JP2001037200A - リニアモータ、ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
リニアモータ、ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法Info
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- JP2001037200A JP2001037200A JP11204974A JP20497499A JP2001037200A JP 2001037200 A JP2001037200 A JP 2001037200A JP 11204974 A JP11204974 A JP 11204974A JP 20497499 A JP20497499 A JP 20497499A JP 2001037200 A JP2001037200 A JP 2001037200A
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K3/00—Details of windings
- H02K3/04—Windings characterised by the conductor shape, form or construction, e.g. with bar conductors
- H02K3/24—Windings characterised by the conductor shape, form or construction, e.g. with bar conductors with channels or ducts for cooling medium between the conductors
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- H02K3/00—Details of windings
- H02K3/46—Fastening of windings on the stator or rotor structure
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ジャケットの肉薄部の薄さを維持しつつ肉薄
部の強度を向上させる。また、コイルおよびジャケット
部分の固有振動数を高くする。 【解決手段】 磁石と、コイル１ａと、前記コイルを覆
い、内部の空間に冷媒が供給されるジャケット１４，１
４’とを備え、前記ジャケットは、内部に駆動方向に沿
って配置したくしの歯状の形状を有する部材８を有し、
前記コイルを、前記部材のくしの歯の間に挟んで保持す
る。
部の強度を向上させる。また、コイルおよびジャケット
部分の固有振動数を高くする。 【解決手段】 磁石と、コイル１ａと、前記コイルを覆
い、内部の空間に冷媒が供給されるジャケット１４，１
４’とを備え、前記ジャケットは、内部に駆動方向に沿
って配置したくしの歯状の形状を有する部材８を有し、
前記コイルを、前記部材のくしの歯の間に挟んで保持す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体露光装置や
高精度加工機のような精密な位置決めを必要とする装置
等に好適に使用されるリニアモータ、ならびに、これを
用いたステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法
に関する。
高精度加工機のような精密な位置決めを必要とする装置
等に好適に使用されるリニアモータ、ならびに、これを
用いたステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体露光装置や高精度加工機
等で使用されるナノメートルオーダの位置決め装置で
は、駆動源であるリニアモータからの発熱が位置決めに
悪影響を及ぼす。すなわちこの発熱による構造体の熱変
形あるいは空気温度の上昇による位置計測用のレーザ干
渉計における計測誤差等の要因によって、リニアモータ
の搭載された装置の位置決め精度が悪化する。例えば、
１℃の温度変化であっても１００ｍｍの低熱膨張材（熱
膨張係数１×１０-6）は１００ｎｍだけ変形するし、ま
た光干渉式測長計の光路における空気温度の変化が１℃
以下であっても測定値に１００ｎｍの誤差が生じ得る。
したがって、これらの温度変化の防止策としてリニアモ
ータの冷却、特にリニアモータから発生する熱の回収が
必要となっている。
等で使用されるナノメートルオーダの位置決め装置で
は、駆動源であるリニアモータからの発熱が位置決めに
悪影響を及ぼす。すなわちこの発熱による構造体の熱変
形あるいは空気温度の上昇による位置計測用のレーザ干
渉計における計測誤差等の要因によって、リニアモータ
の搭載された装置の位置決め精度が悪化する。例えば、
１℃の温度変化であっても１００ｍｍの低熱膨張材（熱
膨張係数１×１０-6）は１００ｎｍだけ変形するし、ま
た光干渉式測長計の光路における空気温度の変化が１℃
以下であっても測定値に１００ｎｍの誤差が生じ得る。
したがって、これらの温度変化の防止策としてリニアモ
ータの冷却、特にリニアモータから発生する熱の回収が
必要となっている。
【０００３】一方、装置の高性能化に伴い、リニアモー
タの高出力化が要求されており、そのためにコイルに流
れる電流を増やすと、発熱量も大きく増大する。よって
さらなる冷却能力の増強が必要とされる。また、コイル
温度の上昇によるコイル抵抗の増加やコイル線の破損を
防ぐためにも、コイルの冷却能力を高めることは重要で
ある。
タの高出力化が要求されており、そのためにコイルに流
れる電流を増やすと、発熱量も大きく増大する。よって
さらなる冷却能力の増強が必要とされる。また、コイル
温度の上昇によるコイル抵抗の増加やコイル線の破損を
防ぐためにも、コイルの冷却能力を高めることは重要で
ある。
【０００４】図１５は冷却手段を備えた従来のリニアモ
ータの構成を示す断面図である。同図に示すように、こ
のリニアモータは、コイル１とその両側のヨーク２に固
定された永久磁石３を備え、コイル１は肉薄のシート４
および４’ならびにフレーム５によって構成されたジャ
ケット９で覆われている。コイル１は固定具７によって
フレーム５に固定されている。ジャケット９は、その内
部空間６に冷媒を流すように構成されており、これによ
り、コイル１からの発生熱を回収するようにしている。
ータの構成を示す断面図である。同図に示すように、こ
のリニアモータは、コイル１とその両側のヨーク２に固
定された永久磁石３を備え、コイル１は肉薄のシート４
および４’ならびにフレーム５によって構成されたジャ
ケット９で覆われている。コイル１は固定具７によって
フレーム５に固定されている。ジャケット９は、その内
部空間６に冷媒を流すように構成されており、これによ
り、コイル１からの発生熱を回収するようにしている。
【０００５】図１６は他の従来例に係るリニアモータの
断面図である。このリニアモータでは、ヨーク２に固定
された永久磁石３により生じる磁界中（図の上下方向）
のコイル１に電流（図の左右方向）を流すことにより、
コイル１と永久磁石３とが図の紙面に垂直な方向に相対
的に駆動される。その際にコイル１から発生する熱を回
