JP2009094111A - 露光装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】
原版または基板を保持する保持部材を搭載する可動テーブルの伝熱性を改善する露光装置を提供する。
【解決手段】
原版または基板を保持する保持部材と、前記保持部材を搭載し、熱伝導率が異方性を有する繊維強化樹脂材から成る可動テーブルと、を有し、前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置であって、前記繊維強化樹脂材の繊維方向に直交する方向の前記熱伝導率より高い熱伝導率を有する伝熱部材が、前記繊維強化樹脂材の前記繊維方向を横断する面に接触するように配置されていることを特徴とする。
【選択図】 図3
原版または基板を保持する保持部材を搭載する可動テーブルの伝熱性を改善する露光装置を提供する。
【解決手段】
原版または基板を保持する保持部材と、前記保持部材を搭載し、熱伝導率が異方性を有する繊維強化樹脂材から成る可動テーブルと、を有し、前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置であって、前記繊維強化樹脂材の繊維方向に直交する方向の前記熱伝導率より高い熱伝導率を有する伝熱部材が、前記繊維強化樹脂材の前記繊維方向を横断する面に接触するように配置されていることを特徴とする。
【選択図】 図3
Description
本発明は、原版のパターンを基板に露光する露光装置およびデバイス製造方法に関するものである。
図22を参照して、半導体製造等に用いられ、レチクル(原版)のパターンをウェハ(基板)に露光する従来例の露光装置の構成を説明する。
露光装置は、ウェハ109を位置決めするためのウェハステージ101と、その上方に配設された投影レンズ102、レチクルステージ103および光源106を有する。
i線、エキシマレーザ、電子線、X線、EUVなどの光源106から発生された露光光は、レチクルステージ103上の原版であるレチクル110を透過または反射する。
さらに、この露光光は、投影レンズ102によってウェハ109に集光され、レチクル110のパターンをウェハ109に転写する。
ウェハステージ101はベース105aに支持され、ベース105aは防振装置105bを介して床面に支持される。
ベース105aの外周部分にはフレーム105が支持され、フレーム105の下面にはウェハステージ101上のミラー107aを用いて位置計測を行うためのレーザ干渉計107が支持部材によって固定されている。
フレーム105の上面の中央に投影レンズ102が支持される。
露光装置は、ウェハ109を位置決めするためのウェハステージ101と、その上方に配設された投影レンズ102、レチクルステージ103および光源106を有する。
i線、エキシマレーザ、電子線、X線、EUVなどの光源106から発生された露光光は、レチクルステージ103上の原版であるレチクル110を透過または反射する。
さらに、この露光光は、投影レンズ102によってウェハ109に集光され、レチクル110のパターンをウェハ109に転写する。
ウェハステージ101はベース105aに支持され、ベース105aは防振装置105bを介して床面に支持される。
ベース105aの外周部分にはフレーム105が支持され、フレーム105の下面にはウェハステージ101上のミラー107aを用いて位置計測を行うためのレーザ干渉計107が支持部材によって固定されている。
フレーム105の上面の中央に投影レンズ102が支持される。
フレーム105およびレチクルステージ支持体104、ベース105aおよび光源支持部材106aは、投影レンズ102とレチクルステージ103と光源106および位置計測用のレーザ干渉計108を支持するものである。
半導体集積回路を製造するための露光装置は、高集積度に対応すると同時に、単位時間あたりの露光枚数すなわちスループットを向上させ、より安価なチップを提供することが望まれている。
ウェハステージ101、レチクルステージ103は、可動テーブルにウェハ109あるいはレチクル110を保持するための保持部材であるチャック、ステージの位置計測用のミラー、および露光時に用いるセンサ部品等を搭載している。
この可動テーブルを高速に駆動し、高精度な位置決めを行うために、可動テーブル自体が高剛性かつ軽量であることが望まれる。
この課題を解決するため、特開2005−243809号公報(特許文献1)等に記載されているように可動テーブルの材質を、炭化珪素(SiC)から成るセラミック材ではなく、繊維強化樹脂により構成することが提案されている。
特開2005−243809号公報
半導体集積回路を製造するための露光装置は、高集積度に対応すると同時に、単位時間あたりの露光枚数すなわちスループットを向上させ、より安価なチップを提供することが望まれている。
ウェハステージ101、レチクルステージ103は、可動テーブルにウェハ109あるいはレチクル110を保持するための保持部材であるチャック、ステージの位置計測用のミラー、および露光時に用いるセンサ部品等を搭載している。
この可動テーブルを高速に駆動し、高精度な位置決めを行うために、可動テーブル自体が高剛性かつ軽量であることが望まれる。
この課題を解決するため、特開2005−243809号公報(特許文献1)等に記載されているように可動テーブルの材質を、炭化珪素(SiC)から成るセラミック材ではなく、繊維強化樹脂により構成することが提案されている。
しかし、上記特許文献1の従来例のように、可動テーブルを繊維強化樹脂材で構成すると、炭化珪素等のセラミックや金属材料と異なり、材料の向きによって強度あるいは弾性に方向性を有し、熱伝導率においても方向性(熱伝導異方性)を有する。
具体的には、炭素繊維強化樹脂(CFRP)材は、炭素繊維が配向された方向へは、熱が炭素繊維を伝わって移動するため熱伝導率は高い。
一方、炭素繊維が配向された方向に対し直交する方向へは、炭素繊維間に樹脂が介在するため、熱伝導率も低く、樹脂材に近い値になる。
露光装置の可動テーブルにおいて、露光時に原版であるレチクルおよび基板であるウェハに加わる露光熱が、保持部材であるチャックを介して可動テーブルに伝熱される。
その一部は、ウェハあるいはレチクル、チャック、可動テーブルから露光環境内に放熱され、また冷却機構を用いて回収される場合もある。
可動テーブルに、上記炭素繊維強化樹脂材を用いた場合、繊維長手方向である繊維方向の熱伝導率は、従来材料の炭化珪素(=SiC)に比べて高く、繊維長手方向と直交する方向である繊維直交方向の熱伝導率は100分の1程度にまで低下する。
