KR100725896B1

KR100725896B1 - Apparatus for Inspecting of Liquid Crystal Panel

Info

Publication number: KR100725896B1
Application number: KR1020050114091A
Authority: KR
Inventors: 노리에 야마구찌; 마사유끼 안자이; 쥰이찌 코가와
Original assignee: 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스
Priority date: 2004-12-21
Filing date: 2005-11-28
Publication date: 2007-06-08
Also published as: TWI299800B; TW200622388A; KR20060071313A; JP2006178107A

Abstract

본 발명에 따른 액정패널 검사장치는, 검사 스테이지에 지지된 액정패널의 배면에 기체를 내뿜음으로써, 액정패널의 온도 상승을 억제하기 위한 것이다. 액정패널(48)은 그 주변부에서 검사 스테이지의 패널 받이(14)에 지지된다. 액정패널(48)의 배면의 최소한 일부는, 검사 스테이지의 내부 공간(64)에 노출해 있다. 상기 내부 공간(64)에 노즐(62)이 개구해 있다. 노즐(62)로부터 액정패널(48)의 배면에 공기(68)가 내뿜어진다. 액정패널(48)을 냉각한 공기(68)는 배출 공간(28)에서 나간다. 액정패널(48)이 백라이트(34)로 조명되어도 액정패널(48)의 온도는 그다지 상승하지 않는다.The liquid crystal panel inspection apparatus according to the present invention is for suppressing the temperature rise of the liquid crystal panel by blowing gas onto the back surface of the liquid crystal panel supported by the inspection stage. The liquid crystal panel 48 is supported by the panel receiver 14 of the inspection stage at its periphery. At least a part of the back surface of the liquid crystal panel 48 is exposed to the internal space 64 of the inspection stage. The nozzle 62 is opened in the internal space 64. Air 68 is blown out from the nozzle 62 to the rear surface of the liquid crystal panel 48. The air 68 cooling the liquid crystal panel 48 exits from the discharge space 28. Even if the liquid crystal panel 48 is illuminated by the backlight 34, the temperature of the liquid crystal panel 48 does not increase very much.

액정패널, 검사 스테이지, 백라이트, 노즐, 이온화 공기 Liquid Crystal Panel, Inspection Stage, Backlight, Nozzle, Ionized Air

Description

Liquid crystal panel inspection device {Apparatus for Inspecting of Liquid Crystal Panel}

도1은 본 발명의 액정패널 검사장치의 한 실시예에서의 검사 스테이지 및 얼라이먼트 스테이지의 사시도이다.1 is a perspective view of an inspection stage and an alignment stage in one embodiment of a liquid crystal panel inspection apparatus of the present invention.

도2는 도1의 A부분을 확대하여 나타낸 확대 사시도이다.FIG. 2 is an enlarged perspective view illustrating an enlarged portion A of FIG. 1.

도3은 도1에 나타낸 검사 스테이지의 평면도이다.3 is a plan view of the inspection stage shown in FIG.

도4는 도3의 4-4선 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along the line 4-4 of FIG.

도5는 도3의 5-5선 단면도이다.5 is a cross-sectional view taken along line 5-5 of FIG.

도6은 도4의 제2 지지부의 부근(왼쪽)과 제4 지지부의 부근(오른쪽)을 확대하여 나타낸 단면도이다.FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view showing the vicinity (left) of the second support and the vicinity (right) of the fourth support of FIG.

도7은 스페이서의 역할을 설명하는 단면도이다.7 is a cross-sectional view illustrating the role of the spacer.

도8은 제2 실시예의 평면도이다.8 is a plan view of a second embodiment.

도9는 도8의 9-9선 단면도이다.9 is a sectional view taken along line 9-9 of FIG.

* 도면의 주요 부호에 대한 설명 *Description of the main symbols in the drawings

10: 검사 스테이지 12: 얼라이먼트 스테이지10: inspection stage 12: alignment stage

14: 패널 받이 16: 베이스14: panel stand 16: base

18: 제1 지지부 20: 제2 지지부18: first support 20: second support

22: 제3 지지부 24: 제4 지지부22: third support 24: fourth support

26: 스페이서 28: 배출 공간26: spacer 28: discharge space

34: 백라이트 장치 48: 액정패널34: backlight unit 48: liquid crystal panel

58: 이음매 60: 튜브58: Joint 60: Tube

62: 노즐 64: 내부 공간62: nozzle 64: internal space

66: 확산판 68: 공기66: diffuser 68: air

90: 프로브 블록 92: 프로브 침90: probe block 92: probe needle

95: 프로브 블록 96: 상부 노즐95: probe block 96: upper nozzle

발명의 분야Field of invention

본 발명은 액정패널의 전극에 프로브를 접촉시켜 상기 액정패널을 검사하는 검사장치에 관한 것으로, 특히 액정패널의 온도 상승을 억제하기 위한 구조에 특징이 있는 액정패널 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection apparatus for inspecting the liquid crystal panel by contacting a probe with an electrode of the liquid crystal panel, and more particularly, to a liquid crystal panel inspection apparatus characterized by a structure for suppressing a temperature rise of the liquid crystal panel.

발명의 배경Background of the Invention

액정패널의 점등검사를 실시할 때는, 액정패널의 배면측으로부터 백라이트로 조명한 상태로, 액정패널의 복수의 전극에 소정의 전압을 인가하여, 액정패널의 각 셀의 점등의 양부(良否)를 검사하고 있다. 이와 같은 액정패널 검사장치는 예를 들어 다음의 특허문헌 1에 개시되어 있다.When the lighting test of the liquid crystal panel is performed, a predetermined voltage is applied to a plurality of electrodes of the liquid crystal panel in a state of illuminating the backlight from the back side of the liquid crystal panel, thereby ensuring that both cells of the liquid crystal panel are lit. Checking Such a liquid crystal panel inspection apparatus is disclosed, for example, in Patent Document 1 below.

특허문헌 1: 일본 특개2003-241681호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-241681

이와 같은 액정패널 검사장치에 있어서, 백라이트의 조명에 의해 액정패널의 온도가 상승한다. 예를 들어, 백라이트의 휘도를 약 2만cd라고 가정하고, 유리의 열팽창계수를 약 9ppm이라고 가정하면, 30형(型)의 액정패널의 경우, 백라이트가 점등한 검사 스테이지에 액정패널을 놓고 20분이 경과하면, 액정패널은 약 15℃ 만큼 온도가 상승한다. 이 온도 상승에 의해, 30형의 액정패널의 긴 변은, 약 80㎛ 만큼 열팽창한다. 더 대형인 50형의 액정패널에서는, 긴 변의 열팽창은 약 140㎛가 된다. 액정패널이 이와 같이 열팽창하면, 액정패널의 복수의 전극과, 이에 대응하는 복수의 프로브 침과의 사이에서 위치 벗어남이 생겨, 전극과 프로브 침의 접촉 불량이 생길 수 있다.In such a liquid crystal panel inspection apparatus, the temperature of the liquid crystal panel rises by illumination of a backlight. For example, assuming that the luminance of the backlight is about 20,000 cd and the coefficient of thermal expansion of the glass is about 9 ppm, in the case of the 30-type liquid crystal panel, the liquid crystal panel is placed on the inspection stage where the backlight is turned on. When minutes pass, the temperature of the liquid crystal panel rises by about 15 ° C. By this temperature rise, the long side of the 30 type liquid crystal panel thermally expands by about 80 µm. In the larger 50 type liquid crystal panel, the long side thermal expansion becomes about 140 micrometers. When the liquid crystal panel is thermally expanded in this manner, positional deviation may occur between the plurality of electrodes of the liquid crystal panel and the plurality of probe needles corresponding thereto, and a poor contact between the electrode and the probe needle may occur.

본 발명은, 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 그 목적은, 액정패널의 온도 상승을 억제할 수 있는 액정패널 검사장치를 제공하는데 있다.The present invention has been made to solve such a problem, and an object thereof is to provide a liquid crystal panel inspection apparatus capable of suppressing a rise in temperature of a liquid crystal panel.

본 발명의 상기의 목적 및 기타의 목적들은 하기 설명되는 본 발명에 의하여 모두 달성될 수 있다. 이하 본 발명의 내용을 하기에 상세히 설명한다.The above and other objects of the present invention can be achieved by the present invention described below. Hereinafter, the content of the present invention will be described in detail.

본 발명에 따른 액정패널 검사장치는, 다음의 (가) 내지 (라)의 구성을 갖추고 있다. (가) 액정패널을 그 주변부에서 지지하는 검사 스테이지로서, 액정패널의 배면의 최소한 일부가 노출하는 내부 공간을 갖는 검사 스테이지. (나) 상기 내부 공간으로 개구하는 기체 도입구를 갖는 기체 분무 장치로서, 상기 검사 스테이지에 지지된 액정패널의 배면에 기체를 내뿜는 기체 분무 장치. (다) 상기 검사 스테이지에 지지된 액정패널의 복수의 전극에 접촉 가능한 복수의 프로브 침을 갖는 프로브 스테이지. (라) 상기 검사 스테이지에 지지된 액정패널을 배면으로부터 조명하는 백라이트 장치.The liquid crystal panel inspection device according to the present invention has the following structures (a) to (d). (A) An inspection stage for supporting a liquid crystal panel at its periphery, the inspection stage having an internal space exposed by at least a portion of the rear surface of the liquid crystal panel. (B) A gas atomizing device having a gas inlet opening into the internal space, wherein the gas atomizing device blows gas onto the rear surface of the liquid crystal panel supported by the inspection stage. (C) A probe stage having a plurality of probe needles capable of contacting a plurality of electrodes of a liquid crystal panel supported by the inspection stage. (D) A backlight device for illuminating the liquid crystal panel supported on the inspection stage from the back.

이와 같이, 액정패널의 배면에 기체를 내뿜도록 했기 때문에, 액정패널을 백라이트로 조명했을 때, 액정패널의 온도 상승을 억제할 수 있다.In this way, since the gas is blown out on the rear surface of the liquid crystal panel, when the liquid crystal panel is illuminated with a backlight, the temperature rise of the liquid crystal panel can be suppressed.

상기 검사 스테이지에는, 내뿜은 기체를 배출하는 기체 배출구를 설치할 수 있다. 즉, 검사 스테이지는, 사각형의 액정패널의 4변을 지지하기 위한 4개의 지지부를 갖출 수 있고, 최소한 하나의 지지부에 있어서, 액정패널과 상기 지지부와의 사이에, 상기 내부 공간으로부터 기체를 배출시키기 위한 기체 배출구를 설치할 수 있다.The inspection stage may be provided with a gas discharge port for discharging the blown gas. That is, the inspection stage may be provided with four supporting portions for supporting four sides of the rectangular liquid crystal panel, and at least one supporting portion may allow gas to be discharged from the internal space between the liquid crystal panel and the supporting portions. Gas outlets can be installed.

상기 4개의 지지부 중, 서로 이웃하는 2개의 지지부에 상기 기체 분무 장치를 설치할 수 있고, 남은 2개의 지지부에 상기 기체 배출구를 설치할 수 있다.Among the four supports, the gas atomizing device can be provided on two adjacent parts, and the gas outlet can be provided on the remaining two supports.

기체를 내뿜는 장소로는, 액정패널의 배면뿐만이 아니고, 액정패널의 전면에도 내뿜어도 된다.As a place for exhaling gas, not only the rear surface of the liquid crystal panel but also the front surface of the liquid crystal panel may be emitted.

액정패널에 내뿜는 기체로는, 이온을 포함하는 기체여도 좋다. 즉, 이오나이저(ionizer)로 생성한 이온화 공기여도 좋다. 이온을 포함하는 기체를 액정패널에 내뿜으면, 액정패널의 정전기를 제거할 수 있다.The gas to be blown onto the liquid crystal panel may be a gas containing ions. In other words, the ionized air generated by the ionizer may be used. When the gas containing ions is blown out onto the liquid crystal panel, the static electricity of the liquid crystal panel can be removed.

발명자가 아는 한, 액정패널 검사장치에 있어서는, 이제까지 액정패널에 공기를 내뿜어 액정패널의 온도 상승을 막는 기술은 발견되지 않는다. 다만, 액정판을 이용하여 프린트 배선판의 단락 부분을 검사하는 장치에 있어서는, 액정판을 원하는 온도로 유지하기 위해 액정판에 소정 온도의 공기를 내뿜는 것이 다음의 특허문헌 2에 개시되어 있다.As far as the inventor knows, no technique has been found in the liquid crystal panel inspection device that blows air into the liquid crystal panel to prevent the temperature rise of the liquid crystal panel. However, in the apparatus which inspects the short circuit part of a printed wiring board using a liquid crystal plate, following patent document 2 is made to blow out air of predetermined temperature to a liquid crystal plate, in order to maintain a liquid crystal plate at a desired temperature.

특허문헌 2 : 일본 특개소64-66567호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-66567

본 발명과 특허문헌 2의 기술을 비교하면, 본 발명은, 검사대상으로서의 액정패널(그 전극에 프로브 침이 접촉한다)이 백라이트에 의해 온도 상승하는 것을 막는 것이고, 이 점에서 특허문헌 2의 기술과는 다르다. 특허문헌 2에서의 검사대상은 프린트 배선판이고, 액정패널은 프린트 배선판의 단락 부분을 발견하기 위한 수단으로서 이용하고 있는 것이다.When comparing this invention and the technique of patent document 2, this invention prevents the liquid crystal panel (the probe needle contacts with the electrode) as an inspection object from temperature rise by a backlight, and the technique of patent document 2 in this respect. Is different. The test object in patent document 2 is a printed wiring board, and a liquid crystal panel is used as a means for discovering the short circuit part of a printed wiring board.

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 도1은 본 발명의 액정패널 검사장치의 한 실시예에서의 검사 스테이지 및 얼라이먼트 스테이지 의 사시도이다. 상기 액정패널 검사장치는, 프로브 침을 갖춘 프로브 스테이지(도시하지 않음)와, 액정패널을 지지하는 검사 스테이지(10)와, 검사 스테이지를 이동시키는 얼라이먼트 스테이지(12)를 갖추고 있다. 검사 스테이지(10)는 패널 받이(14)와 베이스(16)로 이루어진다. 사각형의 베이스(16) 위에 틀 형상의 패널 받이(14)가 고정되어 있다. 전체로서 외형이 장방형인 패널 받이(14)는, 제1 지지부(18), 제2 지지부(20), 제3 지지부(22) 및 제4 지지부(24)로 이루어진다. 제1 지지부(18)와 제3 지지부(22)는 장방형의 긴 변을 구성하고, 제2 지지부(20)와 제4 지지부(24)는 장방형의 짧은 변을 구성한다. 서로 이웃하는 제1 지지부(18)와 제2 지지부(20)는 그 윗면이 소정의 높이에 있고, 한편, 서로 이웃하는 제3 지지부(22)와 제4 지지부(24)는 그 윗면이 소정의 높이보다도 한단 낮게 되어 있다. 그리고 제3 지지부(22)의 윗면과 제4 지지부(24)의 윗면에는, 각각 복수의 스페이서(26)가 놓여 있다. 스페이서(26)의 윗면의 높이는, 제1 지지부(18) 및 제2 지지부(20)의 윗면의 높이와 같은 위치에 있다. 복수의 스페이서(26) 사이의 배출 공간(28)은 후술하는 바와 같이, 공기의 배출구로 되어 있다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 1 is a perspective view of an inspection stage and an alignment stage in one embodiment of a liquid crystal panel inspection apparatus of the present invention. The liquid crystal panel inspection apparatus includes a probe stage (not shown) with a probe needle, an inspection stage 10 for supporting the liquid crystal panel, and an alignment stage 12 for moving the inspection stage. The inspection stage 10 consists of a panel base 14 and a base 16. A frame-shaped panel tray 14 is fixed on the square base 16. The panel support 14 which has an external shape as a whole consists of the 1st support part 18, the 2nd support part 20, the 3rd support part 22, and the 4th support part 24. As shown in FIG. The 1st support part 18 and the 3rd support part 22 comprise the long side of a rectangle, and the 2nd support part 20 and the 4th support part 24 comprise the short side of a rectangle. The upper surface of the first support part 18 and the second support part 20 adjacent to each other is at a predetermined height, while the upper surface of the third support part 22 and the fourth support part 24 adjacent to each other is predetermined It is lower than height. A plurality of spacers 26 are placed on the upper surface of the third support part 22 and the upper surface of the fourth support part 24, respectively. The height of the upper surface of the spacer 26 is at the same position as the height of the upper surface of the 1st support part 18 and the 2nd support part 20. As shown in FIG. As described later, the discharge space 28 between the plurality of spacers 26 serves as an air discharge port.