収するため、コイル１をジャケット部分１４および１
４’で構成されるジャケットで覆い、コイル１とジャケ
ット間の隙間に冷媒を流し、その冷媒で熱を回収するよ
うにしている。また、永久磁石３間の距離を小さくし、
発生する磁束密度を大きくすることによってリニアモー
タの推力を上げるために、ジャケットは薄肉になってい
る。
断面図である。このリニアモータでは、ヨーク２に固定
された永久磁石３により生じる磁界中（図の上下方向）
のコイル１に電流（図の左右方向）を流すことにより、
コイル１と永久磁石３とが図の紙面に垂直な方向に相対
的に駆動される。その際にコイル１から発生する熱を回
収するため、コイル１をジャケット部分１４および１
４’で構成されるジャケットで覆い、コイル１とジャケ
ット間の隙間に冷媒を流し、その冷媒で熱を回収するよ
うにしている。また、永久磁石３間の距離を小さくし、
発生する磁束密度を大きくすることによってリニアモー
タの推力を上げるために、ジャケットは薄肉になってい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこれらの
従来例によれば、冷却能力を上げるために冷媒の流量を
増加させると、冷媒の圧力上昇によってジャケットの肉
薄部分が外方向へ変形して、永久磁石に接触したりジャ
ケットが破損する恐れがあるため、これを防ぐためには
ジャケットの肉薄部における強度の確保が必要である。
その一方で、リニアモータの高出力化のためには、永久
磁石の間の距離を小さくして磁束密度を上げることが必
要となり、このために肉薄部分をできるだけ薄くしてジ
ャケットを小型化したいという背反する要求もある。
従来例によれば、冷却能力を上げるために冷媒の流量を
増加させると、冷媒の圧力上昇によってジャケットの肉
薄部分が外方向へ変形して、永久磁石に接触したりジャ
ケットが破損する恐れがあるため、これを防ぐためには
ジャケットの肉薄部における強度の確保が必要である。
その一方で、リニアモータの高出力化のためには、永久
磁石の間の距離を小さくして磁束密度を上げることが必
要となり、このために肉薄部分をできるだけ薄くしてジ
ャケットを小型化したいという背反する要求もある。
【０００７】また、コイルが図１６でみて紙面に垂直な
方向に複数配置された多相のリニアモータにおいては、
このコイルおよびジャケット部分が紙面に垂直な方向に
長尺であるため、これらの固有振動数（弦振動）を高く
して、リニアモータが搭載される高精度位置決め装置へ
の悪影響を減らす必要がある。
方向に複数配置された多相のリニアモータにおいては、
このコイルおよびジャケット部分が紙面に垂直な方向に
長尺であるため、これらの固有振動数（弦振動）を高く
して、リニアモータが搭載される高精度位置決め装置へ
の悪影響を減らす必要がある。
【０００８】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、リニアモータならびにこれを用いたステー
ジ装置、露光装置およびデバイス製造方法において、第
１に肉薄部の薄さを維持しつつ肉薄部の強度を向上させ
ることにある。第２に、コイルおよびジャケット部分の
固有振動数を高くすることにある。
題点に鑑み、リニアモータならびにこれを用いたステー
ジ装置、露光装置およびデバイス製造方法において、第
１に肉薄部の薄さを維持しつつ肉薄部の強度を向上させ
ることにある。第２に、コイルおよびジャケット部分の
固有振動数を高くすることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の第１のリニアモ
ータは、磁石と、コイルと、前記コイルを覆い、内部の
空間に冷媒が供給されるジャケットとを備え、前記ジャ
ケットは、内部に駆動方向に沿って配置したくしの歯状
の形状を有する部材を有し、前記コイルは、前記部材の
くしの歯の間に挟んで保持されることを特徴とする。
ータは、磁石と、コイルと、前記コイルを覆い、内部の
空間に冷媒が供給されるジャケットとを備え、前記ジャ
ケットは、内部に駆動方向に沿って配置したくしの歯状
の形状を有する部材を有し、前記コイルは、前記部材の
くしの歯の間に挟んで保持されることを特徴とする。
【００１０】第２のリニアモータは、第１のリニアモー
タにおいて、前記部材は、前記ジャケットの対向する各
内面上において駆動方向に平行にかつ相互に対向するよ
うに設けた基部と、この対向する基部間を連結している
柱状部とを有し、前記基部により前記コイルを前記各内
面から浮かして支持するとともに前記柱状部により前記
コイルを駆動方向について固定するものであることを特
徴とする。
タにおいて、前記部材は、前記ジャケットの対向する各
内面上において駆動方向に平行にかつ相互に対向するよ
うに設けた基部と、この対向する基部間を連結している
柱状部とを有し、前記基部により前記コイルを前記各内
面から浮かして支持するとともに前記柱状部により前記
コイルを駆動方向について固定するものであることを特
徴とする。
【００１１】第３のリニアモータは、第１または第２の
リニアモータにおいて、前記コイルとして駆動方向に沿
って配列された複数のコイルを有し、その一部のコイル
と他のコイルとは部分的に重ねられ、かつそれによって
相互に干渉しないように端部が曲げられ、かつ中央部が
同一レベルに位置するよう配置されていることを特徴と
する。
リニアモータにおいて、前記コイルとして駆動方向に沿
って配列された複数のコイルを有し、その一部のコイル
と他のコイルとは部分的に重ねられ、かつそれによって
相互に干渉しないように端部が曲げられ、かつ中央部が
同一レベルに位置するよう配置されていることを特徴と
する。
【００１２】第４のリニアモータは、第３のリニアモー
タにおいて、前記ジャケットは、中央の薄肉部分に対し
て外側にへこんだ部分を有し、このへこみ部分に前記コ
イルの曲げられた端部が配置されており、かつこのへこ
み部分によっても中央の薄肉部分が補強されていること
を特徴とする。
タにおいて、前記ジャケットは、中央の薄肉部分に対し
て外側にへこんだ部分を有し、このへこみ部分に前記コ
イルの曲げられた端部が配置されており、かつこのへこ
み部分によっても中央の薄肉部分が補強されていること
を特徴とする。
【００１３】第５のリニアモータは、磁石と、コイル
と、前記コイルを覆い、内部の空間に冷媒が供給される
ジャケットとを備え、前記ジャケットは、駆動方向に平
行に設けられた、該ジャケットを補強する補強部を具備
することを特徴とする。
と、前記コイルを覆い、内部の空間に冷媒が供給される
ジャケットとを備え、前記ジャケットは、駆動方向に平
行に設けられた、該ジャケットを補強する補強部を具備
することを特徴とする。
【００１４】第６のリニアモータは、第５のリニアモー
タにおいて、前記補強部は、前記ジャケットの外側に設
けられていることを特徴とする。
タにおいて、前記補強部は、前記ジャケットの外側に設
けられていることを特徴とする。
【００１５】第７のリニアモータは、第５または第６の
リニアモータにおいて、前記補強部は、前記磁石と前記
コイルが相対移動するときに干渉しない位置に設けられ
ていることを特徴とする。
リニアモータにおいて、前記補強部は、前記磁石と前記
