、巻芯に巻き付けるとき、およびロール ツー ロール法で機能性膜を形成するときに、外部からの力をより受けやすく、異常割れが生じやすい。そのため、ここに位置するスクライブライン2aおよび2cの深さ11を、スクライブライン2bの深さ12よりも小さくして、異常割れの発生をより防止することが好ましい。また、1つのスクライブラインにおいて、そのような深さの差を設けても、機械的応力または熱的応力を加えて切断するときに、スクライブラインに沿って精度良くガラスシートを切断できることを確認した。例えば、短いスクライブライン2aおよび2cの深さ11はガラスシート1の厚さ10の10〜15%とし、スクライブライン2bの深さ12はガラスシート1の厚さ10の15〜20%とすることが好ましい。   When forming a scribe line having a broken line shape as shown in FIG. 4, the depth of the short scribe lines 2a and 2c located on both sides of the glass sheet 1 is greater than the depth of the short scribe line 2b located in the center. It is also preferable to make it shallower. FIG. 5 shows a cross-sectional view of the glass sheet provided with such a scribe line, cut along the width. Both side edges of the glass sheet 1 are more susceptible to external forces when they are wound around the core and when a functional film is formed by the roll-to-roll method, resulting in abnormal cracking. Cheap. Therefore, it is preferable to make the depth 11 of the scribe lines 2a and 2c located here smaller than the depth 12 of the scribe line 2b to further prevent the occurrence of abnormal cracking. In addition, even when such a depth difference is provided in one scribe line, it was confirmed that the glass sheet can be accurately cut along the scribe line when cutting by applying mechanical stress or thermal stress. . For example, the depth 11 of the short scribe lines 2a and 2c is 10 to 15% of the thickness 10 of the glass sheet 1, and the depth 12 of the scribe line 2b is 15 to 20% of the thickness 10 of the glass sheet 1. Is preferred.

図4に示すスクライブライン2は、3つの短いスクライブラインから構成されている。これは一例であり、破線状のスクライブラインは、4以上の短いスクライブラインから構成されてよく、または2つの短いスクライブラインから構成されてよい。   The scribe line 2 shown in FIG. 4 is composed of three short scribe lines. This is an example, and the broken scribe line may be composed of four or more short scribe lines, or may be composed of two short scribe lines.

別の形態において、ガラスシートの幅方向と平行に延びるスクライブラインは、図11に示すように、巻芯に近い側に位置するスクライブライン20の深さ21が、巻芯から遠い側に位置するスクライブライン22の深さ23よりも浅くなるように形成することが好ましい。ロールの中心部付近、すなわち巻芯側ではロールの外周部付近、すなわち巻き外側と比較すると、ロールを巻き取るときに加えられる引っ張り力がより大きくなる傾向にあり、また、巻芯に近い側のシートにはその外側に巻かれて積層体となっているシートによる圧力が加わる。そのため、ロールの巻芯に近い側では、いわゆる「巻き締まり」現象が発生し、スクライブラインでより大きな応力が生じて、スクライブラインからシートの破損が生じやすい。そこで、スクライブラインの深さを巻芯に近い側で浅くして、「巻き締まり」現象に起因するガラスシートの破損を防止することが好ましい。   In another embodiment, the scribe line extending in parallel with the width direction of the glass sheet has a depth 21 of the scribe line 20 located on the side closer to the core as shown in FIG. Preferably, the scribe line 22 is formed to be shallower than the depth 23. In the vicinity of the center of the roll, that is, on the core side, the tensile force applied when winding the roll tends to be larger than that near the outer periphery of the roll, that is, on the outer side of the roll. A pressure is applied to the sheet by the sheet wound around the outside to form a laminate. Therefore, on the side near the roll core, a so-called “roll tightening” phenomenon occurs, and a greater stress is generated in the scribe line, and the sheet is easily damaged from the scribe line. Therefore, it is preferable to make the depth of the scribe line shallower on the side closer to the core to prevent the glass sheet from being damaged due to the “winding tight” phenomenon.

