JP2006178107A - Device for inspecting liquid crystal panel - Google Patents

Device for inspecting liquid crystal panel Download PDF

Info

Publication number
JP2006178107A
JP2006178107A JP2004370059A JP2004370059A JP2006178107A JP 2006178107 A JP2006178107 A JP 2006178107A JP 2004370059 A JP2004370059 A JP 2004370059A JP 2004370059 A JP2004370059 A JP 2004370059A JP 2006178107 A JP2006178107 A JP 2006178107A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
crystal panel
gas
support portion
stage
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004370059A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Norihide Yamaguchi
憲栄 山口
Masayuki Anzai
正行 安斎
Junichi Furukawa
順一 古川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Micronics Japan Co Ltd
Original Assignee
Micronics Japan Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Micronics Japan Co Ltd filed Critical Micronics Japan Co Ltd
Priority to JP2004370059A priority Critical patent/JP2006178107A/en
Priority to TW094140142A priority patent/TW200622388A/en
Priority to KR1020050114091A priority patent/KR100725896B1/en
Publication of JP2006178107A publication Critical patent/JP2006178107A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1306—Details
    • G02F1/1309—Repairing; Testing

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress the temperature rising of a liquid crystal panel by blowing a gas on a rear face of the liquid crystal panel supported on an inspection stage. <P>SOLUTION: The liquid crystal panel 48 is supported with a panel holder 14 of the inspection stage on its peripheral portion. At least a part of the rear face of the liquid crystal panel 48 is exposed to an inner space 64 of the inspection stage. A nozzle 62 has an opening in the inner space 64. Air 68 from the nozzle 62 is blown to the rear face of the liquid crystal panel 48. After cooling the liquid crystal panel 48, the air 68 goes out from a discharge space 28. Even when the liquid crystal panel 48 is illuminated with a backlight 34, the temperature of the liquid crystal panel 48 does not rise significantly. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、液晶パネルの電極にプローブを接触させてこの液晶パネルを検査する検査装置に関し，特に，液晶パネルの温度上昇を抑制するための構造に特徴のある液晶パネル検査装置に関するものである。   The present invention relates to an inspection apparatus for inspecting a liquid crystal panel by bringing a probe into contact with an electrode of the liquid crystal panel, and more particularly to a liquid crystal panel inspection apparatus characterized by a structure for suppressing a temperature rise of the liquid crystal panel.

液晶パネルの点灯検査を実施するときは，液晶パネルの背面側からバックライトで照明した状態で，液晶パネルの複数の電極に所定の電圧を印加して，液晶パネルの各セルの点灯の良否を検査している。このような液晶パネル検査装置は，例えば，次の特許文献１に開示されている。
特開２００３−２４１６８１号公報 When conducting a lighting test on a liquid crystal panel, a predetermined voltage is applied to a plurality of electrodes on the liquid crystal panel while the backlight is illuminated from the back side of the liquid crystal panel to determine whether each cell on the liquid crystal panel is lighted. I am inspecting. Such a liquid crystal panel inspection apparatus is disclosed in, for example, the following Patent Document 1.
JP 2003-241681 A

このような液晶パネル検査装置において，バックライトの照明によって液晶パネルの温度が上昇する。例えば，バックライトの輝度を約２万ｃｄと仮定し，ガラスの熱膨張係数を約９ｐｐｍであると仮定すると，３０型の液晶パネルの場合，バックライトが点灯した検査ステージに液晶パネルを載せて２０分が経過すると，液晶パネルは約１５℃だけ温度が上昇する。この温度上昇により，３０型の液晶パネルの長辺は，約８０μｍだけ熱膨張する。もっと大型の５０型の液晶パネルでは，長辺の熱膨張は約１４０μｍになる。液晶パネルがこのように熱膨張すると，液晶パネルの複数の電極と，これに対応する複数のプローブ針との間で位置ずれが生じて，電極とプローブ針の接触不良が生じることがある。   In such a liquid crystal panel inspection apparatus, the temperature of the liquid crystal panel rises due to the illumination of the backlight. For example, assuming that the brightness of the backlight is about 20,000 cd and the thermal expansion coefficient of the glass is about 9 ppm, in the case of a 30-inch liquid crystal panel, the liquid crystal panel is mounted on the inspection stage where the backlight is lit. After 20 minutes, the temperature of the liquid crystal panel rises by about 15 ° C. Due to this temperature rise, the long side of the 30-inch liquid crystal panel thermally expands by about 80 μm. In a larger 50-inch liquid crystal panel, the long side thermal expansion is about 140 μm. When the liquid crystal panel is thermally expanded in this way, a positional shift may occur between the plurality of electrodes of the liquid crystal panel and the corresponding probe needles, which may cause poor contact between the electrodes and the probe needles.