コイルが相対移動するときに干渉しない位置に設けられ
ていることを特徴とする。
【００１６】第８のリニアモータは、第５〜第７のいず
れかのリニアモータにおいて、前記補強部はアルミ、セ
ラミック、または樹脂で構成されていることを特徴とす
る。
れかのリニアモータにおいて、前記補強部はアルミ、セ
ラミック、または樹脂で構成されていることを特徴とす
る。
【００１７】第９のリニアモータは、第５〜第７のいず
れかのリニアモータにおいて、前記補強部は前記ジャケ
ットと一体になっており、かつ前記永久磁石とコイルと
が対向している前記ジャケット部分のレベルからみて凸
形状となった部分として構成されていることを特徴とす
る。
れかのリニアモータにおいて、前記補強部は前記ジャケ
ットと一体になっており、かつ前記永久磁石とコイルと
が対向している前記ジャケット部分のレベルからみて凸
形状となった部分として構成されていることを特徴とす
る。
【００１８】第１０のリニアモータは、第９のリニアモ
ータにおいて、前記一体となっているジャケットと補強
部は、セラミックまたは樹脂製であることを特徴とす
る。
ータにおいて、前記一体となっているジャケットと補強
部は、セラミックまたは樹脂製であることを特徴とす
る。
【００１９】第１１のリニアモータは、第９または第１
０のリニアモータにおいて、前記ジャケットの凸形状部
分は内側からのへこみとして形成されており、そのへこ
みに前記コイルの一部が位置していることを特徴とす
る。
０のリニアモータにおいて、前記ジャケットの凸形状部
分は内側からのへこみとして形成されており、そのへこ
みに前記コイルの一部が位置していることを特徴とす
る。
【００２０】第１２のリニアモータは、第５〜第１１の
いずれかのリニアモータにおいて、前記ジャケットの駆
動方向に垂直に切断した断面の上半分および下半分のう
ちのいずれか一方または双方が凹形状であることを特徴
とする。
いずれかのリニアモータにおいて、前記ジャケットの駆
動方向に垂直に切断した断面の上半分および下半分のう
ちのいずれか一方または双方が凹形状であることを特徴
とする。
【００２１】第１３のリニアモータは、第１〜第１２の
いずれかのリニアモータにおいて、前記ジャケットは、
リニアモータにより駆動される構成要素のガイドとなっ
ていることを特徴とする。
いずれかのリニアモータにおいて、前記ジャケットは、
リニアモータにより駆動される構成要素のガイドとなっ
ていることを特徴とする。
【００２２】本発明のステージ装置は、第１〜第１３の
いずれかのリニアモータを、ステージを駆動する手段と
して具備することを特徴とする。
いずれかのリニアモータを、ステージを駆動する手段と
して具備することを特徴とする。
【００２３】本発明の露光装置は、本発明のステージ装
置、およびこのステージ装置によって位置合せされた基
板に対して露光を行なう手段を具備することを特徴とす
る。
置、およびこのステージ装置によって位置合せされた基
板に対して露光を行なう手段を具備することを特徴とす
る。
【００２４】そして本発明のデバイス製造方法は、本発
明の露光装置を用いて基板の露光を行なうことによりデ
バイスを製造することを特徴とする。
明の露光装置を用いて基板の露光を行なうことによりデ
バイスを製造することを特徴とする。
【００２５】これら本発明の構成において、くしの歯状
の形状を有する部材または補強部はジャケット内の冷媒
による圧力に対するジャケットの強度を強化しているた
め、冷媒の圧力を増大させてもあるいはジャケットを小
型化してもジャケットの変形や破損が抑えられる。した
がって、従来以上に高出力化を果たしたリニアモータが
提供され、さらにはこのリニアモータを使用した優れた
ステージ装置、露光装置、デバイス製造方法等が提供さ
れることになる。また、くしの歯状の形状を有する部材
または補強部はリニアモータ内の空きスペースを利用し
て設けられているため、リニアモータを大型化させるこ
となく、ジャケットの変形や破損が防止され、冷却効率
が向上する。また、くしの歯状の形状を有する部材また
は補強部によりジャケットが高剛性化するため、ジャケ
ットの固有振動数が高くなり、リニアモータが搭載され
る精密位置決め装置や精密加工機などの精度向上が図ら
れることになる。
の形状を有する部材または補強部はジャケット内の冷媒
による圧力に対するジャケットの強度を強化しているた
め、冷媒の圧力を増大させてもあるいはジャケットを小
型化してもジャケットの変形や破損が抑えられる。した
がって、従来以上に高出力化を果たしたリニアモータが
提供され、さらにはこのリニアモータを使用した優れた
ステージ装置、露光装置、デバイス製造方法等が提供さ
れることになる。また、くしの歯状の形状を有する部材
または補強部はリニアモータ内の空きスペースを利用し
て設けられているため、リニアモータを大型化させるこ
となく、ジャケットの変形や破損が防止され、冷却効率
が向上する。また、くしの歯状の形状を有する部材また
は補強部によりジャケットが高剛性化するため、ジャケ
ットの固有振動数が高くなり、リニアモータが搭載され
る精密位置決め装置や精密加工機などの精度向上が図ら
れることになる。
【００２６】
【実施例】［実施例１］図１は本発明の第１の実施例に
係るリニアモータのジャケットを分解して示す斜視図で
あり、図２はこのジャケットの内部に設置されるコイル
の組合せの一例を示す斜視図であり、図３はこのジャケ
ットを用いたリニアモータの駆動方向に垂直な断面図で
あり、そして図４はこのリニアモータの駆動方向に沿っ
た断面図である。これらの図において、１ａは平コイ
ル、１４および１４’はジャケットを構成するジャケッ
ト部分、８はジャケット部分１４および１４’に設けら
れたくし歯構造である。電流が流れるコイル１ａは、ジ
ャケット部分１４および１４’によって形成されるジャ
ケットの内部に配置され、ジャケット部分１４および１
４’で構成されたくし歯構造８の凹部に接着剤などを用
いて固定されている。１ｂは曲げコイルであり、図２に
示すように、平コイル１ａの空芯部に曲げコイル１ｂの
一部が入り込んでいる。この１組のコイルを複数組並べ
たものが、ジャケットで覆われている。図１では平コイ
ル１ａのみしか描かれていないが、曲げコイル１ｂも平
コイル１ａに対して図２の位置関係で配置される。くし
歯構造８は、ジャケットの対向する各内面上において駆
動方向に平行にかつ相互に対向するように設けた基部１
１と、この対向する基部間を連結している柱状部１２と
を有し、基部１１によりコイル１ａおよび１ｂを各内面
から浮かして支持するとともに柱状部１２によりコイル
１ａおよび１ｂを駆動方向について固定している。
係るリニアモータのジャケットを分解して示す斜視図で
あり、図２はこのジャケットの内部に設置されるコイル
の組合せの一例を示す斜視図であり、図３はこのジャケ
ットを用いたリニアモータの駆動方向に垂直な断面図で
あり、そして図４はこのリニアモータの駆動方向に沿っ
た断面図である。これらの図において、１ａは平コイ
ル、１４および１４’はジャケットを構成するジャケッ
ト部分、８はジャケット部分１４および１４’に設けら
れたくし歯構造である。電流が流れるコイル１ａは、ジ
ャケット部分１４および１４’によって形成されるジャ
