KR101129195B1 - Array test apparatus - Google Patents

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이재석
반준호
최진영
박정희
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주식회사 탑 엔지니어링
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Abstract

PURPOSE: An array test device is provided to efficiently inspect different kinds of glass panel with a different location and array type of electrodes. CONSTITUTION: A probe module is installed for moving on a probe module support frame(50) extended in the longitudinal direction on the upper side of a light transmission support plate. The probe module comprises a plurality of probe bars(70), a lifting unit(80), and a rotary unit. A plurality of probe bar is installed on the probe module for rotating and has a plurality of probe pins which are arranged in a different type. A lifting unit lifts the probe bar in the direction of Z axis. The rotary unit rotates the probe bar.

Description

어레이 테스트 장치 {ARRAY TEST APPARATUS}Array Test Device {ARRAY TEST APPARATUS}

본 발명은 글라스패널을 검사하기 위한 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an array test apparatus for inspecting a glass panel.

일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는, 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이패널(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.In general, a flat panel display (FPD) is an image display device that is thinner and lighter than a television or a monitor employing a CRT. The flat panel display includes a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), a field emission display (FED), organic light emitting diodes (OLED), and the like. It is developed and used.

이와 같은 평판디스플레이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 원화는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등으로 인하여 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.Among such flat panel displays, a liquid crystal display is a display device in which an original image can be displayed by controlling a light transmittance of liquid crystal cells by individually supplying data signals according to image information to liquid crystal cells arranged in a matrix form. Liquid crystal displays are widely used due to their thin, light, low power consumption and low operating voltage. The manufacturing method of the liquid crystal panel generally employed in such a liquid crystal display will be described.

먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대응되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.First, a color filter and a common electrode are formed on an upper substrate, and a thin film transistor (TFT) and a pixel electrode are formed on a lower substrate corresponding to the upper substrate. Subsequently, after the alignment films are applied to the substrates, the alignment films are rubbed to provide a pre-tilt angle and an orientation direction to the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer to be formed therebetween.

그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.Then, the paste is applied to at least one substrate in a predetermined pattern to form a paste pattern so as to maintain a gap between the substrates and to prevent the liquid crystal from leaking to the outside and to seal the gaps between the substrates. Through the process of forming a liquid crystal layer in the liquid crystal panel is manufactured.

이러한 공정 중에 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성된 하부기판(이하, "글라스패널"이라 한다.)에 구비되는 게이트라인 및 데이터라인의 단선, 화소셀의 색상 불량 등의 결함이 있는지를 검사하는 공정을 수행하게 된다.During this process, the gate line and data lines of the thin film transistor TFT and the lower substrate (hereinafter, referred to as the "glass panel") on which the pixel electrodes are formed are inspected for defects such as disconnection of color lines and color defects of the pixel cells. The process will be carried out.

글라스패널의 검사를 위하여, 복수의 프로브핀(probe pin)을 가지는 프로브모듈을 구비한 어레이 테스트 장치가 이용되는데, 이러한 어레이 테스트 장치는 복수의 프로브핀을 검사대상이 되는 글라스패널에 배열된 복수의 전극에 대응되도록 위치시키고, 복수의 프로브핀을 복수의 전극에 가압한 후, 복수의 프로브핀을 통하여 복수의 전극에 전기신호를 인가하는 과정을 포함하여 진행된다.For the inspection of the glass panel, an array test apparatus having a probe module having a plurality of probe pins is used. The array test apparatus includes a plurality of probe pins arranged on a glass panel to be inspected. Positioning to correspond to the electrode, pressing a plurality of probe pins to the plurality of electrodes, and then applying an electrical signal to the plurality of electrodes through the plurality of probe pins.

글라스패널의 복수의 전극의 위치, 배열형태, 즉, 복수의 전극의 개수 및 복수의 전극 사이의 간격은 글라스패널의 종류에 따라 서로 다르다. 따라서, 하나의 어레이 테스트 장치를 이용하여 여러 종류의 글라스패널을 검사하기 위해서는, 각 글라스패널의 복수의 전극의 위치 및 배열형태에 대응되는 복수의 프로브핀이 구비된 프로브모듈로 교체하는 작업을 수행하여야 한다. 이와 같이, 종래의 어레이 테스트 장치는, 여러 종류의 글라스패널을 검사하기 위하여 복수의 프로브핀의 위치 및 배열형태가 서로 다른 프로브모듈을 교체하는 작업을 수행하여야 하였기 때문에 공정의 효율성이 저하되는 문제점이 있다.The position of the plurality of electrodes of the glass panel, the arrangement form, that is, the number of the plurality of electrodes and the spacing between the plurality of electrodes differ from each other depending on the type of the glass panel. Therefore, in order to inspect various types of glass panels using one array test apparatus, a work of replacing a probe module having a plurality of probe pins corresponding to the position and arrangement of a plurality of electrodes of each glass panel is performed. shall. As described above, the conventional array test apparatus has a problem in that the efficiency of the process is lowered because it is necessary to replace the probe modules having different positions and arrangements of the plurality of probe pins in order to inspect various kinds of glass panels. have.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 복수의 프로브핀이 서로 다른 형태로 배치되는 복수의 프로브바가 회전에 의하여 교체되도록 구성함으로써, 하나의 어레이 테스트 장치를 이용하여 복수의 전극의 위치, 배열형태 및 배열방향이 다른 여러 종류의 글라스패널에 대한 검사를 효율적으로 수행할 수 있는 어레이 테스트 장치를 제공하는 데에 있다.The present invention is to solve the above problems of the prior art, an object of the present invention, by configuring a plurality of probe bar in which a plurality of probe pins are arranged in different forms by rotation, one array test apparatus SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an array test apparatus capable of efficiently inspecting various kinds of glass panels having different positions, arrangements, and arrangement directions of a plurality of electrodes.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 프로브모듈지지프레임에 상기 프로브모듈지지프레임의 길이방향으로 이동이 가능하게 배치되는 프로브모듈과, 상기 프로브모듈에 회전이 가능하게 구비되며 복수의 프로브핀이 서로 다른 형태로 배열되는 복수의 프로브바를 회전시키는 회전유닛을 포함하여 구성될 수 있다.The array test apparatus according to the present invention for achieving the above object, the probe module is arranged to be movable in the longitudinal direction of the probe module support frame to the probe module support frame, and the rotatable to the probe module is provided A plurality of probe pins may be configured to include a rotating unit for rotating a plurality of probe bars arranged in different forms.

