JP3592292B2

JP3592292B2 - リニアモータを有するステージ装置、露光装置

Info

Publication number: JP3592292B2
Application number: JP2001400042A
Authority: JP
Inventors: 重人鎌田
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1997-03-06
Filing date: 2001-12-28
Publication date: 2004-11-24
Anticipated expiration: 2017-07-22
Also published as: JP2002325420A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、半導体露光装置や高精度加工機など精密な位置決めを行うための装置などに好適に使用されるリニアモータを有するステージ装置や露光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
半導体露光装置や高精度加工機などで使用されるナノメートルオーダーの位置決め装置では、駆動源であるリニアモータからの発熱が位置決めに悪影響を及ぼす。発熱による構造体の熱変形あるいは空気温度の上昇による位置計測のレーザ干渉計の計測誤差などの要因によって、リニアモータの搭載された装置の位置決め精度が悪化する。例えば、１℃の温度変化であっても１００ｍｍの低熱膨張材（熱膨張係数１×１０−６）は１００ｎｍだけ変形するし、また、光干渉式測長計の光路における空気温度の変化が１℃以下であっても測定値に１００ｎｍの誤差が生じ得る。従って、これらの温度変化の防止策としてリニアモータの冷却、特にリニアモータから発生する熱の回収が必要となっている。
【０００３】
一方、装置の高性能化に伴い、リニアモータの高出力化が要求されており、そのためにコイルに流れる電流を増やすと発熱量も大きく増大する。よってさらなる冷却能力の増強が必要とされる。また、コイル温度の上昇によるコイル抵抗の増加やコイル線の破損を防ぐためにも、コイルの冷却能力を高めることは重要である。
【０００４】
コイルの冷却手段を備えたリニアモータの例は、例えば特開平７−３０２１２４号、特開平７−３０２７４７号、特開平８−１６７５５４号に記載されている。
【０００５】
図１７は冷却手段を備えた従来のリニアモータの構成を示す図である。同図において、コイル１とその両側のヨーク２に固定された永久磁石３により構成され、コイル１は肉薄のシート４、４′およびフレーム５で構成されたジャケット８で覆われている。コイル１は固定具７によってフレーム５に固定されている。ここでジャケット８の内部空間６に冷媒を流すことにより、コイルからの発生熱を回収している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来例では、冷却能力を上げるために冷媒の流量を増加させると冷媒の圧力上昇によってジャケットの肉薄部分が外方向へ変形して、永久磁石に接触したりジャケットが破損する恐れがあるため、これを防ぐためにはジャケットの肉薄部の強度の確保が必要である。一方で、リニアモータの高出力化のためには、永久磁石の間の距離を小さくして磁束密度を上げることが必要となり、このために肉薄部分をできるだけ薄くしてジャケットを小型化したいという背反する要求もある。
【０００７】
本発明は上記課題を解決すべくなされたもので、冷媒の圧力を増大させてもあるいはジャケットを小型化してもジャケットの変形や破損を抑えて、従来以上に高出力化を果たしたリニアモータを使用した優れたステージ装置や露光装置、デバイス製造方法などを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の好ましい形態の一つは、コイルと、該コイルを覆い内部空間に冷媒が供給されるジャケットとを有するリニアモータにおいて、該冷媒の圧力に対して該ジャケットを補強する補強部材を、ジャケット内部の該コイルの空芯部に、該空芯部を貫通し且つ前記ジャケットの前記コイルを挟んで対向する箇所に固定ないし一体化した形で、設けたリニアモータを駆動機構として有することを特徴とするステージ装置である。
【０００９】
本発明の露光装置は上記ステージ装置で基板を搭載して、該基板に露光を行う手段を有することを特徴とするものである。また本発明のデバイス製造方法は上記露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】
＜実施例１＞
図１は本発明の一実施形態のステージ装置に適用される単相リニアモータを表す図である。図２は内部構造を説明する分解図、図３はリニアモータの斜視図である。
【００１１】
図１において、１は駆動用の電流が流れるコイル、２は磁気回路を構成する２つのヨーク、３は各ヨーク２に固定され異なる磁極同士が互いに対向して配置された永久磁石である。４、４′はコイル１を挟んで配されたシート、５は２枚のシート４、４′同士を支持するフレームであり、該シート４、４′とフレーム５によって、コイル１を内包するジャケットを構成している。シート４、４′とフレーム５との接合は接着剤やボルトなどで固定されている。６は該ジャケットの内部空間であり、７はコイル１をジャケットに固定している固定具である。８は本実施形態の特徴的部材である補強部材であり、シート４および４′の両方に接着あるいはボルト固定され両者の間の広がりを防止する耐圧具として機能する。補強部材８は巻線されたコイル１の空芯部分に位置している。シート４、４′、フレーム５及び補強部材８の材質は非磁性体材料、例えば高分子樹脂材料（ＰＥＥＫ）又はセラミックス材料が好ましい。
【００１２】
図２及び図３において、１０はコイル１のリード線（２本）、１１はリード線１０をジャケット内部から外部へ引き出すための小孔である。この小孔１１から冷媒が漏れ出さないように、リード線を引き出した後に接着材等で小孔が気密に封止されている。１２、１３はジャケットに接続された冷媒の供給管及び回収管である。冷媒は供給管１２から供給されてジャケット内を流れコイルの発生熱を受け取り、回収管１３から排出されて回収される。なおコイル１の導線自体が直接冷媒に触れないようにコイル表面には表面処理がなされている。冷媒は液体又は気体であって、特に不活性なものが好ましい。
【００１３】
上記構成において、固定磁界を発生している永久磁石３の間の空間に位置するコイル１に電流を流すとローレンツ力が働き、コイル１と永久磁石３は上下方向に相対的に運動する。例えば、同図の上側半分においては、磁界は紙面の左から右方向へ、電流が紙面の奥から手前方向に流れると、電流の大きさに応じた力がコイル１には紙面の上方向へ永久磁石３には下方向へ働き、それぞれが相対的に移動する。このようにコイルに所定の電流を流すことにより、ヨークおよびコイルがそれぞれ固定されている構造物を駆動するものである。なお、本実施例ではコイル側が固定子、永久磁石が保持されたヨーク側が可動子となったいわゆるムービングマグネット型のリニアモータとなっているが、固定子と可動子が逆であっても良い。
【００１４】
ジャケットの内部空間６に温度制御された冷媒を供給して流すことにより、コイルに通電したときに発生する熱を回収し、コイル自体の温度上昇やリニアモータの搭載されている装置やその雰囲気の温度上昇を抑えている。この際、補強部材８があるために、冷媒の圧力でシート４、４′が外側に膨らんで変形するのを抑えている。
【００１５】
なお、図１ではコイル１は固定具７によってフレーム５に固定しているが、シート４、４′に固定するようにしてもよい。また、補強部材８はコイル１に直接固定されてはいないが、補強部材８にコイル１を固定して固定具７を省略するようにしてもよい。また固定具７および補強部材８の数は１つに限らず複数に分割して設けてもよい。
【００１６】
以上の本実施例によれば、冷媒の圧力を上げるあるいはジャケットのシートを薄くしてもジャケットの変形や破損が抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷却効率を向上させることができると共にジャケットの小型化が図れ、ひいてはリニアモータの推力を向上させることができる。
【００１７】
＜実施例２＞
図４は本発明の別の実施形態のステージ装置に用いられるリニアモータのジャケット部分の構成を表した図であり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図１と同一である。
【００１８】
先の実施例では別部材のフレームとシートによってジャケットを構成したが、本実施例では、２つのジャケットカバー１４、１４′それぞれがフレーム部とシート部が一体になったものを使用して、これらジャケットカバー同士を接合している。ジャケット内部でコイル１の空芯部に設けた補強部材８は、ジャケットカバー１４、１４′のそれぞれの肉薄部分に接着剤もしくはボルトを使用して固定している。コイル１は固定具７を介して補強部材８の周囲に固定されている。
【００１９】
この構成によれば、ジャケットの部品点数が減り組立が容易になるほかに、結合箇所がジャケットカバー１４、１４′同士の間だけなので、結合部から冷媒が漏れ出す可能性が小さいという利点がある。
【００２０】
＜例１＞
図５は本発明を説明する上での例としてのジャケット部分の構成を表した図であり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図１と同一である。
【００２１】
本例では、補強部材８はコイル１の空芯部は貫通せず、２つの補強部材がコイル側面とジャケットカバー１４、１４′の肉薄部との間をそれぞれ固定したことを特徴としている。なお補強部材８をジャケットカバー１４、１４′と一体化して同一部材としてもよい。また、補強部材８によってコイル１とジャケットカバー１４、１４′を固定しているので固定具７を省略することもできる。
【００２２】
この構成によれば、補強部材がコイルの空芯部分に存在しない。
【００２３】
＜実施例３＞
図６は本発明の別の実施形態のステージ装置におけるリニアモータのジャケット部分の構成を示した図であり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図１と同一である。
【００２４】
本実施例はジャケットのジャケットカバー自体に補強部材を設けたことを特徴とする。１４、１４′はコイル１のジャケットを構成し、コイル形状のリング状に彫り込まれたジャケットカバーである。ジャケットカバー１４、１４′はコイル１の空芯部分でも互いに結合されている。該空芯部分での結合は接着剤やボルトを使用して行い、冷媒圧力でジャケットカバーの肉薄部が外側に広がろうとするのを抑えている。つまりジャケットカバー１４、１４′内面の対向する突起部が、ジャケットを補強して変形を防止する補強部材となっている。コイル１は固定具７を介して補強部材の周囲に固定されている。
【００２５】
この構成によれば、ジャケットの部品点数がさらに減るため信頼性がより向上する。特に肉薄部のシートに比べてコイル空芯部での結合部分の肉厚があるため、ここを接合するボルトおよびネジ部のスペースを確保しやすくボルト締結の設計が容易である。
【００２６】
＜実施例４＞
図７は本発明の別の実施形態のステージ装置におけるリニアモータのジャケット部分の構成を表した図であり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図１と同一である。
【００２７】
本実施例は先の図６の構成の固定具７までもジャケットカバー１４と一体化し同一部材としたものである。コイル１はジャケットカバー１４に形成された型に嵌められて固定され、ジャケットカバー１４、１４′同士が接着剤やボルト等で結合される。コイル１の空芯部分でも互いに接着剤やボルト等で結合されて補強部材が形成される。
【００２８】
この構成によれば、部品点数が最小限で済むため高い信頼性が得られると共に、ジャケットカバーの加工でコイルの位置決めができるので組立が非常に容易である。
【００２９】
＜実施例５＞
図８は本発明の別の実施形態であるステージ装置における多相リニアモータにおけるジャケット部分の内部構造を説明する図である。
【００３０】
図８において、１ａ〜１ｃは駆動用の電流が流れるコイル、４、４′は各コイルを挟んで配されたシート、５は２枚のシート４、４′同士を支持するフレームであり、該シート４、４′とフレーム５によって、コイル１ａ〜１ｃを内包するジャケット４２を構成している。シート４、４′とフレーム５との接合は接着剤やボルトなどで固定されている。７はコイル１ａ〜ｃを固定している固定具である。８ａ〜８ｃおよび８ａ′、８ｂ′は本実施形態の特徴的部材である補強部材であり、シート４および４′の両方に接着あるいはボルト固定され両者の間の広がりを防止する耐圧具として機能する。補強部材８ａ〜ｃは巻線されたコイル１の空芯部分に、補強部材８ａ′、８ｂ′は配列されたコイルとコイルの間に位置している。シート４、４′、フレーム５及び補強部材８の材質は非磁性体材料、例えば高分子樹脂材料（ＰＥＥＫ）又はセラミックス材料が好ましい。ジャケット内部から外部へ引き出されるコイル１ａ〜ｃのリード線（各２本）は図示されていない。また、冷媒は図示されていない供給管から供給されてジャケット内を流れコイルの発生熱を受け取り、図示されていない回収管から排出されて回収される。なおコイル１の導線自体が直接冷媒に触れないようにコイル表面には表面処理がなされている。冷媒は液体又は気体であって、特に不活性なものが好ましい。
【００３１】
図９は多相リニアモータ全体の構成を表す斜視図である。同図において、１は複数のコイル列、４２はジャケット、４３はジャケットを固定する固定部材、２、２′は磁気回路を構成するヨーク、３はヨーク２、２′に固定され異なる磁極同士が互いに対向して配置された永久磁石である。２３はヨークを固定する固定部材である。
【００３２】
上記構成において、固定磁界を発生している永久磁石３の間の空間に位置するコイル１に所定の電流を流すとローレンツ力が働き、コイル１を含むジャケット４２と永久磁石３が相対的に運動する。また、複数のコイルが駆動方向に配列されているため、コイル個数に応じてリニアモータのストロークを変えることができる。本実施例ではコイル側が固定子、永久磁石が保持されたヨーク側が可動子となったいわゆるムービングマグネット型のリニアモータとなっているが、固定子と可動子が逆であっても良い。
【００３３】
ジャケットの内部空間に温度制御された冷媒を供給して流すことにより、コイルに通電したときに発生する熱を回収し、コイル自体の温度上昇やリニアモータの搭載されている装置やその雰囲気の温度上昇を抑えている。この際、補強部材８ａ〜８ｃおよび８ａ′、８ｂ′があるために、冷媒の圧力でシート４、４′が外側に膨らんで変形するのを抑えている。
【００３４】
なお、図８ではコイル１は固定具７によって補強部材８ａ〜８ｃに固定しているが、シート４、４′もしくは補強部材８ａ′、８ｂ′に固定するようにしてもよい。また、補強部材８ａ〜８ｃはコイル１ａ〜１ｃに直接固定されてはいないが、補強部材８ａ〜８ｃにコイル１ａ〜１ｃを固定して固定具７を省略するようにしてもよい。また固定具７、補強部材８ａ〜８ｃおよび８ａ′、８ｂ′の数は１つに限らず複数に分割して設けてもよい。
【００３５】
以上の本実施例によれば、冷媒の圧力を上げるあるいはジャケットのシートを薄くしてもジャケットの変形や破損が抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷却効率を向上させることができると共にジャケットの小型化が図れ、ひいてはリニアモータの推力を向上させることができる。
【００３６】
＜実施例６＞
図１０は本発明の別の実施形態のステージ装置におけるリニアモータのジャケット部分の構成を表した図であり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図９と同一である。
【００３７】
先の実施例では別部材であったフレームとシート、固定具および補強部材の一部もしくは全部を一体化するもので、本実施例では、２つのジャケットカバー１４、１４′がコイルを固定し覆い、これらジャケットカバー同士を接合している。ジャケットカバーはコイル形状に彫り込まれ、コイル１ａ〜１ｃはそれぞれの空芯部でジャケットカバー１４′に固定されている。ジャケットカバー１４、１４′はコイル１の空芯部分およびコイルとコイルの間でも互いに結合されている。該空芯部分および該コイル間部分での結合は接着剤やボルトを使用して行い、冷媒圧力でジャケットカバーの肉薄部が外側に広がろうとするのを抑えている。つまりジャケットカバー１４、１４′内面の対向する突起部がジャケットを補強して変形を防止する補強部材となっている。
【００３８】
この構成によれば、ジャケットの部品点数が減り組立が容易になるほかに、結合箇所がジャケットカバー１４、１４′同士の間だけなので、結合部から冷媒が漏れ出す可能性が小さいという利点がある。特に肉薄部のシートに比べてコイル空芯部での結合部分の肉厚があるため、ここを接合するボルトおよびネジ部のスペースを確保しやすくボルト締結の設計が容易である。
【００３９】
＜例２＞
図１１は本発明を説明する上での例としてのジャケット部分の構成を表した図であり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図９と同一である。
【００４０】
本例では、シート４、４′とフレーム５が冷却ジャケットを構成し、積層されたコイル１ａ〜１ｃを補強部材８ａ〜ｄによって、またコイル１ｄ〜１ｆを補強部材８ｅ〜８ｈよってそれぞれシート４および４′に接着剤などで固定したことを特徴としている。シート４、４′はコイル１の部分でコイル１および補強部材８を介して結合されているので、コイル１および補強部材８が耐圧具として機能する。なおシート４、４′と補強部材８は一体化してもよく、またシート４、４′とフレーム５と一体化して同一部材としてもよい。コイルの空芯部やコイル間に補強部材を設けることなく、冷媒圧力でシートが外側に広がろうとするのを抑えている。
【００４１】
この構成によれば、補強部材がコイルの空芯部分などに存在しない。
【００４２】
＜実施例７＞
図１２は本発明の別の実施形態のステージ装置におけるリニアモータのジャケット部分の構成を表した図であり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図９と同一である。
【００４３】
先の例では補強部材がコイルの空芯部分などに存在しない構成であったが、本実施例ではずらして積層したコイルの空芯部などにコイル本体を避けるように補強部材を設置し、シート４と４′とを補強部材８ａ〜ｅが直接結合している。同図ではコイル列は補強部材に固定されている。なおシート４、４′とフレーム５と一体化して同一部材としてもよい。また同図では補強部材とコイルは接着もしくは一体成形などにより直接結合されているが、固定具などを介して結合してもよい。補強部材が冷媒圧力でシートが外側に広がろうとするのを抑えている。
【００４４】
以上の本実施例によれば、冷媒の圧力を上げるあるいはジャケットのシートを薄くしてもジャケットの変形や破損が抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷却効率を向上させることができると共にジャケットの小型化が図れ、ひいてはリニアモータの推力を向上させることができる。
【００４５】
＜例３＞
図１３は本発明を説明する上での例としてのジャケット部分の構成を表した図であり、ジャケットの外側の可動子（ヨークや永久磁石）の配置は先の図９と同一である。
【００４６】
先の例では別部材であったフレームとシート、固定具および補強部材の一部もしくは全部を一体化するもので、本例では、２つのジャケットカバー１４、１４′がコイルを固定し覆い、これらジャケットカバー同士を接合している。ジャケットカバーはコイル形状に彫り込まれ、コイル１ａ、１ｄ、１ｇはそれぞれの空芯部でジャケットカバー１４に固定され、コイル１ｃ、１ｆはそれぞれの空芯部でジャケットカバー１４′に固定され、コイル１ｂ、１ｅはそれぞれの空芯部でジャケットカバー１４、１４′の両方に固定されている。ジャケットカバー１４、１４′はコイル１ｂ、１ｅなどを介して互いに結合され、冷媒圧力でジャケットカバーの肉薄部が外側に広がろうとするのを抑えている。つまりジャケットカバー１４、１４′内面の突起部が、ジャケットを補強して変形を防止する補強部材となっている。
【００４７】
＜構成＞
図１４は上記説明した各実施例のリニアモータを用いたウエハステージを有する露光装置の構成を示す。同図において、２１はあおり機構を有するウエハステージであり、上面に半導体ウエハ２３を搭載している。ウエハステージ２１の上方には、光源や照明光学系を有する照明系２７、ウエハに転写すべきパターンを備えたレチクル２８、該レチクル２８のパターンを所定の倍率で縮小投影する縮小投影光学系２９が設けられている。
【００４８】
ウエハステージの構成について説明する。２４はあおりステージを水平方向のみ規制するガイドであり、例えば静圧軸受を用いることによって、Ｚ方向、傾斜方向およびＺ軸回転方向の運動を許容している。２６はベースである。２５は上記説明したいずれかの実施例の構成を備えたリニアモータであり、３個のリニアモータ（残りの１個は図示せず）の駆動によって、ステージ２１の重力方向であるＺ方向の位置あるいは傾きをベース２６に対して調節することができる。また、ステージ２１のＺ方向の位置および傾きを計測することにより、ステージのＺ方向の位置および傾きを制御できる。
【００４９】
本発明の各実施例によれば、リニアモータの冷却効率が上がりコイルから発生する熱を回収しているので、リニアモータからの発熱がウエハステージに伝わって温度上昇させたり、雰囲気温度を上昇させることがないため、ウエハステージの位置決め精度を飛躍的に向上させることができ、ひいては従来以上に高精度な露光転写が可能となる。
【００５０】
＜デバイス製造方法＞
図１５は上記露光装置を使用した半導体デバイス（ＩＣやＬＳＩ等の半導体チップ、あるいは液晶パネルやＣＣＤ等）の生産フローを示す。ステップ１（回路設計）では半導体デバイスの回路設計を行う。ステップ２（マスク製作）では設計した回路パターンを形成したマスクを製作する。ステップ３（ウエハ製造）ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ４（ウエハプロセス）は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。ステップ５（組み立て）は後工程と呼ばれ、ステップ４によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）、パッケージング工程（チップ封入）等の工程を含む。ステップ６（検査）ではステップ５で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これが出荷（ステップ７）される。