ケットの内部に配置され、ジャケット部分１４および１
４’で構成されたくし歯構造８の凹部に接着剤などを用
いて固定されている。１ｂは曲げコイルであり、図２に
示すように、平コイル１ａの空芯部に曲げコイル１ｂの
一部が入り込んでいる。この１組のコイルを複数組並べ
たものが、ジャケットで覆われている。図１では平コイ
ル１ａのみしか描かれていないが、曲げコイル１ｂも平
コイル１ａに対して図２の位置関係で配置される。くし
歯構造８は、ジャケットの対向する各内面上において駆
動方向に平行にかつ相互に対向するように設けた基部１
１と、この対向する基部間を連結している柱状部１２と
を有し、基部１１によりコイル１ａおよび１ｂを各内面
から浮かして支持するとともに柱状部１２によりコイル
１ａおよび１ｂを駆動方向について固定している。
【００２７】図３において、２および２’はヨーク、３
および３’は永久磁石である。コイル１ａおよび１ｂ部
分には、永久磁石３および３’やヨーク２および２’で
構成される磁気回路により磁界が生じており、コイル１
ａおよび１ｂに電流を流すことにより、コイル１ａおよ
び１ｂと永久磁石３および３’とは逆向きに、図の紙面
に垂直な方向に相対的に駆動する。図３中の磁界が生じ
ている部分（図２ではＭの部分）では、曲げコイル１ｂ
が平コイル１ａの空芯部に入っているので、磁界の生じ
る空間のギャップを短くすることができ、したがって磁
界を大きくすることができる。また、曲げコイル１ｂの
両端部は平コイル１ａの上側に曲げられているため、ジ
ャケット部分１４’もその形状に合わせてコイル部分が
くり貫かれ、へこんでいる。
および３’は永久磁石である。コイル１ａおよび１ｂ部
分には、永久磁石３および３’やヨーク２および２’で
構成される磁気回路により磁界が生じており、コイル１
ａおよび１ｂに電流を流すことにより、コイル１ａおよ
び１ｂと永久磁石３および３’とは逆向きに、図の紙面
に垂直な方向に相対的に駆動する。図３中の磁界が生じ
ている部分（図２ではＭの部分）では、曲げコイル１ｂ
が平コイル１ａの空芯部に入っているので、磁界の生じ
る空間のギャップを短くすることができ、したがって磁
界を大きくすることができる。また、曲げコイル１ｂの
両端部は平コイル１ａの上側に曲げられているため、ジ
ャケット部分１４’もその形状に合わせてコイル部分が
くり貫かれ、へこんでいる。
【００２８】また、図４に示すように、磁界が生じてい
る部分のコイル１ａおよび１ｂは同じ高さにあり、コイ
ル１ａおよび１ｂはくし歯構造８により固定され、ジャ
ケットとコイル１ａおよび１ｂの間に空間が存在する。
なお、同図においては、磁気回路（永久磁石やヨーク）
の図示は省略されている。
る部分のコイル１ａおよび１ｂは同じ高さにあり、コイ
ル１ａおよび１ｂはくし歯構造８により固定され、ジャ
ケットとコイル１ａおよび１ｂの間に空間が存在する。
なお、同図においては、磁気回路（永久磁石やヨーク）
の図示は省略されている。
【００２９】ジャケット部分１４と１４’は、接着剤ま
たはボルトで固定および封止され、ジャケットとコイル
１ａおよび１ｂとの間の空間に温度制御された冷媒を流
してコイル１ａおよび１ｂから発生する熱を回収するよ
うになっている。これによりコイル１ａおよび１ｂ自体
の温度上昇や、リニアモータに搭載されている装置やそ
のまわりの雰囲気の温度上昇を抑えている。また、ジャ
ケット部分１４に設けられたくし歯部分８の柱状部１２
は、ジャケット１４’側の基部１１に固定されているた
め、冷媒の内圧でジャケットが外側へ変形するのを抑え
ている。また、曲げコイル１ｂの両端部を収容している
ジャケット部分１４’のへこんだ部分は磁界が付与され
るジャケットの薄肉部分を補強している。
たはボルトで固定および封止され、ジャケットとコイル
１ａおよび１ｂとの間の空間に温度制御された冷媒を流
してコイル１ａおよび１ｂから発生する熱を回収するよ
うになっている。これによりコイル１ａおよび１ｂ自体
の温度上昇や、リニアモータに搭載されている装置やそ
のまわりの雰囲気の温度上昇を抑えている。また、ジャ
ケット部分１４に設けられたくし歯部分８の柱状部１２
は、ジャケット１４’側の基部１１に固定されているた
め、冷媒の内圧でジャケットが外側へ変形するのを抑え
ている。また、曲げコイル１ｂの両端部を収容している
ジャケット部分１４’のへこんだ部分は磁界が付与され
るジャケットの薄肉部分を補強している。
【００３０】本実施例によれば、冷媒の圧力を上げ、あ
るいはジャケットのシートを薄くしても、ジャケットの
変形や破損を抑えることができる。したがって、冷媒の
流量を増大させて冷却効率を向上させることができると
ともに、ジャケットの小型化を図ることができ、ひいて
はリニアモータの推力を向上させることができる。
るいはジャケットのシートを薄くしても、ジャケットの
変形や破損を抑えることができる。したがって、冷媒の
流量を増大させて冷却効率を向上させることができると
ともに、ジャケットの小型化を図ることができ、ひいて
はリニアモータの推力を向上させることができる。
【００３１】［実施例２］図５は本発明の第２の実施例
に係るリニアモータのジャケット部分の構成を示す、リ
ニアモータの駆動方向に垂直な断面図であり、図６はそ
の駆動方向に沿った断面図である。いずれの図において
も、磁気回路（永久磁石やヨーク）の図示は省略されて
いる。図３や図４の例では、ジャケット部分１４および
１４’の結合面はコイル１ａの上面と同レベルであるの
に対し、本実施例では、その結合面がコイル１ａの中央
部にある。このように、ジャケット部分１４および１
４’の接合面は、図の高さ方向に変更することができ
る。他の構成や作用は実施例１の場合と同様である。ま
た、本実施例によっても実施例１の場合と同様の効果を
奏する。
に係るリニアモータのジャケット部分の構成を示す、リ
ニアモータの駆動方向に垂直な断面図であり、図６はそ
の駆動方向に沿った断面図である。いずれの図において
も、磁気回路（永久磁石やヨーク）の図示は省略されて
いる。図３や図４の例では、ジャケット部分１４および
１４’の結合面はコイル１ａの上面と同レベルであるの
に対し、本実施例では、その結合面がコイル１ａの中央
部にある。このように、ジャケット部分１４および１
４’の接合面は、図の高さ方向に変更することができ
る。他の構成や作用は実施例１の場合と同様である。ま
た、本実施例によっても実施例１の場合と同様の効果を
奏する。
【００３２】［実施例３］図７は本発明の第３の実施例
に係るリニアモータにおけるジャケット部分の構成を示
す、リニアモータの駆動方向に垂直な断面図であり、図
８はその駆動方向に沿った断面図である。いずれの図に
おいても、磁気回路（永久磁石やヨーク）の図示は省略
されている。実施例１においては、１つの平コイル１ａ
と１つの曲げコイル１ｂとが１組となっていたが、本実
施例においては、１つの平コイル１ａと２つの曲げコイ
ル１ｂおよび１ｃとが１組となっている。図８に示すよ
うにコイル１ａ〜１ｃは、永久磁石やヨークから構成さ
れる磁気回路により発生する磁界の部分においては、横
方向に同レベルで配列されている。さらに、平コイル１
ａの空芯部に曲げコイル１ｂと１ｃが入り込んでいる。
また、図７に示すように、曲げコイル１ｂはその両端部