本発明は，このような問題点を解決するためになされたものであり，その目的は，液晶パネルの温度上昇を抑制できる液晶パネル検査装置を提供することにある。   The present invention has been made to solve such problems, and an object of the present invention is to provide a liquid crystal panel inspection apparatus capable of suppressing the temperature rise of the liquid crystal panel.

本発明に係る液晶パネル検査装置は，次の（ア）乃至（エ）の構成を備えている。（ア）液晶パネルをその周辺部で支持する検査ステージであって，液晶パネルの背面の少なくとも一部が露出する内部空間を有する検査ステージ。（イ）前記内部空間に開口する気体導入口を有する気体噴き付け装置であって，前記検査ステージに支持された液晶パネルの背面に気体を吹き付ける気体吹き付け装置。（ウ）前記検査ステージに支持された液晶パネルの複数の電極に接触可能な複数のプローブ針を有するプローブステージ。（エ）前記検査ステージに支持された液晶パネルを背面から照明するバックライト装置。   The liquid crystal panel inspection apparatus according to the present invention has the following configurations (a) to (d). (A) An inspection stage that supports the liquid crystal panel at the periphery thereof and has an internal space in which at least a part of the back surface of the liquid crystal panel is exposed. (A) A gas spraying device having a gas inlet opening in the internal space, the gas spraying device spraying gas onto the back surface of the liquid crystal panel supported by the inspection stage. (C) A probe stage having a plurality of probe needles that can contact a plurality of electrodes of a liquid crystal panel supported by the inspection stage. (D) A backlight device that illuminates the liquid crystal panel supported by the inspection stage from the back.

このように，液晶パネルの背面に気体を吹き付けるようにしたので，液晶パネルをバックライトで照明したときに，液晶パネルの温度上昇を抑制することができる。   As described above, since the gas is blown to the back surface of the liquid crystal panel, the temperature rise of the liquid crystal panel can be suppressed when the liquid crystal panel is illuminated with the backlight.

前記検査ステージには，吹き付けた気体を排出する気体排出口を設けることができる。すなわち，検査ステージは，矩形の液晶パネルの四つの辺を支持するための四つの支持部を備えることができて，少なくともひとつの支持部において，液晶パネルと前記支持部との間に，前記内部空間から気体を排出させるための気体排出口を設けることができる。   The inspection stage can be provided with a gas discharge port for discharging the sprayed gas. In other words, the inspection stage can include four support portions for supporting the four sides of the rectangular liquid crystal panel, and at least one of the support portions between the liquid crystal panel and the support portion. A gas outlet for discharging gas from the space can be provided.

前記四つの支持部のうち，隣り合う二つの支持部に前記気体吹き付け装置を設けることができ，残りの二つの支持部に前記気体排出口を設けることができる。   Of the four support portions, the two adjacent support portions can be provided with the gas blowing device, and the remaining two support portions can be provided with the gas discharge port.

気体を吹き付ける場所としては，液晶パネルの背面だけではなくて，液晶パネルの前面にも吹き付けてもよい。   As a place to blow the gas, not only the back surface of the liquid crystal panel but also the front surface of the liquid crystal panel may be blown.