スクライブラインの深さは、前述した通り、ガラスシート1の厚さの10%〜20%とすることが好ましく、巻芯に近い側と遠い側とでスクライブラインの深さに差を設ける場合には、この範囲内で差を設けることが好ましい。スクライブラインの深さは、1つのロールにおいて、巻芯に近い側から遠い側に向かって連続的に深くしてよく、あるいは段階的に深くしてよい。   As described above, the depth of the scribe line is preferably 10% to 20% of the thickness of the glass sheet 1, and in the case of providing a difference in the depth of the scribe line between the side close to the core and the side far from the core. Is preferably within this range. The depth of the scribe line may be continuously deepened from one side closer to the core to the far side in one roll, or may be deepened stepwise.

図6および図7に、図4に示すような破線状のスクライブラインを形成する方法の一例を模式的に示す。図6は、溶融窯7から長尺のガラスシート1を作製し、これを冷却した後(冷却装置は図示せず)、ガラスシート1の一方の面にスクライブラインをホイールカッター13(または14)で形成する方法の概略を模式的に示している。図7(a)および図7(b)は、複数の短いスクライブラインを形成するための複数のホイールカッターの配置の例をそれぞれ示す模式図である。   6 and 7 schematically show an example of a method for forming a broken-line scribe line as shown in FIG. FIG. 6 shows that a long glass sheet 1 is produced from a melting furnace 7 and cooled (the cooling device is not shown), and then a scribe line is provided on one surface of the glass sheet 1 with a wheel cutter 13 (or 14). The outline of the method of forming by is schematically shown. FIG. 7A and FIG. 7B are schematic views respectively showing examples of arrangement of a plurality of wheel cutters for forming a plurality of short scribe lines.

ホイールカッターは、例えば、ダイヤモンドまたは超合金から成る、ガラス加工用のホイールカッターとして常套的に使用されているものを使用できる。ホイールカッターの外径が小さく互いに干渉しない場合には、図7(a)に示すようにホイールカッター13a−cを一列に並べ、ガラスシート1の走行速度に応じて、所定時間ごとに同時に全てのカッター13a−cを動作させて、一直線上に並んだ短いスクライブライン2a−cを形成する。   As the wheel cutter, for example, a conventionally used wheel cutter for glass processing made of diamond or a superalloy can be used. When the outer diameters of the wheel cutters are small and do not interfere with each other, the wheel cutters 13a-c are arranged in a line as shown in FIG. The cutters 13a-c are operated to form short scribe lines 2a-c arranged in a straight line.

ホイールカッターの外径が大きく互いに干渉する場合、図7(b)に示すように溝用ホイールカッター14a−cをガラスシート1の進行方向において、一定間隔をあけてずらして配置する。このようにホイールカッター14a−cを配置する場合、これらの動作時間をガラスシート1の走行速度に応じて同時にする又はずらすことにより、一直線上に並んだ短いスクライブライン2a−cを形成することができる。例えば、ホイールカッター14a−cの間隔を基本長さ5と同じにする場合には、ホイールカッター14a−cは同時に動作させてよい。図7(b)において、各スクライブライン2aを形成するホイールカッターはガラスシートの進行方向において互いにずらして配置している。ホイールカッターが干渉しない限りにおいて、2以上のホイールカッター(図7(b)において、例えば、溝2aおよび2cを形成するホイールカッター)をガラスシート1の幅と平行な一直線上に並べて配置してよい。また、別の形成方法として、図2に示した転写ローラ8を用いるのと同様の方法で破線状のスクライブラインを形成することも可能である。   When the outer diameters of the wheel cutters are large and interfere with each other, the groove wheel cutters 14a-c are arranged with a certain interval in the traveling direction of the glass sheet 1, as shown in FIG. Thus, when arrange | positioning the wheel cutter 14a-c, the short scribe line 2a-c arranged in a straight line can be formed by making these operation | movement time simultaneous or shifting according to the travel speed of the glass sheet 1. it can. For example, when the interval between the wheel cutters 14a-c is the same as the basic length 5, the wheel cutters 14a-c may be operated simultaneously. In FIG.7 (b), the wheel cutter which forms each scribe line 2a is mutually shifted and arrange | positioned in the advancing direction of a glass sheet. As long as the wheel cutters do not interfere with each other, two or more wheel cutters (for example, the wheel cutters forming the grooves 2a and 2c in FIG. 7B) may be arranged on a straight line parallel to the width of the glass sheet 1. . As another forming method, it is also possible to form a scribe line in a broken line by the same method as that using the transfer roller 8 shown in FIG.