が平コイル１ａの上側に曲げられており、曲げコイル１
ｃはその両端部が平コイル１ａの下側に曲げられてい
る。このように、曲げコイル１ｂおよび１ｃが平コイル
１ａの空芯部に入っているので、実施例１の場合と同様
に、磁界の生じる空間のギャップを小さくして磁界を大
きくすることができる。また、曲げコイル１ｂおよび１
ｃの両端部における上下方向への曲げのため、ジャケッ
ト部分１４および１４’ともその形状に合わせてコイル
部分がくり貫かれ、へこんでいる。他の構成や作用は実
施例１の場合と同様である。本実施例によれば、実施例
１の場合と同様の効果を奏する。
に係るリニアモータにおけるジャケット部分の構成を示
す、リニアモータの駆動方向に垂直な断面図であり、図
８はその駆動方向に沿った断面図である。いずれの図に
おいても、磁気回路（永久磁石やヨーク）の図示は省略
されている。実施例１においては、１つの平コイル１ａ
と１つの曲げコイル１ｂとが１組となっていたが、本実
施例においては、１つの平コイル１ａと２つの曲げコイ
ル１ｂおよび１ｃとが１組となっている。図８に示すよ
うにコイル１ａ〜１ｃは、永久磁石やヨークから構成さ
れる磁気回路により発生する磁界の部分においては、横
方向に同レベルで配列されている。さらに、平コイル１
ａの空芯部に曲げコイル１ｂと１ｃが入り込んでいる。
また、図７に示すように、曲げコイル１ｂはその両端部
が平コイル１ａの上側に曲げられており、曲げコイル１
ｃはその両端部が平コイル１ａの下側に曲げられてい
る。このように、曲げコイル１ｂおよび１ｃが平コイル
１ａの空芯部に入っているので、実施例１の場合と同様
に、磁界の生じる空間のギャップを小さくして磁界を大
きくすることができる。また、曲げコイル１ｂおよび１
ｃの両端部における上下方向への曲げのため、ジャケッ
ト部分１４および１４’ともその形状に合わせてコイル
部分がくり貫かれ、へこんでいる。他の構成や作用は実
施例１の場合と同様である。本実施例によれば、実施例
１の場合と同様の効果を奏する。
【００３３】［実施例４］図９は本発明の第４の実施例
に係るリニアモータの駆動方向に垂直な断面図である。
同図において、１はコイル、３および３’はコイル１に
対して磁界を付与する永久磁石、２および２’は永久磁
石３および３’が取り付けられたヨーク、１４および１
４’はジャケットを構成するジャケット部分、２１ａ〜
２１ｄはジャケットに設けられた補強部材である。コイ
ル１と永久磁石３および３’は図の紙面に垂直な方向に
相対的に駆動されるため、補強部材２１ａ〜２１ｄは、
永久磁石３および３’の存在しないジャケットとヨーク
２および２’との間の空間に配置されている。補強部材
２１ａ〜２１ｄはジャケットに対して接着もしくはボル
トなどにより固定され、特にボルト固定の場合にはジャ
ケット内部の冷媒が漏れ出さないように、接着剤等で密
封される。補強部材２１ａ〜２１ｄは、リニアモータが
駆動される際には、つまり、コイル１と永久磁石３およ
び３’が相対運動をするときに、障害とはならない。補
強部材２１ａ〜２１ｄとしては、アルミニウム、セラミ
ック、樹脂などの非磁性材料で構成したものが望まし
い。
に係るリニアモータの駆動方向に垂直な断面図である。
同図において、１はコイル、３および３’はコイル１に
対して磁界を付与する永久磁石、２および２’は永久磁
石３および３’が取り付けられたヨーク、１４および１
４’はジャケットを構成するジャケット部分、２１ａ〜
２１ｄはジャケットに設けられた補強部材である。コイ
ル１と永久磁石３および３’は図の紙面に垂直な方向に
相対的に駆動されるため、補強部材２１ａ〜２１ｄは、
永久磁石３および３’の存在しないジャケットとヨーク
２および２’との間の空間に配置されている。補強部材
２１ａ〜２１ｄはジャケットに対して接着もしくはボル
トなどにより固定され、特にボルト固定の場合にはジャ
ケット内部の冷媒が漏れ出さないように、接着剤等で密
封される。補強部材２１ａ〜２１ｄは、リニアモータが
駆動される際には、つまり、コイル１と永久磁石３およ
び３’が相対運動をするときに、障害とはならない。補
強部材２１ａ〜２１ｄとしては、アルミニウム、セラミ
ック、樹脂などの非磁性材料で構成したものが望まし
い。
【００３４】この構成を採用することにより、ジャケッ
トの薄肉部分が少なくなり、ジャケット内の冷媒による
内圧によってジャケット薄肉部が大きく変形して永久磁
石３および３’と干渉したり、破損したりするのが防止
される。すなわち、ジャケットの耐内圧が向上して、冷
媒流量を増やすことが可能となり、冷媒の熱回収能力が
高まる。この結果、リニアモータを大型化することな
く、リニアモータを駆動する際にコイル１から発生する
熱をより多く回収して、この熱がリニアモータの搭載さ
れる装置に悪影響を及ぼすのを防止することができる。
特に高精度位置決め装置に搭載される場合には、装置構
造体の熱変形や位置計測に用いるレーザ干渉計の誤差要
因となる空気揺らぎなどを抑えることができ、位置精度
を向上させることができる。
トの薄肉部分が少なくなり、ジャケット内の冷媒による
内圧によってジャケット薄肉部が大きく変形して永久磁
石３および３’と干渉したり、破損したりするのが防止
される。すなわち、ジャケットの耐内圧が向上して、冷
媒流量を増やすことが可能となり、冷媒の熱回収能力が
高まる。この結果、リニアモータを大型化することな
く、リニアモータを駆動する際にコイル１から発生する
熱をより多く回収して、この熱がリニアモータの搭載さ
れる装置に悪影響を及ぼすのを防止することができる。
特に高精度位置決め装置に搭載される場合には、装置構
造体の熱変形や位置計測に用いるレーザ干渉計の誤差要
因となる空気揺らぎなどを抑えることができ、位置精度
を向上させることができる。
【００３５】［実施例５］図１０は本発明の第５の実施
例に係るリニアモータの駆動方向に垂直に切断した断面
図である。永久磁石とヨークは、図示していないが、図
９の場合と同様である。このリニアモータは、図９のも
のにおけるジャケット部分１４と補強部材２１ａおよび
２１ｃ、ならびにジャケット部分１４’と補強部材２１
ｂおよび２１ｄを、それぞれ一体化して凸形状（図中の
部分Ａなど）を有するジャケット部分１４および１４’
としたものである。すなわち、ジャケット部分１４およ
び１４’がジャケットの機能と補強部材の機能とを兼ね
備えている。ジャケット部分１４および１４’として
は、セラミック、樹脂などの非磁性材料でかつ絶縁材料
（もしくは高抵抗材料）のものが望ましい。本実施例に
よれば、実施例４の場合と同様の効果を奏する。
例に係るリニアモータの駆動方向に垂直に切断した断面
図である。永久磁石とヨークは、図示していないが、図
９の場合と同様である。このリニアモータは、図９のも
のにおけるジャケット部分１４と補強部材２１ａおよび
２１ｃ、ならびにジャケット部分１４’と補強部材２１
ｂおよび２１ｄを、それぞれ一体化して凸形状（図中の
部分Ａなど）を有するジャケット部分１４および１４’
としたものである。すなわち、ジャケット部分１４およ
び１４’がジャケットの機能と補強部材の機能とを兼ね
備えている。ジャケット部分１４および１４’として
は、セラミック、樹脂などの非磁性材料でかつ絶縁材料
（もしくは高抵抗材料）のものが望ましい。本実施例に
