KR101222713B1 - 캔드 리니어 모터 전기자 및 캔드 리니어 모터 - Google Patents

캔드 리니어 모터 전기자 및 캔드 리니어 모터 Download PDF

Info

Publication number
KR101222713B1
KR101222713B1 KR1020087009342A KR20087009342A KR101222713B1 KR 101222713 B1 KR101222713 B1 KR 101222713B1 KR 1020087009342 A KR1020087009342 A KR 1020087009342A KR 20087009342 A KR20087009342 A KR 20087009342A KR 101222713 B1 KR101222713 B1 KR 101222713B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
winding
linear motor
armature
housing
frame
Prior art date
Application number
KR1020087009342A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080063772A (ko
Inventor
도루 시카야마
도시카즈 하마오
겐이치 사다카네
아키오 사카이
스사쿠 요시다
Original Assignee
가부시키가이샤 야스카와덴키
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 야스카와덴키 filed Critical 가부시키가이샤 야스카와덴키
Publication of KR20080063772A publication Critical patent/KR20080063772A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101222713B1 publication Critical patent/KR101222713B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K3/00—Details of windings
    • H02K3/44—Protection against moisture or chemical attack; Windings specially adapted for operation in liquid or gas
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
    • H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
    • H02K5/22—Auxiliary parts of casings not covered by groups H02K5/06-H02K5/20, e.g. shaped to form connection boxes or terminal boxes
    • H02K5/225—Terminal boxes or connection arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
    • H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
    • H02K5/12—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas
    • H02K5/128—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas using air-gap sleeves or air-gap discs

Abstract

수냉각 사양의 캔드 리니어 모터 전기자의 절연 신뢰성을 향상하고, 조립 작업성이 양호한 캔드 리니어 모터 전기자 및 캔드 리니어 모터를 제공한다.
전기자 권선(105)을 수납하는 오목 형상의 권선 수납 프레임(112)과, 전기자 권선(105)을 결선하는 평판 형상의 결선 기판(111)과, 하우징(101)의 양 개구부를 밀폐하는 캔(102)과, 캔(102)과 권선 수납 프레임(112)의 사이 및 캔(102)과 결선 기판(111)의 사이에 각각 형성된 냉매 통로(110)와, 결선 기판(111)과 단자대(106)를 접속하는 리드선(120)을 구비한 캔드 리니어 모터 전기자에 있어서, 결선 기판(111) 상에 있어서의 전기자 권선(105)과 리드선(120)을 연결하기 위한 접속 개소가 되는 랜드(121)의 주위에는, 이 접속 개소를 포함하도록 접착 수지(131)에 의해 코팅하고, 또한, 이 접착 수지(131)의 주위를 충전 수지(132)에 의해 충전하는 구성으로 했다.

