JP5457742B2 - 光電式エンコーダ - Google Patents
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Description
110、210、410、510、610、710、810…スケール
112、212、412、512、612、712、812…スケール基材
114、214、414、514、614、714、814…光学格子
120、220、420、520、620、720、820…検出器ユニット
122、222、322、422、522、622、722、822…ユニット基材
124、224、324、424、524、624、724、824…有機EL素子
126、226、326、426、526、826…両側テレセントリック受光部
128、228、428、528、628、728、828…アレイ型センサ
130、230、430、830…両側テレセントリック光学系
132、232、432、632、832…第1レンズ
134、234、434、634、734、834…絞り板
136、236、436、836…第2レンズ
438…スペーサ
530…両側テレセントリック光学系群
532…第1レンズアレイ
534…絞りアレイ
536…第2レンズアレイ
626、726…受光部
630…片側テレセントリック光学系
Claims (10)
- 光学格子が設けられたスケールと、該スケールに対峙して測定軸方向に相対移動可能に配置される検出器ユニットと、を有する光電式エンコーダにおいて、
前記スケールに対峙して前記光学格子に光を照射する面発光光源と、
該光学格子で変調された光を前記検出器ユニットの受光面に結像させる結像光学系と、
を前記検出器ユニットに備え、
前記面発光光源は前記スケールに対して前記結像光学系と同じ側に配置され、前記光学格子に照射された光は変調されて反射され、
前記面発光光源は、前記結像光学系による光路の外側であって、該結像光学系の外周の両側に配置されていることを特徴とする光電式エンコーダ。 - 前記面発光光源は有機EL素子で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の光電式エンコーダ。
- 前記スケールに対峙する前記面発光光源の少なくとも一部の発光面の法線と、前記結像光学系の光軸とのなす角度が前記検出器ユニット側で鋭角となるように、該面発光光源が配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載の光電式エンコーダ。
- 前記結像光学系は、前記光学格子で変調された光の一部を遮断する絞り板を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
- 前記絞り板の開口は、前記測定軸方向で幅の狭いスリット形状であることを特徴とする請求項4に記載の光電式エンコーダ。
- 前記結像光学系は、前記光学格子で変調された光を屈折させるレンズを備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
- 前記レンズは、前記測定軸方向にのみ曲率があるシリンドリカルレンズであることを特徴とする請求項6に記載の光電式エンコーダ。
- 前記結像光学系は、光軸上の1つの前記レンズの焦点位置に1つの前記絞り板の開口を配置させる片側テレセントリック光学系とされていることを特徴とする請求項6又は7に記載の光電式エンコーダ。
- 前記結像光学系は、光軸上の2つの前記レンズの間の焦点位置に1つの前記絞り板の開口を配置させる両側テレセントリック光学系とされていることを特徴とする請求項6又は7に記載の光電式エンコーダ。
- 前記結像光学系は、前記測定軸方向に複数配置されていることを特徴とする請求項4乃至9のいずれかに記載の光電式エンコーダ。
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