そのため、保持部材であるチャックから可動テーブルへの伝熱効率が低く、チャックの温度が上昇し、このチャックの温度上昇により、ウェハあるいはレチクル自体の変形を引き起こし、集積度の高い露光パターンを形成する。
そこで、本発明は、原版または基板を保持する保持部材を搭載する可動テーブルの伝熱性を改善する露光装置を提供することを目的とする。
具体的には、炭素繊維強化樹脂(CFRP)材は、炭素繊維が配向された方向へは、熱が炭素繊維を伝わって移動するため熱伝導率は高い。
一方、炭素繊維が配向された方向に対し直交する方向へは、炭素繊維間に樹脂が介在するため、熱伝導率も低く、樹脂材に近い値になる。
露光装置の可動テーブルにおいて、露光時に原版であるレチクルおよび基板であるウェハに加わる露光熱が、保持部材であるチャックを介して可動テーブルに伝熱される。
その一部は、ウェハあるいはレチクル、チャック、可動テーブルから露光環境内に放熱され、また冷却機構を用いて回収される場合もある。
可動テーブルに、上記炭素繊維強化樹脂材を用いた場合、繊維長手方向である繊維方向の熱伝導率は、従来材料の炭化珪素(=SiC)に比べて高く、繊維長手方向と直交する方向である繊維直交方向の熱伝導率は100分の1程度にまで低下する。
そのため、保持部材であるチャックから可動テーブルへの伝熱効率が低く、チャックの温度が上昇し、このチャックの温度上昇により、ウェハあるいはレチクル自体の変形を引き起こし、集積度の高い露光パターンを形成する。
そこで、本発明は、原版または基板を保持する保持部材を搭載する可動テーブルの伝熱性を改善する露光装置を提供することを目的とする。
上記課題を達成するための本発明の露光装置は、原版または基板を保持する保持部材と、前記保持部材を搭載し、熱伝導率が異方性を有する繊維強化樹脂材から成る可動テーブルと、を有し、前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置であって、前記繊維強化樹脂材の繊維方向に直交する方向の前記熱伝導率より高い熱伝導率を有する伝熱部材が、前記繊維強化樹脂材の前記繊維方向を横断する面に接触するように配置されていることを特徴とする。
さらに、別観点における本発明の露光装置は、原版または基板を保持する保持部材と、前記保持部材を搭載し、繊維強化樹脂材から成る可動テーブルと、を有し、前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置であって、前記可動テーブルに埋設された金属部材を備え、該金属部材の一端が前記保持部材に接触していることを特徴としている。
さらに、別観点における本発明の露光装置は、原版または基板を保持する保持部材と、前記保持部材を搭載し、繊維強化樹脂材から成る可動テーブルと、を有し、前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置であって、前記可動テーブルに埋設された金属部材を備え、該金属部材の一端が前記保持部材に接触していることを特徴としている。
本発明によれば、原版または基板を保持する保持部材を搭載する可動テーブルの伝熱性を改善する。
以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明する。
図1から図4を参照して、本発明の実施例1の露光装置を説明する。
なお、図1の本実施例1の露光装置における符号1〜5、5a、5b、6、6a、7、7a、8〜10は、図22の従来例における符号101〜105、105a、105b、106、106a、107、107a、108〜110に相当し、説明を省略する。
図2は、図1におけるウェハステージ1の構成斜視図を示す。
定盤11はステージの基準面を有し、この定盤11上に固定された固定Yガイド12の側面は基準面をなし、固定Yガイド12と定盤11をガイド面として、Y方向に移動可能なYステージ13が構成される。
Yステージ13は、リニアモータを構成する固定子14と可動子15によって推力を発生し、可動子15に連結されたYビーム16を移動する。
XYステージ17は、Yビーム16に設けられた不図示のXガイドによってX方向に移動可能に案内され、Yビーム16に設けられたX固定子18とXYステージに設けられた不図示のX可動子によってリニアモータを構成し、X方向に推力が与えられる。
以上により、XYステージ17は定盤11面上をX,Y方向に移動可能となる。
XYステージ17上には、XYステージ17がリニアモータによって受けた推力を非接触で可動テーブル19へと伝達するための電磁継手と、可動テーブル19の自重を非接触で支持するための自重補償機構が設けられる。
さらに、可動テーブル19の6軸方向の位置及び姿勢を微調整するためのX軸方向微動リニアモータ、Y軸方向微動リニアモータ、Z軸方向微動リニアモータを備える。ここで、姿勢(各軸回りの回転)の微調整については上記微動リニアモータを2つ駆動することによって達成できる。このような構成で、可動テーブル19を非接触で6軸方向に位置決め可能な構成となっている。
また、可動テーブル19上には、感光基板であるウェハ9を保持するチャック20(保持部材)と位置計測用のミラーおよび露光量を測定するセンサ等が搭載されている。
なお、図1の本実施例1の露光装置における符号1〜5、5a、5b、6、6a、7、7a、8〜10は、図22の従来例における符号101〜105、105a、105b、106、106a、107、107a、108〜110に相当し、説明を省略する。
図2は、図1におけるウェハステージ1の構成斜視図を示す。
定盤11はステージの基準面を有し、この定盤11上に固定された固定Yガイド12の側面は基準面をなし、固定Yガイド12と定盤11をガイド面として、Y方向に移動可能なYステージ13が構成される。
Yステージ13は、リニアモータを構成する固定子14と可動子15によって推力を発生し、可動子15に連結されたYビーム16を移動する。
XYステージ17は、Yビーム16に設けられた不図示のXガイドによってX方向に移動可能に案内され、Yビーム16に設けられたX固定子18とXYステージに設けられた不図示のX可動子によってリニアモータを構成し、X方向に推力が与えられる。
以上により、XYステージ17は定盤11面上をX,Y方向に移動可能となる。
XYステージ17上には、XYステージ17がリニアモータによって受けた推力を非接触で可動テーブル19へと伝達するための電磁継手と、可動テーブル19の自重を非接触で支持するための自重補償機構が設けられる。
さらに、可動テーブル19の6軸方向の位置及び姿勢を微調整するためのX軸方向微動リニアモータ、Y軸方向微動リニアモータ、Z軸方向微動リニアモータを備える。ここで、姿勢(各軸回りの回転)の微調整については上記微動リニアモータを2つ駆動することによって達成できる。このような構成で、可動テーブル19を非接触で6軸方向に位置決め可能な構成となっている。
