KR101949331B1 - Array test apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에서는, 복수의 지지플레이트의 전체의 영역의 크기와 대응되는 크기를 가지는 대면적의 글라스패널의 위치를 정렬할 수 있을 뿐만 아니라 복수의 지지플레이트의 전체의 영역의 크기에 비하여 작은 크기를 가지는 소면적의 글라스패널의 위치를 정렬할 수 있는 구성에 대하여 제시한다.In the array test apparatus according to the present invention, it is possible not only to align the position of the large-area glass panel having the size corresponding to the entire area of the plurality of support plates, but also to adjust the size of the entire area of the plurality of support plates A structure in which the position of a small-sized glass panel having a small size can be aligned is proposed.
Description
본 발명은 글라스패널을 검사하는 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an array test apparatus for inspecting a glass panel.
일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는, 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이패널(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.In general, a flat panel display (FPD) is thinner and lighter than a television or a monitor using a cathode ray tube. As a flat panel display, a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), a field emission display (FED), an organic light emitting diode (OLED) Has been developed and used.
이와 같은 평판디스플레이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 원화는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등으로 인하여 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.Among such flat panel displays, a liquid crystal display is a display device that can display an image by controlling the light transmittance of liquid crystal cells by individually supplying data signals according to image information to liquid crystal cells arranged in a matrix form. Liquid crystal displays are widely used because of their thinness and light weight, low power consumption and low operating voltage. A method of manufacturing a liquid crystal panel generally used in such a liquid crystal display will be described below.
먼저, 제1기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 제1기판과 대응되는 제2기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.First, a color filter and a common electrode are formed on a first substrate, and a thin film transistor (TFT) and a pixel electrode are formed on a second substrate corresponding to the first substrate. Subsequently, the alignment film is applied to the substrates, and then the alignment film is rubbed to provide a pre-tilt angle and alignment direction to the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer to be formed therebetween.
그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 적어도 어느 하나의 기판상에 액정을 적하하는 공정이 진행된다.A paste pattern is formed on at least one of the substrates by applying a paste to the substrate in a predetermined pattern so as to maintain a gap between the substrates while preventing the liquid crystal from leaking to the outside, The liquid crystal is dropped on the substrate of the liquid crystal display device.
이러한 공정 중에 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성된 제2기판(이하, "글라스패널"이라 한다.)에 구비되는 게이트라인 및 데이터라인의 단선, 화소셀의 색상 불량 등의 결함이 있는지를 검사하는 공정을 수행하게 된다.During this process, it is checked whether defects such as disconnection of a gate line and a data line provided in a second substrate (hereinafter referred to as a " glass panel " .
글라스패널에 대한 검사를 수행하기 위하여 어레이 테스트 장치가 이용된다. 어레이 테스트 장치는, 글라스패널에 대한 검사를 수행하기 이전에 소정의 간격으로 배치되는 복수의 지지플레이트상에 글라스패널을 탑재하고, 복수의 지지플레이트상에 탑재된 글라스패널의 위치를 정렬하는 동작을 수행한다.An array test apparatus is used to perform an inspection on the glass panel. The array test apparatus includes an operation of mounting a glass panel on a plurality of support plates arranged at predetermined intervals before inspecting the glass panel and aligning the positions of the glass panels mounted on the plurality of support plates .
글라스패널의 위치를 정렬하기 위하여, 복수의 지지플레이트의 외곽에 수평방향으로 이동이 가능하게 설치되는 복수의 가압부재를 마련하고, 복수의 지지플레이트상에 탑재된 글라스패널의 4개의 모서리를 복수의 가압부재로 동시에 가압하는 동작을 수행한다.A plurality of pressing members provided so as to be movable in the horizontal direction on the outer periphery of the plurality of support plates in order to align the position of the glass panel, and a plurality of four corners of the glass panel mounted on the plurality of support plates And simultaneously pressurizing with a pressing member.
한편, 액정디스플레이의 양산성을 확보하기 위하여 면적이 큰 글라스패널을 이용하여 액정디스플레이를 제조하고 있다. 이러한 대면적의 글라스패널에 대한 검사를 수행하기 위해서는 대면적의 글라스패널에 대응되도록 복수의 지지플레이트의 크기가 커져야 한다.On the other hand, a liquid crystal display is manufactured using a glass panel having a large area in order to ensure mass productivity of the liquid crystal display. In order to perform inspection of such a large-area glass panel, the size of the plurality of support plates must be increased to correspond to a large-sized glass panel.
복수의 지지플레이트의 크기가 커지게 되면, 복수의 지지플레이트의 외곽에 배치되는 복수의 가압부재 사이의 간격이 커지게 되는데, 이와 같은 경우, 복수의 지지플레이트의 전체의 영역의 크기와 대응되는 크기를 가지는 대면적의 글라스패널의 위치를 정렬하는 동작은 원활하게 수행할 수 있으나, 복수의 지지플레이트의 전체의 영역의 크기에 비하여 작은 크기를 가지는 소면적의 글라스패널의 위치를 정렬하는 동작을 적절하게 수행할 수 없으므로, 하나의 어레이 테스트 장치로 대면적의 글라스패널과 소면적의 글라스패널에 대한 검사를 수행할 수 없는 문제가 있다.When the size of the plurality of support plates is increased, the distance between the plurality of pressing members disposed on the outer periphery of the plurality of support plates becomes large. In such a case, The operation of aligning the position of the small-sized glass panel having a size smaller than that of the entire area of the plurality of support plates can be appropriately performed There is a problem that it is not possible to perform inspection of a large-sized glass panel and a small-sized glass panel with one array test apparatus.
본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 하나의 장비를 이용하여 대면적의 글라스패널과 소면적의 글라스패널의 위치를 정렬하여 이들에 대한 검사를 수행할 수 있는 어레이 테스트 장치를 제공하는 데에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems of the prior art, and it is an object of the present invention to provide an apparatus and a method for aligning a large-area glass panel and a small- To provide an array test device with an integrated circuit.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널이 탑재되며 소정의 간격으로 배치되는 복수의 지지플레이트와, 상기 복수의 지지플레이트의 외곽에 설치되며, 수평방향으로 이동되어 상기 글라스패널의 측면을 가압하는 제1가압부재가 구비되는 복수의 제1얼라인유닛과, 상기 복수의 지지플레이트 사이에 설치되며, 수평방향으로 이동되어 상기 글라스패널의 측면을 가압하는 제2가압부재가 구비되는 복수의 제2얼라인유닛을 포함하고, 상기 제2가압부재는 상기 복수의 지지플레이트의 사이에서 수직방향으로 승강이 가능하게 설치될 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided an array test apparatus including: a plurality of support plates on which a glass panel is mounted and arranged at predetermined intervals; A plurality of first aligning units provided with a first pressing member for pressing the side surface of the glass panel and a second pressing member provided between the plurality of supporting plates and moved in the horizontal direction to press the side surface of the glass panel, And the second pressing member may be installed so as to be vertically movable between the plurality of support plates.
본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 지지플레이트의 전체의 영역의 크기와 대응되는 크기를 가지는 대면적의 글라스패널의 위치를 정렬할 수 있을 뿐만 아니라 복수의 지지플레이트의 전체의 영역의 크기에 비하여 작은 크기를 가지는 소면적의 글라스패널의 위치를 정렬할 수 있는 얼라인수단이 구비되므로, 하나의 어레이 테스트 장치를 이용하여 대면적의 글라스패널과 소면적의 글라스패널의 위치를 정렬하여 이들에 대한 검사를 수행할 수 있는 효과가 있다.The array test apparatus according to the present invention is capable of aligning the position of a large-area glass panel having a size corresponding to the size of the entire area of the plurality of support plates, Sized glass panel and the small-sized glass panel by aligning the positions of the small-sized glass panel and the small-sized glass panel by using one array test apparatus, There is an effect that the test can be performed.
또한, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 지지플레이트의 전체의 영역의 크기에 비하여 작은 크기를 가지는 복수의 글라스패널을 복수의 지지플레이트상에 함께 탑재하여 동시에 위치를 정렬할 수 있으므로, 복수의 글라스패널에 대한 검사를 동시에 수행할 수 있는 효과가 있다.Further, since the array test apparatus according to the present invention can mount a plurality of glass panels having a size smaller than the entire area of the plurality of support plates on a plurality of support plates and align them at the same time, It is possible to simultaneously perform the inspection of the glass panel of the projector.
도 1은 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치가 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치의 지지플레이트, 제1얼라인유닛 및 제2얼라인유닛이 도시된 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치의 제1얼라인유닛이 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치의 제2얼라인유닛이 개략적으로 도시된 사시도이다.
도 6 내지 도 8은 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에서 복수의 지지플레이트 및 글라스패널에 대한 제2얼라인유닛의 위치 및 동작을 설명하기 위한 개략도이다.1 is a perspective view schematically showing an array test apparatus according to the present invention.
2 and 3 are plan views showing a support plate, a first aligning unit and a second aligning unit of the array test apparatus according to the present invention.
4 is a perspective view schematically showing a first alignment unit of an array test apparatus according to the present invention.
5 is a perspective view schematically showing a second aligning unit of an array testing apparatus according to the present invention.