液晶パネルに吹き付ける気体としては，イオンを含む気体であってもよい。すなわち，イオナイザで生成したイオン化空気であってもよい。イオンを含む気体を液晶パネルに吹き付けると，液晶パネルの静電気を除去することができる。   The gas sprayed on the liquid crystal panel may be a gas containing ions. That is, it may be ionized air generated by an ionizer. When a gas containing ions is blown onto the liquid crystal panel, the static electricity of the liquid crystal panel can be removed.

発明者の知る限り，液晶パネル検査装置においては，これまで，液晶パネルに空気を吹き付けて液晶パネルの温度上昇を防ぐ技術は見当たらない。ただし，液晶板を用いてプリント配線板の短絡箇所を検査する装置においては，液晶板を所望温度に維持するために液晶板に所定温度の空気を吹き付けることが，次の特許文献２に開示されている。
特開昭６４−６６５６７号公報 As far as the inventor knows, no technology has been found in the liquid crystal panel inspection apparatus to prevent the temperature rise of the liquid crystal panel by blowing air on the liquid crystal panel. However, in an apparatus for inspecting a short circuit portion of a printed wiring board using a liquid crystal plate, it is disclosed in the following Patent Document 2 that air at a predetermined temperature is blown to the liquid crystal plate in order to maintain the liquid crystal plate at a desired temperature. ing.
Japanese Patent Laid-Open No. 64-66567

本発明と特許文献２の技術とを比較すると，本発明は，検査対象としての液晶パネル（その電極にプローブ針が接触する）がバックライトによって温度上昇するのを防ぐものであり，この点で特許文献２の技術とは異なっている。特許文献２における検査対象はプリント配線板であり，液晶パネルはプリント配線板の短絡箇所を見つけるための手段として用いているものである。   Comparing the present invention with the technique of Patent Document 2, the present invention is intended to prevent the temperature rise of the liquid crystal panel (the probe needle is in contact with the electrode) as an inspection object due to the backlight. This is different from the technique of Patent Document 2. The inspection object in Patent Document 2 is a printed wiring board, and the liquid crystal panel is used as a means for finding a short-circuit portion of the printed wiring board.

本発明によれば，検査ステージ上の液晶パネルに空気を吹き付けているので，液晶パネルにバックライトの光が当たっても，液晶パネルの温度上昇を抑制できる。   According to the present invention, since air is blown onto the liquid crystal panel on the inspection stage, the rise in temperature of the liquid crystal panel can be suppressed even if the light from the backlight hits the liquid crystal panel.

以下，図面を参照して本発明の実施例を詳しく説明する。図１は本発明の液晶パネル検査装置のひとつの実施例における検査ステージ及びアライメントステージの斜視図である。この液晶パネル検査装置は，プローブ針を備えるプローブステージ（図示せず）と，液晶パネルを保持する検査ステージ１０と，検査ステージを移動させるアライメントステージ１２とを備えている。検査ステージ１０はパネル受け１４とベース１６からなる。矩形のベース１６の上に枠状のパネル受け１４が固定されている。全体として外形が長方形のパネル受け１４は，第１支持部１８，第２支持部２０，第３支持部２２及び第４支持部２４からなる。第１支持部１８と第３支持部２２は長方形の長辺を構成し，第２支持部２０と第４支持部２４は長方形の短辺を構成する。互いに隣り合う第１支持部１８と第２支持部２０は，その上面が所定の高さにあり，一方，互いに隣り合う第３支持部２２と第４支持部２４は，その上面が所定の高さよりも一段低くなっている。そして，第３支持部２２の上面と第４支持部２４の上面には，それぞれ，複数のスペーサ２６が載っている。スペーサ２６の上面の高さは，第１支持部１８及び第２支持部２０の上面の高さと同じ位置にある。複数のスペーサ２６の間の排出空間２８は，後述するように，空気の排出口となっている。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of an inspection stage and an alignment stage in one embodiment of the liquid crystal panel inspection apparatus of the present invention. The liquid crystal panel inspection apparatus includes a probe stage (not shown) having a probe needle, an inspection stage 10 that holds the liquid crystal panel, and an alignment stage 12 that moves the inspection stage. The inspection stage 10 includes a panel receiver 14 and a base 16. A frame-shaped panel receiver 14 is fixed on a rectangular base 16. The panel receiver 14 having a rectangular outer shape as a whole includes a first support portion 18, a second support portion 20, a third support portion 22, and a fourth support portion 24. The first support part 18 and the third support part 22 constitute a rectangular long side, and the second support part 20 and the fourth support part 24 constitute a rectangular short side. The first support portion 18 and the second support portion 20 that are adjacent to each other have their upper surfaces at a predetermined height, while the third support portion 22 and the fourth support portion 24 that are adjacent to each other have their upper surfaces at a predetermined height. It is one step lower than this. A plurality of spacers 26 are placed on the upper surface of the third support portion 22 and the upper surface of the fourth support portion 24, respectively. The height of the upper surface of the spacer 26 is at the same position as the height of the upper surfaces of the first support portion 18 and the second support portion 20. The discharge space 28 between the plurality of spacers 26 serves as an air discharge port, as will be described later.

アライメントステージ１２は，上ベース３０，支柱３２，バックライト装置３４（図４を参照），下ベース３６及びＸＹＺθステージ３８からなる。ＸＹＺθステージ３８は，下ベース３６を，水平面内で互いに直交するＸ方向とＹ方向に移動させることができ，さらに，Ｚ方向（上下方向）に移動させることができ，さらに，Ｚ方向に平行な回転軸の周りにθ回転させることができる。下ベース３６の上にはバックライト装置３４（図４を参照）が固定されている。また，下ベース３６の上には複数の支柱３２が立っていて，支柱３２の上端に上ベース３０が固定されている。上ベース３０の上に検査ステージ１０のベース１６が固定されている。   The alignment stage 12 includes an upper base 30, a support 32, a backlight device 34 (see FIG. 4), a lower base 36, and an XYZθ stage 38. The XYZθ stage 38 can move the lower base 36 in the X and Y directions orthogonal to each other in the horizontal plane, and can be moved in the Z direction (up and down direction), and further parallel to the Z direction. Theta can be rotated around the rotation axis. A backlight device 34 (see FIG. 4) is fixed on the lower base 36. A plurality of support columns 32 stand on the lower base 36, and the upper base 30 is fixed to the upper ends of the support columns 32. A base 16 of the inspection stage 10 is fixed on the upper base 30.

図２は図１のＡ部を拡大して示した拡大斜視図である。パネル受けの第１支持部１８にはプッシャー装置４０が設けられている。プッシャー装置４０はレール４２を備えており，このレール４２に対してスライダ４４がスライド可能に結合している。スライダ４４の上面にはプッシャーローラ４６が回転自在に取り付けられている。スライダ４４はエアーシリンダ（図示せず）によってＹ方向に進退し，これによって，プッシャーローラ４６もＹ方向に進退する。プッシャーローラ４６を矢印５０の方向に移動させると，プッシャーローラ４６は液晶パネル４８の側縁に接触する。図１に戻って，パネル受けの第３支持部２２の上面には，ストッパローラ５２が回転可能に取り付けられている。プッシャーローラ４６によって矢印５０方向に押し付けられた液晶パネルはストッパローラ５２で受け止められ，これによって液晶パネルのＹ方向の位置決めがなされる。同様に，パネル受けの第２支持部２０にもプッシャーローラ５４があり，これと対向する第４支持部２４にはストッパローラ５６（図２にも示されている）がある。これらのプッシャーローラ５４とストッパローラ５６によって，液晶パネルのＸ方向の位置決めもなされる。図２に戻って，第１支持部１８の外面には空気供給用の継手５８が固定されている。この継手５８に空気供給用のチューブ６０が接続されている。このチューブ６０に圧力空気源から室温の空気が供給される。空気の供給圧力は０．１〜０．２ＭＰａである。   FIG. 2 is an enlarged perspective view showing an A portion of FIG. 1 in an enlarged manner. A pusher device 40 is provided on the first support portion 18 of the panel receiver. The pusher device 40 includes a rail 42, and a slider 44 is slidably coupled to the rail 42. A pusher roller 46 is rotatably attached to the upper surface of the slider 44. The slider 44 is advanced and retracted in the Y direction by an air cylinder (not shown), whereby the pusher roller 46 is also advanced and retracted in the Y direction. When the pusher roller 46 is moved in the direction of the arrow 50, the pusher roller 46 contacts the side edge of the liquid crystal panel 48. Returning to FIG. 1, a stopper roller 52 is rotatably attached to the upper surface of the third support portion 22 of the panel receiver. The liquid crystal panel pressed in the direction of the arrow 50 by the pusher roller 46 is received by the stopper roller 52, whereby the liquid crystal panel is positioned in the Y direction. Similarly, the second support portion 20 of the panel receiver has a pusher roller 54, and the fourth support portion 24 opposite to the pusher roller 54 has a stopper roller 56 (also shown in FIG. 2). The pusher roller 54 and the stopper roller 56 also position the liquid crystal panel in the X direction. Returning to FIG. 2, a joint 58 for supplying air is fixed to the outer surface of the first support portion 18. An air supply tube 60 is connected to the joint 58. Room temperature air is supplied to the tube 60 from a pressure air source. The supply pressure of air is 0.1 to 0.2 MPa.

