JP2002320374A

JP2002320374A - キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ

Info

Publication number: JP2002320374A
Application number: JP2001122973A
Authority: JP
Inventors: Akihiko Maemura; 前村　　明彦; Toru Shikayama; 透鹿山
Original assignee: Yaskawa Electric Corp
Current assignee: Yaskawa Electric Corp
Priority date: 2001-04-20
Filing date: 2001-04-20
Publication date: 2002-10-31
Anticipated expiration: 2021-04-20
Also published as: JP4706119B2

Abstract

(57)【要約】【課題】キャン板表面がＵＶ光に曝露されても、キャ
ン板表面からの発塵および発ガスの低減できるキャンド
・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータを
提供する。【解決手段】芯金１６と、芯金１６の長手方向に沿っ
て固定される電機子巻線１７と、芯金１６を額縁状に囲
むように設けた梁１９と、梁１９の両開口部を密封する
キャン板１２と、電機子巻線１７の周囲に冷媒を流すこ
とができるように梁１９とキャン板１２とで構成される
密閉空間内に形成される冷媒通路１８とを具備してなる
キャンド・リニアモータ電機子において、キャン板１２
は樹脂板材で構成し、かつ樹脂板材の少なくとも外面ま
たは内面にコーティングカバー１２１を備えた。コーテ
ィングカバーとしては、メッキによる金属膜や、ステン
レスの箔・板を接着によりキャン板１２に取り付けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム内
で使用される半導体製造装置のリニアステージ等を高精
度・微細送りで駆動するリニアモータの電機子に関する
もので、特にそのキャン板構造に特徴を有するキャンド
・リニアモータ電機子およびそのキャンド・リニアモー
タに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体製造装置に用いられると共
に、低温度上昇と一定速送り精度が要求されるキャンド
・リニアモータとしては、例えば、特開２０００−４５
７２号公報に開示されているようなガラス布をエポキシ
樹脂で固めて構成したキャン板構造を有するリニアモー
タが知られている。図５はその従来技術を示すキャンド
・リニアモータの電機子の正断面図である。図５におい
て、５１は可動子、５２はヨーク、５３は永久磁石、５
４は固定子、５５はキャン板、５６は多相の電機子巻
線、５７は冷媒通路、５８は固定ネジ、５９は固定ベー
スである。このキャンド・リニアモータは、固定子５４
側に電機子巻線５６を配設し、可動子５１側にヨーク５
２および永久磁石５３を配したいわゆる可動磁石型のロ
ングストロークタイプのものである。固定子５４側に
は、第１および第２のキャン板５５，５５が固定ネジ５
８で互いに結合された状態で固定ベース５９に固定配設
されている。キャン板５５，５５は、合成樹脂をシート
状の部材に含浸させて積層し押圧して形成された積層材
によって形成された板状部材である。積層材としてエポ
キシ樹脂を含浸させたガラス布を積層させてプレス成形
した積層材を用いている。この積層材は、まず紙や太糸
布、細糸布、ガラス布などのシート状部材にフェノール
樹脂やエポキシ樹脂、シリコン、メラミン樹脂、ポリエ
ステル等の合成樹脂を含浸させる。そして、このシート
状部材を多数重ねて積層し、これを多段積層プレス機等
により押圧し板状にして形成される。キャン板５５，５
５の対向面（内面側）に設けられた巻線収容溝に電機子
巻線５６が設けられ、また、冷媒を流通させるための冷
媒通路５７が設けられて、電機子巻線５６の周囲にまん
べんなく冷媒がまわり、電機子巻線５６から発生した熱
を効率よく吸収するようにしている。一方、可動子５１
の形状は、想像線で示すように、固定子５４の電機子部
を挟み込むようにして凹字形を成している。可動子５１
は、固定子５４のキャン板５５、５５の両外側に磁気的
空隙を介して配置された永久磁石５３，５３と、永久磁
石５３，５３の作る磁束を通すための磁性体で作られた
界磁ヨーク５２により構成されている。また、永久磁石
５３は、可動子５１の移動方向（紙面と垂直方向）に沿
って極ピッチごとに交互に極性が異なるように複数配置
されている。このように構成されたキャンド・リニアモ
ータは、可動子５１と固定子５４の電気的相対位置に応
じた所定の電流を電機子巻線５６に流すことにより、可
動子５１となる永久磁石５３の作る磁界と作用して可動
子５１に推力が発生する。この際、銅損によって発熱し
た電機子巻線５６を冷媒により冷却し、固定子５４の表