よれば、実施例４の場合と同様の効果を奏する。
【００３６】［実施例６］図１１は本発明の第６の実施
例に係るリニアモータの駆動方向に垂直に切断した断面
図である。このリニアモータでは、ジャケットが、リニ
アモータにより駆動される構成要素のガイドとなってい
る。同図において、３１ａおよび３１ｂはジャケット部
分１４に対向しているエアパッド、３２ａおよび３２ｂ
はそれぞれエアパッド３１ａおよび３１ｂの台座、３３
は磁石３および３’のヨーク２および２’ならびに台座
３２ａおよび３２ｂが固定された部材である。なお、ジ
ャケット部分１４および１４’の内部にはコイルが存在
するが、図示はしていない。ジャケット部分１４のエア
パッド３１ａおよび３１ｂと対向している面がガイド面
となっており、一方、エアパッド３１ａおよび３１ｂは
ジャケット部分１４と対向する面から気体を吹き出すよ
うになっており、エアパッド３１ａおよび３１ｂとジャ
ケット部分１４の双方で静圧軸受けを構成している。エ
アパッド３１ａおよび３１ｂとジャケット部分１４間の
ギャップは数μｍであり、これにより、ジャケットとエ
アパッド３１ａおよび３１ｂは非接触で図の左右方向に
拘束されている。なお、上下方向の拘束手段は図示され
ていないが、部材３３等は図の紙面に垂直な方向にガイ
ドに沿って駆動する。
例に係るリニアモータの駆動方向に垂直に切断した断面
図である。このリニアモータでは、ジャケットが、リニ
アモータにより駆動される構成要素のガイドとなってい
る。同図において、３１ａおよび３１ｂはジャケット部
分１４に対向しているエアパッド、３２ａおよび３２ｂ
はそれぞれエアパッド３１ａおよび３１ｂの台座、３３
は磁石３および３’のヨーク２および２’ならびに台座
３２ａおよび３２ｂが固定された部材である。なお、ジ
ャケット部分１４および１４’の内部にはコイルが存在
するが、図示はしていない。ジャケット部分１４のエア
パッド３１ａおよび３１ｂと対向している面がガイド面
となっており、一方、エアパッド３１ａおよび３１ｂは
ジャケット部分１４と対向する面から気体を吹き出すよ
うになっており、エアパッド３１ａおよび３１ｂとジャ
ケット部分１４の双方で静圧軸受けを構成している。エ
アパッド３１ａおよび３１ｂとジャケット部分１４間の
ギャップは数μｍであり、これにより、ジャケットとエ
アパッド３１ａおよび３１ｂは非接触で図の左右方向に
拘束されている。なお、上下方向の拘束手段は図示され
ていないが、部材３３等は図の紙面に垂直な方向にガイ
ドに沿って駆動する。
【００３７】［実施例７］図１２は実施例１〜６のいず
れかのリニアモータを用いたウエハステージを有する露
光装置の実施例を示す。同図において、２２はあおり機
構を有するウエハステージであり、上面に半導体ウエハ
２３を搭載している。ウエハステージ２２の上方には、
光源や照明光学系を有する照明系２７、ウエハに転写す
べきパターンを備えたレチクル２８、レチクル２８のパ
ターンを所定の倍率で縮小投影する縮小投影光学系２９
が設けられている。
れかのリニアモータを用いたウエハステージを有する露
光装置の実施例を示す。同図において、２２はあおり機
構を有するウエハステージであり、上面に半導体ウエハ
２３を搭載している。ウエハステージ２２の上方には、
光源や照明光学系を有する照明系２７、ウエハに転写す
べきパターンを備えたレチクル２８、レチクル２８のパ
ターンを所定の倍率で縮小投影する縮小投影光学系２９
が設けられている。
【００３８】２４はあおりステージ２２を水平方向につ
いてのみ規制するガイドであり、例えば静圧軸受を用い
ることによって、Ｚ方向、傾斜方向およびＺ軸回転方向
の運動を許容している。２６はガイド２４を支持するベ
ースである。２５ａおよび２５ｂは実施例１〜６のいず
れかのリニアモータである。これら３個のリニアモータ
（残りの１個は図示せず）の駆動によって、ステージ２
２の重力方向であるＺ方向の位置あるいは傾きをベース
２６に対して調節することができるようになっている。
また、ステージ２２のＺ方向の位置および傾きを計測す
ることにより、ステージ２２のＺ方向の位置および傾き
を制御することができるようになっている。
いてのみ規制するガイドであり、例えば静圧軸受を用い
ることによって、Ｚ方向、傾斜方向およびＺ軸回転方向
の運動を許容している。２６はガイド２４を支持するベ
ースである。２５ａおよび２５ｂは実施例１〜６のいず
れかのリニアモータである。これら３個のリニアモータ
（残りの１個は図示せず）の駆動によって、ステージ２
２の重力方向であるＺ方向の位置あるいは傾きをベース
２６に対して調節することができるようになっている。
また、ステージ２２のＺ方向の位置および傾きを計測す
ることにより、ステージ２２のＺ方向の位置および傾き
を制御することができるようになっている。
【００３９】本実施例によれば、リニアモータ２５ａお
よび２５ｂの冷却効率が高く、そのコイルから発生する
熱が効率的に回収されるため、リニアモータ２５ａおよ
び２５ｂからの発熱がウエハステージ２２に伝わってそ
の温度を上昇させたり、そのまわりの雰囲気温度を上昇
させるのを防止することができる。したがって、ウエハ
ステージ２２の位置決め精度を飛躍的に向上させること
ができ、ひいては従来にない高精度な露光転写が可能と
なる。
よび２５ｂの冷却効率が高く、そのコイルから発生する
熱が効率的に回収されるため、リニアモータ２５ａおよ
び２５ｂからの発熱がウエハステージ２２に伝わってそ
の温度を上昇させたり、そのまわりの雰囲気温度を上昇
させるのを防止することができる。したがって、ウエハ
ステージ２２の位置決め精度を飛躍的に向上させること
ができ、ひいては従来にない高精度な露光転写が可能と
なる。
【００４０】［実施例８］図１３は上記露光装置を使用
した半導体デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、
あるいは液晶パネルやＣＣＤ等）の生産フローを示す。
ステップ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計
を行なう。ステップ２（マスク製作）では設計した回路
パターンを形成したマスクを製作する。ステップ３（ウ
エハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造
する。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ば
れ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフ
ィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。ステ
ップ５（組立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４におい
て作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程で
あり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディン
グ）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含
