KR101032435B1 - 엘이디 검사장치 및 이를 이용한 엘이디 검사방법 - Google Patents

엘이디 검사장치 및 이를 이용한 엘이디 검사방법 Download PDF

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Abstract

엘이디가 안착된 웨이퍼를 측정하는 측정부와 검사가 완료된 웨이퍼에서 엘이디를 적재 및 적재하는 언로딩부가 복수개의 층에 구획되어 구비되며, 측정부와 언로딩부를 가로질러 웨이퍼를 이동시키는 이동부를 포함하는 엘이디 검사장치가 개시된다. 이와 같이 복수의 층으로 형성된 엘이디 검사장치에 의하여 엘이디 검사장치의 크기 및 너비를 감소시킬 수 있으며, 검사장치가 설치되는 공간에 설치 개수를 증가시킬 수 있다. 더불어 검사장치의 설치 개수를 증가시킴으로써, 엘이디 생산량이 증가할 수 있다.

Description

엘이디 검사장치 및 이를 이용한 엘이디 검사방법{INSPECTION APPARATUS FOR LED AND TESTING DEVCIE OF LED USING THE SAME}
본 발명은 엘이디 검사장치 및 이를 이용한 엘이디 검사 방법에 관한 것으로서, 보다 자세하게는 엘이디의 특성을 검사하는 검사 장치가 복수개의 층을 가지는 구조로 형성된 엘이디 검사장치 및 이를 이용한 엘이디 검사방법 에 관한 것이다.
최근 전자 제품에 사용되는 엘이디(LED_ Light Emitting Diode)는 전기를 빛으로 변환하는 반도체를 이용한 발광 소자의 일종으로, 발광다이오드(Luminescent diode)라고도 한다. 엘이디는 종래 광원에 비해 소형이고, 수명이 길며, 소비 전력이 적고, 응답 속도가 빠르기 때문에 각종 전자기기의 표시용 램프나 숫자 표지 장치, 백라이트 등의 각종 분야에서 사용되고 있다.
이때, 엘이디는 에피공정(EPI), 칩공정(Fabrication) 및 패키지공정(Package) 등을 거쳐 제조되며, 패키지공정을 거친 엘이디는 테스트 공정을 거치게 된다. 테스트 공정에서는 정상적으로 작동되지 않는 엘이디를 제외시키고, 정상적으로 작동되는 엘이디를 성능에 따라 분류 및 적재하게 된다.
상기 테스트 공정은 엘이디의 특성을 검사하는 공정과 특성 검사가 종료된 엘이디를 검사 결과에 따라 등급별로 분류 및 적재하는 공정으로 나뉠 수 있다. 이때, 엘이디 특성을 검사하는 방법으로는 웨이퍼에 적재된 각각의 엘이디의 특성을 검사하는 방법이 있으며, 엘이디가 적재된 웨이퍼를 일괄적으로 검사하는 방법이 있다.
한편, 엘이디의 특성을 검사하는 공정장치로는 웨이퍼를 적재 및 공급하는 수납부, 웨이퍼에 안착된 엘이디를 검사하는 측정부, 검사가 완료된 엘이디를 검사 결과에 따라 등급별로 새로운 웨이퍼상에 안착시키는 언로딩부를 구비한다.
상기 공정장치는 일반적으로는 동일 수평 축 상에 장착되며, 공정장치가 동일 수평 축 상에 장착되는 까닭으로 인하여 공정장치의 크기 및 너비가 증가하는 문제점이 발생한다. 상기와 같은 문제점으로 인하여 공정장치의 설치 개수 및 출하되는 엘이디의 개수가 제한되어 엘이디 생산량이 제한되는데 문제점이 있다.
본 발명의 실시예는 규모를 감소시키며, 감소된 규모에 의하여 장치가 설치되는 설치 장소에 많은 양의 장치가 설치될 수 있는 엘이디 검사장치 및 이를 이용한 엘이디 검사방법을 제공한다.
본 발명의 실시예는 엘이디 생산량을 증가시킬 수 있는 엘이디 검사장치 및 이를 이용한 엘이디 검사방법 를 제공한다.
본 발명의 실시예에 따른 엘이디를 검사하기 위한 엘이디 검사장치에 있어서, 특성이 검사될 엘이디가 안착된 적어도 하나의 웨이퍼를 적재 및 공급하는 수납부; 상기 수납부와 인접하게 제공되며, 상기 엘이디 특성을 검사하여 상기 엘이디에 등급을 부여하는 측정부; 상기 수납부가 장착되며, 상기 수납부를 상기 측정부와 별도의 층으로 이송시키는 이동부; 및 상기 측정부와 별도의 층에 제공되며, 상기 측정부에서 특성이 검사된 엘이디가 안착된 웨이퍼에서 등급별로 상기 특성이 검사된 엘이디를 분류하는 언로딩부; 를 포함한다. 상기 측정부는 언로딩부에 대해 상부층에 구비될 수 있으며, 언로딩부는 측정부에 대해 하부층에 구비될 수 있다. 이때, 수납부는 상부층 및 하부층을 교차하여 구비될 수 있다.
이와 같이 복수의 층으로 형성된 엘이디 검사장치에 의하여 엘이디 검사장치의 규모를 감소시킬 수 있으며, 검사장치의 규모가 감소됨에 따라 검사장치가 설치되는 공간에 설치 개수를 증가시킬 수 있다. 더불어 검사장치의 설치 개수를 증가시킴으로써, 엘이디 생산량이 증가할 수 있다.
상기 이동부는 수납부를 상기 상부층과 하부층을 가로질러 이송시키는 이송 유닛 및 상기 이송 유닛을 따라 이동하며 수납부가 상부층에서 하부층으로 이송되는 과정에서 수납부의 위치 상태를 변경시키는 회전 유닛을 포함할 수 있다.
이때, 회전 유닛은 수납부를 엘이디 검사장치의 바닥면과 수평한 상태에서 바닥면과 수직된 상태로 변경시킬 수 있으며, 이와 같이 수납부가 엘이디 검사장치의 바닥면과 수평한 상태에서 수직한 상태로 변경됨에 따라 웨이퍼가 바닥면에 대해 수직한 상태로 적재되기 때문에 웨이퍼를 적재하기 위한 공간 규모가 작아질 수 있다.
한편, 측정부는 특성이 검사될 엘이디 위치를 추적하는 추적 유닛 및 추적 유닛과 인접하게 제공되어 엘이디의 특성을 측정하는 측정 유닛을 포함할 수 있다. 여기서 추적 유닛은 엘이디를 웨이퍼에서 분리하지 않은 채 웨이퍼 상에서 엘이디의 맵을 추적하고 측정 유닛을 통해 엘이디의 특성이 측정될 수 있다. 이와 같이 엘이디의 특성을 검사하는 과정에서 엘이디를 웨이퍼 상에서 분리하지 않고 특성을 측정하기 때문에 엘이디의 특성을 검사하기 위한 별도의 장비 등을 최소화할 수 있다.