また、可動テーブル19上には、感光基板であるウェハ9を保持するチャック20(保持部材)と位置計測用のミラーおよび露光量を測定するセンサ等が搭載されている。
図3を参照して、可動テーブル19、チャック20および伝熱部材21を説明する。
可動テーブル19は、チャック20を搭載し、熱伝導率が異方性を有する繊維強化樹脂材から成り、この繊維強化樹脂材は、炭素繊維強化樹脂から成る。
炭素繊維強化樹脂材は、直径が7〜10um程度の炭素繊維の束を炭素繊維の向きを揃え、エポキシ系樹脂、シアネート樹脂等を含浸させたものである。
本実施例1での成型方法は、炭素繊維に樹脂を含浸させ樹脂半硬化状態にあるシート材であるプリプレグシートを順次、積層した後、圧力を加えながら樹脂硬化をさせた板材を用いている。この板材を組合せ、可動テーブル19を構成する。
可動テーブル19は、チャック20をエアーやネジ締結等により固定される上板19a、位置計測用レーザ干渉計のターゲットとなる反射ミラーが設置される側板19bを備える。
さらに、可動テーブル19は、可動テーブル19を6軸方向に位置決め可能にするための部材が固定される下板19c、及び可動テーブルを軽量かつ剛性を保つためのリブ19dを備え、各部材は接着やネジ締結等により固定される。
なお、プリプレグシートの積層に際し、積層毎に炭素繊維の方向を変えることで、同一形状の板材でも、板材の向きによって強度および剛性を変えることができる。
この板材には、シートの面内方向には繊維方向が配向され、プリプレグシートの積層方向には繊維と繊維との間が樹脂で構成される。
可動テーブル19は、チャック20を搭載し、熱伝導率が異方性を有する繊維強化樹脂材から成り、この繊維強化樹脂材は、炭素繊維強化樹脂から成る。
炭素繊維強化樹脂材は、直径が7〜10um程度の炭素繊維の束を炭素繊維の向きを揃え、エポキシ系樹脂、シアネート樹脂等を含浸させたものである。
本実施例1での成型方法は、炭素繊維に樹脂を含浸させ樹脂半硬化状態にあるシート材であるプリプレグシートを順次、積層した後、圧力を加えながら樹脂硬化をさせた板材を用いている。この板材を組合せ、可動テーブル19を構成する。
可動テーブル19は、チャック20をエアーやネジ締結等により固定される上板19a、位置計測用レーザ干渉計のターゲットとなる反射ミラーが設置される側板19bを備える。
さらに、可動テーブル19は、可動テーブル19を6軸方向に位置決め可能にするための部材が固定される下板19c、及び可動テーブルを軽量かつ剛性を保つためのリブ19dを備え、各部材は接着やネジ締結等により固定される。
なお、プリプレグシートの積層に際し、積層毎に炭素繊維の方向を変えることで、同一形状の板材でも、板材の向きによって強度および剛性を変えることができる。
この板材には、シートの面内方向には繊維方向が配向され、プリプレグシートの積層方向には繊維と繊維との間が樹脂で構成される。
図4に示されるように可動テーブル19の上板19aは、露光光の光軸と垂直な方向を繊維方向として強度を向上させている。また、この上板19aには、アルミ合金からなる円柱状の複数の伝熱部材21が埋設され、繊維方向19fを横断する面19eに接触するように配置される。
伝熱部材21は、可動テーブル19の繊維強化樹脂材の繊維方向19fに直交する方向の熱伝導率より高い熱伝導率を有し、繊維強化樹脂材の繊維方向19fを横断する面19eに接触するように配置されている。
ここで、可動テーブル19の繊維強化樹脂材の繊維方向19fの熱伝導率は、例えば、300W/mK程度であり、繊維強化樹脂材の繊維方向19fを横断する面19eの熱伝導率は、2W/mK程度である。
また、伝熱部材21は、一端21aが保持部材であるチャック20の下面に接触するように配置される。
このため、露光光のエネルギーが、ウェハ9上で露光熱に変化し、ウェハ9を保持している保持部材であるチャック20に熱が伝熱される。
さらに、このチャック20から、可動テーブル19の上板19aの上面に一部は伝熱されると共に、チャック20の下面に接している伝熱部材21にも伝熱される。
プリプレグシートの積層方向である繊維強化樹脂材の繊維方向19fに直交する方向は炭素繊維間には樹脂が介在し、上述のように熱伝導率が2W/mK程度と低いために伝熱しにくい。
伝熱部材21は、このプリプレグシートの積層方向である繊維強化樹脂材の繊維方向19fに直交する方向の熱伝導率より高い150W/mK程度の熱伝導率を有するアルミ合金を用いている。
しかし、銅合金、チタン合金、ステンレス等の金属やアルミナ、炭化珪素等のセラミックスを用いても構わない。一般に、金属部材は樹脂材よりも熱伝導率が高いため、熱伝導を補助する効果を奏する。
チャック20より伝わった熱が、伝熱部材21内に伝播し、伝熱部材21に接した繊維方向19fに直交する面を介して、炭素繊維内に流入する。
したがって、可動テーブル19の上板19aの厚さに対して、伝熱部材21が深く埋設されると炭素繊維内に流入する量を増やすことができる。
なお、伝熱部材21の形状は円柱に限らず、四角柱や図5に示される本実施例2における伝熱部材22のように円錐形状であってもよい。
伝熱部材21は、熱伝導率の高い方向を持つ面に対して接触していれば良く、炭素繊維の繊維方向19fに直交する方向に対して0°とは異なる角度を持った切断面が接触するような伝熱部材の形状であってもよい。
また、伝熱部材21、22を、繊維方向19fを横断する面に接するように配置する際、接着剤に金属粉末が入った熱伝導性の良いペーストを用いて固定してもよく、あるいは板材成型時に伝熱部材21,22を同時に成型してもよい。
また、チャック20との接触面は伝熱部材部分が上板19a面より突出し、接触していてもよい。
また、チャック20との接触面は接触面積を増やし、伝熱を良くするために、平面度および表面粗さは小さい方がよいため、ラップあるいはポリシングにより面形成されることが好ましい。
以上により、繊維強化樹脂材が持つ熱伝導異方性による可動テーブル19内の伝熱性を改善することが可能になり、繊維強化樹脂材を用いた可動テーブル19をもつ最適な露光装置を提供することが可能になる。
伝熱部材21は、可動テーブル19の繊維強化樹脂材の繊維方向19fに直交する方向の熱伝導率より高い熱伝導率を有し、繊維強化樹脂材の繊維方向19fを横断する面19eに接触するように配置されている。
ここで、可動テーブル19の繊維強化樹脂材の繊維方向19fの熱伝導率は、例えば、300W/mK程度であり、繊維強化樹脂材の繊維方向19fを横断する面19eの熱伝導率は、2W/mK程度である。
また、伝熱部材21は、一端21aが保持部材であるチャック20の下面に接触するように配置される。
このため、露光光のエネルギーが、ウェハ9上で露光熱に変化し、ウェハ9を保持している保持部材であるチャック20に熱が伝熱される。
さらに、このチャック20から、可動テーブル19の上板19aの上面に一部は伝熱されると共に、チャック20の下面に接している伝熱部材21にも伝熱される。
プリプレグシートの積層方向である繊維強化樹脂材の繊維方向19fに直交する方向は炭素繊維間には樹脂が介在し、上述のように熱伝導率が2W/mK程度と低いために伝熱しにくい。
伝熱部材21は、このプリプレグシートの積層方向である繊維強化樹脂材の繊維方向19fに直交する方向の熱伝導率より高い150W/mK程度の熱伝導率を有するアルミ合金を用いている。
しかし、銅合金、チタン合金、ステンレス等の金属やアルミナ、炭化珪素等のセラミックスを用いても構わない。一般に、金属部材は樹脂材よりも熱伝導率が高いため、熱伝導を補助する効果を奏する。
チャック20より伝わった熱が、伝熱部材21内に伝播し、伝熱部材21に接した繊維方向19fに直交する面を介して、炭素繊維内に流入する。
したがって、可動テーブル19の上板19aの厚さに対して、伝熱部材21が深く埋設されると炭素繊維内に流入する量を増やすことができる。
なお、伝熱部材21の形状は円柱に限らず、四角柱や図5に示される本実施例2における伝熱部材22のように円錐形状であってもよい。
伝熱部材21は、熱伝導率の高い方向を持つ面に対して接触していれば良く、炭素繊維の繊維方向19fに直交する方向に対して0°とは異なる角度を持った切断面が接触するような伝熱部材の形状であってもよい。
また、伝熱部材21、22を、繊維方向19fを横断する面に接するように配置する際、接着剤に金属粉末が入った熱伝導性の良いペーストを用いて固定してもよく、あるいは板材成型時に伝熱部材21,22を同時に成型してもよい。
また、チャック20との接触面は伝熱部材部分が上板19a面より突出し、接触していてもよい。
また、チャック20との接触面は接触面積を増やし、伝熱を良くするために、平面度および表面粗さは小さい方がよいため、ラップあるいはポリシングにより面形成されることが好ましい。
以上により、繊維強化樹脂材が持つ熱伝導異方性による可動テーブル19内の伝熱性を改善することが可能になり、繊維強化樹脂材を用いた可動テーブル19をもつ最適な露光装置を提供することが可能になる。
図6を参照して、本発明の実施例3の露光装置を説明する。
なお、図22の従来例および実施例1と同様の構成をもつ部分に関しては、必要な部分のみ記載することとし、その他の部分は省略する。
図6は、ウェハステージを構成する可動テーブル19の側面断面図であり、伝熱部材23の配置が実施例1とは異なる。
可動テーブル19を構成する上板19aは繊維強化樹脂材を積層し、繊維方向は板の面内方向に平行である。
伝熱部材23は上板19aの端部に繊維方向を横断する面に接触するように配置されている。
本実施例3では、チャック20の下面に伝熱部材を設けないため、チャックから伝熱部材へ直接伝熱されることはない。
しかし、チャック20より上板19aの上面側に伝熱した熱が、上面側にある炭素繊維に流入し、上板19aの端面に到達すると、繊維強化樹脂材における熱伝導率が高い方向を持つ面である、繊維方向に直交する面に接した伝熱部材23に伝播する。
繊維強化樹脂材における熱伝導率が低い方向である、プリプレグシートの積層方向を伝わる熱より早く、伝熱部材23内を上方から下方に伝熱される。
その後、上板19aの下面側の炭素繊維内に伝熱することで上板19aの全体に熱が拡がって行く。
これにより、上板19aに伝熱部材を埋設するための穴を設けずにすみ、炭素繊維を分断することないため、可動テーブル19としての強度及び剛性の低下を抑えつつ、チャック20の蓄熱を低下できる。
図7の本実施例4においては、伝熱部材24を可動テーブル19の側板19bおよび下板19cの端面まで伸ばし、伝熱部材24を下板19cの繊維方向に直交する面に接触させることで、伝熱量を増やしチャックの蓄熱をさらに低下できる。
図8の本実施例5においては、伝熱部材25が可動テーブル19の上板19aの下面側寄りに埋設している。これにより、可動テーブル19が面外曲げを受けたときの上板19aの上面における曲げ剛性低下を抑えつつチャック20の蓄熱を低下できる。
なお、図22の従来例および実施例1と同様の構成をもつ部分に関しては、必要な部分のみ記載することとし、その他の部分は省略する。
図6は、ウェハステージを構成する可動テーブル19の側面断面図であり、伝熱部材23の配置が実施例1とは異なる。
可動テーブル19を構成する上板19aは繊維強化樹脂材を積層し、繊維方向は板の面内方向に平行である。
伝熱部材23は上板19aの端部に繊維方向を横断する面に接触するように配置されている。
本実施例3では、チャック20の下面に伝熱部材を設けないため、チャックから伝熱部材へ直接伝熱されることはない。
しかし、チャック20より上板19aの上面側に伝熱した熱が、上面側にある炭素繊維に流入し、上板19aの端面に到達すると、繊維強化樹脂材における熱伝導率が高い方向を持つ面である、繊維方向に直交する面に接した伝熱部材23に伝播する。
繊維強化樹脂材における熱伝導率が低い方向である、プリプレグシートの積層方向を伝わる熱より早く、伝熱部材23内を上方から下方に伝熱される。
その後、上板19aの下面側の炭素繊維内に伝熱することで上板19aの全体に熱が拡がって行く。
これにより、上板19aに伝熱部材を埋設するための穴を設けずにすみ、炭素繊維を分断することないため、可動テーブル19としての強度及び剛性の低下を抑えつつ、チャック20の蓄熱を低下できる。
図7の本実施例4においては、伝熱部材24を可動テーブル19の側板19bおよび下板19cの端面まで伸ばし、伝熱部材24を下板19cの繊維方向に直交する面に接触させることで、伝熱量を増やしチャックの蓄熱をさらに低下できる。
図8の本実施例5においては、伝熱部材25が可動テーブル19の上板19aの下面側寄りに埋設している。これにより、可動テーブル19が面外曲げを受けたときの上板19aの上面における曲げ剛性低下を抑えつつチャック20の蓄熱を低下できる。
図9、図10、図11を参照して、本発明の実施例6の露光装置を説明する。
図9は、可動テーブル19の側面部分断面図であり、図10は可動テーブル19の上面図である。
可動テーブル19の上板19aに伝熱部材26が埋設されおり、チャック20の下面にも接触するように配置されていると共に、繊維方向に直交する面のうち、伝熱させる面に対して伝熱部材26を接するように配置されている。
伝熱部材26はこのプリプレグシートの積層方向の熱伝導率より高く、かつプリプレグシートの積層方向の熱膨張係数に近い材質を用いる。
これは、温度上昇により生じる伝熱部材とプリプレグシートの積層方向の熱膨張量の差を小さくし、接触面での剥離やプリプレグシートの積層間の剥離、および上板19aの局所変形を低減させるためである。
本実施例6では、プリプレグシートの積層方向の熱膨張係数は樹脂材の熱膨張係数に近く、50×10−6/K程度であることから、金属材料のなかでは熱膨張係数の比較的大きいマグネシム合金やアルミ合金を用いる。
図9は、可動テーブル19の側面部分断面図であり、図10は可動テーブル19の上面図である。
可動テーブル19の上板19aに伝熱部材26が埋設されおり、チャック20の下面にも接触するように配置されていると共に、繊維方向に直交する面のうち、伝熱させる面に対して伝熱部材26を接するように配置されている。
伝熱部材26はこのプリプレグシートの積層方向の熱伝導率より高く、かつプリプレグシートの積層方向の熱膨張係数に近い材質を用いる。
これは、温度上昇により生じる伝熱部材とプリプレグシートの積層方向の熱膨張量の差を小さくし、接触面での剥離やプリプレグシートの積層間の剥離、および上板19aの局所変形を低減させるためである。
本実施例6では、プリプレグシートの積層方向の熱膨張係数は樹脂材の熱膨張係数に近く、50×10−6/K程度であることから、金属材料のなかでは熱膨張係数の比較的大きいマグネシム合金やアルミ合金を用いる。
一方、伝熱を積極的に行わない面に対しては、伝熱部材26との間に隙間41,42を設ける。
これは、伝熱部材26が熱により温度上昇した時に生じる伝熱部材26自体の膨張により、上板19a面内の変形をさせしまうことを回避するためである。
図9の実施例6における隙間41、42はこの観点に基づいて設けたものである。しかし、結果として伝熱経路を矢印で示したように限定してしまう。
伝熱部材26は、繊維強化樹脂材の繊維方向を横断する面19eに接触する。
さらに、繊維強化樹脂材の繊維方向を横断する面19eと対向する面19gおよび保持部材20に接触する一端26aと対向する面19hとの間は、非接触で隙間41,42が介在され、伝熱部材26に生じる熱変形を低減する。
そこで、図10に示される露光装置の場合は、露光熱が入る方向がウェハ9(2点差線)の内側に限定されるために、ウェハ9の外周付近にこの伝熱部材26を設ける。
さらに、このウェハ9から遠ざかる方向に熱を流すように伝熱部材26を配置することで、限定された伝熱経路においてもウェハ9及びチャック20の温度上昇を低減することができる。
また、隙間41及び隙間42にスポンジのような弾性率の低い材料を介在させることで、伝熱性の向上を図ることも可能である。
また、実施例1で示した円柱状の伝熱部材21の代わりに、図11に示される本実施例6における伝熱材27を用いて、嵌入してもよく、伝熱材27の熱による膨張に対して外周の変形力を低減させることも可能である。
伝熱部材27は、可撓性を有し、スリット27aを有する筒状に形成され、伝熱部材27に生じる熱変形を低減する。
以上のように、伝熱部材の熱による変形を低減するための手段として可動テーブルと伝熱部材との間に隙間を設け、あるいは、伝熱部材自体にバネ性のある構造にする。
これにより、繊維強化樹脂材からなる可動テーブル内の伝熱性を改善すると共に、この改善をより効果的に実施するための方法を提供することで、より最適な露光装置を提供することが可能になる。
これは、伝熱部材26が熱により温度上昇した時に生じる伝熱部材26自体の膨張により、上板19a面内の変形をさせしまうことを回避するためである。
図9の実施例6における隙間41、42はこの観点に基づいて設けたものである。しかし、結果として伝熱経路を矢印で示したように限定してしまう。
伝熱部材26は、繊維強化樹脂材の繊維方向を横断する面19eに接触する。
さらに、繊維強化樹脂材の繊維方向を横断する面19eと対向する面19gおよび保持部材20に接触する一端26aと対向する面19hとの間は、非接触で隙間41,42が介在され、伝熱部材26に生じる熱変形を低減する。
そこで、図10に示される露光装置の場合は、露光熱が入る方向がウェハ9(2点差線)の内側に限定されるために、ウェハ9の外周付近にこの伝熱部材26を設ける。
さらに、このウェハ9から遠ざかる方向に熱を流すように伝熱部材26を配置することで、限定された伝熱経路においてもウェハ9及びチャック20の温度上昇を低減することができる。
また、隙間41及び隙間42にスポンジのような弾性率の低い材料を介在させることで、伝熱性の向上を図ることも可能である。
また、実施例1で示した円柱状の伝熱部材21の代わりに、図11に示される本実施例6における伝熱材27を用いて、嵌入してもよく、伝熱材27の熱による膨張に対して外周の変形力を低減させることも可能である。
伝熱部材27は、可撓性を有し、スリット27aを有する筒状に形成され、伝熱部材27に生じる熱変形を低減する。
以上のように、伝熱部材の熱による変形を低減するための手段として可動テーブルと伝熱部材との間に隙間を設け、あるいは、伝熱部材自体にバネ性のある構造にする。
これにより、繊維強化樹脂材からなる可動テーブル内の伝熱性を改善すると共に、この改善をより効果的に実施するための方法を提供することで、より最適な露光装置を提供することが可能になる。
図12を参照して、本発明の実施例7の露光装置を説明する。
チャック20の下面全域にわたり、伝熱部材28が接していると同時に可動テーブル19の上板19aに伝熱部材の凸部28a、28bが埋設されている。
各々の凸部は繊維方向を横断する面に接しており、炭素繊維強化樹脂材における熱伝導率が高い面が伝熱部材28に接触するように配置されている。
凸部28aはウェハ9の中央付近の直下に位置すると共に上板の板厚分を埋設されている。
また、凸部28bはチャック20の外周付近の直下に複数位置し、凸部28aよりは凸部深さが低くなっている。
これにより、矢印の伝熱経路のようにチャック20の下面より伝熱部材28に伝熱した熱が、段差の異なる凸部を介して、熱伝導率の高い繊維方向に伝熱することで上板の板厚を有効に利用できる。
また、板材の伝熱部材28の材質は、一例として炭化珪素があげられる。
これは、繊維強化樹脂材における熱伝導率が低い方向である繊維方向に沿った方向の値より高い熱伝導率を持つ点に加え、チャック下面の広範囲にわたって接触している。
このため、チャック20の材質と同一であることで、チャック20との境界面での熱膨張の差による変形を低減できるとともに、熱容量を増やすことにもなり、温度上昇を低減できる。
以上により、繊維強化樹脂材が持つ熱伝導異方性による可動テーブル内の伝熱性を改善することが可能になり、繊維強化樹脂材を用いた可動テーブルをもつ最適な露光装置を提供することが可能になる。
チャック20の下面全域にわたり、伝熱部材28が接していると同時に可動テーブル19の上板19aに伝熱部材の凸部28a、28bが埋設されている。
各々の凸部は繊維方向を横断する面に接しており、炭素繊維強化樹脂材における熱伝導率が高い面が伝熱部材28に接触するように配置されている。
凸部28aはウェハ9の中央付近の直下に位置すると共に上板の板厚分を埋設されている。
また、凸部28bはチャック20の外周付近の直下に複数位置し、凸部28aよりは凸部深さが低くなっている。
これにより、矢印の伝熱経路のようにチャック20の下面より伝熱部材28に伝熱した熱が、段差の異なる凸部を介して、熱伝導率の高い繊維方向に伝熱することで上板の板厚を有効に利用できる。
また、板材の伝熱部材28の材質は、一例として炭化珪素があげられる。
これは、繊維強化樹脂材における熱伝導率が低い方向である繊維方向に沿った方向の値より高い熱伝導率を持つ点に加え、チャック下面の広範囲にわたって接触している。
このため、チャック20の材質と同一であることで、チャック20との境界面での熱膨張の差による変形を低減できるとともに、熱容量を増やすことにもなり、温度上昇を低減できる。
以上により、繊維強化樹脂材が持つ熱伝導異方性による可動テーブル内の伝熱性を改善することが可能になり、繊維強化樹脂材を用いた可動テーブルをもつ最適な露光装置を提供することが可能になる。
図13の断面図を参照して、本発明の実施例8の露光装置を説明する。
可動テーブル19は、上板19a、側板19bのうち対向する一対の面、および下板19cが成型の時点で一体化されており、前実施例で上板19aの端部にあった繊維方向の直交した面が切断されている断面が存在しない。
この可動テーブル19の上部19aに伝熱部材29が埋設されている。
この伝熱部材29はチャック20の下面にも接触するように配置されていると共に、繊維方向に直交する面に接するように配置されている。
以上の形態により、露光熱がチャック20より伝熱部材29内に伝播し、伝熱部材29に接した繊維方向に直交する面を介して、炭素繊維内に流入する。
そして、繊維方向に沿って、可動テーブル19の側面19bを経由し下面19cまで伝熱される。
これにより、可動テーブル19全体にわたって熱を伝えやすくすることで繊維強化樹脂材が持つ熱伝導異方性による可動テーブル内の伝熱性を改善することが可能になり、露光熱がチャックに蓄積することを抑える。
このため、繊維強化樹脂材を用いた可動テーブル19をもつ最適な露光装置を提供することが可能になる。
なお、本実施例8では、上板19aと側板19bおよび下板19cが一体化されている例を示したが、上板19aと一部のリブ19dのおよび下板19cが一体化させても構わない。
ミラーを取り付ける19b部に伝熱経路を形成しないため、位置計測誤差を低減できる効果も期待できる。
可動テーブル19は、上板19a、側板19bのうち対向する一対の面、および下板19cが成型の時点で一体化されており、前実施例で上板19aの端部にあった繊維方向の直交した面が切断されている断面が存在しない。
この可動テーブル19の上部19aに伝熱部材29が埋設されている。
この伝熱部材29はチャック20の下面にも接触するように配置されていると共に、繊維方向に直交する面に接するように配置されている。
以上の形態により、露光熱がチャック20より伝熱部材29内に伝播し、伝熱部材29に接した繊維方向に直交する面を介して、炭素繊維内に流入する。
そして、繊維方向に沿って、可動テーブル19の側面19bを経由し下面19cまで伝熱される。
これにより、可動テーブル19全体にわたって熱を伝えやすくすることで繊維強化樹脂材が持つ熱伝導異方性による可動テーブル内の伝熱性を改善することが可能になり、露光熱がチャックに蓄積することを抑える。
このため、繊維強化樹脂材を用いた可動テーブル19をもつ最適な露光装置を提供することが可能になる。
なお、本実施例8では、上板19aと側板19bおよび下板19cが一体化されている例を示したが、上板19aと一部のリブ19dのおよび下板19cが一体化させても構わない。
ミラーを取り付ける19b部に伝熱経路を形成しないため、位置計測誤差を低減できる効果も期待できる。
図14、図15を参照して、本発明の実施例9の露光装置を説明する。
図14は可動テーブル19の側面断面図を示しており、上板19aの一部分30を拡大した図が、図15あるいは図16である。
図15において、プリプレグシートの積層方向に対して直交する方向に複数の炭素繊維31を有しており、チャック20の下面に炭素繊維31の繊維直交方向の断面が接触している。
これにより、炭素繊維の繊維方向の高い熱伝導性を伝熱部材として用い、プリプレグシートの積層方向の熱伝導性を良くすることで、露光熱がチャックに蓄積することを低減できる。
このため、繊維強化樹脂材を用いた可動テーブルをもつ最適な露光装置を提供することが可能になる。
なお、図16において、複数の炭素繊維32はプリプレグシートの積層方向に対して直交する方向に対し角度をもっている例、および炭素繊維32aのように上板の板厚を貫通していない例を示している。
しかし、複数のプリプレグシートの積層部を跨って、炭素繊維を有する点で同様である。
また、本実施例ではプリプレグシートを用いて積層し板材を形成していたが、3次元織りした炭素繊維にマトリックスとなる樹脂を含浸させて形成してもよい。
3次元織りにより板材の厚さ方向の繊維が熱伝導部材とし寄与すると共に、織り込まれた方向の異なる炭素繊維が直接接触している確率が増え、この接触部では樹脂を介さないために伝熱性が向上する。
図14は可動テーブル19の側面断面図を示しており、上板19aの一部分30を拡大した図が、図15あるいは図16である。
図15において、プリプレグシートの積層方向に対して直交する方向に複数の炭素繊維31を有しており、チャック20の下面に炭素繊維31の繊維直交方向の断面が接触している。
これにより、炭素繊維の繊維方向の高い熱伝導性を伝熱部材として用い、プリプレグシートの積層方向の熱伝導性を良くすることで、露光熱がチャックに蓄積することを低減できる。
このため、繊維強化樹脂材を用いた可動テーブルをもつ最適な露光装置を提供することが可能になる。
なお、図16において、複数の炭素繊維32はプリプレグシートの積層方向に対して直交する方向に対し角度をもっている例、および炭素繊維32aのように上板の板厚を貫通していない例を示している。
しかし、複数のプリプレグシートの積層部を跨って、炭素繊維を有する点で同様である。
また、本実施例ではプリプレグシートを用いて積層し板材を形成していたが、3次元織りした炭素繊維にマトリックスとなる樹脂を含浸させて形成してもよい。
3次元織りにより板材の厚さ方向の繊維が熱伝導部材とし寄与すると共に、織り込まれた方向の異なる炭素繊維が直接接触している確率が増え、この接触部では樹脂を介さないために伝熱性が向上する。
図17、図18、図19を参照して、本発明の実施例10の露光装置を説明する。
図17に示されるように可動テーブル19を構成する上板19aには円柱状の複数の伝熱部材21が埋設され、上記繊維方向に直交する面に接するように配置されていると共に、チャック20の下面にも接触するように配置されている。
上板19aは、図18に示されるように複数のプリプレグシートがプリプレグシート面内の繊維方向を変えて積層されている。
さらに、可動テーブル19における保持部材であるチャンクに接触する面の少なくとも最表層のプリプレグシート33は、繊維方向が互いに直交するように織り込まれた炭素繊維強化樹脂から成るクロス材により形成される。
これは、一方向の炭素繊維からなるプリプレグシートを積層すると積層部において熱伝導率の低い樹脂を介在させてしまう。
しかし、予め炭素繊維状態で複数の方向が織り込まれたプリプレグシートでは、方向の異なる炭素繊維が直接接触している確率が増え、この接触部での伝熱性が樹脂を介さないために向上される。
また、接触している他方向に伝熱されるため、一方向材に比べ、広範囲に熱を伝熱できる。
表層にこうしたプリプレグシート33を用いることで、チャック下面から伝熱された熱を、広範囲に伝熱することでチャックの蓄熱を低減できると共に、チャックや可動テーブルの温度ムラを低減できる効果も期待できる。
これにより繊維強化樹脂材を用いた可動テーブルをもつ最適な露光装置を提供することが可能になる。
なお、本実施例10では表層にプリプレグシート33のような複数の方向を有するプリプレグシートを用いたが、表層に限ることではない。
また、図19に示されるように方向の異なる繊維が織り込まれたプリプレグシート34aおよび34bを重ねて複数層34にして用いても構わない。
なお、プリプレグシート34aの織り目に対して、位相が異なる織り目をもつプリプレグシート34bを重ねることで、同位相の折り目をもつプリプレグシートを重ねたときに比べ、可動テーブル19の上板19aのより広範囲への伝熱性を向上させる。
以上、本発明の実施例の露光装置について、ウェハステージの可動テーブルについて図面を参照しながら説明したが、本発明の実施例はレチクルステージの可動テーブルの場合にも同様の適用が可能である。
図17に示されるように可動テーブル19を構成する上板19aには円柱状の複数の伝熱部材21が埋設され、上記繊維方向に直交する面に接するように配置されていると共に、チャック20の下面にも接触するように配置されている。
上板19aは、図18に示されるように複数のプリプレグシートがプリプレグシート面内の繊維方向を変えて積層されている。
さらに、可動テーブル19における保持部材であるチャンクに接触する面の少なくとも最表層のプリプレグシート33は、繊維方向が互いに直交するように織り込まれた炭素繊維強化樹脂から成るクロス材により形成される。
これは、一方向の炭素繊維からなるプリプレグシートを積層すると積層部において熱伝導率の低い樹脂を介在させてしまう。
しかし、予め炭素繊維状態で複数の方向が織り込まれたプリプレグシートでは、方向の異なる炭素繊維が直接接触している確率が増え、この接触部での伝熱性が樹脂を介さないために向上される。
また、接触している他方向に伝熱されるため、一方向材に比べ、広範囲に熱を伝熱できる。
表層にこうしたプリプレグシート33を用いることで、チャック下面から伝熱された熱を、広範囲に伝熱することでチャックの蓄熱を低減できると共に、チャックや可動テーブルの温度ムラを低減できる効果も期待できる。
これにより繊維強化樹脂材を用いた可動テーブルをもつ最適な露光装置を提供することが可能になる。
なお、本実施例10では表層にプリプレグシート33のような複数の方向を有するプリプレグシートを用いたが、表層に限ることではない。
また、図19に示されるように方向の異なる繊維が織り込まれたプリプレグシート34aおよび34bを重ねて複数層34にして用いても構わない。
なお、プリプレグシート34aの織り目に対して、位相が異なる織り目をもつプリプレグシート34bを重ねることで、同位相の折り目をもつプリプレグシートを重ねたときに比べ、可動テーブル19の上板19aのより広範囲への伝熱性を向上させる。
以上、本発明の実施例の露光装置について、ウェハステージの可動テーブルについて図面を参照しながら説明したが、本発明の実施例はレチクルステージの可動テーブルの場合にも同様の適用が可能である。
次に、図20及び図21を参照して、上述の露光装置を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。
図20は、デバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
露光装置を用いてウェハを露光する工程と、前記ウェハを現像する工程とを備え、具体的には、以下の工程から成る。
ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。
ステップ2(マスク製作)では設計した回路パターンに基づいてマスクを製作する。
ステップ3(ウェハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウェハを製造する。
ステップ4(ウェハプロセス)は前工程と呼ばれ、マスクとウェハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウェハ上に実際の回路を形成する。
ステップ5(組立)は、後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウェハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組み立て工程を含む。
ステップ6(検査)では、ステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。
こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それが出荷(ステップ7)される。
図20は、デバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。ここでは、半導体チップの製造方法を例に説明する。