スクライブラインは、図示していない別の装置または方法を用いて形成してよい。例えば、スクライブラインはダイヤモンドスクライバー(ガラス切)を用いて形成してよく、あるいは超音波加工等により形成してよい。また、スクライブラインは、溶融窯から作製されるガラスシートを巻芯に一旦巻き取った後、ロールからシートを繰り出してホイールカッター等を用いて形成してよい。ガラスシートの長手方向と平行に延びるスクライブラインは、転写ローラまたはホイールカッター等を、その向きをガラスシートの長手方向と平行に1または複数配置し、ガラスシートを走行させながら所定の位置で連続的に動作させることにより形成できる。スクライブラインを形成した後、必要に応じて、スクライブラインを形成した面を洗浄してよい。   The scribe line may be formed using another device or method not shown. For example, the scribe line may be formed using a diamond scriber (glass cutting), or may be formed by ultrasonic processing or the like. In addition, the scribe line may be formed using a wheel cutter or the like after a glass sheet produced from a melting furnace is once wound around a core and then the sheet is drawn out from a roll. The scribing line extending in parallel with the longitudinal direction of the glass sheet has a transfer roller or wheel cutter or the like arranged one or more in parallel with the longitudinal direction of the glass sheet, and continuously at a predetermined position while the glass sheet is running. It is possible to form by operating. After forming the scribe line, the surface on which the scribe line is formed may be cleaned as necessary.

図2および図6において、スクライブライン2を設けたガラスシート1は、スクライブライン2を設けた面が内側になるように巻芯6に巻き取って、ガラスロール100を得る。スクライブライン2を外側に向けて、例えば外径が300mm程度である巻芯6に巻き取ると、スクライブラインに引張り応力が集中し、スクライブラインを起点にガラスシートが割れてしまう不都合がある。   2 and 6, the glass sheet 1 provided with the scribe line 2 is wound around the winding core 6 so that the surface provided with the scribe line 2 is on the inside to obtain a glass roll 100. When the scribe line 2 is directed outward, for example, when it is wound around the core 6 having an outer diameter of about 300 mm, tensile stress is concentrated on the scribe line, and there is a disadvantage that the glass sheet is broken starting from the scribe line.

次に、スクライブラインを設けたガラスシートを巻き取ったガラスロールを用いて、機能性膜付きガラスシートを作製する方法を、図8を参照して説明する。図8は、図1に示すガラスロール100を繰り出して供給し、ロール ツー ロール法で機能性膜をガラスシート1の表面に形成し、その後、巻芯15で巻き取って、機能性膜付きガラスシートのロール200を作製する方法を模式的に示す。図8において、図1で示す符号と同じ符号は、図1で説明した部材または要素と同じであるから、ここではその説明を省略する。   Next, a method for producing a glass sheet with a functional film using a glass roll obtained by winding a glass sheet provided with a scribe line will be described with reference to FIG. FIG. 8 shows that the glass roll 100 shown in FIG. 1 is unrolled and supplied, and a functional film is formed on the surface of the glass sheet 1 by a roll-to-roll method. A method for producing a sheet roll 200 is schematically shown. In FIG. 8, the same reference numerals as those shown in FIG. 1 are the same as the members or elements described in FIG.

機能性膜は、機能性膜付きシートの最終用途に応じて適宜選択され、例えば、ITO、ZnOまたはSnO等から成る、厚さ100nm程度の透明導電膜としてよい。透明導電膜は、例えば、蒸着法、スパッタリング法、またはCVD法等により形成される。透明導電膜の成膜条件は、従来技術の欄で説明したバッチ式にガラス基板を切断して機能性膜付き基板を得る方法において採用されている成膜条件と同じにしてよい。本発明のガラスロールを使用する場合には、連続的に成膜を実施でき、1本のロールへの成膜を完全自動化することも可能である。したがって、本発明のガラスロールを使用すれば、従来のバッチ式の成膜処理において必要であった、基板を取り替える工程および基板を取り替えるごとに真空引きを実施する工程が不要となり、機能性膜付き基板の生産性が向上する。 The functional film is appropriately selected according to the final use of the sheet with the functional film, and may be a transparent conductive film having a thickness of about 100 nm made of, for example, ITO, ZnO, SnO 2 or the like. The transparent conductive film is formed by, for example, a vapor deposition method, a sputtering method, a CVD method, or the like. The film forming conditions for the transparent conductive film may be the same as the film forming conditions employed in the method for obtaining a substrate with a functional film by cutting the glass substrate in a batch manner described in the section of the prior art. When the glass roll of the present invention is used, film formation can be carried out continuously, and film formation on one roll can be completely automated. Therefore, if the glass roll of the present invention is used, the process of replacing the substrate and the process of evacuating each time the substrate is replaced, which is necessary in the conventional batch-type film forming process, becomes unnecessary, and a functional film is provided. Substrate productivity is improved.

図示するように、機能性膜16は、スクライブライン2を設けていない面に形成することが好ましい。スクライブライン2を設けていない面に、蒸着法、スパッタリング法、またはCVD法等で形成したITOやZnO等の透明導電膜は、スクライブライン2を設けた面に形成した透明導電膜よりも、高い付着強度で付着する傾向にあるからである。これは、スクライブライン2を設けた面は、洗浄不足のためにスクライブライン2内にガラスの切削屑等の汚れが残存しやすく、また、形成された機能性膜において圧縮応力等が生じて、機能性膜がスクライブライン2付近から剥離しやすいことによる。   As shown in the drawing, the functional film 16 is preferably formed on a surface where the scribe line 2 is not provided. A transparent conductive film such as ITO or ZnO formed by a vapor deposition method, a sputtering method, a CVD method or the like on the surface where the scribe line 2 is not provided is higher than the transparent conductive film formed on the surface where the scribe line 2 is provided. This is because the adhesive strength tends to adhere. This is because the surface on which the scribe line 2 is provided is likely to leave dirt such as glass cutting waste in the scribe line 2 due to insufficient cleaning, and compressive stress or the like occurs in the formed functional film. This is because the functional film is easily peeled from the vicinity of the scribe line 2.

機能性膜付きシートのロール200を形成した後、このロールから機能性膜付きシートを繰り出し、スクライブライン2に機械的または熱的応力を加えて切断(ブレイク)を実施する。それにより、図9に示すような、例えば150mm×200mmの面を有するタッチパネル用のガラス基板17を得ることができる。   After forming the roll 200 of the sheet with the functional film, the sheet with the functional film is fed out from this roll, and mechanical or thermal stress is applied to the scribe line 2 to perform cutting (break). Thereby, the glass substrate 17 for touch panels which has a surface of 150 mm x 200 mm as shown in FIG. 9, for example can be obtained.

図10を参照して、タッチパネル用の機能性膜付きガラス基板を製造する具体的な方法を説明する。まず、基板ロール6から供給されるガラスシート1をキャン18で加熱し、加熱したシート1の表面に、スパッタリング法でITO膜を形成し、巻芯15で巻き取って、ロール200を得る。スパッタリングは、ターゲット19を用いて実施する。ITO膜の形成の際に、キャン18の温度が300℃未満となると、必要とする抵抗値が得られない。即ち、膜を形成するときの温度が低すぎると、結晶性が悪くなり膜の抵抗値は下がらないため、キャンの温度は300℃以上に設定することが好ましく、350℃程度とすることが好ましい。   With reference to FIG. 10, the specific method of manufacturing the glass substrate with a functional film for touch panels is demonstrated. First, the glass sheet 1 supplied from the substrate roll 6 is heated by the can 18, an ITO film is formed on the surface of the heated sheet 1 by a sputtering method, and the roll is wound by the core 15 to obtain the roll 200. Sputtering is performed using the target 19. When forming the ITO film, if the temperature of the can 18 is less than 300 ° C., the required resistance value cannot be obtained. That is, if the temperature when forming the film is too low, the crystallinity deteriorates and the resistance value of the film does not decrease. Therefore, the temperature of the can is preferably set to 300 ° C. or higher, and preferably about 350 ° C. .

