JP5812555B1 - 電子部品検査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(構成)
(電子部品検査装置)
以下、本発明に係る電子部品検査装置の第1の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は、第1の実施形態に係る電子部品検査装置の概略構成を示す構成図である。電子部品検査装置1は、電子部品の検査及び再検査の結果に応じて電子部品を良品と不良品に分類及び再分類する。再検査の際には、電子部品の検査時に取得した観測結果を異なる観点、手法、又は精度で解析し、再検査結果を導く。異なる観点又は手法とは、例えば再検査者による観測結果の目視である。
図2は、検査分類装置3の詳細構成を示す構成図である。検査分類装置3は、架台3aの上面に電子部品の搬送経路3bを配設し、搬送経路3bに沿って検査予定及び再検査済みの電子部品を複数同時に整列搬送する。検査予定の電子部品と再検査済みの電子部品は、別工程で搬送する。
制御部4は、図3に示すように、検査分類装置3の各部を制御して、検査予定の電子部品を検査及び分類させる分類モード制御部41と、検査分類装置3の各部を制御して、再検査済みの電子部品を再分類させる再分類モード制御部49を備える。
次に、再検査装置2の詳細構成について説明する。図5は、再検査装置2の詳細を示す構成図である。図5に示すように、再検査装置2は、受信部23と、観測結果記憶部25と、表示部21と、操作部22と、再判定情報生成部26と、送信部24を備え、検査分類装置3から受信した観測結果情報i1を再検査する。本実施形態の再検査装置2では、観測結果情報i1を表示し、再検査者に観測結果情報i1を目視させ、目視による再検査を支援する。
(分類モード動作)
以上のような電子部品検査装置1の分類モードにおける制御動作について説明する。図7は、電子部品検査装置1の分類モードの制御動作を示すフローチャートである。尚、本制御動作では、電子部品の品質基準を厳しく設定しておき、不良品収容ユニット37の保持する収容体Tを再検査対象の電子部品が収容される再検査対象収容体として、この収容体Tに良品と不良品の電子部品が混在し得る状態を例に説明している。
図8は、電子部品検査装置1の再検査の動作を示すフローチャートである。再検査は、分類モードの終了後の次工程で行われる。再検査装置2は、ステップS21において、観測結果受信部43は、検査分類装置3から互いに関連付けられた観測結果情報i1と判定情報i2と識別情報i3を受信する。これら情報の送受信タイミングに特に限定はないが、例えば、検査分類装置3が収容体Tに収まりきる全電子部品の検査及び分類を終えた後、検査分類装置3が再検査装置2へ送信するようにしてもよい。また、検査分類装置3を再検査者が操作して、その操作に応答して検査分類装置3へ情報の送信を要求し、その要求に応答して検査分類装置3から再検査装置2へ送信するようにしてもよい。
図9は、電子部品検査装置1の再分類モードの制御動作における電子部品の再供給を示すフローチャートである。尚、本制御動作では、電子部品の品質基準を厳しめに設定しておき、不良品収容ユニット37の保持する収容体Tを再検査対象収容体として、この収容体Tに良品と不良品の電子部品が混在し得る状態を例に説明している。また、再供給ユニット38が備えるカメラは、吸着ノズル31aが電子部品をピックアップする位置の1つ手前のポジションを撮像するように配置されているものとする。
この電子部品検査装置1は、電子部品を観測する観測ユニット35a〜35eと、観測ユニット35a〜35eの観測結果情報i1を解析して電子部品の良品と不良品の別を判定する検査部44と、検査部44の判定情報i2に基づいて電子部品を良品用と不良品用の各収容体Tの何れかに分類する第1の分類手段とを備えている。第1の分類手段は、本実施形態において、搬送テーブル31と吸着ノズル31aによりなる。
次に第2の実施形態に係る電子部品検査装置1について図面を参照しつつ詳細に説明する。尚、第1の実施形態と同一構成、同一機能については同一符号を付して詳細な説明を省略する。
以上、各実施形態を例として説明したが、電子部品検査装置1は、電子部品の検査及び再検査の結果に応じて電子部品を良品と不良品に分類及び再分類し、再検査の際には、電子部品の検査時に取得した観測結果を異なる観点、手法又は精度で解析し、再検査結果を導くものであれば、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。そして、この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
2 再検査装置
21 表示部
22 操作部
23 受信部
24 送信部
25 観測結果記憶部
26 再判定情報生成部
3 検査分類装置
3a 架台
3b 搬送経路
31 搬送テーブル
31a 吸着ノズル
