KR101234830B1 - 도포 장치 - Google Patents

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Abstract

공간적으로 유리하고, 연속하여 유리 기판에 도포액을 도포할 수 있는 도포 장치를 제공한다.
기대(基臺)(1)에 한 쌍의 평행한 레일(2, 2)이 설치되고, 이들 한 쌍의 평행한 레일(2, 2) 사이의 중앙에 기판 설치 스테이지(3)가 배치되고, 평면에서 보았을 때, 상기 레일과 직교하는 기판 설치 스테이지의 폭 방향 중심선(L)을 기준으로 하여, 좌우 대칭으로 제 1 및 제 2 문형 이동 기구(4, 5)가 상기 레일 사이에 독립하여 주행 가능하게 걸쳐지고, 이들 제 1 및 제 2 문형 이동 기구(4, 5)에 슬릿 노즐(6, 7)이 승강 가능하게 보유되어 있다.
도포 장치, 기판 설치 스테이지, 문형 이동 기구, 레일

Description

도포 장치{Coating apparatus}
도 1은 본 발명에 따른 도포 장치의 전체 평면도이다.
도 2는 도 1을 A 방향에서 본 도면이다.
도 3은 도 1의 B-B 방향의 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 기대(基臺) 2 : 레일
20 : 홈부 21 : 고정자
3 : 기판 설치 스테이지 4 : 제 1 문형(門型) 이동 기구
40 : 구동부 41 : 빔
42 : 가동자 43 : 에어 패드
44 : 시린지 펌프(syringe pump) 45 : 도포액 공급 튜브
46 : 배출 튜브 5 : 제 2 문형 이동 기구
6, 7 : 슬릿 노즐 8 : 프리디스펜스부
9 : 세정부 10 : 대기부
11, 12 : 승강 장치 W : 유리 기판
L : 기판 설치 스테이지의 폭 방향 중심선
본 발명은 유리 기판 등의 기판 표면에 도포액을 도포하는 도포 장치에 관한 것이다.
컬러 액정용 유리 기판에 3원색의 컬러 필터를 형성하는 도포 장치로서 일본국 공개특허공고 평10-216599호 공보에 개시된 것이, 또한 플라즈마 디스플레이용 발광 기판에 3원색의 형광체 페이스트를 도포하는 장치로서 일본국 공개특허공고 2002-140982호 공보에 개시되어 있는 것이 제안되어 있다.
일본국 공개특허공고 평10-216599호 공보에 개시되는 도포 장치는 볼 나사에 의해 이동하는 스테이지의 상방에 슬릿 노즐을 두 개 배치하고, 상기 스테이지의 상면에 2장의 유리 기판을 이간하여 설치하고, 상기 두 개의 슬릿 노즐을 이용하여 2장의 유리 기판 각각에 동시에 도포함으로써, 하나의 슬릿 노즐로 도포하는 경우에 비교하여 시간을 단축하도록 하고 있다.
일본국 공개특허공고 2002-140982호 공보에 개시되는 도포 장치는 한 쌍의 레일 사이에 기판 설치 스테이지를 배치하고, 한 쌍의 레일 사이에 3대의 문형 이동 기구를 가설(架設)하고, 이들 3대의 문형 이동 기구에 R(적), G(녹), 및 B(청)의 형광체 페이스트를 도포하는 슬릿 노즐을 각각 부착하고, 유리 기판 표면에 3대의 문형 이동 기구로부터 순차적으로 각 색의 페이스트를 도포하도록 하고 있다.
일본국 공개특허공고 평10-216599호 공보 및 일본국 공개특허공고 2002-140982호 공보에 개시되는 어떠한 도포 장치에 있어서도, 1회의 도포에 이용하는 양만큼 슬릿 노즐에 도포액을 보내고, 도포가 종료된 후, 다시 슬릿 노즐에 도포액을 공급하도록 하고 있다. 이 때문에, 도포 종료 후에 바로 다음 유리 기판에 도포를 행할 수 없고, 1회분의 양만큼 슬릿 노즐에 도포액을 공급하고 나서, 다음의 도포를 개시하게 되어, 대기 시간이 길어지게 된다.
또한 일본국 공개특허공고 평10-216599호 공보에 개시되는 도포 장치에 있어서는 단순히 두 개의 슬릿 노즐을 이용하여 두 장의 유리 기판에 도포를 행할 뿐, 장치를 2대 배치한 것과 큰 차이는 없다. 또한, 스테이지가 이동하는 구조로 되어 있고, 이동의 진동이 직접 유리 기판에 전달되게 된다.