キャン18の半径は、ガラスシート1の厚さの1000倍以上とすることが好ましい。したがって、例えば、ガラスシートの厚さ0.1mmである場合、キャン18の半径を100mm以上とすることが好ましい。キャン18の半径がガラスシート1の厚さの1000倍未満であると、ガラスシート1がキャン18にて小さい曲率半径で曲げられることとなり、割れが生じることがある。   The radius of the can 18 is preferably 1000 times or more the thickness of the glass sheet 1. Therefore, for example, when the glass sheet has a thickness of 0.1 mm, the radius of the can 18 is preferably set to 100 mm or more. If the radius of the can 18 is less than 1000 times the thickness of the glass sheet 1, the glass sheet 1 is bent by the can 18 with a small radius of curvature, and cracks may occur.

スパッタリング時のガラスシート1の速度は、形成すべき機能性膜の厚さおよびスパッタリング時のパワー等に応じて適宜選択される。例えば、100nmの厚さのITO膜を形成するときには、ガラスシート1の速度を50m/secとすることも可能である。   The speed of the glass sheet 1 at the time of sputtering is appropriately selected according to the thickness of the functional film to be formed, the power at the time of sputtering, and the like. For example, when an ITO film having a thickness of 100 nm is formed, the speed of the glass sheet 1 can be set to 50 m / sec.

その後、機能性膜付きシートのロール200から、シートを繰り出して、スクライブラインに機械的または熱的応力を加えて、スクライブラインに沿ってシートを切断し、所定の大きさの機能性膜付きガラス基板を得る。得られた基板は、常套の手法によってタッチパネルに組み立てられる。具体的には、シートをエッチング処理に付して、機能性膜にパターンを付与する。次に、電極を機能性膜の表面に印刷により塗布し、焼成して形成する。電極を形成した機能性膜付き基板を、電極が対向するように、一定の隙間を設けて貼り合わせることにより、タッチパネルを得る。   Thereafter, the sheet is fed out from the roll 200 of the functional film-coated sheet, mechanical or thermal stress is applied to the scribe line, the sheet is cut along the scribe line, and the functional film-coated glass having a predetermined size is obtained. Get the substrate. The obtained substrate is assembled into a touch panel by a conventional method. Specifically, the sheet is subjected to an etching process to give a pattern to the functional film. Next, an electrode is formed on the surface of the functional film by printing and baking. A touch panel is obtained by bonding the substrate with the functional film on which the electrodes are formed with a certain gap so that the electrodes face each other.

スクライブラインを設けたガラスシートのロールは、タッチパネル用の機能性膜付き基板以外に、液晶ディスプレイ、ELディスプレイ、およびPDP等の各種表示デバイスを構成するための機能性膜付き基板にも適用できる。
いずれの用途に使用する場合にも、図1に示す基本長さ5およびガラスシート1の幅を選択することにより、所定の寸法の機能性膜付き基板を製造できる。必要に応じて、ガラスシートの幅方向と平行な方向に延びるスクライブラインに加えて又はこれに代えて、ガラスシートの長さ方向と平行な方向に延びるスクライブラインを設けて、所定寸法の機能性膜付き基板が得られるようにしてよい。
The roll of the glass sheet provided with the scribe line can be applied to a substrate with a functional film for constituting various display devices such as a liquid crystal display, an EL display, and a PDP in addition to the substrate with a functional film for a touch panel.
In any case, by selecting the basic length 5 and the width of the glass sheet 1 shown in FIG. 1, a substrate with a functional film having a predetermined dimension can be manufactured. If necessary, in addition to or instead of the scribe line extending in the direction parallel to the width direction of the glass sheet, a scribe line extending in the direction parallel to the length direction of the glass sheet is provided, and the functionality of a predetermined dimension is provided. A substrate with a film may be obtained.

