KR100895468B1 - Adhesive chuck device - Google Patents

Adhesive chuck device Download PDF

Info

Publication number
KR100895468B1
KR100895468B1 KR1020077003427A KR20077003427A KR100895468B1 KR 100895468 B1 KR100895468 B1 KR 100895468B1 KR 1020077003427 A KR1020077003427 A KR 1020077003427A KR 20077003427 A KR20077003427 A KR 20077003427A KR 100895468 B1 KR100895468 B1 KR 100895468B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
adhesive
movable
pressure
movable membrane
Prior art date
Application number
KR1020077003427A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20070069132A (en
Inventor
미치야 요코타
요시카즈 오오타니
미츠쿠니 사카시타
Original Assignee
신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=36227625&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=KR100895468(B1) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 filed Critical 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤
Publication of KR20070069132A publication Critical patent/KR20070069132A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100895468B1 publication Critical patent/KR100895468B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Hooks, Suction Cups, And Attachment By Adhesive Means (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Screen Printers (AREA)

Abstract

간단한 구조의 공압 기구로 기판을 확실히 착탈한다.The pneumatic mechanism of a simple structure reliably attaches or detaches a board | substrate.

유지판(1)의 기판측에, 그 기판측면(1a)에 형성한 개구부(1b) 내에서 그 기판측면(1a)과 교차하는 방향으로 변형 가능한 가동막(3)과, 기판(A)과 대향하여 점착 유지되는 점착 부재(4)를 설치하여, 상기 가동막(3)의 1차측 공간(5)과 2차측 공간(S)의 압력차에 의해 그 가동막(3)을 왕복 이동시킴으로써, 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)과 기판(A)이 맞닿게 하여 점착 유지되는 동시에, 이들 양자가 강제적으로 떨어지게 되어, 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)으로부터 기판(A)이 무리 없이 박리된다.On the board | substrate side of the holding plate 1, the movable film 3 which can deform | transform in the direction which intersects with the board | substrate side surface 1a in the opening part 1b formed in the board | substrate side surface 1a, and the board | substrate A, By providing the adhesive member 4 which opposes and sticks and reciprocates the movable membrane 3 by the pressure difference of the primary side space 5 and the secondary side space S of the said movable membrane 3, While the adhesive surface 4a of the pressure-sensitive adhesive member 4 and the substrate A are brought into contact with each other to hold the adhesive, both of them are forcibly separated, so that the substrate A is removed from the pressure-sensitive adhesive surface 4a of the pressure-sensitive adhesive member 4. Peel off without difficulty.

Description

점착 척 장치{ADHESIVE CHUCK DEVICE}Adhesive Chuck Device {ADHESIVE CHUCK DEVICE}

본 발명은 예를 들면 액정 디스플레이(LCD)나 플라즈마 디스플레이(PDP) 등의 플랫 패널 디스플레이의 제조 과정에 있어서, CF 유리나 TFT 유리 등의 유리제 기판이나 또는 합성수지제 기판을 점착 유지하여 접합하는 기판 접합기를 포함하는 기판 조립 장치나, 기판을 반송하는 기판 반송 장치 등에 사용되는 점착 척 장치에 관한 것이다.The present invention, for example, in the manufacturing process of a flat panel display such as a liquid crystal display (LCD) or a plasma display (PDP), a substrate bonding machine for adhesively holding a glass substrate such as CF glass, TFT glass or a substrate made of synthetic resin The present invention relates to an adhesive chuck device for use in a substrate assembling device, a substrate conveying device for conveying a substrate, and the like.

상세하게는, 점착에 의해, 기판을 유지판에 대해서 착탈이 자유롭게 유지하는 점착 척 장치에 관한 것이다.In detail, it is related with the adhesion chuck apparatus which attaches and detaches a board | substrate freely with respect to a holding plate by adhesion | attachment.

종래, 2매의 기판을 중첩하는 기판 접합기에서는 정전 척으로 기판을 유지하였지만, 최근 기판의 대형화에 따라 큰 사이즈의 정전 척을 제작하는 것이 어려워지고, 또 설령 제작할 수 있더라도 매우 고가품으로 되었다.Conventionally, in a substrate bonding machine in which two substrates overlap, a substrate is held by an electrostatic chuck. However, as the size of the substrate increases in recent years, it has become difficult to manufacture a large-size electrostatic chuck, and even if it can be manufactured, it has become very expensive.

그래서, 이러한 문제를 해결하기 위하여 기판의 유지에 점착재를 사용한 점착 척 장치가 있다.Thus, there is an adhesive chuck device using an adhesive material for holding a substrate in order to solve this problem.

이와 같은 점착 척 장치의 일례로서, 한 쌍의 롤러에 걸쳐 권취가 자유롭게 펴진 점착 시트에 대하여, 상부 기판을 붙여서 유지한 후, 상부 기판과 하부 기판의 접합을 실시하고, 그 후, 복수의 모터의 구동으로, 스핀들을 회전시켜서 점착 시트를 권취하는 동시에, 그 권취 속도와 동기한 속도로 같은 권취 방향으로 그 스핀들 및 한쪽의 롤러를 수평 이동시킴으로써, 상부 기판의 상면으로부터 점착 시트를 서서히 떼어내는 것이 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).As an example of such an adhesive chuck apparatus, the upper and lower substrates are bonded and held on a pressure-sensitive adhesive sheet wound freely over a pair of rollers, and then the upper and lower substrates are bonded to each other. By driving, the adhesive sheet is wound up by rotating the spindle, and at the same time as the winding speed, the adhesive sheet is gradually removed from the upper surface of the upper substrate by horizontally moving the spindle and one roller in the same winding direction. (See, for example, Patent Document 1).

그리고, 상술한 스핀들에 의한 점착 시트의 권취를 대신하여, 양 기판을 접합하여 셀이 생긴 후에, 복수의 액츄에이터의 구동으로 커터대 및 커터 베이스를 복수의 액츄에이터에 의하여 커터의 날의 하단 위치까지 상승시키고 나서, 점착 시트의 폭 방향으로 커터를 이동시킴으로써, 상부 기판이 붙어있는 점착 시트를 절단하고, 그 점착 시트가 붙은 상태로 셀을 꺼내, 적당한 시점에서 셀로부터 점착 시트를 떼어내도록 하고 있다.Then, in place of the winding of the pressure-sensitive adhesive sheet by the above-mentioned spindle, after joining both substrates to form a cell, the cutter stand and the cutter base are raised to the lower end position of the cutter blade by a plurality of actuators by driving of a plurality of actuators. Then, by moving the cutter in the width direction of the PSA sheet, the PSA sheet with the upper substrate is cut, the cell is taken out while the PSA sheet is stuck, and the PSA sheet is detached from the cell at an appropriate time.

또한 다른 예로서, 위쪽의 가압판에 개공을 복수 형성하여, 이들 개공내에 액츄에이터를 각각 구비하고, 각 액츄에이터로부터 아래쪽을 향하여 뻗은 축의 선단에 점착 부재가 점착되고, 상기 액츄에이터의 동작에 의하여 개공내에서 점착 부재를 하강시켜, 점착 부재의 하면이 상부 기판과 접촉하면, 그 점착 작용에 의해 가압판의 하면에 밀착한 형태로 유지되며, 또 기판의 접합 후에 상부 기판으로부터 점착재를 떼어낼 때는 액츄에이터에 의하여 개공내에서 점착 부재를 상승시키면, 개공의 둘레 가장자리부가 상부 기판의 이동을 저지하여 점착 부재로부터 상부 기판을 떼어내는 것이 있다(예를 들면, 특허 문헌 2 참조).As another example, a plurality of openings are formed in the upper pressure plate, and actuators are provided in these openings, respectively, and an adhesive member is adhered to a tip of an axis extending downward from each actuator, and the adhesive member is adhered in the opening by the operation of the actuator. When the member is lowered and the lower surface of the adhesive member is in contact with the upper substrate, the adhesive action maintains the form in close contact with the lower surface of the pressure plate, and when opening the adhesive material from the upper substrate after joining the substrate, it is opened by an actuator. When the adhesive member is raised in the inside, the peripheral portion of the opening blocks the movement of the upper substrate, thereby removing the upper substrate from the adhesive member (see Patent Document 2, for example).

또, 위쪽의 가압판에 개구를 복수 형성하여, 이들 개구 내에 회전용 액츄에이터와 상하 구동용 액츄에이터를 각각 구비하고, 각각의 회전용 액츄에이터로부터 아래쪽을 향하여 뻗은 회전축의 선단에 점착 부재가 부착되고, 상하 구동용 액츄에 이터의 동작에 의하여 개구 내에서 각 점착 부재를 하강시켜, 이들 점착 부재와 흡인 흡착으로 상부 기판을 유지하고, 위치 결정하면서 접합을 실시하며, 점착 부재를 가압판 내로 후퇴시킬 때는 점착 부재를 기판면에 대하여 회전용 액츄에이터에 의해 비틀면서, 또는 비틀고 나서 상하 구동용 액츄에이터에 의해 후퇴시켜서, 점착 부재를 상부 기판으로부터 떼어내는 것이 있다(예를 들면, 특허 문헌 3 참조).In addition, a plurality of openings are formed in the upper pressure plate, and each of these openings includes a rotary actuator and a vertical drive actuator, and an adhesive member is attached to the tip of the rotary shaft extending downward from each rotary actuator, and the vertical drive is performed. Each adhesive member is lowered in the opening by the operation of the actuator, and the upper substrate is held by the suction and suction adsorption, and the bonding is performed while positioning. When the adhesive member is retracted into the pressure plate, the adhesive member is removed. The adhesive member is detached from the upper substrate by twisting with the rotary actuator against the substrate surface, or by retracting by the vertical drive actuator after twisting (see Patent Document 3, for example).

(특허문헌 1) 일본 공개 특허 공보 2001-133745호(제3-5페이지, 도 1-도 7)(Patent Document 1) Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-133745 (Page 3-5, Fig. 1- Fig. 7)

(특허문헌 2) 일본 공개 특허 공보 2003-241160호(제5페이지, 도 7)(Patent Document 2) Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-241160 (5 pages, FIG. 7)

(특허문헌 3) 일본 공개 특허 공보 2003-273508호(제5페이지, 도 1-5)(Patent Document 3) Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-273508 (Page 5, Fig. 1-5)

그러나, 이와 같은 종래의 점착 척 장치에서는, 특허 문헌 1의 경우, 점착 부재와 기판을 떼어내기 위해서, 점착 시트를 권취하면서 권취 속도와 동기한 속도로 같은 권취 방향으로 수평 이동시키거나, 또는 커터대 및 커터 베이스를 상승시켜 커터로 점착 시트를 절단해야만 하므로, 각각의 작동에는 복수의 모터나 액츄에이터 등의 구동원이 많이 필요하게 되어 구조가 복잡해진다는 문제가 있었다. However, in the conventional adhesive chuck apparatus, in the case of Patent Literature 1, in order to separate the adhesive member and the substrate, the adhesive sheet is horizontally moved in the same winding direction at the same speed as the winding speed while winding the adhesive sheet, or the cutter stand. And since the adhesive sheet must be cut with the cutter by raising the cutter base, a large number of driving sources such as a plurality of motors, actuators, etc. are required for each operation, resulting in a complicated structure.

또, 특허 문헌 2의 경우에는, 가압판의 개공 내에서 점착 부재를 상승시키기 위해서 복수의 액츄에이터가 각 점착 부재마다 각각 필요해지며, 특허 문헌 3의 경우에는, 점착 부재를 비틀면서 후퇴시키기 위한 회전용 액츄에이터 및 상하 구동용 액츄에이터가 각 점착 부재마다 각각 필요하게 되어 구조가 복잡해진다는 문제가 있었다.Moreover, in the case of patent document 2, in order to raise an adhesion member in the opening of a pressure plate, several actuator is needed for each adhesion member, respectively, and in the case of patent document 3, the rotating actuator for retreating while twisting an adhesion member And a vertical drive actuator is required for each adhesive member, resulting in a complicated structure.

따라서, 특허문헌 1~3은 특히 박리 구조가 복잡하기 때문에, 고장 발생율이 높을 뿐만 아니라, 특히 기판 접합기를 포함하는 기판 조립 장치나 기판 반송 장치 등에 배치하는 경우에는 기존에 설치된 정전 척 등의 기판 유지 기구를 본 발명의 점착 척 장치로 치환하는 것이 곤란하다는 문제가 있었다.Therefore, Patent Literatures 1 to 3 have a particularly high peeling structure, so that the failure rate is high, and in particular, in the case of disposing a substrate assembling apparatus or a substrate conveying apparatus including a substrate bonding machine, it is possible to hold a substrate such as an electrostatic chuck installed in advance. There was a problem that it was difficult to replace the mechanism with the adhesive chuck device of the present invention.

또한, 상기 액츄에이터가 예를 들면 모터와 같은 전자기적인 전동기인 경우에는 발열하기 쉬우며, 예를 들면 유리제의 기판은 열 변화에 민감하여 1℃ 변화한 것만으로도 약 4μmm 정도는 신축해 버리고, 이와 같은 발열에 의한 영향으로 기판끼리를 정확하게 위치 맞춤하는 것이 곤란하다는 문제가 있었다.In addition, when the actuator is an electromagnetic motor such as a motor, for example, it is easy to generate heat. For example, a glass substrate is sensitive to heat change and stretches by about 4 μm even if the temperature is changed by 1 ° C. There was a problem that it was difficult to accurately position substrates under the influence of the same heat generation.

또한, 대기압으로부터 소정의 진공도에 이르는 분위기중에서 점착하여 유지시키는 동시에 그 점착을 박리하여 개방시키는 경우에는 대기압으로부터 소정의 진공도까지 변화하지만, 모터와 같은 전자기적인 액츄에이터를 사용하면, 진공 중의 어떤 타이밍에서 플라즈마 방전을 일으킬 우려가 있어, 유리 기판의 손상으로 이어진다는 문제도 있었다.In addition, when the adhesive is held in an atmosphere from atmospheric pressure to a predetermined vacuum degree and the adhesive is peeled off to be released, the pressure is changed from atmospheric pressure to a predetermined vacuum degree. However, when an electromagnetic actuator such as a motor is used, the plasma is discharged at a certain timing in the vacuum. There was a possibility of causing a discharge, which also led to damage of the glass substrate.

또한, 상기 액츄에이터가 에어 실린더와 같은 구동원이었다고 하더라도, 그 자체만으로 신축 동작이 가능한 밀봉 구조이기 때문에 컴팩트화가 곤란하며, 그 때문에 장치 전체가 대형화하여 제조 비용이 올라간다는 문제가 있었다. In addition, even if the actuator is a driving source such as an air cylinder, it is difficult to be compact since it is a sealed structure that can be expanded and contracted by itself. Therefore, there is a problem that the entire apparatus is enlarged and the manufacturing cost increases.

그런데, 특히 대형 기판은 휨 변형이 발생하기 쉽고, 이와 같이 변형하기 쉬운 기판을 확실히 점착 유지하여 박리 개방하려면, 기판에 대하여 점착 부재를 강한 힘으로 접촉시키거나 또는 떼어놓을 필요가 있는데, 이와 같은 강한 힘을 얻으려면 액츄에이터를 대형화하지 않으면 안되므로, 이에 따라 무거워진다는 문제도 있었다.However, in particular, large substrates tend to cause warpage deformation, and in order to reliably hold and release such substrates that are easily deformable, it is necessary to contact or detach the adhesive members with a strong force against the substrate. In order to obtain the force, the actuator must be enlarged, and accordingly, there is a problem that it becomes heavy.

본 발명 중 청구항 1에 기재된 발명은, 간단한 구조의 공압 기구로 기판을 확실하게 착탈하는 것을 목적으로 한 것이다.Invention of Claim 1 of this invention aims at reliably attaching and detaching a board | substrate with the pneumatic mechanism of simple structure.

청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명의 목적에 더하여, 간단한 구조의 공압 기구로 기판을 확실하게 점착ㆍ박리하기 위해서 필요한 힘을 얻는 것을 목적으로 한 것이다. In addition to the object of the invention of Claim 1, the invention of Claim 2 aims at obtaining the force required in order to reliably stick and peel a board | substrate with the pneumatic mechanism of a simple structure.

청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 2에 기재된 발명의 목적에 더하여, 흡인용 배관계나 흡인 제어를 용이하게 실현하면서 기판을 확실히 유지하는 것을 목적으로 한 것이다.In addition to the object of the invention according to claim 1 or 2, the invention described in claim 3 is intended to reliably hold the substrate while easily realizing suction piping system and suction control.

청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 2 또는 3에 기재된 발명의 목적에 더하여, 강체부의 왕복 이동을 안정시켜서 기판과의 점착 성능 및 박리 성능의 향상을 도모하는 것을 목적으로 한 것이다. In addition to the object of the invention according to claim 2 or 3, the invention according to claim 4 is intended to stabilize the reciprocating movement of the rigid body portion and to improve the adhesion performance and the peeling performance with the substrate.

청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 4에 기재된 발명의 목적에 더하여, 2차측 공간의 압력 변화와 관계없이 기판을 점착 유지 및 박리 개방하는 것을 목적으로 한 것이다.In addition to the object of the invention of Claim 4, invention of Claim 5 aims at sticking and peeling-opening a board | substrate irrespective of the pressure change of a secondary side space.

청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 1, 2, 3, 4 또는 5에 기재된 발명의 목적에 더하여, 가동막 자체를 대형화하지 않아도 점착ㆍ박리를 확실하게 실시하기 위한 스트로크를 확보하는 것을 목적으로 한 것이다.In addition to the object of the invention according to claim 1, 2, 3, 4 or 5, the invention according to claim 6 is intended to secure a stroke for reliably performing adhesion and peeling even without increasing the size of the movable membrane itself. .

청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 1, 2, 3, 4, 5 또는 6에 기재된 발명의 목적에 더하여, 공압 기구의 압력 제어를 용이하게 하는 것을 목적으로 한 것이다.Invention of Claim 7 aims at making pressure control of a pneumatic mechanism easy in addition to the objective of Claim 1, 2, 3, 4, 5, or 6.

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명 중 청구항 1에 기재된 발명은, 유지판의 기판측에, 그 기판측면에 개방 설치된 개구부 내에서 그 기판측면과 교차하는 방향으로 변형 가능한 가동막과, 기판과 대향하여 점착 유지되는 점착 부재를 설치하여, 상기 가동막의 1차측 공간과 2차측 공간의 압력차에 의한 그 가동막의 왕복 이동으로 점착 부재의 점착 표면과 기판을 맞닿게 하여 점착하는 동시에, 이들 양자를 강제적으로 떼어내어 박리하는 것을 특징으로 하는 것이다.In order to achieve the above object, the invention according to claim 1 of the present invention is a movable film which can be deformed in a direction intersecting with the substrate side surface in an opening provided on the substrate side of the holding plate and opened on the substrate side surface, and the substrate; A pressure-sensitive adhesive member which is held to face the pressure-sensitive adhesive is provided, and the adhesive surface of the pressure-sensitive adhesive member is brought into contact with the substrate by reciprocating movement of the movable membrane due to the pressure difference between the primary side space and the secondary side space of the movable membrane, It is forcibly peeled off and peeled off.

청구항 2에 기재된 발명은, 청구항 1에 기재된 발명의 구성에, 상기 가동막의 일부에 강체부를 기판과 대향하게 설치하고, 그 가동막의 왕복 이동으로 그 강체부의 선단면을 유지판의 개구부로부터 나오게 하여 기판과 맞닿게 하는 구성을 더한 것을 특징으로 한다.In the invention according to claim 2, in the constitution of the invention according to claim 1, a rigid body portion is provided on a part of the movable membrane so as to face the substrate, and the front end surface of the rigid body portion comes out of the opening of the holding plate by reciprocating movement of the movable membrane. It is characterized by adding the configuration to abut.

청구항 3에 기재된 발명은, 청구항 1 또는 2에 기재된 발명의 구성에, 상기 가동막의 왕복 이동 방향으로 관통하는 통기로를 기판과 대향하게 형성하고, 그 통기로로부터 기판을 흡인 흡착한 구성을 더한 것을 특징으로 한다.The invention according to claim 3 has a configuration in which the air passage penetrating in the reciprocating direction of the movable membrane is formed to face the substrate, and the structure in which the substrate is suction-adsorbed from the air passage is added to the configuration of the invention according to claim 1 or 2. It features.

청구항 4에 기재된 발명은, 청구항 2 또는 3에 기재된 발명의 구성에, 상기 가동막에 강체부와 일체화된 실린더부를 설치하고, 기판측면에 형성된 개구부 내에 그 실린더부와 대향하는 격벽을 설치하고, 그 격벽에 대하여 실린더부를 왕복 이동이 자유롭게 삽입 통과시켜 축 지지한 구성을 더한 것을 특징으로 한다.In the invention according to claim 4, in the configuration of the invention according to claim 2 or 3, a cylinder portion integrated with a rigid body portion is provided in the movable membrane, and a partition wall facing the cylinder portion is provided in an opening formed on the substrate side surface. It is characterized by adding a configuration in which the cylinder portion is axially supported by reciprocating movement of the cylinder portion freely.

청구항 5에 기재된 발명은, 청구항 4에 기재된 발명의 구성에, 상기 개구부 내에 서로 간격을 둔 2매의 가동막을 설치하고, 이들 가동막에 실린더부를 삽입 부착하여, 양 가동막의 사이에 제1 공압실과 제2 공압실을 따로 구획 형성하고, 그 제1 공압실과 제2 공압실의 압력차로 양 가동막을 동시에 변형하여 왕복 이동시킨 구성을 더한 것을 특징으로 한다.In the invention according to claim 5, in the constitution of the invention according to claim 4, two movable membranes spaced apart from each other are provided in the openings, and cylinder portions are inserted and attached to these movable membranes, and the first pneumatic chamber and The second pneumatic chamber is formed separately, and the two movable membranes are simultaneously deformed and reciprocated by the pressure difference between the first pneumatic chamber and the second pneumatic chamber.

청구항 6에 기재된 발명은, 청구항 1, 2, 3, 4 또는 5에 기재된 발명의 구성에, 상기 가동막이 유지판의 기판측면과 교차하는 방향으로 변형 가능한 벨로우즈로 이루어지는 구성을 더한 것을 특징으로 한다.Invention of Claim 6 added the structure of the invention of Claim 1, 2, 3, 4 or 5 to the structure which consists of a bellows which the said movable film can deform | transform in the direction which cross | intersects the board | substrate side surface of a holding plate.

청구항 7에 기재된 발명은, 청구항 1, 2, 3, 4, 5 또는 6에 기재된 발명의 구성에, 상기 가동막과 연계하는 압박 부재를 설치하고, 그 압박 부재로 그 가동막을 그 왕복 이동 중의 어느 한쪽을 향하여 압박한 구성을 더한 것을 특징으로 한다.In the invention according to claim 7, in the constitution of the invention according to claim 1, 2, 3, 4, 5, or 6, a pressing member which is connected with the movable membrane is provided, and the movable membrane is moved in the reciprocating motion by the pressing member. It is characterized by the addition of a configuration pressed toward one side.

본 발명 중 청구항 1에 기재된 발명은, 유지판의 기판측에, 그 기판측면에 형성한 개구부 내에서 그 기판측면과 교차하는 방향으로 변형 가능한 가동막과, 기판과 대향하여 점착 유지되는 점착 부재를 설치하고, 상기 가동막의 1차측 공간과 2차측 공간의 압력차에 의해 그 가동막을 왕복 이동시킴으로써, 점착 부재의 점착 표면과 기판이 맞닿아 점착 유지되는 동시에, 이들 양자가 강제적으로 떼어내어져, 점착 부재의 점착 표면으로부터 기판이 무리 없이 박리된다.The invention according to claim 1 of the present invention provides a movable film that is deformable in a direction intersecting with the substrate side surface in an opening formed on the substrate side of the holding plate, and an adhesive member that is adhesively held against the substrate. The movable membrane is reciprocated by the pressure difference between the primary side space and the secondary side space of the movable membrane, whereby the adhesive surface of the pressure-sensitive adhesive member and the substrate are brought into contact with each other, and both of them are forcibly detached and adhered. The substrate peels smoothly from the adhesive surface of the member.

따라서, 간단한 구조의 공압 기구로 기판을 확실히 착탈할 수 있다.Therefore, the substrate can be reliably attached and detached by a pneumatic mechanism having a simple structure.

그 결과, 점착 부재와 기판을 떼어내기 위하여 모터나 액츄에이터 등의 구동원이 많이 필요한 종래의 것에 비해, 특히 박리 구조가 간단하기 때문에, 고장 발생율을 현저하게 저하시킬 수 있고, 특히 기판 접합기를 포함하는 기판 조립 장치나 기판 반송 장치 등에 배치하는 경우에는, 기존에 설치된 정전 척 등의 기판 유지 기구를 본 발명의 점착 척 장치로 용이하게 치환할 수 있어, 제조 비용의 대폭적인 저감을 도모할 수 있다.As a result, since the peeling structure is simple especially compared with the conventional thing which requires many drive sources, such as a motor and an actuator, in order to remove an adhesive member and a board | substrate, a failure occurrence rate can be remarkably reduced, especially the board | substrate containing a board | substrate joiner. When arrange | positioning to an assembly apparatus, a board | substrate conveying apparatus, etc., the board | substrate holding mechanisms, such as an existing electrostatic chuck, can be easily replaced by the adhesive chuck apparatus of this invention, and the manufacturing cost can be reduced significantly.

또한, 정전 흡착에 의해 기판을 유지하지 않기 때문에, 정전기를 자발적으로 발생시키지 않는다는 이점도 있다.In addition, since the substrate is not held by the electrostatic adsorption, there is an advantage in that static electricity is not spontaneously generated.

또, 전자기적인 액츄에이터의 발열에 의한 영향이나 방전의 리스크를 회피할 수 있어 안전하고 또한 정확한 기판끼리의 위치 맞춤을 할 수 있는 동시에, 컴팩트화 및 경량화가 가능하게 되어, 장치 전체를 소형화할 수 있어서 제조 비용의 저감도 도모할 수 있다.In addition, it is possible to avoid the influence of the electromagnetic actuators from heat generation and the risk of electric discharge, which makes it possible to securely and accurately position the substrates, and to make it compact and lightweight, and to reduce the overall size of the apparatus. The manufacturing cost can also be reduced.

또한, 대기압으로부터 소정의 진공도에 이르는 분위기중에서 점착하여 유지시키는 동시에 그 점착을 박리하여 개방시키는 경우에는, 구동원을 공기 압력으로 함으로써, 대기압으로부터 소정의 진공도에 이르는 폐공간과의 구성적인 공존을 도모할 수 있어, 전자기적인 액츄에이터와 같이 전원으로 배선 연락할 필요가 있는 종래의 것에 비해, 진공인 폐공간을 관통시키는 부재가 감소되어 진공 누설 등의 발생을 방지할 수 있다.In addition, when sticking and holding in the atmosphere from atmospheric pressure to a predetermined vacuum degree, and peeling and opening the sticking, the drive source is air pressure, whereby a coexistence with the closed space from atmospheric pressure to a predetermined vacuum degree can be achieved. As a result, a member that penetrates a closed space, which is a vacuum, can be reduced compared to the conventional one which needs to be wired with a power source such as an electromagnetic actuator, thereby preventing the occurrence of vacuum leakage or the like.

청구항 2의 발명은, 청구항 1의 발명의 효과에 더하여, 가동막의 일부에 강체부를 기판과 대향하게 설치하고, 그 가동막의 왕복 이동에 의해 그 강체부의 선단면을 유지판의 개구부로부터 출몰시켜 기판과 맞닿게 함으로써, 가동막의 왕복 운동이 강체부를 통하여 변형되지 않고 기판에 전달된다.In addition to the effects of the invention of claim 1, the invention of claim 2 is provided with a rigid body portion facing the substrate in a part of the movable membrane, and the tip end surface of the rigid portion is raised from the opening of the holding plate by the reciprocating movement of the movable membrane. By abutting, the reciprocating motion of the movable membrane is transmitted to the substrate without being deformed through the rigid body portion.

따라서, 간단한 구조의 공압 기구로 기판을 확실하게 점착ㆍ박리하기 위해서 필요한 힘을 얻을 수 있다.Therefore, the force necessary for reliably sticking and peeling a substrate by a pneumatic mechanism having a simple structure can be obtained.

청구항 3의 발명은, 청구항 1 또는 2의 발명의 효과에 더하여, 가동막의 왕복 이동 방향으로 관통하는 통기로를 기판과 대향하게 형성하고, 그 통기로로부터 기판을 흡인 흡착함으로써, 점착 부재에 의한 점착 유지와 진공 흡착에 의한 유지가 병용된다.In addition to the effect of the invention of Claim 1 or 2, invention of Claim 3 forms the ventilation path which penetrates in the reciprocating direction of a movable membrane opposing a board | substrate, and adsorb | sucks with an adhesive member by suction-suctioning a board | substrate from the ventilation path. The fats and oils by vacuum adsorption are used together.

따라서, 흡인용 배관계나 흡인 제어를 용이하게 실현하면서 기판을 확실히 유지할 수 있다. Therefore, it is possible to reliably hold the substrate while easily realizing suction piping system and suction control.

또한, 흡착시의 진공 압력을 제어함으로써, 기판과의 점착력의 강약을 간단히 조정할 수 있다. In addition, by controlling the vacuum pressure at the time of adsorption, the strength and weakness of the adhesive force with the substrate can be easily adjusted.

청구항 4의 발명은, 청구항 2 또는 3의 발명의 효과에 더하여, 가동막에 강체부와 일체화된 실린더부를 설치하고, 기판측면에 형성된 개구부 내에 그 실린더부와 대향하는 격벽을 설치하고, 그 격벽에 대해 실린더부를 왕복 이동이 자유롭게 삽입 통과시켜 축 지지함으로써, 가동막의 변형에 따라 실린더부를 통해 강체부가 직선 방향으로 왕복 이동한다.In addition to the effect of the invention of Claim 2 or 3, invention of Claim 4 is provided with the cylinder part integrated with a rigid body part in the movable membrane, the partition which opposes the cylinder part in the opening part formed in the board | substrate side surface, is provided in the partition wall. By allowing the cylinder portion to reciprocate freely through and axially supported, the rigid body portion reciprocates in a linear direction through the cylinder portion in accordance with the deformation of the movable membrane.

따라서, 강체부의 왕복 이동을 안정시켜서 기판과의 점착 성능 및 박리 성능의 향상을 도모할 수 있다.Therefore, the reciprocating movement of a rigid body part can be stabilized, and the adhesive performance and peeling performance with a board | substrate can be improved.

청구항 5의 발명은, 청구항 4의 발명의 효과에 더하여, 개구부에 떨어진 2매의 가동막을 간격을 두고 설치하고, 이들 가동막에 실린더부를 삽입 부착하여, 양 가동막의 사이에 제1 공압실과 제2 공압실을 따로 구획 형성하고, 그 제1 공압실과 제2 공압실의 압력차에 의해 양 가동막을 동시에 변형하여 왕복 이동시킴으로써, 기판이 점착하여 유지되는 동시에 그 점착을 박리하여 개방된다. In addition to the effect of the invention of claim 4, the invention of claim 5 is provided with two movable membranes spaced apart from the openings, a cylinder portion is attached to these movable membranes, and the first pneumatic chamber and the second movable membrane are sandwiched between the two movable membranes. The pneumatic chamber is partitioned separately, and both movable membranes are simultaneously deformed and reciprocated by the pressure difference between the first pneumatic chamber and the second pneumatic chamber, whereby the substrate is adhered and held, and the adhesion is released to open.

따라서, 2차측 공간의 압력 변화와 관계없이 기판을 점착 유지 및 박리 개방할 수 있다.Accordingly, the substrate can be held and peeled open regardless of the pressure change in the secondary space.

청구항 6의 발명은, 청구항 1, 2, 3, 4 또는 5의 발명의 효과에 더하여, 가동막을 유지판의 기판 측면과 교차하는 방향으로 변형 가능한 벨로우즈로 구성함으로써, 가동막 전체의 지름 치수에 관계없이 긴 스트로크의 왕복 운동이 가능해진다.In addition to the effect of the invention of Claim 1, 2, 3, 4, or 5, the invention of Claim 6 is made into the bellows which can deform | transform in the direction which cross | intersects the board | substrate side surface of a holding plate, and is related with the diameter dimension of the whole movable film. Long stroke reciprocating motion is possible without

따라서, 가동막 자체를 대형화하지 않아도 점착ㆍ박리를 확실하게 실시하기 위한 스트로크를 확보할 수 있다.Therefore, the stroke for reliably sticking and peeling can be secured even if the movable membrane itself is not enlarged.

그 결과, 대형 기판을 점착 유지하기 위해서 다수의 점착 척 장치를 배치할 필요가 있는 경우에 유효하다.As a result, it is effective when it is necessary to arrange | position many adhesive chuck apparatuses in order to adhere | attach and hold a large sized board | substrate.

청구항 7의 발명은 청구항 1, 2, 3, 4, 5 또는 6의 발명의 효과에 더하여, 가동막과 연계하는 압박 부재를 설치하고, 그 압박 부재에 의해 그 가동막을 그 왕복 이동의 어느 한쪽을 향하여 압박함으로써, 1차측 공간과 2차측 공간의 압력차에 의해 압박 부재의 압박력에 저항하는 방향으로 가동막을 이동하면, 1차측 공간과 2차측 공간의 압력차가 없어졌을 때에는 압박 부재의 복원력에 의하여 가동막이 강제적으로 복귀된다. In addition to the effect of the invention of Claims 1, 2, 3, 4, 5 or 6, the invention of claim 7 is provided with a pressing member associated with the movable membrane, and the movable membrane moves the movable membrane to one side of the reciprocating movement. If the movable membrane is moved in a direction that resists the pressing force of the pressing member due to the pressure difference between the primary side space and the secondary side space by pressing against the side, the movable membrane moves under the restoring force of the pressing member when the pressure difference between the primary side space and the secondary side space disappears. The membrane is forcibly returned.

따라서, 공압 기구의 압력 제어를 용이하게 할 수 있다.Therefore, pressure control of the pneumatic mechanism can be facilitated.

또한, 기판 접합기 등과 같이, 저진공 펌프와 고진공 펌프를 연동시켜 소정의 진공도까지 도달시키는 경우에는, 1차측 공간과 2차측 공간의 압력차에 관계없이 압박 부재의 압박력에 의하여 기판의 점착 유지 상태를 유지하면, 상기 고진공 펌프를 배관상에서 차단한 후에 기판의 박리 동작으로 전환이 가능해져, 그것에 의하여 공기 누설이 발생하여도 고진공 펌프의 파손을 방지할 수 있다.In addition, when the low vacuum pump and the high vacuum pump are interlocked to reach a predetermined vacuum degree, such as a substrate bonding machine, the pressure-sensitive adhesive holding state of the substrate is controlled by the pressing force of the pressing member regardless of the pressure difference between the primary space and the secondary space. In this case, the high vacuum pump can be switched to the peeling operation of the substrate after the high vacuum pump is blocked on the pipe, thereby preventing damage to the high vacuum pump even if air leakage occurs.

도 1은, 본 발명의 점착 척 장치의 실시예 1을 나타내는 부분적인 종단 정면도이며, 기판 접합기에 배치된 경우의 작동 공정을 (a)~(c)에 나타내고 있다.1: is a partial longitudinal front view which shows Example 1 of the adhesion chuck apparatus of this invention, and has shown the operation process at the time of arrange | positioning to a board | substrate bonding machine to (a)-(c).

도 2는, (a) 및 (b)가 가동막의 지지 방법의 변형예를 나타내는 부분 확대 단면도이며, (c)가 가동막의 변형예를 나타내는 부분 확대 단면도이다.2: (a) and (b) are the partial enlarged sectional drawing which shows the modification of the support method of a movable film, (c) is the partial enlarged sectional view which shows the modification of a movable film.

도 3은, 본 발명의 점착 척 장치의 실시예 2를 나타내는 부분적인 종단 정면도이며, 기판 접합기에 배치되었을 경우의 작동 공정을 (a)~(d)에 나타내고 있다.Fig. 3 is a partial vertical front view showing the second embodiment of the pressure-sensitive chuck device of the present invention, and shows the operation process when it is arrange | positioned at the board | substrate bonding machine to (a)-(d).

도 4는, 본 발명의 점착 척 장치의 실시예 3을 나타내는 부분적인 종단정면도이며, 기판 접합기에 배치된 경우의 작동 공정을 (a)~(c)에 나타내고 있다.FIG. 4 is a partial longitudinal sectional front view showing a third embodiment of the pressure-sensitive adhesive chuck device of the present invention, in which (a) to (c) show operating processes when the substrate chuck device is disposed.

도 5는 점착 부재의 변형예를 나타내는 부분 확대 단면도이다.5 is a partially enlarged cross-sectional view showing a modification of the adhesive member.

도 6은 점착 부재의 변형예를 나타내는 부분 확대 단면도이다.6 is a partially enlarged cross-sectional view showing a modification of the adhesive member.

도 7은 본 발명의 점착 척 장치의 실시예 4를 나타내는 부분적인 종단 정면도이며, 기판 접합기에 배치된 경우의 작동 공정을 (a)~(c)에 나타내고 있다.FIG. 7: is a partial longitudinal front view which shows Example 4 of the adhesion chuck apparatus of this invention, and has shown the operation process at the time of arrange | positioning to a board | substrate bonding machine to (a)-(c).

도 8은 본 발명의 점착 척 장치의 실시예 5를 나타내는 부분적인 확대 종단 정면도이다.Fig. 8 is a partially enlarged vertical front view showing Example 5 of the sticky chuck device of the present invention.

도 9는 본 발명의 점착 척 장치의 실시예 5를 나타내는 부분적인 확대 종단 정면도이다.Fig. 9 is a partially enlarged vertical front view showing Example 5 of the sticky chuck device of the present invention.

도 10은 본 발명의 점착 척 장치의 실시예 6을 나타내는 부분적인 종단 정면도이며, 기판 접합기에 배치된 경우의 작동 공정을 (a)~(c)에 나타내고 있다.FIG. 10 is a partial vertical front view showing the sixth embodiment of the pressure-sensitive adhesive chuck device of the present invention, and shows the operation process in the case where it is arrange | positioned at the board | substrate bonding machine in (a)-(c).

도 11은 본 발명의 점착 척 장치의 실시예 7을 나타내는 부분적인 종단 정면도이며, 기판 접합기에 배치된 경우의 작동 공정을 (a)~(c)에 나타내고 있다.Fig. 11 is a partial vertical front view showing the seventh embodiment of the pressure-sensitive adhesive chuck device of the present invention, and shows the operation steps in the case where it is disposed on the substrate bonding machine (a) to (c).

<부호의 설명><Description of the code>

A 기판(상부 기판) A1 표면A board (upper board) A1 surface

B 기판(하부 기판) B1 표면B board (lower board) B1 surface

C 환상 접착제 S 2차측 공간(폐공간)C Annular Adhesive S Secondary Space (Enclosed Space)

1 상부 유지판(상부 정반) 1a 유지면1 Upper holding plate (upper surface plate) 1a Holding surface

1b 개구부 1c 협지 부재1b opening 1c sandwiching member

1d 원통체 1e 통로1d cylindrical 1e passage

1f 스프링 받침부 2 하부 유지판(하부 정반)1f Spring support 2 Lower retaining plate (lower surface plate)

2a 유지면 3 가동막2a holding surface 3 movable membrane

3a 강체부 3b 걸어맞춤부3a rigid body 3b fitting

3c, 3d 가동막 3e 벨로우즈부3c, 3d movable membrane 3e bellows

3f 밀폐실 4 점착 부재3f hermetic seal 4 adhesive member

4a 점착 표면 4b 고착 이면4a adhesive surface 4b fixing back

5 1차측 공간(공압실) 5a 제1 공압실5 Primary side space (pneumatic chamber) 5a First pneumatic chamber

5b 제2 공압실 6 진공 흡착 수단5b second pneumatic chamber 6 vacuum adsorption means

6a 통기로 6b 급기원6b supply source with 6a aeration

7 실린더부 7a 제1 통로7 Cylinder 7a First Passage

7b 제2 통로 7c 스토퍼7b 2nd passage 7c stopper

7d 스프링 받침부 8 격벽7d spring support 8 bulkhead

9 압박 부재9 compression member

본 발명의 점착 척 장치가, 액정 디스플레이(LCD) 패널 등의 유리제 기판을 점착 유지하여 접합하는 기판 접합기에 배치된 경우를 나타낸다.The case where the adhesion chuck apparatus of this invention is arrange | positioned at the board | substrate bonding machine which adheres and bonds glass substrates, such as a liquid crystal display (LCD) panel, is shown.

이 기판 접합기는 도 1~도 10에 나타내는 바와 같이, 상하에 배치된 유지판(1, 2)의 평행하게 대향하는 유지면(1a, 2a)에 2매의 유리제 기판(A, B)을 각각 유지시키고, 그들 주위에 구획 형성된 폐공간(S) 내부가 소정의 진공도(0.5 Pa 정도)에 도달하고 나서, 상하 유지판(1, 2)을 상대적으로 XYθ방향(도면에서는 수평방향)으로 조정 이동하여, 기판(A, B)끼리의 위치 맞춤이 실시되며, 그 후 상부 유지판(1)의 유지면(1a)으로부터 상부 기판(A)을 강제적으로 박리하여 하부 기판(B) 상의 환상 접착제(시일재)(C)로 순간적으로 압착함으로써, 양자간을 밀봉하여 중첩하고, 그 후는 양 기판(A, B)의 내외에 생기는 기압차에 의해 양 기판(A, B)의 사이를 소정의 갭까지 가압하는 것이다.As shown in FIGS. 1-10, this board | substrate bonding machine places two glass substrates A and B on the holding surfaces 1a and 2a which face the holding plates 1 and 2 parallelly arranged up and down, respectively. After the inside of the closed space S formed around them reaches a predetermined vacuum degree (about 0.5 Pa), the upper and lower holding plates 1 and 2 are adjusted and moved relatively in the XYθ direction (horizontal direction in the drawing). Then, the substrates A and B are aligned with each other, after which the upper substrate A is forcibly peeled from the holding surface 1a of the upper holding plate 1 to form an annular adhesive on the lower substrate B ( By instantaneous crimping | compression-bonding with the sealing material (C), it seals and overlaps both, and after that, by the air pressure difference which generate | occur | produces inside and outside both board | substrates A and B, a predetermined space | interval between both board | substrates A and B is prescribed | regulated. Pressurization to the gap.

상세하게 설명하면, 상하 유지판(1, 2)이 승강 수단(도시하지 않음)에 의해 Z방향(도면에서는 상하방향)으로 상대적으로 이동 가능하게 지지되고, 대기압의 분위기 중, 이들 상하 유지판(1, 2)을 상하방향으로 떨어뜨린 상태에서 각각의 유지면(1a, 2a)에 대하여, 기판 반송용 로봇(도시하지 않음)으로 이송된 기판(A, B)을 세트하고, 그 후 상기 승강 수단의 작동에 의하여 상하 유지판(1, 2)을 접근시킴으로써 폐공간(S)이 구획 형성된다.In detail, the upper and lower holding plates 1 and 2 are supported by the lifting means (not shown) so as to be movable relatively in the Z direction (up and down in the drawing), and these upper and lower holding plates ( The board | substrate A and B transferred to the board | substrate conveyance robot (not shown) is set with respect to each holding surface 1a, 2a in the state which dropped 1 and 2 in the up-down direction, and the said raising and lowering after that The closed space S is partitioned by approaching the upper and lower holding plates 1 and 2 by the operation of the means.

그리고, 그 폐공간(S)으로부터 흡기 수단(도시하지 않음)의 작동에 의하여, 공기를 빼내서 소정의 진공도에 도달한 때에 수평 이동 수단(도시하지 않음)의 작동에 의하여, 상하 유지판(1, 2)의 어느 한쪽을 다른쪽에 대하여 XYθ방향으로 조정 이동시킴으로써, 그들에 유지된 기판(A, B)끼리의 위치 맞춤(얼라이먼트)으로서 대강 맞춤과 미세한 맞춤이 순차적으로 실시된다. Then, the upper and lower holding plates 1, 1, are operated by the operation of the horizontal moving means (not shown) when the air is drawn out to reach a predetermined vacuum degree by the operation of the intake means (not shown) from the closed space S. By adjusting and moving either one of 2) to the XY (theta) direction with respect to the other, rough alignment and fine alignment are performed sequentially as alignment (alignment) of the board | substrates A and B hold | maintained by them.

이러한 위치 맞춤이 완료하여 상하 기판(A, B)을 중첩한 후는, 폐공간(S) 내에 공기나 질소를 공급하여, 그 폐공간(S) 내의 분위기를 대기압으로 되돌림으로써, 양 기판(A, B)의 내외에 생기는 기압차로 균등하게 가압되어, 액정이 봉입된 상태에서 소정의 갭까지 찌그려뜨려 제품을 완성하고 있다. After such positioning is completed and the upper and lower substrates A and B are overlapped, air or nitrogen is supplied into the closed space S, and the atmosphere in the closed space S is returned to atmospheric pressure, thereby providing both substrates A. FIG. , B) is pressurized evenly by the pressure difference generated inside and outside, and the product is crushed to a predetermined gap in a state where liquid crystal is sealed.

또한, 상기 유지판(1, 2)의 기판측에, 본 발명의 점착 척 장치를 구비하고 있다. Moreover, the adhesion chuck apparatus of this invention is provided in the board | substrate side of the said holding plates 1 and 2. As shown in FIG.

상세하게 설명하면, 도 1, 도 3, 도 4, 도 7 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 상하 유지판(1, 2)의 기판측인 유지면(1a, 2a)의 어느 한쪽 또는 양쪽에 개구부(1b)를 대략 등간격마다 복수 형성하고, 이들 개구부(1b) 내에 가동막(3)을 그 유지면(1a, 2a)와 교차하는 Z방향으로 변형이 자유롭게 각각 설치하고, 상기 개구부(b1)의 기판측 개구 가장자리 또는 가동막(3)의 기판측 표면에 상하 기판(A, B)의 표면(A1, B1)과 대향하게 점착 유지되는 점착 부재(4)를 고정하며, 그 가동막(3)을 사이에 두고 형성되는 1차측 공간(5)과 2차측 공간인 폐공간(S)과의 압력차에 의하여 그 가동막(3)을 왕복 이동시킴으로써 점착 부재(4)의 점착 표면과 기판(A, B)의 한쪽 또는 양쪽을 맞닿게 하여 점착하는 동시에, 이들 양자를 강제적으로 떼어 놓음으로써 점착 부재(4)의 점착 표면으로부터 기판(A, B)의 한쪽 또는 양쪽이 무리 없이 박리되도록 하고 있다.In detail, as shown in FIG. 1, FIG. 3, FIG. 4, FIG. 7, and FIG. 10, an opening part is provided in either or both of the holding surfaces 1a and 2a which are the board | substrate side of the upper and lower holding plates 1 and 2. A plurality of (1b) are formed at substantially equal intervals, and the movable membrane 3 is freely provided in these openings 1b in the Z direction intersecting with the holding surfaces 1a and 2a, respectively, and the openings b1 are provided. The adhesive member 4 which is adhered and held against the surfaces A1 and B1 of the upper and lower substrates A and B is fixed to the substrate side opening edge of the substrate or the substrate side surface of the movable membrane 3, and the movable membrane 3 ) The pressure-sensitive surface of the adhesive member 4 and the substrate by reciprocating the movable membrane 3 by the pressure difference between the primary space 5 formed between the secondary space 5 and the closed space S that is the secondary space. One or both of A and B are brought into contact with each other, and at the same time, both of them are forcibly separated from each other so that the substrate ( One or both of A and B) are peeled off without difficulty.

이하, 본 발명의 각 실시예를 도면에 근거하여 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, each Example of this invention is described based on drawing.

<실시예 1><Example 1>

이 실시예 1은 도 1의 (a)~(c)에 나타내는 바와 같이, 유지판(1)의 유지면(1a)에만 복수의 개구부(1b)를 형성하여 가동막(3)의 외주 부분을 지지하고, 그 가동막(3)의 일부에 강체부(3a)를 기판(A)의 표면(A1)과 대향하게 설치하는 동시에, 그 가동막(3)보다도 2차측에 위치하는 각 개구부(1b)의 개구 가장자리를 따라 환상의 점착 부재(4)를 고정하고, 상기 강체부(3a)가 위로 움직여 개구부(1b) 내로 몰입된 상태에서, 그 점착 부재(4)와 상부 기판(A)을 맞닿게 하여 점착 유지하고, 또 가동막(3)을 2차측 공간(폐공간)(S)을 향하여 아래쪽으로 돌출 변형시킴으로써, 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)에 점착 유지한 기판(A)이 강제적으로 떨어진 경우를 나타내는 것이다.In Example 1, as shown in Figs. 1A to 1C, a plurality of openings 1b are formed only on the holding surface 1a of the holding plate 1, so that the outer peripheral portion of the movable membrane 3 is formed. Each of the openings 1b which is supported and provided on the part of the movable membrane 3 so as to face the surface A1 of the substrate A, and is located on the secondary side of the movable membrane 3. The annular adhesive member 4 is fixed along the edge of the opening, and the adhesive member 4 and the upper substrate A are brought into contact with the rigid portion 3a moving upward and immersed into the opening 1b. It adhere | attaches and hold | maintains, and the board | substrate A which adhered and held to the adhesion surface 4a of the adhesion member 4 by making the movable film 3 protrude downwardly toward the secondary side space (closed space) S is carried out. This indicates a case of falling forcibly.

또, 도시한 예에서는 스페이스 관계상, 상부 기판(A)의 단부와 대향하여 개구부(1b) 및 가동막(3)을 2개 밖에 배치하고 있지 않지만, 상부 기판(A)의 크기에 대응하여 그것을 설치할 수 있는 수만큼 배치되어 있다. In the illustrated example, only two openings 1b and two movable membranes 3 are disposed opposite the edges of the upper substrate A in relation to the space, but they correspond to the size of the upper substrate A. As many as can be installed.

상기 가동막(3)은, 예를 들면 스테인레스 등의 금속제의 탄성 변형 가능한 막이거나 또는 고무나 엔지니어링-플라스틱 등의 합성수지로 박판 형상으로 성형된 다이어프램으로 이루어지는 탄성막으로, 그 외주 부분을 도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이, 상부 유지판(1)의 개구부(1b)에 배치된 협지 부재(1c)로 쐐기형상으로 꺽 어 구부려 사이에 끼워넣거나, 또는 도 2의 (b)에 나타내는 바와 같이, 일체 성형된 걸어맞춤부(3b)를 사이에 끼워넣어서 탈락이 불가능하게 고정한다.The movable membrane 3 is, for example, an elastically deformable membrane made of metal such as stainless steel, or an elastic membrane made of a diaphragm molded into a thin plate shape with a synthetic resin such as rubber or engineering plastic, and the outer peripheral part thereof is shown in FIG. As shown in (a), it bends in a wedge shape by the clamping member 1c arrange | positioned at the opening part 1b of the upper holding plate 1, and is sandwiched in between, or as shown in FIG.2 (b). The sandwiching portion 3b integrally formed is sandwiched between and fixed to prevent falling.

그리고, 그 가동막(3)을 사이에 끼워서 그 1차측(배후)에 구획 형성되는 공압실(5)과, 2차측에 구획 형성된 폐공간(S)과의 압력차에 의하여, Z방향으로 탄성변형시켜서 왕복 이동시킨다.The pressure difference between the pneumatic chamber 5 partitioned between the movable membrane 3 and formed on the primary side (back) and the closed space S partitioned on the secondary side is elastic in the Z direction. Deform and reciprocate.

또, 상기 가동막(3)은 도 2의 (c)에 나타내는 바와 같이, 그 두께 치수를 바꾸어 상하 방향으로의 변형량이 조정 가능한 형상으로 성형함으로써, 상기 가동막(3)의 1차측 공간(공압실)(5)과 2차측 공간(폐공간)(S)과의 압력차에 의한 그 가동막(3)의 변형량을 조정하여, 그 중심 부분 및 그것에 설치된 후술하는 강체부(3a)의 선단면 전체를 상하 방향으로 평행 이동시키는 것도 가능하다.Moreover, as shown in FIG.2 (c), the said movable membrane 3 is shape | molded in the shape which can change the thickness dimension and the deformation amount to an up-down direction, and the primary side space of the movable membrane 3 (pneumatic pressure) The amount of deformation of the movable membrane 3 due to the pressure difference between the chamber 5 and the secondary side space (closed space) S is adjusted, and the front end face of the center portion and the rigid body portion 3a described later installed thereon. It is also possible to move the whole in parallel to the up-down direction.

상기 강체부(3a)는 변형이 불가능한 강체로 상기 가동막(3)의 기판(A)의 표면(A1)과 대향하는 중심 부분으로부터 2차측 공간(폐공간)(S)을 향하여 일체적으로 돌출 설치되어, 그 선단면이 상부 기판(A)의 표면(A1)과 평행하게 대향하고 있다.The rigid body portion 3a is a rigid body that cannot be deformed and integrally protrudes toward the secondary space (closed space) S from a center portion of the movable membrane 3 that faces the surface A1 of the substrate A. It is provided so that its front end surface faces in parallel with the surface A1 of the upper substrate A. As shown in FIG.

도시한 예와 같이, 가동막(3)의 상하 방향으로의 탄성 변형을 저해하지 않도록 상부 기판(A)을 향하여 외부 지름이 서서히 대지름이 되는 단면 사다리꼴 형상으로 형성하여, 그 선단면을 각 개구부(1b)의 개구 가장자리 근처까지 확대 개방시키는 것이 바람직하다. As shown in the illustrated example, the cross section is formed in a trapezoidal shape in which the outer diameter gradually becomes a large diameter toward the upper substrate A so as not to impede the elastic deformation of the movable film 3 in the vertical direction. It is preferable to open up to near the opening edge of (1b).

상기 점착 부재(4)는 예를 들면 실리콘계나 아크릴계 등의 점착 재료로 이루어지는 점착 시트이며, 그 점착 표면(4a)의 면적을, 상부 기판(A)이 매달릴 수 있는 점착력을 가지는 범위 내에서 가능한 한 작게 설정하는 동시에, 그 점착 표 면(4a)을 상기 가동막(3)의 강체부(3a)의 표면과 가능한 한 접근시켜서 배치하는 것이 바람직하다.The said adhesive member 4 is an adhesive sheet which consists of adhesive materials, such as silicone type and an acryl-type, for example, and as long as possible within the range which has the adhesive force which the upper board | substrate A can suspend in the area of the adhesive surface 4a. It is preferable to set it small and to arrange | position the adhesive surface 4a as close as possible to the surface of the rigid-body part 3a of the said movable film 3 as possible.

또 도시한 예와 같이, 반대측의 고착 이면(4b)을, 각 개구부(1b)의 개구 가장자리에 대해서 직접적으로 점착하여 고정하거나, 또는 각 개구부(1b)에 대해서 착탈이 자유로운 고정 부품(도시하지 않음)에 점착하여 고정한다.In addition, as shown in the illustrated example, the fixing fixing surface 4b on the opposite side is directly adhered to and fixed to the edges of the openings of the openings 1b, or a fixing component freely detachable to each of the openings 1b (not shown). Stick to and fix it.

이 반대측의 고착 이면(4b)의 점착력은 상기 유리제 기판(A)과 접촉하는 점착 표면(4a)측의 점착력보다도 강해서, 상부 기판(A)을 점착 유지했을 때에 그 중량에 의해 박리되지 않지만, 점착 표면(4a)의 점착력의 감쇠에 따라서 용이하게 교환할 수 있도록 할 필요가 있다.The adhesive force of the fixing back surface 4b on the opposite side is stronger than the adhesive force on the side of the adhesive surface 4a in contact with the glass substrate A, and is not peeled off by the weight when the upper substrate A is adhesively held. It is necessary to make it easy to replace | exchange with the damping of the adhesive force of the surface 4a.

이 점에 있어서, 전술한 바와 같이, 착탈이 자유로운 고정 부품에 고착 이면(4b)을 점착하여 점착 부재(4)를 고정하면, 점착 표면(4a)의 점착력의 감쇠에 따라서, 고정 부품 단위로 간단하게 교환 가능하다.In this regard, as described above, when the adhesive backing member 4 is fixed by attaching the fixing back surface 4b to a fixing component that can be detached and detached, it is easy to fix the unit by a fixed component unit in accordance with attenuation of the adhesive force of the adhesive surface 4a. Exchange is possible.

또한 도시하지 않지만, 상기 상부 유지판(1)의 유지면(1a)에는 흡인공을 전체면에 걸쳐서 다수 형성하여, 이들 흡인공으로부터 소정 타이밍으로 진공 흡인하며, 또 다른 타이밍에서는 상부 기판(A)의 표면(A1)을 향하여 예를 들면 질소 가스 등의 기체를 분출하도록 하는 것도 가능하다.Although not shown, a plurality of suction holes are formed in the holding surface 1a of the upper holding plate 1 over the entire surface, and vacuum suctioned from these suction holes at a predetermined timing, and at another timing, the upper substrate A It is also possible to blow a gas such as nitrogen gas toward the surface A1.

다음으로, 이러한 진공 접합기용 점착 척 장치의 작동에 대하여 설명한다.Next, operation | movement of such an adhesion chuck apparatus for vacuum bonding machines is demonstrated.

먼저, 도 1의 (a)에 실선으로 나타내는 바와 같이, 상하 유지판(1, 2)이 상하 방향으로 간격을 둔 초기 상태에서, 상부 유지판(1)의 유지면(1a)에 상부 기판(A)을 세팅하는데, 그때는 강체부(3a)를 위로 움직여 유지판(1)의 개구부(1b) 내 에 대기시켜 둔다. First, as shown by the solid line in FIG. 1A, in the initial state in which the upper and lower holding plates 1 and 2 are spaced in the vertical direction, the upper substrate (on the holding surface 1a of the upper holding plate 1) A) is set, in which case the rigid body 3a is moved upward to stand by in the opening 1b of the holding plate 1.

도시한 예의 경우에는 1차측 공간(공압실)(5)으로부터 흡인하여 그 내압을 2차측 공간(폐공간)(S)보다 낮게 하여, 가동막(3)을 1차측 공간(공압실)(5)을 향하여 위쪽으로 변형시킴으로써, 강체부(3a)의 선단면이 유지면(1a) 및 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)에 대하여 오목 형상으로 대기하고 있다.In the case of the illustrated example, the suction membrane is sucked from the primary side space (pneumatic chamber) 5 and the internal pressure thereof is lower than the secondary side space (closed space) S, and the movable membrane 3 is moved to the primary side space (pneumatic chamber) 5 The top end surface of the rigid body portion 3a is concave in a concave shape with respect to the holding surface 1a and the adhesive surface 4a of the pressure-sensitive adhesive member 4 by deforming upwardly toward the side face 1).

또한, 도시하지 않지만, 1차측 공간(공압실)(5)의 내압과 2차측 공간(폐공간)(S)의 압력을 같게 하여 가동막(3)을 변형하지 않고 대략 수평인 플랫 상태로 함으로써, 강체부(3a)의 선단면이 유지면(1a) 및 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)과 대략 같은 높이의 위치에 대기하거나, 또는 그것보다 약간 위쪽에 대기하도록 해도 된다.In addition, although not shown in figure, the internal pressure of the primary side space (pneumatic chamber) 5 and the pressure of the secondary side space (closed space) S are equal to each other so that the movable membrane 3 is made flat without being deformed. The tip end surface of the rigid body portion 3a may be held at a position approximately the same height as that of the holding surface 1a and the adhesive surface 4a of the adhesive member 4, or may be slightly above it.

이 대기 상태에서, 기판 반송용 로봇(도시하지 않음)에 의해 상부 기판(A)이 이송되며, 그 표면(A1)을 상부 유지판(1)의 유지면(1a)을 향하여 이동하여, 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)에 소정 압력으로 접촉시키면, 그 점착 표면(4a)의 점착력에 의하여 유지된다.In this standby state, the upper substrate A is transferred by a substrate transfer robot (not shown), and the surface A1 is moved toward the holding surface 1a of the upper holding plate 1 to thereby adhere the adhesive member. When the adhesion surface 4a of (4) is contacted by predetermined pressure, it is hold | maintained by the adhesive force of the adhesion surface 4a.

이 때, 상부 유지판(1)의 유지면(1a)에 형성한 흡인공(도시하지 않음)으로부터 진공 흡인하면, 상부 기판(A)의 표면(A1)이 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)에 대하여 더 강하게 접촉하여 점착 유지되는 동시에, 상부 기판(A)이 흡착 유지되어, 낙하하기 어려워진다. At this time, when vacuum is sucked from the suction hole (not shown) formed in the holding surface 1a of the upper holding plate 1, the surface A1 of the upper substrate A becomes the adhesive surface of the adhesive member 4 ( At the same time, the upper substrate A is adsorbed and held, and it is difficult to fall, while being more strongly in contact with 4a).

그 후, 도 1의 (a)의 2점 쇄선으로 나타내는 바와 같이, 상하 유지판(1, 2)이 접근하여 2차측 공간(폐공간)(S) 내부가 소정의 진공도에 도달하고 나서, 상하 유지판(1, 2)의 어느 한쪽을 다른 쪽에 대하여 XYθ방향으로 조정 이동하여, 그들에 유지된 기판(A, B)끼리의 위치 맞춤이 실시된다.Thereafter, as indicated by the dashed-dotted line in FIG. 1A, the upper and lower retaining plates 1 and 2 approach and the inside of the secondary side space (closed space) S reaches a predetermined degree of vacuum. One of the holding plates 1 and 2 is adjusted and moved in the XYθ direction with respect to the other, and alignment of the substrates A and B held therein is performed.

이와 같은 기판(A, B)끼리의 위치 맞춤과 중첩이 완료된 후는 도 1의 (b)에 나타내는 바와 같이, 1차측 공간(공압실)(5)으로 압축 공기 등의 기체를 공급하여 그 내압을 2차측 공간(폐공간)(S)보다 높게 하면서, 상부 유지판(1)을 상승시키거나 또는 하부 유지판(2)을 하강시켜서 양자를 상대적으로 떼어놓으면, 가동막(3)이 2차측 공간(폐공간)(S)을 향하여 아래쪽으로 변형되어, 강체부(3a)의 선단면이 상부 기판(A)의 표면(A1)에 접촉한 상태로 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)으로부터 떨어진다.After the positioning and superposition of such board | substrates A and B are completed, as shown in FIG.1 (b), gas, such as compressed air, is supplied to the primary side space (pneumatic chamber) 5, and the internal pressure is If the upper retaining plate 1 is raised or the lower retaining plate 2 is lowered and the two are relatively separated from each other while being higher than the secondary side space (closed space) S, the movable membrane 3 becomes the secondary side. Deformed downward toward the space (closed space) S, the adhesive surface 4a of the adhesive member 4 in a state where the front end surface of the rigid body portion 3a is in contact with the surface A1 of the upper substrate A. Falling from

또한, 그 때, 2차측 공간(폐공간)(S)은 소정의 진공도에 도달해 있기 때문에, 그 시점에 있어서의 1차측 공간(공압실)(5)으로의 기체의 공급량은 적어도 된다.In addition, since the secondary side space (closed space) S has reached | attained the predetermined vacuum degree at that time, the supply amount of the gas to the primary side space (pneumatic chamber) 5 at that time will be minimum.

이에 의하여, 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)에 점착 유지된 상부 기판(A)이 강제적으로 떨어져, 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)으로부터 상부 기판(A)을 무리 없이 떼어놓음과 동시에, 이들 가동막(3) 및 강체부(3a)의 돌출 압력으로 그 상부 기판(A)을 하부 기판(B) 상의 환상 접착제(C)에 눌러 중첩한다.Thereby, the upper substrate A adhered and held to the adhesive surface 4a of the adhesive member 4 is forcibly dropped, and the upper substrate A is separated from the adhesive surface 4a of the adhesive member 4 without difficulty. At the same time, the upper substrate A is pressed against the annular adhesive C on the lower substrate B by the protruding pressures of the movable membrane 3 and the rigid body portion 3a to overlap.

이 때, 상부 유지판(1)의 유지면(1a)에 형성한 흡인공으로부터 상부 기판(A)의 표면(A1)으로 예를 들면 질소 가스 등의 기체를 분출하면, 그 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)으로부터 상부 기판(A)을 강제적으로 박리하여 하부 기판(B) 상의 환상 접착제(C)로 순간적으로 압착하여, 양자간이 밀봉된다.At this time, when the gas, for example, nitrogen gas, is ejected from the suction hole formed in the holding surface 1a of the upper holding plate 1 to the surface A1 of the upper substrate A, the adhesive member 4 The upper substrate A is forcibly peeled from the adhesive surface 4a of the substrate, and is instantaneously crimped with the annular adhesive C on the lower substrate B, thereby sealing the two.

그 후는, 도 1의 (c)에 나타내는 바와 같이, 1차측 공간(공압실)(5)으로부터 흡인하여 그 내압을 2차측 공간(폐공간)(S)보다 낮게 하여 가동막(3)을 1차측 공간(공압실)(5)을 향하여 위쪽으로 변형함으로써, 강체부(3a)의 선단면이 유지면(1a)에 대하여 오목하게 되어 초기 상태로 복귀한다.After that, as shown in FIG. 1C, the movable membrane 3 is sucked by suctioning from the primary side space (pneumatic chamber) 5 and lowering its internal pressure lower than the secondary side space (closed space) S. By deforming upward toward the primary side space (pneumatic chamber) 5, the distal end surface of the rigid body portion 3a becomes concave with respect to the holding surface 1a and returns to the initial state.

따라서, 도 1~도 2에 나타낸 실시예 1은 전자기적인 구동원을 사용하지 않고 간단한 구조이면서 상부 기판(A)을 확실하게 점착 유지 및 박리 개방하는 데에 필요한 힘이 얻어진다.Therefore, the first embodiment shown in Figs. 1 and 2 has a simple structure without using an electromagnetic drive source, and the force necessary for reliably holding and peeling open the upper substrate A is obtained.

또, 상기 가동막(3)의 1차측에 형성된 공압실(5)로의 기체 공급량을 제어하여, 그 가동막(3)의 탄성 변형량을 조정하면, 상부 기판(A)의 표면(A1)과 점착 부재(4)와의 접촉 압력(누름 압력)이 조정 가능해져, 상부 기판(A)과의 점착 및/또는 박리의 강약을 간단하게 조정할 수 있다.Moreover, when the gas supply amount to the pneumatic chamber 5 formed in the primary side of the said movable membrane 3 is controlled, and the elastic deformation amount of the movable membrane 3 is adjusted, it adheres to the surface A1 of the upper substrate A. The contact pressure (pressing pressure) with the member 4 can be adjusted, and the strength and weakness of adhesion and / or peeling with the upper substrate A can be easily adjusted.

이때, 상부 기판(A)과 점착 부재(4)의 사이에 발생하는 점착력은 양자의 접촉 면적에 비례하기 때문에, 전술한 누름 압력의 증감에 의하여, 상부 기판(A)의 표면(A1)에 대하여 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)이 탄성 변형하여 접촉 면적이 증감하는 구조로 하면, 점착력의 강약을 보다 더 명확하게 조정할 수 있다.At this time, since the adhesive force generated between the upper substrate A and the pressure-sensitive adhesive member 4 is proportional to the contact area of the two, the surface A1 of the upper substrate A is increased due to the above-mentioned pressure increase and decrease. When the adhesion surface 4a of the adhesion member 4 is elastically deformed and the structure which a contact area increases / decreases, the intensity | strength of adhesive force can be adjusted more clearly.

<실시예 2><Example 2>

이 실시예 2는, 도 3의 (a)~(d)에 나타내는 바와 같이, 상기 가동막(3)의 왕복 이동 방향으로 관통하는 통기로(6a)와, 그 통기로(6a)로부터 진공 흡인함과 함께 예를 들면 질소 가스 등의 기체를 공급하는 급기원(6b)으로 이루어지는 진공 흡착 수단(6)을 설치하여, 상부 기판(A) 세트시에 그 진공 흡착 수단(6)의 통기 로(6a)로부터 진공 흡인하여 상부 기판(A)을 흡착 유지하며, 또한 필요에 따라 점착 부재(4)로부터의 박리시에는 그 통기로(6a)로부터 상부 기판(A)의 표면(A1)을 향하여 예를 들면 질소 가스 등의 기체를 분출하는 구성이 상기 도 1 및 도 2에 나타낸 실시예 1과는 다르고, 그 이외의 구성은 실시예 1과 같은 것이다. As shown in (a)-(d) of FIG. 3, this Example 2 carries out vacuum suction from the ventilation path 6a which penetrates in the reciprocating direction of the said movable membrane 3, and the ventilation path 6a. In addition, the vacuum adsorption means 6 which consists of an air supply source 6b which supplies gas, such as nitrogen gas, for example, is provided, and the ventilation path of the vacuum adsorption means 6 at the time of setting the upper substrate A ( Vacuum suction from 6a to adsorb | suck and hold | maintain the upper substrate A, and when peeling from the adhesion member 4 as needed, from the air passage 6a toward the surface A1 of the upper substrate A, when necessary For example, the structure which ejects gas, such as nitrogen gas, is different from Example 1 shown in FIG. 1 and FIG. 2, and the other structure is the same as that of Example 1. FIG.

도시한 예에서는 상기 가동막(3)과 함께 그 일부에 설치된 강체부(3a)를 상하 방향으로 관통하도록 통기로(6a)를 형성하고 있지만, 이를 대신하여 그 통기로(6a)의 관통 위치를 도시하지 않지만, 상부 유지판(1)을 상하 방향으로 관통시켜 그 유지면(1a)에 형성한 개구부(1b)의 개구 가장자리에 고정되는 점착 부재(4)를 향하여 형성하도록 하는 것도 가능하다. In the illustrated example, the air passage 6a is formed so as to penetrate the rigid body portion 3a provided in a part thereof together with the movable membrane 3 in the vertical direction. Instead, the through position of the air passage 6a is replaced. Although not shown, it is also possible to penetrate the upper holding plate 1 in the vertical direction to form the adhesive member 4 fixed to the opening edge of the opening 1b formed in the holding surface 1a.

즉, 상부 유지판(1)의 유지면(1a)에 상부 기판(A)을 세트할 때에는 도 3의 (a)에 나타내는 바와 같이, 1차측 공간(공압실)(5)으로 압축 공기 등의 기체를 공급하여 가동막(3)을 아래쪽으로 변형함으로써, 강체부(3a)가 아래로 이동하여, 그 선단면을 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)에 대하여 약간이라도 볼록한 형상으로 돌출시켜서 대기하고, 그 상태에서 기판 반송용 로봇으로 이송된 상부 기판(A)을 상기 진공 흡착 수단(6)의 통기로(6a)로부터의 진공 흡인에 의하여 받아서 흡착 유지한다.That is, when the upper substrate A is set on the holding surface 1a of the upper holding plate 1, as shown in Fig. 3A, the primary side space (pneumatic chamber) 5, such as compressed air, is used. By supplying gas and deforming the movable membrane 3 downward, the rigid body portion 3a moves downward to protrude the tip end face in a slightly convex shape with respect to the adhesive surface 4a of the adhesive member 4, It waits and receives and hold | maintains the upper board | substrate A conveyed to the board | substrate conveyance robot by the vacuum suction from the air passage 6a of the said vacuum suction means 6 in that state.

그 후, 도 3의 (b)에 나타내는 바와 같이, 1차측 공간(공압실)(5)으로부터 흡인하고 그 내압을 2차측 공간(폐공간)(S)의 압력과 대략 같게 하여 가동막(3)을 대략 수평으로 함으로써, 강체부(3a)의 선단면이 유지면(1a) 및 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)과 같은 높이의 위치로 위로 움직여, 상부 기판(A)이 점착 부재(4)를 향하여 유도되고, 그 상태로 상부 기판(A)의 표면(A1)을 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)에 소정 압력으로 접촉시켜, 그 점착 표면(4a)의 점착력에 의하여 유지한다. Thereafter, as shown in FIG. 3B, the suction membrane is sucked from the primary side space (pneumatic chamber) 5 and its internal pressure is approximately equal to the pressure of the secondary side space (closed space) S, and the movable membrane 3 ), The top end surface of the rigid body portion 3a is moved upward to a position at the same height as the holding surface 1a and the adhesive surface 4a of the adhesive member 4, so that the upper substrate A moves to the adhesive member. Guided toward (4), the surface A1 of the upper substrate A is brought into contact with the pressure-sensitive adhesive surface 4a of the pressure-sensitive adhesive member 4 at a predetermined pressure, and the adhesive force of the pressure-sensitive adhesive surface 4a is maintained. Keep it.

그리고, 상하 기판(A, B)끼리의 중첩이 완료한 후는 도 3의 (c)에 나타내는 바와 같이, 1차측 공간(공압실)(5)으로 압축 공기 등의 기체를 공급하여 그 내압을 2차측 공간(폐공간)(S)보다 높게 하면서, 상부 유지판(1)을 상승시키거나 또는 하부 유지판(2)을 하강시켜 양자를 상대적으로 떼어놓으면, 가동막(3)이 2차측 공간(폐공간)(S)을 향하여 아래쪽으로 변형하여, 강체부(3a)의 선단면이 상부 기판(A)의 표면(A1)에 접촉한 상태로 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)으로부터 떨어진다.After the superposition of the upper and lower substrates A and B is completed, as shown in FIG. 3C, a gas such as compressed air is supplied to the primary side space (pneumatic chamber) 5, and the internal pressure thereof is reduced. When the upper holding plate 1 is raised or the lower holding plate 2 is lowered and the two are relatively separated from each other while being higher than the secondary side space (closed space) S, the movable membrane 3 becomes the secondary side space. From the adhesive surface 4a of the adhesive member 4 in a state where the front end surface of the rigid body portion 3a is in contact with the surface A1 of the upper substrate A by deforming downward toward the (closed space) S. Falls.

또한, 이와 동시에 상기 진공 흡착 수단(6)의 통기로(6a)로부터 상부 기판(A)의 표면(A1)을 향하여 예를 들면 질소 가스 등의 기체를 분출하면, 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)에 점착 유지된 상부 기판(A)이 강제적으로 떼어져, 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)으로부터 상부 기판(A)을 무리 없이 떼어낸다.At the same time, when a gas such as, for example, nitrogen gas is ejected from the air passage 6a of the vacuum adsorption means 6 toward the surface A1 of the upper substrate A, the adhesive surface of the adhesive member 4 is discharged. The upper substrate A adhered to (4a) is forcibly detached, and the upper substrate A is detached from the adhesive surface 4a of the adhesive member 4 without difficulty.

그 후는, 도 3의 (d)에 나타내는 바와 같이, 1차측 공간(공압실)(5)으로부터 흡인하여 그 내압을 2차측 공간(폐공간)(S)보다 낮게 하여 가동막(3)을 1차측 공간(공압실)(5)을 향하여 위쪽으로 변형함으로써, 강체부(3a)의 선단면이 유지면(1a)에 대하여 오목하게 되어 초기 상태로 복귀된다.Subsequently, as shown in FIG. 3D, the suction membrane is sucked from the primary side space (pneumatic chamber) 5 and the internal pressure thereof is lower than that of the secondary side space (closed space) S. By deforming upward toward the primary side space (pneumatic chamber) 5, the distal end surface of the rigid body portion 3a becomes concave with respect to the holding surface 1a and returns to the initial state.

따라서, 도 3의 (a)~(d)에 나타내는 실시예 2는 상기 도 1 및 도 2에 나타낸 실시예 1과 마찬가지의 작용 효과가 얻어지고, 또한 상부 기판(A)의 점착 및 박리를 보조하면서 상부 기판(A)과의 점착력의 강약을 실시예 1과는 다른 수법으로 간단히 조정할 수 있다는 이점이 있다.Therefore, in Example 2 shown to (a)-(d) of FIG. 3, the effect similar to Example 1 shown to the said FIG. 1 and FIG. 2 is acquired, and also assists adhesion and peeling of the upper substrate A. FIG. While the strength and weakness of the adhesive force with the upper substrate (A) can be easily adjusted by a method different from that of the first embodiment.

이때, 상부 기판(A)과 점착 부재(4)와의 사이에 발생하는 점착력은 양자의 접촉 면적에 비례하기 때문에, 전술한 진공 흡착력의 증감에 의하여, 상부 기판(A)의 표면(A1)에 대하여 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)이 탄성 변형하여 접촉 면적이 증감되는 구조로 하면, 점착력의 강약을 보다 더 명확하게 조정할 수 있다.At this time, since the adhesive force generated between the upper substrate A and the pressure-sensitive adhesive member 4 is proportional to the contact area of both, the surface A1 of the upper substrate A is increased due to the increase or decrease of the vacuum suction force described above. When the adhesive surface 4a of the adhesive member 4 is elastically deformed and the structure in which the contact area is increased or decreased, the strength and weakness of the adhesive force can be adjusted more clearly.

<실시예 3><Example 3>

이 실시예 3은, 도 4의 (a)~(c)에 나타내는 바와 같이, 상기 점착 부재(4)의 고정 위치를 개구부(1b)의 개구 가장자리를 대신하여, 가동막(3)의 중심 부분에 돌출 설치된 강체부(3a)의 선단면으로 변경하는 동시에, 가동막(3)의 1차측 공간(공압실)(5)과 2차측 공간(폐공간)(S)과의 압력차에 의하여, 그 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)이 유지면(1a)과 대략 동일면을 형성하거나 또는 약간(100μmm 정도) 볼록한 형상으로 돌출한 상태로, 그 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)에 상부 기판(A)을 맞닿게하여 점착 유지하고, 또 가동막(3)을 1차측 공간(공압실)(5)을 향하여 위쪽으로 변형시켜서 개구부(1b) 내로 오목한 형상으로 몰입시킴으로써, 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)을 상부 기판(A)으로부터 강제적으로 당겨 떼어내는 구성이, 상기 도 1 및 도 2에 나타낸 실시예 1 및 도 3에 나타낸 실시예 2와는 다르며, 그 이외의 구성은 실시예 1 및 실시예 2와 같은 것이다. In the third embodiment, as shown in FIGS. 4A to 4C, the fixed position of the pressure-sensitive adhesive member 4 is replaced by the opening edge of the opening 1b, and the center portion of the movable membrane 3 is used. The pressure difference between the primary side space (pneumatic chamber) 5 and the secondary side space (closed space) S of the movable membrane 3 is changed to the front end surface of the rigid body portion 3a protruding in the The adhesive surface 4a of the adhesive member 4 in a state where the adhesive surface 4a of the adhesive member 4 is formed substantially the same plane as the holding surface 1a or protrudes slightly (about 100 µmm) in a convex shape. The adhesive member is brought into contact with the upper substrate A to hold the adhesive, and the movable membrane 3 is deformed upward toward the primary space (pneumatic chamber) 5 to be immersed in the concave shape into the opening 1b. The configuration in which the adhesive surface 4a of (4) is forcibly pulled off from the upper substrate A is shown in Embodiments 1 and 3 shown in FIGS. 1 and 2 above. It differs from Example 2, and the other structure is the same as that of Example 1 and Example 2.

즉, 상부 유지판(1)의 유지면(1a)에 상부 기판(A)을 세트할 때에는 도 4의 (a)에 나타내는 바와 같이, 1차측 공간(공압실)(5)의 내압과 2차측 공간(폐공간)(S)의 압력을 같게 하여 가동막(3)을 변형하지 않고 대략 수평인 플랫 상태로 함으로써, 강체부(3a)의 선단면에 고정된 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)이 유지 면(1a)과 대략 동일면을 형성하거나 또는 약간 돌출하여, 상부 기판(A)의 표면(A1)에 소정 압력으로 접촉시킴으로써, 그 점착 표면(4a)의 점착력에 의하여 유지한다.That is, when setting the upper substrate A to the holding surface 1a of the upper holding plate 1, as shown in Fig. 4A, the internal pressure and the secondary side of the primary side space (pneumatic chamber) 5 are shown. The adhesion surface of the adhesive member 4 fixed to the front end surface of the rigid body part 3a by making the pressure of the space (closed space) S equal, and making the movable film 3 into a substantially flat flat state without deforming it. 4a) forms the surface substantially the same as the holding surface 1a, or slightly protrudes, and is held by the adhesive force of the adhesive surface 4a by contacting the surface A1 of the upper substrate A with a predetermined pressure.

그리고, 상하 기판(A, B)끼리의 중첩이 완료된 직후는 도 4의 (b)에 나타내는 바와 같이, 1차측 공간(공압실)(5)으로부터 흡인하여 그 내압을 2차측 공간(폐공간)(S)보다도 낮게 하여 가동막(3)을 1차측 공간(공압실)(5)을 향하여 위쪽으로 변형함으로써, 강체부(3a)의 선단면이 유지면(1a)에 대하여 오목하게 되어, 강체부(3a)의 선단면이 점착 부재(4)와 함께 상부 기판(A)의 표면(A1)으로부터 떨어져서, 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)을 상부 기판(A)으로부터 무리 없이 떼어낸다.Immediately after the superposition of the upper and lower substrates A and B is completed, as shown in FIG. 4B, the suction is performed from the primary side space (pneumatic chamber) 5 and the internal pressure thereof is stored in the secondary side space (closed space). By lowering (S) and deforming the movable membrane 3 upward toward the primary side space (pneumatic chamber) 5, the front end surface of the rigid body portion 3a becomes concave with respect to the holding surface 1a, and thus the rigid body The front end surface of the portion 3a is separated from the surface A1 of the upper substrate A together with the adhesive member 4, so that the adhesive surface 4a of the adhesive member 4 is easily removed from the upper substrate A. .

그 후는, 도 4의 (c)에 나타내는 바와 같이, 상부 유지판(1)을 상승시키거나 또는 하부 유지판(2)을 하강시켜서 양자가 상대적으로 떨어지고 나서, 1차측 공간(공압실)(5)으로 압축 공기 등의 기체를 공급하여 가동막(3)을 아래쪽으로 변형함으로써, 강체부(3a)의 선단면이 유지면(1a)과 대략 동일면을 형성하거나 또는 약간 돌출되어 초기 상태로 복귀된다.After that, as shown in FIG.4 (c), after raising the upper holding plate 1 or lowering the lower holding plate 2, and both fall relatively, the primary side space (pneumatic chamber) ( 5) By supplying a gas such as compressed air and deforming the movable membrane 3 downward, the front end surface of the rigid body portion 3a forms approximately the same surface as the holding surface 1a or slightly protrudes to return to the initial state. do.

이와 같은 상부 기판(A)에 맞는 최적의 점착력을 얻기 위하여, 도 4의 (a)~(c)에 나타내는 예에서는 점착 부재(4)의 형상을 강체부(3a)의 선단면 전체가 덮이도록 한 경우를 나타내고 있다. In order to obtain an optimal adhesive force for such an upper substrate A, in the example shown in Figs. 4A to 4C, the shape of the adhesive member 4 is covered so that the entire front end surface of the rigid body portion 3a is covered. One case is shown.

그 이외의 예로서는 도 5에 나타내는 바와 같이, 점착 부재(4)의 형상을 강체부(3a)의 선단면의 외부 둘레가 부분적으로 덮이는 환상으로 형성하거나, 또 도 6에 나타내는 바와 같이, 점착 부재(4)의 형상을 고착 이면(4b)이 강체부(3a)의 선단면 전체를 덮는 동시에, 점착 표면(4a)측을 향하여 서서히 표면 면적이 감소하도 록 단면 사다리꼴 형상으로 형성하는 것도 가능하다.As another example, as shown in FIG. 5, the shape of the adhesion member 4 is formed in the annular form which the outer periphery of the front end surface of the rigid part 3a is partially covered, or as shown in FIG. The shape of the member 4 may be formed in a trapezoidal cross-sectional shape so that the fixing back surface 4b covers the entire front end surface of the rigid portion 3a and the surface area gradually decreases toward the adhesive surface 4a side. .

또 도시하지 않지만, 상기 도 3에 나타내는 실시예 2에서 설명한 상기 가동막(3)의 왕복 이동 방향으로 관통하는 통기로(6a)와 급기원(6b)으로 이루어지는 진공 흡착 수단(6)을 설치하여, 상부 기판(A) 세트시에 그 진공 흡착 수단(6)으로부터 진공 흡인하여 상부 기판(A)을 흡착 유지하며, 또한 필요에 따라 점착 부재(4)로부터의 박리시에는 그 진공 흡착 수단(6)으로부터 상부 기판(A)의 표면(A1)을 향하여 예를 들면 질소 가스 등의 기체를 분출하도록 하는 것도 가능하다. Although not shown, a vacuum suction means 6 comprising air passages 6a and air supply sources 6b penetrating in the reciprocating direction of the movable membrane 3 described in Embodiment 2 shown in FIG. At the time of setting the upper substrate A, the vacuum is sucked from the vacuum adsorption means 6 to adsorb and hold the upper substrate A, and if necessary, the vacuum adsorption means 6 at the time of peeling from the adhesive member 4. It is also possible to blow gas, such as nitrogen gas, toward the surface A1 of the upper board | substrate A from ().

따라서, 도 4~도 6에 나타내는 실시예 3은 상기 도 1 및 도 2에 나타낸 실시예 1 및 도 3에 나타내는 실시예 2와 마찬가지의 작용 효과가 얻어지고, 또한 점착하는 상부 기판(A)의 크기나 중량에 맞추어 점착 부재(4)를 변경하는 것만으로 최적의 점착력이 얻어진다는 이점이 있다.Therefore, Example 3 shown in FIGS. 4-6 has the same effect as Example 1 shown in FIG. 1 and FIG. 2, and Example 2 shown in FIG. There is an advantage that the optimum adhesive force is obtained only by changing the adhesive member 4 in accordance with the size and weight.

또한, 전술한 실시예 3과 마찬가지로, 실시예 1 및 실시예 2에 있어서도, 상부 기판(A)의 크기나 중량에 맞추어 최적의 점착력을 얻도록, 점착 표면(4a)의 표면 면적이 다른 복수 종류의 점착 부재(4)를 준비하여 교환할 수 있도록 해도 된다.In addition, like Example 3 mentioned above, also in Example 1 and Example 2, in order to obtain the optimal adhesive force according to the magnitude | size and weight of the upper board | substrate A, the several types of surface area of the adhesion surface 4a differ from each other. The adhesive member 4 may be prepared and replaced.

또한, 박리시에 있어서, 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 돌출시켜서 점착 부재(4)로부터 상부 기판(A)을 강제적으로 떼어내는 실시예 1 및 실시예 2에 비해, 중첩이 완료된 상부 기판(A)을 부분적으로 재가압할 필요가 없으므로, 상하 기판(A, B)끼리의 위치가 어긋나거나, 평행도가 어긋나는 등의 사고가 발생할 우려가 없다는 이점이 있다.Moreover, at the time of peeling, compared with Example 1 and Example 2 which forcibly removes the upper substrate A from the adhesion member 4 by protruding the front end surface of the rigid part 3a from the holding surface 1a, Since there is no need to partially repress the upper substrate A after the overlap is completed, there is an advantage that there is no possibility that an accident such as the position of the upper and lower substrates A and B are shifted or the parallelism is shifted.

<실시예 4><Example 4>

이 실시예 4는, 도 7의 (a)~(c)에 나타내는 바와 같이, 상기 개구부(1b) 내에 가동막(3)으로서 2매의 탄성막(3c, 3d)을 상하 방향으로 간격을 두고 대략 평행하게 설치함으로써, 이들 사이에 상기 가동막(3)의 1차측 공간으로서 제1 공압실(5a)을 구획 형성하는 동시에, 2차측 공간으로서 제2 공압실(5b)을 따로 구획 형성하고, 이들 제1 공압실(5a)과 제2 공압실(5b)로의 기체 공급량을 각각 제어하여, 양자간에 압력차를 생기게 함으로써, 양 가동막(3c, 3d)을 동시에 탄성 변형하여 왕복 이동시킨 구성이, 전술한 실시예 1~실시예 3과는 다르며, 그 이외의 구성은 실시예 1~실시예 3과 같은 것이다.In Example 4, as shown in FIGS. 7A to 7C, two elastic membranes 3c and 3d are spaced in the opening 1b as the movable membrane 3 in the vertical direction. By providing them in substantially parallel, the first pneumatic chamber 5a is defined as a primary side space of the movable membrane 3 therebetween, and the second pneumatic chamber 5b is separately formed as a secondary side space. By controlling the gas supply amounts to the first pneumatic chamber 5a and the second pneumatic chamber 5b, respectively, to create a pressure difference between the two, the movable membranes 3c and 3d are elastically deformed and reciprocated simultaneously. It is different from Example 1-Example 3 mentioned above, and a structure other than that is the same as Example 1-Example 3.

이들 2매의 가동막(3c, 3d)의 중심 부분에는 실린더부(7)를 삽입 부착하고, 그 실린더부(7)의 하면에 상기 강체부(3a)를 연결하여 일체화시키고, 상기 개구부(1b) 내에는 그 실린더부(7)의 축방향 대략 중간 위치와 대향하는 격벽(8)을 설치하여, 그 격벽(8)에 대하여 실린더부(7)를 Z 방향으로 왕복 이동이 자유롭게 또한 기밀 형상으로 삽입 통과하여 축 지지함으로써, 그 격벽(8)을 사이에 끼워 그 1차측(배후)에는 제1 공압실(5a)이, 2차측에는 제2 공압실(5b)이 각각 분할 형성된다.The cylinder part 7 is inserted and attached to the center part of these two movable membranes 3c and 3d, and the said rigid body part 3a is connected to the lower surface of the cylinder part 7, and is integrated, and the said opening part 1b ) Is provided with a partition wall 8 that faces an approximately intermediate position in the axial direction of the cylinder part 7, and the cylinder part 7 is freely reciprocated in the Z direction with respect to the partition wall 8 in a gastight shape. By inserting and supporting the shaft, the partition 8 is sandwiched between the first pneumatic chamber 5a and the second pneumatic chamber 5b on the secondary side.

상기 실린더부(7)에는 분할된 제1 공압실(5a)과 제2 공압실(5b)로 각각 연통하는 제1 통로(7a)와 제2 통로(7b)를 설치하고, 이들 제1 통로(7a) 및 제2 통로(7b)를 통하여 외부로부터 공기 등을 공급함으로써, 제1 공압실(5a) 및 제2 공압실(5b)의 내압을 조정한다.The cylinder portion 7 is provided with a first passage 7a and a second passage 7b communicating with the divided first pneumatic chamber 5a and the second pneumatic chamber 5b, respectively. The internal pressure of the 1st pneumatic chamber 5a and the 2nd pneumatic chamber 5b is adjusted by supplying air etc. from outside through 7a) and the 2nd channel | path 7b.

또한, 상기 실린더부(7)와 개구부(1b)의 사이에는 서로 걸어 맞추는 스토퍼(7c)를 설치하여, 그 실린더부(7) 및 그것과 일체화된 강체부(3a)의 왕복 이동 스트로크를 규제하고 있다.In addition, a stopper 7c which engages with each other is provided between the cylinder portion 7 and the opening portion 1b to regulate the reciprocating stroke of the cylinder portion 7 and the rigid body portion 3a integrated therewith. have.

도시한 예의 경우에는 실린더부(7)의 외부 둘레에 격벽(8)과 걸어 맞추는 스토퍼(7c)를 설치하여, 실린더부(7)의 이동량을 규제하고 있다.In the example of illustration, the stopper 7c which engages with the partition 8 in the outer periphery of the cylinder part 7 is provided, and the moving amount of the cylinder part 7 is regulated.

그것에 의하여, 도 7의 (a) 및 (c)에 나타내는 바와 같이, 제1 통로(7a)를 통해 제1 공압실(5a) 내의 기체를 흡인하거나, 또는 제2 통로(7b)를 통해 제2 공압실(5b)에만 기체를 공급하거나, 또는 이들의 동시 진행으로 제1 공압실(5a)의 내압을 제2 공압실(5b)의 내압보다 낮게 함으로써, 2차측 공간(폐공간)(S)의 압력 변화와 관계없이 양 가동막(3c, 3d)이 동시에 위쪽으로 변형하여, 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 개구부(1b) 내로 몰입한 채로 대기시키고 있다.As a result, as shown in FIGS. 7A and 7C, the gas in the first pneumatic chamber 5a is sucked through the first passage 7a or the second passage is passed through the second passage 7b. By supplying gas only to the pneumatic chamber 5b or by lowering the internal pressure of the first pneumatic chamber 5a by the simultaneous advance thereof, the secondary side space (closed space) S Irrespective of the pressure change, both movable membranes 3c and 3d simultaneously deform upwards, and the front end surface of the rigid body part 3a is immersed in the opening part 1b from the holding surface 1a.

이것과 반대로, 도 7의 (b)에 나타내는 바와 같이, 제1 통로(7a)를 통해서 제1 공압실(5a)에만 기체를 공급하거나, 또는 제2 통로(7b)를 통해서 제2 공압실(5b) 내의 기체를 흡인하거나, 또는 이들의 동시 진행으로 제1 공압실(5a)의 내압을 제2 공압실(5b)의 내압보다 높게 하는 것만으로, 폐공간(S)의 압력 변화와 관계없이 양 가동막(3c, 3d)이 동시에 아래쪽으로 변형하여, 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 돌출시키고 있다.In contrast to this, as shown in FIG. 7B, the gas is supplied only to the first pneumatic chamber 5a through the first passage 7a or the second pneumatic chamber (2) through the second passage 7b. The internal pressure of the first pneumatic chamber 5a is made higher than the internal pressure of the second pneumatic chamber 5b by aspirating the gas in the 5b) or simultaneously, and irrespective of the pressure change in the closed space S. Both movable membranes 3c and 3d are simultaneously deformed downward, and the front end surface of the rigid part 3a is projected from the holding surface 1a.

도시한 예에서는 도 1 및 도 2에 나타낸 실시예 1과 마찬가지로, 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 개구부(1b) 내로 몰입시킴으로써, 각 개구부(1b)의 개구 가장자리를 따라 고정된 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)과 상부 기판(A)을 맞닿게 하여 점착 유지시키고, 또 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 돌출시킴으로써, 그 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)에 점착 유지된 상부 기판(A)을 강제적으로 떼어내는 경우를 나타내고 있다. In the illustrated example, similarly to the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the front end surface of the rigid portion 3a is immersed from the holding surface 1a into the opening 1b, along the opening edge of each opening 1b. The adhesive surface 4a of the fixed adhesive member 4 and the upper substrate A are brought into contact with each other to hold the adhesive, and the tip end surface of the rigid body portion 3a is projected from the holding surface 1a. The case where the upper substrate A adhered and held on the adhesive surface 4a of 4) is forcibly removed.

그 이외의 예로서, 도시하지 않지만, 도 4~도 6에 나타내는 실시예 3과 마찬가지로, 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 약간 돌출시킴으로써, 그 강체부(3a)의 선단면에 고정된 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)과 상부 기판(A)을 맞닿게하여 점착 유지시키고, 또 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 개구부(1b) 내로 몰입시킴으로써, 그 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)을 상부 기판(A)으로부터 강제적으로 떼어내도록 하는 것도 가능하다.As another example, although not shown, similarly to the third embodiment shown in FIGS. 4 to 6, the front end surface of the rigid body portion 3a is slightly projected from the holding surface 1a, thereby forming the line of the rigid body portion 3a. The adhesive surface 4a of the adhesive member 4 fixed to the end face and the upper substrate A are brought into contact with each other to hold the adhesive, and the tip end surface of the rigid body portion 3a is held from the holding surface 1a into the opening 1b. By immersion, it is also possible to forcibly remove the adhesion surface 4a of the adhesion member 4 from the upper substrate A. FIG.

또, 도시하지 않지만, 상기 도 3에 나타내는 실시예 2에서 설명한 상기 가동막(3)의 왕복 이동 방향으로 관통하는 통기로(6a)와 급기원(6b)으로 이루어지는 진공 흡착 수단(6)을 설치하고, 상부 기판(A)의 세트시에 그 진공 흡착 수단(6)으로부터 진공 흡인하여 상부 기판(A)을 흡착 유지하며, 또한 필요에 따라 점착 부재(4)로부터의 박리시에는 그 진공 흡착 수단(6)으로부터 상부 기판(A)의 표면(A1)을 향하여 예를 들면 질소 가스 등의 기체를 분출하도록 하는 것도 가능하다.Moreover, although not shown, the vacuum suction means 6 which consists of the air passage 6a and the air supply source 6b which penetrate in the reciprocating direction of the said movable membrane 3 demonstrated in the said Example 2 shown in FIG. 3 is provided. At the time of setting the upper substrate A, the vacuum is sucked from the vacuum adsorption means 6 to adsorb and hold the upper substrate A, and, if necessary, at the time of peeling from the adhesive member 4, the vacuum adsorption means. It is also possible to blow gas, such as nitrogen gas, toward the surface A1 of the upper substrate A from (6).

따라서, 도 7의 (a)~(c)에 나타내는 실시예 4는 전술한 실시예 1~실시예 3과 마찬가지의 작용 효과가 얻어지며, 또한 제1 공압실(5a)과 제2 공압실(5b)의 압력차만으로 왕복 이동하므로, 2차측 공간(폐공간)(S)의 압력 변화와 관계없이 상부 기판(A)을 점착 유지 및 박리 개방할 수 있다는 이점이 있다.Therefore, in Example 4 shown to (a)-(c) of FIG. 7, the effect similar to Example 1-Example 3 mentioned above is acquired, and the 1st pneumatic chamber 5a and the 2nd pneumatic chamber ( Since it reciprocates only by the pressure difference of 5b), there exists an advantage that adhesive holding and peeling-opening of the upper board | substrate A can be carried out irrespective of the pressure change of the secondary side space (closed space) S. FIG.

또한, 도시한 예에서는 상부 유지판(1)에 형성된 개구부(1b)에 대해서 원통 체(1d)를 장착하고, 그 원통체(1d)에 가동막(3c, 3d), 실린더부(7), 강체부(3a), 점착 부재(4) 및 격벽(8) 등의 구성 부품 모두를 일체적으로 배치하여 유닛화하고 있으며, 상기 개구부(1b)에 대해서 원통체(1d)를 예를 들면 자기나 클램프 기구 등의 착탈 수단(도시하지 않음)으로부터 분리가 자유롭도록 장착하면, 점착 부재(4)의 점착력이 저하했을 때에, 상부 유지판(1)의 유지면(1a)으로부터 유닛 전체를 착탈함으로써, 용이하게 교환할 수 있어 정확한 위치에 세트할 수 있는 이점도 있다.In the illustrated example, the cylindrical body 1d is attached to the opening 1b formed in the upper holding plate 1, and the movable membranes 3c and 3d, the cylinder portion 7, All of the structural components such as the rigid body portion 3a, the adhesive member 4, and the partition wall 8 are integrally arranged and unitized, and the cylindrical body 1d is, for example, magnetized to the opening 1b. When it is attached so that separation from detachment means (not shown), such as a clamp mechanism, is possible, when the adhesive force of the adhesion member 4 falls, by detaching the whole unit from the holding surface 1a of the upper holding plate 1, There is also an advantage that it can be easily replaced and set in the correct position.

<실시예 5>Example 5

이 실시예 5는 도 8 및 도 9에 나타내는 바와 같이, 상기 가동막(3)의 중심부분에 강체부(3a)와 일체화된 실린더부(7)를 삽입 부착하고, 상기 개구부(1b) 내에는 그 실린더부(7)의 축방향 대략 중간 위치와 대향하는 격벽(8)을 설치하여, 그 격벽(8)에 대하여 실린더부(7)를 Z 방향으로 왕복 이동이 자유로우면서 기밀 형상으로 삽입 통과시켜 축 지지함으로써, 가동막(3)의 변형에 따라 강체부(3a)를 직선 형상으로 왕복 이동시키는 구성이 전술한 실시예 1~실시예 4와는 다르며, 그 이외의 구성은 실시예 1~실시예 4와 같은 것이다.In the fifth embodiment, as shown in Figs. 8 and 9, the cylinder portion 7 integrated with the rigid body portion 3a is inserted into and attached to the central portion of the movable membrane 3, and in the opening portion 1b. The partition 8 which faces the substantially intermediate position in the axial direction of the cylinder part 7 is provided, and the cylinder part 7 is reciprocated freely in the Z direction with respect to the partition 8, and is inserted in an airtight shape. The structure for reciprocating the rigid body portion 3a in a linear shape in accordance with the deformation of the movable membrane 3 by being axially supported is different from the first to fourth embodiments described above, and the other configurations are the first to the first embodiments. Same thing as 4.

도 8에 나타내는 예에서는 평행하게 배치된 가동막(3)과 격벽(8)과의 사이에 1차측 공간(5)을 구획 형성하여, 그 1차측 공간(5)으로 연통하는 통로(7a)를 실린더부(7)의 내부에 설치하고, 그 실린더부(7)와 상기 개구부(1b)와의 사이에는 서로 걸어맞추는 스토퍼(7c)를 설치하여, 그 실린더부(7) 및 그것과 일체화된 강체부(3a)의 왕복 이동 스트로크를 규제하고 있다.In the example shown in FIG. 8, the primary side space 5 is partitioned between the movable membrane 3 and the partition 8 arrange | positioned in parallel, and the channel | path 7a which communicates with the primary side space 5 is provided. It is provided in the cylinder part 7, and the stopper 7c which engages with each other between the cylinder part 7 and the said opening part 1b is provided, and the cylinder part 7 and the rigid body part integrated with it The reciprocating stroke of (3a) is regulated.

도 9에 나타내는 예에서는 개구부(1b) 내에 2매의 가동막(3c, 3d)을 상하 방향으로 떼어놓아 설치하고, 이들 가동막(3c, 3d)의 사이에 격벽(8)을 대략 평행하게 배치하여, 가동막(3c, 3d)의 어느 한쪽과 격벽(8)의 사이에 1차측 공간(5)을 구획 형성하고, 그 1차측 공간(5)으로 연통하는 통로(7a)를 실린더부(7)의 내부에 설치하며, 그 실린더부(7)와 상기 개구부(1b)의 사이에는 서로 걸어 맞춰지는 스토퍼(7c)를 설치하여, 그 실린더부(7)와 그것과 일체화된 강체부(3a)의 왕복 이동 스트로크를 규제하고 있다.In the example shown in FIG. 9, the two movable membranes 3c and 3d are separated and installed in the opening part 1b in the up-down direction, and the partition 8 is arrange | positioned substantially parallel between these movable membranes 3c and 3d. Thus, the primary side space 5 is partitioned between any one of the movable membranes 3c and 3d and the partition 8, and the passage 7a communicating with the primary side space 5 is formed by the cylinder portion 7. ) And a stopper 7c which is engaged with each other between the cylinder portion 7 and the opening portion 1b, and the cylinder portion 7 and the rigid body portion 3a integrated therewith. Reciprocating stroke is regulated.

도시한 예에서는, 도 1 및 도 2에 나타낸 실시예 1과 마찬가지로, 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 개구부(1b) 내로 몰입시킴으로써, 각 개구부(1b)의 개구 가장자리를 따라 고정된 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)과 상부 기판(A)을 맞닿게 하여 점착 유지시키고, 또 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 돌출시킴으로써, 그 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)에 점착 유지된 상부 기판(A)을 강제적으로 떼어내는 경우를 나타내고 있다.In the illustrated example, similarly to the first embodiment shown in FIGS. 1 and 2, the opening edge of each of the openings 1b is immersed by immersing the leading end surface of the rigid body portion 3a from the holding surface 1a into the opening 1b. The pressure-sensitive adhesive member 4 is brought into contact with the adhesive surface 4a of the pressure-sensitive adhesive member 4 and the upper substrate A, and the tip end surface of the rigid body portion 3a is projected from the holding surface 1a. The case where the upper substrate A adhered and held on the adhesive surface 4a of (4) is forcibly removed.

그 이외의 예로서 도시하지 않지만, 도 4~도 6에 나타내는 실시예 3과 마찬가지로, 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 약간 돌출시킴으로써, 그 강체부(3a)의 선단면에 고정된 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)과 상부 기판(A)을 맞닿게 하여 점착 유지시키고, 또 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 개구부(1b) 내로 몰입시킴으로써, 그 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)을 상부 기판(A)으로부터 강제적으로 떼어내도록 하는 것도 가능하다.Although not shown as an example other than this, similarly to Example 3 shown to FIGS. 4-6, the front end surface of the rigid body part 3a is slightly protruded from the holding surface 1a, and the front end surface of the rigid body part 3a is carried out. The adhesive surface 4a of the pressure-sensitive adhesive member 4 fixed to the upper substrate A is brought into contact with each other to hold the adhesive, and the tip end surface of the rigid body portion 3a is immersed into the opening 1b from the holding surface 1a. It is also possible to forcibly remove the adhesion surface 4a of the adhesion member 4 from the upper substrate A by doing so.

또, 도시하지 않지만, 상기 도 3에 나타내는 실시예 2에서 설명한 상기 가동막(3)의 왕복 이동 방향으로 관통하는 통기로(6a)와 급기원(6b)으로 이루어지는 진 공 흡착 수단(6)을 설치하고, 상부 기판(A)의 세트시에 그 진공 흡착 수단(6)으로부터 진공 흡인하여 상부 기판(A)이 흡착 유지하고, 또한 필요에 따라 점착 부재(4)로부터의 박리시에는 그 진공 흡착 수단(6)으로부터 상부 기판(A)의 표면(A1)을 향하여 예를 들면 질소 가스 등의 기체를 분출하도록 하는 것도 가능하다.In addition, although not shown, the vacuum adsorption means 6 which consists of the ventilation path 6a and the air supply source 6b which penetrate in the reciprocating direction of the said movable membrane 3 demonstrated in FIG. And vacuum suction from the vacuum adsorption means 6 at the time of setting the upper substrate A, and the upper substrate A is adsorbed and held, and, if necessary, the vacuum adsorption at the time of peeling from the adhesive member 4. It is also possible to blow gas, such as nitrogen gas, toward the surface A1 of the upper substrate A from the means 6.

따라서, 도 8 및 도 9에 나타내는 실시예 5는 전술한 실시예 1~실시예 4와 마찬가지의 작용 효과가 얻어지며, 또한 가동막(3)의 탄성 변형에 따라, 실린더부(7)를 통해 강체부(3a)가 직선 방향으로 왕복 이동하기 때문에, 강체부(3a)의 왕복 이동이 안정되어 상부 기판(A)과의 점착 성능 및 박리 성능의 향상을 도모할 수 있다는 이점이 있다.Therefore, in Example 5 shown in FIG. 8 and FIG. 9, the effect similar to Example 1-Example 4 mentioned above is acquired, and according to the elastic deformation of the movable membrane 3, it is through the cylinder part 7 Since the rigid body part 3a reciprocates in a linear direction, the reciprocating motion of the rigid body part 3a is stabilized, and there exists an advantage that the adhesive performance and peeling performance with the upper substrate A can be improved.

<실시예 6><Example 6>

이 실시예 6은 도 10의 (a)~(c)에 나타내는 바와 같이, 상기 가동막(3)이 다이어프램이 아니라 벨로우즈와 같이 Z 방향으로 길게 신축 변형 가능한 탄성체로 이루어지는 동시에, 그 가동막(3)에 설치된 강체부(3a)와 연계하는 압박 부재(9)를 설치하여, 그 압박 부재(9)에 의하여 그 가동막(3)을 그 왕복 이동의 어느 한쪽을 향하여 상시 압박하는 구성이, 전술한 실시예 1~실시예 5와는 다르며, 그 이외의 구성은 실시예 1~실시예 5와 같은 것이다.In the sixth embodiment, as shown in Figs. 10A to 10C, the movable membrane 3 is not an diaphragm but is made of an elastic body that can be stretched and deformed in the Z direction like a bellows, and the movable membrane 3 The structure in which the pressing member 9 which is connected with the rigid body part 3a provided in the side) is provided, and the pressing member 9 always presses the movable membrane 3 toward any one of the reciprocating movements is mentioned above. It differs from Example 1-Example 5, and the structure other than that is the same as Example 1-Example 5.

도시한 예에서는 전술한 도 8에 나타내는 실시예 5에 구조가 가장 유사하며, 가동막(3)의 중심 부분에 강체부(3a)와 일체화된 실린더부(7)를 상부 유지판(1)의 유지면(1a)에 형성한 개구부(1b) 내에 설치되는 격벽(8)에 대하여 상하 방향으로 왕복 이동이 자유로우며 게다가 기밀 형상으로 삽입 통과시켜 축 지지하는 동시에, 이들 실린더부(7)와 개구부(1b)의 사이에, 서로 걸어 맞춰지는 스토퍼(7c)를 설치함으로써, 가동막(3)의 변형에 의하여 강체부(3a)를 소정의 스트로크에 걸쳐 직선 형상으로 왕복 이동시키는 구조로 되어 있다.In the illustrated example, the structure is the most similar to the fifth embodiment shown in FIG. 8 described above, and the cylinder portion 7 which is integrated with the rigid body portion 3a at the central portion of the movable membrane 3 is provided with the upper holding plate 1. With respect to the partition 8 provided in the opening part 1b formed in the holding surface 1a, the reciprocating movement is free in the up-down direction, and it inserts in an airtight shape, makes it axially supported, and at the same time, these cylinder part 7 and the opening part ( By providing stoppers 7c engaged with each other between 1b), the rigid body portion 3a is reciprocated in a straight line over a predetermined stroke by deformation of the movable membrane 3.

상기 벨로우즈와 같이 Z방향으로 길게 신축 변형 가능한 탄성체로 이루어지는 가동막(3)은 원통 형상으로 형성되며, 그 양쪽 개구단을 상기 실린더부(7)와 상부 유지판(1)의 개구부(1b)에 각각 탈락 불가능하게 고정함으로써, 그 실린더부(7)의 외부 둘레를 둘러싸도록 부착되고, 그 실린더부(7)를 둘러싸는 통형상 부분에는 상하 방향으로 신축 가능한 벨로우즈부(3a)를 형성하고 있다.The movable membrane 3 made of an elastic body that is stretchable and deformable in the Z-direction, such as the bellows, is formed in a cylindrical shape, and both opening ends thereof are formed in the opening portion 1b of the cylinder portion 7 and the upper holding plate 1. By fixing so that each can not fall, the bellows part 3a which can be extended and contracted in the up-down direction is provided in the cylindrical part which surrounds the outer periphery of the cylinder part 7, and is enclosed.

상기 개구부(1b) 내에는 그 실린더부(7)의 축방향 대략 중간 위치와 대향하는 격벽(8)을 설치하고, 그 격벽(8)에 대해서 실린더부(7)를 Z 방향으로 왕복 이동이 자유로우며 게다가 기밀 형상으로 삽입 통과시켜 축 지지시키고, 그 격벽(8)과 벨로우즈(3)의 벨로우즈부(3e)와의 사이에는 밀폐실(3f)을 구획 형성하며, 그 밀폐실(3f)과 그 격벽(8)을 사이에 두고 그 1차측(배후)에 구획 형성되는 1차측 공간(공압실)(5)을 연통하는 통로(7a)를 실린더부(7)의 내부에 설치하고 있다.In the opening portion 1b, a partition wall 8 that faces an approximately intermediate position in the axial direction of the cylinder portion 7 is provided, and the cylinder portion 7 can be reciprocated freely in the Z direction with respect to the partition wall 8. In addition, it is inserted into an airtight shape to support the shaft, and an enclosure 3f is partitioned between the partition 8 and the bellows 3e of the bellows 3, and the enclosure 3f and the partition are formed. A passage 7a communicating with the primary side space (pneumatic chamber) 5 partitioned on the primary side (back) with (8) therebetween is provided inside the cylinder portion 7.

이 1차측 공간(공압실)(5)으로부터 통로(7a)를 통해 밀폐실(3f)로 공기 등을 공급하여, 이들 1차측 공간(공압실)(5) 및 밀폐실(3f)과 2차측 공간(폐공간)(S)과의 사이에 압력차가 생기게 함으로써, 벨로우즈(3)의 벨로우즈부(3e)가 신축하여 실린더부(7) 및 강체부(3a)를 Z 방향으로 왕복 이동시키고 있다.Air or the like is supplied from the primary side space (pneumatic chamber) 5 to the sealed chamber 3f through the passage 7a, and these primary side spaces (pneumatic chamber) 5 and the sealed chamber 3f and the secondary side are provided. By creating a pressure difference between the space (closed space) S, the bellows portion 3e of the bellows 3 expands and contracts, and the cylinder portion 7 and the rigid portion 3a are reciprocated in the Z direction.

상기 실린더부(7)와 상기 개구부(1b)의 사이에는 서로 걸어 맞춰지는 스토퍼(7c)를 설치하여, 그 실린더부(7) 및 그것과 일체화된 강체부(3a)의 왕복 이동 스트로크를 규제하고 있다.A stopper 7c fitted with each other is provided between the cylinder portion 7 and the opening portion 1b to regulate the reciprocating stroke of the cylinder portion 7 and the rigid body portion 3a integrated therewith. have.

상기 압박 부재(9)는 예를 들면 압축 코일 스프링이며, 상기 실린더부(7)를 따라 상하 방향으로 신축이 자유롭게 배치되고, 상기 1차측 공간(공압실)(5) 및 밀폐실(3f)과 2차측 공간(폐공간)(S)의 압력차에 연동하여 신축 변형시킴으로써, 상기 실린더부(7) 및 벨로우즈(3)를 통해 강체부(32)의 선단면이 유지판(1)의 개구부(1b)로부터 출몰하도록 설정하고 있다. The pressing member 9 is, for example, a compression coil spring, and is freely expanded and contracted along the cylinder portion 7 in the vertical direction, and includes the primary side space (pneumatic chamber) 5 and the sealed chamber 3f. By expanding and deforming in conjunction with the pressure difference in the secondary side space (closed space) S, the front end surface of the rigid body portion 32 is opened through the cylinder portion 7 and the bellows 3. It is set to go in and out from 1b).

또한, 도시한 예의 경우에는 상기 가동막(3)을 바닥이 있는 통형상으로 형성하여, 그 바닥면부에 실린더부(7)를 삽입 부착하는 동시에, 상기 격벽(8)과 실린더부(7)의 상단에 돌출 설치된 스프링 받침부(7d)의 사이에 압축 코일 스프링(9)을 개장하고, 도 10의 (a)에 나타내는 바와 같이, 1차측 공간(공압실)(5) 및 밀폐실(3f)의 내압을 2차측 공간(폐공간)(S)보다도 낮게 하거나 또는 대략 같게 하여, 그 압축 코일 스프링(9)을 신장 변형시킴으로써, 실린더부(7) 및 강체부(3a)가 위쪽으로 이동하여, 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 개구부(1b) 내로 몰입시켜, 그 몰입 상태로 대기시키고 있다. In the case of the illustrated example, the movable membrane 3 is formed into a cylindrical shape with a bottom, and the cylinder portion 7 is inserted into and attached to the bottom face thereof, and the partition 8 and the cylinder portion 7 The compression coil spring 9 is retrofitted between the spring receiving portions 7d protruding from the upper end, and as shown in Fig. 10A, the primary side space (pneumatic chamber) 5 and the sealed chamber 3f. The cylinder portion 7 and the rigid portion 3a move upwards by lowering or reducing the internal pressure of the secondary coil (closed space) S to approximately the same, and deforming the compression coil spring 9. The tip end surface of the rigid body part 3a is immersed in the opening part 1b from the holding surface 1a, and it is made to stand by in the immersion state.

그리고, 도 10의 (b)에 나타내는 바와 같이, 1차측 공간(공압실)(5) 및 밀폐실(3f)의 내압을 2차측 공간(폐공간)(S)보다도 높게 하여, 압축 코일 스프링(9)을 압축 변형시킴으로써, 실린더부(7) 및 강체부(3a)가 아래쪽으로 이동하여, 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 돌출시키고 있다.And as shown in FIG.10 (b), the internal pressure of the primary side space (pneumatic chamber) 5 and the sealed chamber 3f is made higher than the secondary side space (closed space) S, and the compression coil spring ( By compressing and deforming 9), the cylinder part 7 and the rigid part 3a move downward, and the front end surface of the rigid part 3a protrudes from the holding surface 1a.

즉, 상부 기판(A)의 세트시는 도 10의 (a)에 나타내는 바와 같이, 압축 코일 스프링(9)의 압박력에 의하여 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 개구 부(1b) 내로 몰입한 채로 대기시킴으로써, 각 개구부(1b)의 개구 가장자리에 고정된 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)과 상부 기판(A)을 맞닿게 하여 점착 유지시키고, 그 상부 기판(A)의 점착 유지 상태를 압축 코일 스프링(9)의 압박력으로 유지하고 있다.That is, when the upper substrate A is set, as shown in Fig. 10A, the tip end surface of the rigid body portion 3a is opened from the holding surface 1a by the pressing force of the compression coil spring 9 from the opening portion (a). By immersing in 1b), the adhesion surface 4a of the adhesion member 4 fixed to the opening edge of each opening 1b and the upper substrate A are brought into contact with each other to maintain adhesion, and the upper substrate A ) Is maintained by the pressing force of the compression coil spring 9.

상하 기판(A, B)끼리의 중첩 완료 직후는 도 10의 (b)에 나타내는 바와 같이, 필요에 따라 상부 유지판(1)과 하부 유지판(2)를 상대적으로 약간 떼어놓으면서 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 약간(100μm 정도) 돌출시킴으로써, 그 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)에 점착 유지된 상부 기판(A)을 강제적으로 떼어내고 있다.Immediately after completion of the superposition of the upper and lower substrates A and B, as shown in FIG. 10B, the rigid body portion 3a is relatively separated from the upper holding plate 1 and the lower holding plate 2 as necessary. ), The upper substrate A adhered and held on the adhesive surface 4a of the adhesive member 4 is forcibly removed by protruding the tip end surface of the substrate from the holding surface 1a slightly (about 100 µm).

그 후는, 도 10의 (c)에 나타내는 바와 같이, 상부 유지판(1)과 하부 유지판(2)이 완전히 떼어지는 동시에, 2차측 공간(폐공간)(S) 내의 분위기가 대기압으로 되돌아오면, 압축 코일 스프링(9)의 복원력에 의하여 벨로우즈(3) 및 강체부(3a)가 위쪽 방향으로 강제적으로 이동하여, 강체부(3a)의 선단면을 개구부(1b) 내로 몰입시켜서 초기 상태로 되돌리고 있다.Thereafter, as shown in FIG. 10C, the upper holding plate 1 and the lower holding plate 2 are completely removed, and the atmosphere in the secondary side space (closed space) S returns to atmospheric pressure. Then, the bellows 3 and the rigid part 3a are forcibly moved upward by the restoring force of the compression coil spring 9, and the front end surface of the rigid part 3a is immersed in the opening part 1b to return to the initial state. It's coming back.

또, 상기 도 3에 나타내는 실시예 2에서 설명한 상기 가동막(3)의 왕복 이동 방향으로 관통하는 통기로(6a)와 급기원(6b)으로 이루어지는 진공 흡착 수단(6)을 설치하며, 상부 기판(A)의 세트시에 그 진공 흡착 수단(6)으로부터 진공 흡인하여 상부 기판(A)이 흡착 유지하고, 또한 필요에 따라 점착 부재(4)로부터의 박리시에는 그 진공 흡착 수단(6)으로부터 상부 기판(A)의 표면(A1)을 향하여 예를 들면 질소 가스 등의 기체를 분출하도록 하는 것이 바람직하다.Moreover, the upper board | substrate is provided with the vacuum adsorption means 6 which consists of the ventilation path 6a and the air supply source 6b which penetrate in the reciprocating direction of the movable membrane 3 demonstrated in FIG. At the time of setting (A), the vacuum is sucked from the vacuum adsorption means 6, and the upper substrate A is adsorbed and held, and, if necessary, from the vacuum adsorption means 6 at the time of peeling from the adhesive member 4. It is preferable to blow gas, such as nitrogen gas, toward the surface A1 of the upper substrate A, for example.

또한, 도시한 예에서는 상기 통기로(6a)를 상부 유지판(1) 또는 그 개구부(1b)에 삽입 부착되는 원통체(1d)에 대하여 상하 방향으로 관통시켜서 그 개구부(1b)의 개구 가장자리에 고정되는 점착 부재(4)를 향하여 형성함으로써, 가동막(3)의 왕복 이동 및 그에 따르는 강체부(3a)의 개구부(1b) 내로의 몰입 대기와 관계없이, 상부 유지판(1)의 점착 부재(4)로 점착 유지할 수 있도록 하고 있다.In addition, in the example shown, the said ventilation path 6a is made to penetrate up and down with respect to the cylindrical body 1d inserted and attached to the upper holding plate 1 or its opening part 1b, and to the opening edge of the opening part 1b. By forming toward the adhesive member 4 to be fixed, the adhesive member of the upper holding plate 1 is independent of the reciprocating movement of the movable membrane 3 and the immersion atmosphere into the opening 1b of the rigid body portion 3a. It is made to be able to maintain adhesiveness in (4).

따라서, 도 10의 (a)~(c)에 나타내는 실시예 6은 전술한 실시예 1~실시예 5와 마찬가지의 작용 효과가 얻어지며, 또한 가동막(3)을 벨로우즈와 같이 Z 방향으로 길게 신축 변형 가능한 탄성체로 구성하면, 다이어프램으로 이루어지는 것에 비해, 가동막(3)의 지름 치수와 관계없이 긴 스트로크의 왕복 운동이 가능해져, 가동막(3) 자체를 대형화하지 않아도 점착ㆍ박리를 확실히 실시하기 위한 스트로크를 확보할 수 있다는 이점이 있다.Therefore, in Example 6 shown to (a)-(c) of FIG. 10, the effect similar to Example 1-Example 5 mentioned above is acquired, and the movable membrane 3 is lengthened in Z direction like a bellows. When the elastic body is elastically deformable, it is possible to reciprocate long strokes regardless of the diameter of the movable membrane 3 as compared with the diaphragm, and to reliably perform adhesion and peeling without increasing the size of the movable membrane 3 itself. There is an advantage that it is possible to secure a stroke for the purpose.

특히, 도시한 예의 경우에는 강체부(3a)의 선단면을 개구부(1b) 내로 몰입하여 점착 부재(4)를 상부 기판(A)으로부터 강제적으로 당겨 떼어내기 위한 스트로크를, 가동막(3)의 지름 치수가 소형인 경우에도 확보할 수 있다.In particular, in the case of the illustrated example, a stroke for forcibly pulling the front end surface of the rigid body portion 3a into the opening portion 1b to forcibly pull the adhesive member 4 from the upper substrate A is applied to the movable membrane 3. It can be secured even if the diameter dimension is small.

또한, 1차측 공간(5)과 2차측 공간(S)의 압력차에 의해 압박 부재(9)의 압박력에 저항하여 가동막(3)인 벨로우즈 및 강체부(3a)를 아래쪽으로 눌러 이동시키면, 상하 기판(A, B)끼리의 중첩 후는 2차측 공간(폐공간)(S) 내의 분위기가 대기압으로 되돌아와 1차측 공간(5)과의 압력차가 없어지기 때문에, 압박 부재(9)의 복원력에 의하여 벨로우즈(3) 및 강체부(3a)를 상부 방향으로 강제적으로 되돌릴 수 있어, 그에 따라 공압 기구의 압력 제어를 용이하게 할 수 있다는 이점이 있다.Furthermore, when the bellows and the rigid body part 3a which are the movable membrane 3 are pressed down and moved, against the pressing force of the press member 9 by the pressure difference between the primary side space 5 and the secondary side space S, Since the atmosphere in the secondary side space (closed space) S returns to atmospheric pressure and the pressure difference with the primary side space 5 disappears after the upper and lower substrates A and B overlap, the restoring force of the pressing member 9 Thereby, the bellows 3 and the rigid body portion 3a can be forcibly returned in the upward direction, whereby the pressure control of the pneumatic mechanism can be facilitated.

특히, 기판 접합기에서는 폐공간(S) 내의 분위기를 소정의 진공도(0.5Pa 정도)까지 확실하게 도달시키기 위하여, 우선 예를 들면 스크롤 진공 펌프 등과 같은 저진공 펌프(도시하지 않음)의 단독 작동에 의하여, 대기압으로부터 약 100Pa 미만까지 진공도를 높이고 나서, 다음에 약 50Pa 정도부터는 예를 들면 터보 분자 펌프 등과 같은 고진공 펌프(도시하지 않음)를 연동시켜 0.5Pa 미만까지 진공도를 높이고 있다.In particular, in the substrate bonding machine, in order to reliably reach the atmosphere in the closed space S up to a predetermined degree of vacuum (about 0.5 Pa), for example, by a sole operation of a low vacuum pump (not shown), such as a scroll vacuum pump, for example. After raising the vacuum degree from atmospheric pressure to less than about 100 Pa, the vacuum degree is raised to less than 0.5 Pa from next about 50 Pa by interlocking a high vacuum pump (not shown), for example, a turbo molecular pump or the like.

이와 같은 경우에도 실시예 6은 1차측 공간(5)과 2차측 공간(S)의 압력차에 관계없이 압박 부재(9)의 압박력에 의하여 상부 기판(A)의 점착 유지 상태가 유지되기 때문에, 상기 고진공 펌프를 배관상에서 차단하고 나서, 상부 기판(A)의 박리 동작으로 전환할 수 있다.Even in such a case, since the adhesive holding state of the upper substrate A is maintained by the pressing force of the pressing member 9 regardless of the pressure difference between the primary side space 5 and the secondary side space S, After the high vacuum pump is cut off on the pipe, it is possible to switch to the peeling operation of the upper substrate A. FIG.

그것에 의하여, 그 고진공 분위기에서, 기판(A)의 박리 동작으로 전환할 때에, 예를 들면 가동막(3)에 구멍이 뚫리는 등의 공기 누설이 발생하여 진공도가 단번에 저하하여도 고진공 펌프가 파손할 일은 없다는 이점도 있다.As a result, when switching to the peeling operation of the substrate A in the high vacuum atmosphere, for example, air leakage such as a hole is formed in the movable membrane 3 may occur, and the high vacuum pump may be damaged even if the vacuum degree decreases at once. There is also the advantage of not working.

<실시예 7><Example 7>

이 실시예 7은 도 11의 (a)~(c)에 나타내는 바와 같이, 상기 압박 부재(9)를 신축 변형시키면서 가동막(3)의 1차측 공간(공압실)(5)과 2차측 공간(폐공간)(S)과의 압력차에 의하여, 벨로우즈와 같은 탄성체로 이루어지는 가동막(3)을 Z 방향으로 신축 변형하여, 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 약간 돌출시킴으로써, 그 강체부(3a)의 선단면에 고정된 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)과 상부 기판(A)를 맞닿게 하여 점착 유지시키고, 또 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로 부터 개구부(1b) 내로 몰입시킴으로써, 그 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)을 상부 기판(A)으로부터 강제적으로 당겨 떼어내도록 한 구성이, 상기 도 10에 나타낸 실시예 6과는 다르며, 그 이외의 구성은 실시예 6과 같은 것이다.In the seventh embodiment, as shown in FIGS. 11A to 11C, the primary side space (pneumatic chamber) 5 and the secondary side space of the movable membrane 3 are stretched and deformed in the pressing member 9. Due to the pressure difference with the (closed space) S, the movable membrane 3 made of an elastic body such as a bellows is stretched and deformed in the Z direction, and the tip end surface of the rigid body portion 3a slightly protrudes from the holding surface 1a. By making the adhesive surface 4a and the upper substrate A of the pressure-sensitive adhesive member 4 fixed to the front end surface of the rigid body portion 3a abut, the adhesion is maintained by holding the front end surface of the rigid body portion 3a. Embodiment 6 shown in FIG. 10 is a configuration in which the adhesive surface 4a of the adhesive member 4 is forcibly pulled off from the upper substrate A by immersing it into the opening 1b from the surface 1a. And the other configuration is the same as that of the sixth embodiment.

도시한 예에서는 상부 유지판(1)의 개구부(1b) 내에 설치되는 격벽(8)에 대하여, 강체부(3a)와 일체화된 실린더부(7)를 상하 방향으로 왕복 이동이 자유롭게 삽입 통과하는 동시에, 그 실린더부(7)의 상단에 돌출 설치된 스프링 받침부(7d)를 상기 개구부(1b)의 내부 둘레면에 대하여 상하 방향으로 왕복 이동이 자유로우며 게다가 기밀 형상으로 삽입 통과시켜 축 지지하여, 이들 격벽(8)과 스프링 받침부(7d)에 걸쳐, 상기 가동막(3)으로서 원통형상 벨로우즈의 양쪽 개구단을 각각 탈락 불가능하게 고정하고 있다.In the example shown, the reciprocating movement of the cylinder part 7 integrated with the rigid body part 3a in the up-and-down direction is inserted freely with respect to the partition 8 provided in the opening part 1b of the upper holding plate 1, The spring bearing portion 7d protruding from the upper end of the cylinder portion 7 is freely reciprocated in the up and down direction with respect to the inner circumferential surface of the opening 1b, and is inserted into the airtight shape to be axially supported. Both opening ends of the cylindrical bellows are fixed as the movable membrane 3 so as not to drop off, respectively, over the partition 8 and the spring receiving portion 7d.

이 벨로우즈(3)의 벨로우즈부(3e)와 개구부(1b)의 내부 둘레면과의 사이에는 밀폐실(3f)을 구획 형성하고, 그 밀폐실(3f)과 상기 스프링 받침부(7d)를 사이에 끼워서 그 1차측(배후)에 구획 형성되는 1차측 공간(공압실)(5)을 통로(1e)로 연통하며, 그 스프링 받침부(7d)와 상부 유지판(1)의 개구부(1b)의 배면측에 형성된 스프링 받침부(1f)와의 사이에는 상기 압박 부재(9)로서 압축 코일 스프링을 개장하고 있다.A sealed chamber 3f is partitioned between the bellows portion 3e of the bellows 3 and the inner circumferential surface of the opening 1b, and the sealed chamber 3f is interposed between the spring supporting portion 7d. The primary side space (pneumatic chamber) 5, which is partitioned on the primary side (back), is connected to the passage 1e, and the spring supporting portion 7d and the opening 1b of the upper retaining plate 1 are connected to each other. The compression coil spring is retrofitted as the said pressing member 9 between the spring receiving part 1f formed in the back side of the.

또한, 도 11의 (a)에 나타내는 바와 같이, 1차측 공간(공압실)(5) 및 밀폐실(3f)의 내압을 2차측 공간(폐공간)(S)보다도 높게 하여, 그 압축 코일 스프링(9)을 신장 변형시킴으로써, 실린더부(7) 및 강체부(3a)가 아래쪽으로 이동하여, 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)과 대략 동일면을 형성하거나 또는 약간(100μm 정 도) 볼록한 형상으로 돌출시키고 있다.Moreover, as shown to Fig.11 (a), the internal pressure of the primary side space (pneumatic chamber) 5 and the sealed chamber 3f is made higher than the secondary side space (closed space) S, and the compression coil spring By elongating and deforming (9), the cylinder part 7 and the rigid part 3a are moved downward, and the front end surface of the rigid part 3a forms approximately the same surface as the holding surface 1a, or is slightly (100 μm positive). It protrudes in convex shape.

그리고, 도 11의 (b)에 나타내는 바와 같이, 1차측 공간(공압실)(5) 및 밀폐실(3f)의 내압을 2차측 공간(폐공간)(S)보다도 높게 하여, 압축 코일 스프링(9)을 압축 변형시킴으로써, 실린더부(7) 및 강체부(3a)가 위쪽으로 이동하여, 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 개구부(1b) 내로 약간(-500μm 정도) 오목한 형상으로 몰입시키고 있다.And as shown in FIG.11 (b), the internal pressure of the primary side space (pneumatic chamber) 5 and the sealed chamber 3f is made higher than the secondary side space (closed space) S, and the compression coil spring ( By compressing and deforming 9), the cylinder part 7 and the rigid part 3a move upwards, and the front end surface of the rigid part 3a is slightly (about -500 micrometers) from the holding surface 1a into the opening part 1b. It is immersed in the concave shape.

즉, 상부 기판(A)의 세트시는 도 11의 (a)에 나타내는 바와 같이, 압축 코일 스프링(9)의 압박력에 의하여, 전술한 도 4~도 6에 나타내는 실시예 3과 마찬가지로, 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)과 대략 동일면을 형성하거나 또는 약간(100μm 정도) 볼록한 형상으로 돌출한 채로 대기시킴으로써, 그 강체부(3a)의 선단면에 고정된 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)과 상부 기판(A)을 맞닿게 하여 점착 유지시켜, 그 상부 기판(A)의 점착 유지 상태를 압축 코일 스프링(9)의 압박력으로 유지하고 있다.That is, as shown in (a) of FIG. 11, when the upper substrate A is set, the rigid body portion is similar to the third embodiment shown in FIGS. 4 to 6 described above by the pressing force of the compression coil spring 9. The adhesive member 4 fixed to the front end surface of the rigid-body part 3a by making the front end surface of (3a) form the substantially same surface as the holding surface 1a, or waiting to protrude in a slightly convex shape (about 100 micrometers). The adhesive surface 4a and the upper substrate A are brought into contact with each other to hold the adhesive, and the adhesive holding state of the upper substrate A is maintained by the pressing force of the compression coil spring 9.

상하 기판(A, B)끼리의 중첩 완료 직후는 도 11의 (b)에 나타내는 바와 같이, 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 개구부(1b) 내로 약간(-500μm 정도) 몰입시킴으로써, 그 점착 부재(4)의 점착 표면(4a)을 상부 기판(A)으로부터 강제적으로 떼어내고 있다.Immediately after completion of the superposition of the upper and lower substrates A and B, as shown in FIG. 11B, the front end surface of the rigid body portion 3a is slightly (about -500 μm) from the holding surface 1a into the opening 1b. By immersion, the adhesion surface 4a of the adhesion member 4 is forcibly removed from the upper substrate A. As shown in FIG.

그 후는 도 11의 (c)에 나타내는 바와 같이, 상부 유지판(1)과 하부 유지판(2)이 상대적으로 떼어지는 동시에, 2차측 공간(폐공간)(S) 내의 분위기가 대기압으로 되돌아오면, 압축 코일 스프링(9)의 복원력에 의하여 강체부(3a)의 선단면 을 유지면(1a)과 대략 동일면을 형성하거나 또는 약간 볼록한 형상으로 돌출시켜서 초기 상태로 되돌리고 있다.Thereafter, as shown in FIG. 11C, the upper holding plate 1 and the lower holding plate 2 are relatively separated, and the atmosphere in the secondary side space (closed space) S returns to atmospheric pressure. In other words, by the restoring force of the compression coil spring 9, the front end surface of the rigid body portion 3a is formed on the same surface as the holding surface 1a or protrudes into a slightly convex shape to return to the initial state.

또, 상기 도 3에 나타내는 실시예 2에서 설명한 상기 가동막(3)의 왕복 이동 방향으로 강체부(3a)와 실린더부(7)를 관통하는 통기로(6a)와 급기원(6b)으로 이루어지는 진공 흡착 수단(6)을 설치하여, 상부 기판(A)의 세트시에 그 진공 흡착 수단(6)으로부터 진공 흡인하여 상부 기판(A)을 흡착 유지하며, 또한 필요에 따라 점착 부재(4)로부터의 박리시에는 그 진공 흡착 수단(6)으로부터 상부 기판(A)의 표면(A1)을 향하여 예를 들면 질소 가스 등의 기체를 분출하도록 하는 것이 바람직하다.Moreover, it consists of the ventilation passage 6a and the air supply source 6b which penetrate the rigid-body part 3a and the cylinder part 7 in the reciprocating direction of the movable membrane 3 demonstrated in Example 2 shown in the said FIG. The vacuum adsorption means 6 is provided, and the vacuum adsorption means 6 is sucked by the vacuum adsorption means 6 at the time of setting of the upper substrate A, and the upper substrate A is adsorb | sucked and hold | maintained, and from the adhesion member 4 as needed. At the time of peeling, it is preferable to blow off gas, for example, nitrogen gas, from the vacuum adsorption means 6 toward the surface A1 of the upper substrate A.

따라서, 도 11의 (a)~(c)에 나타내는 실시예 7은 전술한 실시예 6과 마찬가지의 작용 효과가 얻어지며, 또한 상부 기판(A)의 박리시에는 강체부(3a)의 선단면을 유지면(1a)으로부터 돌출시켜서 점착 부재(4)로부터 상부 기판(A)을 강제적으로 떼어내는 실시예 6에 비해, 중첩이 완료한 상부 기판(A)을 부분적으로 재가압할 필요가 없으므로, 상하 기판(A, B)끼리의 위치가 어긋나거나, 평행도가 어긋나는 등의 사고가 발생할 우려가 없다는 이점이 있다.Therefore, the seventh embodiment shown in FIGS. 11A to 11C obtains the same operational effects as those of the sixth embodiment described above, and further, at the time of peeling the upper substrate A, the front end surface of the rigid portion 3a. Compared to the sixth embodiment in which the upper substrate A is forcibly detached from the adhesive member 4 by protruding from the holding surface 1a, it is not necessary to partially repress the upper substrate A on which the superposition is completed. There is an advantage that there is no possibility that an accident such as the position of the upper and lower substrates A and B are shifted or the parallelism is shifted.

또한, 본 발명의 점착 척 장치가, 액정 디스플레이(LCD) 패널 등의 유리 기판을 점착 유지하여 접합하는 기판 접합기에 배치되는 경우를 나타냈지만, 이것에 한정되지 않고, 그 기판 접합기 이외의 기판 조립 장치나, 기판을 반송하는 기판 반송 장치에 배치하거나 LCD 패널용 유리 기판 이외의 기판을 점착 유지해도 된다.Moreover, although the adhesion chuck apparatus of this invention was arrange | positioned at the board | substrate bonding machine which adheres and bonds glass substrates, such as a liquid crystal display (LCD) panel, it showed, but it is not limited to this, The board | substrate assembly apparatus other than this board | substrate bonding machine is shown. In addition, you may arrange | position to the board | substrate conveyance apparatus which conveys a board | substrate, or may stick and hold board | substrates other than the glass substrate for LCD panels.

또한, 진공중에서 기판(A, B)을 접합하는 기판 접합기를 설명했지만, 이것에 한정되지 않고, 대기중에서 기판(A, B)을 접합하는 기판 접합기라도 좋으며, 그 경우에도, 전술한 진공 접합기와 같은 작용 효과가 얻어진다.In addition, although the board | substrate bonding machine which bonds board | substrates A and B in vacuum was demonstrated, it is not limited to this, The board | substrate bonding machine which bonds board | substrates A and B in air | atmosphere may be sufficient, In that case, the above-mentioned vacuum bonding machine and The same working effect is obtained.

또, 상기에 나타낸 실시예에서는 상부 유지판(1)의 유지면(1a)에만 개구부(1b)를 형성하여 가동막(3)을 배치함으로써, 상부 기판(A)의 점착 유지 및 박리 개방을 실시했지만, 이것에 한정되지 않고, 하부 유지판(2)의 유지면(2a)에도 마찬가지로, 하부 기판(B)의 표면(B1)과 대향하는 개구부를 형성하여 가동막을 배치함으로써, 하부 기판(B)의 점착 유지 및 박리 개방을 실시해도 된다.In addition, in the embodiment shown above, the opening film 1 is formed only in the holding surface 1a of the upper holding plate 1, and the movable film 3 is arranged, thereby performing adhesive holding and peeling-opening of the upper substrate A. However, the present invention is not limited thereto, and the lower substrate B is formed on the holding surface 2a of the lower holding plate 2 in the same manner by forming an opening facing the surface B1 of the lower substrate B and arranging the movable film. Adhesion holding and peeling release may be performed.

또한, 도 7에 나타내는 실시예 4와 도 8 및 도 9에 나타내는 실시예 5와 도 10에 나타내는 실시예 6에서만, 상부 유지판(1)에 형성된 개구부(1b)에 대해서 원통체(1d)를 장착하고, 그 원통체(1d)에 가동막(3c, 3d, 3)이나 점착 부재(4) 등의 구성 부품 모두를 일체적으로 배치하여 유닛화한 경우를 도시하고 있지만, 이것에 한정되지 않고, 그 이외의 실시예에 있어서도 마찬가지로, 상부 유지판(1)에 형성된 개구부(1b)에 대해서 원통체(도시하지 않음)를 장착하여, 그 원통체에 가동막(3)이나 점착 부재(4) 등의 구성 부품 모두를 일체적으로 배치하여 유닛화하는 동시에, 상기 개구부(1b)에 대해서 원통체를 예를 들면 자기나 클램프 기구 등의 착탈 수단(도시하지 않음)으로부터 분리가 자유롭도록 장착함으로써, 점착 부재(4)의 점착력이 저하했을 때에, 상부 유지판(1)의 유지면(1a)으로부터 유닛 전체를 착탈하여 교환하도록 해도 된다.In addition, only the Example 1 shown in FIG. 7 and Example 6 shown in FIG. 8 and FIG. 9 and Example 6 shown in FIG. 10 only apply the cylindrical body 1d with respect to the opening part 1b formed in the upper holding plate 1. Although the case where it mounts and all the component parts, such as the movable membranes 3c, 3d, 3, and the adhesion member 4, are integrally arrange | positioned at the cylindrical body 1d is shown, it is not limited to this. In the other embodiments, the cylindrical body (not shown) is attached to the opening 1b formed in the upper holding plate 1, and the movable membrane 3 and the adhesive member 4 are attached to the cylindrical body. By integrally arranging and uniting all the constituent parts, the cylindrical body is attached to the opening portion 1b so as to be freed from detachable means (not shown) such as a magnet or a clamp mechanism, for example. When the adhesive force of the adhesive member 4 fell, of the upper holding plate 1 The entire unit may be detached and replaced from the holding surface 1a.

Claims (7)

점착에 의해, 기판을 유지판에 대하여 착탈이 자유롭게 유지하는 점착 척 장치에 있어서,In the adhesion chuck apparatus which attaches and detaches a board | substrate freely with respect to a holding plate by adhesion | attachment, 상기 유지판의 기판측에, 그 기판측면에 형성한 개구부 내에서 그 기판측면과 교차하는 방향으로 변형 가능한 가동막과, 이 가동막의 일부에 그 선단면이 기판과 평행하게 대향하도록 배치되는 강체부와, 이 강체부의 선단면에 배치되는 점착 부재를 설치하고, 상기 가동막의 1차측 공간과 2차측 공간의 압력차에 의한 그 가동막의 왕복 이동에 의해, 상기 강체부의 선단면 및 점착 부재를 유지판의 개구부로부터 출몰(出沒)시키고, 그 점착 표면을 기판과 평행하게 맞닿게 하여 점착 유지하는 동시에, 이들 양자를 강제적으로 떼어내서 박리하는 것을 특징으로 하는 점착 척 장치.A movable film that is deformable in a direction intersecting with the substrate side surface in an opening formed on the substrate side surface of the holding plate, and a rigid part disposed at a portion of the movable film so that its front end face is parallel to the substrate; And a pressure-sensitive adhesive member disposed on the front end surface of the rigid body portion, and the front end surface and the pressure-sensitive adhesive member of the rigid body portion are held by the reciprocating movement of the movable film due to the pressure difference between the primary side space and the secondary side space of the movable membrane. An adhesive chuck device which emerges from the opening of the opening, adheres the adhesive surface in parallel with the substrate, maintains adhesion, and forcibly removes and peels both of them. 삭제delete 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 가동막의 왕복 이동 방향으로 관통하는 통기로를 기판과 대향하게 형성하고, 그 통기로로부터 기판을 흡인 흡착하는 것을 특징으로 하는 점착 척 장치.An air passage penetrating in the reciprocating direction of the movable membrane is formed to face the substrate, and the substrate is suction-adsorbed from the passage. 제3항에 있어서, The method of claim 3, 상기 가동막에 강체부와 일체화된 실린더부를 설치하고, 기판측면에 형성된 개구부 내에 그 실린더부와 대향하는 격벽을 설치하고, 그 격벽에 대하여 실린더부를 왕복 이동이 자유롭게 삽입 통과시켜 축 지지한 것을 특징으로 하는 점착 척 장치.A cylinder portion integrated with the rigid body portion is provided on the movable membrane, and a partition wall facing the cylinder portion is provided in an opening formed on the substrate side surface, and the cylinder portion is axially supported by allowing the cylinder portion to freely pass through the partition wall. Adhesive chuck device. 제4항에 있어서, The method of claim 4, wherein 상기 개구부 내에 서로 간격을 두고 있는 2매의 가동막을 설치하고, 이들 가동막에 실린더부를 삽입 부착하고, 양 가동막의 사이에 제1 공압실과 제2 공압실을 따로 구획 형성하고, 그 제1 공압실과 제2 공압실의 압력차에 의해 양 가동막을 동시에 변형시켜 왕복 이동시킨 것을 특징으로 하는 점착 척 장치.Two movable membranes spaced apart from each other are provided in the opening, a cylinder portion is inserted and attached to these movable membranes, and a first pneumatic chamber and a second pneumatic chamber are separately formed between the two movable membranes, and the first pneumatic chamber and A pressure-sensitive adhesive chuck device characterized in that both movable membranes are simultaneously deformed and reciprocated by the pressure difference between the second pneumatic chamber. 제1항, 제3항, 제4항 또는 제5항에 있어서, The method according to claim 1, 3, 4 or 5, 상기 가동막은 유지판의 기판측면과 교차하는 방향으로 변형 가능한 벨로우즈로 이루어지는 것을 특징으로 하는 점착 척 장치.And the movable membrane is made of a bellows deformable in a direction crossing the substrate side surface of the holding plate. 제1항, 제3항, 제4항 또는 제5항에 있어서, The method according to claim 1, 3, 4 or 5, 상기 가동막과 연계하는 압박 부재를 설치하고, 그 압박 부재에 의해 그 가동막을 그 왕복 이동 중 어느 한쪽을 향하여 압박하는 것을 특징으로 하는 점착 척 장치.And an urging member associated with the movable membrane, and urging the movable membrane toward any one of the reciprocating movements by the urging member.
KR1020077003427A 2004-10-28 2005-09-28 Adhesive chuck device KR100895468B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2004-00313999 2004-10-28
JP2004313999 2004-10-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20070069132A KR20070069132A (en) 2007-07-02
KR100895468B1 true KR100895468B1 (en) 2009-05-06

Family

ID=36227625

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020077003427A KR100895468B1 (en) 2004-10-28 2005-09-28 Adhesive chuck device

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP3917651B2 (en)
KR (1) KR100895468B1 (en)
CN (1) CN100447622C (en)
TW (1) TW200628880A (en)
WO (1) WO2006046379A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102338950A (en) * 2010-07-15 2012-02-01 Ap系统股份有限公司 Substrate assembling apparatus and substrate processing method using the same

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4746003B2 (en) * 2007-05-07 2011-08-10 リンテック株式会社 Transfer device and transfer method
KR100918614B1 (en) * 2007-10-19 2009-09-25 (주)아폴로테크 Chuck
US8245751B2 (en) * 2007-11-07 2012-08-21 Advanced Display Process Engineering Co., Ltd. Substrate bonding apparatus
KR100942304B1 (en) * 2008-06-02 2010-02-16 주식회사 에이디피엔지니어링 Substrate chuck, Substrate bonding apparatus
KR100988897B1 (en) * 2008-08-18 2010-10-20 주식회사 탑 엔지니어링 Optic chuck for array tester
KR100983605B1 (en) * 2008-09-24 2010-09-24 에이피시스템 주식회사 Substrate hoder unit and substrate assembling appratus having the same
JP5507074B2 (en) * 2008-11-18 2014-05-28 株式会社アルバック Substrate laminating method and substrate laminating apparatus
JP4954968B2 (en) * 2008-12-01 2012-06-20 アドヴァンスド・ディスプレイ・プロセス・エンジニアリング・コーポレーション・リミテッド Adhesive chuck and substrate bonding apparatus having the same
TWI398687B (en) * 2009-10-23 2013-06-11 Au Optronics Corp Substrate bonding system and method thereof
KR101221034B1 (en) * 2010-10-06 2013-01-21 엘아이지에이디피 주식회사 Substrate chuck and apparatus for processing substrate using the same
US9574113B2 (en) 2010-10-21 2017-02-21 Alfred J. Crosby High capacity easy release extended use adhesive devices
JP4785995B1 (en) * 2011-02-28 2011-10-05 信越エンジニアリング株式会社 Workpiece adhesive chuck device and workpiece bonding machine
JP4903906B1 (en) * 2011-04-07 2012-03-28 信越エンジニアリング株式会社 Workpiece adhesive chuck device and workpiece bonding machine
WO2013109695A1 (en) 2012-01-19 2013-07-25 University Of Massachusetts Double- and multi-sided adhesive devices
JP5395313B1 (en) * 2012-12-25 2014-01-22 信越エンジニアリング株式会社 Actuator and adhesive chuck device
EP2954018A4 (en) 2013-02-06 2016-09-07 Univ Massachusetts Weight-bearing adhesives with adjustable angles
EP2970722A4 (en) 2013-03-14 2016-12-07 Univ Massachusetts Devices for application and load bearing and method of using the same
BR112015023403A2 (en) 2013-03-15 2017-07-18 Univ Massachusetts prolon-cattle closure devices with high release capacity
JP5811513B2 (en) * 2014-03-27 2015-11-11 Toto株式会社 Electrostatic chuck
JP6419635B2 (en) * 2014-04-23 2018-11-07 株式会社アルバック Holding device, vacuum processing device
KR101838681B1 (en) * 2014-07-07 2018-03-14 에이피시스템 주식회사 Support chuck and apparatus for treating substrate

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990048958A (en) * 1997-12-11 1999-07-05 김영환 Glass substrate adsorption device for etching chamber
KR20030077081A (en) * 2002-03-25 2003-10-01 엘지.필립스 엘시디 주식회사 bonding devise and method for manufacturing liquid crystal display device using the same

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63197335U (en) * 1987-06-05 1988-12-19
JPH05305592A (en) * 1992-04-28 1993-11-19 Sony Corp Vacuum chuck
JPH09181156A (en) * 1995-12-25 1997-07-11 Sony Corp Vacuum chuck
JPH11333774A (en) * 1998-05-22 1999-12-07 Ricoh Co Ltd Sheet-like work suction and transfer hand
JP2000199911A (en) * 1999-01-06 2000-07-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Production of liquid crystal display device and its apparatus thereof
JP3862065B2 (en) * 2001-11-29 2006-12-27 信越半導体株式会社 Wafer polishing head
TWI266104B (en) * 2002-03-14 2006-11-11 Sharp Kk Manufacturing method of liquid crystal display apparatus and substrate assembling apparatus
JP2004268155A (en) * 2003-03-05 2004-09-30 Tamagawa Machinery Co Ltd Glass substrate polishing head, polishing device using this polishing head, glass substrate polishing method and glass substrate

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19990048958A (en) * 1997-12-11 1999-07-05 김영환 Glass substrate adsorption device for etching chamber
KR20030077081A (en) * 2002-03-25 2003-10-01 엘지.필립스 엘시디 주식회사 bonding devise and method for manufacturing liquid crystal display device using the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102338950A (en) * 2010-07-15 2012-02-01 Ap系统股份有限公司 Substrate assembling apparatus and substrate processing method using the same

Also Published As

Publication number Publication date
TWI376540B (en) 2012-11-11
JPWO2006046379A1 (en) 2008-08-07
KR20070069132A (en) 2007-07-02
CN1985288A (en) 2007-06-20
WO2006046379A1 (en) 2006-05-04
JP3917651B2 (en) 2007-05-23
CN100447622C (en) 2008-12-31
TW200628880A (en) 2006-08-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100895468B1 (en) Adhesive chuck device
KR100869088B1 (en) Adhesive chuck device
KR101849656B1 (en) Manufacturing method of a display device and manufacturing device of the display device
US6922229B2 (en) Manufacturing method of liquid crystal display apparatus and substrate assembling apparatus
TWI412480B (en) Workpiece transfer method, electrostatic chuck device and substrate bonding method
TW201108344A (en) Vacuum adhering method and device
JP2008034435A (en) Chuck device for holding substrate
JP3943590B2 (en) Substrate holding structure
JP5337620B2 (en) Workpiece adhesive holding device and vacuum bonding machine
KR20090125398A (en) Substrate chuck, substrate bonding apparatus
JP4812131B2 (en) Substrate bonding equipment
JP4221271B2 (en) Tape applicator
KR101457044B1 (en) Apparatus and method for attaching substrates
CN102005395A (en) Vacuum mounting method and device
KR20140114768A (en) Sheet adhering device and adhering method
KR101718283B1 (en) Bonded member manufacturing apparatus and method of manufacturing bonded member
JP5660821B2 (en) Sheet sticking device and sticking method
JP5368204B2 (en) Sheet pasting device
JP2005351961A (en) Vacuum lamination device
KR101471002B1 (en) Apparatus and method for treating substrate
KR101457043B1 (en) Apparatus and method for attaching substrates
KR101456692B1 (en) Apparatus and method for attaching substrates
JP4043506B1 (en) Work transfer method, electrostatic chuck apparatus, and substrate bonding method
KR20090082296A (en) Work transferring method, electrostatic chuck device and method for bonding substrates
JP2014204076A (en) Mounting apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
J204 Request for invalidation trial [patent]
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR INVALIDATION REQUESTED 20090722

Effective date: 20120523

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130404

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140401

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160318

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170317

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee