KR101616564B1 - Probe Mobile Apparatus - Google Patents

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임대균
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주식회사 디이엔티
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Abstract

프로브 이동장치에 관한 것으로, 액정표시패널의 일면에 대응되는 데이터 프로브 유닛 및 상기 액정표시패널의 양면에 대응되는 게이트 프로브 유닛의 각각에 설치된 다수의 프로브를 개별적으로 이동시키는 프로브 이동부, 상기 프로브 이동부에 이동 가능하게 설치되며 상기 액정표시패널에 접촉되도록 다축으로 이동되는 프로브를 마련하여 데이터 프로브 유닛 및 게이트 프로브 유닛에 설치되어 있는 다수의 프로브를 액정표시패널의 크기에 따라 이동시킬 수 있으며, 이로 인해 검사 대상물인 액정표시패널의 크기가 달라지게 되더라도 데이터 프로브 유닛 및 게이트 프로브 유닛을 교체 또는 변경하지 않고도 검사할 수 있고, 검사 대상이 변경되더라도 각각 프로브 유닛의 교체 또는 변경에 따른 작업시간을 줄일 수 있다는 효과가 얻어진다.A probe moving unit for individually moving a plurality of probes provided on each of the data probe unit corresponding to one surface of the liquid crystal display panel and the gate probe unit corresponding to both surfaces of the liquid crystal display panel; A plurality of probes provided in the data probe unit and the gate probe unit can be moved according to the size of the liquid crystal display panel by providing a probe which is movably installed on the liquid crystal display panel and is movable in multiple axes to contact the liquid crystal display panel, It is possible to inspect the data probe unit and the gate probe unit without changing or changing the size even if the size of the liquid crystal display panel to be inspected is changed. Even if the object to be inspected is changed, the working time due to replacement or change of the probe unit can be reduced .
Figure R1020140127341

Description

프로브 이동장치{Probe Mobile Apparatus}[0001] PROBE MOBILE APPARATUS [0002]
본 발명은 프로브 이동장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 데이터 프로브 유닛 및 게이트 프로브 유닛에 일정 간격으로 설치되어 있는 프로브의 사용 여부에 따라 프로브를 이동시킬 수 있는 프로브 이동장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a probe moving apparatus, and more particularly, to a probe moving apparatus capable of moving a probe according to whether a probe installed at a predetermined interval in a data probe unit or a gate probe unit is used.
일반적으로 액정표시패널의 검사장치는 액정표시패널(액정 또는 평판 디스플레이 등을 포함한다)이 불량품인지 양품인지를 육안상으로 용이하게 검사할 수 있도록 작업자가 위치한 지점까지 디스플레이 패널을 고정하는 프로브 유닛을 액정표시패널의 크기에 따라 적합한 크기의 검사장치를 사용하여 검사하기 위한 것이다.2. Description of the Related Art Generally, an inspection apparatus for a liquid crystal display panel is provided with a probe unit for fixing a display panel to a point where an operator is located so that a liquid crystal display panel (including a liquid crystal display or a flat panel display) And to inspect using an inspection device of a suitable size according to the size of the liquid crystal display panel.
평판 디스플레이(flat panel display)의 주력제품인 액정표시패널(TFT-LCD)는 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화가 급속도로 진전되어 노트북 컴퓨터(computer)뿐만 아니라 대형 모니터(monitor) 제품으로도 개발되어 기존의 CRT(cathode ray tube) 제품을 대체하고 있어 디스플레이 산업에서의 그 비중이 점차 증대되고 있다.Liquid crystal display panels (TFT-LCD), which is the flagship product of flat panel displays, are rapidly becoming large-sized and high-resolution with the achievement of mass production technology and research and development, Has been developed and replacing existing CRT (cathode ray tube) products, and its proportion in the display industry is gradually increasing.
최근의 정보화 사회에서 디스플레이는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 더 한층 강조되고 있고, 특히 모든 전자제품의 경, 박, 단, 소 추세에 따라 저소비 전력화, 박형화, 경량화, 고화질, 휴대성의 중요성이 더 한층 높아지고 있다.In recent information society, display has become more important as a visual information delivery medium. Especially, the importance of low power consumption, thinning, light weight, high image quality and portability It is getting higher.
액정표시패널은 평판 디스플레이의 이러한 조건들을 만족시킬 수 있는 성능뿐만 아니라 양산성까지 갖춘 디스플레이 장치이기 때문에 이를 이용한 각종 신제품 창출이 급속도로 이루어지고 있으며, 전자산업계에서 반도체 이상으로 그 비중이 폭발적으로 증가하는 차세대 주력 기술로서 부각되고 있다.Since liquid crystal display panels are not only capable of satisfying these conditions of a flat panel display but also have a mass production capability, various new products using the same are rapidly being developed, and the proportion of the electronic industry is more than that of semiconductors It is emerging as a next-generation mainstream technology.
이와 같은 액정표시패널은 제조라인 최종 단계에서 점등 검사를 수행하게 되는데, 이는 특정한 검사 설비에서 프로브 유닛을 이용해 액정표시패널의 데이터라인과 게이트라인 각각의 단선 검사와 색상검사 그리고 현미경 등을 이용한 육안검사 등을 실시하고 있다.Such a liquid crystal display panel is subjected to a lighting test at the final stage of the manufacturing line, which uses a probe unit in a specific inspection facility to perform disconnection inspection and color inspection for each of the data lines and gate lines of the liquid crystal display panel, And so on.
한편 액정표시패널은 현재 30인치, 40인치, 46인치, 52인치, 57인치 등 다양한 크기(size)로서 제공되고 있으며, 이런 다양한 크기의 액정표시패널을 모두 검사할 수 있도록 하기 위한 검사 장비가 현재 이미 제공되고 있다.Meanwhile, liquid crystal display panels are currently being offered in various sizes such as 30 inches, 40 inches, 46 inches, 52 inches, and 57 inches. In order to inspect all of these various sizes of liquid crystal display panels, It is already available.
하지만 다양한 크기의 액정표시패널을 하나의 장비에서 검사가 이루어지게 하기 위해서는 액정표시패널의 크기 변경에 따른 장비 내에서의 구조적 변경이 불가피하다.However, structural changes in the equipment due to the size change of the liquid crystal display panel are inevitable in order to inspect liquid crystal display panels of various sizes in one equipment.
특히 검사하고자 하는 액정표시패널의 크기가 변경되면 그에 따라 액정표시패널이 놓여지는 워크 스테이지 및 액정표시패널에 접촉되는 프로브 유닛 등을 교체해주어야 하는 불편함이 있었다.In particular, when the size of a liquid crystal display panel to be inspected is changed, there is an inconvenience that a work stage on which the liquid crystal display panel is placed and a probe unit which is in contact with the liquid crystal display panel have to be replaced.
즉, 액정표시패널이 40인치인 경우, 프로브 유닛 또한 40인치에 해당되는 프로브 유닛으로 교체해 주어야 하며, 52인치 또는 57인치인 경우에도 각각의 액정표시패널에 맞는 프로브 유닛으로 교체해야 되는 번거로움이 있었다.That is, if the liquid crystal display panel is 40 inches, the probe unit should be replaced with a probe unit corresponding to 40 inches, and even if it is 52 inches or 57 inches, it is troublesome to replace it with a probe unit corresponding to each liquid crystal display panel there was.
또한 액정표시패널이 워크 스테이지의 정확한 위치에 놓이지 않고서 다소 비틀어지거나 틀어진 위치에 놓인 경우 프로브 유닛에 설치되어 있는 프로브를 이동시켜 액정표시패널의 정확한 위치에 조정할 수 없는 문제점이 있었다.In addition, when the liquid crystal display panel is placed at a wrong position or somewhat distorted without being positioned at the precise position of the workpiece stage, the probe installed in the probe unit can not be moved and adjusted to the precise position of the liquid crystal display panel.
한편 근래 들어서는 보다 고해상도의 제품을 생산하는데 있어, 보다 조밀한 간격의 패턴(fine pitch)에 보다 정밀하게 접촉(Contact) 되어야 하는데, X, Y 위치의 오차, 프로브의 검사 접촉위치(Contact Point)에서의 높이 차로 인한 접촉력(Contact force)의 부족으로 접촉 불량(Pin Miss) 등의 오류가 발생하여 검사 불량율이 높고 검사를 실행하지 못하는 경우가 발생하고 있다.On the other hand, in recent years, in order to produce a high-resolution product, it is necessary to make a more precise contact with a finer pitch (fine pitch). In the case of errors in X and Y positions, A defect such as a pin failure occurs due to a lack of a contact force due to a difference in height between the electrodes.
이에 기구적으로 관리할 수 있는 부분의 한계를 극복하여 프로브 각각의 위치 정보를 확인 후 각각 개별적인 프로브 또는 프로브 유닛(Probe Unit)이 개별적으로 동작하여 최적의 성능(Performance)이 요구되고 있다.In order to overcome the limit of the mechanism that can be managed, each probe or probe unit individually operates after confirming the position information of each probe, and optimal performance is required.
액정표시패널로는 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 사용되고 있으며, 이들 액정표시패널의 검사 공정으로 엘시디 셀 검사(LCD CELL TESTER) 또는 유기발광 다이오드의 패널 검사(OLED PANEL TESTER) 등 다양한 형태의 검사 공정이 이루어질 수 있는데, 이들 각각의 공정에 따른 검사장비를 구비해야 되며, 이들 고가의 장비가 매우 제한적으로 사용되고 있다.
As a liquid crystal display panel, an LCD (Liquid Crystal Display), an OLED (Organic Light Emitting Diode) and the like are used. As an inspection process of these liquid crystal display panels, an LCD cell tester or an OLED panel TESTER) can be performed. It is necessary to have inspection equipment according to each of these processes, and these expensive equipments are being used very limitedly.
예를 들어, 하기 특허문헌 1에는 '액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치'가 개시되어 있다.For example, the following Patent Document 1 discloses an 'auto-probe apparatus for inspecting a liquid crystal panel'.