面の温度上昇を低く抑えている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来技術のリニアモータでは、図６に示すように樹脂より
成るキャン板５５の表面が滑らかでなくて細かな凹部が
あるため、その凹部に直接もしくは溜まった水分を介し
て０．１μｍ程度のパーティクルが付着したりすること
があることが判った。そのため、クリーンルーム内で半
導体露光装置のリニアステージ駆動として用いるとき、
キャン板表面が露光用光源からのＵＶ（紫外線）により
曝露されると、付着力が弱まりキャン板表面からパーテ
ィクルが離散し、クリーン度の低下を招くことも判明し
た。また、キャン板表面が光源に曝露されると、図７に
示す樹脂を組成するＣとＨ、および気中のＯ₂がＵＶに
より励起されＣＨ₄、Ｃ₂Ｈ₆、ＣＯ₂もしくはＨ₂Ｏ等と
なり気中に拡散し、ケミカルクリーン度の低下を招く。
ケミカルクリーン度が低下、すなわちＣＨ₄、Ｃ₂Ｈ₆、
ＣＯ₂もしくはＨ₂Ｏ等が存在すると、シリコンウエハに
これらＣＨ₄等が付着し、シリコンチップの製造歩留ま
りが悪化していた。以上のように、上述した従来のリニ
アモータでは露光用光源のＵＶにより曝露されると、キ
ャン板表面から発塵および発ガスが生じるという問題が
あった。また、キャン板内に流す冷媒の種類によって
は、樹脂中に冷媒が浸透・拡散しキャン板表面から冷媒
がにじみ出ることがあった。更に、樹脂が冷媒によって
次第に侵食され、長期間の使用では最悪の場合、樹脂に
穴があき、液漏れを起こすことも起こり得た。更に、リ
ニアステージに組みつける際に、キャン板表面がステー
ジ等と接触すると樹脂が傷つき、樹脂表面に一層の凹凸
ができるため、樹脂の露出表面積が増え、前記発塵およ
び発ガスが増加するという問題があった。本発明は、こ
れらの問題に鑑みてなされたものであり、露光用の光源
に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガス
が少なく、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板
の樹脂が侵食されて液漏れすることがなく、更にリニア
ステージに組みつける際に、キャン板表面がステージ等
と接触して樹脂が傷つき露光表面積が増えることによる
発塵および発ガス発生の抑制が可能なキャン板構造を持
つキャンド・モータ電機子およびキャンド・リニアモー
タを提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記問題を解決するた
め、請求項１記載のキャンド・リニアモータ電機子の発
明は、芯金と、前記芯金の長手方向に沿って固定される
電機子巻線と、前記芯金を額縁状に囲むように設けた梁
と、前記梁の両開口部を密封するキャン板と、前記電機
子巻線の周囲に冷媒を流すことができるように前記梁と
前記キャン板とで構成される密閉空間内に形成される冷
媒通路とを具備してなるキャンド・リニアモータ電機子
において、前記キャン板を樹脂板材で構成し、かつ前記
樹脂板材の少なくとも外面または内面にコーティングカ
バーを備えたことを特徴とする。請求項１記載の構成に
より、キャン板を構成する樹脂板材の少なくとも外面ま
たは内面はコーティングカバーにより覆われることにな
るので、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアス
テージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用
の光源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および
発ガスを少なくし、発塵・発ガスの問題を低減すること
ができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の
樹脂が侵食されても液漏れを低減することができる。請
求項２記載の発明は、請求項１記載のキャンド・リニア
モータ電機子において、前記コーティングカバーが金属
の膜、箔または板であることを特徴とする。請求項２記
載の構成により、前記コーティングカバーを金属の膜、
箔または板で構成するため、キャン板を構成する樹脂板
材の少なくとも外面または内面は金属の膜、箔または板
により覆われることになり、クリーンルーム内で半導体
露光装置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キ
ャン板表面が露光用の光源に曝露されても、キャン板表
面からの発塵および発ガスを少なくし、ケミカルクリー
ンの問題を低減することができ、また、キャン板内に流
す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食され液漏れを低減す
ることができると共に、機械的衝撃に対しても強固にす
ることができる。そのため、リニアステージに組みつけ
る際に、キャン板表面がステージ等と接触することによ
り生じるキャン板表面の凸凹が生じることによる露出面
積の増加を押えることができ、発塵または発ガスの増加
を抑制できる。