図12は、図11を参照して説明した、巻芯に近い側に位置するスクライブラインの深さが、巻芯から遠い側に位置するスクライブラインの深さよりも浅いガラスロールを用いて、所定寸法の機能性膜付き基板を製造する方法を模式的に示す。巻芯6に巻き取られたガラスロール100からガラスシート1が供給され、ガラスシート1を350℃に設定したキャン18で加熱しながら、これにスパッタリング法で機能性膜であるITO膜を形成する。スパッタリングは、ターゲット19を用いて実施する。次いで、引っ張りローラ24aおよび24bで機能性膜を形成したシートを挟んで、ガラスシートを引き抜き、その後、切断(ブレイク)を行って、機能性膜付きガラス基板17を得る。切断(ブレイク)の方法の一例として、スパッタリングと切断(ブレイク)を同一の真空槽内で実施し、切断されて完成した機能性膜付きガラス基板をストッカーにストックし、その後真空槽に隣接して設けた取り出し用真空槽(アンロードチャンバー)から取り出す方法を用いることができる。この製造方法によれば、機能性膜の形成からブレイクまでを連続して実施でき、さらに効率よく機能性膜付きガラス基板を得ることができる。また、巻芯から遠い側に位置するスクライブラインの深さが巻芯に近い側に位置するスクライブラインの深さよりも深いガラスロールを使用する場合に、機能性膜を形成した後にガラスシートを再度ロールに巻き取ると、深いスクライブラインが巻芯に近い側に位置することとなる。その結果、破損が生じやすくなるため、そのようなガラスロールを使用する場合には図12に示すような製造方法を採用することが好ましい。図12に示す製造方法は、図11に示すガラスロールにのみ適用されるものではなく、他のガラスロール(例えば図1および図4に示すガラスロール)に適用してよい。   FIG. 12 is a diagram showing a specific example using a glass roll described with reference to FIG. 11 in which the depth of the scribe line located on the side closer to the core is shallower than the depth of the scribe line located on the side far from the core. The method of manufacturing the board | substrate with a functional film of a dimension is shown typically. The glass sheet 1 is supplied from the glass roll 100 wound around the core 6, and an ITO film, which is a functional film, is formed on the glass sheet 1 by a sputtering method while heating the glass sheet 1 with a can 18 set at 350 ° C. . Sputtering is performed using the target 19. Next, the glass sheet 17 with the functional film is obtained by drawing the glass sheet with the pulling rollers 24a and 24b sandwiching the sheet on which the functional film is formed, and then cutting (breaking). As an example of the method of cutting (breaking), sputtering and cutting (breaking) are performed in the same vacuum chamber, and the glass substrate with a functional film completed by cutting is stocked in a stocker, and then adjacent to the vacuum chamber. A method of taking out from the provided vacuum chamber for unloading (unload chamber) can be used. According to this manufacturing method, the formation from the functional film to the break can be continuously performed, and the glass substrate with the functional film can be obtained more efficiently. In addition, when using a glass roll in which the depth of the scribe line located on the side far from the core is deeper than the depth of the scribe line located on the side close to the core, the glass sheet is again formed after the functional film is formed. When wound on a roll, the deep scribe line is located on the side closer to the core. As a result, breakage tends to occur. Therefore, when such a glass roll is used, it is preferable to employ a manufacturing method as shown in FIG. The manufacturing method shown in FIG. 12 is not applied only to the glass roll shown in FIG. 11, but may be applied to other glass rolls (for example, the glass roll shown in FIGS. 1 and 4).

以上においては、スクライブラインを設けたガラスシートを巻芯に巻き取ったガラスロールを説明した。本発明は、他の脆性材料にも適用することができる。ここで脆性材料とは、破断までにほとんど塑性変形を伴わない材料をいう。ガラス以外の脆性材料として、例えば鋳鉄およびセラミック材料が挙げられる。脆性材料はスクライブラインを形成して切断するのに適しており、本発明を適用することにより、ガラス以外の脆性材料から成るロールが得られる。   In the above, the glass roll which wound the glass sheet which provided the scribe line around the winding core was demonstrated. The present invention can also be applied to other brittle materials. Here, the brittle material means a material that hardly undergoes plastic deformation until fracture. Examples of brittle materials other than glass include cast iron and ceramic materials. The brittle material is suitable for forming a scribe line and cutting. By applying the present invention, a roll made of a brittle material other than glass can be obtained.

本発明のスクライブラインを形成した長尺のガラスシートは、その表面に機能性膜を形成して、所定寸法の機能性膜付きガラス基板を製造するのに用いられ、機能性膜付きガラス基板は、タッチパネル、液晶ディルプレイ、ELディスプレイ、およびPDP等の各種表示デバイスに使用するガラス基板として使用するのに適している。   The long glass sheet on which the scribe line of the present invention is formed is used to form a functional film on the surface thereof and to produce a glass substrate with a functional film of a predetermined dimension. It is suitable for use as a glass substrate for use in various display devices such as touch panels, liquid crystal displays, EL displays, and PDPs.

本発明のガラスロールの一例の模式図Schematic diagram of an example of the glass roll of the present invention 本発明のガラスロールを構成するガラスシートにスクライブラインを形成する方法を示す模式図The schematic diagram which shows the method of forming a scribe line in the glass sheet which comprises the glass roll of this invention. 本発明のガラスロールを構成するガラスシートの一例の平面図The top view of an example of the glass sheet which comprises the glass roll of this invention 本発明のガラスロールを構成するガラスシートの別の例の平面図The top view of another example of the glass sheet which comprises the glass roll of this invention 本発明のガラスロールを構成するガラスシートに形成されたスクライブラインの一例の深さを示す断面図Sectional drawing which shows the depth of an example of the scribe line formed in the glass sheet which comprises the glass roll of this invention 本発明のガラスロールを構成するガラスシートにスクライブラインを形成する方法を示す模式図The schematic diagram which shows the method of forming a scribe line in the glass sheet which comprises the glass roll of this invention. (a)および(b)はともに本発明のガラスロールを構成するガラスシートにスクライブラインを形成する方法を示す模式図(A) And (b) is a schematic diagram which shows the method of forming a scribe line in the glass sheet which comprises the glass roll of this invention. 本発明のガラスロールを構成するガラスシートに機能性膜を形成する方法の一例を示す模式図The schematic diagram which shows an example of the method of forming a functional film in the glass sheet which comprises the glass roll of this invention 本発明のガラスロールを用いて作製した、機能性膜付きガラス基板の一例を示す斜視図The perspective view which shows an example of the glass substrate with a functional film produced using the glass roll of this invention 本発明のガラスロールを構成するガラスシートに機能性膜を形成する方法の別の例を示す模式図The schematic diagram which shows another example of the method of forming a functional film in the glass sheet which comprises the glass roll of this invention. 本発明のガラスロールを構成するガラスシートに形成されたスクライブラインの別の例の深さを示す模式図The schematic diagram which shows the depth of another example of the scribe line formed in the glass sheet which comprises the glass roll of this invention 本発明のガラスロールを用いて機能性膜付きガラス基板を製造する方法の一例を示す模式図The schematic diagram which shows an example of the method of manufacturing the glass substrate with a functional film using the glass roll of this invention. 従来のガラス基板の製造方法を示す模式図Schematic diagram showing a conventional glass substrate manufacturing method 従来のガラスロールの製造方法を示す模式図Schematic diagram showing a conventional glass roll manufacturing method

符号の説明Explanation of symbols

1 ガラスシート
2 スクライブライン
2a,2b,2c スクライブライン
4 機能性膜形成面
5 基本長さ
6 巻芯
7 溶融窯
8 転写ローラ
9 補助ローラ
10 ガラスシートの厚さ
11 スクライブラインの深さ
12 スクライブラインの深さ
13 ホイールカッター
13a,13b,13c ホイールカッター
14a,14b,14c ホイールカッター
15 巻芯
16 機能性膜
17 機能性膜付きガラス基板
18 キャン
19 ターゲット
20 スクライブライン
21 スクライブラインの深さ
22 スクライブライン
23 スクライブラインの深さ
24a 引っ張りローラ
24b 引っ張りローラ
25 大型パネル
26 スクライブライン
27 ガラス基板
28 ガラスシート
29 巻芯
100,200 ガラスロール
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass sheet 2 Scribe line 2a, 2b, 2c Scribe line 4 Functional film formation surface 5 Basic length 6 Core 7 Melting furnace 8 Transfer roller 9 Auxiliary roller 10 Glass sheet thickness 11 Scribe line depth 12 Scribe line Depth 13 of wheel cutter 13a, 13b, 13c Wheel cutter 14a, 14b, 14c Wheel cutter 15 Core 16 Functional film 17 Glass substrate with functional film 18 Can 19 Target 20 Scribe line 21 Scribe line depth 22 Scribe line 23 Depth of scribe line 24a Pull roller 24b Pull roller 25 Large panel 26 Scribe line 27 Glass substrate 28 Glass sheet 29 Core 100, 200 Glass roll

Claims (12)