Description

캔드 리니어 모터 전기자 및 캔드 리니어 모터{ARMATURE OF CANNED LINEAR MOTOR AND CANNED LINEAR MOTOR}
본 발명은, 반도체 제조 장치의 스테이지 구동이나 공작기의 테이블 급송에 사용됨과 더불어, 리니어 모터 본체의 온도 상승 저감과 절연 신뢰성 향상이 요구되는 캔드 리니어 모터 전기자 및 캔드 리니어 모터에 관한 것이다.
종래, 반도체 제조 장치의 스테이지 구동이나 공작기의 테이블 급송에 사용됨과 더불어, 리니어 모터 본체의 온도 상승 저감과 절연 신뢰성 향상이 요구되는 캔드 리니어 모터 전기자 및 캔드 리니어 모터는, 전기자 권선을 캔으로 덮고, 전기자 권선과 캔의 사이에 설치한 냉매 통로에 냉매를 흐르게 함으로써, 전기자 권선이 발생하는 열을 냉매로 회수하고, 리니어 모터 표면의 온도 상승을 저감하고 있다(예를 들면, 특허 문헌 1, 2 참조).
도 1은 전기자를 캔으로 덮은 가동자를 갖는 일반적인 캔드 리니어 모터의 전체 사시도로서, 후술하는 본 발명의 제1 실시예와 종래 기술에 공통된 전체 구성을 나타내는 것이다.
도 1에 있어서, 100은 고정자, 101은 하우징, 102는 캔, 103은 캔 고정용 볼트, 104는 누름판, 105는 전기자 권선, 106은 단자대, 107은 냉매 공급구, 108은 냉매 배출구, 111은 결선 기판, 112는 권선 수납 프레임, 200은 가동자, 201은 계자(界磁) 요크 지지 부재, 202는 계자 요크, 203은 영구 자석이다.
한쪽의 가동자(200)는, 계자 요크(202)와, 계자 요크(202)의 내측 표면에 교호로 극성이 다르게 서로 이웃하게 하여 나란히 설치한 복수의 계자용의 영구 자석(203)과, 계자 요크 지지 부재(201)로 구성됨과 더불어, ㅁ자 형상의 단면 형상을 갖고 있다. 또, 다른 쪽의 고정자(100)는 전기자 권선(105)을 캔(102)으로 덮고, 전기자 권선(105)이 공극을 통해 영구 자석(203)의 자석열과 대향하도록, 가동자(200)의 중공 공간 내에 삽입하는 구성으로 되어 있다.
이러한 구성에 있어서, 가동자(200)는, 고정자(100)에 대해 화살표 방향으로 상대 이동할 수 있도록, 도시하지 않은 직선 롤링 안내나 정압 베어링 안내 등에 의해서 지지되어 있다. 냉매는 하우징(101)에 설치한 냉매 공급구(107)로부터 공급되고, 냉매 배출구(108)로부터 배출된다.
도 12는 종래 기술을 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 1의 A-A선 내측에 따르는 정단면도에 상당하는 것이다(1/2 모델).
도 12에 있어서, 109는 O링, 110은 냉매 통로, 113은 몰드 수지이다.
고정자(100)는, 액자 형상으로 형성된 금속제의 하우징(101)과, 하우징(101)의 양 개구부를 밀폐하기 위해 하우징(101)의 외형을 본뜬 판 형상의 캔(102)과, 캔(102)을 하우징(101)에 고정하기 위한 캔 고정용 볼트(103)와, 캔 고정용 볼트(103)의 관통 구멍을 갖고 캔(102)을 균등한 하중으로서 누르기 위한 누름판(104)과, 하우징(101)의 중공 내에 배치된 전기자 권선(105)과, 전기자 권 선(105)을 결선하는 결선 기판(111)과, 전기자 권선(105)을 수납하는 권선 수납 프레임(112)과, 하우징(101)의 중공부보다 조금 크게 본떠진 O링(109)에 의해 구성되어 있다. 결선 기판(111)과 권선 수납 프레임(112)의 외형은 하우징(101)의 중공부보다 조금 작게 본떠져 있고, 결선 기판(111)은 얇은 판으로, 권선 수납 프레임(112)은 두꺼운 판으로 성형되어 있다. 또, 권선 수납 프레임(112)은 전기자 권선(105)을 수납하기 위해서 전기자 권선(105)의 외형보다 조금 크게 형성하고, 바닥부를 개구하여 이루어지는 오목 형상을 갖고 있다.
전기자 권선(105)은 권선 수납 프레임(112)에 수납한 후, 결선 기판(111)에 의해 밀폐되고, 그 내부를 몰드 수지(113)에 의해 몰드되어 있다. 또, 전기자 권선(105)은 결선 기판(111)과 전기적으로 접속되어 있다. 이와 같이 주변 구성된 전기자 권선(105)은, 결선 기판(111) 혹은 권선 수납 프레임(112)을 통해 하우징(105)과 볼트(도시 생략)에 의해 고정된다. 하우징(101)의 표리(表裏)의 둘레에는, 주회한 홈이 설치되어 있고, 그 홈에 O링(109)이 배치된다. 그리고, 캔(102)이 하우징(101)의 표리에 배치된다. 캔(102)의 상부으로부터 하우징(101)의 둘레를 따라서 누름판(104)이 설치되고, 캔 고정용 볼트(103)로 단단히 조여져, 캔(102)과 하우징(101)이 고정된다. 이때, 캔(102)과 결선 기판(111)의 사이 및 캔(102)과 권선 수납 프레임(112)의 사이에 일정한 공극이 형성되고, 이 공극이 냉매 통로(110)가 된다. 냉매는 하우징(101)에 설치한 냉매 공급구(107)로부터 공급되고, 냉매 배출구(108)로부터 배출된다. 냉매는 냉매 통로(110)를 흘러, 동손(銅損)에 의해 발열하는 전기자 권선(105)을 냉각한다. 또, 냉매에는, 종래, 도전율 이 매우 작고 절연성이 있는 불소계 불활성 냉매(예를 들면 스미토모 3M제 하이드로플루에테르(HFE))가 사용되고 있었지만, 최근에는, 거듭되는 온도 상승 저감의 요구에 의해, 열전도율과 비열이 크고 열회수력이 매우 높은 물(순수 및 초순수도 포함한다)이 사용되고 있다.
도 13은 종래 기술을 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 1의 B-B선 내측에 따르는 측단면도에 상당하는 것이다(1/2 모델).
도 13에 있어서, 120은 리드선, 121은 랜드, 122는 리드선 커버, 130은 수지이다. 결선 기판(111)에는, 전기자 권선(105)과 리드선(120)을 연결하는 동박 패턴(도시 생략)이 실시되고, 그 종단에 랜드(121)가 설치되어 있다. 리드선(120)의 일단은 랜드(121)와 땜납 접속되고, 타단은 단자대(106)와 접속되어 있다. 또, 랜드(121)의 상부에 해당하는 오목부에는, 수지(130)가 충전되고, 냉매 통로(110)와의 경계에 리드선 커버(122)가 설치되어 있다.
이와 같이 구성된 캔드 리니어 모터는, 가동자(200)와 고정자(100)의 전기 적 상대 위치에 따른 3상 교류 전류를 전기자 권선(105)에 흐르게 함으로써, 영구 자석(203)이 만드는 자계와 작용하여 가동자(200)에 추진력이 발생한다. 이때 동손에 의해서 발열한 전기자 권선(105)은 냉매 통로(110)를 흐르는 냉매에 의해 냉각되므로, 캔(102)의 표면 온도 상승을 억제할 수 있다. 또한, 열전도율과 비열이 크고 열회수력이 높은 물(순수 및 초순수도 포함한다)을 사용할 수 있어, 캔(102)의 표면 온도 상승을 매우 낮게 억제할 수 있다.
[특허 문헌 1:일본국 특허출원 2004-148203호 공보(명세서 제7페이지, 도 1~5)]
[특허 문헌 2:일본국 특허공개 2004-312877호 공보(명세서 제4~5페이지, 도 2)]
[발명이 해결하고자 하는 과제]
그런데, 종래의 캔드 리니어 모터 전기자 및 캔드 리니어 모터는, 리드선 근방의 냉매 통로에 물이 흐르면, 이하와 같은 문제가 생겼다.
즉, 결선 기판과 수지의 사이에서 접착 박리가 생기고, 그 박리 부분에 물이 침입함으로써 리드선과 결선 기판의 접합부에 있어서 절연 저항 저하나 절연 파괴를 일으킬 우려가 있었다. 이 문제가 생기는 메커니즘은 이하와 같다.
(1)전류를 통전하면 전기자 권선이 발열해, 그 주위의 구성 부재인 결선 기판, 권선 수납 프레임이 온도 상승하고, 열전도에 의해 리드선을 덮는 수지도 온도 상승했다. 수지는 리드선 커버의 외주부에서 냉매의 물과 닿아 있기 때문에, 그 부분으로부터 냉매를 흡수했다. 수지의 온도 상승과 흡수가 동시에 일어남으로써, 결선 기판과 충전 수지의 사이의 접착력이 극단으로 저하했다.