상기 언로딩부는, 웨이퍼에 적재된 엘이디의 검사 결과에 따라 엘이디를 등급별로 분리하는 소팅 유닛 및 적재 유닛을 포함하며, 소팅 유닛은 바닥면과 수직된 상태로 구비되며, 적재 유닛은 바닥면과 수평한 상태로 구비될 수 있다. 이와 같이 소팅 유닛이 검사장치의 바닥면과 수직된 상태로 구비됨으로써, 하부층으로 이동하여 바닥면과 수직된 상태로 위치 상태를 변경한 수납부에서 웨이퍼가 소팅 유닛에 용이하게 장착될 수 있다. 더불어 웨이퍼가 장착되는 영역이 엘이디 검사장치의 바닥면과 수직된 상태로 구비되기 때문에 장비를 설치하는 공간을 최소화할 수 있다.
상기 소팅 유닛은 웨이퍼를 바닥면과 수직된 상태로 안착하는 소팅 프레임을 포함하며, 적재 유닛은 웨이퍼에서 특성이 검사된 엘이디가 안착되는 스테이지가 적재되는 적재 프레임을 포함하고, 소팅 프레임과 적재 프레임은 상호 수직된 상태로 제공될 수 있다. 즉, 소팅 프레임이 검사장치에 장착될 때, 검사장치의 바닥면에 수직되도록 장착될 수 있으며, 적재 프레임은 검사장치의 바닥면과 수평하도록 장착될 수 있다. 이와 같이 장착됨으로써, 소팅 유닛과 적재 유닛은 서로 수직된 상태로 검사장치에 제공된다. 그 결과, 검사장치의 장치가 설치되는 설치 공간을 최소화함으로써, 검사장치의 규모가 작아질 수 있다.
또한, 언로딩부는 스테이지를 수납하는 카세트 및 카세트를 상부층으로 이동시키는 카세트유닛을 포함할 수 있다. 이때, 카세트는 바닥면과 인접하게 제공된 제1 카세트 및 제1 카세트 상에 적층된 제2 카세트를 포함할 수 있다. 이와 같이 카세트를 제1 및 제2 카세트로 분리함으로써, 특성이 검사된 엘이디가 안착된 여부에 따라 스테이지를 구분할 수 있다.
여기서, 제1 카세트는 특성이 검사된 엘이디가 부분적으로 안착되어 있는 스테이지 또는 공(empty)스테이지 중 어느 하나의 스테이지가 수납될 수 있고, 제2 카세트에는 특성이 검사된 엘이디가 가득 안착되어 있는 스테이지 또는 공스테이지 중 어느 하나의 스테이지가 수납될 수 있다. 예시적으로 제1 카세트에는 소팅 유닛에서 적재 유닛으로 엘이디를 분리하는 과정 중에 동일한 등급의 엘이디 분리가 종료되고 스테이지에는 동일한 등급이 엘이디가 가득 안착되지 않을 경우 스테이지는 제1 카세트에 보관될 수 있다. 그 뒤 소팅 유닛에서 앞서 보관된 스테이지에 안착되어 있는 엘이디 등급과 동일한 등급의 엘이디를 분류된다면 다시 엘이디가 안착될 수 있다. 상기와 같은 방법에 의하여 스테이지에 동일 등급의 엘이디가 가득 안착된 스테이지는 제2 카세트에 수납되어 제1 카세트에 수납된 스테이지와 분리될 수 있다.
이때, 언로딩부는 소팅 유닛에서 적재 유닛으로 특성이 검사된 엘이디를 이송시킬 수 있는 스윙암을 포함할 수 있으며, 스윙암은 상호 수직된 상태로 제공된 소팅 유닛과 적재 유닛 사이를 수직하게 움직일 수 있다.
또한, 언로딩부는 스테이지에 특성이 검사된 엘이디가 가득 안착하면, 스테이지에 특성이 검사된 엘이디의 등급에 따라 라벨을 부착하는 라벨부착기를 더 포함할 수 있다. 라벨부착기는 엘이디의 등급을 표시하는 맵(map)이 될 수 있으며, 언로딩부에서 등급별로 엘이디를 분류한 뒤에 자동으로 라벨을 부착할 수 있다.
한편, 본 발명의 실시예에 따른 엘이디 검사장치를 이용하여 엘이디 검사방법에 따르면, 수납부에 검사될 엘이디가 안착된 적어도 하나의 웨이퍼가 적재되는 단계; 상기 수납부와 인접하게 제공되는 측정부를 통해 상기 웨이퍼 상의 엘이디 특성을 등급별로 검사하는 단계; 상기 측정부에서 특성이 검사된 엘이디가 안착된 웨이퍼가 상기 수납부로 재 이송되는 단계; 상기 수납부가 이동부를 통해 상기 측정부를 상기 측정부와 별도의 층으로 이송시키는 단계; 및 상기 측정부와 별도의 층에 구비되는 언로딩부를 통해 상기 특성이 검사된 웨이퍼 상의 엘이디를 등급별로 분류하는 단계;를 포함할 수 있다.
상기 측정부에서 측정된 웨이퍼가 수납부로 재 이송되는 단계 이후에 측정부로 특성이 검사될 새로운 웨이퍼가 이송될 수 있다. 즉, 측정부는 지속적으로 수납부에 적재된 웨이퍼의 특성을 검사할 수 있게 되며, 그 결과 웨이퍼를 검사하기 위한 검사 시간을 단축시키거나 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 수납부와 인접하게 제공되는 측정부를 통해 웨이퍼 상의 엘이디 특성을 등급별로 검사하는 단계에서 웨이퍼에 안착된 엘이디의 위치를 추적하여 엘이디의 특성을 측정하는 단계를 포함할 수 있다. 이때, 엘이디의 위치를 추적하는 과정에서 엘이디는 웨이퍼에서 분리되지 않고 웨이퍼 상에서 특성 검사가 진행되기 때문에 엘이디의 특성을 검사하기 위한 별도의 장치나 방법 등을 최소화할 수 있다.
이때, 수납부가 이동부를 통해 측정부와 별도의 층으로 이송되는 단계에서 이동부는 수납부를 엘이디 검사장치의 바닥면과 수직된 상태로 수납부의 위치를 변경시키는 단계를 포함할 수 있다. 즉, 검사장치의 바닥면과 수직된 상태로 제공된 소팅 유닛에 웨이퍼가 적재될 수 있도록 수납부를 소팅 유닛의 장착 상태와 유사한 상태로 위치를 변경하게 된다. 이로 인하여 웨이퍼가 안착되기 위한 공간을 최소화할 수 있다.
한편, 측정부와 별도의 층에 구비되는 언로딩부를 통해 특성이 검사된 웨이퍼 상의 엘이디를 등급별로 분류하는 단계는, 언로딩부의 적재 유닛에 특성이 검사된 엘이디가 안착된 웨이퍼가 제공되는 스테이지가 적재되는 단계; 상기 언로딩부의 소팅 유닛에서 스테이지로 특성이 검사된 엘이디를 분류하는 단계; 상기 스테이지 특성이 검사된 엘이디가 가득 안착되면 스테이지를 수납하는 카세트에 수납하는 단계;를 포함할 수 있다.
상기 언로딩부의 소팅 유닛에서 스테이지로 특성이 검사된 엘이디를 분류하는 단계에서 스테이지에 특성이 검사된 엘이디 중 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되었는지 여부를 판단하는 단계를 포함할 수 있다. 이와 같이 스테이지에 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되었는지 판단함에 따라 동일 등급의 엘이디가 가득 안착된 스테이지와 가득 안착되어 있지 않은 스테이지를 구분할 수 있다.