하기 특허문헌 1에 따른 액정패널을 검사하기 위한 오토 프로브 장치에는 액정패널을 검사하기 위한 워크 테이블, 상기 액정패널의 상부에 편광판을 지지하는 편광판 홀더, 상기 편광판 홀더와 연결되며, 상기 워크 테이블의 일측에 고정되어 있고 상기 편광판을 상기 액정패널과 접근 및 이격 시키는 고도조절장치를 포함한다.The autoclaving apparatus for inspecting a liquid crystal panel according to Patent Document 1 includes a work table for inspecting a liquid crystal panel, a polarizer holder for supporting a polarizer on the liquid crystal panel, a polarizer holder connected to the polarizer holder, And a height adjustment device which is fixed to the liquid crystal panel and makes the polarizer plate approach and separate from the liquid crystal panel.
상기 고도조절장치는 상기 워크 테이블에 고정되는 견착대를 포함하며, 상기 견착대 양측의 상부에 돌출되는 제 1 지지대 및 제 2 지지대, 상기 제 1 지지대 및 상기 제 2 지지대의 각각에 결합되는 제 1 하부 연장부 및 제 2 하부 연장부, 상기 제 1 하부 연장부 및 상기 제 2 하부 연장부의 각각에 결합되는 제 1 상부 연장부 및 제 2 상부 연장부, 상기 제 1 상부 연장부 및 상기 제 2 상부 연장부와 결합하는 이동 홀더가 개시되어 있다.
Wherein the height adjustment device includes a cradle fixed to the work table, a first support and a second support protruding from upper portions of both sides of the cradle, a first support coupled to each of the first support and the second support, A first upper extension and a second upper extension coupled to each of the lower extension and the second lower extension, the first lower extension and the second lower extension, A movement holder for engagement with an extension is disclosed.
하기 특허문헌 2에는 '프로브 유닛 및 이를 포함하는 검사 장치'이 개시되어 있다.Patent Document 2 discloses a probe unit and an inspection apparatus including the probe unit.
하기 특허문헌 2에 따른 프로브 유닛 및 이를 포함하는 검사 장치에는 후면에 단자들이 배치된 피검체를 고정하는 고정 부재, 상기 고정 부재의 후방에 이동 가능하게 배치된 이동 블럭 및 상기 이동 블럭에 설치되어 상기 피검체의 단자들과 접촉하는 프로브가 개시되어 있다.
The probe unit according to Patent Document 2 and an inspection apparatus including the same include a fixing member for fixing a test object on which terminals are disposed, a moving block movably arranged behind the fixing member, A probe that contacts terminals of a subject is disclosed.
대한민국 특허 공개번호 제10-2008-0054557호(2008년 6월 18일 공개)Korean Patent Publication No. 10-2008-0054557 (published on June 18, 2008) 대한민국 특허 공개번호 제10-2013-0022126호(2013년 3월 6일 공개)Korean Patent Publication No. 10-2013-0022126 (published on March 6, 2013)
그러나 종래기술에 따른 액정표시패널 검사장치는 각각 다른 크기를 갖는 액정표시패널과 일치되는 프로브 유닛을 별도로 구비해야 되며, 프로브 유닛에 설치되어 있는 프로브를 이동시킬 수 없으며, 이로 인해 프로브와 액정표시패널의 접촉 불량이 발생할 뿐만 아니라 프로브의 이동에 따라 액정표시패널이 파손되는 등의 문제점이 있었다.
However, in the conventional liquid crystal display panel inspecting apparatus, a probe unit corresponding to a liquid crystal display panel having different sizes must be separately provided, and a probe installed in the probe unit can not be moved, And the liquid crystal display panel is broken due to the movement of the probe.
본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 각각 다른 크기를 갖는 액정표시패널로 변경 또는 교체가 이루어지더라도 프로브 유닛을 변경 또는 교체하지 않고서도 곧바로 액정표시패널을 검사할 수 있는 프로브 이동장치를 제공하는 것이다.It is an object of the present invention to provide a liquid crystal display panel capable of inspecting a liquid crystal display panel immediately without changing or replacing a probe unit even if liquid crystal display panels having different sizes are changed or replaced And to provide a probe moving device.
본 발명의 다른 목적은 다른 크기의 액정표시패널로 교체 또는 변경 시 액정표패널의 크기에 따라 프로브를 이동시킬 수 있는 프로브 이동장치를 제공하는 것이다.It is another object of the present invention to provide a probe moving apparatus capable of moving a probe according to the size of a liquid crystal display panel when a liquid crystal display panel is replaced or changed to another size.
본 발명의 또 다른 목적은 각각의 프로브 유닛에 설치되어 있는 프로브를 다축(X, Y, Z축)으로 이동시켜 액정표시패널의 접촉 위치에 정확하게 접촉시킬 수 있는 프로브 이동장치를 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a probe moving device capable of moving a probe installed in each probe unit in multiple axes (X, Y and Z axes) to precisely contact the contact position of the liquid crystal display panel.
본 발명의 또 다른 목적은 고해상도의 제품에 대한 위치 정밀도를 높이면서 액정표시패널과 프로브 또는 프로브 유닛의 접촉력(Contact Force)를 각각의 프로브 또는 프로브 유닛(Probe Unit) 별로 조절하여 접촉 불량(Pin Miss)를 줄여 보다 검사 정밀도를 높일 수 있는 프로브 이동장치를 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to improve the positional accuracy of a high-resolution product and adjust the contact force between the liquid crystal display panel and the probe or the probe unit for each probe or probe unit, The present invention also provides a probe moving apparatus which can reduce the number of probe probes and reduce the number of probes.
본 발명의 또 다른 목적은 프로브 유닛의 교체방식으로 인한 교체 시간, 교체하고자 하는 유닛을 추가하지 않고서도 액정표시패널의 모델 변경에 대응할 수 있는 프로브 이동장치를 제공하는 것이다.
It is still another object of the present invention to provide a probe moving device capable of coping with a replacement time of a probe unit and a model change of a liquid crystal display panel without adding a unit to be replaced.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 프로브 이동장치는 액정표시패널의 일면에 대응되는 데이터 프로브 유닛 및 상기 액정표시패널의 양면에 대응되는 게이트 프로브 유닛의 각각에 설치된 다수의 프로브를 개별적으로 이동시키는 프로브 이동부, 상기 프로브 이동부에 이동 가능하게 설치되며 상기 액정표시패널에 접촉되도록 다축으로 이동되는 프로브를 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a probe moving apparatus according to the present invention includes a data probe unit corresponding to one surface of a liquid crystal display panel, and a plurality of probes provided on each of the gate probe units corresponding to both surfaces of the liquid crystal display panel And a probe movably installed on the probe moving part and moving in multiple axes so as to be in contact with the liquid crystal display panel.
상기 프로브 이동부는 상기 데이터 프로브 유닛에 설치된 프로브를 이동시키는 데이터측 이동부, 상기 게이트 프로브 유닛에 설치된 프로브를 이동시키는 게이트측 이동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The probe moving unit includes a data side moving unit that moves a probe provided on the data probe unit, and a gate side moving unit that moves a probe provided on the gate probe unit.
상기 데이터측 이동부는 일정 크기를 갖는 플레이트, 상기 플레이트 양단에 설치되는 구동수단, 상기 구동수단에 의해 회전되는 회전축, 상기 회전축에 이동 가능하게 결합되는 이동체를 포함하는 것을 특징으로 한다.
The data side moving unit includes a plate having a predetermined size, driving means provided at both ends of the plate, a rotating shaft rotated by the driving means, and a moving body movably coupled to the rotating shaft.
상기 데이터측 이동부는 플레이트 상면에 상기 이동체가 직선 이동되도록 안내하는 안내 레일을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.And the data side moving unit further includes a guide rail for guiding the moving body to linearly move on an upper surface of the plate.
상기 회전축은 상기 플레이트의 일단에서 중간 위치까지 설치되는 제1 회전축, 상기 플레이트 타단에서 중간 위치까지 설치되는 제2 회전축을 포함하는 것을 특징으로 한다.The rotation axis includes a first rotation axis extending from one end of the plate to an intermediate position, and a second rotation axis extending from the other end of the plate to an intermediate position.
상기 이동체는 상기 회전축을 따라 이동되는 이동블록, 상기 이동블록의 일면에 일정 높이만큼 승강되며 상기 프로브에 결합되는 승강블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.The moving body includes a moving block that moves along the rotation axis, and a lift block that is elevated by a predetermined height on one surface of the moving block and is coupled to the probe.
상기 게이트측 이동부는 일정 크기를 갖는 플레이트, 상기 플레이트 일단에 설치되는 구동수단, 상기 구동수단에 의해 회전되는 회전축, 상기 회전축에 이동 가능하게 결합되는 이동체를 포함하는 것을 특징으로 한다.The gate side moving part includes a plate having a predetermined size, driving means provided at one end of the plate, a rotating shaft rotated by the driving means, and a moving body movably coupled to the rotating shaft.
상기 게이트측 프로브 이동부는 플레이트 상면에 상기 이동체가 직선 이동되도록 안내하는 안내 레일을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.And the gate-side probe moving unit further includes a guide rail for guiding the moving body to linearly move on an upper surface of the plate.
상기 이동체는 상기 회전축을 따라 이동되는 이동블록, 상기 이동블록의 일면에 일정 높이만큼 승강되며 상기 프로브에 결합되는 승강블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.The moving body includes a moving block that moves along the rotation axis, and a lift block that is elevated by a predetermined height on one surface of the moving block and is coupled to the probe.
상기 프로브는 제1 모터의 회전에 의해 일 방향으로 이동되는 제1 위치조절부, 제2 모터의 회전에 의해 상기 제1 위치조절부의 이동 방향이 전환되도록 상기 제1 위치조절부의 하측에 설치되는 제2 위치조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The probe includes a first position adjuster which is moved in one direction by rotation of the first motor, a second position adjuster which is provided below the first position adjuster so that the moving direction of the first position adjuster is switched by the rotation of the second motor, And a two-position adjusting unit.
상기 프로브에는 상기 액정표시패널의 접촉 위치를 파악할 수 있는 감지수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
And the probe includes sensing means for sensing a contact position of the liquid crystal display panel.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 프로브 이동장치에 의하면, 데이터 프로브 유닛 및 게이트 프로브 유닛에 설치되어 있는 다수의 프로브를 액정표시패널의 크기에 따라 이동시킬 수 있으며, 이로 인해 검사 대상물인 액정표시패널의 크기가 달라지게 되더라도 데이터 프로브 유닛 및 게이트 프로브 유닛을 교체 또는 변경하지 않고도 검사할 수 있고, 검사 대상이 변경되더라도 각각 프로브 유닛의 교체 또는 변경에 따른 작업시간을 줄일 수 있다는 효과가 얻어진다.As described above, according to the probe moving apparatus of the present invention, a plurality of probes installed in the data probe unit and the gate probe unit can be moved according to the size of the liquid crystal display panel, It is possible to perform inspection without replacing or changing the data probe unit and the gate probe unit, and it is possible to reduce the working time due to replacement or change of the probe unit, respectively, even if the inspection object is changed.
본 발명에 따른 프로브 이동장치에 의하면, 프로브 자체적으로 다축 방향으로 이동될 수 있어 액정표시패널의 접촉 위치에 정확하게 접촉될 수 있고, 프로브가 액정표시패널에 정확하게 접촉됨에 따라 액정표시패널의 파손 또는 접촉 불량에 의한 손상을 줄일 수 있으며, 액정표시패널에 가해지는 가압력(또는 접촉력)을 조절할 수 있고, 고해상도의 기판 또는 셀(cell) 등의 제품을 다품종 소량 생산할 수 있는 경제적·시간적·품질적 혜택을 얻을 수 있다는 효과가 얻어진다.According to the probe moving apparatus of the present invention, the probe itself can be moved in the direction of the multi-axis, so that the probe can be accurately brought into contact with the contact position of the liquid crystal display panel, and as the probe is accurately contacted with the liquid crystal display panel, It is possible to reduce the damage caused by defects and to control the pressing force (or contact force) applied to the liquid crystal display panel and to provide economical, temporal, and quality advantages of producing a small number of products such as a high resolution substrate or cell Can be obtained.
본 발명에 따른 프로브 이동장치에 의하면, 액정표시패널의 검사 공정으로 엘시디 셀 검사(LCD CELL TESTER) 또는 유기발광 다이오드의 패널 검사(OLED PANEL TESTER) 등 다양한 형태의 검사 공정을 하나의 검사장치로 수행할 수 있다는 효과가 얻어진다.According to the probe moving apparatus of the present invention, various inspection processes such as an LCD cell tester or an OLED panel test can be performed as an inspection device in an inspection process of a liquid crystal display panel Can be obtained.
본 발명에 따른 프로브 이동장치에 의하면, 각각의 개별적인 프로브 블록의 접촉력을 조절할 수 있어 액정표시패널의 특정 위치 검사(LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY), 아우터 리드 본딩(OLB BONDING(IC BONDING) 등의 작업 공정에도 사용할 수 있다는 효과가 얻어진다.
According to the probe moving apparatus of the present invention, the contact force of each individual probe block can be adjusted, and it is possible to perform a specific operation such as LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY, OLB BONDING (IC BONDING) It is possible to obtain the effect of being used in the process.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치를 보인 입체도,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치의 일면을 보인 일부 입체도,
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치의 타면을 보인 일부 입체도,
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치의 데이터측 프로브 이동부를 보인 분해 입체도,
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치의 게이트측 프로브 이동부를 보인 분해 입체도,
도 6은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치의 프로브를 보인 정면도,
도 7은는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치에 설치된 프로브가 일부 이동된 상태를 보인 평면도.
1 is a perspective view of a probe moving apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing a part of a three-dimensional view showing one side of a probe moving apparatus according to a preferred embodiment of the present invention,
FIG. 3 is a partial perspective view showing the other surface of the probe moving apparatus according to the preferred embodiment of the present invention,
FIG. 4 is an exploded perspective view showing a data side probe moving unit of a probe moving apparatus according to a preferred embodiment of the present invention,
FIG. 5 is an exploded perspective view showing a gate side probe moving part of a probe moving device according to a preferred embodiment of the present invention,
FIG. 6 is a front view showing a probe of the probe moving device according to a preferred embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 7 is a plan view showing a state where a probe installed in a probe moving apparatus according to a preferred embodiment of the present invention is partially moved. FIG.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, a probe moving apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치를 보인 입체도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치의 일면을 보인 일부 입체도이며, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치의 타면을 보인 일부 입체도이다.FIG. 1 is a three-dimensional view showing a probe moving apparatus according to a preferred embodiment of the present invention. FIG. 2 is a three-dimensional view showing one side of a probe moving apparatus according to a preferred embodiment of the present invention. Fig. 3 is a partial perspective view showing the other surface of the probe moving apparatus according to the embodiment;
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치는 액정표시패널(10)의 일면에 대응되는 데이터 프로브 유닛(20) 및 상기 액정표시패널(10)의 양면에 대응되는 게이트 프로브 유닛(30) 각각에 설치된 다수의 프로브(200)를 개별적으로 이동시키는 프로브 이동부(100), 상기 프로브 이동부(100)에 이동 가능하게 설치되며 상기 액정표시패널(11)에 접촉되도록 다축으로 이동되는 프로브(200)를 포함할 수 있다.The probe moving apparatus according to the preferred embodiment of the present invention includes a data probe unit 20 corresponding to one surface of the liquid crystal display panel 10 and a plurality of gate probe units 30 corresponding to both surfaces of the liquid crystal display panel 10 A probe moving unit 100 for moving a plurality of installed probes 200 individually, a probe 200 movably installed on the probe moving unit 100 and moving in multiple axes to contact the liquid crystal display panel 11, . ≪ / RTI >
본 발명에서 액정표시패널(10)은 엘시디(LCD: Liquid Crystal Display), 엘이디(LED: Light Emitting Diode), 유기발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하는 것으로 설명한다. 즉, 액정표시패널(10)은 설명의 편의를 위하여 액정표시장치 또는 액정디스플레이, 발광다이오드, 유기발광다이오드 등을 총칭하는 명칭으로 사용하기로 한다.In the present invention, the liquid crystal display panel 10 is described as including a liquid crystal display (LCD), a light emitting diode (LED), and an organic light emitting diode (OLED). That is, the liquid crystal display panel 10 will be collectively referred to as a liquid crystal display device, a liquid crystal display, a light emitting diode, and an organic light emitting diode for convenience of explanation.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 프로브 이동장치는 액정표시패널(10)에 접촉되어 전기적인 신호를 주고 받을 수 있는 프로브(200)를 액정표시패널(10)의 크기에 따라 사용하고자 하는 프로브(200)와 사용하지 않는 프로브(200)를 구분하여 사용하지 않을 프로브(200)를 이동시킬 수 있도록 하는 것이다.As shown in FIGS. 1 to 3, the probe moving device is configured to use a probe 200, which is in contact with the liquid crystal display panel 10 and can exchange an electric signal, according to the size of the liquid crystal display panel 10 The probes 200 are separated from the probes 200 that are not used to move the probes 200 that are not to be used.
상기 액정표시패널(10)은 그 크기에 따라 다양한 크기로 이루어지는데, 30인치에서부터 60인치 크기를 가질 뿐만 아니라 60인치 이상의 액정표시패널(10)이 양산되고 있다.The liquid crystal display panel 10 has various sizes depending on its size. In addition to having a size of 30 to 60 inches, a liquid crystal display panel 10 of 60 inches or more is mass-produced.
액정표시패널의 검사장치(미도시)는 액정표시패널(10)을 받치는 워크 스테이지(미도시)와 함께 액정표시패널(10)에 접촉되어 액정표시패널(10)을 지지함과 함께 액정표시패널(10)에 접촉되어 전기적인 신호를 주고 받을 수 있는 프로브(200)가 마련될 수 있다.An inspection device (not shown) of a liquid crystal display panel contacts a liquid crystal display panel 10 together with a workpiece stage (not shown) supporting the liquid crystal display panel 10 to support the liquid crystal display panel 10, A probe 200 can be provided which can contact and receive an electrical signal.
이러한 프로브(200)는 액정표시패널(10)의 일면을 지지하는 데이터 프로브 유닛(20)과 액정표시패널(10)의 양면을 지지하는 게이트 프로브 유닛(30)에 각각 설치될 수 있다.The probe 200 may be installed in the data probe unit 20 supporting one side of the liquid crystal display panel 10 and the gate probe unit 30 supporting both sides of the liquid crystal display panel 10.
본 발명에서 데이터 프로브 유닛(20)은 프로브 이동부(100) 및 이동 가능하게 설치된 다수의 프로브(200)를 포함하는 것이고, 게이트 프로브 유닛(30)은 프로브 이동부(100) 및 이동 가능하게 설치된 다수의 프로브(200)를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The data probe unit 20 in the present invention includes a probe moving unit 100 and a plurality of probes 200 movably installed and the gate probe unit 30 includes a probe moving unit 100, It should be understood that it includes a plurality of probes 200.
또한 프로브 이동부(100)는 프로브 유닛(20, 30)에 다수 설치되어 있는 프로브(200)를 이동시키는 것으로 이해되어야 한다.Further, it should be understood that the probe moving unit 100 moves a plurality of probes 200 installed in the probe units 20 and 30.
따라서 액정표시패널의 검사장치는 액정표시패널(10)의 크기에 따라 동일하게 대응되는 데이터 프로브 유닛(20)과 게이트 프로브 유닛(30)을 각각의 액정표시패널(10)과 동일한 인치에 대응되는 다수의 프로브 유닛(20, 30)을 구비하게 된다.The inspection apparatus of the liquid crystal display panel is provided with the data probe unit 20 and the gate probe unit 30 corresponding to the same size of the liquid crystal display panel 10, And a plurality of probe units 20 and 30 are provided.
즉, 본원발명은 30인치에서부터 40인치까지의 액정표시패널(10)을 검사하고자 하는 경우, 프로브 유닛(20, 30)에 설치되어 있는 프로브(200)를 이동시켜 사용되는 프로브(200)를 제외한 여분의 프로브(200)를 이동시켜 사용되지 않도록 한다.That is, in the case where the liquid crystal display panel 10 is to be inspected from 30 to 40 inches, the probe 200 may be moved by moving the probes 200 installed in the probe units 20 and 30, The extra probe 200 is moved so as not to be used.
또 40인치에서부터 60인치까지의 액정표시패널(10)을 검사하고자 하는 경우, 프로브 유닛(20, 30)에 설치되어 있는 프로브(200)를 이동시켜 사용되는 프로브(200)를 제외한 여분의 프로브(200)를 이동시켜 사용하지 않을 수 있도록 한다.In addition, in order to inspect the liquid crystal display panel 10 from 40 to 60 inches, the probe 200 installed in the probe units 20 and 30 is moved so that an extra probe (not shown) 200) are moved so as not to be used.
이에 본 발명은 각각의 프로브 유닛(20, 30)에 다수 설치되어 있는 프로브(200)를 이동시켜 줌으로써, 유사한 크기를 갖는 액정표시패널(10)을 검사하고자 하는 경우, 프로브 유닛(20, 30)을 교체 또는 변경시키지 않고서도 곧바로 액정표시패널(10)을 검사할 수 있도록 한다.The probe unit 20 or 30 may include a plurality of probe units 20 and 30 and a plurality of probe units 20 and 30 disposed on the probe units 20 and 30, So that the liquid crystal display panel 10 can be inspected immediately without replacing or changing it.
도 1에 도시된 바와 같이, 데이터 프로브 유닛(20)은 도면상 X축 방향으로 이동될 수 있도록 설치할 수 있으며, 게이트 프로브 유닛(30)은 도면상 X, Y축 방향으로 이동될 수 있도록 설치할 수 있다.As shown in FIG. 1, the data probe unit 20 can be installed so as to be movable in the X-axis direction in the drawing, and the gate probe unit 30 can be installed so as to be movable in the X- and Y- have.
아울러 본 발명의 프로브 유닛(20, 30)에 설치되는 프로브(200)는 프로브 유닛(20, 30) 각각에 의해 전체적인 위치 이동이 이루어질 뿐만 아니라 이들 프로브 유닛(20, 30)에 설치되어 있는 프로브(200)를 필요에 따라 적정한 개수만큼의 프로브(200)를 이동시켜 줌으로써, 프로브 유닛(20, 30)을 교체 또는 변경하지 않고서 액정표시패널(10)을 즉각적으로 검사할 수 있도록 하는 것이다.The probes 200 installed in the probe units 20 and 30 of the present invention are not only moved in their entirety by the respective probe units 20 and 30 but also installed in the probes 20 and 30 200 of the probes 200 and the probes 200 can be inspected promptly without replacing or changing the probe units 20 and 30 by moving the probe 200 as many times as necessary.
한편 데이터 프로브 유닛(20) 및 게이트 프로브 유닛(30)은 액정표시패널(10)을 향해 각각 X, Y축 방향으로 이동될 수 있을 뿐만 아니라 프로브(200) 자체에 의해 X, Y, Z축 방향으로 위치 조절될 수 있다.The data probe unit 20 and the gate probe unit 30 can be moved in the directions of the X and Y axes toward the liquid crystal display panel 10 as well as in the X, As shown in FIG.
즉, 프로브(200)는 그 자체적으로 다축(X, Y, Z축) 방향으로 미세한 위치 조절될 수 있다.That is, the probe 200 itself can be finely adjusted in the direction of the multi-axis (X, Y, Z axis).
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치의 데이터측 프로브 이동부를 보인 분해 입체도이고, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치의 게이트측 프로브 이동부를 보인 분해 입체도이다.FIG. 4 is an exploded perspective view showing a data side probe moving unit of the probe moving apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, FIG. 5 is an exploded perspective view showing a gate side probe moving unit of the probe moving apparatus according to the preferred embodiment of the present invention, to be.
도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 데이터 프로브 유닛(20) 및 게이트 프로브 유닛(30)는 각각의 프로브(200)를 이동시킬 수 있는 데이터측 이동부(110)와 게이트측 이동부(150)를 포함할 수 있다.1 to 5, the data probe unit 20 and the gate probe unit 30 include a data side moving unit 110 and a gate side moving unit (not shown) that can move the respective probes 200 150).
즉, 데이터 프로브 유닛(20)에는 프로브(200)를 이동시키는 데이트측 이동부(110)가 설치될 수 있고, 게이트 프로브 유닛(30)에는 프로브(200)를 이동시키는 게이트측 이동부(150)가 설치될 수 있다.The data probe unit 20 may be provided with a date side moving part 110 for moving the probe 200. The gate probe unit 30 may be provided with a gate side moving part 150 for moving the probe 200, Can be installed.
데이트측 이동부(110)는 다수의 프로브(200)가 이동 가능하게 설치되도록 일정 크기를 갖는 플레이트(111), 플레이트(111)의 양단에 각각 설치되는 구동수단(112), 구동수단(112)에 의해 회전되는 회전축(113), 회전축(113)을 따라 이동되는 이동체(120)를 포함할 수 있다.The date moving part 110 includes a plate 111 having a predetermined size so that a plurality of probes 200 can be movably installed, a driving unit 112 installed at both ends of the plate 111, a driving unit 112, A rotating shaft 113 rotated by the rotating shaft 113, and a moving body 120 moved along the rotating shaft 113.
상기 데이터측 이동부(110)에는 일정 간격으로 다수의 프로브(200)가 플레이트(111)에 이동 가능하게 설치되는데, 이들 프로브(200)를 이동시킬 수 있도록 회전력을 발생시키는 구동수단(112)이 설치될 수 있다.A plurality of probes 200 are movably installed on the plate 111 at a predetermined interval in the data side moving unit 110. Driving means 112 for generating a rotational force to move the probes 200 Can be installed.
상기 구동수단(112)은 플레이트(111)의 양단에 각각 설치될 수 있으며, 구동수단(112)에 의해 회전되는 회전축(113)이 각각 설치될 수 있다. 이들 회전축(113)은 플레이트(111)의 전체 길이를 2등분한 길이로 이루어질 수 있으며, 이는 회전축(113)에 결합되어 이동되는 이동체(120)의 이동 시간을 짧게 함은 물론 이동체(120)에 의해 이동되는 프로브(200)를 플레이트(111)의 좌우 양측으로 각각 이동시킬 수 있도록 하기 위함이다.The driving means 112 may be installed at both ends of the plate 111 and may be provided with a rotating shaft 113 rotated by the driving means 112. These rotation shafts 113 may be formed by bisecting the entire length of the plate 111. This may shorten the moving time of the moving body 120 which is coupled to the rotating shaft 113 to shorten the moving time of the moving body 120, So that the probe 200 can be moved to the left and right sides of the plate 111, respectively.
이에 회전축(113)은 일정 길이를 갖는 제1 회전축(113a)과 제2 회전축(113b)으로 이루어질 수 있으며, 이들 회전축(113)의 양단에는 각각 고정블록(113c)이 설치될 수 있다.The rotating shaft 113 may include a first rotating shaft 113a and a second rotating shaft 113b having a predetermined length and a fixing block 113c may be provided on both ends of the rotating shaft 113. [
또한 회전축(113)의 저면에는 이동체(120)가 직선으로 이동되도록 안내하는 안내 레일(114)이 설치될 수 있으며, 안내 레일(114)은 플레이트(111)와 동일한 길이로 이루어질 수 있다.A guide rail 114 for guiding the moving body 120 to move linearly may be provided on the bottom surface of the rotary shaft 113. The guide rail 114 may have the same length as the plate 111. [
상기 이동체(120)는 회전축(113)의 회전으로 이동되는 것으로, 회전축(113)의 회전으로 안내레일(114)을 따라 이동되는 이동블록(121)과 이동블록(121)의 일면에 상하로 승강되도록 결합되는 승강블록(123)을 포함할 수 있다.The moving body 120 is moved by the rotation of the rotating shaft 113 and moves up and down on one side of the moving block 121 and the moving block 121 which are moved along the guide rail 114 by the rotation of the rotating shaft 113 And a lifting block 123 that is coupled as far as possible.
승강블록(123)에는 프로브(200)와 대응되게 일측으로 돌출된 돌기부(124)가 일체로 형성될 수 있다.The elevating block 123 may integrally include a protrusion 124 protruding to one side so as to correspond to the probe 200.
상기 이동블록(121)은 회전축(113)의 회전에 의해 왕복 이동될 수 있으며, 이동블록(121)에는 일정 높이로 레일(122)이 형성될 수 있고, 승강블록(123)은 레일(122)에 상하로 이동되도록 결합될 수 있다.The moving block 121 may be reciprocated by the rotation of the rotating shaft 113. A rail 122 may be formed at a predetermined height in the moving block 121. The elevating block 123 may be fixed to the rail 122, As shown in FIG.
또한 플레이트(111)에는 액정표시패널(10)의 위치를 파악할 수 있는 감지수단(130)이 설치될 수 있다. 감지수단(130)는 플레이트(111) 일면에 설치되는 구동수단(131), 구동수단(131)에 의해 회전되는 회전축(132), 회전축(132)을 따라 이동되는 이동판(133), 이동판(133)에 설치되는 카메라(134)를 포함할 수 있다.In addition, the plate 111 may be provided with a sensing means 130 for sensing the position of the liquid crystal display panel 10. The detecting means 130 includes a driving means 131 provided on one surface of the plate 111, a rotating shaft 132 rotated by the driving means 131, a moving plate 133 moved along the rotating shaft 132, And a camera 134 installed in the camera body 133.
구동수단(131)은 플레이트(111) 일면에 설치되어 회전력을 발생시키는 것으로, 회전축(132)은 구동수단(131)에 회전 가능하게 결합될 수 있으며, 이동판(133)은 회전축(132)을 따라 이동 가능하게 결합될 수 있다.The driving means 131 is installed on one surface of the plate 111 to generate a rotating force and the rotating shaft 132 can be rotatably coupled to the driving means 131. The moving plate 133 rotates the rotating shaft 132 Can be movably coupled.
또한 게이트 프로브 유닛(30)에는 프로브(200)를 이동시킬 수 있는 게이트측 이동부(150)와 게이트측 이동부(150)에 의해 프로브(200)를 이동시키는 이동체(160)를 포함할 수 있다.The gate probe unit 30 may include a gate side moving part 150 capable of moving the probe 200 and a moving body 160 moving the probe 200 by the gate side moving part 150 .
상기 게이트측 이동부(150)는 일정 크기를 갖는 플레이트(151), 플레이트(151) 일단에 설치되는 구동수단(152), 구동수단(152)에 의해 회전 가능하게 설치되는 회전축(153)을 포함할 수 있다.The gate side moving part 150 includes a plate 151 having a predetermined size, driving means 152 provided at one end of the plate 151, and a rotating shaft 153 rotatably installed by the driving means 152 can do.
상기 이동체(160)는 회전축(153)을 따라 왕복 이동되는 것으로, 이동체(160)는 회전축(153)을 따라 이동되는 이동블록(161)과 이동블록(161)을 따라 승강되는 승강블록(163)을 포함할 수 있다.The moving body 160 is reciprocally moved along the rotating shaft 153. The moving body 160 includes a moving block 161 moved along the rotating shaft 153 and a lifting block 163 lifted and lowered along the moving block 161, . ≪ / RTI >
이동블록(161)은 회전축(153)에 이동 가능하게 결합될 수 있으며, 이동블록(161)에는 일정 높이를 갖는 레일(162)이 일체로 형성될 수 있다. 레일(162)에는 승강블록(163)이 이동 가능하게 결합될 수 있으며, 승강블록(163)에는 프로브(200)에 결합 또는 분리될 수 있는 돌기부(164)가 형성될 수 있다.The moving block 161 may be movably coupled to the rotating shaft 153 and the moving block 161 may be integrally formed with a rail 162 having a predetermined height. The elevating block 163 may be movably coupled to the rail 162 and the protrusion 164 may be formed on the elevating block 163 to be coupled to or detached from the probe 200. [
도 6은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치의 프로브를 보인 정면도이다.6 is a front view showing a probe of a probe moving apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
상기 프로브(200)는 데이터 프로브 유닛(20) 및 게이트 프로브 유닛(30)에 의해 일체로 이동됨과 함께 프로브 이동부(100)의 데이터측 이동부(110) 및 게이트측 이동부(150)에 의해 개별적으로 이동될 수 있다.The probe 200 is integrally moved by the data probe unit 20 and the gate probe unit 30 and is moved by the data side moving unit 110 and the gate side moving unit 150 of the probe moving unit 100 Can be moved individually.
상기 프로브(200)는 액정표시패널(10)의 크기에 따라 접촉되는 프로브(200)와 접촉되지 않도록 이동되는 프로브(200)로 구분되어 사용될 수 있다.The probe 200 may be divided into a probe 200 that is moved so as not to be in contact with the probe 200 that is in contact with the liquid crystal display panel 10 according to the size of the liquid crystal display panel 10.
즉, 프로브(200)는 액정표시패널(10)의 크기에 따라 데이터측 이동부(110) 및 게이트측 이동부(150)에 의해 위치 조절이 이루어짐으로써 액정표시패널(10)에 접촉되는 프로브(200)와 액정표시패널(10)에 접촉되지 않도록 플레이트(111, 151)의 가장자리로 이동될 수 있다.That is, the position of the probe 200 is adjusted by the data-side moving unit 110 and the gate-side moving unit 150 according to the size of the liquid crystal display panel 10, 200 and the liquid crystal display panel 10, as shown in FIG.
아울러 프로브(200)는 자체적으로 다축(X, Y, Z축) 방향으로 이동될 수 있는 것으로, 플레이트(111, 151)에 고정되어 있는 레일(115, 155)을 따라 프로브 이동부(100)에 의해 직선 이동 가능하게 설치될 수 있다.In addition, the probe 200 can be moved in the direction of multiple axes (X, Y, Z axes) by itself. The probes 200 are moved along the rails 115 and 155 fixed to the plates 111 and 151, And can be installed to be movable linearly.
도 6에 도시된 바와 같이, 프로브(200)는 플레이트(111) 또는 플레이트(151)에 설치되는 제1 위치조절부(210)와 상기 제1 위치조절부(210)에 의해 제1 위치조절부(210)와 교차되는 방향으로 이동되는 제2 위치조절부(250)를 포함할 수 있다.6, the probe 200 includes a first position adjusting unit 210 installed on a plate 111 or a plate 151, and a second position adjusting unit 210 installed on the plate 151 or the plate 151, And a second position adjusting unit 250 which is moved in a direction intersecting with the second position adjusting unit 210.
상기 제1 위치조절부(210)는 정역 회전되는 제1 모터(220), 제1 모터(220)에 의해 회전되는 회전축(230) 및 상기 회전축(230)의 회전으로 직선 이동되면서 회전축(230)과 교차되는 방향으로 슬라이딩 이동되는 슬라이딩 블록(240)을 포함할 수 있다.The first position adjuster 210 includes a first motor 220 rotated in normal and reverse directions, a rotation shaft 230 rotated by the first motor 220, and a rotation shaft 230 linearly moved by the rotation of the rotation shaft 230, And a sliding block 240 sliding in a direction intersecting with the sliding block 240.
또 제2 위치조절부(250)는 정역 회전되는 제2 모터(260), 제2 모터(260)에 결합된 회전축(미도시)의 회전으로 승강되는 고정프레임(270), 상기 고정프레임(270)에 의해 승강됨에 따라 액정표시패널(10)에 접촉되는 리드프레임(280)을 포함할 수 있다.The second position adjuster 250 includes a second motor 260 rotated in the forward and reverse directions, a fixed frame 270 lifted and rotated by a rotation shaft (not shown) coupled to the second motor 260, And a lead frame 280 that is in contact with the liquid crystal display panel 10 as it is lifted and lowered by the lifting frame 250.
이러한 프로브블록(200)은 데이터 프로브 유닛(20) 또는 게이트 프로브 유닛(30)에 의해 액정표시패널(10)과 인접한 위치로 이동된 다음 프로브블록(200)의 제1 위치조절부(210) 및 제2 위치조절부(250)에 의해 액정표시패널(10)의 접촉 위치에 정확하게 접촉되도록 위치 조절이 이루어질 수 있다.The probe block 200 is moved to a position adjacent to the liquid crystal display panel 10 by the data probe unit 20 or the gate probe unit 30 and then moved to the first position adjuster 210 and / The position adjustment can be performed by the second position adjuster 250 so as to accurately contact the contact position of the liquid crystal display panel 10. [
상기 프로브블록(200)은 액정표시패널(10)에 접촉 시 제2 위치조절부(250)에 의해 리드프레임(280)이 상승되므로, 리드프레임(280)은 액접표시패널(10)에 접촉 시 적정한 압력(또는 힘)으로 접촉되도록 가압력(또는 접촉력)이 조정될 수 있다.The lead frame 280 is raised by the second position adjuster 250 when the probe block 200 contacts the liquid crystal display panel 10 so that the lead frame 280 contacts the liquid crystal display panel 10, The pressing force (or the contact force) can be adjusted so as to be contacted at an appropriate pressure (or force).
본 발명에 따른 프로브 이동장치는 액정표시패널의 검사 공정으로 엘시디 셀 검사(LCD CELL TESTER) 또는 유기발광 다이오드의 패널 검사(OLED PANEL TESTER) 등 다양한 형태의 검사 공정을 하나의 검사장치로 수행할 수도 있게 된다.The probe moving apparatus according to the present invention can perform various types of inspection processes such as an LCD cell tester or an OLED panel test, as an inspection device, as an inspection process of a liquid crystal display panel .
또 각각의 개별적인 프로브 블록의 접촉력을 조절할 수 있어 액정표시패널의 특정 위치 검사(LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY), 아우터 리드 본딩(OLB: OUTER LEAD BONDING) 또는 아이씨 본딩(IC BONDING) 등의 작업 공정에도 사용할 수도 있게 된다.
In addition, it is possible to control the contact force of each individual probe block, and it is also possible to perform a specific position inspection (LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY), an outer lead bonding (OLB: OUTER LEAD BONDING) It can also be used.
다음 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치의 결합관계를 상세하게 설명한다.Next, the coupling relationship of the probe moving device according to the preferred embodiment of the present invention will be described in detail.
도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 프로브 이동장치는 워크 스테이지(미도시)에 장착되는 액정표시패널(10)의 크기에 따라 액정표시패널(10)에 접촉되는 프로브(200)를 위치 조정함과 함께 액정표시패널(10)에 접촉되지 않는 프로브(200)를 일측으로 이동시킬 수 있다.1 to 6, a probe moving apparatus according to an embodiment of the present invention includes a probe (not shown) contacting a liquid crystal display panel 10 according to the size of a liquid crystal display panel 10 mounted on a workpiece stage The position of the probe 200 may be adjusted and the probe 200 not contacting the liquid crystal display panel 10 may be moved to one side.
즉, 액정표시패널(10)이 57인치인 경우, 각각의 프로브 유닛(20, 30)에 설치되어 있는 프로브(200)는 모두 사용될 수 있으며, 액정표시패널(10)이 40인치인 경우, 프로브 유닛(20, 30)에 설치되어 있는 프로브(200) 중 불필요한 프로브(200)는 플레이트(111, 151)의 일측으로 이동시켜 액정표시패널(10)과 접촉되지 않게 한다.That is, when the liquid crystal display panel 10 is 57 inches, all of the probes 200 installed in the probe units 20 and 30 can be used. When the liquid crystal display panel 10 is 40 inches, Unnecessary probes 200 among the probes 200 installed in the units 20 and 30 are moved to one side of the plates 111 and 151 so as not to contact the liquid crystal display panel 10.
데이터 프로브 유닛(20)에는 프로브(200)를 이동시킬 수 있도록 데이터측 이동부(110)를 설치할 수 있으며, 게이트 프로브 유닛(30)에도 프로브(200)를 이동시킬 수 있도록 게이트측 이동부(150)를 설치할 수 있다.The data probe unit 20 can be provided with a data side moving unit 110 for moving the probe 200 and a gate side moving unit 150 for moving the probe 200 to the gate probe unit 30. [ ) Can be installed.