(2)수지의 열팽창율이 결선 기판에 비해 크기 때문에, 수지가 결선 기판으로부터 박리되려고 하는 내부 응력(이하, 박리력이라고 한다)이 생겼다.
(3)(1)에 의한 접착력 저하와 (2)에 의한 박리력의 발생에 의해, 결선 기판과 수지의 사이에서 접착 박리가 생겼다.
또, 수지를 접착력이 강한 것으로 변경함으로써, 상기한 접착 박리를 일으키지 않게 하는 방책이 고려된다. 그러나, 접착력이 강한 수지로 변경했다고 해도, 수지는 두껍게 되어 있기 때문에, 체적에 비례해 커지는 박리력은 저감되지 않았다. 따라서, 온도 상승에 따르는 박리력의 발생에 의해, 결선 기판과 수지의 사이에서 접착 박리가 생겨, 물의 침입에 의한 절연 저항 저하나 절연 파괴의 우려가 있었다.
또한, 결선 기판이나 권선 수납 프레임의 주위와 하우징의 사이에 생긴 냉매 통로 내의 공극 개소에서 냉매의 웅덩이가 생겼다. 냉매에 순수나 초순수를 사용한 경우, 그 공극 부근에서 냉매의 비저항이 급격하게 저감하고, 절연 저항이 저하했다.
(4)충전 수지의 흡수가 진행하면, 단자대의 단자와 리드부의 접합부도 침수하게 되어, 절연 저항 저하나 절연 파괴의 우려가 있었다.
(5)리드선의 피복에 핀홀이나 상처가 생겨 버린 경우, 리드선과 하우징이 접촉함으로써 지락(地絡)하여, 절연 파괴의 우려가 있었다.
또, 리드선이 다수 있는 경우, 리드선이 얽히면서 복잡하게 배치되기 때문에, 리드선 간에 충전 수지가 들어가지 않고, 공기 덩어리가 생겼다. 충전 수지가 흡수하면, 공기 덩어리였던 개소에 물이 고이고, 절연 저항 저하나 절연 파괴의 우려가 있었다.
(6)충전 수지의 흘려 넣음 작업에서는, 우선, O링의 홈 등에 충전 수지가 부착되지 않게 하우징에 시일 테이프를 붙이고, 그 후, 충전 수지를 규정의 높이가 될 때까지 눈대중으로 흘려 넣고 있었다. 또, 그 경화 작업에서는 규정의 온도로 장시간에 걸쳐 경화시키고 있었다. 즉, 캔드 리니어 모터 전기자의 제작 중에서, 특히 충전 수지의 작업성이 나빴다.
본 발명은, 상기 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것이며, 수냉각 사양의 캔드 리니어 모터 전기자의 절연 신뢰성을 향상하고, 조립 작업성이 양호한 캔드 리니어 모터 전기자 및 캔드 리니어 모터를 제공하는 것을 목적으로 한다.
[과제를 해결하기 위한 수단]
상기 문제를 해결하기 위해, 본 발명은, 다음과 같이 구성한 것이다.
청구항 1의 발명은, 캔드 리니어 모터 전기자에 관한 것이며, 평판 형상으로 형성된 코일로 이루어지는 전기자 권선과, 상기 전기자 권선을 수납하기 위해서 바닥부를 개구하여 이루어지는 오목 형상의 권선 수납 프레임과, 상기 권선 수납 프레임의 개구부를 밀폐함과 더불어 상기 전기자 권선을 결선하는 평판 형상의 결선 기판과, 상기 권선 수납 프레임과 상기 결선 기판으로 밀폐하여 이루어지는 상기 전기자 권선을 둘러싸도록 액자 형상으로 형성된 금속제의 하우징과, 상기 하우징의 양 개구부를 밀폐하는 캔과, 상기 캔과 상기 권선 수납 프레임의 사이 및 상기 캔과 상기 결선 기판의 사이에 각각 형성된 냉매 통로와, 상기 결선 기판을 접속하는 리드선을 구비한 캔드 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 결선 기판과 상기 리드선의 접속 개소의 주위에는 이 접속 개소를 포함하도록 접착 수지에 의해 코팅하고, 또한, 상기 접착 수지의 주위를 충전 수지에 의해 충전하는 구성으로 한 것이다.
또, 청구항 2의 발명은, 청구항 1에 기재된 캔드 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 결선 기판과 상기 하우징의 사이 및 상기 권선 수납 프레임과 상기 하우징의 사이에 형성되는 공극에 이 공극을 막기 위한 막음 수지를 설치한 것이다.
또, 청구항 3의 발명은, 청구항 1에 기재된 캔드 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 접착 수지를 에폭시 수지로 구성하고, 상기 충전 수지를 실리콘 수지로 구성한 것이다.
또, 청구항 4의 발명은, 청구항 2에 기재된 캔드 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 막음 수지를 실리콘 수지로 구성한 것이다.
또, 청구항 5의 발명은, 캔드 리니어 모터 전기자에 관한 것이며, 평판 형상으로 형성된 코일로 이루어지는 전기자 권선과, 상기 전기자 권선을 수납하기 위한 바닥부를 개구하여 이루어지는 오목 형상의 권선 수납 프레임과, 상기 권선 수납 프레임의 개구부를 밀폐함과 더불어 상기 전기자 권선을 결선하는 평판 형상의 결선 기판과, 상기 권선 수납 프레임을 액자 형상으로 둘러싸도록 설치한 금속제의 하우징과, 상기 하우징의 양 개구부를 밀폐하는 캔과, 상기 캔과 상기 권선 수납 프레임의 사이 및 상기 캔과 상기 결선 기판의 사이에 각각 형성된 냉매 통로와, 상기 결선 기판을 접속하는 리드선을 구비한 캔드 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 권선 수납 프레임의 오목부 내에 상기 결선 기판과 상기 리드선의 접속 개소를 배치하고, 오목부 내를 몰드 수지로 충전한 것이다.
또, 청구항 6의 발명은, 청구항 5에 기재된 캔드 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 권선 수납 프레임과 상기 하우징의 사이의 접합면을 향해서 상기 권선 수납 프레임으로부터 상기 리드선을 인출함과 더불어, 상기 리드선의 주위를 포함하도록 상기 접합면에 고무제 시일 부재를 설치한 것이다.
또, 청구항 7의 발명은, 청구항 5 또는 6에 기재된 캔드 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 하우징과 상기 권선 수납 프레임의 사이에, 상기 하우징와 상기 권선 수납 프레임을 기계적으로 체결하기 위한 프레임용 고정 볼트를 설치함과 더불어, 상기 프레임용 고정 볼트의 체결 방향에 대해 상기 접합면을 기울어지게 하여 구성한 것이다.
또, 청구항 8의 발명은, 청구항 5 또는 6에 기재된 캔드 리니어 모터 전기자에 있어서, 상기 리드선을 동박으로 형성한 프린트 기판에 의해 구성한 것이다.
또, 청구항 9의 발명은, 캔드 리니어 모터에 관한 것이며, 청구항 1 내지 8 중 어느 한 항에 기재된 캔드 리니어 모터 전기자와, 상기 전기자와 자기적 공극을 통해 대향 배치됨과 더불어 교호로 극성이 다른 복수의 영구 자석을 서로 이웃하게 하여 나란히 배치한 계자(界磁)를 구비하고, 상기 전기자와 상기 계자 중 어느 한쪽을 고정자로, 다른 쪽을 가동자로 하여, 상기 계자와 상기 전기자를 상대적으로 주행하도록 한 것이다.
[발명의 효과]
청구항 1에 기재된 발명에 의하면, 접착 수지로 결선 기판과 리드선의 접속 개소를 포함하도록 코팅했기 때문에, 온도 상승시의 접착 수지와 결선 기판의 접착력이 강화된다. 또, 접착 수지의 주위를 충전 수지로 충전했기 때문에, 접착 수지는 냉매의 물에 직접 접하는 것이 없어, 흡수에 따르는 접착력의 저하가 억제된다. 또한, 접착 수지는 얇게 코팅했기 때문에, 체적에 비례하는 박리력이 저감된다.
이상과 같은 온도 상승시의 접착력 강화, 흡수에 의한 접착력 저하의 억제, 박리력의 저감에 의해, 종래 기술로 생긴 접착 박리를 막을 수 있어, 물 침입에 의한 절연 저항 저하나 절연 파괴의 문제를 해소하여, 절연 신뢰성을 비약적으로 향상할 수 있다.
청구항 2에 기재된 발명에 의하면, 결선 기판이나 권선 수납 프레임의 주위와 하우징의 사이에 생긴 냉매 통로 내의 공극을 막음 수지에 의해 막았기 때문에, 냉매 통로 내에서 냉매의 웅덩이를 저감할 수 있다. 특히 냉매에 순수나 초순수를 사용한 경우, 순수나 초순수의 비저항의 저감을 억제할 수 있다.
그 결과, 냉매 통로 내의 어디에 있어서도 냉매의 비저항을 장기간에 걸쳐 일정하게 할 수 있어, 절연 신뢰성을 향상할 수 있다.
청구항 3, 청구항 4에 기재된 발명에 의하면, 온도 상승시라도 강력한 접착력을 갖는 접착 수지를 에폭시 수지로 하고, 경화 후의 탄력성을 갖는 충전 수지와 막음 수지를 실리콘 수지로 했기 때문에, 접착 수지에서는 결선 기판과의 접착력을 높일 수 있어, 충전 수지와 막음 수지는 열팽창에 의한 주변 부재와의 박리력을 저감할 수 있다.
그 결과, 부재 간의 접착 박리를 막을 수 있어, 박리 부분에의 물 침입에 의한 절연 저항 저하나 절연 파괴의 문제를 해소하여, 절연 신뢰성을 향상할 수 있다.
청구항 5에 기재된 발명에 의하면, 권선 수납 프레임의 오목부 내에 결선 기판과 리드선의 접속 개소를 배치하고, 오목부 내를 몰드 수지로 충전하고 있으므로, 권선 수납 프레임과 결선 기판과 리드선이 몰드 수지로 일체가 되어, 각 부재 간의 접착력이 강화된다. 또, 이들 구성 부재는 에폭시계의 저흡수 부재이며, 흡수에 의한 접착력의 저하가 생기기 어려운 것이다.
이상과 같이, 접착력 강화, 흡수에 의한 접착력 저하의 억제에 의해, 종래 기술로 생긴 접착 박리를 막을 수 있어, 물 침입에 의한 절연 저항 저하나 절연 파괴의 문제를 해소하여, 절연 신뢰성을 비약적으로 향상할 수 있다.
청구항 6에 기재된 발명에 의하면, 권선 수납 프레임과 하우징의 사이의 접합면을 향해서 권선 수납 프레임으로부터 리드선을 인출함과 더불어, 리드선의 주위를 포함하도록 접합면에 고무제 시일 부재를 설치하고 있으므로, 접합면으로부터 권선 수납 프레임 내부 및 단자대에의 물 침입을 막을 수 있다.
따라서, 절연 저항 저하나 절연 파괴의 문제를 또한 해소하고, 절연 신뢰성을 비약적으로 향상할 수 있다. 또한, 충전 작업을 없애고, 용이하고 단시간에 작업할 수 있는 고무제 시일 부재로 치환한 구성으로 하고 있으므로, 조립 작업성도 향상할 수 있다.
청구항 7에 기재된 발명에 의하면, 하우징와 권선 수납 프레임을 기계적으로 체결하는 프레임용 고정 볼트를 설치함과 더불어, 프레임용 고정 볼트의 체결 방향에 대해 상기 접합면을 기울어지게 하여 구성하고 있으므로, 청구항 6의 구성에 비해 용이한 조립으로 접합면의 밀착성을 유지하고, 고무제 시일 부재의 시일성을 확보할 수 있다. 나아가서는, 청구항 6에 기재와 같이, 절연 신뢰성 및 조립 작업성을 향상할 수 있다.
청구항 8에 기재된 발명에 의하면, 리드선을 동박으로 형성한 프린트 기판에 의해 구성되어 있으므로, 프린트 기판과 하우징의 사이의 접촉을 막을 수 있고, 절연 간격을 넓힘으로써 절연 신뢰성을 향상할 수 있다. 또한, 리드선이 다수 있는 경우라도, 종래 리드선 사이에 생긴 공기 덩어리를 생기게 하는 일이 없어진다.
따라서, 청구항 6과 같이 고무제 시일 부재를 설치하지 않는 구조라도, 공기 덩어리의 물 침입에 의한 절연 저항 저하나 절연 파괴의 문제를 해소하여, 절연 신뢰성을 향상할 수 있다.
청구항 9에 기재된 발명에 의하면, 전기자와 영구 자석을 갖는 계자를 대향시켜, 전기자와 계자 중 어느 한쪽을 고정자, 다른 쪽을 가동자로서 구성하고 있으므로, 청구항 1 내지 8의 효과를 갖는 캔드 리니어 모터를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예와 종래 기술에 공통된 전기자를 캔으로 덮은 가동자를 갖는 일반적인 캔드 리니어 모터의 전체 사시도.
도 2는 본 발명의 제1 실시예를 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 1의 A-A선 내측에 따르는 정단면도에 상당하는 것.
도 3은 본 발명의 제1 실시예를 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 1의 B-B선 내측에 따르는 측단면도에 상당하는 것.
도 4는 본 발명의 제2 실시예를 나타내는 캔드 리니어 모터로서, (a)는 그 전체 사시도, (b)는 (a)의 A-A선 내측에 따르는 정단면도(1/2 모델)에 상당하는 것.
도 5는 본 발명의 제2 실시예를 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 4의 B-B선 내측에 따르는 측단면도에 상당하는 것.
도 6은 제2 실시예에 있어서의 도 5의 C-C선 내측에 따르는 평단면도.
도 7은 본 발명의 제3 실시예를 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 4의 B-B선 내측에 따르는 측단면도에 상당하는 것.
도 8은 제3 실시예에 있어서의 도 7의 C-C선 내측에 따르는 평단면도.
도 9는 본 발명의 제4 실시예를 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 4의 B-B선 내측에 따르는 측단면도에 상당하는 것.
도 10은 제4 실시예에 있어서의 도 9의 C-C선 내측에 따르는 평단면도.
도 11은 본 발명의 제5 실시예를 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 4의 B-B선 내측에 따르는 측단면도에 상당하는 것.
도 12는 종래 기술을 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 1의 A-A선 내측에 따르는 정단면도에 상당하는 것.
도 13은 종래 기술을 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 1의 B-B선 내측에 따르는 측단면도에 상당하는 것.
＜도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명＞
100:고정자 101:하우징
102:캔 103:캔 고정용 볼트
104:누름판 105:전기자 권선
106:단자대 107:냉매 공급구
108:냉매 배출구 109:O링
110:냉매 통로 111:결선 기판
112, 140, 140a, 140b, 140c:권선 수납 프레임
113:몰드 수지 120, 120a:리드선
121:랜드 122:리드선 커버
130:수지 131:접착 수지
132:충전 수지 133:막음 수지
141:프레임 고정용 볼트 142:리드부 O링
143:O링용 볼트 144:O링 누름 부재
145:프린트 기판 200:가동자
201:계자 요크 지지 부재 202:계자 요크
203:영구 자석
이하, 본 발명의 실시예를 도면에 기초하여 구체적으로 설명한다.
(실시예 1)
도 2는, 본 발명의 제1 실시예를 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 1의 A-A선 내측에 따르는 정단면도에 상당하는 것, 도 3은, 본 발명의 실시예를 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 1의 B-B선 내측에 따르는 측단면도에 상당하는 것이다. 또한, 본 발명의 구성 요소가 종래 기술과 같은 것에 대해서는, 동일 부호를 붙여 그 설명을 생략하고, 다른 점만 설명한다. 또, 전기자를 캔으로 덮은 가동자를 갖 는 일반적인 캔드 리니어 모터의 전체 구성에 대해서는, 도 1에서 먼저 종래 기술과 본 발명의 공통된 부분을 설명했으므로, 설명을 생략한다.
도 2 및 도 3에 있어서, 131은 접착 수지, 132는 충전 수지, 133은 막음 수지이다.
본 발명의 제1 실시예가 종래 기술과 다른 점은 이하와 같다.
즉, 도 2에 있어서, 결선 기판(111)과 하우징(101)의 사이 및 권선 수납 프레임(112)과 하우징(101)의 사이에 형성되는 공극에 이 공극을 막기 위한 막음 수지(133)를 설치한 점이다. 여기서, 막음 수지(133)에는, 주변 부재의 열팽창을 흡수할 수 있도록 경화 후에 탄력성이 있어, 경화시에 수지가 흘러 늘어지는 일이 없어 막음부에 도포하기 쉬운 특징을 갖는 중점도의 실리콘 수지가 사용된다.