본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 하나의 어레이 테스트 장치를 이용하여 복수의 전극의 배열형태가 다른 여러 종류의 글라스패널에 대한 검사를 수행하기 위하여, 종래와 같이 글라스패널의 종류에 따라 프로브모듈을 교체하지 아니하고, 프로브바를 회전시키는 간단한 동작을 통하여 대응되는 복수의 프로브핀을 글라스패널의 복수의 전극에 일치시킬 수 있으므로, 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.The array test apparatus according to the present invention uses a probe module according to the type of glass panel in order to perform inspection on various kinds of glass panels having different arrangements of a plurality of electrodes using one array test apparatus. Instead of replacing, a plurality of probe pins corresponding to the plurality of electrodes of the glass panel can be matched through a simple operation of rotating the probe bar, thereby improving the efficiency of the process.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 어레이 테스트 장치의 프로브모듈이 도시된 사시도이다.
도 3 및 도 4는 도 2의 프로브모듈의 동작이 순차적으로 도시된 사시도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 프로브모듈이 도시된 사시도이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 프로브모듈이 도시된 사시도이다.1 is a perspective view showing an array test apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view illustrating a probe module of the array test apparatus of FIG. 1.
3 and 4 are perspective views sequentially showing the operation of the probe module of FIG.
5 and 6 are perspective views showing the probe module of the array test apparatus according to the second embodiment of the present invention.
7 and 8 are perspective views showing the probe module of the array test apparatus according to the third embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of an array test apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널(P)을 로딩하는 로딩유닛(10)과, 로딩유닛(10)에 의하여 로딩된 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행하는 테스트유닛(20)과, 테스트유닛(20)에 의하여 검사가 완료된 글라스패널(P)을 언로딩하는 언로딩유닛(30)을 포함하여 구성될 수 있다.As shown in FIG. 1, the array test apparatus according to the first embodiment of the present invention includes a loading unit 10 for loading a glass panel P, and a glass panel P loaded by the loading unit 10. It may include a test unit 20 for performing a test for) and an unloading unit 30 for unloading the glass panel (P) is completed by the test unit 20.

테스트유닛(20)은, 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 것으로, 로딩유닛(10)에 의하여 로딩되는 글라스패널(P)이 배치되는 투광지지플레이트(21)와, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 테스트모듈(22)과, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널(P)의 전극(E)으로 전기신호를 인가하기 위한 프로브모듈(23)과, 테스트모듈(22)과 프로브모듈(23)을 제어하는 제어유닛(미도시)을 포함하여 구성될 수 있다.The test unit 20 inspects the electrical defect of the glass panel P, and includes a light transmitting support plate 21 on which the glass panel P loaded by the loading unit 10 is disposed, and a light supporting plate ( Electrical signal is applied to the test module 22 for inspecting the electrical defect of the glass panel P disposed on the 21 and the electrode E of the glass panel P disposed on the translucent support plate 21. It may be configured to include a probe module 23 for controlling, and a control unit (not shown) for controlling the test module 22 and the probe module 23.

도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 프로브모듈(23)은 투광지지플레이트(21)의 상측에서 길이방향(X축방향)으로 연장되는 프로브모듈지지프레임(50)에 프로브모듈지지프레임(50)의 길이방향(X축방향)으로 이동이 가능하게 설치된다. 프로브모듈(23)에는 프로브모듈(23)에 회전이 가능하게 설치되며 서로 다른 형태로 배열되는 복수의 프로브핀(60)을 구비하는 복수의 프로브바(70)와, 프로브바(70)를 Z축방향으로 승강시키는 승강유닛(80)과, 프로브바(70)를 회전시키는 회전유닛(90)이 구비될 수 있다.2 to 3, the probe module 23 is a probe module support frame 50 to the probe module support frame 50 extending in the longitudinal direction (X-axis direction) from the upper side of the translucent support plate 21. ) Is installed to be movable in the longitudinal direction (X-axis direction). The probe module 23 is rotatably installed on the probe module 23 and includes a plurality of probe bars 70 having a plurality of probe pins 60 arranged in different shapes, and Z of the probe bars 70. An elevating unit 80 for elevating in the axial direction and a rotating unit 90 for rotating the probe bar 70 may be provided.

프로브모듈지지프레임(50)은 Y축구동유닛(51)과 연결되어 프로브모듈지지프레임(50)의 길이방향(X축방향)과 수평으로 직교하는 방향(Y축방향)으로 이동될 수 있다. 그리고, 프로브모듈지지프레임(50)과 프로브모듈(23)의 사이에는 프로브모듈(23)을 프로브모듈지지프레임(50)의 길이방향으로 이동시키는 X축구동유닛(52)이 구비될 수 있다. Y축구동유닛(51) 및/또는 X축구동유닛(52)으로는 리니어모터 또는 볼스크류장치와 같은 직선이동기구가 적용될 수 있다.The probe module support frame 50 may be connected to the Y-axis driving unit 51 and moved in a direction (Y-axis direction) orthogonal to the length direction (X-axis direction) of the probe module support frame 50 in a horizontal direction. An X-axis driving unit 52 may be provided between the probe module support frame 50 and the probe module 23 to move the probe module 23 in the longitudinal direction of the probe module support frame 50. As the Y-axis driving unit 51 and / or the X-axis driving unit 52, a linear moving mechanism such as a linear motor or a ball screw device may be applied.