또한 일본국 공개특허공고 2002-140982호 공보에 개시되는 도포 장치에 있어서는 3대의 문형 이동 기구가 기판 설치 스테이지의 한쪽에 대기하게 되고, 가장 외측의 문형 이동 기구는 기판 설치 스테이지로부터 크게 떨어진 위치에서 대기하게 되고, 또한 도포 종료 후에 반대쪽으로 문형 이동 기구가 이동한 경우에도 최외측의 문형 이동 기구는 기판 설치 스테이지로부터 크게 멀어지게 되고, 장치 전체가 대형화하게 된다.
또한 일본국 공개특허공고 2002-140982호 공보에 개시되는 도포 장치에 있어서, 유리 기판이 대형화하면 필연적으로 문형 이동 기구도 길어지고, 레일을 따라 주행할 때에 문형 이동 장치 자체가 비뚤어지게 되고, 이것이 슬릿 노즐에 전해져, 균일 도포에 지장을 초래할 우려가 있다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 따른 도포 장치는 한 쌍의 평행한 레일 사이의 중앙에 기판 설치 스테이지가 배치되고, 평면에서 보았을 때, 상기 레일과 직교하는 기판 설치 스테이지의 폭 방향 중심선을 기준으로 하여, 좌우 대칭으로 제 1 및 제 2 문형 이동 기구가 상기 레일 사이에 독립하여 주행 가능하게 걸쳐지고, 이들 제 1 및 제 2 문형 이동 기구에 슬릿 노즐이 승강 가능하게 보유된 구성으로 하였다.
이와 같은 구성으로 함으로써, 한쪽의 슬릿 노즐을 이용하여 도포하고 있는 사이에, 다른 쪽의 슬릿 노즐에 도포액을 공급할 수 있으므로, 대기 시간이 필요치 않게 되어 택트 타임이 단축된다.
또한, 상기 제 1 및 제 2 문형 이동 기구의 이동 영역에서 기판 설치 스테이지로부터 떨어진 위치에 프리디스펜스(pre-dispense)부, 세정부 및 대기부를 이 순서로 배치하는 구성으로 함으로써, 슬릿 노즐의 상태를 양호하게 유지할 수 있다.
또한, 상기 문형 이동 기구를 각각의 레일에 결합하는 구동부와, 이들 구동부가 주행할 때에 슬릿 노즐로 비뚤어짐이 전달되는 것을 저지하기 위해 구동부 사이에 가설되는 빔으로 구성함으로써, 문형 이동 기구가 주행할 때에 비뚤어짐이 발생하기 어렵고, 설령 약간의 비뚤어짐이 발생하더라도 이 비뚤어짐은 빔에 의해 슬릿 노즐에 전달되는 것이 저지된다.
[실시예]
아래에 본 발명의 실시형태를 첨부 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은 본 발명에 따른 도포 장치의 전체 평면도, 도 2는 도 1의 A 방향에서 본 도면, 도 3은 도 1의 B-B 방향 단면도이다.
도포 장치는 기대(基臺)(1)에 한 쌍의 평행한 레일(2, 2)을 설치하고, 이들 레일(2, 2)의 중간 위치가 되는 기대(1) 상면의 중앙에 기판 설치 스테이지(3)를 고정하고 있다. 그리고, 이 기판 설치 스테이지(3)의 폭 방향 중심선(L)을 기준으로 하여, 좌우 대칭으로 제 1 및 제 2 문형 이동 기구(4, 5)가 상기 레일(2, 2) 사이에 독립하여 주행 가능하게 걸쳐지고, 각각의 문형 이동 기구(4, 5)에 승강 장치(11, 12)를 통하여 슬릿 노즐(6, 7)이 부착되어 있다.
제 1 및 제 2 문형 이동 기구(4, 5)는 동일한 구조이므로, 한쪽의 문형 이동 기구(4)에 대하여 설명하고, 다른 쪽의 문형 이동 기구(5)의 상세한 사항에 대해서는 생략한다. 문형 이동 기구(4)는 각각의 레일(2, 2)에 결합하는 구동부(40, 40)와, 이들 구동부(40, 40) 사이에 가설(架設)되는 빔(41, 41)으로 구성된다.
레일(2)에는 홈부(20)가 형성되고, 이 홈부(20) 내에는 리니어 모터(linear motor)의 고정자(21)가 배치되고, 또한 구동부(40)에는 상기 홈부(20) 내에 들어가는 리니어 모터의 가동자(42)가 설치되고, 또한 구동부(40)에는 레일(2)과의 사이에 미세한 간격을 형성하기 위한 에어 패드(43)가 부착되어 있다.
또한, 상기 빔(41, 41)은 문형 이동 기구(4)가 주행할 때에 슬릿 노즐로 비뚤어짐이 전달되는 것을 저지하기 위해 구동부 사이에 가설되는 것이기 때문에, 반드시 슬릿 노즐(6)을 사이에 두고 전후로 설치할 필요는 없고, 한쪽 측에만 설치하여도 좋다.