또, 도 3에 있어서, 결선 기판(111) 상에 있어서의 전기자 권선과 리드선을 연결하기 위한 접속 개소를 구성하는 동박 패턴(도시 생략)의 종단에 설치한 랜드(121)의 주위에는, 이 접속 개소를 포함하도록 접착 수지(131)에 의해 코팅하고, 또한, 이 접착 수지(131)의 주위를 충전 수지(132)에 의해 충전하는 구성으로 하고 있다. 여기서, 접착 수지(131)에는, 결선 기판(111)과의 접착력이 매우 높은 에폭시 수지가 사용된다. 충전 수지(132)에는, 접착 수지(131)나 그 주변의 하우징(101), 권선 수납 프레임(112) 등의 열팽창을 흡수할 수 있도록 경화 후도 탄력성이 있어, 경화시에 내부에서 공기 덩어리가 생기기 어렵고, 유동성과 탈포성에도 뛰어난 특징을 갖는 저점도의 실리콘 수지가 사용된다.
다음에 동작을 도 1~도 3을 이용해 설명한다.
리니어 모터 고정자(100)의 단자대(106)에 외부로부터 전력을 공급하고, 전기자 권선(105)에 전류를 통전하면, 전기자 권선이 동손에 의해 발열한다. 이것과 병행하여, 냉매를 고정자(100)의 하우징(101)에 설치한 냉매 공급구(107)에 공급하고 있고, 냉매가 캔(102)과 결선 기판(111)의 사이 및 캔(102)과 권선 수납 프레임(112)의 사이에 일정한 공극이 형성된 냉매 통로(110)를 흐른 후, 냉매 배출구(108)를 향해 배출되고, 냉매가 냉매 통로(110) 중을 순환함으로써, 동손에 의해 발열하는 전기자 권선(105)을 냉각한다. 이때, 결선 기판(111) 상에 있어서의 전기자 권선(105)과 리드선(120)을 연결하기 위한 접속 개소의 주위를 덮은 접착 수지(131)와 충전 수지(132)의 채용에 의해, 냉매가 접착 수지(131)에 직접 침입하는 일이 없어져, 절연 저항 저하나 절연 파괴와 같은 문제가 모두 없어진다. 또, 결선 기판(111)이나 권선 수납 프레임(112)의 주위와 하우징(101)의 사이에 생긴 냉매 통로(110) 내의 공극을 막은 막음 수지(133)의 채용에 의해, 냉매 통로(110) 내에서 냉매의 웅덩이가 없어져, 냉매가 부드럽게 냉매 통로(110) 내를 순환하게 되어, 캔의 표면 온도 상승이 적어짐과 더불어, 냉각 효과가 향상된다.
따라서, 본 발명의 제1 실시예는, 접착 수지로 결선 기판과 리드선의 접속 개소를 포함하도록 코팅했으므로, 접착 수지에 의해 이 접속 개소의 열팽창을 작게 할 수 있으므로 결선 기판과의 열팽창차에 의한 인장력을 저감할 수 있어, 접착 박리를 막을 수 있다.
또, 이 접착 수지의 주위를 충전 수지로 충전하는 구성으로 했으므로, 충전 수지에 의해 접착 수지가 냉매인 물에 직접 닿는 것을 막고, 충전 수지의 흡수를 저감할 수 있어, 흡수에 따르는 접착력 저하도 없앨 수 있다.
따라서, 접착 박리 부분에의 물 침입에 의한 절연 저항 저하나 절연 파괴의 문제를 해소하고, 절연 신뢰성을 향상할 수 있다.
그리고, 결선 기판과 하우징의 사이 및 권선 수납 프레임의 주위와 하우징의 사이에 형성되는 냉매 통로 내의 공극에 막음 수지에 의해 막았기 때문에, 냉매 통로 내에서 냉매의 웅덩이를 저감할 수 있고, 특히 냉매에 순수나 초순수를 사용한 경우에, 순수나 초순수의 비저항의 저감을 억제할 수 있다. 그 결과, 순환계의 냉각 장치의 경우라도, 냉매 그 자체의 비저항을 장기간에 걸쳐 일정하게 할 수 있어 절연 신뢰성을 향상할 수 있다.
그리고, 접착 수지를 에폭시 수지로 하고, 충전 수지와 막음 수지를 경화 후의 탄력성을 갖는 실리콘 수지로 구성했으므로, 접착 수지에서는 부재 간의 접착력을 높일 수 있어, 주변 부재의 열팽창을 흡수할 수 있다.
따라서, 열팽창에 따르는 부재 간의 접착 박리를 막을 수 있어, 박리 부분에의 물 침입에 의한 절연 저항 저하나 절연 파괴의 문제를 해소하여, 절연 신뢰성을 향상할 수 있다.
또한, 전기자와 영구 자석을 갖는 계자를 대향시켜, 전기자와 계자 중 어느 한쪽을 고정자, 다른 쪽을 가동자로서 구성하고 있으므로, 상기의 효과를 갖는 캔드 리니어 모터를 제공할 수 있다.
(실시예 2)
다음에, 제2 실시예에 대해서 설명한다.
도 4는, 본 발명의 제2 실시예를 나타내는 캔드 리니어 모터로서, (a)는 그 전체 사시도, (b)는 (a)의 A-A선 내측에 따르는 정단면도(1/2 모델)에 상당하는 것, 도 5는, 본 발명의 제2 실시예를 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 4의 B-B선 내측에 따르는 측단면도에 상당하는 것, 도 6은, 제2 실시예에 있어서의 도 5의 C-C선 내측에 따르는 평단면도이다. 여기서, 도 4(a)의 전체 사시도는 후술하는 제3 실시예~제5 실시예에 공통된 것으로 되어 있다.
또한, 제2 실시예의 구성 요소가 종래 기술, 제1 실시예와 같은 것에 대해서는, 동일 부호를 붙여 그 설명을 생략하고, 다른 점만 설명한다.
도 5에 있어서, 140은 권선 수납 프레임이다.
본 발명의 제2 실시예가 종래 기술과 다른 점은, 고정자(100)의 구조이며, 이하에 상술한다.
즉, 고정자(100)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 내부를 중공으로 하는 ㅁ자형을 한 금속제의 하우징(101)과, 하우징(101)의 중공부분을 밀폐하기 위해 하우징(101)의 외형을 본뜬 판 형상의 캔(102)과, 캔(102)을 하우징(101)에 고정하기 위한 캔 고정용 볼트(103)와, 캔 고정용 볼트(103)의 관통 구멍을 갖고 캔(102)을 균등한 하중으로서 누르기 위한 누름판(104)과, 하우징(101)의 중공 내에 배치된 전기자 권선(105), 결선 기판(111), 바닥부를 개구하여 이루어지는 오목 형상의 권선 수납 프레임(140)과, 하우징(101)의 중공부보다 조금 크게 본뜬 O링(169)에 의해 구성되어 있다.
결선 기판(111)과 권선 수납 프레임(140)의 외형은 하우징(101)의 중공부보 다 조금 작게 본떠져 있다. 결선 기판(111)은 얇은 판으로 되어 있고, 권선 수납 프레임(140)은 두꺼운 판으로 전기자 권선(105)의 외형보다 조금 크게 커팅한 오목부를 갖고 있다. 전기자 권선(105)은 권선 수납 프레임(140)의 오목부에 수납되어, 결선 기판(111)에 의해 밀폐되고, 그 내부가 몰드 수지(113)에 의해 몰드되어 있다. 또, 전기자 권선(105)은 결선 기판(111)과 전기적으로 접속되어 있다.
이와 같이 구성된 전기자 권선(105)은, 결선 기판(111) 혹은 권선 수납 프레임(140)을 통해 하우징(101)과 기계 체결 수단인 프레임 고정용 볼트(141)에 의해 고정된다. 하우징(101)의 표리의 둘레에는, 주회한 홈이 설치되어 있고, 그 홈에 O링(109)이 배치된다. 그리고, 캔(102)이 하우징(101)의 표리에 배치된다. 캔(102)의 상부로부터 하우징(101)의 둘레에 따라서 누름판 (104)이 설치되고, 캔 고정용 볼트(103)로 단단히 조여져, 캔(102)과 하우징(101)이 고정된다.
이때, 캔(102)과 결선 기판(111)의 사이 및 캔(102)과 권선 수납 프레임(140)의 사이에 일정한 공극이 형성되고, 이 공극이 냉매 통로(110)가 된다. 냉매는 하우징(101)에 설치한 냉매 공급구(107)로부터 공급되고, 냉매 배출구(108)로부터 배출된다. 그 사이에, 냉매는 냉매 통로(110)를 흘러, 동손에 의해 발열하는 전기자 권선(105)을 냉각한다. 또, 냉매에는, 열전도율과 비열이 크고 열회수력이 매우 높은 물(순수 및 초순수도 포함한다)이 사용된다.