프로브바(70)는 프로브모듈(23)로부터 수평방향으로 연장되는 형태로 구성되며, 프로브바(70)의 하측에는 복수의 프로브핀(60)이 프로브바(70)가 연장되는 방향으로 배열된다. 프로브바(70)는 복수의 프로브핀(60)이 서로 다른 형태로 배열되는 복수의 프로브바(70)로 구성될 수 있다. 여기에서, 복수의 프로브핀(60)의 배열형태로, 예를 들면, 복수의 프로브핀(60)의 개수 또는 복수의 프로브핀(60) 사이의 간격이 될 수 있다. 예를 들면, 프로브바(70)는, 제1타입의 배열형태로 배열되는 복수의 프로브핀(61)이 구비되는 제1프로브바(71)와, 제2타입의 배열형태로 배열되는 복수의 프로브핀(62)이 구비되는 제2프로브바(72)로 구성될 수 있다. 제1타입의 배열형태는 복수의 프로브핀(61)의 개수가 16개인 타입(16핀 타입)이 될 수 있으며, 제2타입의 배열형태는 복수의 프로브핀(62)의 개수가 24개인 타입(24핀 타입)이 될 수 있다. 본 발명은 두 개의 타입의 프로브핀(60)이 각각 배열되는 두 개의 프로브바(70)를 가지는 구성이 적용되는 데에 한정되지 아니하며, 두 개 이상의 타입의 프로브핀(60)이 배열되는 두 개 이상의 프로브바(70)를 가지는 구성이 적용될 수 있다. 여기에서, 프로브모듈지지프레임(50)이 길이방향으로 연장되는 축을 X축이라고 하고, 글라스패널(P)이 로딩되거나 언로딩되는 방향으로 X축과 수평으로 직교하는 축을 Y축이라고 하고, X축 및 Y축에 수직으로 직교하는 축을 Z축이라고 할 때, 제1프로브바(71)과 제2프로브바(72)는 X축 및 Y축이 이루는 평면상에서 서로 소정의 각도를 유지하도록 연장될 수 있다. 제1프로브바(71)의 연장방향과 제2프로브바(72)의 연장방향이 이루는 각도는 90도가 될 수 있다. 다만, 본 발명은 이와 같은 구성에 한정되지 아니하며, 제1프로브바(71)의 연장방향과 제2프로브바(72)의 연장방향이 이루는 각도가 180도가 될 수 있는 등, 제1프로브바(71)의 연장방향과 제2프로브바(72)의 연장방향이 이루는 각도는 90도에 비하여 크거나 작을 수 있다. 여기에서, 제1프로브바(71)의 연장방향과 제2프로브바(72)의 연장방향이 이루는 각도는 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72) 중 어느 하나가 글라스패널(P)의 전극(E)에 대응되는 위치에 존재하는 경우 제1프로브바(71) 및 제2프로브바(72) 중 다른 하나가 글라스패널(P)상의 영역이 아닌 영역에 존재할 수 있거나 실제로 제품에 이용되지 아니하는 글라스패널(P)상의 영역에 존재할 수 있도록 설정하는 것이 바람직하다. 이와 같은 경우에는, 실제로 전극(E)과 접촉되지 아니하는 프로브바(70)가 실제로 제품에 이용되는 글라스패널(P)상의 영역에 접촉하여 글라스패널(P)을 손상시키는 것을 방지할 수 있다.The probe bar 70 is configured to extend in a horizontal direction from the probe module 23, and a plurality of probe pins 60 are arranged in a direction in which the probe bar 70 extends below the probe bar 70. . The probe bar 70 may include a plurality of probe bars 70 in which a plurality of probe pins 60 are arranged in different forms. Here, the arrangement of the plurality of probe pins 60, for example, may be the number of the plurality of probe pins 60 or the interval between the plurality of probe pins 60. For example, the probe bar 70 may include a first probe bar 71 having a plurality of probe pins 61 arranged in a first type arrangement, and a plurality of probe bars 71 arranged in a second type arrangement. It may be composed of a second probe bar 72 is provided with a probe pin (62). The arrangement of the first type may be a type of 16 probes (16 pins) in number of the plurality of probe pins 61, the arrangement of the second type is a type of 24 probes of the plurality of probe pins 62 (24 pin type). The present invention is not limited to the configuration having two probe bars 70 in which two types of probe pins 60 are arranged, respectively, and two in which two or more types of probe pins 60 are arranged. The configuration having the probe bar 70 may be applied. Here, the axis in which the probe module support frame 50 extends in the longitudinal direction is referred to as the X axis, and the axis perpendicular to the X axis in the direction in which the glass panel P is loaded or unloaded is called the Y axis, and the X axis And when the axis perpendicular to the Y axis perpendicular to the Z axis, the first probe bar 71 and the second probe bar 72 can be extended to maintain a predetermined angle with each other on the plane formed by the X axis and Y axis have. The angle formed between the extending direction of the first probe bar 71 and the extending direction of the second probe bar 72 may be 90 degrees. However, the present invention is not limited to such a configuration, and the first probe bar may have an angle formed by an extension direction of the first probe bar 71 and an extension direction of the second probe bar 72. The angle formed by the extension direction of the 71 and the extension direction of the second probe bar 72 may be larger or smaller than 90 degrees. Here, the angle formed between the extending direction of the first probe bar 71 and the extending direction of the second probe bar 72 may include any one of the first probe bar 71 and the second probe bar 72. When present at a position corresponding to the electrode E of P), the other of the first probe bar 71 and the second probe bar 72 may be present in an area other than the area on the glass panel P, or in fact, a product It is preferable to set so that it exists in the area | region on the glass panel P which is not used for. In such a case, it is possible to prevent the probe bar 70 which is not actually in contact with the electrode E from being in contact with the area on the glass panel P actually used for the product and damaging the glass panel P.

승강유닛(80)은 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되며, 유체의 압력에 의하여 작동하는 실린더를 포함하는 액추에이터나 전기적으로 작동하는 리니어모터 등과 같이 프로브바(70)를 Z축방향으로 상승시키거나 하강시킬 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다. 이러한 승강유닛(80)은, 글라스패널(P)이 투광지지플레이트(21)상에 배치된 상태에서, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)의 전극(E)을 가압할 수 있도록 프로브바(70)를 하강시키는 역할을 수행한다.The elevating unit 80 is installed in the probe module 23 and connected to the probe bar 70, and moves the probe bar 70 such as an actuator including a cylinder operated by a pressure of a fluid, or an electrically operated linear motor. Various configurations that can be raised or lowered in the Z-axis direction can be applied. The lifting unit 80 is a probe bar so that the probe pin 60 can press the electrode E of the glass panel P in a state where the glass panel P is disposed on the light transmitting support plate 21. Serves to descend 70.

회전유닛(90)으로는 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되는 회전축을 포함하여 구성되어 작업자가 수동으로 프로브바(70)를 회전시킬 수 있는 구성이 적용될 수 있다. 또한, 프로브바(70)가 자동적으로 회전될 수 있도록 회전유닛(90)은 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되며, 프로브바(70)를 Z축을 기준으로 회전시키는 회전모터로 구성될 수 있으며, 이와 같은 경우에는, 프로브바(70)의 회전각을 정확하게 조절할 수 있는 스테핑모터가 적용되는 것이 바람직하다.The rotating unit 90 is installed on the probe module 23 and includes a rotating shaft connected to the probe bar 70 so that an operator can manually rotate the probe bar 70. In addition, the rotation unit 90 is installed on the probe module 23 and connected to the probe bar 70 so that the probe bar 70 may be automatically rotated, and rotates the probe bar 70 by rotating the Z-axis about the Z axis. It may be configured as a motor, in this case, it is preferable that a stepping motor that can accurately adjust the rotation angle of the probe bar 70 is applied.