상기 슬릿 노즐(6)은 구동부(40, 40) 사이에 승강 운동 가능하게 지지됨과 동시에, 시린지 펌프(44)와 연결되어 있고, 도포액 공급 튜브(45)로부터 1회분만큼 도포액이 공급되고, 1회의 도포가 종료된 후에는 여분의 도포액은 배출 튜브(46)로부터 회수된다.
또한, 상기 제 1 및 제 2 문형 이동 기구(4, 5)의 이동 영역에서 기판 설치 스테이지(3)로부터 떨어진 위치에 프리디스펜스부(8), 세정부(9) 및 딥(dip) 조(槽)를 구비한 대기부(10)가 이 순서로 배치되어 있다.
이상에 있어서, 기판 설치 스테이지(3) 상에 설치된 유리 기판(W)에 도포액을 도포하기 위해서는, 제 1 문형 이동 기구(4)가 프리디스펜스부(8)에 위치하고 있는 시점을 출발점으로 하면, 이 프리디스펜스부(8)에서 슬릿 노즐(6)의 예비 토출을 행한 후, 리니어 모터를 구동하여, 문형 이동 기구(4)를 오른쪽 방향으로 이동시키고, 슬릿 노즐(6)로부터 유리 기판(W)의 표면에 레지스트액이나 형광체 페이스트 등의 도포액을 공급한다. 이 사이에 제 2 문형 이동 기구(5)에는 다음에 도포하는 1회분의 도포액을 공급해둔다.
또한, 도포에 즈음하여, 도시하지 않은 센서에 의해 슬릿 노즐(6) 하단과 유리 기판(W)의 표면과의 간격을 측정하고, 이 간격이 일정하게 되도록 승강 장치(11, 12)에 의해 슬릿 노즐(6)의 높이 위치를 조정하여 행한다.
그리고, 상기 도포가 완료되면, 제 1 문형 이동 기구(4)를 세정부(9)까지 되돌려, 슬릿 노즐(6)의 토출구를 세정하고, 그 위치에서 건조시킨다. 또한 대기부(10)까지 이동하여, 딥 조에 슬릿 노즐(6)의 선단을 침지(沈漬)시켜 대기한다. 이 사이에 기판 설치 스테이지(3) 상에 새로운 유리 기판(W)을 세트한다. 또한, 딥 조에 반드시 침지시킬 필요는 없다.
이어서, 대기하고 있었던 제 2 문형 이동 기구(5)를 프리디스펜스부(8)까지 이동시켜, 예비 토출을 행한 후, 상기와 마찬가지로 리니어 모터를 구동하여, 문형 이동 기구(5)를 왼쪽 방향으로 이동시켜, 슬릿 노즐(7)로부터 유리 기판(W)의 표면에 레지스트액이나 형광체 페이스트 등의 도포액을 공급한다. 이 사이에, 제 1 문형 이동기구(4)에는 다음에 도포하는 1회분의 도포액을 공급하여 둔다. 이상을 반복함으로써, 연속적으로 유리 기판(W)에 도공(塗工)한다.
본 발명에 의하면, 한쪽의 슬릿 노즐을 이용하여 도포하고 있는 사이에, 다른 쪽의 슬릿 노즐에 도포액을 공급할 수 있어, 효율이 좋은 도포 장치로 할 수 있다. 또한, 본 발명에 따르면, 장치 전체의 치수도 그다지 크지 않고, 문형 이동 기구를 고속으로 주행시켜도 슬릿 노즐에 악영향을 미치는 일이 없다.
본 발명의 도포 장치는 각종 디스플레이 장치에 설치하는 유리 기판에 도막을 형성하기 위한 도포 장치로서 이용할 수 있다.

Claims (3)

  1. 한 쌍의 평행한 레일(2, 2) 사이의 중앙에 기판 설치 스테이지(3)가 배치되고, 평면에서 보았을 때, 상기 레일(2, 2)과 직교하는 기판 설치 스테이지(3)의 폭 방향 중심선(L)을 기준으로 하여, 좌우 대칭이 되는 위치에 제 1 및 제 2 문형 이동 기구(4, 5)가 상기 레일(2, 2) 사이에 독립하여 주행 가능하게 걸쳐지고, 이들 제 1 및 제 2 문형 이동 기구(4, 5)는 한 쌍의 레일(2, 2)의 각각에 결합하는 구동부(40)와, 상기 구동부(40) 사이에 승강 장치를 통하여 부착된 슬릿 노즐(6, 7)로 비뚤어짐이 전달되는 것을 저지하기 위해 상기 구동부(40) 사이에 가설된 빔으로 이루어진 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 문형 이동 기구(4, 5)의 이동 영역에서 기판 설치 스테이지(3)로부터 떨어진 위치에, 프리디스펜스(pre-dispense)부(8), 세정부(9) 및 대기부(10)가 이 순서로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 장치.
  3. 삭제
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