한편, 결선 기판(111)에는, 전기자 권선(105)과 리드선(120)을 연결하는 도시하지 않은 동박 패턴이 실시되고, 그 종단에 랜드(121)가 설치되어 있다. 리드선(120)의 일단은 랜드(121)와 땜납 접속되어 있다. 랜드(121)의 부분은 권선 수 납 프레임(140)의 오목부 내에 수납되고, 리드선(120)은 권선 수납 프레임(140)과 하우징(101)의 접합면을 향해서 인출되어 있다. 권선 수납 프레임(140)의 오목부 내는, 리드선(120), 코일(105), 결선 기판(111)과 일체로 몰드 수지에 의해서 충전되어 고착되어 있다. 접합면으로부터 인출된 리드선(120)은 단자대(106)와 연결되어 있다. 리드선(120)과 하우징(101)의 사이에는, 충전 수지(132)에 의해 충전되어 있다. 충전 수지(132)는, 리드선(120)을 하우징(101)에 배치시킨 후에 충전할 수 있도록 유동성이 좋고, 또, 하우징의 열팽창을 흡수할 수 있도록 탄력성이 풍부한 실리콘 수지가 사용된다.
따라서, 본 발명의 제2 실시예는, 권선 수납 프레임과 결선 기판과 리드선이 몰드 수지에 의해 일체로 몰드되므로, 각 부재 간의 접착력이 강화된다. 또, 이들 구성 부재는 에폭시계의 저흡수 부재이며, 온도 상승이 생겼다고 해도, 흡수에 의한 접착력의 저하가 생기기 어려운 것이 된다. 따라서, 접착력이 현격히 강화된 것으로, 종래 기술에서 생긴 접착 박리를 막을 수 있어, 물 침입에 의한 절연 저항 저하나 절연 파괴의 문제를 해소할 수 있다. 그리고, 절연 신뢰성을 비약적으로 향상할 수 있다.
(실시예 3)
다음에, 제3 실시예에 대해서 설명한다.
도 7은, 본 발명의 제3 실시예를 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 4의 B-B＇선 내측에 따르는 측단면도에 상당하는 것, 도 8은, 제3 실시예에 있어서의 도 7의 C-C＇선 내측에 따르는 평단면도이다.
도 7, 8에 있어서, 101a는 하우징, 140a는 권선 수납 프레임, 142는 리드부 O링, 143은 O링용 볼트, 144는 O링 누름 부재이다.
본 발명의 제3 실시예가 제2 실시예와 다른 점은, 하우징(101a)과 권선 수납 프레임(140a)의 접합면에, 리드선(120)을 포함하도록 고무제 시일 부재인 리드부 O링(142)을 설치한 점이다. 그 때문에, 하우징(101a)에는 리드부 O링(142)용의 홈, O링용 볼트(143)를 통하는 구멍이 새롭게 설치되어 있다. 권선 수납 프레임(140a)에는, O링 누름 부재(144)가 매설되는 홈이 설치되어 있다. O링용 볼트(143)를 돌리면, O링 누름 부재(144)가 조여져, 권선 수납 프레임(140a)과 하우징(101a)이 밀착하도록 되어 있다. 그때, 리드부 O링(142)이 소정량으로 눌려, 권선 수납 프레임(140a)과 하우징(101a)이 시일된다. 또, 리드부 O링(142)에 의해 내부가 시일되므로, 종래 기술에서 설치하고 있던 충전 수지는 배제되어 있다.
따라서, 본 발명의 제3 실시예는 이러한 구성으로 했으므로, 접합면으로부터 권선 수납 프레임 내부 및 단자대에의 물 침입을 막을 수 있어, 절연 저항 저하나 절연 파괴의 문제를 또한 해소하고, 절연 신뢰성을 향상할 수 있다. 또한, 충전 작업을 없애고, 용이하고 단시간에 작업할 수 있는 고무제 시일 부재의 O링으로 치환하는 구성으로 하고 있으므로, 조립 작업성도 향상할 수 있다.
(실시예 4)
다음에, 제4 실시예에 대해 설명한다.
도 9는, 본 발명의 제4 실시예를 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 4의 B-B선 내측에 따르는 측단면도에 상당하는 것, 도 10은, 제4 실시예에 있어서의 도 9 의 C-C선 내측에 따르는 평단면도이다.
도 9, 도 10에 있어서, 101b는 하우징, 140b는 권선 수납 프레임이다.
제4 실시예가 종래 기술, 제1~제3 실시예와 다른 점은, 하우징(101b)과 권선 수납 프레임(140b)의 접합면이 기울어져 구성되어 있는 점이다.
여기서, 하우징(101b)과 권선 수납 프레임(140b)의 체결 수단인 프레임 고정용 볼트(141)는, 수직 방향으로 체결되게 되어 있다. 또, 청구항 2에서 설치되어 있던 O링용 볼트나 O링 누름 부재는 배제되어 있다. 권선 수납 프레임(140b)과 하우징(101b)을 프레임 고정용 볼트(141)로 조여 고정하면, 하우징(101b)과 권선 수납 프레임(140b)의 접합면이 밀착하고, 리드부 O링(142)이 소정량으로 눌려 접합면의 시일이 확보되게 되어 있다.
따라서, 본 발명의 제4 실시예는 이러한 구성으로 했으므로, 제3 실시예에 비해 용이한 조립으로 접합면의 밀착성을 유지하고, 고무제 시일 부재인 리드부 O링의 시일성을 확보할 수 있다. 나아가서는, 절연 신뢰성을 향상하면서, 제3 실시예보다 조립 작업성을 향상할 수 있다.
(실시예 5)
다음에 제5 실시예에 대해서 설명한다.
도 11은, 본 발명의 제5 실시예를 나타내는 캔드 리니어 모터로서, 도 4의 B-B선 내측에 따르는 측단면도에 상당하는 것이다.
도 11에 있어서, 120a는 리드선, 140c는 권선 수납 프레임, 145는 프린트 기판이다.
제5 실시예가 제3 실시예와 다른 점은, 권선 수납 프레임(140c)으로부터 인출된 리드선을 프린트 기판(145)으로 변경한 점이다. 권선 수납 프레임(140c)의 오목부 내는, 랜드(121)와 짧은 리드선(120a)이 땜납 접합되고, 리드선의 또 한 단이 프린트 기판(145)과 땜납 접합되어 있다. 프린트 기판(145)은 평판 형상의 유리 에폭시 수지를 기재로 하고 있고, 표면 혹은 내부에 동박의 패턴이 형성되어 있다. 그리고, 권선 수납 프레임(140c)으로부터 인출된 프린트 기판(145)의 일단과 단자대(106)가 전기적으로 접합되어 있다.
따라서, 본 발명의 제5 실시예는 이러한 구성으로 했으므로, 프린트 기판과 하우징의 사이의 접촉을 막을 수 있고, 절연 간격을 넓힘으로써 절연 신뢰성을 향상할 수 있다. 또한, 리드선이 다수 있는 경우라도, 종래 리드선 사이에 생긴 공기 덩어리를 생기게 하는 일이 없다. 따라서, 제2 실시예와 같이 리드부 O링을 설치하지 않는 구조라도, 공기 덩어리의 물 침입에 의한 절연 저항 저하나 절연 파괴의 문제를 해소하고, 절연 신뢰성을 향상할 수 있다.
또한, 제1 실시예~제5 실시예에서는, 고정자에 전기자 권선, 가동자에 계자 영구 자석을 갖는 구조로서 설명했지만, 고정자에 계자 영구 자석, 가동자에 전기자 권선을 배치하는 구조여도 된다.
또, 제1 실시예~제5 실시예에서는, 가동자의 형상을 ㅁ자형으로 했지만, 오목형 또는 단지 한쪽에 영구 자석을 나열한 구조로 해도, 본 발명이 완성되는 것은 말할 것도 없다.
또, 전기자 권선을 복수의 집중권 코일로 구성되는 3상의 교류 리니어 모터 로서 설명했지만, 집중권 코일을 1개 설치한 보이스 코일 모터(VCM)로 하거나, 복수 개의 집중권 코일을 1개의 전기자에 설치하여, 복수 대의 가동자를 구동 가능하게 한 VCM으로 해도 된다.
또, 제3 실시예~제5 실시예에서는, 고무제 시일 부재를 O링으로서 설명했지만, 평판 형상의 패킹이어도 된다.
또, 제5 실시예에서는 프린트 기판을 평판 형상의 유리 에폭시 수지로 설명했지만, 굽힘이 가능한 플렉서블 프린트 기판으로 해도 된다.
또, 코일의 결선 기판과 프린트 기판을 나누어 설명했지만, 이것들을 일체로 한 구성이어도 된다.
본 발명에 의하면, 리니어 모터 전기자의 결선 기판과 리드선의 접속 개소를 포함하도록 접착 수지로 코팅하는 구성, 혹은 권선 수납 프레임과 결선 기판과 리드선을 몰드 수지에 의해 일체로 몰드하는 구성으로 했으므로, 접착 박리를 막을 수 있고, 물 침입에 의한 절연 저항 저하나 절연 파괴의 문제를 해소하여, 절연 신뢰성을 비약적으로 향상할 수 있기 때문에, 리니어 모터 본체의 온도 상승 저감과 절연 신뢰성 향상이 요구되는 반도체 노광 장치나 검사 장치 등의 용도에 적용할 수 있다.