상기 카세트는 엘이디 검사장치의 바닥면과 인접하게 제공된 제1 카세트 및 제1 카세트 상에 적층된 제2 카세트를 포함할 수 있으며, 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되었는지 여부를 판단하는 단계에서 스테이지에 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되어 있지 않다고 판단되면, 스테이지는 제1 카세트로 이송되는 단계를 포함할 수 있다.
반면, 스테이지에 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되었다고 판단되면, 스테이지는 제2 카세트로 이송될 수 있다. 이와 같이 제1 및 제2 카세트에 적재되는 스테이지에는 안착된 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되어 있거나 안착되어 있지 않는 여부를 구분하기 때문에 작업자는 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되어 있는 스테이지만을 선택할 수 있다.
이때, 스테이지는 제2 카세트로 이송되는 단계 이후에 제1 카세트에서 제2 카세트로 공스테이지가 이송되는 단계를 포함할 수 있다. 즉, 제2 카세트에는 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되어 있는 스테이지 또는 공스테이지 중 어느 하나의 스테이지가 적재될 수 있다. 더불어, 상기와 같은 단계에 의하여 제2 스테이지에는 동일 등급의 엘이디가 안착되어 있는 스테이지만이 적재될 수 있다.
더불어, 스테이지가 제2 카세트로 이송하는 단계 이전에 스테이지에는 동일 등급의 엘이디의 등급에 따른 라벨을 부착하는 단계를 포함할 수 있다. 라벨을 부탁하는 단계에서 라벨은 엘이디의 등급을 표시하는 맵(map)이 될 수 있으며, 스테이지에는 동일 등급의 엘이디가 안착되어 있기 때문에 부착된 라벨에 의하여 안착된 엘이디의 등급을 확인하게 된다.
본 발명의 실시예에 따르면, 엘이디를 검사하는 검사장치의 장비를 복수의 층에 장착할 수 있으며, 이와 같이 엘이디 검사장치의 장비를 복수의 층에 장착함으로써, 엘이디 검사장치의 수평 너비의 규모가 줄어들 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 엘이디 검사장치의 규모가 줄어듦에 따라 검사장치가 설치되는 공간에 설치하는 검사장치의 개수를 증가시킬 수 있다. 설치되는 검사장치의 개수가 증가함에 다라 검사장치에서 생산되는 엘이디의 양이 증가하게 된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 엘이디 검사장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 엘이디 검사장치의 구성장치를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 수납부 및 이동부를 도시한 사시도이다.
도 4는 도 2의 측정부를 도시한 사시도이다.
도 5는 도 2의 언로딩부를 도시한 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 엘이디 검사방법에 따른 순서도이다.
이하에서, 본 발명에 따른 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명이 실시예들에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 각 도면에 제시된 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 엘이디 검사장치를 도시한 사시도이다.
도 1을 참고하면, 엘이디 검사장치(10)에는 엘이디의 특성을 검사하거나, 검사된 결과에 따라 엘이디를 분리 및 적재할 수 있는 다수의 장비가 수납된 하우징(100)을 구비할 수 있으며, 하우징(100)은 복수개의 층으로 구획될 수 있다.
구획된 하우징(100)의 각 층에는 엘이디를 검사할 수 있는 장비가 구비될 수 있으며, 이와 같이 하우징(100)이 복수의 층으로 형성됨에 따라 장치의 규모를 축소할 수 있다. 즉, 각 층에 엘이디를 검사할 수 있는 장비를 나누어 구비함으로써, 검사장치(10)의 좌, 우 규모를 줄여 검사장치(10)가 장착되는 공간에 설치되는 검사장치(10)의 개수를 보다 많이 설치할 수 있다.
이때, 본 발명의 실시예에 따른 엘이디 검사장치(10)는 상부층(100a)과 하부층(100b)으로 구획될 수 있으며, 본 발명의 실시예에서는 검사장치(10)가 상부층(100a)과 하부층(100b)으로 구획된 예를 들어 설명하지만, 경우에 따라서 검사장치(10)는 상/하부층(100b) 이외에도 다수의 층으로 형성될 수도 있다.
한편, 본 발명의 실시예에서는 하우징(100)의 상부층(100a) 사면은 폐쇄된 상태를 예를 들어 설명하지만 경우에 따라서는 상부층(100a)의 상면이 개구될 수도 잇다. 상부층(100a)의 상면이 개구될 경우 검사장치(10) 상부에서 검사가 완료된 웨이퍼를 채집할 수 있다. 상기와 같이 검사가 완료된 웨이퍼를 검사장치(10) 상부에서 채집하게 되면 자동 로봇이 웨이퍼를 채집하기 때문에 엘이디를 검사하는 과정에서 채집하는 과정까지 자동으로 진행할 수 있게 된다.
또한, 하우징(100) 외부에는 정보 입력부(150)가 구비될 수 있다. 정보 입력부(150)는 엘이디 검사장치(10)에서 이루어지는 엘이디 검사 과정을 육안으로 확인할 수 있으며, 엘이디 검사에 필요한 정보를 입력할 수도 있다.
이하 도 2 내지 도 5를 참고하여 엘이디 검사장치(10)를 보다 자세하게 설명하기로 한다.
도 2는 도 1의 엘이디 검사장치의 구성장치를 도시한 사시도이고, 도 3은 도 2의 수납부 및 이동부를 도시한 사시도이고, 도 4는 도 2의 측정부를 도시한 사시도이고, 도 5는 도 2의 언로딩부를 도시한 사시도이다.
도면을 설명하기에 앞서 본 발명의 엘이디 검사장치(10)는 엘이디를 웨이퍼(W) 상에서 검사할 수 있다. 예를 들어 검사장치(10)는 웨이퍼(W) 상에 적재된 엘이디를 추적하며 엘이디의 특성을 검사할 수 있으며, 검사가 완료된 엘이디는 언로딩부에서 분리될 수 있다. 여기서, 검사장치(10)는 엘이디의 광, 전류 등의 특성을 검사하며, 엘이디를 검사하는 검사 기준에 따라 엘이디에 등급을 부여할 수 있다. 검사가 완료된 엘이디는 부여된 등급에 따라 분리될 수 있으며, 엘이디를 검사하는 검사 기준은 엘이디를 검사하는 장치, 주변 환경 등에 따라 변경될 수 있다.
또한, 엘이디를 검사하기에 앞서 웨이퍼(W)의 확장 작업을 먼저 수행할 수 있다. 확장 작업이란 웨이퍼에 안착된 각각의 엘이디 간격을 넓혀 검사되는 엘이디가 주변 엘이디와의 간섭을 최소화하며, 검사가 완료된 엘이디를 웨이퍼 상에서 용이하게 분리할 수 있기 위한 작업이다.
다음으로 도 2 및 도 3을 참고하면 엘이디 검사장치(10)는 수납부(110), 이동부(120), 측정부(130) 및 언로딩부(140)를 포함한다.
상기 수납부(110)에는 특성이 검사될 엘이디가 적재된 다수의 웨이퍼(W)가 구비될 수 있으며, 수납부(110)에 구비된 웨이퍼(W)는 검사장치(10)의 바닥면(f)과 수평 하도록 구비 될 수 있다.