【０００５】請求項３記載の発明は、請求項２記載のキ
ャンド・リニアモータ電機子において、前記金属の膜を
メッキにより構成したことを特徴とする。請求項３記載
の構成により、請求項２記載のコーティングカバーとし
て金属のメッキ膜を用いるため、キャン板を構成する樹
脂板材の少なくとも外面または内面は機械的衝撃に対し
ても強固なメッキにより覆われることになり、クリーン
ルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用とし
て用いるとき、キャン板表面が露光用の光源に曝露され
ても、キャン板表面からの発塵および発ガスの問題を低
減することができ、また、キャン板内に流す冷媒により
キャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することが
できると共に、ステンレスはヤング率が高く皺になり難
いために接着作業が容易に行え、大掛かりな設備が不要
であるので、少量の台数を安価に製作することができ
る。請求項４記載の発明は、請求項２記載のキャンド・
リニアモータ電機子において、前記金属の箔または板を
ステンレスで構成したことを特徴とする。また、請求項
５記載の発明は、請求項４記載のキャンド・リニアモー
タ電機子において、前記ステンレスの箔または板を前記
キャン板に接着により取り付けたことを特徴とする。請
求項４および５記載の構成により、請求項２記載のコー
ティングカバーとしてステンレスよりなる箔または板を
用い、これをキャン板に接着するため、キャン板を構成
する樹脂板材の少なくとも外面または内面は機械的衝撃
に対しても強固なステンレスにより覆われることにな
り、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステー
ジ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用の光
源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガ
スの問題を低減することができ、また、キャン板内に流
す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低
減することができると共に、ステンレスはヤング率が高
く皺になり難いために接着作業が容易に行え、大掛かり
な設備が不要であるので、少量の台数を安価に製作する
ことができる。請求項６記載の発明は、請求項１〜５の
いずれか１項記載のキャンド・リニアモータ電機子にお
いて、前記樹脂板材をガラス繊維又はカーボン繊維を充
填した樹脂で構成したことを特徴とする。請求項６記載
の構成により、冷媒の圧力による可動子に対向する空隙
へのキャン板変形を抑えることができるのでキャン板の
弾性疲労がなくなり液漏れを低減することができると共
に、、冷媒流量の増加が図れ、温度上昇を低減すること
ができる。

【０００６】請求項７記載のキャンド・リニアモータの
発明は、請求項１〜６の何れか１項に記載の電機子と、
前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置されると共に
交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせに並べ
て配置した界磁ヨークとを備え、前記前記電機子と前記
界磁ヨークの何れか一方を固定子に、他方を可動子とし
て、前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するよ
うにしたことを特徴とする。請求項７記載の構成によ
り、前記請求項１から４記載のキャン板構造の電機子
は、キャン板を構成する樹脂板材の少なくとも外面また
は内面はコーティングカバーにより覆われることにな
り、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステー
ジ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用の光
源に曝露されても、キャン板表面からの発塵および発ガ
スの問題を低減することができ、また、キャン板内に流
す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても液漏れを低
減することができる。さらに、このようなキャンド・リ
ニアモータにおいて、電機子巻線を有する電気装苛手段
を固定子とし、永久磁石により構成される磁気装荷手段
を移動子とすると、該固定子を覆うキャン板は直接気中
に露出するために、発塵・発ガスの問題を低減する効果
は一層大きい。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施例を図
１〜図３を用いて説明する。図１は本発明の第１の実施
例を示すキャンド・リニアモータ（磁束貫通形）の全体
斜視図である。図において、１０は固定子、１１は固定
子ベース、１２はキャン板、１３はヘッダ、１４は冷媒
供給口、１５は冷媒排出口、２０は可動子、２１は可動
子ベース、２２は界磁ヨーク、２３は永久磁石である。
固定子１０は、２枚のキャン板１２と、この２枚のキャ
ン板１２を上部と下部とで互いに結合する梁１９と、２
枚のキャン板１２と梁１９とから成る空間を長さ方向の
先端と後端で密封しているヘッダ１３と、このキャン板
１２と梁１９とヘッダ１３とから成る閉じた空間内に配
置される芯金１６と、芯金１６の長手方向に沿って固定
される３相の電機子巻線１７と、キャン板１２の中を冷
媒が通過する冷媒通路１８とにより構成されている。ヘ
ッダ１３はステンレス製鋳物で形成され、キャン板１２
の両端のうち、一方端に冷媒を通すための冷媒供給口１
４を持ち、他端に冷媒排出口１５を各々持っている。キ
ャン板１２および梁１９とヘッダ１３とは接合面で溶接
によって接合されている。また、冷媒を冷媒供給口１４
より供給して、冷媒排出口１５より排出することによ
り、冷媒は電機子巻線１７とキャン板１２の間にある冷
媒通路１８を流れる。一方、可動子２０の形状は、固定
子１０の電機子部を挟み込むようにして逆凹字形を成し
ている。可動子２０は、固定子１０のキャン板１２の両
側に磁気的空隙を介して配置された永久磁石２３、永久
磁石２３の作る磁束を通すための磁性体で作られた界磁
ヨーク２２、それらを支持する可動子ベース２１により
構成されている。また、永久磁石２３は、可動子の移動
方向（図の矢印方向）に沿って、極ピッチごとに交互に
極性が異なるように複数配置されている。可動子２０
は、図示しないリニアガイド等によって固定子１０に対
して支持されている。このように構成されたキャンド・
リニアモータは、可動子２０と固定子１０の電気的相対
位置に応じた所定の電流を電機子巻線１７に流すことに
より、可動子２０となる永久磁石２３の作る磁界と作用
して可動子２０に推力が発生し、可動子２０は矢印で示
す進行方向に移動する。その際、銅損によって発熱した
電機子巻線１７を冷媒により冷却することによって、固
定子１０の表面の温度上昇を低く抑えている。

【０００８】図２は図１のＡ−Ａ線に沿うキャンド・リ
ニアモータの正断面図である。図２において、１０は固
定子、１２はキャン板、１６は芯金、１７は電機子巻
線、１８は冷媒通路、１９は梁である。キャン板１２
は、基材として樹脂板材１２２を用い、樹脂板材１２２
としてはガラス布をエポキシ樹脂で固めた板状のＧＦＲ
Ｐ、もしくは、カーボン繊維をエポキシ樹脂で固めた板
状のＣＦＲＰを用いることができる。これらは流通性が
良く比較的安価に入手できるものである。芯金１６はそ
れ自身の強度を要求されるため、ステンレスが使われて
いる。電機子巻線１７は、例えば複数の集中巻コイルを
３相分用意したもので構成され、芯金１６の左右両側に
貼り付けられている。梁１９は固定子１０のたわみに対
する強度材となっており、本実施例の場合には、ステン
レス材の機械加工、もしくはアルミ材の機械加工もしく
はダイカスト成形により構成でき、本実施例では、アル
ミ材の機械加工により構成した。このように、芯金１６
には長手方向に沿って両面を挟むように電機子巻線１７
が貼り付けられ、芯金１６は上下の梁１９間に固定され
ている。また、梁１９には、電機子巻線１７の表面と所
望の隙間を保ちながらこれらの電機子巻線１７を覆うよ
うにキャン板１２を取りつけている。そして、電機子巻
線１７とキャン板１２の隙間には、電機子巻線１７を冷
却するための冷媒が流れるようになっており、そのため
梁１９とキャン板１２とは図示していないＯリング等を
用いて密閉するように固定した。冷媒は、近年オゾン層
破壊の問題から、フロリナートに代わりＨＦＥ−７２０
０等が用いられるようになってきており、樹脂の溶解性
は無視できない。本発明の実施例では、冷媒にＨＦＥ−
７２００を用いた。そして、１２１が本発明により設け
られるコーティングカバー（後述）で、キャン板１２の
基材である樹脂板材１２２を覆って、樹脂板材１２２の
表面から塵やガスの離反を低減している。

【０００９】図３は図２のキャン板１２の構成を説明す
る拡大正断面図である。図３において、１０は固定子、
１２はキャン板、１２１は本発明により設けられたコー
ティングカバー、１２２はキャン板材（樹脂板材）、１
９は梁である。図３に示すように、キャン板１２は、永
久磁石３（図２）と対向する樹脂板材１２２の外面およ
び電機子巻線１７（図２）と対向する内面に、樹脂板材
１２２を覆うコーティングカバー１２１を設けるように
構成した。以上のようなキャン板の構造によれば、キャ
ン板材１２を構成する樹脂板材１２２の少なくとも外面
または内面にコーティングカバー１２１を備えたことに
より、クリーンルーム内で半導体露光装置のリニアステ
ージ駆動用として用いるとき、キャン板表面が露光用光
源のＵＶに曝露されても、キャン板表面からの発塵およ
び発ガスを少なくし、ケミカルクリーンの問題を低減す
ることができ、また、キャン板内に流す冷媒によりキャ
ン板の樹脂が侵食されても液漏れを低減することができ
る。表１に、コーティングカバーの有無によるパーティ
クル数を表面にＵＶを照射してカウントした結果を示
す。

【００１０】

【表１】本実施例では樹脂板材に板状のＣＦＲＰを用い、コーテ
ィングカバー１２１は下記の第２の実施例に示すニッケ
ルメッキにより構成した。表１に示すように、コーティ
ングカバーなしの場合だとパーティクルの発生がクラス
１５であったものが、コーティングカバー１２１を設け
るとクラス３と激減した。このように、コーティングカ
バー１２１を付けることにより、樹脂板材５５の表面の
凹凸が少なくなるのでその凹部に直接もしくは水分を介
してパーティクルが樹脂板材５５の表面に付きにくくな
るため、発塵は激減した。すなわち、コーティングカバ
ーがあるリニアモータは、光源に曝露されても殆ど発塵
しないことが確認できた。また、本発明のようにコーテ
ィングカバーを用いると、仮に冷媒によって樹脂が侵食
され、樹脂に穴が開いてもコーティングカバーで防止で
きる。更に樹脂の侵食は、樹脂とコーティングカバーの
間を毛細管現象を伴って徐々に進行するため、急激かつ
突然の大量の液漏れは防止できる。

【００１１】次に、本発明のコーティングカバーの具体
例について説明する。図４は、コーティングカバーの具
体例を表すキャン板の拡大正断面図で、図４（Ａ）はコ
ーティングカバーの一具体例、図４（Ｂ）は別の具体例
を示している。まず、図４（Ａ）において、１０は固定
子、１２はキャン板、１２１ａは本実施例による金属の
膜、１２２はキャン板材（樹脂板材）、１９は梁であ
る。キャン板材１２２および梁１９は図３で示したもの
と同じであり、キャン板１２１は図示していないＯリン
グ等を用いて密閉するよう固定した。図３で示した樹脂
板材１２２の外面および内面のコーティングカバー１２
１として、金属の膜１２１ａが形成されている。そし
て、この金属の膜１２１ａはメッキにより設ける構成と
している。本実施例ではニッケルメッキで行ったが、そ
の他、亜鉛メッキ、銅メッキまたはアルミメッキにより
行っても良く、その厚さは３〜２０μｍ程度が良い。以
上のキャン板構造によれば、キャン板材１２を構成する
樹脂板材１２２の少なくとも外面または内面にメッキで
構成された金属の膜１２１ａによるコーティングカバー
を備えたことにより、クリーンルーム内で半導体露光装
置のリニアステージ駆動用として用いるとき、キャン板
表面が露光用光源のＵＶに曝露されても、キャン板表面
からの発塵および発ガスの問題を低減することができ、
また、キャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵
食されても液漏れを低減することができると共に、樹脂
より成るキャン板をメッキにより構成した金属で覆うた
めに機械的衝撃に対しても強固にすることができる。そ
のため、リニアステージに組みつける際に、キャン板表
面がステージ等と接触することにより生じるキャン板表
面の凸凹が生じることによる露出面積の増加を押えるこ
とができ、発塵または発ガスの増加を抑制できる。ま
た、コーティングカバーをメッキにより構成するため、
コーティングカバーを樹脂板材の表面に設ける作業が大
幅に簡素化でき、大量の台数を安価に製作することがで
きる。

【００１２】次に、図４（Ｂ）について説明する。図４
（Ｂ）において、１０は固定子、１２はキャン板、１２
１ｂは本実施例による金属の箔、１２２はキャン板材
（樹脂板材）、１９は梁である。キャン板材１２２およ
び梁１９は図３で示したものと同じであり、キャン板１
２１は図示していないＯリング等を用いて密閉するよう
固定した。図３で示した樹脂板材１２２の外面および内
面のコーティングカバー１２１として、金属の箔１２１
ｂが形成されている。本実施例では金属の箔１２１ｂ
を、厚さ５〜２０μｍ程度のステンレスにより構成し、
これを接着によってキャン板材１２２に貼り付けた。以
上のキャン板構造によれば、キャン板材１２を構成する
樹脂板材１２２の少なくとも外面または内面に機械的衝
撃に対しても強固なステンレスよりなるコーティングカ
バー１２１ｂを備えたことにより、クリーンルーム内で
半導体露光装置のリニアステージ駆動用として用いると
き、キャン板表面が露光用光源のＵＶに曝露されても、
キャン板表面からの発塵および発ガスを少なくし、ケミ
カルクリーンの問題を低減することができ、また、キャ
ン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されても
液漏れ低減することができると共に、ステンレスよりな
る箔は、ヤング率が高く皺になり難いため、金属箔とし
てステンレスを用いることは接着作業が容易に行え、少
量の台数を製作する際は大掛かりな設備が不要という利
点を有する。なお、本実施例ではコーティングカバーと
して金属の箔を用いているが、他に金属の板でもかまわ
ない。金属の箔を用いたコーティングカバーの有無によ
るパーティクル数を表面にＵＶを照射して、カウントし
た結果、表１と同じような結果が得られた。すなわち、
コーティングカバーなしの場合だとパーティクルの発生
がクラス１５であったものが、金属の箔を用いたコーテ
ィングカバー１２１を設けるとクラス３にまで激減し
た。なお、以上の実施例では、固定子に電機子巻線、可
動子に界磁とした永久磁石を持つ構造で説明したが、可
動子に電機子巻線を、固定子に永久磁石を持つ逆の構造
としても良い。

【００１３】

【発明の効果】以上説明した本発明の実施例におけるキ
ャン板構造のキャンド・リニアモータ電機子により、以
下のような効果がある。コーティングカバーを備えたことにより、クリーン
ルーム内で半導体露光装置のリニアステージ駆動用とし
て用いるとき、キャン板表面が露光用の光源に曝露され
ても、キャン板表面からの発塵および発ガスの問題を低
減することができる。また、コーティングカバーを備えたことにより、キ
ャン板内に流す冷媒によりキャン板の樹脂が侵食されて
も液漏れを低減することができる。コーティングカバーを金属の膜・箔・板で構成する
ため、上記、の他に、機械的衝撃に対しても強固に
することができる。そのため、リニアステージに組みつ
ける際に、キャン板表面がステージ等と接触することに
より生じるキャン板表面の凸凹が生じることによる露出
面積の増加を押えることができ、発塵または発ガスの増
加を抑制できる。金属の膜・箔・板よりなるコーティングカバーをメ
ッキにより構成するため、上記、、の他に、大量
の台数を安価に製作することができる。コーティングカバーとしてステンレスの箔・板を樹
脂板材に接着しているため、ステンレスはヤング率が高
く皺になり難いことから、接着作業が容易に行え、大掛
かりな設備が不要であるので、少量の台数を安価に製作
することができる。キャンド・リニアモータにおいて、電機子巻線を有
する電気装苛手段を固定子とし、永久磁石により構成さ
れる磁気装荷手段を移動子とすると、固定子を覆うキャ
ン板は直接気中に露出するために、ケミカルクリーンの
問題を大幅に低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示すキャンド・リニア
モータの全体斜視図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線に沿うキャンド・リニアモータ
の正断面図である。

【図３】図２のキャン板１２の構成を説明する拡大正断
面図である。

【図４】本発明のコーティングカバーの具体的実施例を
表すキャン板の拡大正断面図で、（Ａ）はコーティング
カバーの一具体例、（Ｂ）は別の具体例を示している。

【図５】従来のキャン板の構成を示す構成説明図であ
る。

【図６】樹脂表面と発塵の説明図である。

【図７】樹脂組成と発ガスの説明図である。

【符号の説明】

１０固定子１１固定子ベース１２キャン板１２１コーティングカバー１２１ａ金属膜１２１ｂ金属箔１２２キャン板材（樹脂板材）１３ヘッダ１４冷媒供給口１５冷媒排出口１６芯金１７電機子巻線１８冷媒通路１９梁２０可動子２１可動子ベース２２界磁ヨーク２３永久磁石

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 5H641 BB06 BB19 GG02 GG05 GG07 GG11 HH03 HH05 HH06 JA09 JB05 JB09 JB10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】芯金と、前記芯金の長手方向に沿って固
定される電機子巻線と、前記芯金を額縁状に囲むように
設けた梁と、前記梁の両開口部を密封するキャン板と、
前記電機子巻線の周囲に冷媒を流すことができるように
前記梁と前記キャン板とで構成される密閉空間内に形成
される冷媒通路とを具備してなるキャンド・リニアモー
タ電機子において、前記キャン板は樹脂板材で構成し、かつ前記樹脂板材の
少なくとも外面または内面にコーティングカバーを備え
たことを特徴とするキャンド・リニアモータ電機子。
【請求項２】前記コーティングカバーが金属の膜、箔
または板であることを特徴とする請求項１記載のキャン
ド・リニアモータ電機子。
【請求項３】前記金属の膜をメッキにより構成したこ
とを特徴とする請求項２記載のキャンド・リニアモータ
電機子。
【請求項４】前記金属の箔または板がステンレスで構
成したことを特徴とする請求項２記載のキャンド・リニ
アモータ電機子。
【請求項５】前記ステンレスの箔または板を前記キャ
ン板に接着により取り付けたことを特徴とする請求項４
記載のキャンド・リニアモータ電機子。
【請求項６】前記樹脂板材がガラス繊維又はカーボン
繊維を充填した樹脂で構成したことを特徴とする請求項
１〜５のいずれか１項記載のキャンド・リニアモータ電
機子。
【請求項７】請求項１〜６の何れか１項に記載の電機
子と、前記電機子と磁気的空隙を介して対向配置される
と共に交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせ
に並べて配置した界磁ヨークとを備え、前記前記電機子
と前記界磁ヨークの何れか一方を固定子に、他方を可動
子として、前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行
するようにしたことを特徴とするキャンド・リニアモー
タ。