KR100988897B1 - Optic chuck for array tester - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판의 처짐 현상을 방지하고, 이에 따라 기판에 스크래치가 발생되지 않는 어레이 테스터용 옵틱척에 관한 것으로, 전극 어레이(Array) 테스트를 받기 위한 기판이 일측에 안착되는 테스트부; 상기 테스트부의 입구측 또는 출구측 중 적어도 일측에 배치되는 것으로, 상기 기판의 이송방향에 대해 수직 또는 수평 방향으로 형성된 가이드홈; 상기 가이드홈에 형성되는 것으로, 상기 기판을 부양시키도록 에어(Air)가 배출되는 적어도 하나의 에어홀; 및 상기 에어홀의 상측에 배치되는 것으로, 상기 에어홀로부터 배출되는 에어를 충돌시켜 에어를 상기 가이드홈으로 안내하는 에어 가이드 부재;를 구비하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to an optical chuck for an array tester, which prevents sagging of a substrate and thus does not generate a scratch on the substrate, wherein the test unit includes a test unit seated on one side of the substrate for receiving an electrode array test; A guide groove disposed on at least one side of an inlet side or an outlet side of the test unit and formed in a vertical or horizontal direction with respect to a transfer direction of the substrate; At least one air hole formed in the guide groove and through which air is discharged to support the substrate; And an air guide member disposed above the air hole and configured to collide the air discharged from the air hole to guide the air to the guide groove.

기판, 어레이, 테스터, 에어 Board, Array, Tester, Air

Description

어레이 테스터용 옵틱척{Optic chuck for array tester}Optical chuck for array tester}

본 발명은 평판 디스플레이 기판에 형성된 전극의 결함 여부를 테스트하는 어레이 테스터용 옵틱척에 관한 것이다.The present invention relates to an optical chuck for an array tester for testing whether an electrode formed on a flat panel display substrate is defective.

일반적으로, 어레이 테스터(Array tester)란 디스플레이 패널 제조 시, 기판 전극의 불량 여부를 검출하는 장치이다. 디스플레이 패널은 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등의 평판 디스플레이 장치들을 포함한다. 상기 어레이 테스터의 일예로서, LCD 패널의 TFT 기판에 형성된 전극의 불량 유무를 측정한다. 일반적인 TFT(Thin Film Transister) LCD 기판은, TFT 기판과, 컬러 필터 및 공통전극이 형성되어 상기 TFT 기판과 대향 배치된 컬러 기판과, 상기 TFT 기판과 컬러 기판 사이에 주입된 액정 및 백라이트 유닛을 구비한다.In general, an array tester is an apparatus for detecting a defect of a substrate electrode when manufacturing a display panel. The display panel includes flat panel display devices such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and organic light emitting diodes (OLED). As an example of the array tester, a defect of an electrode formed on a TFT substrate of an LCD panel is measured. A general TFT (Thin Film Transister) LCD substrate includes a TFT substrate, a color substrate on which color filters and a common electrode are formed to be disposed opposite to the TFT substrate, and a liquid crystal and a backlight unit injected between the TFT substrate and the color substrate. do.

종래의 어레이 테스터는 옵틱척과, 광원과, 모듈레이터 및 센서 등으로 이루어진다. 옵틱척은 검사될 기판이 안착되는 것으로, 기판을 흡착 및 이격시키도록 복수의 에어홀들이 천공될 수 있다. 광원은 빛을 조사하는 장치이며, 상기 광원으로부터 조사된 빛은 기판 전극의 결함유무를 조사하기 위한 수단이 된다. 모듈레이 터는 상기 옵틱척을 기준으로 상기 광원과 동일측 방향 또는 반대측 방향에 배치되는 것으로, 상기 광원으로부터 조사된 빛이 모듈레이터의 출사면을 통과한다. 센서는 상기 모듈레이터의 출사면을 통과한 빛의 양에 따라, 상기 기판 전극의 결함 여부를 검출한다.Conventional array testers comprise an optical chuck, a light source, a modulator, a sensor, and the like. The optical chuck is a substrate to be inspected to be seated, and a plurality of air holes may be drilled to adsorb and space the substrate. The light source is a device for irradiating light, and the light irradiated from the light source is a means for irradiating a defect of the substrate electrode. The modulator is disposed in the same or opposite direction as the light source with respect to the optical chuck, and the light emitted from the light source passes through the exit surface of the modulator. The sensor detects whether the substrate electrode is defective according to the amount of light passing through the exit surface of the modulator.

특히, 상기 모듈레이터와 광원이 옵틱척을 기준으로 서로 반대 방향에 배치되는 경우, 상기 옵틱척은 빛을 투과할 수 있도록 광학 유리(Optic glass)와 같은 투명 소재로 이루어진다. 이와 같은 투과형 어레이 테스터는 상기 옵틱척에 기판의 테스트가 행해지는 테스트부 및 상기 테스트부 가장자리에 에어홀들을 구비한다. 상기 에어홀에서 에어가 수직방향으로 배출되며, 배출되는 에어가 기판을 부양시킨다. 이와 같이, 기판은 부양된 상태로 테스트부로 이송되며, 테스트가 완료된 기판은 동일한 방식으로 부양되어 이송이 진행된다.In particular, when the modulator and the light source are disposed in opposite directions with respect to the optical chuck, the optical chuck is made of a transparent material such as optical glass to transmit light. Such a transmissive array tester includes a test unit on which the substrate is tested on the optical chuck and air holes on the edge of the test unit. Air is discharged in the vertical direction from the air hole, and the discharged air supports the substrate. In this manner, the substrate is transferred to the test unit in a suspended state, and the substrate on which the test is completed is supported in the same manner and the transfer is performed.

하지만, 종래의 어레이 테스터에 구비되는 옵틱척은 에어홀들이 소정 간격으로 이격되어 배치된다. 상기 에어홀들로부터 배출되는 에어는 기판의 특정 부분에 접촉되어 기판을 떠받치게 된다. However, in the optical chuck provided in the conventional array tester, air holes are spaced apart at predetermined intervals. Air discharged from the air holes contacts a specific portion of the substrate to support the substrate.

이에 따라, 에어와 접촉되지 않는 기판의 부위는 자체 하중에 의해 하부로 처지는 현상이 발생하였다. 이와 같은 기판의 처짐 현상은 기판에 스크래치(Scratch)를 발생시켜, 평판 디스플레이 제품의 생산 공정에서 불량을 일으키는 큰 원인이 되었다.As a result, a phenomenon in which the portion of the substrate which is not in contact with the air sags downward due to its own load. Such deflection of the substrate causes scratches on the substrate, which is a major cause of defects in the production process of flat panel display products.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로, 기판의 처짐 현상을 방지하고, 이에 따라 기판에 스크래치가 발생되지 않는 어레이 테스터용 옵틱척을 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, and an object thereof is to provide an optical chuck for an array tester which prevents a phenomenon of sagging of a substrate and thus does not cause scratches on the substrate.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 전극 어레이(Array) 테스트를 받기 위한 기판이 일측에 안착되는 테스트부; 상기 테스트부의 입구측 또는 출구측 중 적어도 일측에 배치되는 것으로, 상기 기판의 이송방향에 대해 수직 방향으로 형성된 가이드홈; 상기 가이드홈에 형성되는 것으로, 상기 기판을 부양시키도록 에어(Air)가 배출되는 적어도 하나의 에어홀; 및 상기 에어홀의 상측에 배치되는 것으로, 상기 에어홀로부터 배출되는 에어를 충돌시켜 에어를 상기 가이드홈으로 안내하는 에어 가이드 부재;를 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스터용 옵틱척을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention includes a test unit for mounting a substrate for receiving an electrode array (Array) test on one side; A guide groove disposed on at least one side of an inlet side or an outlet side of the test unit and formed in a direction perpendicular to a transfer direction of the substrate; At least one air hole formed in the guide groove and through which air is discharged to support the substrate; And an air guide member disposed at an upper side of the air hole and colliding air discharged from the air hole to guide air to the guide groove.

이 경우, 상기 가이드홈은 상기 기판의 이송방향에 대해 평행 방향으로 더 구비될 수 있다.In this case, the guide groove may be further provided in a direction parallel to the transfer direction of the substrate.

한편, 본 발명은, 전극 어레이(Array) 테스트를 받기 위한 기판이 일측에 안착되는 테스트부; 상기 테스트부의 입구측 또는 출구측 중 적어도 일측에 배치되는 것으로, 상기 기판의 이송방향에 대해 평행 방향으로 형성된 가이드홈; 상기 가이드홈에 형성되는 것으로, 상기 기판을 부양시키도록 에어(Air)가 배출되는 적어도 하나의 에어홀; 및 상기 에어홀의 상측에 배치되는 것으로, 상기 에어홀로부터 배출되는 에어를 충돌시켜 에어를 상기 가이드홈으로 안내하는 에어 가이드 부재;를 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스터용 옵틱척을 제공한다.On the other hand, the present invention, the test unit for receiving a substrate for receiving an electrode array (Array) test seated on one side; A guide groove disposed on at least one side of an inlet side or an outlet side of the test unit and formed in a direction parallel to a transfer direction of the substrate; At least one air hole formed in the guide groove and through which air is discharged to support the substrate; And an air guide member disposed at an upper side of the air hole and colliding air discharged from the air hole to guide air to the guide groove.

이 경우, 상기 에어 가이드 부재에 복수의 미세홀이 형성될 수 있다.In this case, a plurality of fine holes may be formed in the air guide member.

또한, 상기 에어 가이드 부재는 상기 가이드홈에 본딩처리되는 것도 가능하다.In addition, the air guide member may be bonded to the guide groove.

본 발명에 따른 어레이 테스터용 옵틱척은 에어홀에서 배출되는 에어가 퍼져 기판을 골고루 지지함으로써, 기판의 부분적인 처짐 현상을 방지하고, 이에 따라 기판에 손상을 일으키지 않는 장점을 갖는다.The optical chuck for the array tester according to the present invention has an advantage that the air discharged from the air hole is spread evenly to support the substrate, thereby preventing partial deflection of the substrate, thereby not damaging the substrate.

또한, 본 발명에 따른 어레이 테스터용 옵틱척은 비교적 적은 수의 에어홀로도 효율적으로 기판을 부양시켜 설비 비용, 장비운용 비용 등의 제반 비용을 감소시킬 수 있는 매우 유용한 발명이다.In addition, the optical chuck for the array tester according to the present invention is a very useful invention that can reduce the overall cost such as equipment cost, equipment operation cost by supporting the substrate efficiently even with a relatively small number of air holes.

이하 첨부된 도면에 따라서 본 발명의 기술적 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the technical configuration of the present invention according to the accompanying drawings in detail.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 어레이 테스터를 도시한 사시도이다.1 is a perspective view illustrating an array tester according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1에 도시된 바와 같이, 어레이 테스터(200)는 옵틱척(100)과, 광원부(110), 및 모듈레이터(120)를 구비한다.As shown in FIG. 1, the array tester 200 includes an optical chuck 100, a light source unit 110, and a modulator 120.

옵틱척(100)은 테스트될 기판이 안착되는 것이다.The optical chuck 100 is a substrate to be tested.

광원부(110)는 빛을 조사한다. 상기 광원부(110)로부터 조사되는 빛은 제논, 소디움, 수정할로겐 램프, 및 레이저 등을 포함한 다양한 종류의 빛일 수 있다.The light source unit 110 emits light. The light irradiated from the light source unit 110 may be various kinds of light including xenon, sodium, quartz lamp, laser, and the like.

모듈레이터(120)는 상기 광원부(110)로부터 조사된 빛이 통과하는 양에 따라, 상기 기판 전극의 결함 유무를 검출한다. 상기 모듈레이터(120)는 테스트될 기판과 인접하게 위치하며, 상기 기판 전극의 불량 유무에 따라 전기 신호가 인가되면 특정 물성치가 변화된다. 일 예로, 상기 모듈레이터(120)는 테스트될 기판 전극의 어레이(Array)가 정상인 경우, 내부에 전기장이 형성되고 상기 전기장에 의해 분자 배열이 일정한 방향으로 배열되어 빛이 통과할 수 있게 된다. 이와 반대로, 상기 기판 전극의 어레이가 불량인 경우, 내부에 전기장이 형성되지 않고 분자 배열이 변경되지 않음으로써 빛이 통과할 수 없게 된다.The modulator 120 detects the presence or absence of a defect of the substrate electrode according to the amount of light emitted from the light source unit 110 passes. The modulator 120 is positioned adjacent to the substrate to be tested, and specific properties are changed when an electrical signal is applied according to whether the substrate electrode is defective. As an example, when the array of substrate electrodes to be tested is normal, an electric field is formed therein, and the molecular array is arranged in a predetermined direction by the electric field so that light can pass therethrough. On the contrary, when the array of substrate electrodes is defective, light cannot pass through because no electric field is formed therein and the molecular arrangement is not changed.

상기 모듈레이터(120)는 일 측에 센서(130)를 배치하고, 상기 센서(130)를 통해 상기 모듈레이터(130)의 변경된 특정 물성치를 측정하여 기판 전극의 불량 유무를 검출하는 것이 바람직하다.The modulator 120 may arrange the sensor 130 on one side, and measure the changed specific physical property of the modulator 130 through the sensor 130 to detect whether the substrate electrode is defective.

한편, 상기 광원부(110)는 상기 옵틱척(100)을 기준으로 상기 모듈레이터(120)의 반대 방향에 배치되고, 상기 옵틱척(100)은 투명한 소재로 이루어진다. 따라서, 상기 광원부(110)로부터 조사된 빛은 상기 옵틱척(100)을 투과하여 상기 모듈레이터(120)를 통과한다.On the other hand, the light source unit 110 is disposed in the opposite direction of the modulator 120 with respect to the optical chuck 100, the optical chuck 100 is made of a transparent material. Therefore, the light irradiated from the light source unit 110 passes through the optical chuck 100 and passes through the modulator 120.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 옵틱척의 부분 확대 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가이드홈을 길이방향의 수직으로 절단한 단면도이다.2 is a partially enlarged perspective view of an optical chuck according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the guide groove vertically cut in the longitudinal direction.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 어레이 테스터용 옵틱척(100)은 테스트부(10)와, 가이드홈(20)과, 에어홀(30), 및 에어 가이드 부재(40)를 구비한다.As shown in FIGS. 1 to 3, the optical chuck 100 for the array tester according to the present invention includes a test unit 10, a guide groove 20, an air hole 30, and an air guide member 40. ).

테스트부(10)는 전극 어레이(Array) 테스트를 받기 위한 기판이 일측에 안착된다. 상기 테스트부(10)의 하부에 상기 광원부(110)가 배치되고, 상부에 상기 모듈레이터(120)가 배치된다. 상기 테스트부(10)의 직상부에 테스트를 받기 위한 기판이 이송되어 기판의 전극 어레이(Array) 테스트가 수행된다. 상기 기판은 상기 모듈레이터(120)와 테스트부(10)의 사이에 위치한다.The test unit 10 has a substrate for receiving an electrode array test mounted on one side. The light source unit 110 is disposed below the test unit 10, and the modulator 120 is disposed above. The substrate to be tested is transferred to the upper portion of the test unit 10 to perform an electrode array test of the substrate. The substrate is positioned between the modulator 120 and the test unit 10.

가이드홈(20)은 상기 테스트부(10)의 입구측 또는 출구측 중 적어도 일 측에 배치된다. 상기 가이드홈(20)은 상기 기판의 이송방향에 대해 수직 방향으로 형성된다.The guide groove 20 is disposed on at least one side of an inlet side or an outlet side of the test unit 10. The guide groove 20 is formed in a direction perpendicular to the transfer direction of the substrate.

에어홀(30)은 상기 가이드홈(20)에 적어도 하나 형성된다. 상기 에어홀(30)은 상기 기판을 부양시키도록 에어(Air)가 배출된다. 에어는 상기 에어홀(30)의 하 측으로부터 상측을 향해 수직으로 분사된다. 상기 에어홀(30)은 상기 가이드홈(20) 하면에 형성되며, 소정의 거리로 이격되어 복수개 형성되는 것이 바람직하다.At least one air hole 30 is formed in the guide groove 20. Air is discharged from the air hole 30 to support the substrate. Air is injected vertically from the lower side of the air hole 30 toward the upper side. The air hole 30 is formed on the lower surface of the guide groove 20, it is preferable that a plurality of spaced apart a predetermined distance is formed.

에어 가이드 부재(40)는 상기 에어홀(30)의 상측에 배치된다. 상기 에어 가이드 부재(40)는 상기 가이드홈(20)에 단턱(27)을 형성하고, 상기 단턱(27)에 안착되어 고정될 수 있다. 이 밖에, 상기 에어 가이드 부재(40)는 상기 가이드홈(20)에 견고히 고정되도록 다양한 체결방법을 채택할 수 있다.The air guide member 40 is disposed above the air hole 30. The air guide member 40 may form a step 27 in the guide groove 20 and may be seated and fixed to the step 27. In addition, the air guide member 40 may adopt various fastening methods to be firmly fixed to the guide groove 20.

상기 에어 가이드 부재(40)는 상기 에어홀(30)의 직상부에 위치되어, 상기 에어홀(30)로부터 배출되는 에어를 퍼뜨리는 역할을 한다. 즉, 상기 에어홀(30)로부터 배출되는 에어는 상기 에어 가이드 부재(40)의 하면에 충돌하여, 상기 가이드홈(20)으로 안내된다. 따라서, 상기 에어홀(30)로부터 배출되는 에어는 상기 에어 가이드 부재(40)에 의해 퍼지면서 배출된다.The air guide member 40 is positioned directly above the air hole 30 and serves to spread the air discharged from the air hole 30. That is, the air discharged from the air hole 30 collides with the lower surface of the air guide member 40 and is guided to the guide groove 20. Therefore, the air discharged from the air hole 30 is discharged while being spread by the air guide member 40.

이에 따라, 에어는 상기 에어홀(30)의 상부에 위치하는 기판을 일 지점이 아닌 여러 지점으로 분산된 상태로 부양시키게 된다. 결과적으로, 기판이 에어에 의해 여러 지점에서 골고루 지지되게 되고, 특정 부위에 에어가 집중되지 않아 기판의 처짐 현상을 방지할 수 있다. 이와 같이, 에어가 접촉하지 않는 기판의 부위가 하부로 처지는 현상은 기판의 표면에 스크래치를 발생할 확률이 높아 제품 불량의 큰 원인이 된다.Accordingly, the air supports the substrate positioned on the upper portion of the air hole 30 in a state in which it is dispersed to several points instead of one point. As a result, the substrate is uniformly supported at various points by the air, and the air is not concentrated at a specific site, thereby preventing the substrate from sagging. As described above, the phenomenon in which the portion of the substrate which is not in contact with air sags downwards is likely to cause scratches on the surface of the substrate, which is a major cause of product defects.

이를 해결하기 위한 방법으로, 에어홀(30)의 갯수를 늘리는 방법을 생각할 수 있다. 즉, 상기 에어홀(30)들의 간격을 좁혀 더욱 많은 지점에서 분출되는 에어를 통해 기판을 지지하는 방법도 있다. 이와 같이, 에어홀(30)의 갯수를 늘리면 기 판을 지지하는 부위를 분산시키는 효과를 얻을 수 있으나, 효율성 측면에서 큰 효과를 기대할 수 없다.As a method for solving this problem, a method of increasing the number of air holes 30 may be considered. That is, there is also a method of supporting the substrate through the air ejected from more points by narrowing the interval of the air holes (30). As such, when the number of air holes 30 is increased, an effect of dispersing a portion supporting the substrate may be obtained, but a large effect may not be expected in terms of efficiency.

따라서, 본 발명은 에어 가이드 부재(40)를 구비하고 에어홀(30)로부터 배출되는 에어가 상기 에어 가이드 부재(40)에 의해 퍼지도록 하여, 전술한 문제점을 해결하고 있다. 즉, 본 발명은 에어홀(30)로부터 분출되는 에어가 기판의 특정 지점에 집중되지 않고, 가이드홈(20)을 따라 퍼지면서 배출되는 에어에 의해 골고루 분산되게 되어 기판의 처짐 현상이 발생하지 않는다.Therefore, the present invention solves the above-described problem by providing the air guide member 40 and allowing the air discharged from the air hole 30 to be spread by the air guide member 40. That is, in the present invention, the air ejected from the air hole 30 is not concentrated at a specific point of the substrate, and is evenly dispersed by the air discharged while being spread along the guide groove 20 so that the phenomenon of the substrate does not occur. .

또한, 상기 옵틱척(100)은 기판을 흡착시키기 위한 복수의 흡착용 에어홈(90)을 구비할 수 있다.In addition, the optical chuck 100 may include a plurality of adsorption air grooves 90 for adsorbing the substrate.

도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가이드홈을 길이방향의 평행으로 절단한 단면도이다.4 is a cross-sectional view of the guide groove cut in parallel in the longitudinal direction according to an embodiment of the present invention.

도 4에 도시된 바와 같이, 에어홀(30)의 하측으로부터 배출되는 에어는 화살표와 동일하게 상측으로 이동한 후, 에어 가이드 부재(40)와 충돌한다. 따라서, 에어는 더이상 상부로 진행하지 못하고, 가이드홈(20)의 좌우로 퍼지면서 외부로 배출된다.As shown in FIG. 4, the air discharged from the lower side of the air hole 30 moves upward as shown by the arrow, and then collides with the air guide member 40. Therefore, the air no longer proceeds upwards and is discharged to the outside while spreading to the left and right of the guide groove 20.

도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 옵틱척의 부분 확대 사시도이다.5 is a partially enlarged perspective view of an optical chuck according to another embodiment of the present invention.

도 5에 도시된 바와 같이, 상기 가이드홈(20a)(20b)은 상기 기판의 이송방향에 대해 평행 방향으로 더 구비될 수 있다. 즉, 상기 옵틱척(100)은 기판의 이송방향에 대해 수직방향으로 가이드홈(20a)이 형성되고, 수평방향으로 가이드홈(20b)이 형성된다.As shown in FIG. 5, the guide grooves 20a and 20b may be further provided in a direction parallel to the transfer direction of the substrate. That is, the optical chuck 100 has a guide groove 20a formed in a direction perpendicular to the transfer direction of the substrate, and a guide groove 20b is formed in a horizontal direction.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 옵틱척의 부분 확대 사시도이다.6 is a partially enlarged perspective view of an optical chuck according to another embodiment of the present invention.

도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 어레이 테스터용 옵틱척(100)은 가이드홈(20b)을 기판의 이송방향에 대해 평행 방향으로만 형성되게 구현하는 것도 가능하다.As illustrated in FIG. 6, the optical chuck 100 for the array tester according to the present invention may be implemented such that the guide groove 20b is formed only in a direction parallel to the transfer direction of the substrate.

이 경우, 상기 어레이 테스터용 옵틱척(100)은 전술한 것과 마찬가지로 가이드홈(20b)에 에어홀을 형성하고, 상기 에어홀의 상측에 에어 가이드 부재(40)를 설치한다.In this case, the optical test chuck 100 for the array tester forms an air hole in the guide groove 20b as described above, and installs the air guide member 40 on the upper side of the air hole.

또한, 상기 옵틱척(100)은 기판을 흡착시키기 위한 복수의 흡착용 에어홈(90)을 구비할 수 있다.In addition, the optical chuck 100 may include a plurality of adsorption air grooves 90 for adsorbing the substrate.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 가이드홈을 길이방향의 평행으로 절단한 단면도이다.7 is a cross-sectional view of the guide groove cut in parallel in the longitudinal direction according to another embodiment of the present invention.

도 7에 도시된 바와 같이, 상기 에어 가이드 부재(40)는 복수의 미세홀(41)을 구비할 수 있다. 따라서, 상기 에어홀(30)의 하측으로부터 상측으로 배출되는 에어는 에어 가이드 부재(40)의 미세홀(41)을 통해 일부의 에어가 상부로 배출되고, 상기 미세홀(41)을 통해 배출되지 못한 대부분의 에어는 상기 에어 가이드 부재(40)와 충돌하여 가이드홈(20)의 좌우로 퍼져 외부로 배출된다.As shown in FIG. 7, the air guide member 40 may include a plurality of micro holes 41. Therefore, some of the air discharged upward from the lower side of the air hole 30 is discharged upward through the fine holes 41 of the air guide member 40, and is not discharged through the fine holes 41. Most of the air that does not collide with the air guide member 40 is spread to the left and right of the guide groove 20 is discharged to the outside.

따라서, 상기 에어 가이드 부재(40)가 차지하는 공간만큼 에어가 배출되지 않아 상기 에어 가이드 부재(40)의 직상부에 위치하는 기판의 지점이 처질 수 있는 여지를 없앨 수 있다. 또한, 상기 미세홀(41)은 상기 에어홀(30)로부터 분출되는 높은 압력의 에어를 일부 배출시켜, 상기 에어 가이드 부재(40)에 가해지는 힘을 분산시킬 수 있다.Therefore, air is not discharged as much as the space occupied by the air guide member 40, thereby eliminating the possibility of sagging of the point of the substrate located directly above the air guide member 40. In addition, the micro holes 41 may partially discharge the high pressure air ejected from the air holes 30, thereby dispersing the force applied to the air guide member 40.

또한, 상기 에어 가이드 부재(40)는 상기 가이드홈(20)에 본딩처리되어 고정될 수 있다. 이 경우, 상기 가이드홈(20)에 상기 에어 가이드 부재(40)를 고정시키기 위한 별도의 요홈 등을 형성하는 것도 바람직하다. 상기 에어 가이드 부재(40)는 상기 에어홀(30)로부터 높은 압력으로 배출되는 에어에 충분히 결딜 수 있도록 가이드홈(20)에 견고하게 고정시킨다.In addition, the air guide member 40 may be fixed by being bonded to the guide groove 20. In this case, it is also preferable to form a separate groove or the like for fixing the air guide member 40 in the guide groove 20. The air guide member 40 is firmly fixed to the guide groove 20 so as to sufficiently bind the air discharged from the air hole 30 at a high pressure.

본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.Although the present invention has been described with reference to the embodiments illustrated in the drawings, this is merely exemplary, and any person skilled in the art to which the present invention pertains may have various modifications and equivalent other embodiments. Will understand. Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 어레이 테스터를 도시한 사시도.1 is a perspective view showing an array tester according to an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 옵틱척의 부분 확대 사시도.2 is a partially enlarged perspective view of an optical chuck according to an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 가이드홈을 길이방향의 수직으로 절단한 단면도.3 is a cross-sectional view vertically cut the guide groove according to an embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 가이드홈을 길이방향의 평행으로 절단한 단면도.Figure 4 is a cross-sectional view cut in parallel in the longitudinal direction of the guide groove according to an embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 옵틱척의 부분 확대 사시도.5 is a partially enlarged perspective view of an optical chuck according to another embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 옵틱척의 부분 확대 사시도.6 is a partially enlarged perspective view of an optical chuck according to another embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 가이드홈을 길이방향의 평행으로 절단한 단면도.Figure 7 is a cross-sectional view cut in parallel in the longitudinal direction of the guide groove according to another embodiment of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명><Description of the symbols for the main parts of the drawings>

10 : 테스트부 20 : 가이드홈10: test unit 20: guide groove

30 : 에어홀 40 : 에어 가이드 부재30: air hole 40: air guide member

41 : 미세홀 100 : 옵틱척41: fine hole 100: optical chuck

200 : 어레이 테스터200: array tester

Claims (5)

전극 어레이(Array) 테스트를 받기 위한 기판이 일측에 안착되는 테스트부;A test unit on which a substrate for receiving an electrode array test is seated on one side; 상기 테스트부의 입구측 또는 출구측 중 적어도 일측 상면에 상기 기판의 이송방향에 수직한 방향을 따라 길게 형성된 가이드홈;A guide groove elongated in at least one upper surface of the inlet side or the outlet side of the test part along a direction perpendicular to the transfer direction of the substrate; 상기 가이드홈의 저면에 형성되는 것으로, 상기 기판을 부양시키도록 에어(Air)가 배출되는 적어도 하나의 에어홀; 및At least one air hole formed on a bottom surface of the guide groove, through which air is discharged to support the substrate; And 상기 에어홀의 직상부에 상기 에어홀과 이격 배치되는 것으로, 상기 에어홀로부터 배출되는 에어를 충돌시켜 충돌된 에어가 상기 가이드홈을 따라 분산되도록 안내하는 에어 가이드 부재;를 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스터용 옵틱척.An air guide member disposed to be spaced apart from the air hole at an upper portion of the air hole and colliding air discharged from the air hole to guide the collided air to be distributed along the guide groove; Optical chuck for testers. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 가이드홈은 상기 기판의 이송방향에 평행한 방향을 따라 상기 에어 가이드 부재를 지나도록 더 형성된 것을 특징으로 하는 어레이 테스터용 옵틱척.And the guide groove is further formed to pass through the air guide member in a direction parallel to a transfer direction of the substrate. 전극 어레이(Array) 테스트를 받기 위한 기판이 일측에 안착되는 테스트부;A test unit on which a substrate for receiving an electrode array test is seated on one side; 상기 테스트부의 입구측 또는 출구측 중 적어도 일측 상면에 상기 기판의 이송방향에 평행한 방향을 따라 길게 형성된 가이드홈;A guide groove elongated in at least one upper surface of the inlet side or the outlet side of the test unit along a direction parallel to the transfer direction of the substrate; 상기 가이드홈의 저면에 형성되는 것으로, 상기 기판을 부양시키도록 에어(Air)가 배출되는 적어도 하나의 에어홀; 및At least one air hole formed on a bottom surface of the guide groove, through which air is discharged to support the substrate; And 상기 에어홀의 직상부에 상기 에어홀과 이격 배치되는 것으로, 상기 에어홀로부터 배출되는 에어를 충돌시켜 충돌된 에어가 상기 가이드홈을 따라 분산되도록 안내하는 에어 가이드 부재;를 구비하는 것을 특징으로 하는 어레이 테스터용 옵틱척.An air guide member disposed to be spaced apart from the air hole at an upper portion of the air hole and colliding air discharged from the air hole to guide the collided air to be distributed along the guide groove; Optical chuck for testers. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 에어 가이드 부재에 복수의 미세홀이 형성된 것을 특징으로 하는 어레이 테스터용 옵틱척.The optical chuck for an array tester, characterized in that a plurality of fine holes are formed in the air guide member. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 에어 가이드 부재는 상기 가이드홈에 본딩처리되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스터용 옵틱척.And the air guide member is bonded to the guide groove.
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