6 to 8 are schematic views for explaining the position and operation of the second aligning unit with respect to the plurality of support plates and the glass panel in the array test apparatus according to the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, a preferred embodiment of an array test apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 베이스프레임(10)과, 글라스패널을 로딩하는 로딩유닛(30)과, 로딩유닛(30)에 의하여 로딩된 글라스패널에 대한 검사를 수행하는 테스트유닛(20)과, 테스트유닛(20)에 의하여 검사가 완료된 글라스패널을 언로딩하는 언로딩유닛(40)을 포함하여 구성될 수 있다.1, an array testing apparatus according to the present invention includes a
테스트유닛(20)은, 로딩유닛(30)에 의하여 로딩된 글라스패널이 배치되는 투광지지플레이트(21)와, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널의 결함여부를 검사하는 테스트모듈(22)과, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널의 전극으로 전기신호를 인가하기 위한 프로브모듈(23)과, 테스트모듈(22)과 프로브모듈(23)을 제어하는 제어유닛(미도시)을 포함하여 구성될 수 있다.The
테스트모듈(22)은 투광지지플레이트(21)의 상측에서 X축방향으로 연장되는 테스트모듈지지프레임(223)에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치될 수 있다. 또한, 테스트모듈(22)은 테스트모듈지지프레임(223)의 연장방향(X축방향)을 따라 복수로 구비될 수 있다. 테스트모듈(22)은 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널의 상측에 배치되어 글라스패널의 결함여부를 검출한다. 테스트모듈(22)은, 투광지지플레이트(21)상에 배치된 글라스패널에 인접하는 모듈레이터(221)와, 모듈레이터(221)를 촬상하는 촬상장치(222)를 포함하여 구성될 수 있다.The
이러한 테스트유닛(20)은 반사방식 및 투과방식으로 두 가지의 형태로 나눌 수 있다. 반사방식의 경우에는, 광원이 테스트모듈(22)과 함께 배치되고, 테스트모듈(22)의 모듈레이터(221)에 반사층이 구비되며, 이에 따라, 광원에서 발광된 광이 모듈레이터(221)로 입사된 후 모듈레이터(221)의 반사층으로부터 반사될 때, 반사되는 광의 광량을 측정함으로써, 글라스패널의 결함여부를 검출하게 된다. 투과방식의 경우에는, 광원이 투광지지플레이트(21)의 하측에 구비되며, 이에 따라, 광원에서 발광되어 모듈레이터(221)를 투과하는 광의 광량을 측정함으로써, 글라스패널의 결함여부를 검출하게 된다. 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트유닛(20)으로는 이러한 반사방식 및 투과방식이 모두 적용될 수 있다.The
테스트모듈(22)의 모듈레이터(221)에는, 글라스패널과의 사이에서 발생되는 전기장의 크기에 따라 반사되는 광의 광량(반사방식의 경우) 또는 투과되는 광의 광량(투과방식의 경우)을 변경하는 전광물질층(electro-optical material layer)이 구비된다. 전광물질층은, 글라스패널과 모듈레이터(221)에 전기가 인가될 때 발생되는 전기장에 의하여 특정의 물성이 변경되는 물질로 이루어져 전광물질층으로 입사되는 광의 광량을 변경한다. 이러한 전광물질층은 전기장의 크기에 따라 일정한 방향으로 배열되는 특성을 가지는 물질로 이루어져 이에 입사하는 광을 편광시키는 액정(LC, liquid crystal) 또는 고분자 분산형 액정(PDLC, polymer dispersed liquid crystal)으로 이루어질 수 있다.The
프로브모듈(23)은, X축방향으로 연장되는 프로브모듈지지프레임(231)과, 프로브모듈지지프레임(231)의 길이방향(X축방향)을 따라 소정의 간격으로 배치되며 복수의 프로브핀(미도시)이 구비되는 프로브헤드(233)를 포함하여 구성될 수 있다.The
프로브모듈지지프레임(231)은 Y축구동유닛(235)과 연결되어 프로브모듈지지프레임(231)의 길이방향(X축방향)과 수평으로 직교하는 방향(Y축방향)으로 이동될 수 있다. 그리고, 프로브모듈지지프레임(50)과 프로브모듈(23)의 사이에는 프로브헤드(233)를 프로브모듈지지프레임(231)의 길이방향으로 이동시키는 X축구동유닛(236)이 구비될 수 있다. Y축구동유닛(235) 및/또는 X축구동유닛(236)으로는 리니어모터 또는 볼스크류장치와 같은 직선이동기구가 적용될 수 있다.The probe
로딩유닛(30)은 검사의 대상이 되는 글라스패널을 지지함과 아울러 글라스패널을 테스트유닛(20)으로 이송시키는 역할을 수행하며, 언로딩유닛(40)은 검사가 완료된 글라스패널을 지지함과 아울러 테스트유닛(20)으로부터 이송시키는 역할을 수행한다. 로딩유닛(30) 및 언로딩유닛(40)에는, 소정의 간격으로 배치되어 글라스패널이 탑재되는 복수의 지지플레이트(50)와, 글라스패널을 이송하기 위한 글라스패널 이송장치(60)가 구비될 수 있다.The
각 지지플레이트(50)는 글라스패널이 이송되는 방향(Y축방향)으로 연장되는 판형상으로 형성될 수 있다. 각 지지플레이트(50)에는 글라스패널을 부양시키기 위한 공기가 분사되는 복수의 공기분사홀(51)이 형성될 수 있으며, 각 공기분사홀(51)은 공기를 공급하는 공기공급장치(미도시)와 연결될 수 있다.Each of the
한편, 베이스 프레임(10)상에는, 각 지지플레이트(50)가 연장되는 방향(Y축방향)과 수평으로 직교하는 방향(X축방향)으로 연장되는 가이드레일(52)이 설치될 수 있으며, 복수의 지지플레이트(50) 중 적어도 어느 하나는 가이드레일(50)상에서 가이드레일(52)이 연장되는 방향(X축방향)으로 수평방향으로 이동이 가능하게 설치될 수 있다. 복수의 지지플레이트(50) 중 적어도 어느 하나의 수평방향으로의 이동에 의하여 복수의 지지플레이트(50) 사이의 간격(도 2에서의 D1 및 도 3에서의 D2)이 조절될 수 있다. 지지플레이트(50)는 작업자에 의하여 수동으로 이동될 수 있다. 또한, 지지플레이트(50)가 가이드레일(52)를 따라 자동적으로 이동될 수 있도록, 지지플레이트(50)에는, 예를 들면, 유압 또는 공압으로 작동하는 실린더를 포함하는 액추에이터, 볼스크류장치 또는 리니어모터와 같은 직선이동기구가 연결될 수 있다.On the other hand, on the
도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에는, 복수의 지지플레이트(50)상에 탑재된 글라스패널(P1, P2)의 위치를 정렬하는 얼라인수단이 구비된다.2 and 3, the array test apparatus according to the present invention is provided with aligning means for aligning the positions of the glass panels P1 and P2 mounted on the plurality of
복수의 지지플레이트(50)상에는, 복수의 지지플레이트(50)가 차지하는 전체의 영역의 크기에 대응되는 크기를 가지는 대면적의 글라스패널(P1)(이하, '제1글라스패널'이라 한다.)이 탑재될 수 있으며, 복수의 지지플레이트(50)가 차지하는 전체의 영역의 크기에 비하여 작은 크기를 가지는 소면적의 글라스패널(P2)(이하, '제2글라스패널'이라 한다.)가 탑재될 수 있다. 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 이러한 얼라인수단을 이용하여 복수의 지지플레이트(50)상에 제1글라스패널(P1)이 탑재되는 경우 제1글라스패널(P1)의 위치를 정렬할 수 있을 뿐만 아니라 제2글라스패널(P2)이 탑재되는 경우에도 제2글라스패널(P2)의 위치를 정렬할 수 있다.A large-sized glass panel P1 (hereinafter referred to as a "first glass panel") having a size corresponding to the size of the entire area occupied by the plurality of
이와 같은 얼라인수단은, 복수의 지지플레이트(50)의 외곽에 설치되는 제1얼라인유닛(70)과, 복수의 지지플레이트(50)의 사이에 설치되는 제2얼라인유닛(80)을 포함하여 구성될 수 있다.The aligning means includes a
도 4에 도시된 바와 같이, 제1얼라인유닛(70)은, 복수의 지지플레이트(50)의 외곽에서 수평방향(X축방향 또는 Y축방향)으로 이동이 가능하게 배치되는 제1가압부재(74)와, 제1가압부재(74)를 수평방향으로 이동시키는 제1수평이동장치(73)와, 제1가압부재(74)를 수직방향으로 이동시키는 제1수직이동장치(72)와, 제1가압부재(74)가 지지되는 제1지지부재(71)를 포함하여 구성될 수 있다.4, the
제1지지부재(71)는 베이스 프레임(10)상에 설치될 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 제1지지부재(71)가 베이스 프레임(10)이 아닌 복수의 지지플레이트(50)와 독립적으로 마련되는 다른 구성부품상에 설치될 수 있다.The
실시예에 따르면, 제1지지부재(71)상에 제1수직이동장치(72)가 설치되고, 제1수직이동장치(72)에, 예를 들면 브래킷(733)을 통하여, 제1수평이동장치(73)가 연결되며, 제1수평이동장치(73)에 제1가압부재(74)가 연결된다. 따라서, 제1수평이동장치(73)의 동작에 의하여 제1가압부재(74)가 수평방향으로 이동될 수 있으며, 제1수직이동장치(72)가 제1수평이동장치(73)를 승강시키는 동작에 의하여 제1가압부재(74)가 승강될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 제1가압부재(74)가 제1수직이동장치(72)와 연결되어 제1수직이동장치(72)의 동작에 의하여 승강되고, 제1수직이동장치(72)가 제1수평이동장치(73)와 연결되어 제1수평이동장치(73)가 제1수직이동장치(72)를 수평방향으로 이동시키는 동작에 의하여 제1가압부재(74)가 수평방향으로 이동되는 구성이 적용될 수 있다. 또한, 제1가압부재(74)에 제1수직이동장치(72) 및 제1수평이동장치(73)가 독립적으로 연결되는 구성이 적용될 수 있는 등 제1가압부재(74)를 수평방향 및 수직방향으로 이동시킬 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다.According to an embodiment, a first
제1수직이동장치(72)는, 예를 들면, 유압 또는 공압에 의하여 작동되는 실린더(721)와, 실린더(721)와 연결되어 동력을 전달하는 로드(722)를 포함하여 구성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 제1수직이동장치(72)로, 예를 들면, 볼스크류장치나 리니어모터 등 제1가압부재(74)를 상승 및 하강시킬 수 있는 다양한 직선이동기구가 적용될 수 있다.The first
제1수평이동장치(73)는, 예를 들면, 유압 또는 공압에 의하여 작동되는 실린더(731)와, 실린더(731)와 연결되어 동력을 전달하는 로드(732)를 포함하여 구성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 제1수평이동장치(73)로, 예를 들면, 볼스크류장치나 리니어모터 등 제1가압부재(74)를 수평방향으로 이동시킬 수 있는 다양한 직선이동기구가 적용될 수 있다.The first
제1가압부재(74)는, 제1수평이동장치(73)의 로드(732)에 고정되는 고정부(741)와, 고정부(741)에 연결되고 수직방향으로 연장되는 연결부(742)와, 연결부(742)에 연결되어 글라스패널(P1, P2)의 측면과 접촉되는 가압부(743)를 포함하여 구성될 수 있다. 연결부(742)의 길이에 따라 가압부(743)의 수직방향으로의 위치가 결정된다. 가압부(743)는 글라스패널(P1, P2)의 측면과 직접적으로 접촉되는 부분이므로 글라스패널(P1, P2)의 손상을 방지하기 위해 유연성을 가지는 합성수지재질로 이루어지는 것이 바람직하다.The first pressing
한편, 하나의 제1얼라인유닛(70)에 제1가압부재(74)가 복수로 마련될 수 있으며, 이와 같은 경우에는, 글라스패널(P1, P2)의 측면에 접촉되는 부분의 개수가 증가되며, 이에 따라, 글라스패널(P1, P2)의 정렬을 보다 안정적으로 수행할 수 있다.On the other hand, a plurality of first
도 2에 도시된 바와 같이, 제1얼라인유닛(70)은 복수의 지지플레이트(50)의 외곽의 둘레를 따라 복수로 배치될 수 있다. 복수의 지지플레이트(50)상에 대면적의 제1글라스패널(P1)이 탑재된 때에는, 제1가압부재(74)가 제1수평이동장치(73)의 동작에 의하여 수평방향으로 이동되어 제1글라스패널(P1)의 측면을 가압하며, 이에 따라, 복수의 지지플레이트(50)상에서의 제1글라스패널(P1)의 위치가 정렬될 수 있다.As shown in FIG. 2, the first aligning
한편, 제1얼라인유닛(70)의 제1수직이동장치(72)는, 복수의 지지플레이트(50)상에 글라스패널(P1, P2)이 반입되는 과정에서, 제1가압부재(74)를 복수의 지지플레이트(50)의 상면에 대하여 하측으로 하강시켜, 글라스패널(P1, P2)과 제1가압부재(74)와 사이에 간섭이 발생하지 않도록 하는 역할을 수행한다.On the other hand, the first
다만, 제1수평이동장치(73)의 동작에 의한 제1가압부재(74)의 수평방향으로의 이동만으로, 복수의 지지플레이트(50)상으로 반입되는 글라스패널(P1, P2)과 제1가압부재(74) 사이의 간섭을 피할 수 있다면, 제1얼라인유닛(70)에 제1수직이동장치(72)가 구비되지 않을 수 있다. 이와 같은 경우에는, 제1가압부재(74)의 가압부(743)는 항상 일정한 수직방향으로의 위치를 유지할 수 있다.The glass panels P1 and P2 carried on the plurality of
도 5에 도시된 바와 같이, 제2얼라인유닛(80)은, 복수의 지지플레이트(50)의 사이에서 수평방향(X축방향 또는 Y축방향)으로 이동이 가능하게 배치되는 제2가압부재(84)와, 제2가압부재(84)를 수평방향으로 이동시키는 제2수평이동장치(83)와, 제2가압부재(84)를 수직방향으로 이동시키는 제2수직이동장치(82)와, 제2가압부재(84)가 지지되는 제2지지부재(81)를 포함하여 구성될 수 있다.5, the second aligning
제2지지부재(81)는 베이스 프레임(10)상에 설치될 수 있으나, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 제2지지부재(81)가 베이스 프레임(10)이 아닌 복수의 지지플레이트(50)와 독립적으로 마련되는 다른 구성부품상에 설치될 수 있다.The
실시예에 따르면, 제2지지부재(81)상에 제2수직이동장치(82)가 설치되고, 제2수직이동장치(82)에, 예를 들면 브래킷(833)을 통하여, 제2수평이동장치(83)가 연결되며, 제2수평이동장치(83)에 제2가압부재(84)가 연결된다. 따라서, 제2수평이동장치(83)의 동작에 의하여 제2가압부재(84)가 수평방향으로 이동될 수 있으며, 제2수직이동장치(82)가 제1수평이동장치(83)를 승강시키는 동작에 의하여 제2가압부재(84)가 승강될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 제2가압부재(84)가 제2수직이동장치(82)와 연결되어 제2수직이동장치(82)의 동작에 의하여 승강되고, 제2수직이동장치(82)가 제2수평이동장치(83)와 연결되어 제2수평이동장치(83)가 제2수직이동장치(82)를 수평방향으로 이동시키는 동작에 의하여 제2가압부재(84)가 수평방향으로 이동되는 구성이 적용될 수 있다. 또한, 제2가압부재(84)에 제2수직이동장치(82) 및 제2수평이동장치(83)가 독립적으로 연결되는 구성이 적용될 수 있는 등 제2가압부재(84)를 수평방향 및 수직방향으로 이동시킬 수 있는 다양한 구성이 적용될 수 있다.A second
제2수직이동장치(82)는, 예를 들면, 유압 또는 공압에 의하여 작동되는 실린더(821)와, 실린더(821)와 연결되어 동력을 전달하는 로드(822)를 포함하여 구성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 제2수직이동장치(82)로, 예를 들면, 볼스크류장치나 리니어모터 등 제2가압부재(84)를 상승 및 하강시킬 수 있는 다양한 직선이동기구가 적용될 수 있다.The second
제2수평이동장치(83)는, 예를 들면, 유압 또는 공압에 의하여 작동되는 실린더(831)와, 실린더(831)와 연결되어 동력을 전달하는 로드(832)를 포함하여 구성될 수 있다. 다만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 아니하며, 제2수평이동장치(83)로, 예를 들면, 볼스크류장치나 리니어모터 등 제2가압부재(84)를 수평방향으로 이동시킬 수 있는 다양한 직선이동기구가 적용될 수 있다.The second
제2가압부재(84)는, 제2수평이동장치(83)의 로드(832)에 고정되는 고정부(841)와, 고정부(841)에 연결되고 수직방향으로 연장되는 연결부(842)와, 연결부(842)에 연결되어 글라스패널(P2)의 측면과 접촉되는 가압부(843)를 포함하여 구성될 수 있다. 연결부(842)의 길이에 따라 가압부(843)의 수직방향으로의 위치가 결정된다. 가압부(843)는 글라스패널(P2)의 측면과 직접적으로 접촉되는 부분이므로 글라스패널(P2)의 손상을 방지하기 위해 유연성을 가지는 합성수지재질로 이루어지는 것이 바람직하다.The second pressing
한편, 하나의 제2얼라인유닛(80)에 제2가압부재(84)가 복수로 마련될 수 있으며, 이와 같은 경우에는, 글라스패널(P2)의 측면에 접촉되는 부분의 개수가 증가되며, 이에 따라, 글라스패널(P2)의 정렬을 보다 안정적으로 수행할 수 있다.A plurality of second
도 3에 도시된 바와 같이, 제2얼라인유닛(80)은 복수의 지지플레이트(50)의 사이에 복수로 배치될 수 있다. 복수의 지지플레이트(50)상에 대면적의 제1글라스패널(P1)이 탑재된 때에는, 제2가압부재(84)는 제2수직이동장치(82)의 동작에 의하여 하강되어 복수의 지지플레이트(50)의 상면에 대하여 하측에 위치된 상태를 유지하며(도 6 참조), 이에 따라, 복수의 지지플레이트(50)상에 탑재된 제1글라스패널(P1)의 하면과 제2가압부재(84)가 접촉되는 것이 방지된다.As shown in Fig. 3, the second aligning
복수의 지지플레이트(50)상에 소면적의 제2글라스패널(P2)이 탑재된 때에는, 먼저 제2글라스패널(P2)의 측면과 가압부(843)가 동일한 수평면상에 위치되도록 제2가압부재(84)가 제2수직이동장치(82)의 동작에 의하여 수직방향으로 상승된다. 그리고, 제2가압부재(84)가 제2수평이동장치(83)의 동작에 의하여 수평방향으로 이동되어 제2글라스패널(P2)의 측면을 가압하며, 이에 따라, 복수의 지지플레이트(50)상에서의 제2글라스패널(P2)의 위치가 정렬될 수 있다.When the second glass panel P2 having a small area is mounted on the plurality of
복수의 제2얼라인유닛(80)은 복수의 지지플레이트(50)의 사이의 공간들마다 설치될 수 있으며, 복수의 지지플레이트(50)의 사이의 공간들 중 일부의 공간에만 설치될 수 있다. 복수의 제2얼라인유닛(80)이 복수의 지지플레이트(50)의 사이의 공간들마다 설치되는 경우에는 복수의 지지플레이트(50)가 차지하는 전체의 영역의 크기에 비하여 작으면서 다양한 크기를 가지는 소면적의 제2글라스패널들(P2)에 대하여 위치를 정렬하는 동작을 수행할 수 있다. 복수의 제2얼라인유닛(80)의 설치위치는 소면적의 제2글라스패널(P2)의 크기에 따라 결정될 수 있다.The plurality of
제2가압부재(84)가 제2글라스패널(P2) 측면을 가압하는 과정에서 제2가압부재(84)가 수직방향 및 수평방향으로 이동될 때, 지지플레이트(50)와 제2가압부재(84)가 서로 간섭되는 것을 방지하기 위하여, 복수의 지지플레이트(50) 중 제2얼라인유닛(80)과 인접하는 적어도 하나의 지지플레이트(50)가 가이드레일(52)을 따라 수평방향(X축방향)으로 이동될 수 있으며, 이에 따라, 복수의 지지플레이트(50) 사이의 간격이 확장되어, 제2가압부재(84)가 수직방향 및 수평방향으로 이동할 수 있는 공간이 확보될 수 있다. 예를 들면, 도 2에 도시된 바와 같이 복수의 지지플레이트(50)상에 제1글라스패널(P1)이 탑재되는 경우에서 제2얼라인유닛(80)과 인접하는 두 개의 지지플레이트(50) 사이의 간격(D1)에 비하여, 도 3에 도시된 바와 같이 복수의 지지플레이트(50)상에 제2글라스패널(P2)이 탑재되는 경우에서 제2얼라인유닛(80)과 인접하는 두 개의 지지플레이트(50) 사이의 간격(D2)이 커질 수 있다. 그리고, 대면적의 제1글라스패널(P1)에 대한 검사가 수행되는 경우에는, 제1글라스패널(P1)을 균일하게 지지할 수 있도록 지지플레이트(50)가 다시 원래의 상태로 이동될 수 있다. 이와 같이, 지지플레이트(50)가 이동되는 때에는, 도 6에 도시된 바와 같이, 제2가압부재(84)가 복수의 지지플레이트(50)의 상면에 대하여 하측에 위치될 수 있으며, 이에 따라, 지지플레이트(50)와 제2가압부재(84)가 서로 간섭되는 문제가 방지된다.When the second pressing
다만, 복수의 지지플레이트(50) 사이의 간격이 제2가압부재(84)가 수직방향 및 수평방향으로 이동될 수 있을 만큼 충분이 확보된 경우에는, 복수의 지지플레이트(50) 사이의 간격이 조절되지 않을 수 있으며, 이와 같은 경우, 각 지지플레이트(50)의 수평방향으로의 위치는 고정될 수 있다.However, if the interval between the plurality of
이하, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에서 복수의 지지플레이트(50)상에 탑재된 글라스패널(P1, P2)의 위치를 정렬하는 동작에 대하여 설명한다.Hereinafter, the operation of aligning the positions of the glass panels P1 and P2 mounted on the plurality of
먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 복수의 지지플레이트(50)상에 대면적의 제1글라스패널(P1)이 탑재되는 때에는, 복수의 제1가압부재(74)가 반입되는 제1글라스패널(P1)과 간섭되지 않을 정도의 위치에 위치된다. 이때, 제1가압부재(74)는 지지플레이트(50)의 상면에 대하여 하측에 위치될 수 있다. 그리고, 제1글라스패널(P1)이 복수의 지지플레이트(50)상에 탑재된 때에는, 복수의 제1가압부재(74)가 제1글라스패널(P1)의 측면을 향하여 수평방향으로 이동되면서 제1글라스패널(P1)의 측면을 가압한다. 이때, 제1글라스패널(P1)이 반입되는 과정에서 제1가압부재(74)가 지지플레이트(50)의 상면에 대하여 하측에 위치된 경우에는 제1가압부재(74)의 상승동작이 수행될 수 있다. 복수의 제1가압부재(74)의 수평방향으로의 이동에 의하여, 제1글라스패널(P1)의 4개의 모서리는 복수의 제1가압부재(74)에 동시에 가압되며, 이에 따라, 복수의 지지플레이트(50)상에서의 제1글라스패널(P1)의 위치가 정렬될 수 있다. 이와 같은 상태에서는, 도 6에 도시된 바와 같이, 제2가압부재(84)가 복수의 지지플레이트(50)의 상면에 대하여 하측에 위치된 상태를 유지하므로, 복수의 지지플레이트(50)상에 탑재된 제1글라스패널(P1)의 하면과 제2가압부재(84)가 접촉되는 것이 방지된다.2, when the first glass panel P1 having a large area is mounted on the plurality of
그리고, 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 지지플레이트(50)상에 소면적의 제2글라스패널(P1)이 탑재되는 때에는, 복수의 제1가압부재(74)와 복수의 제2가압부재(84)가 반입되는 제2글라스패널(P2)과 간섭되지 않을 정도의 위치에 위치된다. 그리고, 제2글라스패널(P2)이 복수의 지지플레이트(50)상에 탑재된 때에는, 복수의 제1가압부재(74)가 제2글라스패널(P2)의 측면을 향하여 수평방향으로 이동되면서 제2글라스패널(P2)의 측면을 가압한다. 이와 동시에, 도 8에 도시된 바와 같이, 복수의 제2가압부재(84)가 상승된 후 제2글라스패널(P2)의 측면을 향하여 수평방향으로 이동되어 제2글라스패널(P2)의 측면을 가압한다. 따라서, 제2글라스패널(P2)의 4개의 모서리는 복수의 제1가압부재(74) 및 복수의 제2가압부재(84)에 의하여 가압되며, 이에 따라, 복수의 지지플레이트(50)상에서의 제2글라스패널(P2)의 위치가 정렬될 수 있다. 한편, 이와 같은 과정에서, 도 7에 도시된 바와 같이, 제2가압부재(84)가 수직방향 및 수평방향으로 이동할 수 있는 공간이 확보될 수 있도록, 복수의 지지플레이트(50) 중 제2가압유닛(80)과 인접한 적어도 하나의 지지플레이트(50)가 수평방향으로 이동하여 복수의 지지플레이트(50) 사이의 간격(D1, D2)이 확장될 수 있다.3, when the second glass panel P1 having a small area is mounted on the plurality of
한편, 도 3에서는 복수의 제1가압부재(74)와 복수의 제2가압부재(84)가 함께 제2글라스패널(P2)의 측면을 가압하여 복수의 지지플레이트(50)상에서의 제2글라스패널(P2)의 위치를 정렬하는 구성을 도시하였으나, 제2글라스패널(P2)이 복수의 지지플레이트(50)가 차지하는 영역 내에 반입될 수 있고, 이와 같은 경우, 제1가압부재(74)를 이용하지 않고 복수의 지지플레이트(50) 사이에 배치되는 복수의 제2가압부재(84)로 제2글라스패널(P2)의 4개의 모서리를 동시에 가압하여 복수의 지지플레이트(50)상에서의 제2글라스패널(P2)의 위치를 정렬할 수 있다.3, a plurality of first
또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 제2글라스패널(P2)이 복수의 지지플레이트(50)상에 함께 탑재될 수 있으며, 이와 같은 경우에는, 복수의 제2글라스패널(P2)의 위치를 정렬하는 동작이 동시에 수행될 수 있다.3, a plurality of second glass panels P2 may be mounted on the plurality of
상기한 바와 같은 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 지지플레이트(50)의 전체의 영역의 크기와 대응되는 크기를 가지는 대면적의 제1글라스패널(P1)의 위치를 정렬할 수 있을 뿐만 아니라 복수의 지지플레이트(50)의 전체의 영역의 크기에 비하여 작은 크기를 가지는 소면적의 제2글라스패널(P2)의 위치를 정렬할 수 있는 얼라인수단이 구비되므로, 하나의 어레이 테스트 장치를 이용하여 대면적의 글라스패널과 소면적의 글라스패널에 대한 검사를 수행할 수 있는 효과가 있다.The array test apparatus according to the present invention as described above can arrange the positions of the large-area first glass panel P1 having the size corresponding to the entire area of the plurality of
또한, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 복수의 지지플레이트(50)의 전체의 영역의 크기에 비하여 작은 크기를 가지는 복수의 제2글라스패널(P2)을 복수의 지지플레이트(50)상에 함께 탑재하여 동시에 위치를 정렬할 수 있으므로, 복수의 제2글라스패널(P2)에 대한 검사를 동시에 수행할 수 있는 효과가 있다.The array test apparatus according to the present invention further comprises a plurality of second glass panels P2 having a size smaller than the size of the entire area of the plurality of
50: 지지플레이트 52: 가이드레일
70: 제1얼라인유닛 74: 제1가압부재
80: 제2얼라인유닛 84: 제2가압부재50: support plate 52: guide rail
70: first aligning unit 74: first pressing member
80: second aligning unit 84: second pressing member
Claims (4)
상기 복수의 지지플레이트의 외곽에 설치되며, 수평방향으로 이동 가능한 제1가압부재가 구비되는 복수의 제1얼라인유닛; 및
상기 복수의 지지플레이트 사이의 공간에 설치되며, 수평방향으로 이동 가능한 제2가압부재가 구비되는 복수의 제2얼라인유닛을 포함하고,
상기 제2가압부재는 상기 복수의 지지플레이트의 사이에서 수직방향으로 승강이 가능하게 설치되고,
상기 복수의 지지플레이트가 차지하는 전체의 영역의 크기에 대응하는 크기를 가지는 제1글라스패널이 상기 복수의 지지플레이트 상에 탑재되는 경우, 상기 제2가압부재는 하강하여 상기 복수의 지지플레이트의 상면에 대하여 하측에 위치되고,
상기 복수의 지지플레이트가 차지하는 전체의 영역의 크기에 비하여 작은 크기를 가지는 제2글라스패널이 상기 복수의 지지플레이트 상에 탑재되는 경우, 상기 제2가압부재는 상승하여 상기 제2글라스패널의 측면을 가압하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.A plurality of support plates on which the glass panels are mounted and arranged at predetermined intervals and having a space therebetween;
A plurality of first aligning units provided on the outer periphery of the plurality of support plates and provided with first pressing members movable in a horizontal direction; And
And a plurality of second aligning units provided in a space between the plurality of support plates and having a second pressing member movable in a horizontal direction,
Wherein the second pressing member is provided so as to be vertically movable between the plurality of support plates,
When the first glass panel having a size corresponding to the size of the entire area occupied by the plurality of support plates is mounted on the plurality of support plates, the second presser member is lowered to the upper surface of the plurality of support plates Is positioned on the lower side with respect to the lower surface,
When the second glass panel having a size smaller than the size of the entire area occupied by the plurality of support plates is mounted on the plurality of support plates, the second pressurizing member rises to move the side surface of the second glass panel And the second substrate is arranged to pressurize the substrate.
상기 복수의 지지플레이트 사이의 간격이 조절되도록 상기 복수의 지지플레이트 중 적어도 하나의 지지플레이트가 수평방향으로 이동이 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method according to claim 1,
Wherein at least one of the plurality of support plates is horizontally movable so that a distance between the plurality of support plates is adjusted.
상기 제1얼라인유닛은,
상기 복수의 지지플레이트상에 탑재된 상기 제1 또는 제2 글라스패널의 측면을 가압하는 방향으로 상기 제1가압부재를 수평방향으로 이동시키는 제1수평이동장치; 및
상기 제1가압부재를 수직방향으로 이동시키는 제1수직이동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method according to claim 1,
The first aligning unit includes:
A first horizontal moving device for horizontally moving the first pressing member in a direction to press the side surfaces of the first or second glass panel mounted on the plurality of support plates; And
And a first vertical moving device for moving the first pressing member in a vertical direction.
상기 제2얼라인유닛은,
상기 복수의 지지플레이트상에 탑재된 상기 제2 글라스패널의 측면을 가압하는 방향으로 상기 제2가압부재를 수평방향으로 이동시키는 제2수평이동장치; 및
상기 제2가압부재를 수직방향으로 이동시키는 제2수직이동장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method according to claim 1,
The second aligning unit includes:
A second horizontal moving device for horizontally moving the second pressing member in a direction to press the side surface of the second glass panel mounted on the plurality of support plates; And
And a second vertical moving device for moving the second pressing member in a vertical direction.
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