む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半
導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査
を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成
し、これが出荷（ステップ７）される。
した半導体デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、
あるいは液晶パネルやＣＣＤ等）の生産フローを示す。
ステップ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計
を行なう。ステップ２（マスク製作）では設計した回路
パターンを形成したマスクを製作する。ステップ３（ウ
エハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造
する。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ば
れ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフ
ィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。ステ
ップ５（組立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４におい
て作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程で
あり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディン
グ）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含
む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半
導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査
を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成
し、これが出荷（ステップ７）される。
【００４１】図１４は上記ウエハプロセス（ステップ
４）の詳細なフローを示す。ステップ１１（酸化）では
ウエハの表面を酸化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）で
はウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップ１３（電極
形成）ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ス
テップ１４（イオン打込み）ではウエハにイオンを打ち
込む。ステップ１５（レジスト処理）ではウエハに感光
剤を塗布する。ステップ１６（露光）では上記説明した
露光装置によってマスクの回路パターンをウエハに焼付
露光する。ステップ１７（現像）では露光したウエハを
現像する。ステップ１８（エッチング）では現像したレ
ジスト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レジス
ト剥離）では、エッチングが済んで不要となったレジス
トを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうこと
によって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成され
る。
４）の詳細なフローを示す。ステップ１１（酸化）では
ウエハの表面を酸化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）で
はウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップ１３（電極
形成）ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ス
テップ１４（イオン打込み）ではウエハにイオンを打ち
込む。ステップ１５（レジスト処理）ではウエハに感光
剤を塗布する。ステップ１６（露光）では上記説明した
露光装置によってマスクの回路パターンをウエハに焼付
露光する。ステップ１７（現像）では露光したウエハを
現像する。ステップ１８（エッチング）では現像したレ
ジスト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レジス
ト剥離）では、エッチングが済んで不要となったレジス
トを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうこと
によって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成され
る。
【００４２】
【発明の効果】本発明のリニアモータによれば、所定の
くしの歯状の部材、あるいは駆動方向に平行に設けられ
た補強部を具備するため、冷媒の圧力をより高めあるい
はジャケットの肉薄部分をより薄くしても、ジャケット
の変形や破損を防止することができる。したがって、冷
媒の流量を上げて冷却効率を向上させることができる。
したがって、ジャケットの小型化やリニアモータの推力
向上を図ることができる。また、くしの歯状の部材また
は補強部によりジャケットの固有振動数が高まるため、
精密な駆動を行なうことができる。したがって、本発明
のステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法によ
れば、より効率的かつ精密なステージの駆動、露光およ
びデバイス製造を行なうことができる。
くしの歯状の部材、あるいは駆動方向に平行に設けられ
た補強部を具備するため、冷媒の圧力をより高めあるい
はジャケットの肉薄部分をより薄くしても、ジャケット
の変形や破損を防止することができる。したがって、冷
媒の流量を上げて冷却効率を向上させることができる。
したがって、ジャケットの小型化やリニアモータの推力
向上を図ることができる。また、くしの歯状の部材また
は補強部によりジャケットの固有振動数が高まるため、
精密な駆動を行なうことができる。したがって、本発明
のステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法によ
れば、より効率的かつ精密なステージの駆動、露光およ
びデバイス製造を行なうことができる。
【図１】 本発明の第１の実施例に係るリニアモータの
ジャケットを分解して示す斜視図である。
ジャケットを分解して示す斜視図である。
【図２】 図１のジャケットの内部に設置されるコイル
の組合せの一例を示す斜視図である。
の組合せの一例を示す斜視図である。
【図３】 図１のジャケットを用いたリニアモータの駆
動方向に垂直な断面図である。
動方向に垂直な断面図である。
【図４】 図１のリニアモータの駆動方向に沿った断面
図である。
図である。
【図５】 本発明の第２の実施例に係るリニアモータの
ジャケット部分の駆動方向に垂直な断面図である。
ジャケット部分の駆動方向に垂直な断面図である。
【図６】 図５のリニアモータの駆動方向に沿った断面
図である。
図である。
【図７】 本発明の第３の実施例に係るリニアモータの
ジャケット部分の駆動方向に垂直な断面図である。
ジャケット部分の駆動方向に垂直な断面図である。
【図８】 図７のリニアモータの駆動方向に沿った断面
図である。
図である。
【図９】 本発明の第４の実施例に係るリニアモータの
駆動方向に垂直な断面図である。
駆動方向に垂直な断面図である。
【図１０】 本発明の第５の実施例に係るリニアモータ
の駆動方向に垂直に切断した断面図である。
の駆動方向に垂直に切断した断面図である。
【図１１】 本発明の第６の実施例に係るリニアモータ
の駆動方向に垂直に切断した断面図である。
の駆動方向に垂直に切断した断面図である。
【図１２】 実施例１〜６のいずれかのリニアモータを
用いたウエハステージを有する露光装置を示す図であ
る。
用いたウエハステージを有する露光装置を示す図であ
る。
【図１３】 本発明の露光装置を使用することができる
半導体デバイスの製造フローを示すフローチャートであ
る。
半導体デバイスの製造フローを示すフローチャートであ
る。
【図１４】 図１３中のウエハプロセスの詳細なフロー
を示すフローチャートである。
を示すフローチャートである。
【図１５】 冷却手段を備えた従来のリニアモータの構
成を示す断面図である。
成を示す断面図である。
【図１６】 他の従来例に係るリニアモータの断面図で
ある。
ある。
１：コイル、１ａ：平コイル、１ｂ，１ｃ：曲げコイ
ル、２，２’：ヨーク、３，３’：永久磁石、８：補強
部材（くし歯）、１１：基部、１２：柱状部、１４，１
４’：ジャケット部分、２１ａ〜２１ｄ：補強部材、２
２：ウエハステージ、２３：ウエハ、２４：ガイド、２
５ａ，２５ｂ：リニアモータ、２６：ベース、２７：照
明系、２８：レチクル、２９：縮小投影光学系、３１ａ
〜３１ｄ：エアパッド、３２ａ，３２ｂ：台座、３３：
部材。
ル、２，２’：ヨーク、３，３’：永久磁石、８：補強
部材（くし歯）、１１：基部、１２：柱状部、１４，１
４’：ジャケット部分、２１ａ〜２１ｄ：補強部材、２
２：ウエハステージ、２３：ウエハ、２４：ガイド、２
５ａ，２５ｂ：リニアモータ、２６：ベース、２７：照
明系、２８：レチクル、２９：縮小投影光学系、３１ａ
〜３１ｄ：エアパッド、３２ａ，３２ｂ：台座、３３：
部材。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F078 CA02 CA08 CB05 CB09 CB12 CC02 CC14 CC15 CC19 CC20 5F046 CC01 CC18 DA26 5H641 BB06 GG05 GG07 GG12 HH01 HH06 JA06 JA09 JB05
Claims (16)
- 【請求項１】 磁石と、コイルと、前記コイルを覆い、
内部の空間に冷媒が供給されるジャケットとを備え、 前記ジャケットは、内部に駆動方向に沿って配置したく
しの歯状の形状を有する部材を有し、 前記コイルは、前記部材のくしの歯の間に挟んで保持さ
れることを特徴とするリニアモータ。 - 【請求項２】 前記部材は、前記ジャケットの対向する
各内面上において駆動方向に平行にかつ相互に対向する
ように設けた基部と、この対向する基部間を連結してい
る柱状部とを有し、前記基部により前記コイルを前記各
内面から浮かして支持するとともに前記柱状部により前
記コイルを駆動方向について固定するものであることを
特徴とする請求項１に記載のリニアモータ。 - 【請求項３】 前記コイルとして駆動方向に沿って配列
された複数のコイルを有し、その一部のコイルと他のコ
イルとは部分的に重ねられ、かつそれによって相互に干
渉しないように端部が曲げられ、かつ中央部が同一レベ
ルに位置するように配置されていることを特徴とする請
求項１または２に記載のリニアモータ。 - 【請求項４】 前記ジャケットは、中央の薄肉部分に対
して外側にへこんだ部分を有し、このへこみ部分に前記
コイルの曲げられた端部が配置されており、かつこのへ
こみ部分によっても中央の薄肉部分が補強されているこ
とを特徴とする請求項３に記載のリニアモータ。 - 【請求項５】 磁石と、コイルと、前記コイルを覆い、
内部の空間に冷媒が供給されるジャケットとを備え、 前記ジャケットは、駆動方向に平行に設けられた、該ジ
ャケットを補強する補強部を具備することを特徴とする
リニアモータ。 - 【請求項６】 前記補強部は、前記ジャケットの外側に
設けられていることを特徴とする請求項５に記載のリニ
アモータ。 - 【請求項７】 前記補強部は、前記磁石と前記コイルが
相対移動するときに干渉しない位置に設けられているこ
とを特徴とする請求項５または６に記載のリニアモー
タ。 - 【請求項８】 前記補強部はアルミ、セラミック、また
は樹脂で構成されていることを特徴とする請求項５〜７
のいずれか１項に記載のリニアモータ。 - 【請求項９】 前記補強部は前記ジャケットと一体にな
っており、かつ前記永久磁石とコイルとが対向している
前記ジャケット部分のレベルからみて凸形状となった部
分として構成されていることを特徴とする請求項５〜７
のいずれか１項に記載のリニアモータ。 - 【請求項１０】 前記一体となっているジャケットと補
強部は、セラミックまたは樹脂製であることを特徴とす
る請求項９に記載のリニアモータ。 - 【請求項１１】 前記ジャケットの凸形状部分は内側か
らのへこみとして形成されており、そのへこみに前記コ
イルの一部が位置していることを特徴とする請求項９ま
たは１０に記載のリニアモータ。 - 【請求項１２】 前記ジャケットの駆動方向に垂直に切
断した断面の上半分および下半分のうちのいずれか一方
または双方が凹形状であることを特徴とする請求項５〜
１１のいずれか１項に記載のリニアモータ。 - 【請求項１３】 前記ジャケットは、リニアモータによ
り駆動される構成要素のガイドとなっていることを特徴
とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載のリニアモ
ータ。 - 【請求項１４】 請求項１〜１３のいずれかのリニアモ
ータを、ステージを駆動する手段として具備することを
特徴とするステージ装置。 - 【請求項１５】 請求項１４のステージ装置、およびこ
のステージ装置によって位置合せされた基板に対して露
光を行なう手段を具備することを特徴とする露光装置。 - 【請求項１６】 請求項１５の露光装置を用いて基板の
露光を行なうことによりデバイスを製造することを特徴
とするデバイス製造方法。
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| JP11204974A JP2001037200A (ja) | 1999-07-19 | 1999-07-19 | リニアモータ、ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法 |
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