또한, 수납부(110)는 웨이퍼(W) 상면을 지지 및 고정하는 커버 부재(114)를 더 포함할 수 있다. 커버 부재(114)는 웨이퍼(W) 상면 일부를 덮어 웨이퍼(W)이 수납부(110)에서 이탈되는 것을 방지할 수 있다.
한편, 수납부(110)는 다수의 웨이퍼(W)를 적재할 수 있도록 내부가 구획될 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 수납부(110)에는 11개의 웨이퍼(W)가 적재되도록 내부가 슬롯이 형성될 수 있으며, 수납부(110)에 적재되는 웨이퍼(W)의 개수는 발명에서 요구되는 조건에 따라 변경될 수 있다.
이때, 수납부(110)는 이동부(120) 상에 안착될 수 있으며, 이동부(120)에 의하여 상부층(100a) 및 하부층(100b)을 이동할 수 있다. 즉, 이동부(120)는 상부층(100a) 및 하부층(100b)을 가로지르도록 구성될 수 있으며, 이동부(120)는 상, 하부층(100a, 100b)을 가로질러 이동할 수 있기 때문에 이동부(120)에 안착된 수납부(110)는 상, 하부층(100a, 100b)을 따라 이동할 수 있다.
여기서, 이동부(120)는 수납부(110)의 위치 상태를 변경할 수 있도록 이송 유닛(124)과 회전 유닛(122)을 포함할 수 있다.
회전 유닛(122)은 수납부(110)가 바닥면(f)과 수평한 상태에서 수직된 상태로 변경시킬 수 있다. 즉, 회전 유닛(122)은 검사장치(10)의 바닥면(f)에 대해 수평한 상태에서 수직한 상태로 위치 변경할 수 있도록 수납부(110)를 회전시킬 수 있다.
이때, 회전 유닛(122)은 수납부(110)가 이송 유닛(124)을 따라 이동하는 과정에서 수납부(110)를 회전시킬 수 있으며, 회전 유닛(122)이 수납부(110)를 회전시킬 수 있도록 회전기어(미도시), 회전모터(미도시) 등이 더 제공될 수 있다.
이송 유닛(124)은 상부층(100a)에서 하부층(100b)을 가로질러 장착될 수 있으며, 예를 들어 회전 유닛(122)과 수납부(110)가 상/하로 이동할 수 있는 엘리베이터와 같은 역할을 할 수 있다.
한편, 상기 이동부(120)는 수납부(110)를 언로딩부(140)와 인접하게 이동시킬 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이 언로딩부(140)는 하부층(100b)에 구비될 수 있으며, 이동부(120)에 의하여 검사가 완료된 웨이퍼(W)을 언로딩부(140)로 이동시키게 된다. 이와 같이 이동부(120)에 의하여 수납부(110)를 상, 하부층(100a, 100b)로 이송시킴으로써, 검사장치(10)의 규모를 최소화할 수 있다.
즉, 웨이퍼가 적재되는 위치와 언로딩되는 위치를 분리함으로써 검사장치의 공간 활용성을 높일 수 있다. 또한, 이동부(120)는 웨이퍼를 언로딩부(140)에 인접하게 이동시키게 되므로 언로딩부(140)에서는 보다 쉽게 엘이디를 등급별로 분리할 수 있게 된다.
더불어, 이동부(120)은 수납부(110)가 바닥면(f)과 수직된 상태로 위치하면 웨이퍼(W)을 소팅 유닛(142_도 5 참조)으로 이송시키는 이송 그리퍼(미도시)를 더 포함할 수 있다.
이송 그리퍼는 바닥면(f)과 수직된 상태로 위치한 웨이퍼(W)의 위치를 유지하면서 소팅 유닛(142)으로 이송시킬 수 있으며, 이와 같이 이송암에 의하여 웨이퍼(W)은 위치 상태를 변경하지 않고 언로딩부(140)로 이송될 수 있다.
한편, 수납부(110)와 인접하게 측정부(130)와 언로딩부(140)가 구비될 수 있다. 이때, 측정부(130)와 언로딩부(140)는 각각 다른 층에 구비될 수 있으며, 일 예로, 측정부(130)는 상부층(100a)에 구비될 수 있고, 언로딩부(140)는 하부층(100b)에 구비될 수 있다.
다시 도 2 및 도 4를 참고하면, 측정부(130)는 수납부(110)에 대해 후방에 위치할 수 있으며, 측정부(130)은 측정 유닛(132)과 측정 프레임(145)를 포함하여 엘이디 특성을 검사할 수 있다.
상기 측정 유닛(132)은 스캔비젼(미도시)를 포함할 수 있으며, 스캔비젼은 웨이퍼(W) 상의 엘이디 맵(map) 좌표를 스캔할 수 있고, 스캔된 엘이디의 맵 좌표에 따라서 엘이디에 등급을 부여할 수 있다. 추가적으로 스캔비젼에 의하여 등급이 부여된 엘이디는 검사장치(10)에 저장되기 때문에 언로딩부(140)에서 등급에 따라 엘이디를 분리하는 기준 값이 될 수 있다.
한편, 측정 유닛(132)은 엘이디의 전류, 광 특성을 검사할 수 있으며, 엘이디의 특성을 검사하는 과정에서 엘이디를 등급별로 구분할 수 있다. 여기서 엘이디의 등급을 구분하는 등급은 작업자가 임의로 정보 입력부(150) 입력한 값을 기준으로 구분할 수 있으며, 다르게는 정보가 입력된 마스터 웨이퍼를 먼저 측정부(130)에 공급한 뒤 마스터 웨이퍼에 저장된 정보에 따라 구분할 수도 있다.
즉, 작업자가 요구되는 조건에 따라 엘이디의 등급을 임의로 설정할 수 있으며, 다르게는 측정되는 엘이디의 기준이 될 수 있는 기준 값이 저장된 마스터 웨이퍼를 측정부(130) 우선적으로 삽입한 다음에 측정될 엘이디가 적재되어 있는 웨이퍼를 측정부(130)에 삽입할 수 있다. 이때, 측정부(130)은 마스터 웨이퍼에 저장된 기준 값을 기준으로 엘이디 특성을 측정하게 되며, 기준 값에 따라 엘이디의 등급이 결정될 수 있다.
이때, 측정부(130)에는 추적 유닛(136)이 제공되어 엘이디를 추적할 수 있다. 상기 추적 유닛(136)은 측정 유닛(132)를 좌, 우 등의 방향으로 이동시키며 엘이디를 따라 움직일 수 있다. 측정 유닛(132)에 의하여 엘이디는 웨이퍼상에서 개별적으로 특성이 측정될 수 있으며, 추적 유닛(136)에 의하여 특성 검사가 실행되지 않는 엘이디가 감소될 수 있다.
또한, 측정 프레임(134)는 수납부(110)에서 공급되는 웨이퍼(W)이 안착될 수 있는 안착공간이 될 수 있으며, 측정 프레임(134)에 안착된 웨이퍼(W)은 측정 유닛(132)에 의하여 웨이퍼(W)의 엘이디 특성이 검사될 수 있다.