32 ダイレクトドライブモータ
33 供給ユニット
33a リングホルダ
33b ピックアップ装置
35a〜35e 観測ユニット
36 良品収容ユニット
37 不良品収容ユニット
38 再供給ユニット
39 強制排出ビン
4 制御部
41 分類モード制御部
42 収容ユニット制御部
43 観測結果受信部
44 検査部
45 識別情報生成部
46 観測結果記憶部
47 観測結果送信部
48 再判定情報受信部
49 再分類モード制御部
50 リングホルダ制御部
i1 観測結果情報
i2 判定情報
i3 識別情報
i4 ダイシングライン情報
Claims (7)
- 一方が再検査対象の電子部品を収容する再検査対象収容体となる良品用収容体と不良品用収容体を保持し、電子部品を検査して検査結果に応じて前記良品用収容体と前記不良品用収容体に電子部品を分類する電子部品検査装置であって、
電子部品を観測する観測手段と、
前記観測手段の観測結果を解析して電子部品の良品と不良品の別を判定する検査手段と、
前記検査手段の判定結果に基づき、電子部品を良品用収容体と不良品用収容体の何れかに分類する第1の分類手段と、
前記再検査対象収容体に収容された電子部品の当該収容体内での位置を示す識別情報を生成する識別情報生成手段と、
電子部品の前記観測結果と当該電子部品の位置を示す前記識別情報を関連付けて記憶する記憶手段と、
前記観測結果から前記再検査対象収容体に収容された電子部品の良品と不良品の別を異なる観点、手法又は精度で再判定するための再検査手段と、
前記観測結果に関連付けられた前記識別情報に前記再検査手段による再判定の結果を更に関連付ける再判定情報生成手段と、
前記再検査手段の再判定結果に基づき、当該再判定結果に関連付けられた前記識別情報が示す位置の電子部品を良品用収容体又は不良品用収容体の何れかに再分類する第2の分類手段と、を備え、
前記再検査対象収容体は、電子部品を収容する収容領域を複数有し、
前記第1の分類手段は、連続する収容領域に一定数の電子部品を連続して充填し、電子部品を充填した連続領域の隣の一領域を空の収容領域のままとすること、
を特徴とする電子部品検査装置。 - 前記再検査対象収容体には、連続する電子部品の列が空の収容領域で区画されて複数形成され、
前記識別情報は、電子部品の属する列と列内の並び順番で示されること、
を特徴とする請求項1記載の電子部品検査装置。 - 前記第2の分類手段は、
電子部品を保持して前記良品用収容体又は前記不良品用収容体から離脱させる保持手段と、
前記保持手段が電子部品を離脱させる位置に電子部品の収容領域を順次位置させるように、前記再検査対象収容体を移動させる再供給手段と、
所定位置に移動する前記収容領域を順次撮像し、前記一定数の移動ごとに前記空の収容領域の存在を確認する送りミス検出手段と、
を備え、
前記送りミス検出手段が前記一定数毎に前記空の収容領域の存在を確認できなければ、前記再分類を中止すること、
を特徴とする請求項1又は2記載の電子部品検査装置。 - ウェハリングに貼着された電子部品を前記第1の分類手段に供給する供給部を備え、
前記識別情報生成部は、前記識別情報に電子部品の前記ウェハリング上の行列位置を示すダイシングライン情報を更に関連づけし、
前記再検査手段は、前記ダイシングライン情報に基づき、良品又は不良品と再判定した電子部品と前記ウェハリング上で同一の行又は列に並ぶ他の電子部品を同一の品質と再判定すること、
を特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の電子部品検査装置。 - 前記再検査手段は、
前記観測結果を表示する表示部と、
前記表示部に表示された前記観測結果の目視による良品又は不良品の再判定操作を受け付ける操作部と、
を備えること、
を特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載の電子部品検査装置。 - ウェハリングに貼着された電子部品を前記第1の分類手段に供給する供給部を備え、
前記再検査手段は、
前記観測結果を表示する表示部と、
前記表示部に表示された前記観測結果の目視による良品又は不良品の再判定操作を受け付ける操作部と、
を備え、
前記識別情報生成部は、前記識別情報に電子部品の前記ウェハリング上の行列位置を示すダイシングライン情報を更に関連づけし、
前記表示部は、前記ダイシングライン情報に基づき、表示中の電子部品と前記ウェハリング上で同一の行又は列に並ぶ他の電子部品の観測結果情報を連続して表示すること、
を特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の電子部品検査装置。 - 前記第1の分類手段と前記第2の分類手段は、共通の機器により構成されること、
を特徴とする請求項1乃至6の何れかに記載の電子部品検査装置。
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