복수의 전극(E)의 배열형태가 서로 다른 여러 종류의 글라스패널(P)에 대하여 프로브바(70)를 회전시키는 간단한 동작을 통하여 대응되는 복수의 프로브핀(60)을 글라스패널(P)의 복수의 전극(E)과 일치시킬 수 있다. 여기에서, 복수의 전극(E)의 배열형태는 복수의 전극(E)의 개수, 복수의 전극(E) 사이의 간격 또는 복수의 전극(E)의 배열방향이 될 수 있다. 글라스패널(P)에는, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1타입의 배열형태로 배열되는 복수의 전극(E1)이 구비될 수 있으며, 도 4에 도시된 바와 같이, 제2타입의 배열형태로 배열되는 복수의 전극(E2)가 구비될 수 있다. 제1타입의 배열형태는 복수의 전극(E)의 개수가 16개인 타입이 될 수 있으며, 제2타입의 배열형태는 복수의 전극(E)의 개수가 24개인 타입이 될 수 있다. 복수의 전극(E)의 배열방향과 관련하여, 도 3 및 도 4에서는 복수의 전극(E)이 Y축방향으로 배열되는 글라스패널(P)에 대하여 도시하고 있으나, 복수의 전극(E)이 X축방향으로 배열되는 글라스패널(P)에 대해서도 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치가 적용될 수 있다.Through a simple operation of rotating the probe bar 70 with respect to the glass panel P having different arrangements of the plurality of electrodes E, the plurality of probe pins 60 corresponding to the glass panel P may be moved. It can match with the some electrode E. FIG. Here, the arrangement of the plurality of electrodes (E) may be the number of the plurality of electrodes (E), the interval between the plurality of electrodes (E) or the arrangement direction of the plurality of electrodes (E). As shown in FIG. 3, the glass panel P may include a plurality of electrodes E1 arranged in an array of a first type, and as shown in FIG. 4, an array of a second type. A plurality of electrodes E2 arranged as may be provided. The arrangement of the first type may be a type of the number of the plurality of electrodes (E) of 16, the arrangement of the second type may be a type of the number of the plurality of electrodes (E) of 24. 3 and 4 illustrate a glass panel P in which the plurality of electrodes E are arranged in the Y-axis direction. However, the plurality of electrodes E are illustrated in FIGS. 3 and 4. The array test apparatus according to the first embodiment of the present invention may also be applied to the glass panel P arranged in the X-axis direction.

회전유닛(90)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1타입의 프로브핀(61)과 대응되는 전극(E1)을 가지는 글라스패널(P)에 대해서는 제1프로브바(71)가 전극(E1)에 대응되게 위치될 수 있도록 복수의 프로브바(70)를 Z축을 기준으로 회전시키고, 도 4에 도시된 바와 같이, 제2타입의 프로브핀(62)과 대응되는 전극(E2)을 가지는 글라스패널(P)에 대해서는 제2프로브바(72)가 전극(E2)에 대응되게 위치될 수 있도록 프로브바(70)를 Z축을 기준으로 회전시키는 역할을 수행한다.As shown in FIG. 3, the rotation unit 90 has a first probe bar 71 with respect to the glass panel P having the electrode E1 corresponding to the first type probe pin 61. The plurality of probe bars 70 are rotated about the Z axis to be positioned corresponding to E1, and as illustrated in FIG. 4, the probe bars 70 have electrodes E2 corresponding to the second type of probe pins 62. For the glass panel P, the probe bar 70 rotates about the Z axis so that the second probe bar 72 may be positioned to correspond to the electrode E2.

이와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 전극(E)의 전극의 배열형태가 서로 다른 글라스패널(P)에 대해서도 프로브바(70)를 회전시키는 간단한 동작을 통하여 글라스패널(P)의 복수의 전극(E)과 이에 대응되는 복수의 프로브핀(60)을 용이하게 정렬시킬 수 있다.As described above, the array test apparatus according to the first embodiment of the present invention uses a simple operation of rotating the probe bar 70 with respect to the glass panel P having different arrangements of electrodes of the plurality of electrodes E. The plurality of electrodes E of the glass panel P and the plurality of probe pins 60 corresponding thereto may be easily aligned.

이하, 상기한 바와 같이 구성되는 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치의 동작에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of the array test apparatus according to the first embodiment of the present invention configured as described above will be described.

먼저, 로딩유닛(10)의 동작에 의하여 글라스패널(P)이 투광지지플레이트(21)상에 배치되면, 테스트유닛(20)에 의하여 글라스패널(P)에 대한 전기적 결함여부를 검사하기 전에, 프로브모듈(23)이 글라스패널(P)의 전극(E)에 전기신호를 인가하는 과정이 진행된다.First, when the glass panel P is disposed on the light transmitting support plate 21 by the operation of the loading unit 10, before inspecting whether the glass panel P is electrically defective by the test unit 20, The probe module 23 applies an electric signal to the electrode E of the glass panel P.

프로브모듈(23)이 글라스패널(P)의 전극(E)에 전기신호를 인가하기 위하여, 먼저, 프로브모듈(23)은 프로브모듈지지프레임(50)이 Y축구동유닛(51)의 동작에 의하여 Y축방향으로 이동되는 것에 의하여 Y축방향으로 이동될 수 있으며, X축구동유닛(52)의 동작에 의하여 X축방향으로 이동될 수 있다. 프로브모듈(23)의 X축방향 및/또는 Y축방향으로의 이동에 의하여 프로브모듈(23)이 글라스패널(P)의 전극(E)이 형성된 위치로 이동하며, 이에 따라, 프로브바(70)에 설치된 복수의 프로브핀(60)이 글라스패널(P)의 전극(E)에 인접되는 위치로 이동된다.In order for the probe module 23 to apply an electrical signal to the electrode E of the glass panel P, first, the probe module 23 has a probe module support frame 50 for the operation of the Y-axis drive unit 51. It can be moved in the Y-axis direction by being moved in the Y-axis direction, it can be moved in the X-axis direction by the operation of the X-axis driving unit 52. The probe module 23 moves to the position where the electrode E of the glass panel P is formed by the movement of the probe module 23 in the X-axis direction and / or the Y-axis direction. Accordingly, the probe bar 70 A plurality of probe pins (60) installed in the) is moved to a position adjacent to the electrode (E) of the glass panel (P).

여기에서, 작업자의 수동에 의한 동작 또는 회전유닛(90)의 동작에 의하여 복수의 프로브바(70)가 Z축을 기준으로 회전되며, 이에 따라, 제1타입의 프로브핀(61)과 대응되는 제1타입의 복수의 전극(E1)을 가지는 글라스패널(P)에 대해서는 제1프로브바(71)가 제1타입의 복수의 전극(E1)에 대응되게 위치될 수 있고, 제2타입의 프로브핀(62)과 대응되는 제2타입의 복수의 전극(E1)을 가지는 글라스패널(P)에 대해서는 제2프로브바(72)가 제2타입의 복수의 전극(E1)에 대응되게 위치될 수 있다. Here, the plurality of probe bars 70 are rotated with respect to the Z-axis by a manual operation of the operator or by the operation of the rotary unit 90, and accordingly, the first probe pin 61 of the first type For the glass panel P having the plurality of electrodes E1 of one type, the first probe bar 71 may be positioned to correspond to the plurality of electrodes E1 of the first type, and the probe pin of the second type. The second probe bar 72 may be positioned to correspond to the plurality of electrodes E1 of the second type with respect to the glass panel P having the plurality of electrodes E1 of the second type corresponding to 62. .