ガラスシートが巻芯に巻き取られたガラスロールであって、ガラスシートがスクライブラインを有するガラスロール。   A glass roll in which a glass sheet is wound around a core, and the glass sheet has a scribe line. スクライブラインの少なくとも1つは、ガラスシートの幅方向と平行に延びるように設けられている、請求項1に記載のガラスロール。   The glass roll according to claim 1, wherein at least one of the scribe lines is provided so as to extend in parallel with the width direction of the glass sheet. スクライブラインが、ガラスシートの幅方向と平行な1本の仮想線上に破線状に設けられており、スクライブラインがガラスシートの両端に位置し、かつスクライブラインの全長がガラスシートの幅の50%以上である、請求項2に記載のガラスロール。   The scribe line is provided in a broken line on one imaginary line parallel to the width direction of the glass sheet, the scribe line is located at both ends of the glass sheet, and the total length of the scribe line is 50% of the width of the glass sheet. The glass roll according to claim 2 which is the above. ガラスシートの幅方向と平行に延びるスクライブラインの深さが、ガラスシートの幅方向において、両端部よりも中央部で深い請求項2または3に記載のガラスロール。   The glass roll according to claim 2 or 3, wherein the depth of the scribe line extending in parallel with the width direction of the glass sheet is deeper at the center than at both ends in the width direction of the glass sheet. 巻芯から遠い側に位置し、ガラスシートの幅方向と平行に延びるスクライブラインの深さが、巻芯に近い側に位置し、ガラスシートの幅方向と平行に延びるスクライブラインの深さよりも深い、請求項2に記載のガラスロール。   The depth of the scribe line located on the side far from the core and extending in parallel with the width direction of the glass sheet is deeper than the depth of the scribe line located on the side near the core and extending in parallel with the width direction of the glass sheet. The glass roll according to claim 2. スクライブラインがV字形状の溝である請求項1〜5のいずれか1項に記載のガラスロール。   The glass roll according to any one of claims 1 to 5, wherein the scribe line is a V-shaped groove. スクライブラインがガラスシートの片面にのみ設けられ、ガラスシートがスクライブラインが設けられた面を内側にして巻芯に巻き取られている、請求項1〜6のいずれか1項に記載のガラスロール。   The glass roll according to any one of claims 1 to 6, wherein the scribe line is provided only on one surface of the glass sheet, and the glass sheet is wound around the core with the surface on which the scribe line is provided as an inner side. . ガラスシートの厚さが0.05〜0.20mmである、請求項1〜7のいずれか1項に記載のガラスロール。   The glass roll of any one of Claims 1-7 whose thickness of a glass sheet is 0.05-0.20 mm. ガラスシートのスクライブラインが設けられていない面に機能性膜が形成されている、請求項7に記載のガラスロール。   The glass roll of Claim 7 in which the functional film is formed in the surface in which the scribe line of a glass sheet is not provided. 請求項1〜8のいずれか1項に記載のガラスロールからガラスシートを供給し、ガラスシートの表面に機能性膜を連続的に形成すること、および機能性膜を形成した後にスクライブラインに沿ってガラスシートを切断することを含む、機能性膜付きガラス基板の製造方法。   A glass sheet is supplied from the glass roll according to any one of claims 1 to 8, and a functional film is continuously formed on the surface of the glass sheet, and along the scribe line after the functional film is formed. A method for producing a glass substrate with a functional film, comprising cutting a glass sheet. 請求項5に記載のガラスロールからガラスシートを供給し、ガラスシートの表面に機能性膜を連続的に形成すること、および機能性膜を形成したガラスシートを巻芯に巻き取ることなくスクライブラインに沿ってガラスシートを切断することを含む、機能性膜付きガラス基板の製造方法。   A glass sheet is supplied from the glass roll according to claim 5, and a functional film is continuously formed on the surface of the glass sheet, and a scribe line is formed without winding the glass sheet on which the functional film has been formed around a winding core. The manufacturing method of the glass substrate with a functional film including cutting | disconnecting a glass sheet along. 機能性膜を、ガラスシートを300℃以上の熱処理に付しながら形成する、請求項10または11に記載の機能性膜付きガラス基板の製造方法。
The method for producing a glass substrate with a functional film according to claim 10 or 11, wherein the functional film is formed while subjecting the glass sheet to a heat treatment at 300 ° C or higher.
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