상기 데이터측 이동부(110)는 일정 크기를 갖는 플레이트(111)에 회전력을 발생시키는 구동수단(112)을 설치할 수 있으며, 구동수단(112)은 플레이트(111)의 양단에 구비할 수 있고, 구동수단(112)에는 일정 길이를 갖는 회전축(113)을 설치할 수 있다.The data side moving unit 110 may include a driving unit 112 for generating a rotational force on the plate 111 having a predetermined size and the driving unit 112 may be provided at both ends of the plate 111, The driving means 112 may be provided with a rotary shaft 113 having a predetermined length.
2개의 구동수단(112)에는 제1 회전축(113a)과 제2 회전축(113b)을 각각 설치하며, 이들 회전축(113a, 113b)의 양단에는 안정되게 지지되도록 고정블록(113c)을 설치할 수 있다.The first and second rotating shafts 113a and 113b may be provided on the two driving means 112 and the fixing block 113c may be provided on both ends of the rotating shafts 113a and 113b to be stably supported.
또한 플레이트(111) 상면에는 플레이트(111)와 동일한 길이를 갖는 안내레일(114)을 고정할 수 있다. 안내레일(114)은 이동체(120)를 직선으로 이동되도록 안내한다.A guide rail 114 having the same length as the plate 111 can be fixed to the upper surface of the plate 111. The guide rail 114 guides the moving body 120 to be moved in a straight line.
상기 이동체(120)는 회전축(113)의 회전으로 수평 이동되는 것으로, 회전축(113)을 따라 이동 가능하게 결합할 수 있으며, 이동체(120)는 회전축(113)에 결합되는 이동블록(121)과 이동블록(121)을 따라 승강되는 승강블록(123)을 포함할 수 있다.The moving body 120 is horizontally moved by the rotation of the rotating shaft 113 and is movable along the rotating shaft 113. The moving body 120 includes a moving block 121 coupled to the rotating shaft 113, And a lifting block 123 which is lifted and lowered along the moving block 121.
상기 이동블록(121)에는 일정 높이를 갖는 레일(122)을 고정할 수 있고, 레일(122)에는 승강블록(123)을 이동 가능하게 결합할 수 있으며, 승강블록(123)의 일면에는 돌출된 돌기부(124)가 형성될 수 있다.The elevating block 123 may be movably coupled to the rail 122. The elevating block 123 may be provided with a plurality of protrusions The protruding portion 124 may be formed.
이러한 돌기부(124)는 데이터 프로브 유닛(20)에 설치되어 있는 프로브(200)에 분리 또는 결합될 수 있으며, 상기 이동체(120)는 공압을 공급하는 컴프레서(미도시)와 연결될 수 있다.The protrusion 124 may be separated or coupled to the probe 200 installed in the data probe unit 20 and the movable body 120 may be connected to a compressor (not shown) for supplying pneumatic pressure.
또한 데이터 프로브 유닛(20)에는 데이터 프로브 유닛(20)의 이동 및 프로브(200)의 이동 시 액정표시패널(10)의 위치를 감지할 수 있는 감지수단(130)을 마련할 수 있다.The data probe unit 20 may be provided with sensing means 130 for sensing the position of the liquid crystal display panel 10 when the data probe unit 20 is moved and the probe 200 is moved.
데이터 프로브 유닛(20)의 플레이트(111) 일측에는 구동수단(131)을 설치할 수 있으며, 구동수단(131)에는 일정 길이를 갖는 회전축(132)을 회전 가능하게 결합하며, 회전축(132)에는 회전축(132)의 회전에 의해 왕복 이동되는 이동판(133)을 이동 가능하게 결합할 수 있다.A drive means 131 may be provided on one side of the plate 111 of the data probe unit 20. A rotation shaft 132 having a predetermined length is rotatably coupled to the drive means 131, The moving plate 133 reciprocating by the rotation of the moving plate 132 can be movably coupled.
상기 이동판(133)에는 액정표시패널(10)의 위치를 감지할 수 있는 카메라(134)를 설치할 수 있으며, 이들 감지수단(130)은 플레이트(111)의 좌우 양측에 각각 설치되어 액정표시패널(10)의 장착 위치를 감지되게 한다.The moving plate 133 may be provided with a camera 134 capable of detecting the position of the liquid crystal display panel 10. The detecting means 130 may be provided on both left and right sides of the plate 111, (10) is detected.
상기 카메라(134)는 액정표시패널(10)의 장착 위치를 감지하여 프로브(200)와 액정표시패널(10)의 접촉 위치를 정확하게 위치되게 할 수 있다.The camera 134 can sense the mounting position of the liquid crystal display panel 10 and precisely position the contact position between the probe 200 and the liquid crystal display panel 10. [
또한 게이트측 이동부(150)는 데이터 프로브 유닛(20)의 좌우 양측에 각각 설치되는 것으로, 게이트측 이동부(150)는 일정 크기를 갖는 플레이트(151)의 일측에 구동수단(152)을 설치할 수 있다.The gate side moving part 150 is installed on both the left and right sides of the data probe unit 20 and the gate side moving part 150 is provided with the driving unit 152 on one side of the plate 151 having a predetermined size .
구동수단(152)에는 구동수단(152)에 의해 회전되는 회전축(153)을 결합할 수 있으며, 회전축(153)에는 구동수단(152)에 의해 왕복 이동되는 이동체(160)를 결합할 수 있다.The driving means 152 can be coupled to the rotating shaft 153 rotated by the driving means 152 and the moving body 160 reciprocatingly moved by the driving means 152 can be coupled to the rotating shaft 153.
상기 이동체(160)는 회전축(153)에 결합되는 이동블록(161)과 이동블록(161)을 중심으로 승강되는 승강블록(163)을 포함할 수 있다.The moving body 160 may include a moving block 161 coupled to the rotating shaft 153 and a lifting block 163 moving up and down around the moving block 161.
이동블록(161)에는 일정 높이를 갖는 레일(162)을 일체로 고정할 수 있으며, 레일(162)에는 승강블록(163)을 승강되게 결합할 수 있으며, 승강블록(163)에는 일측으로 돌출되어 승강됨에 따라 프로브(200)에 분리 또는 결합되는 돌기부(164)를 일체로 형성할 수 있다.The rail 162 having a predetermined height can be integrally fixed to the moving block 161. The elevating block 163 can be coupled to the rail 162 to be elevated and lowered, The protrusions 164 can be formed integrally with the probes 200 as they are lifted and lowered.
한편 데이터 프로브 유닛(20) 및 게이트 프로브 유닛(30)에는 각각 다수의 레일(115, 155)을 고정할 수 있으며, 이들 레일(115, 155)은 프로브(200)의 이동 시 직선으로 이동되게 한다.A plurality of rails 115 and 155 can be fixed to the data probe unit 20 and the gate probe unit 30 so that the rails 115 and 155 are moved in a straight line when the probe 200 moves .
또한 프로브(200)는 그 자체적으로 위치 조절이 이루어질 수 있는 것으로, 프로브(200)는 제1 위치조절부(210)의 상면에 제2 위치조절부(250)를 이동 가능하게 결합할 수 있다. 즉, 제2 위치조절부(250)는 제1 위치조절부(210)와 교차되는 방향으로 이동될 수 있으며, 제2 위치조절부(250)에 설치되어 있는 리드프레임(280)은 제2 위치조절부(250)에 의해 승강됨으로써 액정표시패널(10)과 접촉 시 적정한 가압력으로 밀착될 수 있다.In addition, the probe 200 can be positionally adjusted, and the probe 200 can movably couple the second position adjuster 250 to the upper surface of the first position adjuster 210. That is, the second position adjuster 250 can be moved in a direction intersecting with the first position adjuster 210, and the lead frame 280 provided at the second position adjuster 250 can be moved in the second position And can be brought into close contact with the liquid crystal display panel 10 by an appropriate pressing force when the liquid crystal display panel 10 is lifted up and down by the adjusting unit 250.
상기 제1 위치조절부(210)는 일측에 제1 모터(220)를 설치할 수 있고, 제1 모터(220)에 의해 회전되는 회전축(230)을 결합할 수 있으며, 회전축(230)에는 제1 모터(220)의 회전으로 왕복 이동되면서 서로 교차되는 방향으로 이동되는 슬라이딩 블록(240)을 결합할 수 있다.The first position adjuster 210 may include a first motor 220 on one side and may be coupled to a rotary shaft 230 that is rotated by the first motor 220, The sliding block 240 is reciprocally moved by the rotation of the motor 220 and moves in a direction intersecting with the sliding block 240.
상기 슬라이딩 블록(240)은 2개의 블록이 서로 교차되도록 결합된 상태에서 회전축(230)에 의해 하나의 블록이 이동됨에 따라 다른 블록이 회전축(230)과 교차되는 방향으로 슬라이딩 되도록 결합될 수 있다.The sliding block 240 may be coupled such that the other block is slid in a direction intersecting the rotation axis 230 as one block is moved by the rotation axis 230 in a state where the two blocks are coupled to intersect each other.
슬라이딩 블록(240)의 상면에는 제2 위치조절부(250)를 이동 가능하게 결합할 수 있으며, 제2 위치조절부(250)는 제1 위치조절부(210)에 의해 교차되는 방향으로 이동될 수 있다.The second position adjusting part 250 may be movably coupled to the upper surface of the sliding block 240 and the second position adjusting part 250 may be moved in a direction crossing the first position adjusting part 210 .
또 제2 위치조절부(250)는 제2 모터(260)의 회전으로 고정프레임(270)을 상승되게 결합할 수 있으며, 고정프레임(270)의 상승으로 리드프레임(280)이 상승될 수 있다.The second position adjuster 250 can lift the fixing frame 270 by the rotation of the second motor 260 and the lead frame 280 can be lifted by the lifting of the fixing frame 270 .
아울러 프로브(200)에는 데이터 프로브 유닛(20)에 설치되어 액정표시패널(10)의 위치를 감지하는 감지수단(130)과 동일한 감지수단(미도시)을 각각 개별적으로 설치할 수 있다.