Claims (9)

  1. 평판 형상으로 형성된 코일로 이루어지는 전기자 권선과,
    상기 전기자 권선을 수납하기 위해서 바닥부를 개구하여 이루어지는 오목 형상의 권선 수납 프레임과,
    상기 권선 수납 프레임의 개구부를 밀폐함과 더불어 상기 전기자 권선을 결선하는 평판 형상의 결선 기판과,
    상기 권선 수납 프레임과 상기 결선 기판으로 밀폐하여 이루어지는 상기 전기자 권선을 둘러싸도록 액자 형상으로 형성된 금속제의 하우징과,
    상기 하우징의 양 개구부를 밀폐하는 캔과,
    상기 캔과 상기 권선 수납 프레임의 사이 및 상기 캔과 상기 결선 기판의 사이에 각각 형성된 냉매 통로와,
    상기 결선 기판을 접속하는 리드선을 구비한 캔드 리니어 모터 전기자에 있어서,
    상기 결선 기판과 상기 리드선의 접속 개소의 주위에는 상기 접속 개소를 포함하도록 접착 수지에 의해 코팅하고, 또한, 상기 접착 수지의 주위를 충전 수지에 의해 충전하는 구성으로 한 것을 특징으로 하는 캔드 리니어 모터 전기자.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 결선 기판과 상기 하우징의 사이 및 상기 권선 수납 프레임과 상기 하우징의 사이에 형성되는 공극에 상기 공극을 막기 위한 막음 수지를 설치한 것을 특징으로 하는 캔드 리니어 모터 전기자.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 접착 수지를 에폭시 수지로 구성하고, 상기 충전 수지를 실리콘 수지로 구성한 것을 특징으로 하는 캔드 리니어 모터 전기자.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 막음 수지를 실리콘 수지로 구성한 것을 특징으로 하는 캔드 리니어 모터 전기자.
  5. 평판 형상으로 형성된 코일로 이루어지는 전기자 권선과,
    상기 전기자 권선을 수납하기 위한 바닥부를 개구하여 이루어지는 오목 형상의 권선 수납 프레임과,
    상기 권선 수납 프레임의 개구부를 밀폐함과 더불어 상기 전기자 권선을 결선하는 평판 형상의 결선 기판과,
    상기 권선 수납 프레임을 액자 형상으로 둘러싸도록 설치한 금속제의 하우징과,
    상기 하우징의 양 개구부를 밀폐하는 캔과,
    상기 캔과 상기 권선 수납 프레임의 사이 및 상기 캔과 상기 결선 기판의 사 이에 각각 형성된 냉매 통로와,
    상기 결선 기판을 접속하는 리드선을 구비한 캔드 리니어 모터 전기자에 있어서,
    상기 권선 수납 프레임의 오목부 내에 상기 결선 기판과 상기 리드선의 접속 개소를 배치하고, 오목부 내를 몰드 수지로 충전한 것을 특징으로 하는 캔드 리니어 모터 전기자.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 권선 수납 프레임과 상기 하우징의 사이의 접합면을 향해서 상기 권선 수납 프레임으로부터 상기 리드선을 인출함과 더불어, 상기 리드선의 주위를 포함하도록 상기 접합면에 고무제 시일 부재를 설치한 것을 특징으로 하는 캔드 리니어 모터 전기자.
  7. 청구항 5 또는 청구항 6에 있어서,
    상기 하우징과 상기 권선 수납 프레임의 사이에, 상기 하우징와 상기 권선 수납 프레임을 기계적으로 체결하기 위한 프레임용 고정 볼트를 설치함과 더불어, 상기 프레임용 고정 볼트의 체결 방향에 대해 상기 접합면을 기울어지게 하여 구성한 것을 특징으로 하는 캔드 리니어 모터 전기자.
  8. 청구항 5 또는 청구항 6에 있어서,
    상기 리드선을 동박으로 형성한 프린트 기판에 의해 구성한 것을 특징으로 하는 캔드 리니어 모터 전기자.
  9. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 기재된 캔드 리니어 모터 전기자와,
    상기 전기자와 자기적 공극을 통해 대향 배치됨과 더불어 교호로 극성이 다른 복수의 영구 자석을 서로 이웃하게 하여 나란히 배치한 계자(界磁)를 구비하고,
    상기 전기자와 상기 계자 중 어느 한쪽을 고정자로, 다른 쪽을 가동자로 하여, 상기 계자와 상기 전기자를 상대적으로 주행하도록 한 것을 특징으로 하는 캔드 리니어 모터.
KR1020087009342A 2005-10-18 2006-09-08 캔드 리니어 모터 전기자 및 캔드 리니어 모터 KR101222713B1 (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005302401 2005-10-18
JPJP-P-2005-00302401 2005-10-18
PCT/JP2006/317849 WO2007046200A1 (ja) 2005-10-18 2006-09-08 キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080063772A KR20080063772A (ko) 2008-07-07
KR101222713B1 true KR101222713B1 (ko) 2013-01-15

Family

ID=37962299

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020087009342A KR101222713B1 (ko) 2005-10-18 2006-09-08 캔드 리니어 모터 전기자 및 캔드 리니어 모터

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7635929B2 (ko)
JP (1) JP4524803B2 (ko)
KR (1) KR101222713B1 (ko)
CN (1) CN101292412B (ko)
DE (1) DE112006002862T5 (ko)
TW (1) TW200733517A (ko)
WO (1) WO2007046200A1 (ko)

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006038563A1 (ja) 2004-10-01 2006-04-13 Nikon Corporation リニアモータ、ステージ装置、及び露光装置
WO2008066216A2 (en) * 2006-12-01 2008-06-05 Lg Electronics Inc. Motor
JP4819745B2 (ja) * 2007-05-08 2011-11-24 住友重機械工業株式会社 リニアモータ及びリニアモータの製造方法
CN101657956B (zh) * 2007-06-13 2013-01-16 株式会社安川电机 密封直线电动机电枢以及密封直线电动机
DE102007038847A1 (de) * 2007-08-16 2009-02-19 Dorma Gmbh + Co. Kg Stator für einen Linearmotor
KR101431829B1 (ko) * 2007-10-30 2014-08-21 엘지전자 주식회사 모터 및 그 모터를 이용하는 세탁기
US8829740B2 (en) * 2010-05-27 2014-09-09 Rockwell Automation Technologies, Inc. Sealed linear motor system
JP5495961B2 (ja) * 2010-06-09 2014-05-21 富士電機機器制御株式会社 Ｌｅｄユニット
KR101171706B1 (ko) * 2011-09-20 2012-08-06 삼성전기주식회사 선형 진동자
KR101179329B1 (ko) * 2011-11-03 2012-09-03 삼성전기주식회사 선형 진동자
DE102012204919A1 (de) 2012-03-27 2013-10-02 Beckhoff Automation Gmbh Statorvorrichtung für einen linearmotor und lineares transportsystem
JP5859360B2 (ja) * 2012-03-27 2016-02-10 住友重機械工業株式会社 リニアモータ冷却構造
DE102012204917A1 (de) 2012-03-27 2013-10-02 Beckhoff Automation Gmbh Positionserfassungsvorrichtung und Verfahren zum Erfassen einer Position eines beweglichen Elements einer Antriebsvorrichtung
JP5859361B2 (ja) * 2012-03-27 2016-02-10 住友重機械工業株式会社 リニアモータ冷却構造
DE102012204916A1 (de) 2012-03-27 2013-10-02 Beckhoff Automation Gmbh Statorvorrichtung für einen Linearmotor und lineares Transportsystem
CN103595330B (zh) * 2013-09-30 2015-08-12 哈尔滨工业大学 双绕组音圈电机推力补偿系统
CN103607150B (zh) * 2013-09-30 2016-04-13 哈尔滨工业大学 双绕组音圈电机推力补偿系统
AT14221U1 (de) * 2014-05-19 2015-06-15 Tridonic Gmbh & Co Kg Leuchtmittel mit LED und Verfahren zur Montage
JP6734089B2 (ja) * 2016-03-28 2020-08-05 キヤノントッキ株式会社 真空用リニアモータの可動子
US10989205B2 (en) 2016-07-25 2021-04-27 Delta Electronics, Inc. Micro fan
CN107659004A (zh) * 2016-07-25 2018-02-02 台达电子工业股份有限公司 微型风扇
CN107666229A (zh) * 2016-07-29 2018-02-06 上海微电子装备（集团）股份有限公司 一种音圈电机
CN109450185A (zh) * 2018-12-29 2019-03-08 苏州贝得科技有限公司 一种磁悬浮直线电机的引出线绝缘密封工艺及其密封结构
TWI715966B (zh) * 2019-04-12 2021-01-11 直得科技股份有限公司 線性馬達構造
DE102020117266A1 (de) 2020-07-01 2022-01-05 Dr. Ing. H.C. F. Porsche Aktiengesellschaft Statoranordnung für eine Elektromaschine

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004023960A (ja) 2002-06-19 2004-01-22 Nikon Corp リニアモータ装置、ステージ装置及び露光装置
WO2005112233A1 (ja) 2004-05-18 2005-11-24 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3659354A (en) * 1970-10-21 1972-05-02 Mitre Corp Braille display device
US6084319A (en) * 1996-10-16 2000-07-04 Canon Kabushiki Kaisha Linear motor, and stage device and exposure apparatus provided with the same
JP3832556B2 (ja) * 2000-02-25 2006-10-11 株式会社安川電機 キャンド・リニアモータ
JP2004148203A (ja) 2002-10-30 2004-05-27 Mitsubishi Paper Mills Ltd 塗布物の製造方法
JP2004312877A (ja) 2003-04-07 2004-11-04 Yaskawa Electric Corp キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004023960A (ja) 2002-06-19 2004-01-22 Nikon Corp リニアモータ装置、ステージ装置及び露光装置
WO2005112233A1 (ja) 2004-05-18 2005-11-24 Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ

Also Published As

Publication number Publication date
DE112006002862T5 (de) 2008-11-13
TWI323546B (ko) 2010-04-11
KR20080063772A (ko) 2008-07-07
CN101292412A (zh) 2008-10-22
JP4524803B2 (ja) 2010-08-18
TW200733517A (en) 2007-09-01
CN101292412B (zh) 2011-01-12
US20080265691A1 (en) 2008-10-30
JPWO2007046200A1 (ja) 2009-04-23
US7635929B2 (en) 2009-12-22
WO2007046200A1 (ja) 2007-04-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101222713B1 (ko) 캔드 리니어 모터 전기자 및 캔드 리니어 모터
US7663270B2 (en) Canned linear motor armature and canned linear motor
US9893588B2 (en) Motor housing with cooling channel and resin injected winding ends for improved heat transfer
KR100757709B1 (ko) 코어리스 리니어 모터 및 캔드 리니어 모터
KR100764544B1 (ko) 방수형 단자대 유닛
JP4636390B2 (ja) キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ
JP2010166705A (ja) コアレスリニアモータ電機子およびコアレスリニアモータ
JP2007159286A (ja) リニアモータ
CN108233562B (zh) 一种电机定子模块、电机定子和径向磁通电机
JP5088534B2 (ja) エポキシ樹脂組成物を用いたキャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ
JP2007336765A (ja) 冷媒冷却リニアモータ電機子および冷媒冷却リニアモータ
JP6940947B2 (ja) 回転機械用モータ、回転機械及び回転機械用モータの製造方法
JP2006042486A (ja) 電動機の固定子
JP7400436B2 (ja) モータ、および電動ポンプ
JP2019102469A (ja) 電子制御装置
JP2005137105A (ja) キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ
JP2004297845A (ja) リニアモータ用コイル体
JP2024005487A (ja) ハウジングケース、インバータ装置およびモータ
JP2010259259A (ja) リニアモータの可動子、およびその製造方法
JP2011188622A (ja) キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ
JP2008206281A (ja) キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20151217

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee