JP6734089B2 - 真空用リニアモータの可動子 - Google Patents
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Description
2 固定子
3 可動子
4 収納部
5 蓋部
6 補強リブ
7 コアレスコイル
8 モールド樹脂
Claims (6)
- 複数の磁石が並設された固定子と前記複数の磁石の並設方向に移動する可動子とで構成される真空用リニアモータの前記可動子であって、
複数のコイルが前記並設方向に沿って収納される開口部を有する箱状の収納部と、
前記開口部を閉塞する蓋部と、
を備え、
前記蓋部と対向する前記収納部の底面または前記蓋部には、前記複数のコイルの中空部に位置し該中空部の長手方向に沿って延びる補強リブが設けられ、
前記補強リブと前記蓋部または前記収納部とは締結部材で締結されていることを特徴とする真空用リニアモータの可動子。 - 複数の磁石が並設された固定子と前記複数の磁石の並設方向に移動する可動子とで構成される真空用リニアモータの前記可動子であって、
複数のコアレスコイルが前記並設方向に沿って収納される開口部を有する箱状の収納部と、
前記開口部を閉塞する蓋部と、
を備え、
前記蓋部と対向する前記収納部の底面には、前記複数のコアレスコイルの中空部に位置し該中空部の長手方向に沿って延びる補強リブが一体成形されており、
前記補強リブと前記蓋部とは締結部材で締結されていることを特徴とする真空用リニアモータの可動子。 - 前記補強リブは所定間隔で並設される複数の前記コアレスコイルの各中空部に夫々設けられ、前記各補強リブと前記蓋部とが夫々前記締結部材により締結されていることを特徴とする請求項2に記載の真空用リニアモータの可動子。
- 前記蓋部には、この蓋部及びこの蓋部と締結部材で締結された前記補強リブを冷却する冷却機構が設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の真空用リニアモータの可動子。
- 前記蓋部の厚さは、前記収納部の底面の厚さの10倍以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の真空用リニアモータの可動子。
- 前記コイルが収納された前記収納部と前記蓋部との間にはモールド樹脂が充填されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の真空用リニアモータの可動子。
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