KR101110389B1 - 백라이팅을 가지는 이차원 접촉 이미지 센서 - Google Patents

백라이팅을 가지는 이차원 접촉 이미지 센서 Download PDF

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Abstract

본 발명은 2차원 이미지 센서를 개시한다. 본 발명의 이미지 센서는 실리콘 기판 상에 형성된 포토디텍터 어레이를 포함한다. 포토디텍터 어레이는 표면으로부터 반사되는 빛을 감지하도록 배열된다. 기판을 통해 채널이 에칭되어 광원으로부터의 빛이 기판을 통과하여 표면에 도달하도록 한다.

Description

백라이팅을 가지는 이차원 접촉 이미지 센서{TWO DIMENSIONAL CONTACT IMAGE SENSOR WITH BACKLIGHTING}
본 발명은 일반적으로는 이미지 센서에 관한 것이며, 좀더 상세하게는, 스캔되는 표면에 접촉 가능한 자체 발광 이미지 센서에 관한 것이다.
이미지 센서를 이용하여 표면을 스캔하는 응용 분야는 다수 존재한다. 이들 중 많은 응용 분야에 있어서, 이미지 센서는 표면에 가까이 위치하거나 접촉하는 것이 유리하다.
표면에 가까이 위치하거나 접촉하는 종래의 이미지 센서들은 일반적으로 일차원적이다. 이러한 이미지 센서들에서 일차원 포토디텍터 어레이를 사용하는 이유는 광원으로부터 표면에 포토디텍터 어레이와 평행하게 빛을 비추기 위함이다. 표면의 이차원 이미지를 얻기 위해서 표면과 포토디텍터 어레이는 서로 상대적으로 움직이게 된다.
조밀하게 배열된 도트 패턴을 이용하여 표면을 코딩하는 응용 분야 또한 존재한다. 이러한 도트 패턴은 일반적으로 표면 상의 최소한 하나의 위치를 인코딩한다.
이러한 패턴들 중 한 예는 120 마이크론 간격으로 배열된 도트들을 이용한다. 두 도트 간의 최소 샘플링 레이트를 얻기 위해서는 60 마이크론의 크기, 또는 최소 423ppi(pixels per inch)의 해상도를 가지는 포토디텍터가 필요하다. 이러한 도트 패턴은 이차원 패턴이며, 특정한 한 경우에서는 각 100픽셀 x 100 픽셀의 크기를 가지는 패턴을 사용한다.
이미지 센서의 이차원적 크기가 감지할 패턴의 크기에 대응하여 증가함에 따라, 표면에 빛을 가하는 것이 더욱 어려워진다. 특히, 이미지 센서로 인해 일반적으로 빛이 센서의 중앙부 아래의 표면에 도달하지 못하고 차단되게 된다. 전형적인 해결책은 센서가 표면에 닿지 않게 배열하는 것이지만, 이러한 방법은 센서의 초점을 맞추는 과정에 문제를 야기한다.
따라서, 가능한 한 얇고, 최소한 하나의 도트 패턴 전체를 감지할 수 있는 시야각을 가지며, 자체 발광하는 이차원 이미지 센서의 필요가 존재한다.
따라서 본 발명의 목적은 종래 기술에 의한 배열의 하나 또는 그 이상의 단점을 극복하거나 최소한 개선하려는 것이다.
본 발명에서 개시하는 첫번째 측면에 따르면, 실리콘 기판; 상기 실리콘 기판 상에 형성된 포토디텍터 어레이; 및 빛이 상기 기판을 통과하여 표면에 닿을 수 있도록 상기 실리콘 기판에 에칭되는 채널을 포함하며, 상기 포토디텍터 어레이는 상기 표면으로부터의 빛의 반사를 탐지하도록 배열된 것을 특징으로 하는 이미지 센서가 제공된다.
본 발명에서 개시하는 두번째 측면에 따르면, 포토디텍터 어레이 및 상기 포토디텍터 어레이의 제 1측(side)에 배열되어, 상기 포토디텍터 어레이를 통하여 최소한 상기 포토디텍터 어레이의 제 2측(side)의 평면으로 빛을 발산하는 광원을 포함하며, 상기 포토디텍터 어레이는 상기 표면으로부터의 빛의 반사를 감지하도록 배열된 것을 특징으로 하는 이미지 센서가 제공된다.
본 발명에서 개시하는 또 다른 측면에 따르면, 상기 포토디텍터의 제 1측을 지향하는 포토디텍터 어레이; 상기 포토디텍터 어레이의 상기 제 1측을 지향하며 제 2 파장을 가지는 빛으로 조광되었을 때 제 1 파장의 빛을 방출하는 하나 또는 그 이상의 발광기; 상기 2 파장을 가지는 빛으로 상기 하나 또는 그 이상의 발광기를 조광하는 광원; 및 상기 2 파장을 가지는 빛이 상기 포토디텍터를 조광하지 않도록 하기 위한 필터로 구성되는 이미지 센서가 제공된다.
본 발명의 다른 측면들은 하기와 같다.
선택적으로, 본 발명의 이미지 센서는 상기 포토디텍터 어레이가 상기 표면으로부터 간격을 가지도록 하기 위한 스페이서(spacer)를 더 포함한다.
선택적으로, 본 발명의 이미지 센서는 상기 포토디텍터 어레이의 제 1측에 배열되는 산광기(diffuser)를 더 포함하며, 상기 산광기를 내부적으로 조광하기 위한 광원이 상기 산광기와 연관되고, 상기 산광기에서 누출되는 빛이 상기 기판을 통과하여 상기 표면에 도달하는 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 상기 채널은 반사성 측벽을 가진다.
선택적으로, 본 발명의 이미지 센서는 각 포토디텍터의 시야각을 제어하기 위해 각 포토디텍터와 연관되는 조리개(aperture)와 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 상기스페이서는 상기 포토디텍터 어레이와 상기 표면 사이에 위치하는 최소한 부분적으로 불투명한 평면 레이어이며, 상기 최소한 부분적으로 불투명한 평면 레이어는 상기 채널에 대응하며 상기 채널을 통과한 빛이 통과하여 표면에 이르는 제 1 경로와, 상기 포토디텍터에 대응하며 빛이 상기 표면으로부터 상기 포토디텍터로 통과하는 제 2 경로를 가지는 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 본 발명의 이미지 센서는 빛을 상기 포토디텍터 어레이쪽으로 유도하기 위해 상기 산광기와 연관되는 반사성 레이어를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 또 다른 측면에서, 본 발명의 이미지 센서는 포토디텍터 어레이 및 상기 포토디텍터 어레이의 제 1측에 배열되어, 상기 포토디텍터 어레이를 통하여 최소한 상기 포토디텍터 어레이의 제 2측의 평면으로 빛을 발산하는 광원을 포함하며, 상기 포토디텍터 어레이는 상기 표면으로부터의 빛의 반사를 감지하도록 배열된 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 본 발명의 이미지 센서는 상기 포토디텍터 어레이의 제 2측에 배열되며, 상기 포토디텍터 어레이가 상기 표면으로부터 간격을 가지도록 하기 위한 스페이서(spacer)를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 본 발명의 이미지 센서는 상기 포토디텍터 어레이의 상기 제 1측에 배열되는 산광기(diffuser)를 더 포함하며, 상기 산광기를 내부적으로 조광하기 위한 광원이 상기 산광기와 연관되고, 상기 산광기에서 누출되는 빛이 상기 포토디텍터를 통과하여 상기 표면에 도달하는 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 본 발명의 이미지 센서는 상기 산광기에서 누출된 빛이 상기 포토디텍터 어레이를 조광하는 것을 방지하기 위한 불투명 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 상기 포토디텍터 어레이는 실리콘 웨이퍼로 제조되며, 상기 실리콘 웨이퍼 뭉치가 상기 불투명 커버를 형성하는 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 상기 포토디텍터 어레이는 실리콘 웨이퍼로 제조되며, 상기 실리콘 웨이퍼 뭉치는 빛이 상기 포토디텍터 어레이의 상기 제1측으로부터 통과할 수 있도록 에칭된 채널을 포함하는 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 상기 채널은 반사성 측벽을 갖는 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 본 발명의 이미지 센서는 각 포토디텍터의 시야각을 제어하기 위해 상기 각 포토디텍터와 연관되는 조리개(aperture)와 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 본 발명의 이미지 센서는 상기 포토디텍터 어레이의 제 2측에 배열되어 상기 포토디텍터 어레이가 상기 표면으로부터 간격을 가지도록 하기 위한 스페이서를 더 포함하며, 상기 스페이서는 최소한 부분적으로 불투명한 평면 레이어이고, 상기 채널에 대응하며 상기 제 1측으로부터 상기 표면으로 빛이 통과하도록 하는 제 1 경로와, 상기 포토디텍터에 대응하며 상기 표면으로부터 상기 포토디텍터로 빛이 통과하도록 하는 제 2 경로를 가지는 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 본 발명의 이미지 센서는 빛을 상기 포토디텍터 어레이 쪽으로 유도하기 위해 상기 산광기와 연관되는 반사성 레이어를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 본 발명의 이미지 센서는 상기 포토디텍터 어레이와 연관되어 배열되고 산란된 포톤을 탐지하기 위한 제 2 포토디텍터 어레이와, 상기 제 2 포토디텍터 어레이로부터의 신호를 바탕으로 상기 포토디텍터 어레이로부터의 신호를 변화시키기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 상기 하나 또는 그 이상의 발광기는 상기 포토디텍터와 교차하여 배열된다.
선택적으로, 상기 필터는 상기 포토디텍터 어레이와 상기 하나 또는 그 이상의 발광기 사이에 레이어로서 배열된다.
선택적으로, 본 발명의 이미지 센서는 상기 제 2 파장의 빛이 상기 포토디텍터 어레이의 상기 제 1측을 조광하는 것을 방지하기 위한 제 2 필터를 더 포함하며 상기 포토디텍터 어레이는 상기 표면으로부터의 빛의 반사를 감지하는 것을 특징으로 한다.
선택적으로, 본 발명의 이미지 센서는 상기 광원으로부터 상기 하나 또는 그 이상의 발광기로 빛을 유도하기 위해 상기 필터들 사이에 위치하는 투명 레이어를 더 포함한다.
선택적으로, 상기 투명 레이어는 상기 포토디텍터 어레이가 상기 표면으로부터 간격을 갖기 위한 스페이서로 작용한다.
선택적으로, 본 발명의 이미지 센서는 상기 하나 또는 그 이상의 발광기로부터의 빛이 상기 포토디텍터 어레이를 조과하지 않도록 불투명 덮개를 더 포함한다.
선택적으로, 상기 하나 또는 그 이상의 발광기는 상기 필터에 프린트되며 상기 포토디텍터 어레이의 상기 제 1측을 지향한다.
선택적으로, 상기 제 1 파장을 가지는 빛은 적외선이고, 상기 제 2 파장을 가지는 빛은 자외선이다.
도 1은 백라이트를 가지는 2차원 이미지 센서의 단면도이다. 도 2는 실리콘 웨이퍼에 포토디텍터 어레이가 형성된, 백라이트를 가지는 2차원 이미지 센서의 단면도이다. 도 3은 도 2에 도시된 2차원 이미지 센서의 실리콘 웨이퍼를 보여주는 평면도이다. 도 4는 프론트라이트를 가지는 2차원 이미지 센서의 단면도이다. 도 5는 도 4에 도시된 이미지 센서(200)의 평면도이다.
본 발명의 하나 또는 그 이상의 실시예를 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
첨부된 하나 또는 그 이상의 도면에서 같은 참조 번호를 갖는 특성을 참조하는 경우, 달리 의도되는 기술이 없는 한, 이러한 특성들은 동일한 기능을 기술하기 위한 목적이다.
도 1은 백라이트를 가지는 2차원 이미지 센서(100)의 단면도이다. 상기 이미지 센서(100)는 광 다이오드 또는 픽셀 센서로도 알려진 포토디텍터 어레이(120)를 포함하며, 각 포토디텍터 어레이(120)는 포토디텍터 어레이(120)에서 감지된 조사량을 기초로 하여 신호를 제공한다. 예시를 쉽게 하기 위하여 도시된 이미지 센서(100)는 두 열의 포토디텍터(120)만을 포함하고 있으나 본 발명 분야에 익숙한 당업자는 이미지 센서(100)에 포함된 포토디텍터(120)의 개수가 그 응용에 따라 결정된다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
상기 이미지 센서(100)에는 포토디텍터 어레이(120)가 아래의 표면(110)으로부터 간격을 가지도록 하기 위한 스페이서(150)가 포토디텍터 어레이(120)의 아래에 제공된다. 바람직한 실시예에서 상기 스페이서(150)는 투명 레이어이다.
이미지 센서(100)의 백라이트는 상기 포토디텍터 어레이(120)에 부착된 산란 투과 매체(130)에 의해 제공된다. 상기 산란 투과 매체(130)에 산란 투과 매체(130)의 하나 또는 그 이상의 가장자리를 따라 배열된 하나 또는 그 이상의 발광 다이오드(LED)(135)에 의해 빛을 비추게 된다. LED(135)에 의해 방출된 빛은 산란 투과 매체(130) 내에서 반사되어 빛을 산란 투과 매체(130)를 통해 전파시킨다. 빛 중 일부는 산란 투과 매체(130)의 평면 표면으로 누출된다. 빛이 위쪽(하부 평면(110)에서 멀어지는 방향)으로 누출되는 것을 방지하기 위해, 산란 투과 매체(130)에는 반사 레이어(140)가 산란 투과 매체(130)의 상부 평면 표면에 제공된다. 반사 레이어(140)는 포토디텍터 어레이(120)와 하부 평면(110)으로 빛을 재반사시킨다.
또한, 각 포토디텍터(120)에는 포토디텍터(120)에 산란 투과 매체(130)로부터의 빛이 직접 비추어지지 않도록 덮개(125)가 제공된다. 이러한 방식으로, 포토디텍터(120)는 하부 평면(110)으로부터 반사된 빛에만 반응하게 된다.
도 2는 실리콘 웨이퍼에 포토디텍터 어레이(120)가 형성된, 백라이트를 가지는 2차원 이미지 센서(101)의 단면도이다. 이 실시예에서, 실리콘 웨이퍼의 뭉치(190)가 덮개(125)(도 1)로 작용하여 포토디텍터(120)에 산란 투과 매체(130)로부터의 빛이 직접 비추어지지 않도록 한다.
도 3은 도 2에 도시된 2차원 이미지 센서(101)의 실리콘 웨이퍼를 보여주는 평면도이다. 도 2와 도 3을 참조하면, 실리콘 웨이퍼를 통해 채널(180)이 에칭되어 빛이 산란 투과 매체(130)로부터 하부 평면(110)으로 전달되도록 한다. 바람직한 실시예에서는, 에칭된 채널(180)의 측벽이 반사성으로 형성되어 채널이 부분적으로 광 파이프와 같은 역할을 하게 된다.
다시 도 1과 도 2를 참조하면, 산란 투과 매체(130)로부터 누출된 빛은 포토디텍터(120)를 지나 투명 레이어(150)을 통과하여 하부 평면(110)에 도달하게 된다. 하부 평면(110)은 빛 흡수 영역(111)과 빛 반사 영역(112)을 가지고 있다. 빛 흡수 영역(111)은 빛을 흡수하는 반면에 빛 반사 영역(112)은 그 영역에 비추어지는 빛을 반사한다. 하부 평면(110)이 빛을 약간 산란시킴에 따라 빛 반사 영역(112) 위에 위치한 하나 또는 그 이상의 포토디텍터(120)가 빛을 탐지하여 이에 해당하는 신호를 제공한다.
투명 레이어(150)의 두께에 의해 정의되는 포토디텍터(120)로부터 하부 평면(110)까지의 거리가 각각의 포토디텍터(120) 영역보다 상당히 크기 때문에, 이미지 센서의 한 실시예(미도시)에서는 각 포토디텍터(120)에 조리개와 렌즈가 제공된다. 조리개와 렌즈는 포토디텍터(120)의 시야각을 제한하며, 이에 따라 이미지 센서에 캡처되는 이미지가 번지는 현상을 최소화한다.
또 다른 실시예(미도시)에서는, 포토디텍터(120)의 영역을 감소시키고 각 포토디텍터(120)를 부가적인 포토디텍터로, 예를 들어 동심 실린더 형태로, 둘러쌈으로써 번짐을 최소화한다. 부가적인 포토디텍터는 산란된 포톤을 감지하며 포토디텍터(120)의 출력 신호는 각 포토디텍터(120)에 관련된 부가적인 포토디텍터의 신호 출력을 바탕으로 변경된다.
또 다른 실시예(미도시)에서는, 스페이서(150)를 이루는 실리콘 레이어를 이용하여 번짐을 최소화한다. 실리콘 레이어를 통하여 조광 및 포토디텍터 광 채널이 에칭되어 있다. 도 2를 참조하면, 포토디텍터(120)에 대응하는 채널 또는 경로가 하부 평면(110)으로부터 상기 포토디텍터(120)까지 빛을 전달하기 위해 제공될 뿐 아니라, 채널(180)에 대응하는 채널 또는 경로가 산란 투과 매체(130)로부터 하부 평면(110)까지 빛이 지날 수 있도록 제공된다.
또 다른 실시예(미도시)에서는, 백라이팅을 허용하기 위한 후면 에칭을 회피하기 위하여, 큰 영역의 적외선노드가 이미지 센서의 전체 면에 증착될 수 있으며, 이때 금속 마스크를 캐소드로 사용한다.
도 4는 프론트라이트를 가지는 2차원 이미지 센서(200)의 단면도이다. 상기 이미지 센서(200)는 또한 각 포토디텍터 어레이(220)에 비춰지는 조광량에 기반하여 신호를 제공하기 위한 포토디텍터 어레이(220)를 포함한다.
이미지 센서(200)의 전면광은 자외선 자극(UV-stimulated) 형광(또는 인광) 적외선 발광기(230)에 의해 제공된다. 발광기(230)가 자외선으로 조광될 때 적외선 조광을 방사함으로써 발광기(230)가 작동하게 된다.
도 5는 도 4에 도시된 이미지 센서(200)의 평면도로서 빛이 포토디텍터(220)를 지나도록 하는 발광기(230) 내 조리개들의 공간적 관계를 나타낸다. 도 5를 참조하면, 발광기(230)는 포토디텍터 어레이(220)의 하부에 배열되며 자외선 통합 레이어(240)를 통해 하부 표면(210)을 대향한다. 자외선 통합 레이어(240)는 상기 자외선 통합 레이어(240)의 하나 또는 그 이상의 모서리를 따라 배열되는 하나 또는 그 이상의 자외선 광 다이오드(UV LED)(235)에 의해 조광된다.
자외선 통합 레이어(240) 내부에서 반사된 자외선 뿐만 아니라 자외선 광 다이오드(235)로부터의 자외선이 포토디텍터 어레이(220)에 직접 조사되는 것을 방지하기 위해 포토디텍터 어레이(220)와 자외선 통합 레이어(240) 사이에 자외선 필터(251)가 제공된다. 제 2 자외선 필터(252)가 자외선 통합 레이어(240)의 하부 평면에 제공된다. 상기 자외선 필터(251, 252)는 자외선이 자외선 통합 레이어(240)를 탈출하지 못하게 하여 자외선 광 다이오드(235)로부터 방출된 자외선이 자외선 통합 레이어(240) 내부에서 반사되도록 한다. 자외선이 자외선 통합 레이어(240)를 탈출하지 못하도록 하기 위해 자외선 통합 레이어(240)의 모서리에 반사기(270)가 더 제공될 수 있다.
발광기(230)는 자외선을 흡수하고 적외선을 방출한다. 발광기(230)에는기(230)에서 방출된 적외선이 포토디텍터(220)에 직접 조광되는 것을 방지하기 위해 덮개(231)가 제공된다. 발광기(230)에서 방출된 적외선은 포토디텍터(220)를 직접 조광하는 대신, 자외선 통합 레이어(240)를 통과하고 하부 자외선 필터(252)를 지나 하부 표면(210)에 도달하게 된다.
하부 표면(210)은 적외선 흡수 영역(211)과 적외선 반사 영역(212)을 가지고 있다. 적외선 반사 영역(212)에서 반사된 적외선은 자외선 필터(252)를 지나 자외선 통합 레이어(240)를 통과하고 자외선 필터(251)를 지나 포토디텍터(220)에 도달하게 된다. 적외선 반사 영역(212) 위에 위치하는 하나 또는 그 이상의 포토디텍터(220)는 적외선을 감지하여 이에 해당하는 신호를 제공한다.
발광기(230)에 제공된 조리개의 크기를 감소시키거나, 발광기 레이어에서 포토디텍터까지의 거리를 증가시킴으로써, 예를 들어 자외선 필터(251) 및 덮개(231), 또는 필터 또는 덮개의 두께를 증가시키거나, 또는 두 방법을 모두 이용하여 각 포토디텍터(220)의 시야각을 감소시킬 수 있다.
바람직한 실시예에서, 적외선 발광기(230)가 제 1 자외선 필터(251)에 예를 들어 프린팅등에 의해 직접 증착된다. 좀더 구체적으로는, 적외선 반사(또는 적외선 흡수) 덮개 레이어(231)가 먼저 증착되고 다시 적외선 발광기(230) 자체가 증착된다.
이상 적외선 및 자외선 형광에 관하여 기술하였으나, 적절한 적외선 형광 또는 인광이 전면 조광으로 사용될 수 있다.
또 다른 실시예의 이미지 센서(200)는 자외선 필터(252)를 가지지 않는다. 이 경우, 자외선 자극 형광(또는 인광) 적외선 잉크가 하부 평면(210)에 제공된다.
상기 기술은 본 발명의 일부 실시예에 관한 것이며 본 발명을 예시할 목적이고 본 발명을 제한하지 않으며, 본 발명의 영역과 사상을 벗어나지 않고 수정 또는 변경이 가해질 수 있다.

Claims (18)

  1. 평면 실리콘 기판, 상기 평면 실리콘 기판의 제 2측 상에 형성된 포토디텍터 어레이, 각 포토디텍터의 시야각을 제어하기 위해 각 포토디텍터와 연관되는 조리개(aperture)와 렌즈, 그리고 빛이 상기 제 2측에 반대되는 위치의 제 1측으로부터 상기 제 2측으로 상기 평면 실리콘 기판을 통과하여 상기 제 1측 밑에 있는 표면에 닿을 수 있도록 상기 평면 실리콘 기판에 에칭되는 채널을 포함하며, 상기 포토디텍터 어레이는 상기 표면으로부터의 빛의 반사를 탐지하도록 배열된 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 포토디텍터 어레이가 상기 표면으로부터 간격을 가지도록 하기 위한 스페이서(spacer)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 포토디텍터 어레이의 상기 제 1측에 배열되는 산광기(diffuser)를 더 포함하며, 상기 산광기를 내부적으로 조광하기 위한 광원이 상기 산광기와 연관되고, 상기 산광기에서 누출되는 빛이 상기 제 1측으로부터 상기 제 2측으로 상기 평면 실리콘 기판을 통과하여 상기 표면 위에 도달하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 채널은 반사성 측벽을 갖는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
  5. 삭제
  6. 제 2항에 있어서,
    상기 스페이서는 상기 포토디텍터 어레이와 상기 표면 사이에 위치하는 최소한 부분적으로 불투명한 평면 레이어이며, 상기 최소한 부분적으로 불투명한 평면 레이어는 상기 채널에 대응하고 상기 채널을 통과한 빛이 통과하여 표면에 이르는 제 1 경로와, 상기 포토디텍터에 대응하며 빛이 상기 표면으로부터 상기 포토디텍터로 통과하는 제 2 경로를 가지는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
  7. 제 3항에 있어서,
    빛을 상기 포토디텍터 어레이 쪽으로 유도하기 위해 상기 산광기와 연관되는 반사성 레이어를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
  8. 삭제
  9. 삭제
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Families Citing this family (89)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8029186B2 (en) * 2004-11-05 2011-10-04 International Business Machines Corporation Method for thermal characterization under non-uniform heat load
US9411431B2 (en) * 2006-12-29 2016-08-09 Marvell World Trade Ltd. Tracking a position in relation to a surface
US8226194B1 (en) 2007-01-02 2012-07-24 Marvell International Ltd. Printing on planar or non-planar print surface with handheld printing device
US7949370B1 (en) 2007-01-03 2011-05-24 Marvell International Ltd. Scanner for a mobile device
US8077343B1 (en) 2007-01-03 2011-12-13 Marvell International Ltd. Determining end of print job in handheld image translation device
US8632266B1 (en) 2007-01-03 2014-01-21 Marvell International Ltd. Printer for a mobile device
US8342627B1 (en) 2007-01-11 2013-01-01 Marvell International Ltd. Adaptive filtering scheme in handheld positioning device
US8472066B1 (en) 2007-01-11 2013-06-25 Marvell International Ltd. Usage maps in image deposition devices
US8396654B1 (en) 2007-01-18 2013-03-12 Marvell International Ltd. Sensor positioning in handheld image translation device
US8223384B1 (en) 2007-02-23 2012-07-17 Marvell International Ltd. Defining a print image in memory for handheld image translation devices
EP2114688A1 (en) * 2007-02-23 2009-11-11 Marvell World Trade Ltd Determining positioning of a handheld image translation device
US8351062B2 (en) 2007-02-26 2013-01-08 Marvell World Trade Ltd. Bit selection from print image in memory of handheld image translation device
US8107108B1 (en) * 2007-02-28 2012-01-31 Marvell International Ltd. Providing user feedback in handheld device
JP5223122B2 (ja) * 2007-03-02 2013-06-26 マーベル ワールド トレード リミテッド 画像の動的なディザリング
US9294649B2 (en) * 2007-03-02 2016-03-22 Marvell World Trade Ltd. Position correction in handheld image translation device
US8096713B1 (en) 2007-03-02 2012-01-17 Marvell International Ltd. Managing project information with a hand-propelled device
US9180686B1 (en) 2007-04-05 2015-11-10 Marvell International Ltd. Image translation device providing navigational data feedback to communication device
KR101110389B1 (ko) * 2007-08-01 2012-02-24 실버브룩 리서치 피티와이 리미티드 백라이팅을 가지는 이차원 접촉 이미지 센서
US9555645B1 (en) 2007-08-07 2017-01-31 Marvell International Ltd. Controlling a plurality of nozzles of a handheld printer
TW200925866A (en) * 2007-09-21 2009-06-16 Silverbrook Res Pty Ltd Printer driver for interactive printer
US20090138296A1 (en) * 2007-11-27 2009-05-28 Ebay Inc. Context-based realtime advertising
US8151180B2 (en) * 2008-05-02 2012-04-03 Reagan Inventions, Llc System and method of embedding symbology in alphabetic letters and then linking the letters to a site or sites on the global computer network
US20090323134A1 (en) * 2008-06-30 2009-12-31 Kabushiki Kaisha Toshiba Apparatus and method for generating segmentation data of a scanned image
US9082673B2 (en) 2009-10-05 2015-07-14 Zena Technologies, Inc. Passivated upstanding nanostructures and methods of making the same
US8299472B2 (en) 2009-12-08 2012-10-30 Young-June Yu Active pixel sensor with nanowire structured photodetectors
US9000353B2 (en) 2010-06-22 2015-04-07 President And Fellows Of Harvard College Light absorption and filtering properties of vertically oriented semiconductor nano wires
US8791470B2 (en) * 2009-10-05 2014-07-29 Zena Technologies, Inc. Nano structured LEDs
US20100304061A1 (en) * 2009-05-26 2010-12-02 Zena Technologies, Inc. Fabrication of high aspect ratio features in a glass layer by etching
US9406709B2 (en) 2010-06-22 2016-08-02 President And Fellows Of Harvard College Methods for fabricating and using nanowires
US8889455B2 (en) * 2009-12-08 2014-11-18 Zena Technologies, Inc. Manufacturing nanowire photo-detector grown on a back-side illuminated image sensor
US20110115041A1 (en) * 2009-11-19 2011-05-19 Zena Technologies, Inc. Nanowire core-shell light pipes
US9515218B2 (en) * 2008-09-04 2016-12-06 Zena Technologies, Inc. Vertical pillar structured photovoltaic devices with mirrors and optical claddings
US8384007B2 (en) * 2009-10-07 2013-02-26 Zena Technologies, Inc. Nano wire based passive pixel image sensor
US9299866B2 (en) 2010-12-30 2016-03-29 Zena Technologies, Inc. Nanowire array based solar energy harvesting device
US8229255B2 (en) * 2008-09-04 2012-07-24 Zena Technologies, Inc. Optical waveguides in image sensors
US9478685B2 (en) 2014-06-23 2016-10-25 Zena Technologies, Inc. Vertical pillar structured infrared detector and fabrication method for the same
US8507840B2 (en) 2010-12-21 2013-08-13 Zena Technologies, Inc. Vertically structured passive pixel arrays and methods for fabricating the same
US8735797B2 (en) 2009-12-08 2014-05-27 Zena Technologies, Inc. Nanowire photo-detector grown on a back-side illuminated image sensor
US8835831B2 (en) 2010-06-22 2014-09-16 Zena Technologies, Inc. Polarized light detecting device and fabrication methods of the same
US8890271B2 (en) 2010-06-30 2014-11-18 Zena Technologies, Inc. Silicon nitride light pipes for image sensors
US8748799B2 (en) 2010-12-14 2014-06-10 Zena Technologies, Inc. Full color single pixel including doublet or quadruplet si nanowires for image sensors
US9343490B2 (en) 2013-08-09 2016-05-17 Zena Technologies, Inc. Nanowire structured color filter arrays and fabrication method of the same
US20100148221A1 (en) * 2008-11-13 2010-06-17 Zena Technologies, Inc. Vertical photogate (vpg) pixel structure with nanowires
US8519379B2 (en) 2009-12-08 2013-08-27 Zena Technologies, Inc. Nanowire structured photodiode with a surrounding epitaxially grown P or N layer
US8274039B2 (en) 2008-11-13 2012-09-25 Zena Technologies, Inc. Vertical waveguides with various functionality on integrated circuits
US8866065B2 (en) 2010-12-13 2014-10-21 Zena Technologies, Inc. Nanowire arrays comprising fluorescent nanowires
US8546742B2 (en) * 2009-06-04 2013-10-01 Zena Technologies, Inc. Array of nanowires in a single cavity with anti-reflective coating on substrate
US8269985B2 (en) 2009-05-26 2012-09-18 Zena Technologies, Inc. Determination of optimal diameters for nanowires
US8339467B2 (en) * 2010-03-25 2012-12-25 Dacuda Ag Synchronization of navigation and image information for handheld scanner
US8582182B2 (en) * 2009-05-20 2013-11-12 Dacuda Ag Automatic sizing of images acquired by a handheld scanner
US9300834B2 (en) 2009-05-20 2016-03-29 Dacuda Ag Image processing for handheld scanner
US8441696B2 (en) 2009-05-20 2013-05-14 Dacuda Ag Continuous scanning with a handheld scanner
US8441695B2 (en) * 2009-05-20 2013-05-14 Dacuda Ag Handheld scanner with high image quality
EP2264528A1 (en) * 2009-06-19 2010-12-22 ASML Netherlands B.V. Sensor and lithographic apparatus
US8497840B2 (en) * 2010-03-25 2013-07-30 Dacuda Ag Computer peripheral for scanning
US20120200742A1 (en) * 2010-09-21 2012-08-09 King Jim Co., Ltd. Image Processing System and Imaging Object Used For Same
CN101944000A (zh) * 2010-09-29 2011-01-12 华为技术有限公司 安置图标的方法和装置
EP2673735B1 (en) 2011-02-08 2019-05-15 Videojet Technologies Inc. Method of printing a product code with a modified character
US20130314728A1 (en) * 2011-02-08 2013-11-28 Videojet Technologies Inc. Method of printing a product code
JP2012185761A (ja) * 2011-03-08 2012-09-27 Konica Minolta Business Technologies Inc 画像形成装置、文書データの自動編集方法およびコンピュータプログラム
US8730518B2 (en) * 2011-08-18 2014-05-20 Raytheon Company Application of color imagery to a rewritable color surface
WO2013048532A1 (en) 2011-10-01 2013-04-04 Intel Corporation Using a graphics engine to process print requests
WO2013102759A2 (en) 2012-01-06 2013-07-11 Milan Momcilo Popovich Contact image sensor using switchable bragg gratings
US8964239B2 (en) * 2012-01-27 2015-02-24 Xerox Corporation Methods and systems for handling multiple documents while scanning
JP6053224B2 (ja) * 2012-03-23 2016-12-27 株式会社オプトエレクトロニクス 画像読取装置
WO2014018867A1 (en) * 2012-07-27 2014-01-30 The Neat Company, Inc. Portable document scanner having user interface and integrated communications means
US9413912B2 (en) 2012-10-26 2016-08-09 Abbyy Development Llc Scanning device having a bed cover including a pattern of repeated design elements
WO2015015138A1 (en) 2013-07-31 2015-02-05 Milan Momcilo Popovich Method and apparatus for contact image sensing
EP3039617B1 (en) 2013-08-31 2020-05-20 ML Netherlands C.V. User feedback for real-time checking and improving quality of scanned image
EP3089101A1 (en) 2013-12-03 2016-11-02 Dacuda AG User feedback for real-time checking and improving quality of scanned image
US10708491B2 (en) 2014-01-07 2020-07-07 Ml Netherlands C.V. Adaptive camera control for reducing motion blur during real-time image capture
US10410321B2 (en) 2014-01-07 2019-09-10 MN Netherlands C.V. Dynamic updating of a composite image
US10484561B2 (en) 2014-05-12 2019-11-19 Ml Netherlands C.V. Method and apparatus for scanning and printing a 3D object
US20150330897A1 (en) * 2014-05-14 2015-11-19 Semiconductor Components Industries, Llc Image sensor and method for measuring refractive index
US9513671B2 (en) 2014-08-01 2016-12-06 Microsoft Technology Licensing, Llc Peripheral retention device
US10191986B2 (en) 2014-08-11 2019-01-29 Microsoft Technology Licensing, Llc Web resource compatibility with web applications
US9705637B2 (en) 2014-08-19 2017-07-11 Microsoft Technology Licensing, Llc Guard band utilization for wireless data communication
US9524429B2 (en) 2014-08-21 2016-12-20 Microsoft Technology Licensing, Llc Enhanced interpretation of character arrangements
US9805483B2 (en) 2014-08-21 2017-10-31 Microsoft Technology Licensing, Llc Enhanced recognition of charted data
US9397723B2 (en) 2014-08-26 2016-07-19 Microsoft Technology Licensing, Llc Spread spectrum wireless over non-contiguous channels
US9424048B2 (en) 2014-09-15 2016-08-23 Microsoft Technology Licensing, Llc Inductive peripheral retention device
WO2016043750A1 (en) * 2014-09-18 2016-03-24 Halliburton Energy Services, Inc. Electrically conductive pattern printer for downhole tools
US9632226B2 (en) 2015-02-12 2017-04-25 Digilens Inc. Waveguide grating device
US10690916B2 (en) 2015-10-05 2020-06-23 Digilens Inc. Apparatus for providing waveguide displays with two-dimensional pupil expansion
EP3389004A4 (en) * 2015-12-08 2018-12-26 Konica Minolta, Inc. Optical fingerprint authentication device
TWI617991B (zh) * 2016-12-16 2018-03-11 陳冠傑 控制裝置及具有該控制裝置的可攜式載體
EP4004809A4 (en) 2019-07-25 2023-09-06 Blackdot, Inc. ROBOTIC TATTOO SYSTEMS AND RELATED TECHNOLOGIES
EP4022370A4 (en) 2019-08-29 2023-08-30 Digilens Inc. VACUUM BRAGG GRATINGS AND METHODS OF MANUFACTURING
JP2023143213A (ja) * 2022-03-25 2023-10-06 富士フイルムビジネスイノベーション株式会社 画像読取装置、画像形成装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4189753A (en) 1978-06-08 1980-02-19 Northern Telecom Limited Document scanning head
US5446290A (en) 1993-05-13 1995-08-29 Nec Corporation Fingerprint image input device having an image sensor with openings
JPH0855975A (ja) * 1994-08-12 1996-02-27 Fuji Xerox Co Ltd 画像読取装置
EP1801750A1 (en) * 2004-10-04 2007-06-27 Hitachi, Ltd. Personal identification device

Family Cites Families (127)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5227658Y2 (ko) * 1974-10-14 1977-06-23
US4777534A (en) * 1986-09-29 1988-10-11 Energy Conversion Devices, Inc. Light piping substrate for contact type image replication
EP0168592B1 (de) * 1984-05-29 1988-08-03 Siemens Aktiengesellschaft Gerät zum Abtasten und/oder Bedrucken von Aufzeichnungsträgern
US4864618A (en) * 1986-11-26 1989-09-05 Wright Technologies, L.P. Automated transaction system with modular printhead having print authentication feature
US4838791A (en) * 1988-05-26 1989-06-13 Xerox Corporation Magnetic tracking aid for a hand held scanner
US4920421A (en) * 1988-10-13 1990-04-24 Xerox Corporation Simultaneous read/write copier
US4942621A (en) * 1988-11-15 1990-07-17 Msc Technologies, Inc. Method for mapping scanned pixel data
US5051736A (en) 1989-06-28 1991-09-24 International Business Machines Corporation Optical stylus and passive digitizing tablet data input system
JPH0328759U (ko) * 1989-07-27 1991-03-22
US5162916A (en) * 1990-07-02 1992-11-10 Xerox Corporation Compact read/write scanner
US5267056A (en) * 1991-01-03 1993-11-30 Xerox Corporation Right reading image for read/write components co-mounted on a single X-Y carriage
FR2674687B1 (fr) * 1991-03-26 1997-01-03 Alsthom Cge Alcatel Generateur electrochimique amorcable au lithium/trifluorure de brome.
US5477012A (en) * 1992-04-03 1995-12-19 Sekendur; Oral F. Optical position determination
US5852434A (en) 1992-04-03 1998-12-22 Sekendur; Oral F. Absolute optical position determination
US5652412A (en) * 1994-07-11 1997-07-29 Sia Technology Corp. Pen and paper information recording system
JPH0837288A (ja) * 1994-07-22 1996-02-06 Fuji Xerox Co Ltd 画像読取装置
GB2292146A (en) * 1994-08-11 1996-02-14 Merck & Co Inc HIV protease inhibitors useful for the treatment of AIDS
AUPM822394A0 (en) * 1994-09-16 1994-10-13 Canon Inc. Object based rendering system
US5661506A (en) 1994-11-10 1997-08-26 Sia Technology Corporation Pen and paper information recording system using an imaging pen
US5879866A (en) * 1994-12-19 1999-03-09 International Business Machines Corporation Image recording process with improved image tolerances using embedded AR coatings
US5768586A (en) * 1995-01-10 1998-06-16 Peoplesoft, Inc. Net change management for object-oriented modeling
IL114367A (en) * 1995-06-27 1999-11-30 Wizcom Technologies Ltd Hand-holdable optical scanner particularly useful as electronic translator
CN1071472C (zh) * 1995-09-14 2001-09-19 佳能株式会社 扫描头卡座和能在其上安装这种扫描头卡座的信息处理设备
US6081261A (en) 1995-11-01 2000-06-27 Ricoh Corporation Manual entry interactive paper and electronic document handling and processing system
JPH09214684A (ja) * 1995-12-01 1997-08-15 Oki Data:Kk 複写装置と画像読取機と画像記録機
US5710582A (en) 1995-12-07 1998-01-20 Xerox Corporation Hybrid ink jet printer
US5751444A (en) * 1995-12-18 1998-05-12 Adobe Systems Incorporated Imaging apparatus for copying bound documents
US5692073A (en) * 1996-05-03 1997-11-25 Xerox Corporation Formless forms and paper web using a reference-based mark extraction technique
PL330188A1 (en) * 1996-05-29 1999-04-26 Deutsche Telekom Ag Information entering apparatus
DE69737495T2 (de) * 1997-04-14 2008-01-10 Hewlett-Packard Development Company, L.P., Houston Verfahren und Vorrichtung zur Bildabtastung
US5916672A (en) * 1997-04-25 1999-06-29 Brunswick Corporation Thermoplastic multi-layer composite structure
US6055920A (en) * 1997-05-22 2000-05-02 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Sewing machine with both needle bar rocking and thread tension releasing mechanisms actuated by single actuator
DE69816185T2 (de) * 1997-06-12 2004-04-15 Hewlett-Packard Co. (N.D.Ges.D.Staates Delaware), Palo Alto Bildverarbeitungsverfahren und -vorrichtung
KR100222988B1 (ko) * 1997-07-15 1999-10-01 윤종용 셔틀방식 스캐너의 스캐닝헤드 정렬공차 보정방법 및 그 장치
US6518950B1 (en) 1997-10-07 2003-02-11 Interval Research Corporation Methods and systems for providing human/computer interfaces
US6109722A (en) * 1997-11-17 2000-08-29 Hewlett-Packard Company Ink jet printing system with pen alignment and method
US6002124A (en) * 1998-03-20 1999-12-14 Hewlett-Packard Company Portable image scanner with optical position sensors
WO1999050736A1 (en) 1998-04-01 1999-10-07 Xerox Corporation Paper indexing of recordings
US6241288B1 (en) 1998-04-02 2001-06-05 Precise Biometrics Ab Fingerprint identification/verification system
US6297888B1 (en) * 1998-05-04 2001-10-02 Canon Kabushiki Kaisha Automatic alignment of print heads
US6560374B1 (en) 1998-06-11 2003-05-06 Fuji Photo Film Co., Ltd. Image processing apparatus
TW462018B (en) * 1998-09-15 2001-11-01 Abera Systems Corp Improvements and enhancements for notetaking and recording apparatus, system and process
US6964374B1 (en) 1998-10-02 2005-11-15 Lucent Technologies Inc. Retrieval and manipulation of electronically stored information via pointers embedded in the associated printed material
US7236271B2 (en) * 1998-11-09 2007-06-26 Silverbrook Research Pty Ltd Mobile telecommunication device with printhead and media drive
US6149256A (en) * 1998-11-24 2000-11-21 Eastman Kodak Company Insertable cartridge for digital camera with ink jet printer
US7356482B2 (en) * 1998-12-18 2008-04-08 Alternative Systems, Inc. Integrated change management unit
US6341287B1 (en) * 1998-12-18 2002-01-22 Alternative Systems, Inc. Integrated change management unit
US6878922B1 (en) * 1998-12-23 2005-04-12 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Optical system for compensating for non-uniform illumination of an object
DE19859670A1 (de) * 1998-12-23 2000-06-29 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Abtastkopf und Verfahren zu dessen Herstellung
US6542263B2 (en) 1999-02-08 2003-04-01 Hewlett-Packard Company Automatic document feeder with improved sheet handling capabilities and method of feeding and scanning over-sized media sheets
US6667772B1 (en) 1999-05-13 2003-12-23 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Gimbal optical system for document image capture
AUPQ363299A0 (en) 1999-10-25 1999-11-18 Silverbrook Research Pty Ltd Paper based information inter face
US6830196B1 (en) 1999-05-25 2004-12-14 Silverbrook Research Pty Ltd Identity-coded surface region
AUPQ439299A0 (en) * 1999-12-01 1999-12-23 Silverbrook Research Pty Ltd Interface system
US7710408B2 (en) * 1999-08-30 2010-05-04 Anoto Ab Centralized information management based upon position information
US7176896B1 (en) 1999-08-30 2007-02-13 Anoto Ab Position code bearing notepad employing activation icons
US6393389B1 (en) * 1999-09-23 2002-05-21 Xerox Corporation Using ranked translation choices to obtain sequences indicating meaning of multi-token expressions
US6429422B1 (en) 1999-11-12 2002-08-06 Hewlett-Packard Company Scanner navigation system with variable aperture
GB2357209B (en) 1999-12-07 2004-04-14 Hewlett Packard Co Hand-held image capture apparatus
US6836555B2 (en) * 1999-12-23 2004-12-28 Anoto Ab Information management system with authenticity check
DE60103038T2 (de) * 2000-02-16 2004-09-02 Telefonaktiebolaget Lm Ericsson (Publ) Stiftdrucker
US7054487B2 (en) * 2000-02-18 2006-05-30 Anoto Ip Lic Handelsbolag Controlling and electronic device
US6992655B2 (en) * 2000-02-18 2006-01-31 Anoto Ab Input unit arrangement
JP3510996B2 (ja) * 2000-03-15 2004-03-29 株式会社ミツトヨ ダイヤルゲージ
US7415501B2 (en) * 2000-03-21 2008-08-19 Anoto Ab Online graphical message service
JP4197217B2 (ja) * 2000-05-08 2008-12-17 株式会社半導体エネルギー研究所 装置
US6965460B1 (en) 2000-08-08 2005-11-15 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Method and system for scanning an image using a look-down linear array scanner
JP4954404B2 (ja) * 2000-09-14 2012-06-13 株式会社半導体エネルギー研究所 表示装置
US7140543B2 (en) * 2000-11-24 2006-11-28 Metrologic Instruments, Inc. Planar light illumination and imaging device with modulated coherent illumination that reduces speckle noise induced by coherent illumination
US7077319B2 (en) 2000-11-24 2006-07-18 Metrologic Instruments, Inc. Imaging engine employing planar light illumination and linear imaging
US7649637B2 (en) * 2001-04-05 2010-01-19 Anoto Ab Method for printing a global position-coding pattern
US6517266B2 (en) * 2001-05-15 2003-02-11 Xerox Corporation Systems and methods for hand-held printing on a surface or medium
DE10124371A1 (de) * 2001-05-18 2002-11-21 Rohde & Schwarz Meßgerät mit über ein Blockdiagramm ansteuerbaren Funktionseinheiten
SE519352C2 (sv) * 2001-07-13 2003-02-18 Print Dreams Europe Ab Handhållen och handmanövrerad slumprörelseskrivanordning samt förfarande för skrivning med sådan.
US6964437B2 (en) * 2001-12-14 2005-11-15 Superba (Societa Anonyme) Process and device for knotting a yarn on a spool
TW536084U (en) * 2001-12-31 2003-06-01 Veutron Corp Image scanning device using excited fluorescence as top light source
US6956460B2 (en) * 2002-01-15 2005-10-18 Tsui Philip Y W Transmitter for operating rolling code receivers
US6806453B1 (en) * 2002-01-17 2004-10-19 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Scanning, copying, and printing with rewritable media
US7031787B2 (en) * 2002-03-21 2006-04-18 Sap Aktiengesellschaft Change management
US7231228B2 (en) * 2002-07-30 2007-06-12 Symbol Technologies, Inc. System and method for voice/data messaging application
US6908168B2 (en) * 2002-08-21 2005-06-21 Canon Kabushiki Kaisha Inkjet printing apparatus, inkjet printing method and program
DE10253174A1 (de) * 2002-11-14 2004-06-03 Siemens Ag Vorrichtung zur Entwicklung und/oder Konfiguration eines Automatisierungssystems
US20040181425A1 (en) * 2003-03-14 2004-09-16 Sven Schwerin-Wenzel Change Management
US7465961B2 (en) * 2003-03-25 2008-12-16 Sharp Kabushiki Kaisha Electronic equipment, backlight structure and keypad for electronic equipment
WO2004090798A1 (en) * 2003-04-07 2004-10-21 Silverbrook Research Pty Ltd Sensing device for coded data
JP2004333342A (ja) * 2003-05-09 2004-11-25 Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd 投影型エンコーダ
JP4504369B2 (ja) * 2003-06-13 2010-07-14 アノト アクティエボラーク コーディングパターンのオンデマンド印刷
US20040267689A1 (en) * 2003-06-26 2004-12-30 Delphi Technologies Inc. Change management system
JP2005072662A (ja) * 2003-08-25 2005-03-17 Sharp Corp 透光板および透光板の製造方法、並びに透光板を用いた画像入力装置
JP4553344B2 (ja) * 2003-09-04 2010-09-29 キヤノン株式会社 記録装置
JP4647264B2 (ja) * 2003-09-16 2011-03-09 オセ−テクノロジーズ・ベー・ヴエー インク画像を受け取り材料に付着する方法およびプリンタ
US7168776B2 (en) 2003-10-24 2007-01-30 Seiko Epson Corporation Printing apparatus, computer-readable storage medium, printing system, and printing method
US7517041B2 (en) * 2003-11-19 2009-04-14 Donald J Palmer Printing and detecting a fixer pattern on a medium
JP4385744B2 (ja) * 2003-11-28 2009-12-16 株式会社日立製作所 記載内容改ざん防止機能つき電子ペン利用書類記入システム
US7246958B2 (en) * 2003-12-18 2007-07-24 Xerox Corporation Hand-propelled wand printer
GB2409735A (en) * 2003-12-30 2005-07-06 Ibm Method and system for change management of interfaces in distributed computer systems
CA2559271A1 (en) * 2004-03-12 2005-09-22 Ingenia Technology Limited Methods and apparatuses for creating authenticatable printed articles and subsequently verifying them
US7342575B1 (en) 2004-04-06 2008-03-11 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Electronic writing systems and methods
JP4996461B2 (ja) * 2004-06-28 2012-08-08 アノト アクティエボラーク データのコーディングおよび復号化
JP4208780B2 (ja) * 2004-07-07 2009-01-14 キヤノン株式会社 画像処理システム及び画像処理装置の制御方法並びにプログラム
US7656395B2 (en) * 2004-07-15 2010-02-02 Microsoft Corporation Methods and apparatuses for compound tracking systems
JP4592067B2 (ja) * 2004-08-18 2010-12-01 キヤノン株式会社 インクジェット記録装置及び該装置の記録位置設定方法
US7574483B1 (en) * 2004-09-17 2009-08-11 American Express Travel Related Services Company, Inc. System and method for change management process automation
JP2006088509A (ja) 2004-09-24 2006-04-06 Seiko Epson Corp 印刷装置、印刷方法および印刷プログラム
US8838591B2 (en) 2005-08-23 2014-09-16 Ricoh Co., Ltd. Embedding hot spots in electronic documents
US7578444B2 (en) * 2004-10-29 2009-08-25 Symbol Technologies Inc Methods and apparatus for dynamic signal processing
US7180044B2 (en) * 2004-12-03 2007-02-20 United Microelectronics Corp. Image sensor device with color filters and manufacturing method thereof
US7204418B2 (en) 2004-12-08 2007-04-17 Symbol Technologies, Inc. Pulsed illumination in imaging reader
US7367509B2 (en) 2004-12-29 2008-05-06 Symbol Technologies, Inc. Methods and apparatus for swipe or presentation image scanning
US20060250640A1 (en) * 2005-05-09 2006-11-09 Silverbrook Research Pty Ltd Method of reading coded data from a print medium before printing
JP2006321043A (ja) 2005-05-17 2006-11-30 Milwaukee Electric Tool Corp 動力工具、バッテリ、充電器、およびそれらを動作させる方法
US20060291008A1 (en) * 2005-06-22 2006-12-28 Xerox Corporation System for adjusting a reference voltage in a photosensor chip
WO2007039444A1 (en) 2005-09-20 2007-04-12 Agfa Graphics Nv A method and apparatus for automatically aligning arrays of printing elements
JP4366389B2 (ja) * 2005-12-15 2009-11-18 キヤノン株式会社 記録装置および記録方法
US7699227B2 (en) * 2006-01-13 2010-04-20 Hand Held Products, Inc. Optical reader
KR100790982B1 (ko) * 2006-02-14 2008-01-03 삼성전자주식회사 옵티컬 블랙 화소들의 리셋 신호 레벨들의 평균값을이용하여 활성 화소의 리셋 신호 레벨을 보정하는 이미지센서 및 이미지 센서의 활성 화소의 리셋 신호 레벨보정방법
US8887133B2 (en) * 2006-04-28 2014-11-11 Bmc Software, Inc. Bi-directional communication between change management tool and implementation tools
US7784933B2 (en) * 2006-06-29 2010-08-31 Lexmark International, Inc. Smart projector guides for handprinters
FR2906079B1 (fr) * 2006-09-19 2009-02-20 E2V Semiconductors Soc Par Act Capteur d'image en couleur a colorimetrie amelioree
US7876472B2 (en) * 2006-10-12 2011-01-25 Ricoh Co. Ltd. Handheld printer and method of operation
JP2008168620A (ja) * 2006-12-11 2008-07-24 Canon Inc インクジェット記録装置およびインクジェット記録方法
US7761530B2 (en) * 2007-05-07 2010-07-20 Microsoft Corporation Configuration change management tool
KR101110389B1 (ko) * 2007-08-01 2012-02-24 실버브룩 리서치 피티와이 리미티드 백라이팅을 가지는 이차원 접촉 이미지 센서
US8196136B2 (en) * 2007-09-28 2012-06-05 Microsoft Corporation Configuration and change management system with restore points
US8276152B2 (en) * 2007-12-05 2012-09-25 Microsoft Corporation Validation of the change orders to an I T environment
US20090192884A1 (en) * 2008-01-28 2009-07-30 Ren-Yi Lo Method and system for incentive-based knowledge-integrated collaborative change management
US8339467B2 (en) * 2010-03-25 2012-12-25 Dacuda Ag Synchronization of navigation and image information for handheld scanner

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4189753A (en) 1978-06-08 1980-02-19 Northern Telecom Limited Document scanning head
US5446290A (en) 1993-05-13 1995-08-29 Nec Corporation Fingerprint image input device having an image sensor with openings
JPH0855975A (ja) * 1994-08-12 1996-02-27 Fuji Xerox Co Ltd 画像読取装置
EP1801750A1 (en) * 2004-10-04 2007-06-27 Hitachi, Ltd. Personal identification device

Also Published As

Publication number Publication date
US8139902B2 (en) 2012-03-20
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