더불어, 측정부(130)는 수납부(110)에 구비된 웨이퍼(W)를 측정 유닛(132)에 옮길 수 있도록 로딩 그리퍼(미도시)를 포함할 수 있다. 로딩 그리퍼(미도시)는 특성 검사가 진행될 웨이퍼(W)를 측정 유닛(132)에 이송시킬 수 있으며, 검사가 완료된 웨이퍼(W)를 다시 수납부(110)로 이송시킬 수 있다.
이제 도 2 및 도 5를 살펴보면, 상기 언로딩부(140)는 측정부(130)에서 측정된 웨이퍼(W)이 하부층(100b)으로 이동되어 측정부(130)에서 측정된 결과에 따라 엘이디를 분리 및 적재할 수 있다. 이때, 언로딩부(140)는 검사 결과에 따라 분리 및 적재한 엘이디가 안착된 웨이퍼가 적재될 수 있는 카세트(145a, 145b)를 포함할 수 있다.
이때, 언로딩부(140)는 웨이퍼(W)에 적재된 엘이디의 검사결과에 따라 엘이디를 등급별로 분리하는 소팅 유닛(142) 및 적재 유닛(143)을 포함할 수 있다. 여기서 소팅 유닛(142)은 바닥면(f)과 수직된 상태로 구비될 수 있으며, 적재 유닛(143)은 바닥면(f)과 수평한 상태로 구비될 수 있다.
상기 소팅 유닛(142)은 웨이퍼(W)를 바닥면(f)과 수직된 상태로 안착할 수 있는 소팅 프레임을(141)을 포함할 수 있으며, 적재 유닛(143)은 웨이퍼(W)에서 특성이 검사된 엘이디가 안착되는 스테이지(미도시)가 적재되는 적재 프레임(143)을 포함할 수 있으며, 소팅 프레임을(141)과 적재 프레임(143)은 상호 수직된 상태로 제공될 수 있다. 즉, 소팅 프레임을(141)에는 측정부(130)에서 검사가 측정된 웨이퍼가 안착될 수 있으며, 적재 프레임(143)에는 소팅 프레임을(141)에서 엘이디를 분류하여 등급별로 안착되는 스테이지가 적재될 수 있다.
상기 적재 프레임(143)은 이동영역(A)이 존재할 수 있으며, 이동영역(A)은 스테이지의 이동 영역이라고 할 수 있다. 일 예로, 소팅 유닛(142)에서 검사가 측정된 웨이퍼에서 엘이디를 스테이지에 분리하게 되면, 스테이지는 카세트(145a, 145b)와 근접하도록 이동할 수 있다. 이때, 적재 유닛(143)은 이동영역(A) 내에서 스테이지를 이동시킬 수 있으며, 스테이지가 카세트(145a, 145b)와 근접한 위치에 이동하게 되면 이동을 중지시킬 수 있다.
이때, 카세트(145a, 145b)와 적재 유닛(143) 사이에는 스테이지 그리퍼(미도시)가 제공되어 적재 프레임(143) 상의 스테이지를 카세트(145a, 145b)로 이송시킬 수 있게 한다.
한편, 언로딩부(140)는 카세트(145a, 145b)를 상부층(100a)으로 이동시키는 카세트유닛(147)을 더 포함할 수 있다. 이하 도 5에는 설명의 편의상 카세트(145a, 145b)를 도시하지 않지만 도시되지 않은 카세트(145a, 145b)와 카세트유닛(147)에 의하여 본 발명이 제한되는 것은 아니다.
상기 카세트(145a, 145b)는 바닥면(f)과 인접하게 제공되는 제1 카세트(145a)과 제1 카세트(145a) 상에 적층되는 제2 카세트(145b)를 포함할 수 있으며, 상기 제1 및 제2 카세트(145b)는 각각 복수의 카세트로 구비될 수도 있다. 일 예로 본 발명의 실시예에 따른 제1 카세트(145a)는 두 개의 카세트가 적층될 수 있으며, 적층된 제1 카세트(145a) 상에 제2 카세트(145b)가 재 적층된다. 이하 본 발명에서는 카세트(145a, 145b)가 3 개의 층으로 이뤄진 예를 들어 설명하지만 발명의 조건에 따라 하나의 층으로 이루어진 카세트가 제공될 수도 있으며 다르게는 3 개 이상의 카세트가 제공될 수도 있다.
이때, 제1 카세트(145a)는 특성이 검사된 엘이디 중에 동일 등급의 엘이디가 부분적으로 안착된 스테이지 또는 공(empty)스테이지 중 어느 하나의 스테이지가 수납될 수 있으며, 제2 카세트(145b)는 특성이 검사된 엘이디 중 동일 등급의 엘이디가 가득 안착된 스테이지 또는 공스테이지 중 어느 하나의 스테이지가 수납될 수 있다.
예시적으로 적재 프레임(143)에 제공된 스테이지에 동일 등급의 엘이디가 일부 안착된 채 소팅 프레임을(141)에 안착된 웨이퍼 상의 엘이디가 모두 분리되었다면, 상기 스테이지를 제1 카세트(145a)에 이송시킬 수 있다. 이때, 제1 카세트(145a)는 상기 스테이지가 일시적으로 안착되는 안착공간이 될 수 있으며, 이후 소팅 프레임을(141)에 상기 스테이지에 안착된 엘이디와 동일 등급의 엘이디가 다시 분리되면 상기 스테이지는 적재 프레임(143)에 재 이송되어 동일 등급의 엘이디를 상기 스테이지에 안착할 수 있다.
여기서, 상기 스테이지에는 동일 등급의 엘이디가 가득 안착될 때까지 상기 방법을 반복적으로 시행할 수 있으며, 만약 동일 등급의 엘이디가 상기 스테이지에 가득 안착될 경우 스테이지는 제2 카세트(145b)로 이송될 수 있다.
한편, 제2 카세트(145b)에 적재된 스테이지가 동일 등급의 엘이디가 가득 안착된 스테이지만 적재되었다면, 상기 제2 카세트(145b)를 상부층(100a)으로 이송될 수 있다. 이때, 제2 카세트(145b)는 카세트유닛(147)을 통해 상부층(100a)으로 이송될 수 있으며, 본 발명의 실시예에 따른 카세트유닛(147)은 제2 카세트(145b)를 상부층(100a)으로 이송시키는 예를 들어 설명하지만 경우에 따라서는 제1 및 제2 카세트(145b) 모두를 상부층(100a)으로 이송시킬 수도 있다. 이와 같이 동일 등급의 엘이디가 가득 안착된 스테이지만을 수납한 제2 카세트(145b)가 상부층(100a)으로 이송됨에 따라 작업자는 상부층(100a)에서만 작업할 수 있기 때문에 작업 동선이 짧아질 수 있다. 그 결과 작업자의 작업 효율이 향상될 수 있다.
더불어, 소팅 유닛(142)과 적재 유닛(143) 사이에는 스윙암(146)을 제공하여 소팅 프레임을(141)에서 적재 프레임(143)으로 엘이디 이송을 가이드할 수 있다. 이때 스윙암(146)은 상호 수직된 상태로 제공된 소팅 유닛(142)과 적재 유닛(143)에 의하여 수직방향으로 운동할 수 있다. 한편, 본 발명의 실시예에서는 스윙암(146)이 복수개로 구비된 예를 들어 설명하지만 경우에 따라서는 하나의 스윙암이 구비될 수도 있다.
한편, 상기 카세트(145a, 145b) 후방에는 라벨부착기(148)가 구비될 수 있다. 라벨부착기(148)는 등급이 부여된 엘이디가 가득 적재된 웨이퍼에 라벨을 부착할 수 있다. 예시적으로 라벨은 웨이퍼의 이름이 될 수 있으며, 웨이퍼 상에 적재된 엘이디의 등급을 나타낼 수 있다. 이때, 라벨은 숫자, 기호, 문자 등을 이용하여 엘이디 등급을 표시할 수 있으며, 이와 같이 웨이퍼에 라벨을 부착하여 결과적으로 엘이디 등급을 확인시켜 줌으로써 적절하게 엘이디를 사용할 수 있게 한다. 예를 들어 1~10등급까지 엘이디에 등급을 부여한다면, 등급 분리가 완료된 웨이퍼 상에는 1~10등급까지의 등급 표시 라벨을 부착할 수 있다. 작업자는 부착된 라벨을 확인하여 등급별로 엘이디가 필요한 곳에 분배할 수 있기 때문에 작업자의 실수로 등급이 다른 엘이디가 분배되는 것을 방지할 수 있다.
여기서, 라벨부착기(148)는 자동으로 웨이퍼에 라벨을 부착할 수 있으며, 라벨을 자동으로 부착할 수 있도록 엘이디 등급을 확인할 수 있는 스캔부재(미도시)를 포함할 수 있다. 상기와 같이 웨이퍼에 라벨을 자동으로 부착함으로써, 웨이퍼의 라벨 부착에 필요한 시간을 감소시켜 엘이디 생산량을 극대화할 수 있다.
한편, 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 엘이디 검사방법을 도시한 순서도이다.
도면을 설명하기에 앞서, 본 발명의 실시예에 따른 엘이디 검사 및 분류 방법(500)에서 설명하는 전술한 구성과 동일 또는 동일 상당 부분에 대해서는 동일 또는 동일 상당한 참조 부호를 부여하고 그에 대한 설명은 생략하기로 한다.
도 6을 참고하면, 본 발명의 실시예에 따른 복수의 층으로 형성되며, 엘이디를 검사하기 위한 엘이디 검사장치를 이용한 엘이디 검사방법에 있어서, 수납부에 검사될 엘이디가 안착된 적어도 하나의 웨이퍼가 적재되는 단계(S610), 수납부와 인접하게 제공되는 측정부를 통해 웨이퍼 상의 엘이디 특성을 등급별로 검사하는 단계(S620), 측정부에서 특성이 검사된 엘이디가 안착된 웨이퍼가 수납부로 재 이송되는 단계(S630), 수납부가 이동부를 통해 측정부와 별도의 층으로 이송되는 단계(S640) 및 측정부와 별도의 층에 구비되는 언로딩부를 통해 특성이 검사된 웨이퍼 상의 엘이디를 등급별로 분류하는 단계(S650)를 포함한다.
상기와 같은 방법을 통해 엘이디를 측정 및 분류 하는 방법을 살펴보면, 우선, 수납부(110)에는 특성이 검사될 엘이디가 안착된 웨이퍼가 적재될 수 있다. 여기서 수납부(110)에는 다수의 웨이퍼가 적재될 수 있으며, 예를 들어 수납부(110)는 11개의 웨이퍼가 적재될 수 있도록 슬롯이 형성될 수 있다. 이하 본 발명의 실시예에서는 수납부(110)에 11개의 웨이퍼가 적재된 예를 들지만 수납부(110)에 적재되는 웨이퍼의 개수는 발명에서 요구되는 조건에 따라 변경될 수 있다.
수납부(110)에 웨이퍼(W)가 적재되면, 적재된 웨이퍼(W) 중 하나의 웨이퍼가 측정부(130)로 이송될 수 있으며, 측정부(130)는 이송된 웨이퍼(W) 상의 엘이디 특성을 등급별로 검사할 수 있다. 여기서, 측정부(130)는 엘이디를 웨이퍼(W) 상에 안착된 상태에서 특성을 검사할 수 있으며, 언로딩부(140)에서 측정 결과에 따라 부여된 등급에 따라 분류할 수 있다. 또한, 측정부(130)는 측정 유닛(132)을 통하여 웨이퍼에 안착된 엘이디의 위치를 추적하면서 엘이디의 특성을 측정할 수 있으며, 측정된 결과에 따라 엘이디에 등급을 부여할 수 있다.
측정부(130)에서 엘이디 특성 측정이 완료되면 웨이퍼(W)는 수납부(110)로 다시 이동할 수 있다(S630). 이때, 수납부(110)에 적재된 웨이퍼 중 특성이 검사될 새로운 웨이퍼가 측정부(130)로 이송될 수 있다. 즉, 수납부(110) 상에 적재되어 있는 웨이퍼 중 측정이 진행되지 않은 웨이퍼가 측정부(130)로 이송됨에 따라 측정부(130)는 지속적으로 엘이디 특성 검사를 진행할 수 있다.
측정부(130)에서 엘이디 특성 측정이 완료된 웨이퍼(W)가 수납부(110)로 재 이동되면(S630), 수납부(110)는 이동부(120)를 통해 언로딩부(140)로 이송될 수 있다. 이때, 언로딩부(140)는 측정부(130)와 별도의 층에 구비될 수 있으며, 특히 측정부(130)는 검사장치(10)의 상부층(100a)에 구비되고, 언로딩부(140)는 하부층(100b)에 구비될 수 있다. 상기 구성에 의하여 이동부(120)는 상, 하부층(100a, 100b)을 가로질러 이동함으로써, 필요에 따라 수납부(110)를 상, 하부층(100a, 100b)으로 이동시킬 수 있다. 이하 본 발명에서는 측정부(130)가 상부층(100a)에 구비되며, 언로딩부(140)가 하부층(100b)에 구비된 예를 들어 설명하지만, 검사장치(10)는 2층 이외의 다수의 층으로 구성될 수 있으며, 측정부(130)와 언로딩부(140)는 발명에서 요구되는 조건에 따라 구비된 층이 변경될 수도 있다.
또한, 이동부(120)는 수납부(110)를 엘이디 검사장치(10)의 바닥면(f)과 수직된 상태로 수납부의 위치 상태를 변경시킬 수 있다. 이와 같이 수납부(110)의 위치 상태를 변경시킴에 따라 후술할 언로딩부(140)와 수납부(110)의 위치 상태가 동일해지기 때문에 수납부에 수납되어 있는 웨이퍼가 언로딩부(140)로 용이하게 이송될 수 있다.
언로딩부(140)로 이송된 수납부(110)는 검사가 완료된 웨이퍼(W) 상에 안착된 엘이디를 등급별로 분류할 수 있다(S650).
상기 언로딩부(140)가 엘이디를 등급별로 분류하는 단계(S650)는, 언로딩부의 적재 유닛에서 스테이지가 적재되며, 스테이지에 특성이 검사된 엘이디가 안착된 웨이퍼가 제공되는 단계(S642), 언로딩부의 소팅 유닛에서 스테이지로 특성이 검사된 엘이디를 분류하는 단계(S644), 스테이지에 특성이 검사된 엘이디가 가득 안착되면, 스테이지를 수납하는 카세트에 수납하는 단계(S646)를 포함할 수 있다.
여기서, 카세트(145a, 145b)는 적어도 두 개의 층으로 형성될 수 있으며, 본 발명의 실시예에 따른 카세트(145a, 145b)는 세 개의 층으로 형성될 수 있다. 특히 엘이디 검사장치(10)의 바닥면(f)을 기준으로 아래층을 제1 카세트(145a)라고 가정하면, 제2 카세트(145b)는 제1 카세트(145a) 상에 적층될 수 있다. 또한, 제1 카세트(145a)는 복수의 카세트가 적층되어 제공될 수 있으며, 이하 본 발명에서는 제1 카세트(145a)가 복수개로 적층 제공되고, 제2 카세트(145b)는 하나의 카세트가 제공된 예를 들어 설명하지만, 적층되는 카세트(145a, 145b)의 개수에 의하여 본 발명이 제한되는 것은 아니다.
이때, 제1 카세트(145a)에는 검사가 완료된 엘이디가 부분적으로 안착되어 있는 스테이지 또는 공(empty)스테이지가 적재될 수 있으며, 제2 카세트(145b)에는 스테이지 공스테이지 또는 등급에 따라 엘이디가 가득 채워진 웨이퍼가 적재될 수 있다.
이때, 언로딩부(140)의 소팅 유닛(142)에서 스테이지로 특성이 검사된 엘이디를 분류하는 단계(S650)에서 스테이지에 특성이 검사된 엘이디 중 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되었는지 여부를 판단하는 단계(S643)를 포함할 수 있다.
즉, 스테이지에 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되었는지 여부를 판단하는 단계(S643)에서 스테이지에 동일 등급의 엘이디가 안착될 때, 스테이지에는 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되었을 때 작업자에 의하여 출하될 수 있다. 하지만, 스테이지에는 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되지 않을 수 있으며, 이와 같이 동일 등급의 엘이디가 스테이지에 가득 안착되어 있지 않는다면, 스테이지를 일시적으로 제1 카세트(145a)에 안착시킬 수 있다.
즉, 언로딩부(140)는 등급에 따라 엘이디가 안착된 웨이퍼가 적재되는 카세트(145a, 145b)를 포함할 수 있으며, 언로딩부(140)를 통해 측정부(130)에서 특징이 측정된 웨이퍼 상의 엘이디를 등급별로 분류(S650)하기 전에 언로딩부(140)에는 특성이 검사된 엘이디가 안착되는 스테이지가 적재될 수 있다.
특히 카세트(145a, 145b)에 등급에 따라 엘이디가 안착된 웨이퍼를 적재할 때, 우선 제2 카세트(145b)의 공스테이지가 적재 유닛(143)으로 이송될 수 있다. 적재 유닛(143)에 적재된 스테이지에는 소팅 유닛(142)에서 분류되는 동일 등급의 엘이디가 적재될 수 있다. 이때, 스테이지에 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되는 여부를 판단한 후 스테이지를 제1 또는 제2 카세트로 이송하게 된다.
보다 자세하게, 스테이지에 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되지 않은 상태라고 판단되면, 스테이지는 제1 카세트(145a)로 이송될 수 있다. 상기 스테이지는 동일 등급의 엘이디가 가득 안착된 것이 아니기 때문에 일시적으로 제1 카세트(145a)에 이송된 것이며, 소팅 유닛(142)에 제1 카세트(145a)에 이송된 스테이지 상의 엘이디와 동일 등급의 엘이디가 분류된다면 스테이지는 적재 유닛으로 재 이송되어 동일 등급의 엘이디가 가득 안착될 수 있게 할 수 있다.
한편, 스테이지에 동일 등급의 엘이디가 가득 안착된 상태라고 판단되면, 엘이디가 충일된 상태의 스테이지는 제2 카세트(145b)로 이송될 수 있다. 이때, 동일 등급의 엘이디가 가득 안착된 스테이지가 제2 카세트로 이송된 이후에는 제1 카세트의 새로운 공스테이지가 제2 카세트로 이송되고, 새로운 공스테이지는 적재 유닛(143)으로 이송될 수 있다.
상기와 같이 제2 카세트에는 엘이디가 가득 찬 웨이퍼가 적재될 때까지 지속적으로 새로운 스테이지가 공급되어 제2 카세트(145b)에 동일 등급의 엘이디가 가득 안착된 스테이지가 모두 적재되면, 카세트(145a, 145b)는 상부층(100a)으로 이동할 수 있다. 여기서 카세트(145a, 145b)는, 카세트(145a, 145b) 전체가 이동될 수 있으며, 다르게는 제2 카세트(145b)만이 상부층(100a)으로 이동하여 작업자는 동일 등급의 엘이디가 안착된 스테이지만을 채집할 수도 있다.
더불어, 언로딩부(140)는 라벨부착기(148)를 포함하여 엘이디가 가득 안착된 웨이퍼에 라벨을 부착할 수도 있다. 라벨은 엘이디의 등급을 나타내는 맵(map)이 될 수 있으며, 부착되는 라벨은 이미 저장된 엘이디의 등급에 따라 자동으로 웨이퍼에 부착될 수 있다.
상기와 같이, 엘이디를 검사하는 측정부(130)와 검사가 완료된 엘이디를 검사 결과에 따라 등급별로 분리하는 언로딩부(140)를 복수의 층에 장착함으로써, 엘이디 검사장치(10)의 규모가 작아질 수 있다. 검사장치(10)의 규모가 작아짐에 따라 검사장치(10)를 설치하는 공간에 설치하는 검사장치(10)의 개수가 증가할 수 있다. 그 결과 개수가 증가된 검사장치(10)에서 생산되는 엘이디의 생산량 또한 증가할 수 있기 때문에 작업생산량이 증가할 수 있다.
또한, 하우징(100)의 일부를 개구하여 겸사가 완료된 웨이퍼는 자동으로 채집할 수 있게 되므로 엘이디를 검사하는 과정에서 검사가 완료된 웨이퍼까지 자동화되어 엘이디 작업 효율이 증가할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
10: 엘이디 검사장치 100: 하우징
100a: 상부층 100b: 하부층
110: 수납부 120: 이동부
130: 측정부 140: 언로딩부

Claims (22)

  1. 엘이디를 검사하기 위한 엘이디 검사장치에 있어서,
    특성이 검사될 엘이디가 안착된 적어도 하나의 웨이퍼를 적재 및 공급하는 수납부;
    상기 수납부와 인접하게 제공되며, 상기 엘이디 특성을 검사하여 상기 엘이디에 등급을 부여하는 측정부;
    상기 수납부가 장착되며, 상기 수납부를 상기 측정부와 별도의 층으로 이송시키는 이동부; 및
    상기 측정부와 별도의 층에 제공되며, 상기 측정부에서 특성이 검사된 엘이디가 안착된 웨이퍼에서 등급별로 상기 특성이 검사된 엘이디를 분류하는 언로딩부;
    를 포함하는 엘이디 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 측정부는 상기 언로딩부에 대해 상부층에 구비되며, 상기 언로딩부는 상기 측정부에 대해 하부층에 구비되며, 상기 이동부는 상기 상부층 및 상기 하부층을 교차하여 제공된 것을 특징으로 하는 엘이디 검사장치,
  3. 제2항에 있어서,
    상기 이동부는 상기 수납부를 상기 상부층과 상기 하부층을 가로질러 이송시키는 이송 유닛 및 상기 이송 유닛을 따라 이동하며, 상기 수납부가 상기 상부층에서 상기 하부층으로 이송되는 과정에서 상기 수납부의 위치 상태를 변경 시키는 회전 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디 검사장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 회전 유닛은 상기 수납부를 상기 엘이디 검사장치의 바닥면과 수평한 상태에서 상기 바닥면과 수직된 상태로 변경시키는 것을 특징으로 하는 엘이디 검사장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 측정부는 상기 특성이 검사될 엘이디 위치를 추적하는 추적 유닛 및 상기 추적 유닛과 인접하게 제공되어 엘이디의 특성을 측정하는 측정 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디 검사장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 언로딩부는,
    상기 웨이퍼에 적재된 엘이디의 검사 결과에 따라 엘이디를 등급별로 분리하는 소팅 유닛 및 적재 유닛을 포함하며,
    상기 소팅 유닛은 상기 바닥면과 수직된 상태로 구비되며, 상기 적재 유닛은 상기 바닥면과 수평한 상태로 구비된 것을 특징으로 하는 엘이디 검사장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 소팅 유닛은 상기 웨이퍼를 상기 바닥면과 수직된 상태로 안착하는 소팅 프레임을 포함하며, 상기 적재 유닛은 상기 웨이퍼에서 상기 특성이 검사된 엘이디가 안착되는 스테이지가 적재되는 적재 프레임을 포함하고,
    상기 소팅 프레임과 상기 적재 프레임은 상호 수직된 상태로 제공된 것을 특징으로 하는 엘이디 검사장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 언로딩부는 상기 스테이지를 수납하는 카세트 및 상기 카세트를 상기 상부층으로 이동시키는 카세트유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디 검사장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 카세트는 상기 바닥면과 인접하게 제공된 제1 카세트 및 상기 제1 카세트 상에 적층된 제2 카세트를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디 검사장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 카세트는 상기 특성이 검사된 엘이디 중 동일 등급의 엘이디가 부분적으로 안착된 스테이지 또는 공(empty)스테이지 중 어느 하나의 스테이지가 수납되며,
    상기 제2 카세트는 상기 동일 등급의 엘이디가 가득 안착된 스테이지 또는 상기 공스테이지 중 어느 하나의 스테이지가 수납되는 것을 특징으로 하는 엘이디 검사장치.
  11. 제6항에 있어서,
    상기 언로딩부는 상기 소팅 유닛에서 상기 적재 유닛으로 상기 특성이 검사된 엘이디를 이송시키는 스윙암을 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디 검사장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 언로딩부는 상기 스테이지에 상기 동일 등급의 엘이디가 가득 안착하면, 상기 스테이지에 상기 동일 등급의 엘이디의 등급에 따라 라벨을 부착하는 라벨부착기를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디 검사장치.
  13. 복수의 층으로 형성되며, 엘이디를 검사하기 위해 엘이디 검사장치를 이용한 엘이디 검사방법에 있어서,
    수납부에 검사될 엘이디가 안착된 적어도 하나의 웨이퍼가 적재되는 단계;
    상기 수납부와 인접하게 제공되는 측정부를 통해 상기 웨이퍼 상의 엘이디 특성을 등급별로 검사하는 단계;
    상기 측정부에서 특성이 검사된 엘이디가 안착된 웨이퍼가 상기 수납부로 재 이송되는 단계;
    상기 수납부가 이동부를 통해 상기 측정부와 별도의 층으로 이송되는 단계; 및
    상기 측정부와 별도의 층에 구비되는 언로딩부를 통해 상기 특성이 검사된 웨이퍼 상의 엘이디를 등급별로 분류하는 단계;
    를 포함하는 엘이디 검사방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 측정부에서 측정된 상기 웨이퍼가 상기 수납부로 재 이송되는 단계 이후에, 상기 측정부로 특성이 검사될 새로운 웨이퍼가 이송되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디 검사방법.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 수납부와 인접하게 제공되는 측정부를 통해 상기 웨이퍼 상의 엘이디 특성을 등급별로 검사하는 단계에서 상기 웨이퍼에 안착된 엘이디의 위치를 추적하여 엘이디의 특성을 측정하는 단계를 포함하는 엘이디 검사방법.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 수납부가 이동부를 통해 상기 측정부와 별도의 층으로 이송되는 단계에서 상기 이동부는 상기 수납부를 상기 엘이디 검사장치의 바닥면과 수직된 상태로 상기 수납부의 위치 상태를 변경시키는 단계를 포함하는 엘이디 검사방법.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 측정부와 별도의 층에 구비되는 언로딩부를 통해 상기 특성이 검사된 웨이퍼 상의 엘이디를 등급별로 분류하는 단계는,
    상기 언로딩부의 적재 유닛에 스테이지가 적재되며, 상기 스테이지에 상기 특성이 검사된 엘이디가 안착된 웨이퍼가 제공되는 단계;
    상기 언로딩부의 소팅 유닛에서 상기 스테이지로 상기 특성이 검사된 엘이디를 분류하는 단계;
    상기 스테이지에 상기 특성이 검사된 엘이디가 가득 안착되면 상기 스테이지를 수납하는 카세트에 수납하는 단계;를 포함하는 엘이디 검사방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 언로딩부의 소팅 유닛에서 상기 스테이지로 상기 특성이 검사된 엘이디를 분류하는 단계에서 상기 스테이지에 상기 특성이 검사된 엘이디 중 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되었는지 여부를 판단하는 단계를 포함하는 엘이디 검사방법.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 카세트는 상기 엘이디 검사장치의 바닥면과 인접하게 제공된 제1 카세트 및 상기 제1 카세트 상에 적층된 제2 카세트를 포함하고,
    상기 스테이지에 상기 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되었는지 여부를 판단하는 단계에서 상기 스테이지에 상기 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되어 있지 않다고 판단되면,
    상기 스테이지는 상기 제1 카세트로 이송되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디 검사방법.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 스테이지에 상기 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되었는지 여부를 판단하는 단계에서 상기 스테이지에 상기 동일 등급의 엘이디가 가득 안착되어 있다고 판단되면,
    상기 스테이지는 상기 제2 카세트로 이송되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디 검사방법.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 스테이지가 상기 제2 카세트로 이송되는 단계 이후에 상기 제1 카세트에서 상기 제2 카세트로 엘이디가 안착되어 있지 않은 스테이지가 이송되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디 검사방법.
  22. 제20항에 있어서,
    상기 스테이지가 상기 제2 카세트로 이송되는 단계 이전에 상기 스테이지에는 상기 동일 등급의 엘이디의 등급에 따른 라벨을 부착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디 검사방법.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070002211A (ko) * 2005-06-30 2007-01-05 (주) 핸들러월드 복식 발광 다이오드 검사장치
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100984513B1 (ko) * 2008-10-23 2010-09-30 미래산업 주식회사 발광소자 테스트 핸들러

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20070002211A (ko) * 2005-06-30 2007-01-05 (주) 핸들러월드 복식 발광 다이오드 검사장치
KR20100043509A (ko) * 2008-10-20 2010-04-29 미래산업 주식회사 발광소자 테스트 핸들러

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