The probe 200 may be provided with the same sensing means (not shown) as the sensing means 130 installed in the data probe unit 20 to sense the position of the liquid crystal display panel 10, respectively.
다음 도 1 내지 도 7을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치의 작동방법을 상세하게 설명한다.A method of operating the probe moving apparatus according to a preferred embodiment of the present invention will now be described in detail with reference to FIGS. 1 to 7. FIG.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 이동장치에 설치된 프로브가 일부 이동된 상태를 보인 평면도이다.7 is a plan view showing a state where a probe installed in a probe moving apparatus according to a preferred embodiment of the present invention is partially moved.
도 1 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 프로브 이동장치는 워크 스테이지(미도시)에 검사하고자 하는 대상물인 액정표시패널(10)을 이동시켜 장착하게 된다.1 to 7, the probe moving device according to the embodiment of the present invention moves and mounts the liquid crystal display panel 10, which is an object to be inspected, on a workpiece stage (not shown).
이러한 액정표시패널(10)의 이동은 통상적인 것을 사용하므로, 그 구체적인 설명을 생략한다.The movement of the liquid crystal display panel 10 is conventional, so a detailed description thereof will be omitted.
도 1에서와 같이, 액정표시패널(10)이 워크 스테이지에 장착된 상태에서 데이터 프로브 유닛(20)은 액정표시패널(10)을 향해 이동하게 되며, 데이터 프로브 유닛(20)의 이동이 완료된 상태에서 게이트 프로브 유닛(30)은 액정표시패널(10)의 좌우 양측으로 이동하게 된다.1, the data probe unit 20 is moved toward the liquid crystal display panel 10 in a state where the liquid crystal display panel 10 is mounted on the workpiece stage, and when the movement of the data probe unit 20 is completed The gate probe unit 30 is moved to both the left and right sides of the liquid crystal display panel 10.
이때 데이터 프로브 유닛(20) 및 게이트 프로브 유닛(30)에 설치되어 있는 다수의 프로브(200)는 설정된 위치로 이동될 수 있다. 이는 액정표시패널(10)의 크기에 따라 각각의 프로브(200)를 최소한으로 이동시킬 수 있도록 하기 위함이다.At this time, the plurality of probes 200 installed in the data probe unit 20 and the gate probe unit 30 can be moved to a predetermined position. This is to minimize the movement of each probe 200 according to the size of the liquid crystal display panel 10.
또한 이동부(110, 150)는 액정표시패널(10)의 접촉 위치로의 이동을 최소화하여 프로브(200)의 이동 시간을 줄일 수 있도록 한다.In addition, the movement units 110 and 150 minimize the movement of the liquid crystal display panel 10 to the contact position, thereby reducing the movement time of the probe 200.
상기 데이터 프로브 유닛(20) 및 게이트 프로브 유닛(30)이 액정표시패널(10)을 향해 이동된 다음 각각의 프로브 유닛(20, 30)에 설치되어 있는 이동부(110, 150)가 프로브(200)를 이동시키게 된다.After the data probe unit 20 and the gate probe unit 30 are moved toward the liquid crystal display panel 10 and then the moving units 110 and 150 provided in the respective probe units 20 and 30 are moved toward the probe 200 ).
데이터 프로브 유닛(20)에 설치되어 있는 감지수단(130)은 액정표시패널(10)의 크기를 판독함은 물론 액정표시패널(10)이 정해진 위치에 정확하게 장착되었는지를 감지하게 된다.The sensing means 130 provided in the data probe unit 20 not only reads the size of the liquid crystal display panel 10 but also detects whether the liquid crystal display panel 10 is correctly mounted at a predetermined position.
이렇게 액정표시패널(10)은 감지수단(130)에 의해 장착 위치에 정확하게 장착되었는지를 확인하게 되며, 액정표시패널(10)이 일부 틀어지거나 비틀어진 상태로 장착되었는지 확인하여 각각의 프로브 유닛(20, 30)에 설치된 이동부(110, 150)에 의해 프로브(200)를 이동시킬 수 있게 된다.In this way, the liquid crystal display panel 10 is confirmed by the sensing means 130 whether or not the liquid crystal display panel 10 is correctly mounted at the mounting position, and it is confirmed whether the liquid crystal display panel 10 is partially twisted or twisted, The probes 200 can be moved by the moving units 110 and 150 installed in the first,
상기 데이터측 이동부(110)는 프로브(200)를 액정표시패널(10)의 접촉 위치로 이동시키게 되는데, 데이터측 이동부(110)는 액정표시패널(10)의 크기에 따라 사용될 프로브(200)와 사용되지 않을 프로브(200)를 선정하게 된다.The data side moving unit 110 moves the probe 200 to the contact position of the liquid crystal display panel 10. The data side moving unit 110 moves the probe 200 to be used according to the size of the liquid crystal display panel 10. [ And the probe 200 to be unused.
또한 게이트측 이동부(150)는 프로브(200)를 액정표시패널(10)의 접촉 위치로 이동시키게 되는데, 게이트측 이동부(150)는 액정표시패널(10)의 크기에 따라 사용될 프로브(200)와 사용되지 않을 프로브(200)를 선정하게 된다.The gate side moving part 150 moves the probe 200 to the contact position of the liquid crystal display panel 10. The gate side moving part 150 moves the probes 200 to be used according to the size of the liquid crystal display panel 10. [ And the probe 200 to be unused.
즉, 액정표시패널(10)이 47인치인 경우, 데이터 프로브 유닛(20) 및 게이트 프로브 유닛(30)에 설치되어 있는 모든 프로브(200)를 사용하게 되고, 액정표시패널(10)이 40인치인 경우, 데이터 프로브 유닛(20) 및 게이트 프로브 유닛(30)에 설치되어 있는 프로브(200) 중 플레이트(111, 151)의 끝단에 위치하는 1~3개의 프로브(200)를 사용하지 않게 된다.That is, when the liquid crystal display panel 10 is 47 inches, all of the probes 200 installed in the data probe unit 20 and the gate probe unit 30 are used. When the liquid crystal display panel 10 is 40 inches One to three probes 200 located at the ends of the plates 111 and 151 among the probes 200 installed in the data probe unit 20 and the gate probe unit 30 are not used.
이에 데이터측 이동부(110)의 구동수단(112)은 인가된 전원에 의해 회전되며, 회전축(113)은 구동수단(112)의 구동으로 회전된다. 이에 회전축(113a, 113b)에 결합되어 있는 이동체(120)가 이동되는데, 이동체(120)는 이동시키고자 하는 프로브(200) 위치로 이동된다.The driving means 112 of the data side moving unit 110 is rotated by the applied power source and the rotating shaft 113 is rotated by the driving means 112. [ Accordingly, the moving body 120 coupled to the rotating shafts 113a and 113b is moved, and the moving body 120 is moved to the position of the probe 200 to be moved.
상기 이동된 이동체(120)는 일시 정지하게 되고, 정지된 상태에서 이동체(120)의 승강블록(123)이 레일(122)을 따라 도 1의 도면상 Z축 방향으로 이동된다.The moving body 120 is temporarily stopped and the elevation block 123 of the moving body 120 is moved along the rail 122 in the Z axis direction in the drawing of FIG.
이에 승강블록(123)의 돌기부(124)는 프로브(200)에 결합되며, 돌기부(124)가 프로브(200)에 결합된 상태에서 구동수단(112)의 구동으로 이동체(120)가 이동된다.The protrusion 124 of the lifting block 123 is coupled to the probe 200 and the movable body 120 is moved by driving the driving unit 112 in a state where the protrusion 124 is coupled to the probe 200. [
이에 따라 프로브(200)는 플레이트(111)의 가장자리로 이동되며, 이동시키고자 하는 프로브(200)의 개수만큼 이동시키게 된다.Accordingly, the probe 200 is moved to the edge of the plate 111 and moved by the number of the probes 200 to be moved.
또한 게이트측 이동부(150)는 인가된 전원에 의해 구동수단(152)이 구동되며, 회전축(153)은 구동수단(152)에 의해 회전되며, 회전축(153)에 결합된 이동체(160)는 회전축(153)을 따라 이동된다.The driving unit 152 is driven by an applied power source and the rotating shaft 153 is rotated by the driving unit 152 and the moving body 160 coupled to the rotating shaft 153 And is moved along the rotation axis 153.
상기 이동체(160)가 이동시키고자 하는 프로브(200)에 도달되면, 이동체(160)는 일시 정지된 상태에서 컴프레서(미도시)에 의해 공급된 공압에 의해 승강블록(163)이 레일(162)을 따라 도 1의 도면상 Z축 방향으로 이동된다.When the movable body 160 reaches the probe 200 to be moved, the movable body 160 is moved in the suspended state by the air pressure supplied by the compressor (not shown) In the Z-axis direction in the drawing of Fig.
이렇게 이동된 승강블록(163)의 돌기부(164)는 프로브(200)에 결합되며, 결합이 완료된 상태에서 구동수단(152)은 인가된 전원에 의해 회전축(153)을 회전시키게 되고, 회전축(153)에 결합되어 있는 이동체(160)가 이동되면서 프로브(200)를 플레이트(151)의 일단으로 이동시키게 된다.The protrusion 164 of the lifting block 163 thus moved is coupled to the probe 200. When the coupling is completed, the driving unit 152 rotates the rotating shaft 153 by the supplied power, The moving body 160 moves to move the probe 200 to one end of the plate 151.
이러한 데이터측 이동부(110) 및 게이트측 이동부(150)는 감지수단(130)에 의해 감지된 액정표시패널(10)의 크기에 따라 사용되지 않을 프로브(200)를 플레이트(111, 151)의 일단으로 이동시킬 수 있게 된다.The data side moving unit 110 and the gate side moving unit 150 move the probe 200 not used according to the size of the liquid crystal display panel 10 sensed by the sensing unit 130 to the plates 111 and 151, As shown in FIG.
또한 각각의 이동부(110, 150)는 액정표시패널(10)의 접촉 위치에 프로브(200)가 정확한 위치에 접촉될 수 있도록 프로브(200)의 위치를 이동시킬 수 있다.Each of the moving units 110 and 150 can move the position of the probe 200 so that the probe 200 can be brought into contact with the liquid crystal display panel 10 at the correct position.
이는 액정표시패널(10)의 접촉 위치에 대응되는 프로브(200)의 위치가 대략 5~7㎜ 이상의 오차가 발생할 경우 프로브(200)의 위치를 조절할 수 있다.This can adjust the position of the probe 200 when an error of about 5 to 7 mm or more occurs in the position of the probe 200 corresponding to the contact position of the liquid crystal display panel 10.
한편 액정표시패널(10)의 접촉 위치와 프로브(200)의 위치가 대략 4㎜ 이내인 경우 프로브(200) 자체적으로 위치 조절할 수도 있다.If the contact position of the liquid crystal display panel 10 and the position of the probe 200 are within about 4 mm, the position of the probe 200 itself may be adjusted.
이러한 프로브(200)는 제1 위치조절부(210) 또는 제2 위치조절부(250)에 의하여 도 1의 도면상 X축 또는 Y축 방향으로 이동될 수 있으며, 제2 위치조절부(250)에 의하여 도 1의 도면상 Z축 방향으로 이동될 수 있다.1, the probe 200 may be moved in the X-axis direction or the Y-axis direction by the first position adjusting unit 210 or the second position adjusting unit 250, In the Z-axis direction in the drawing of Fig.
이와 같이 프로브(200)는 데이터 프로브 유닛(20) 및 게이트 프로브 유닛(30)에 설치된 상태에서 소정의 거리만큼 개별적으로 이동될 수 있어 액정표시패널(10)의 접촉 위치를 향해 이동된 다음 액정표시패널(10)에 접촉될 수 있다.In this way, the probe 200 can be individually moved by a predetermined distance in a state in which the probe 200 is installed in the data probe unit 20 and the gate probe unit 30, moved toward the contact position of the liquid crystal display panel 10, Can be contacted to the panel (10).
또 프로브(200)는 제2 위치조절부(250)에 의해 리드프레임(280)이 Z축 방향으로 이동될 수 있으며, 프로브(200)는 도 1의 도면상 Z축 방향으로 이동되면서 액정표시패널(10)에 접촉 시 적정한 가압력(또는 접촉력)으로 접촉될 수 있게 된다.In addition, the lead frame 280 can be moved in the Z-axis direction by the second position adjuster 250, and the probe 200 can be moved in the Z- (Or contact force) at the time of contact with the substrate 10.
본 발명에 따른 프로브 이동장치는 액정표시패널의 검사 공정으로 엘시디 셀 검사(LCD CELL TESTER) 또는 유기발광 다이오드의 패널 검사(OLED PANEL TESTER) 등 다양한 형태의 검사 공정을 하나의 검사장치로 수행할 수도 있게 된다.The probe moving apparatus according to the present invention can perform various types of inspection processes such as an LCD cell tester or an OLED panel test, as an inspection device, as an inspection process of a liquid crystal display panel .
또 각각의 개별적인 프로브 블록의 접촉력을 조절할 수 있어 액정표시패널의 특정 위치 검사(LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY), 아우터 리드 본딩(OLB: OUTER LEAD BONDING) 또는 아이씨 본딩(IC BONDING) 등의 작업 공정에도 사용할 수도 있게 된다.In addition, it is possible to control the contact force of each individual probe block, and it is also possible to perform a specific position inspection (LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY), an outer lead bonding (OLB: OUTER LEAD BONDING) It can also be used.
한편 액정표시패널의 검사 공정으로 엘시디 셀 자체를 검사(LCD CELL TESTER)하는 공정 또는 유기발광 다이오드의 패널 검사(OLED PANEL TESTER) 공정 등 다양한 형태의 검사 공정을 하나의 검사장치로 수행할 수도 있게 된다.Meanwhile, various inspection processes such as a process of inspecting the LCD cell itself (OLED PANEL TESTER) or a process of inspecting the OLED panel (OLED PANEL TESTER) may be performed by a single inspection apparatus .
이와 더불어 각각의 개별적인 프로브 블록의 접촉력을 조절할 수 있어 액정표시패널의 특정 위치를 검사(LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY)하는 공정, 아우터 리드 본딩(OLB: OUTER LEAD BONDING) 또는 아이씨 본딩(IC BONDING) 등의 작업 공정에도 사용할 수도 있게 된다.
In addition, it is possible to control the contact force of each individual probe block so as to inspect a specific position of the liquid crystal display panel (LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY), an outer lead bonding (OLB) or an IC bonding It is also possible to use it in a work process.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.
Although the present invention has been described in detail with reference to the above embodiments, it is needless to say that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications may be made without departing from the spirit of the present invention.
10: 액정표시패널 20: 데이터 프로브 유닛
30: 게이트 프로브 유닛 100: 프로브 이동부
110: 데이터측 이동부 111: 플레이트
112: 구동수단 113: 회전축
114: 안내레일 115: 레일
120: 이동체 121: 이동블록
122: 레일 123: 승강블록
124: 돌기부 130: 감지수단
131: 구동수단 132: 회전축
133: 이동판 134: 카메라
150: 게이트측 이동부 151: 플레이트
152: 구동수단 153: 회전축
155: 레일 160: 이동체
161: 이동블록 162: 레일
163: 승강블록 164: 돌기부
10: liquid crystal display panel 20: data probe unit
30: gate probe unit 100: probe moving unit
110: data side moving unit 111: plate
112: Driving means 113:
114: guide rail 115: rail
120: Moving body 121: Moving block
122: rail 123: lift block
124: protrusion 130: sensing means
131: driving means 132:
133: moving plate 134: camera
150: gate side moving part 151: plate
152: drive means 153:
155: rail 160: mobile body
161: moving block 162: rail
163: ascending / descending block 164:

Claims (11)

  1. 액정표시패널의 일면에 대응되는 데이터 프로브 유닛 및 상기 액정표시패널의 양면에 대응되는 게이트 프로브 유닛의 각각에 설치된 다수의 프로브를 개별적으로 이동시키는 프로브 이동부,
    상기 프로브 이동부에 이동 가능하게 설치되며 상기 액정표시패널에 접촉되도록 다축으로 이동되는 프로브를 포함하며,
    상기 프로브 이동부는 상기 데이터 프로브 유닛에 설치된 프로브를 이동시키는 데이터측 이동부와 상기 게이트 프로브 유닛에 설치된 프로브를 이동시키는 게이트측 이동부를 포함하고,
    상기 데이터측 이동부와 게이트측 이동부는 각각 회전축을 따라 이동되는 이동블록과 상기 이동블록의 일면에 일정 높이만큼 승강되며 상기 프로브에 결합되는 승강블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 이동장치.
    A probe moving unit for individually moving a plurality of probes provided on each of the data probe unit corresponding to one surface of the liquid crystal display panel and the gate probe unit corresponding to both surfaces of the liquid crystal display panel,
    And a probe movably installed on the probe moving part and being moved in multiple axes to contact the liquid crystal display panel,
    Wherein the probe moving unit includes a data side moving unit moving a probe provided on the data probe unit and a gate side moving unit moving a probe provided on the gate probe unit,
    Wherein the data-side moving unit and the gate-side moving unit each include a moving block moving along a rotation axis and a lift block mounted on one surface of the moving block by a predetermined height and coupled to the probe.
  2. 삭제delete
  3. 제1항에 있어서,
    상기 데이터측 이동부는 일정 크기를 갖는 플레이트,
    상기 플레이트 양단에 설치되는 구동수단,
    상기 구동수단에 의해 회전되는 회전축,
    상기 회전축에 이동 가능하게 결합되는 이동체를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 이동장치.
    The method according to claim 1,
    Wherein the data-side moving unit includes a plate having a predetermined size,
    Driving means provided at both ends of the plate,
    A rotating shaft rotated by the driving means,
    And a moving member movably coupled to the rotating shaft.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 데이터측 이동부는 플레이트 상면에 상기 이동체가 직선 이동되도록 안내하는 안내 레일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 이동장치.
    The method of claim 3,
    Wherein the data-side moving unit further comprises a guide rail for guiding the moving body to linearly move on an upper surface of the plate.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 회전축은 상기 플레이트의 일단에서 중간 위치까지 설치되는 제1 회전축,
    상기 플레이트 타단에서 중간 위치까지 설치되는 제2 회전축을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 이동장치.
    The method of claim 3,
    Wherein the rotation shaft includes a first rotation shaft installed from one end of the plate to an intermediate position,
    And a second rotation axis extending from the other end of the plate to an intermediate position.
  6. 삭제delete
  7. 제1항에 있어서,
    상기 게이트측 이동부는 일정 크기를 갖는 플레이트,
    상기 플레이트 일단에 설치되는 구동수단,
    상기 구동수단에 의해 회전되는 회전축,
    상기 회전축에 이동 가능하게 결합되는 이동체를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 이동장치.
    The method according to claim 1,
    The gate side moving part may include a plate having a predetermined size,
    Driving means provided at one end of the plate,
    A rotating shaft rotated by the driving means,
    And a moving member movably coupled to the rotating shaft.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 게이트측 이동부는 플레이트 상면에 상기 이동체가 직선 이동되도록 안내하는 안내 레일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 이동장치.
    8. The method of claim 7,
    Wherein the gate side moving part further comprises a guide rail for guiding the moving body to linearly move on an upper surface of the plate.
  9. 삭제delete
  10. 제1항에 있어서,
    상기 프로브는 제1 모터의 회전에 의해 일 방향으로 이동되는 제1 위치조절부,
    제2 모터의 회전에 의해 상기 제1 위치조절부의 이동 방향이 전환되도록 상기 제1 위치조절부의 하측에 설치되는 제2 위치조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 이동장치.
    The method according to claim 1,
    The probe includes a first position adjuster which is moved in one direction by rotation of the first motor,
    And a second position adjuster disposed below the first position adjuster such that the moving direction of the first position adjuster is switched by rotation of the second motor.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 프로브에는 상기 액정표시패널의 접촉 위치를 파악할 수 있는 감지수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 이동장치.
    11. The method of claim 10,
    Wherein the probe includes sensing means for sensing a contact position of the liquid crystal display panel.
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