그리고, 승강유닛(80)의 동작에 의하여 프로브바(70)가 하강되면 글라스패널(P)상의 복수의 전극(E)에 대응되게 위치된 프로브바(70)의 복수의 프로브핀(60)은 복수의 전극(E)을 각각 가압하게 된다. 이러한 상태에서 글라스패널(P)상의 복수의 전극(E)에 대응되게 위치된 프로브바(70)의 복수의 프로브핀(60)을 통하여 복수의 전극(E)으로 전기신호가 인가되면, 테스트유닛(20)의 테스트모듈(22)이 동작하면서 글라스패널(P)에 대한 전기적 결함여부를 검사하는 과정이 진행된다.When the probe bar 70 is lowered by the operation of the elevating unit 80, the plurality of probe pins 60 of the probe bar 70 positioned to correspond to the plurality of electrodes E on the glass panel P may be Each of the plurality of electrodes E is pressed. In this state, when an electrical signal is applied to the plurality of electrodes E through the plurality of probe pins 60 of the probe bar 70 positioned corresponding to the plurality of electrodes E on the glass panel P, the test unit While the test module 22 of 20 is in operation, a process of checking whether there is an electrical defect with respect to the glass panel P is performed.

이상과 같은 본 발명의 제1실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 프로브핀(60)이 서로 다른 형태로 배치되는 복수의 프로브바(70)가 프로브모듈(23)에 회전이 가능하게 설치되고, 복수의 프로브바(70)를 회전시키는 것을 통하여 복수의 프로브바(70) 중 복수의 전극(E)의 배열형태에 맞는 복수의 프로브핀(60)이 배열된 프로브바(70)를 복수의 전극(E)에 대응되도록 함으로써, 복수의 전극(E)의 개수, 간격 또는 배열방향 등 복수의 전극(E)의 배열형태가 다른 여러 종류의 글라스패널(P)이 하나의 어레이 테스트 장치로 로딩되는 경우에도, 종래와 같이, 프로브모듈(23)을 교체할 필요가 없이, 복수의 전극(E)의 배열형태가 다른 여러 종류의 글라스패널(P)에 대한 검사를 효율적으로 수행할 수 있는 효과가 있다.In the array test apparatus according to the first embodiment of the present invention as described above, a plurality of probe bars 70 in which a plurality of probe pins 60 are arranged in different forms is installed to be rotatable in the probe module 23. By rotating the plurality of probe bars 70, a plurality of probe bars 70 in which a plurality of probe pins 60 suitable for the arrangement of the plurality of electrodes E among the plurality of probe bars 70 are arranged. By matching the electrodes E of the plurality of glass panels P with different arrangements of the plurality of electrodes E, such as the number, spacing, or arrangement direction of the plurality of electrodes E, one array test apparatus is used. Even when loaded, as in the prior art, it is not necessary to replace the probe module 23, it is possible to efficiently perform the inspection for the various types of glass panel (P) having a different arrangement of the plurality of electrodes (E) It works.

이하, 도 5 및 도 6을 참조하여 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, an array test apparatus according to a second exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 5 and 6. The same parts as those described in the first embodiment of the present invention will be denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted.

도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 제1타입의 배열형태로 배열되는 복수의 프로브핀(61)이 구비되는 제1프로브바(71)와, 제2타입의 배열형태로 배열되는 복수의 프로브핀(62)이 구비되는 제2프로브바(72)가 동일한 방향으로 연장되는 구성을 가진다. 여기에서, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 복수의 프로브바(70)는 직육면체형상으로 서로 일체로 형성될 수 있고, 이와 같은 경우, 서로 다른 배열형태로 배열되는 복수의 프로브핀(60)은 서로 다른 방향으로 돌출되도록 배치될 수 있다. 물론, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 복수의 프로브바(70)가 개별적으로 구비되어 Z축방향으로 서로 소정의 간격으로 이격되는 구성이 적용될 수 있다. 다만, 본 발명은 두 개의 타입의 프로브핀(60)이 각각 배열되는 두 개의 프로브바(70)를 가지는 구성이 적용되는 데에 한정되지 아니하며, 두 개 이상의 타입의 프로브핀(60)이 각각 배열되는 두 개 이상의 프로브바(70)를 가지는 구성이 적용될 수 있다.5 and 6, the array test apparatus according to the second embodiment of the present invention, the first probe bar 71 is provided with a plurality of probe pins 61 arranged in an array of the first type ) And a second probe bar 72 having a plurality of probe pins 62 arranged in a second type arrangement form extend in the same direction. 5 and 6, the plurality of probe bars 70 may be integrally formed with each other in a rectangular parallelepiped shape, and in this case, the plurality of probe pins 60 arranged in different arrangements. ) May be arranged to protrude in different directions. Of course, the present invention is not limited to this configuration, and a plurality of probe bars 70 may be provided separately so that the configuration may be spaced apart from each other at a predetermined interval in the Z-axis direction. However, the present invention is not limited to the configuration having two probe bars 70 in which two types of probe pins 60 are arranged, respectively, and two or more types of probe pins 60 are arranged. A configuration having two or more probe bars 70 may be applied.

회전유닛(90)은, 프로브바(70)를 프로브바(70)가 연장되는 축(도 5에서는 Y축)(도 6에서는 X축)을 기준으로 회전시키는 제1회전유닛(91)과, 프로브바(70)를 Z축을 기준으로 회전시키는 제2회전유닛(92)을 포함하여 구성될 수 있다.The rotation unit 90 includes a first rotation unit 91 for rotating the probe bar 70 about an axis (Y axis in FIG. 5) (X axis in FIG. 6) from which the probe bar 70 extends, It may be configured to include a second rotating unit 92 for rotating the probe bar 70 with respect to the Z axis.

제1회전유닛(91)으로는 프로브바(70)와 연결되는 회전축을 포함하여 구성되어 작업자가 수동으로 프로브바(70)를 회전시킬 수 있는 구성이 적용될 수 있다. 또한, 프로브바(70)가 자동적으로 회전될 수 있도록 제1회전유닛(91)은 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되는 회전모터로 구성될 수 있으며, 이와 같은 경우에는, 프로브바(70)의 회전각을 정확하게 조절할 수 있는 스테핑모터가 적용되는 것이 바람직하다. 제1회전유닛(91)은, 제1타입의 프로브핀(61)과 대응되는 전극(E1)을 가지는 글라스패널(P)에 대해서는 제1프로브바(71)가 전극(E1)에 대응되게 위치될 수 있도록 프로브바(70)를 프로브바(70)가 연장되는 축을 기준으로 회전시키고, 제2타입의 프로브핀(62)과 대응되는 전극(E2)을 가지는 글라스패널(P)에 대해서는 제2프로브바(72)가 전극(E2)에 대응되게 위치될 수 있도록 프로브바(70)를 프로브바(70)가 연장되는 축을 기준으로 회전시키는 역할을 수행한다.The first rotation unit 91 may include a rotation shaft connected to the probe bar 70 so that an operator may manually rotate the probe bar 70. In addition, the first rotary unit 91 may be configured as a rotary motor installed in the probe module 23 and connected to the probe bar 70 so that the probe bar 70 may be automatically rotated. , Stepping motor that can accurately adjust the rotation angle of the probe bar 70 is preferably applied. The first rotation unit 91 is positioned such that the first probe bar 71 corresponds to the electrode E1 with respect to the glass panel P having the electrode E1 corresponding to the first type of probe pin 61. The probe bar 70 is rotated with respect to the axis from which the probe bar 70 extends so that the probe bar 70 can be rotated, and the second electrode is formed on the glass panel P having the electrode E2 corresponding to the probe pin 62 of the second type. It serves to rotate the probe bar 70 with respect to the axis from which the probe bar 70 extends so that the probe bar 72 can be positioned to correspond to the electrode E2.

제2회전유닛(92)으로는 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되는 회전축을 포함하여 구성되어 작업자가 수동으로 프로브바(70)를 회전시킬 수 있는 구성이 적용될 수 있다. 또한, 프로브바(70)가 자동적으로 회전될 수 있도록 제2회전유닛(92)은 프로브모듈(23)과 제1회전유닛(91)의 사이에 설치되는 회전모터로 구성될 수 있으며, 이와 같은 경우에는, 프로브바(70)의 회전각을 정확하게 조절할 수 있는 스테핑모터가 적용되는 것이 바람직하다. 제2회전유닛(92)은 프로브바(70)를 Z축을 기준으로 회전시키는 역할을 수행하는데, 예를 들면, 도 5에 도시된 바와 같이, 글라스패널(P)상에 복수의 전극(E)이 Y축방향으로 배열된 경우에, 프로브핀(60)이 전극(60)에 대응될 수 있도록, 프로브바(70)가 Z축을 기준으로 회전될 수 있고, 도 6에 도시된 바와 같이, 글라스패널(P)상에 복수의 전극(E)이 X축방향으로 배열된 경우에도, 프로브핀(60)이 글라스패널(P)상의 전극(E)에 대응될 수 있도록, 프로브바(70)가 Z축을 기준으로 회전될 수 있다. 한편, 제2회전유닛(92)은 글라스패널(P)상에서 복수의 전극(E)이 배열되는 방향이 다른 글라스패널(P)에 대응하기 위한 것으로, 글라스패널(P)상의 복수의 전극(E)의 배열방향이 항상 동일한 경우에는 제2회전유닛(92)을 포함하지 않고 제1회전유닛(91)만이 구비된 회전유닛(90)이 적용될 수 있다.The second rotating unit 92 may include a rotating shaft installed in the probe module 23 and connected to the probe bar 70 so that a worker may manually rotate the probe bar 70. . In addition, the second rotation unit 92 may be configured as a rotation motor installed between the probe module 23 and the first rotation unit 91 so that the probe bar 70 can be automatically rotated, such as In this case, it is preferable that a stepping motor that can accurately adjust the rotation angle of the probe bar 70 is applied. The second rotating unit 92 serves to rotate the probe bar 70 with respect to the Z axis. For example, as illustrated in FIG. 5, a plurality of electrodes E on the glass panel P are provided. When arranged in the Y-axis direction, the probe bar 70 can be rotated about the Z-axis so that the probe pin 60 can correspond to the electrode 60, as shown in FIG. Even when the plurality of electrodes E are arranged in the X-axis direction on the panel P, the probe bar 70 is provided so that the probe pins 60 can correspond to the electrodes E on the glass panel P. It can be rotated about the Z axis. On the other hand, the second rotation unit 92 is to correspond to the glass panel P in which the plurality of electrodes E are arranged on the glass panel P in different directions, and the plurality of electrodes E on the glass panel P. In the case where the arrangement direction of) is always the same, the rotation unit 90 including only the first rotation unit 91 without the second rotation unit 92 may be applied.

본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 전극(E)의 전극의 배열형태, 즉, 전극(E)의 간격 또는 개수 등이 서로 다른 글라스패널(P)에 대해서도 프로브바(70)를 회전시키는 간단한 동작을 통하여 글라스패널(P)의 복수의 전극(E)과 복수의 프로브핀(60)을 용이하게 정렬시킬 수 있다.In the array test apparatus according to the second exemplary embodiment of the present invention, the probe bar may be applied to the glass panel P having different arrangements of electrodes of the plurality of electrodes E, that is, intervals or numbers of the electrodes E. Through a simple operation of rotating 70, the plurality of electrodes E and the plurality of probe pins 60 of the glass panel P may be easily aligned.

또한, 본 발명의 제2실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 전극(E)의 위치 및 배열방향이 달라지는 경우에도, 프로브바(70)를 회전시키는 간단한 동작을 통하여 복수의 전극(E)에 복수의 프로브핀(60)을 용이하게 정렬시킬 수 있다.In addition, in the array test apparatus according to the second exemplary embodiment of the present invention, even when the positions and arrangement directions of the plurality of electrodes E are changed, the plurality of electrodes E may be changed by a simple operation of rotating the probe bar 70. The plurality of probe pins 60 can be easily aligned.

이하, 도 7 및 도 8을 참조하여, 본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1실시예 및 제2실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, an array test apparatus according to a third exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 and 8. The same parts as those described in the above-described first and second embodiments of the present invention will be denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted.

본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 도 7에 도시된 바와 같이, 프로브모듈지지프레임(50)이 길이방향으로 연장되는 축을 X축이라고 하고, 글라스패널(P)이 로딩되거나 언로딩되는 방향으로 X축과 수평으로 직교하는 Y축이라고 하고, X축 및 Y축에 수직으로 직교하는 축을 Z축이라고 할 때, 제1프로브바(71)과 제2프로브바(72)는 X축 및 Z축이 이루는 평면상에서 서로 소정의 각도를 유지하도록 연장될 수 있다. 그리고, 회전유닛(90)은, Y축을 기준으로 복수의 프로브바(70)를 회전시키는 제1회전유닛(91)을 포함하여 구성될 수 있다.In the array test apparatus according to the third embodiment of the present invention, as shown in FIG. 7, the axis in which the probe module support frame 50 extends in the longitudinal direction is called an X axis, and the glass panel P is loaded or frozen. When the Y axis is orthogonal to the X axis in the loading direction, and the axis perpendicular to the X axis and the Y axis is called the Z axis, the first probe bar 71 and the second probe bar 72 are X The axis and the Z axis may extend to maintain a predetermined angle with each other on the plane. The rotation unit 90 may include a first rotation unit 91 for rotating the plurality of probe bars 70 based on the Y axis.

또한, 도 8에 도시된 바와 같이, 프로브모듈지지프레임(50)이 길이방향으로 연장되는 축을 X축이라고 하고, 글라스패널(P)이 로딩되거나 언로딩되는 방향으로 X축과 수평으로 직교하는 Y축이라고 하고, X축 및 Y축에 수직으로 직교하는 축을 Z축이라고 할 때, 제1프로브바(71)과 제2프로브바(72)는 Y축 및 Z축이 이루는 평면상에서 서로 소정의 각도를 유지하도록 연장될 수 있다. 그리고, 회전유닛(90)은 X축을 기준으로 복수의 프로브바(70)를 회전시키는 제1회전유닛(91)을 포함하여 구성될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 8, the axis in which the probe module support frame 50 extends in the lengthwise direction is referred to as the X axis, and Y is perpendicular to the X axis in the direction in which the glass panel P is loaded or unloaded. When the axis perpendicular to the X-axis and the Y-axis orthogonal to the X-axis is called the Z-axis, the first probe bar 71 and the second probe bar 72 have a predetermined angle to each other on a plane formed by the Y-axis and the Z-axis. Can be extended to maintain. In addition, the rotating unit 90 may include a first rotating unit 91 for rotating the plurality of probe bars 70 based on the X axis.

제1프로브바(71)의 연장방향과 제2프로브바(72)의 연장방향이 이루는 각도는 90도가 될 수 있는데, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 제1프로브바(71)의 연장방향과 제2프로브바(72)의 연장방향이 이루는 각도는 90도에 비하여 크거나 작을 수 있다. 또한, 본 발명은 두 개의 타입의 프로브핀(60)이 각각 배열되는 두 개의 프로브바(70)를 가지는 구성이 적용되는 데에 한정되지 아니하며, 두 개 이상의 타입의 프로브핀(60)이 각각 배열되는 두 개 이상의 프로브바(70)를 가지는 구성이 적용될 수 있다.An angle formed by the extending direction of the first probe bar 71 and the extending direction of the second probe bar 72 may be 90 degrees. However, the present invention is not limited thereto, and the extending direction of the first probe bar 71 is not limited thereto. The angle formed by the extending direction of the second probe bar 72 may be larger or smaller than 90 degrees. In addition, the present invention is not limited to the configuration having two probe bars 70 in which two types of probe pins 60 are arranged, respectively, and two or more types of probe pins 60 are arranged. A configuration having two or more probe bars 70 may be applied.

제1회전유닛(91)으로는 프로브바(70)와 연결되는 회전축을 포함하여 구성되어 작업자가 수동으로 프로브바(70)를 회전시킬 수 있는 구성이 적용될 수 있다. 또한, 프로브바(70)가 자동적으로 회전될 수 있도록 제1회전유닛(91)은 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되는 회전모터로 구성될 수 있다. 제1회전유닛(91)은, 제1타입의 프로브핀(61)과 대응되는 전극(E1)을 가지는 글라스패널(P)에 대해서는 제1프로브바(71)가 전극(E1)에 대응되게 위치될 수 있도록 프로브바(70)를 회전시키고, 제2타입의 프로브핀(62)과 대응되는 전극(E2)을 가지는 글라스패널(P)에 대해서는 제2프로브바(72)가 전극(E2)에 대응되게 위치될 수 있도록 프로브바(70)를 회전시키는 역할을 수행한다.The first rotation unit 91 may include a rotation shaft connected to the probe bar 70 so that an operator may manually rotate the probe bar 70. In addition, the first rotation unit 91 may be configured as a rotary motor installed in the probe module 23 and connected to the probe bar 70 so that the probe bar 70 may be automatically rotated. The first rotation unit 91 is positioned such that the first probe bar 71 corresponds to the electrode E1 with respect to the glass panel P having the electrode E1 corresponding to the first type of probe pin 61. The second probe bar 72 is rotated to the electrode E2 with respect to the glass panel P having the electrode E2 corresponding to the probe pin 62 of the second type. It serves to rotate the probe bar 70 to be located correspondingly.

한편, 본 발명의 제2실시예에서 설명한 바와 같이, 회전유닛(90)은, 프로브바(70)를 Z축을 기준으로 회전시키는 제2회전유닛(92)을 더 포함하여 구성될 수 있다. 제2회전유닛(92)으로는 프로브모듈(23)에 설치되고 프로브바(70)와 연결되는 회전축을 포함하여 구성되어 작업자가 수동으로 프로브바(70)를 회전시킬 수 있는 구성이 적용될 수 있다. 또한, 프로브바(70)가 자동적으로 회전될 수 있도록 제2회전유닛(92)은 프로브모듈(23)과 제1회전유닛(91)의 사이에 설치되는 회전모터로 구성될 수 있다. 제2회전유닛(92)은 프로브바(70)를 Z축을 기준으로 회전시키는 역할을 수행하는데, 이에 따라, 복수의 전극(E)의 배열방향이 서로 다른 글라스패널(P)에 대하여 복수의 프로브핀(60)을 복수의 전극(E)과 정렬시킬 수 있다. 제2회전유닛(92)은 글라스패널(P)상에 복수의 전극(E)이 배열되는 방향이 다른 글라스패널(P)에 대응하기 위한 것으로, 글라스패널(P)상의 복수의 전극(E)의 배열방향이 항상 동일한 경우에는 제2회전유닛(92)을 포함하지 않고 제1회전유닛(91)만이 구비된 회전유닛(90)이 적용될 수 있다.Meanwhile, as described in the second embodiment of the present invention, the rotation unit 90 may further include a second rotation unit 92 for rotating the probe bar 70 about the Z axis. The second rotating unit 92 may include a rotating shaft installed in the probe module 23 and connected to the probe bar 70 so that a worker may manually rotate the probe bar 70. . In addition, the second rotation unit 92 may be configured as a rotation motor installed between the probe module 23 and the first rotation unit 91 so that the probe bar 70 can be automatically rotated. The second rotating unit 92 serves to rotate the probe bar 70 with respect to the Z axis. Accordingly, the plurality of probes with respect to the glass panel P having different arrangement directions of the plurality of electrodes E may be rotated. The pin 60 may be aligned with the plurality of electrodes E. FIG. The second rotating unit 92 corresponds to the glass panel P having different directions in which the plurality of electrodes E are arranged on the glass panel P, and the plurality of electrodes E on the glass panel P. When the direction of the arrangement is always the same, the rotary unit 90 provided with only the first rotary unit 91 without the second rotary unit 92 may be applied.