얼라이먼트 스테이지(12)는, 상부 베이스(30), 지주(32), 백라이트 장치(34)(도4 참조), 하부 베이스(36) 및 XYZθ 스테이지(38)로 이루어진다. XYZθ 스테이지(38)는, 하부 베이스(36)를 수평면 내에서 서로 직교하는 X방향과 Y방향으로 이동시킬 수 있고, 게다가 Z방향(상하방향)으로 이동시킬 수 있고, 또 Z방향으로 평행한 회전축의 주위로 θ 회전시킬 수 있다. 하부 베이스(36)의 위에는 백라이트 장치(34)(도4 참조)가 고정되어 있다. 또, 하부 베이스(36)의 위에는 복수의 지주 (32)가 서 있고, 지주(32)의 상단에 상부 베이스(30)가 고정되어 있다. 상부 베이스(30)의 위에 검사 스테이지(10)의 베이스(16)가 고정되어 있다.The alignment stage 12 is composed of an upper base 30, a strut 32, a backlight device 34 (see FIG. 4), a lower base 36, and an XYZθ stage 38. The XYZθ stage 38 can move the lower base 36 in the X and Y directions that are orthogonal to each other in the horizontal plane, and can also move in the Z direction (up and down direction), and the axis of rotation parallel to the Z direction. Θ can be rotated around. The backlight device 34 (see FIG. 4) is fixed to the lower base 36. Moreover, the several base 32 stands on the lower base 36, and the upper base 30 is being fixed to the upper end of the support 32. As shown in FIG. The base 16 of the inspection stage 10 is fixed on the upper base 30.

도2는 도1의 A부분을 확대하여 나타낸 확대 사시도이다. 패널 받이의 제1 지지부(18)에는 푸셔 장치(40)가 설치되어 있다. 푸셔 장치(40)는 레일(42)을 갖추고 있고, 상기 레일(42)에 대하여 슬라이더(44)가 슬라이드 가능하게 결합하고 있다. 슬라이더(44)의 윗면에는 푸셔 롤러(46)가 회전이 자유롭게 설치되어 있다. 슬라이더(44)는 에어 실린더(도시하지 않음)에 의해 Y방향으로 진퇴하고, 이에 의해, 푸셔 롤러(46)도 Y방향으로 진퇴한다. 푸셔 롤러(46)를 화살표(50) 방향으로 이동시키면, 푸셔 롤러(46)는 액정패널(48)의 옆 가장자리에 접촉한다. 도1로 되돌아가서, 패널 받이의 제3 지지부(22)의 윗면에는 스토퍼 롤러(52)가 회전 가능하게 설치되어 있다. 푸셔 롤러(46)에 의해 화살표(50) 방향으로 내리눌려진 액정패널은 스토퍼 롤러(52)에서 받아내고, 이에 의해 액정패널의 Y방향의 위치 결정이 이루어진다. 동일하게, 패널 받이의 제2 지지부(20)에도 푸셔 롤러(54)가 있고, 이것과 마주보는 제4 지지부(24)에는 스토퍼 롤러(56)(도2에도 나타내어져 있음)가 있다. 이들 푸셔 롤러(54)와 스토퍼 롤러(56)에 의해, 액정패널의 X방향의 위치 결정도 이루어진다. 도2로 되돌아가서, 제1 지지부(18)의 바깥면에는 공기 공급용 이음매(58)가 고정되어 있다. 상기 이음매(58)에 공기 공급용 튜브(60)가 접속되어 있다. 상기 튜브(60)에 압력공기원으로부터 실온의 공기가 공급된다. 공기의 공급압력은 0.1∼0.2MPa이다.FIG. 2 is an enlarged perspective view illustrating an enlarged portion A of FIG. 1. The pusher device 40 is attached to the first support part 18 of the panel support. The pusher device 40 has a rail 42, and a slider 44 is slidably coupled to the rail 42. The pusher roller 46 is rotatably provided on the upper surface of the slider 44. The slider 44 moves back and forth in the Y direction by an air cylinder (not shown), whereby the pusher roller 46 also moves forward and backward in the Y direction. When the pusher roller 46 is moved in the direction of the arrow 50, the pusher roller 46 contacts the side edge of the liquid crystal panel 48. 1, the stopper roller 52 is rotatably provided in the upper surface of the 3rd support part 22 of the panel support. The liquid crystal panel pushed down in the direction of the arrow 50 by the pusher roller 46 is taken out by the stopper roller 52, whereby positioning of the liquid crystal panel in the Y direction is performed. Similarly, the pusher roller 54 is also present in the 2nd support part 20 of a panel support, and the stopper roller 56 (shown also in FIG. 2) is provided in the 4th support part 24 which faces this. These pusher rollers 54 and stopper rollers 56 also perform positioning in the X direction of the liquid crystal panel. Returning to FIG. 2, the air supply joint 58 is fixed to the outer surface of the 1st support part 18. As shown in FIG. An air supply tube 60 is connected to the joint 58. Room temperature air is supplied to the tube 60 from a pressure air source. The air supply pressure is 0.1 to 0.2 MPa.

도3은 도1에 나타낸 검사 스테이지의 평면도이다. 장방형의 베이스(16) 위에 장방형의 패널 받이(14)가 올려져 있다. 패널 받이(14)의 제1 지지부(18)에는 2개의 푸셔 롤러(46)가 부속하고, 제2 지지부(20)에는 하나의 푸셔 롤러(54)가 부속해 있다. 제3 지지부(22)에는 2개의 스토퍼 롤러(52)가 부속하고, 제4 지지부(24)에는 2개의 스토퍼 롤러(56)가 부속해 있다. 제3 지지부(22)의 윗면에는 3개의 스페이서(26)가 놓여 있고, 제4 지지부(24)의 윗면에도 3개의 스페이서(26)가 놓여 있다. 제1 지지부(18)와 제2 지지부(20)의 윗면에는 흡착 홈(도시하지 않음)이 형성되어 있고, 상기 흡착 홈에 부압을 공급함으로써, 액정패널(48)을 패널 받이(14) 위에 흡착 지지할 수 있다.3 is a plan view of the inspection stage shown in FIG. The rectangular panel support 14 is mounted on the rectangular base 16. Two pusher rollers 46 are attached to the first support part 18 of the panel support 14, and one pusher roller 54 is attached to the second support part 20. Two stopper rollers 52 are attached to the third support part 22, and two stopper rollers 56 are attached to the fourth support part 24. Three spacers 26 are placed on the upper surface of the third support 22, and three spacers 26 are placed on the upper surface of the fourth support 24. Adsorption grooves (not shown) are formed on the upper surfaces of the first support portion 18 and the second support portion 20, and the liquid crystal panel 48 is adsorbed onto the panel support 14 by supplying negative pressure to the suction grooves. I can support it.

도4는 도3의 4-4선 단면도이다. XYZθ 스테이지(38) 위에 하부 베이스(36)가 고정되어 있고, 하부 베이스(36)와 상부 베이스(30)의 사이에는 지주(32)가 있다. 하부 베이스(36)의 위에는 백라이트 장치(34)가 놓여 있다. 백라이트 장치(34)는 복수의 형광관(35)을 갖추고 있다. 패널 받이(14)의 내부에는 확산판(66)이 설치되어 있다. 백라이트 장치(34)로부터의 빛은 확산판(66)에서 확산되어 한결같은 조명광이 되고, 액정패널(48)의 배면을 비춘다. 패널 받이(14)의 제2 지지부(20)에는 공기 공급용 이음매(58)가 고정되어 있고, 상기 이음매(58)에 노즐(62)이 접속되어 있다. 노즐(62)은, 제2 지지부(20)를 관통하고 있고, 패널 받이(14)의 내부 공간(64)으로 개구하고 있다. 도4에서는, 제1 지지부에 설치된 4개의 노즐(62)의 선단부도 보이고 있다. 패널 받이(14)는 틀 형상이기 때문에, 액정패널(48)의 배면 중, 주변부(패널 받이(14)에서 지지하고 있는 부분) 이외의 중앙부분이 내부 공간(64)에 노출해 있다. 노즐(62)의 내경은 1.0∼1.4mm 정도이다. 내부 공간(64)의 두께, 즉 액정패널(48)의 배면과 확산판(66)의 윗면 사이의 거리는, 예를 들어 2∼4mm이다. 노즐(62)이 본 발명에서의 기체 도입구에 해당한다. 그리고, 노즐(62)과 이음매(58)와 튜브(60)로 이루어지는 구성이 본 발명에서의 기체 분무 장치에 해당한다.4 is a cross-sectional view taken along the line 4-4 of FIG. The lower base 36 is fixed on the XYZθ stage 38, and there is a support 32 between the lower base 36 and the upper base 30. The backlight device 34 is disposed on the lower base 36. The backlight device 34 includes a plurality of fluorescent tubes 35. The diffusion plate 66 is provided inside the panel receiver 14. Light from the backlight device 34 diffuses in the diffuser plate 66 to form uniform illumination light, and illuminates the rear surface of the liquid crystal panel 48. An air supply joint 58 is fixed to the second support portion 20 of the panel support 14, and a nozzle 62 is connected to the joint 58. The nozzle 62 penetrates through the second support part 20 and opens to the internal space 64 of the panel support 14. In Fig. 4, the tip ends of the four nozzles 62 provided in the first support part are also shown. Since the panel holder 14 has a frame shape, a central portion of the rear surface of the liquid crystal panel 48 other than the peripheral portion (the portion supported by the panel holder 14) is exposed to the internal space 64. The inner diameter of the nozzle 62 is about 1.0 to 1.4 mm. The thickness of the internal space 64, that is, the distance between the rear surface of the liquid crystal panel 48 and the upper surface of the diffusion plate 66 is, for example, 2 to 4 mm. The nozzle 62 corresponds to the gas inlet in the present invention. And the structure which consists of the nozzle 62, the joint 58, and the tube 60 corresponds to the gas atomizing apparatus in this invention.

도5는 도3의 5-5선 단면도이다. 다만, 검사 스테이지만을 나타내고 있다. 도면의 오른쪽 반은, 제4 지지부(24)를 지나도록 절단한 것이다. 제4 지지부(24)의 윗면에는 스페이서(26)가 놓여 있고, 서로 이웃하는 스페이서(26) 사이에 있어서, 액정패널(48)의 배면과 제4 지지부(24)의 윗면 사이에, 배출 공간(28)이 형성되어 있다. 상기 배출 공간(28)은 노즐(62)에서 내부 공간(64) 내로 공급된 공기를 외부로 배출하기 위한 공간으로 되어 있다.5 is a cross-sectional view taken along line 5-5 of FIG. However, only the inspection stage is shown. The right half of the figure is cut to pass through the fourth support part 24. The spacer 26 is placed on the upper surface of the fourth support part 24, and the discharge space (between the spacer 26 adjacent to each other between the rear surface of the liquid crystal panel 48 and the upper surface of the fourth support part 24). 28) is formed. The discharge space 28 is a space for discharging the air supplied from the nozzle 62 into the internal space 64 to the outside.

도6은 도4의 제2 지지부(20)의 부근(왼쪽)과 제4 지지부(24)의 부근(오른쪽)을 확대하여 나타낸 단면도이다. 검사 스테이지의 중앙부의 도시는 생략하고 있다. 제1 지지부(20)에는 노즐(62)이 관통하고 있다. 노즐(62)의 출구는 패널 받이(14)의 내부 공간(64)으로 돌출해 있고, 액정패널(48)의 배면에 공기가 닿도록, 출구가 약간 위쪽을 향하게 되어 있다. 노즐(62)로부터는 실온의 공기(68)가 유출하고, 상기 공기(68)가 액정패널(48)의 배면에 내뿜어진다. 액정패널(48)의 배면을 따라 흐른 공기(68)는, 제4 지지부(24)의 윗면과 액정패널(48)의 배면과의 사이에 형성된 배출 공간(28)으로부터 외부로 나간다. 또, 제3 지지부(22)(도2 참조)에서도, 동일하게 배출 공간으로부터 외부로 공기가 나간다. 패널 받이(14)의 내부 공간(64)은, 사방이 패널 받이(14)의 4개의 지지부로 둘러싸여 있고, 상부는 액정패널(48)로, 하부는 확산판(66)으로 둘러싸여 있다.6 is an enlarged cross-sectional view showing the vicinity (left) of the second support part 20 and the vicinity (right) of the fourth support part 24 of FIG. 4. The illustration of the central part of the inspection stage is omitted. The nozzle 62 penetrates the first support part 20. The outlet of the nozzle 62 protrudes into the inner space 64 of the panel receiver 14, and the outlet is slightly upwards so that air comes into contact with the rear surface of the liquid crystal panel 48. The air 68 at room temperature flows out from the nozzle 62, and the air 68 is blown out on the rear surface of the liquid crystal panel 48. Air 68 flowing along the rear surface of the liquid crystal panel 48 exits from the discharge space 28 formed between the upper surface of the fourth support part 24 and the rear surface of the liquid crystal panel 48. Moreover, also in the 3rd support part 22 (refer FIG. 2), air flows out from a discharge space to the outside similarly. The inner space 64 of the panel support 14 is surrounded by four support portions of the panel support 14, the upper part is surrounded by the liquid crystal panel 48, and the lower part is surrounded by the diffusion plate 66.

이어서, 도6을 참조하여, 상기 액정패널 검사장치의 패널 냉각작용을 설명한다. 패널 받이(14) 위에 액정패널(48)이 흡착 지지되고, 액정패널(48)의 배면에 백라이트 장치(34)(도4 참조)로부터의 조명광이 닿은 상태로, 프로브 스테이지의 복수의 프로브 침이 액정패널(48)의 복수의 전극에 접촉하고, 액정패널의 점등검사가 실시된다. 백라이트 장치로 조명하고 있는 동안은, 노즐(62)로부터 실온의 공기(68)가 액정패널(48)의 배면을 향해 내뿜어진다. 따라서, 백라이트 장치의 조명광에서 기인하는 액정패널(48)의 온도 상승은 작다. 예를 들어, 30형의 액정패널의 경우, 공기의 분무가 없는 종래 장치에서는, 백라이트가 점등한 검사 스테이지에 액정패널을 올리고 20분이 경과하면, 액정패널의 온도 상승은 약 15℃였다. 이에 대하여, 본 실시예의 경우는, 동일한 조건에서, 액정패널의 온도 상승은 5∼8℃였다. 이와 같이 온도 상승이 작기 때문에, 액정패널(48)의 열팽창량은 작은 것이 되고, 액정패널의 복수의 전극과 프로브 스테이지의 복수의 프로브 침 사이의 위치 벗어남은 문제가 되지 않는 정도이다. 또, 노즐(62)로부터 유출하는 공기는, 실온보다도 낮은 온도로 냉각한 것이어도 좋다. 다만, 공기를 냉각하는 경우는, 액정패널에 결로(結露)가 생기지 않는 정도의 온도로 할 필요가 있어, 예를 들어, 실온보다도 5∼10℃ 정도 낮은 온도로 한다.Next, the panel cooling operation of the liquid crystal panel inspection apparatus will be described with reference to FIG. The liquid crystal panel 48 is adsorbed and supported on the panel support 14, and the plurality of probe needles of the probe stage are applied while the illumination light from the backlight device 34 (refer to FIG. 4) touches the rear surface of the liquid crystal panel 48. It contacts with the some electrode of the liquid crystal panel 48, and the lighting test of a liquid crystal panel is performed. While illuminating with the backlight device, air 68 at room temperature is blown out from the nozzle 62 toward the back of the liquid crystal panel 48. Therefore, the temperature rise of the liquid crystal panel 48 due to the illumination light of the backlight device is small. For example, in the case of the 30 type liquid crystal panel, in the conventional apparatus without air spraying, when the liquid crystal panel was raised to the inspection stage in which the backlight was lit and 20 minutes passed, the temperature rise of the liquid crystal panel was about 15 degreeC. On the other hand, in the case of this Example, the temperature rise of the liquid crystal panel was 5-8 degreeC on the same conditions. Since the temperature rise is small in this manner, the amount of thermal expansion of the liquid crystal panel 48 becomes small, and the deviation of the position between the plurality of electrodes of the liquid crystal panel and the plurality of probe needles of the probe stage is not a problem. The air flowing out of the nozzle 62 may be cooled to a temperature lower than room temperature. However, when cooling air, it is necessary to set it as the temperature which does not produce condensation in a liquid crystal panel, for example, it is set to the temperature about 5-10 degreeC lower than room temperature.

도7은, 스페이서(26)의 역할을 설명하는 단면도이다. (A) 및 (B)에 있어서, 도면의 왼쪽은 제1 지지부(18) 부근의 단면을 나타내고, 도면의 오른쪽은 제3 지지부(22) 부근의 단면을 나타낸다. 액정패널(48)은 하부 유리판(70)(TFT가 형성되어 있는 유리판)과 상부 유리판(72)(컬러필터가 형성되어 있는 유리판) 사이에 액정을 봉입(封入)한 구조로 되어 있다. 도7(A)는 액정패널(48)의 하부 유리판(70)의 아래면에 아래쪽 편광판이 존재하지 않는 경우의 스페이서 배치예이고, 도7(B)는 하부 유리판(70)의 아래면에 아래쪽 편광판(74)이 존재하는 경우의 스페이서 배치예이다. 위쪽 편광판에 대해서는, 스페이서와 관계가 없기 때문에 도시를 생략하고 있다.7 is a cross-sectional view illustrating the role of the spacer 26. In (A) and (B), the left side of the figure shows the cross section of the vicinity of the first support part 18, and the right side of the figure shows the cross section of the vicinity of the third support part 22. The liquid crystal panel 48 has a structure in which liquid crystal is enclosed between the lower glass plate 70 (the glass plate on which the TFT is formed) and the upper glass plate 72 (the glass plate on which the color filter is formed). FIG. 7A is a spacer arrangement example in which the lower polarizing plate does not exist on the lower surface of the lower glass plate 70 of the liquid crystal panel 48, and FIG. 7B is lowered on the lower surface of the lower glass plate 70. This is an example of spacer arrangement in the case where the polarizing plate 74 is present. Since the upper polarizing plate has no relation with the spacer, illustration is omitted.

도7(A)에 있어서, 스페이서(26)의 두께는 t1이다. 상기 t1은, 제1 지지부(18)의 윗면의 높이와 제3 지지부(22)의 윗면의 높이의 차(差)와 같다. 상기 t1은 배출 공간(28)(도6 참조)의 두께와 같다. 한편, 도7(B)에 나타낸 바와 같이, 아래쪽 편광판(74)이 있는 경우는, 스페이서(26)의 두께를 t2로 변경한다. 상기 t2는 상술한 t1에서 아래쪽 편광판(74)의 두께를 뺀 것과 같다. 아래쪽 편광판(74)의 바깥 가장자리는, 전극이 있는 변(제1 지지부(18)에 놓이는 쪽)에서는 하부 유리판(70)의 바깥 가장자리로부터 후퇴해 있고, 전극이 없는 변(제3 지지부(22)에 놓이는 쪽)에서는 하부 유리판(70)의 바깥 가장자리까지 연장해 있다.In Fig. 7A, the thickness of the spacer 26 is t1. The t1 is equal to the difference between the height of the upper surface of the first support part 18 and the height of the upper surface of the third support part 22. T1 is equal to the thickness of the discharge space 28 (see FIG. 6). On the other hand, as shown in Fig. 7B, when there is the lower polarizing plate 74, the thickness of the spacer 26 is changed to t2. The t2 is equal to the above t1 minus the thickness of the lower polarizer 74. The outer edge of the lower polarizing plate 74 is retracted from the outer edge of the lower glass plate 70 on the side with the electrode (the side placed on the first support 18), and the side without the electrode (the third support 22). On the side) extends to the outer edge of the lower glass plate 70.

도8은, 본 발명의 액정패널 검사장치의 제2 실시예를 나타내는 것이고, 프로브 스테이지와, 검사 스테이지 위의 액정패널(48)만을 위쪽에서 본 평면도이다. 프로브 스테이지는, 제1 프로브 베이스(76), 제2 프로브 베이스(78), 제1 대향(對向) 베이스(80)(제1 프로브 베이스(76)와 마주보고 있음), 및 제2 대향 베이스(82)(제2 프로브 베이스(78)와 마주보고 있음)를 갖추고 있다. 제1 프로브 베이스(76)와 제1 대향 베이스(80)는 Y방향으로 연장해 있고, 제2 프로브 베이스(78)와 제2 대향 베 이스(82)는 X방향으로 연장해 있다. X방향과 Y방향은 서로 직교하고 있다. 액정패널(48)은 장방형을 하고 있고, 그 하나의 짧은 변(84)을 따라 복수의 게이트 전극이 배열되어 있고, 또 하나의 긴 변(86)을 따라 데이터 전극이 배열되어 있다.Fig. 8 shows a second embodiment of the liquid crystal panel inspection apparatus of the present invention and is a plan view of only the probe stage and the liquid crystal panel 48 on the inspection stage seen from above. The probe stage includes a first probe base 76, a second probe base 78, a first opposing base 80 (facing the first probe base 76), and a second opposing base. (82) (facing the second probe base 78). The first probe base 76 and the first opposing base 80 extend in the Y direction, and the second probe base 78 and the second opposing base 82 extend in the X direction. The X and Y directions are perpendicular to each other. The liquid crystal panel 48 has a rectangular shape, a plurality of gate electrodes are arranged along one short side 84, and data electrodes are arranged along another long side 86.

제1 프로브 베이스(76)에는 게이트쪽 프로브 유닛(88)이 탑재되어 있다. 상기 게이트쪽 프로브 유닛(88)에는 복수의 프로브 블록(90)이 고정되어 있다. 각 프로브 블록(90)에는 복수의 프로브 침(92)이 설치되어 있다. 프로브 침(92)은 액정패널(48)의 게이트 전극에 접촉한다. 제2 프로브 베이스(78)에는 데이터쪽 프로브 유닛(94)이 탑재되어 있다. 상기 데이터쪽 프로브 유닛(94)에도, 복수의 프로브 블록(95)과 그것에 부속하는 프로브 침이 설치되어 있다. 상기 프로브 침은 액정패널(48)의 데이터 전극에 접촉한다.The gate probe unit 88 is mounted on the first probe base 76. A plurality of probe blocks 90 are fixed to the gate side probe unit 88. Each probe block 90 is provided with a plurality of probe needles 92. The probe needle 92 contacts the gate electrode of the liquid crystal panel 48. The data probe unit 94 is mounted on the second probe base 78. In the data probe unit 94, a plurality of probe blocks 95 and a probe needle attached thereto are provided. The probe needle contacts the data electrode of the liquid crystal panel 48.

제1 대향 베이스(80)와 제2 대향 베이스(82)에는, 각각 복수의 상부 노즐(96)이 고정되어 있다. 이들 상부 노즐(96)로부터는 실온의 공기가 유출하고, 그 공기가 액정패널(48)의 전면(윗면)을 따라 흘러, 액정패널(48)의 윗면의 온도 상승을 막는다. 상부 노즐(96)은 본 발명에서의 제2 기체 분무 장치에 해당한다.A plurality of upper nozzles 96 are fixed to the first opposing base 80 and the second opposing base 82, respectively. The air at room temperature flows out from these upper nozzles 96, and the air flows along the front surface (upper surface) of the liquid crystal panel 48, and the temperature rise of the upper surface of the liquid crystal panel 48 is prevented. The upper nozzle 96 corresponds to the second gas atomizing device in the present invention.

도9는 도8의 9-9선으로 절단한 단면도이고, 프로브 스테이지의 아래쪽의 검사 스테이지와 얼라이먼트 스테이지에 대해서도 도시하고 있다. 검사 스테이지와 얼라이먼트 스테이지의 단면 부분은, 도4와 동일한 것이다. 게이트쪽 프로브 유닛(88)에 고정된 프로브 블록(90)과, 데이터쪽 프로브 유닛(94)에 고정된 프로브 블록(95)이 보이고 있다. 그리고 제1 대향 베이스(80)에는 상부 노즐(96)이 고정되어 있다. 또, 액정패널(48)의 배면도 노즐(62)로부터 유출하는 공기로 냉각되지만, 배 면쪽 냉각에 대해서는, 제1 실시예와 동일하다.FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line 9-9 of FIG. 8, showing the inspection stage and the alignment stage below the probe stage. The cross-sectional part of an inspection stage and the alignment stage is the same as that of FIG. The probe block 90 fixed to the gate side probe unit 88 and the probe block 95 fixed to the data side probe unit 94 are shown. The upper nozzle 96 is fixed to the first opposing base 80. The rear surface of the liquid crystal panel 48 is also cooled by air flowing out from the nozzle 62, but the rear side cooling is the same as in the first embodiment.

본 제2 실시예는, 액정패널(48)의 배면과 전면의 양쪽에 공기가 내뿜어지기 때문에, 제1 실시예보다도 액정패널(48)의 온도 상승이 억제된다.In the second embodiment, since air is blown out on both the back and front surfaces of the liquid crystal panel 48, the temperature rise of the liquid crystal panel 48 is suppressed more than in the first embodiment.

액정패널의 윗면에 내뿜는 공기에 대해서는, 이오나이저로부터 유출시킨 이온화 공기로 할 수도 있다. 이오나이저는 공기 중의 가스 분자를 양 및 음의 이온으로 대전(帶電)시키는 것이고, 이오나이저로부터 유출하는 공기는 다량의 음양 이온을 포함하고 있다. 이와 같은 이온화 공기를 액정패널의 전면에 내뿜으면, 액정패널의 전면에 대전한 정전기가 제전(除電)되고, 액정패널 위의 전기회로의 정전기 파괴를 막는다. 또, 액정패널의 배면에 내뿜는 공기도 이온화 공기로 할 수 있다.The air blown out on the upper surface of the liquid crystal panel may be ionized air that flows out of the ionizer. The ionizer charges gas molecules in the air with positive and negative ions, and the air flowing out of the ionizer contains a large amount of negative and positive ions. When such ionized air is blown out on the front surface of the liquid crystal panel, the static electricity charged on the front surface of the liquid crystal panel is static discharged to prevent electrostatic destruction of the electric circuit on the liquid crystal panel. Moreover, the air blown out on the back of the liquid crystal panel can also be made into ionized air.

본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고, 그 취지를 벗어나지 않는 한, 각종 변경이 가능하다.The present invention is not limited to the above embodiments, and various changes can be made without departing from the spirit thereof.

본 발명에 의하면, 검사 스테이지 상의 액정패널에 공기를 내뿜고 있기 때문에, 액정패널에 백라이트의 빛이 닿아도, 액정패널의 온도 상승을 억제할 수 있는 발명의 효과를 갖는다.According to the present invention, since air is blown out to the liquid crystal panel on the inspection stage, even if the backlight light hits the liquid crystal panel, there is an effect of the invention that can suppress the temperature rise of the liquid crystal panel.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 이 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의하여 용이하게 이용될 수 있으며, 이러한 변형이나 변경은 모두 본 발명의 영역에 포함되는 것으로 볼 수 있다.Simple modifications and variations of the present invention can be readily used by those skilled in the art, and all such variations or modifications can be considered to be included within the scope of the present invention.

Claims

An inspection stage for supporting a liquid crystal panel at its periphery, comprising: an inspection stage having an internal space exposed by at least a portion of a rear surface of the liquid crystal panel;

A gas atomizing device having a gas inlet opening into the inner space, the gas atomizing device emitting a gas to the rear surface of the liquid crystal panel supported by the inspection stage;

A probe stage having a plurality of probe needles in contact with a plurality of electrodes of a liquid crystal panel supported by the inspection stage; And

A backlight device for illuminating a liquid crystal panel supported on the inspection stage from a rear surface thereof;

The inspection stage includes four supporting portions for supporting four sides of the rectangular liquid crystal panel, and at least one supporting portion includes gas from the internal space between the liquid crystal panel and the supporting portion. Liquid crystal panel inspection device, characterized in that the gas outlet for discharging is formed.

The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the gas spraying device is provided in two adjacent support parts among the four support parts, and the gas outlet is formed in the remaining two support parts.

The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, further comprising a second gas atomizing device which emits gas on the entire surface of the liquid crystal panel.

The liquid crystal panel inspection apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the gas blown onto the liquid crystal panel is a gas containing ions.

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