【００５１】
図１６は上記ウエハプロセスの詳細なフローを示す。ステップ１１（酸化）ではウエハの表面を酸化させる。ステップ１２（ＣＶＤ）ではウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップ１３（電極形成）ではウエハに電極を蒸着によって形成する。ステップ１４（イオン打込み）ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ１５（レジスト処理）ではウエハに感光剤を塗布する。ステップ１６（露光）では上記説明した露光によってマスクの回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップ１７（現像）では露光したウエハを現像する。ステップ１８（エッチング）では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ１９（レジスト剥離）ではエッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行うことによって、ウエハ上に多重に回路パターンが形成される。
【００５２】
【発明の効果】
本発明によれば、冷媒の圧力を上げるもしくはジャケットの肉薄部分を薄くしても、ジャケットの変形や破損を抑えられるので、冷媒の流量を上げ冷却効率を向上させることができると共に、ジャケットの小型化によりリニアモータの推力を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】リニアモータを説明する上面図
【図２】リニアモータのジャケット構成を示す分解図
【図３】リニアモータの外観を表す斜視図
【図４】別の形態のリニアモータのジャケットを表す図
【図５】本発明を説明する上での例としてのリニアモータのジャケットを表す図
【図６】別の形態のリニアモータのジャケットを表す図
【図７】別の形態のリニアモータのジャケットを表す図
【図８】別の形態のリニアモータのジャケットを表す図
【図９】別の形態のリニアモータの構成を示す図
【図１０】別の形態のリニアモータのジャケットを表す図
【図１１】本発明を説明する上での例としてのリニアモータのジャケットを表す図
【図１２】別の形態のリニアモータのジャケットを表す図
【図１３】本発明を説明する上での例としてのリニアモータのジャケットを表す図
【図１４】ステージを有する露光装置の構成図
【図１５】半導体デバイスの製造フローを示す図
【図１６】ウエハプロセスの詳細なフローを示す図
【図１７】従来例のリニアモータを説明する図
【符号の説明】
１コイル
２ヨーク
３永久磁石
４、４′ シート
５フレーム
７固定具
８補強部材
１４、１４′ ジャケットカバー

Claims

コイルと、該コイルを覆い内部空間に冷媒が供給されるジャケットとを有するリニアモータであって、該冷媒の圧力に対して該ジャケットを補強する補強部材を、ジャケット内部の該コイルの空芯部に、該空芯部を貫通し且つ前記ジャケットの前記コイルを挟んで対向する箇所に固定ないし一体化した形で設けたリニアモータを駆動機構として有することを特徴とするステージ装置。
前記ジャケットを挟んで磁石が取り付けられたヨークが設けられていることを特徴とする請求項１記載のステージ装置。
前記ジャケットはフレームと該フレームを挟んで２枚のシートを接合したものである請求項１記載のステージ装置。
前記ジャケットは２つのジャケットカバーを接合したものである請求項１記載のステージ装置。
前記ジャケット及び補強部材は非磁性体材料からなることを特徴とする請求項１記載のステージ装置。
前記ジャケット及び補強部材はセラミックス材料からなることを特徴とする請求項５記載のステージ装置。
前記補強部材はジャケットの一部として構成された突起部であることを特徴とする請求項１記載のステージ装置。
ジャケットの構成部材がコイルを固定することを特徴とする請求項１記載のステージ装置。
請求項１〜８のいずれか記載のステージ装置で基板を搭載して、該基板に露光を行う手段を有することを特徴とする露光装置。
請求項９記載の露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。