露光装置を用いてウェハを露光する工程と、前記ウェハを現像する工程とを備え、具体的には、以下の工程から成る。
ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行う。
ステップ2(マスク製作)では設計した回路パターンに基づいてマスクを製作する。
ステップ3(ウェハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウェハを製造する。
ステップ4(ウェハプロセス)は前工程と呼ばれ、マスクとウェハを用いて、上記の露光装置によりリソグラフィ技術を利用してウェハ上に実際の回路を形成する。
ステップ5(組立)は、後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウェハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の組み立て工程を含む。
ステップ6(検査)では、ステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行う。
こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それが出荷(ステップ7)される。
図21は、ステップ4のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。
ステップ11(酸化)では、ウェハの表面を酸化させる。
ステップ12(CVD)では、ウェハの表面に絶縁膜を形成する。
ステップ13(電極形成)では、ウェハに電極を形成する。
ステップ14(イオン打込み)では、ウェハにイオンを打ち込む。
ステップ15(レジスト処理)では、ウェハに感光剤を塗布する。
ステップ16(露光)では、露光装置によってマスクの回路パターンをウェハに露光する。
ステップ17(現像)では、露光したウェハを現像する。
ステップ18(エッチング)では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。
ステップ19(レジスト剥離)では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。
これらのステップを繰り返し行うことによってウェハ上に多重に回路パターンが形成される。
ステップ11(酸化)では、ウェハの表面を酸化させる。
ステップ12(CVD)では、ウェハの表面に絶縁膜を形成する。
ステップ13(電極形成)では、ウェハに電極を形成する。
ステップ14(イオン打込み)では、ウェハにイオンを打ち込む。
ステップ15(レジスト処理)では、ウェハに感光剤を塗布する。
ステップ16(露光)では、露光装置によってマスクの回路パターンをウェハに露光する。
ステップ17(現像)では、露光したウェハを現像する。
ステップ18(エッチング)では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。
ステップ19(レジスト剥離)では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。
これらのステップを繰り返し行うことによってウェハ上に多重に回路パターンが形成される。
1…ウェハステージ 2…投影レンズ 3…レチクルステージ
6…光源 9…ウェハ 19…可動テーブル
20…保持部材 21〜29、31、32…伝熱部材
33、34…プリプレグシート
6…光源 9…ウェハ 19…可動テーブル
20…保持部材 21〜29、31、32…伝熱部材
33、34…プリプレグシート
Claims (10)
- 原版または基板を保持する保持部材と、
前記保持部材を搭載し、熱伝導率が異方性を有する繊維強化樹脂材から成る可動テーブルと、を有し、前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置であって、
前記繊維強化樹脂材の繊維方向に直交する方向の前記熱伝導率より高い熱伝導率を有する伝熱部材が、前記繊維強化樹脂材の前記繊維方向を横断する面に接触するように配置されていることを特徴とする露光装置。 - 前記伝熱部材は、一端が前記保持部材に接触して、前記可動テーブルに埋設されることを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 原版または基板を保持する保持部材と、
前記保持部材を搭載し、繊維強化樹脂材から成る可動テーブルと、を有し、前記原版のパターンを前記基板に露光する露光装置であって、
前記可動テーブルに埋設された金属部材を備え、該金属部材の一端が前記保持部材に接触していることを特徴とする露光装置。 - 前記繊維強化樹脂材は、炭素繊維強化樹脂から成ることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の露光装置。
- 前記炭素繊維強化樹脂は、プリプレグシートを積層することにより形成されることを特徴とする請求項4に記載の露光装置。
- 前記可動テーブルにおける前記保持部材に接触する面の少なくとも最表層は、繊維方向が互いに直交するように織り込まれた前記炭素繊維強化樹脂から成るクロス材により形成されることを特徴とする請求項5に記載の露光装置。
- 前記伝熱部材の熱膨張係数の値は、前記繊維強化樹脂材の繊維方向を横断する面の熱膨張係数の値に、ほぼ等しいことを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の露光装置。
- 前記伝熱部材は、可撓性を有し、スリットを有する筒状に形成され、前記伝熱部材に生じる熱変形を低減することを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の露光装置。
- 前記伝熱部材は、前記繊維強化樹脂材の繊維方向を横断する面に接触し、前記繊維強化樹脂材の繊維方向を横断する面と対向する面および前記保持部材に接触する前記一端と対向する面との間は、非接触で隙間が介在され、前記伝熱部材に生じる熱変形を低減することを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の露光装置。
- 請求項1から9のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記基板を現像する工程と、を備えることを特徴とするデバイス製造方法。
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