본 발명의 제3실시예에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 전극(E)의 전극의 배열형태, 즉, 전극(E)의 간격 또는 개수 등이 서로 다른 글라스패널(P)에 대해서도 프로브바(70)를 회전시키는 간단한 동작을 통하여 글라스패널(P)의 복수의 전극(E)과 복수의 프로브핀(60)을 용이하게 정렬시킬 수 있으며, 복수의 전극(E)의 위치 및 배열방향이 달라지는 경우에도, 프로브바(70)를 회전시키는 간단한 동작을 통하여 복수의 전극(E)에 복수의 프로브핀(60)을 용이하게 정렬시킬 수 있다.The array test apparatus according to the third exemplary embodiment of the present invention includes a probe bar for a glass panel P having different arrangements of electrodes of the plurality of electrodes E, that is, intervals or numbers of the electrodes E. Through a simple operation of rotating 70, the plurality of electrodes E and the plurality of probe pins 60 of the glass panel P may be easily aligned, and the positions and arrangement directions of the plurality of electrodes E may vary. Even in this case, the plurality of probe pins 60 may be easily aligned with the plurality of electrodes E through a simple operation of rotating the probe bar 70.

본 발명의 각 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 프로브모듈은 글라스패널뿐만 아니라 전극이 형성되는 다양한 형태의 기판의 검사를 위하여 기판의 전극으로 전기신호를 인가하는 장치에 적용될 수 있다.The technical ideas described in the embodiments of the present invention may be implemented independently or in combination with each other. In addition, the probe module according to the present invention may be applied to an apparatus for applying an electrical signal to the electrode of the substrate for the inspection of various types of substrate in which the electrode is formed, as well as the glass panel.

20: 테스트유닛 23: 프로브모듈
60: 프로브핀 70: 프로브바
80: 승강유닛 90: 회전유닛20: test unit 23: probe module
60: probe pin 70: probe bar
80: lifting unit 90: rotating unit

Claims (7)

프로브모듈지지프레임에 상기 프로브모듈지지프레임의 길이방향으로 이동이 가능하게 배치되는 프로브모듈;
상기 프로브모듈에 회전이 가능하게 구비되며 복수의 프로브핀이 서로 다른 형태로 배열되는 복수의 프로브바를 포함하는 어레이 테스트 장치.A probe module disposed on the probe module support frame to be movable in the longitudinal direction of the probe module support frame;
And a plurality of probe bars rotatably provided in the probe module and having a plurality of probe pins arranged in different shapes. 제1항에 있어서,
상기 프로브모듈지지프레임이 길이방향으로 연장되는 축을 X축이라고 하고, 상기 X축과 수평으로 직교하는 축을 Y축이라고 하고, 상기 X축 및 상기 Y축에 수직으로 직교하는 축을 Z축이라고 할 때,
상기 복수의 프로브바는 상기 X축 및 상기 Y축이 이루는 평면상에서 서로 소정의 각도를 유지하도록 연장되며,
상기 복수의 프로브바는 상기 Z축을 기준으로 회전이 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method of claim 1,
When the axis in which the probe module support frame extends in the longitudinal direction is referred to as the X axis, the axis perpendicular to the X axis horizontally is called the Y axis, and the axis perpendicular to the X axis and the Y axis is called the Z axis,
The plurality of probe bars extend to maintain a predetermined angle with each other on a plane formed by the X axis and the Y axis,
And the plurality of probe bars are installed to be rotatable about the Z axis. 제1항에 있어서,
상기 프로브모듈지지프레임이 길이방향으로 연장되는 축을 X축이라고 하고, 상기 X축과 수평으로 직교하는 축을 Y축이라고 하고, 상기 X축 및 상기 Y축에 수직으로 직교하는 축을 Z축이라고 할 때,
상기 복수의 프로브바는 동일한 방향으로 연장되고,
상기 복수의 프로브바는 상기 복수의 프로브바가 연장되는 축을 기준으로 회전이 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method of claim 1,
When the axis in which the probe module support frame extends in the longitudinal direction is referred to as the X axis, the axis perpendicular to the X axis horizontally is called the Y axis, and the axis perpendicular to the X axis and the Y axis is called the Z axis,
The plurality of probe bars extend in the same direction,
The plurality of probe bar is an array test apparatus, characterized in that the rotatable installation is possible with respect to the axis extending the plurality of probe bar. 제3항에 있어서,
상기 복수의 프로브바는 서로 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method of claim 3,
And the plurality of probe bars are formed integrally with each other. 제1항에 있어서,
상기 프로브모듈지지프레임이 길이방향으로 연장되는 축을 X축이라고 하고, 상기 X축과 수평으로 직교하는 축을 Y축이라고 하고, 상기 X축 및 상기 Y축에 수직으로 직교하는 축을 Z축이라고 할 때,
상기 복수의 프로브바는 상기 X축 및 상기 Z축이 이루는 평면상에서 서로 소정의 각도를 유지하도록 연장되며,
상기 복수의 프로브바는 상기 Y축을 기준으로 회전이 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method of claim 1,
When the axis in which the probe module support frame extends in the longitudinal direction is referred to as the X axis, the axis perpendicular to the X axis horizontally is called the Y axis, and the axis perpendicular to the X axis and the Y axis is called the Z axis,
The plurality of probe bars extend to maintain a predetermined angle with each other on a plane formed by the X axis and the Z axis,
And the plurality of probe bars are installed to be rotatable about the Y axis. 제1항에 있어서,
상기 프로브모듈지지프레임이 길이방향으로 연장되는 축을 X축이라고 하고, 상기 X축과 수평으로 직교하는 축을 Y축이라고 하고, 상기 X축 및 상기 Y축에 수직으로 직교하는 축을 Z축이라고 할 때,
상기 복수의 프로브바는 상기 Y축 및 상기 Z축이 이루는 평면상에서 서로 소정의 각도를 유지하도록 연장되며,
상기 복수의 프로브바는 상기 X축을 기준으로 회전이 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method of claim 1,
When the axis in which the probe module support frame extends in the longitudinal direction is referred to as the X axis, the axis perpendicular to the X axis horizontally is called the Y axis, and the axis perpendicular to the X axis and the Y axis is called the Z axis,
The plurality of probe bars extend to maintain a predetermined angle with each other on a plane formed by the Y axis and the Z axis,
And the plurality of probe bars are installed to be rotatable about the X axis. 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 복수의 프로브바는 상기 Z축을 기준으로 회전이 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method according to any one of claims 3 to 6,
And the plurality of probe bars are installed to be rotatable about the Z axis.
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