図３は図１に示す検査ステージの平面図である。長方形のベース１６の上に長方形のパネル受け１４が載っている。パネル受け１４の第１支持部１８には二つのプッシャーローラ４６が付属し，第２支持部２０にはひとつのプッシャーローラ５４が付属している。第３支持部２２には二つのストッパローラ５２が付属し，第４支持部２４には二つのストッパローラ５６が付属している。第３支持部２２の上面には三つのスペーサ２６が載っていて，第４支持部２４の上面にも三つのスペーサ２６が載っている。第１支持部１８と第２支持部２０の上面には吸着溝（図示せず）が形成されていて，この吸着溝に負圧を供給することで，液晶パネル４８をパネル受け１４の上に吸着保持することができる。   FIG. 3 is a plan view of the inspection stage shown in FIG. A rectangular panel receiver 14 is placed on a rectangular base 16. Two pusher rollers 46 are attached to the first support portion 18 of the panel receiver 14, and one pusher roller 54 is attached to the second support portion 20. Two stopper rollers 52 are attached to the third support portion 22, and two stopper rollers 56 are attached to the fourth support portion 24. Three spacers 26 are placed on the upper surface of the third support portion 22, and three spacers 26 are also placed on the upper surface of the fourth support portion 24. Adsorption grooves (not shown) are formed on the upper surfaces of the first support portion 18 and the second support portion 20, and the liquid crystal panel 48 is placed on the panel receiver 14 by supplying negative pressure to the adsorption grooves. Adsorption can be held.

図４は図３の４−４線断面図である。ＸＹＺθステージ３８の上に下ベース３６が固定されていて，下ベース３６と上ベース３０の間には支柱３２がある。下ベース３６の上にはバックライト装置３４が載っている。バックライト装置３４は複数の蛍光管３５を備えている。パネル受け１４の内部には拡散板６６が設けられている。バックライト装置３４からの光は拡散板６６で拡散されて一様な照明光となって，液晶パネル４８の背面を照らす。パネル受け１４の第２支持部２０には空気供給用の継手５８が固定されていて，この継手５８にノズル６２が接続されている。ノズル６２は，第２支持部２０を貫通していて，パネル受け１４の内部空間６４に開口している。図４では，第１支持部に設けられた四つのノズル６２の先端部も見えている。パネル受け１４は枠状なので，液晶パネル４８の背面のうち，周辺部（パネル受け１４で支持している部分）以外の中央部分が内部空間６４に露出している。ノズル６２の内径は１．０〜１．４ｍｍ程度である。内部空間６４の厚さ，すなわち，液晶パネル４８の背面と拡散板６６の上面の間の距離は，例えば２〜４ｍｍである。ノズル６２が本発明における気体導入口に該当する。そして，ノズル６２と継手５８とチューブ６０からなる構成が，本発明における気体吹き付け装置に該当する。   4 is a cross-sectional view taken along line 4-4 of FIG. A lower base 36 is fixed on the XYZθ stage 38, and a support column 32 is provided between the lower base 36 and the upper base 30. A backlight device 34 is mounted on the lower base 36. The backlight device 34 includes a plurality of fluorescent tubes 35. A diffusion plate 66 is provided inside the panel receiver 14. The light from the backlight device 34 is diffused by the diffusion plate 66 to become uniform illumination light, and illuminates the back surface of the liquid crystal panel 48. A joint 58 for supplying air is fixed to the second support portion 20 of the panel receiver 14, and a nozzle 62 is connected to the joint 58. The nozzle 62 passes through the second support portion 20 and opens into the internal space 64 of the panel receiver 14. In FIG. 4, the tips of the four nozzles 62 provided on the first support portion are also visible. Since the panel receiver 14 has a frame shape, a central portion of the back surface of the liquid crystal panel 48 other than the peripheral portion (portion supported by the panel receiver 14) is exposed in the internal space 64. The inner diameter of the nozzle 62 is about 1.0 to 1.4 mm. The thickness of the internal space 64, that is, the distance between the back surface of the liquid crystal panel 48 and the upper surface of the diffusion plate 66 is, for example, 2 to 4 mm. The nozzle 62 corresponds to the gas inlet in the present invention. And the structure which consists of the nozzle 62, the coupling 58, and the tube 60 corresponds to the gas spraying apparatus in this invention.

図５は図３の５−５線断面図である。ただし，検査ステージだけを示している。図の右半分は，第４支持部２４を通るように切断したものである。第４支持部２４の上面には，スペーサ２６が載っていて，隣り合うスペーサ２６の間において，液晶パネル４８の背面と第４支持部２４の上面の間に，排出空間２８が形成されている。この排出空間２８は，ノズル６２から内部空間６４内に供給された空気を外部に排出するための空間となっている。   5 is a cross-sectional view taken along line 5-5 of FIG. However, only the inspection stage is shown. The right half of the figure is cut so as to pass through the fourth support portion 24. A spacer 26 is placed on the upper surface of the fourth support portion 24, and a discharge space 28 is formed between the back surface of the liquid crystal panel 48 and the upper surface of the fourth support portion 24 between the adjacent spacers 26. . The discharge space 28 is a space for discharging the air supplied from the nozzle 62 into the internal space 64 to the outside.

図６は図４の第２支持部２０の付近（左側）と第４支持部２４の付近（右側）を拡大して示した断面図である。検査ステージの中央部の図示は省略している。第１支持部２０にはノズル６２が貫通している。ノズル６２の出口は，パネル受け１４の内部空間６４に突き出していて，液晶パネル４８の背面に空気が当たるように，出口がやや上向きになっている。ノズル６２からは室温の空気６８が流出して，この空気６８が液晶パネル４８の背面に吹き付けられる。液晶パネル４８の背面に沿って流れた空気６８は，第４支持部２４の上面と液晶パネル４８の背面との間に形成された排出空間２８から外部に出て行く。また，第３支持部２２(図２を参照）のところでも，同様に，排出空間から外部に空気が出て行く。パネル受け１４の内部空間６４は，四方をパネル受け１４の四つの支持部で囲まれており，上部は液晶パネル４８で，下部は拡散板６６で囲まれている。   FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view showing the vicinity (left side) of the second support portion 20 and the vicinity (right side) of the fourth support portion 24 in FIG. The illustration of the central part of the inspection stage is omitted. A nozzle 62 passes through the first support portion 20. The outlet of the nozzle 62 protrudes into the internal space 64 of the panel receiver 14, and the outlet is slightly upward so that air hits the back surface of the liquid crystal panel 48. Room temperature air 68 flows out from the nozzle 62, and this air 68 is blown to the back surface of the liquid crystal panel 48. The air 68 that flows along the back surface of the liquid crystal panel 48 exits from the discharge space 28 formed between the upper surface of the fourth support portion 24 and the back surface of the liquid crystal panel 48. Similarly, the air exits from the discharge space at the third support portion 22 (see FIG. 2). The inner space 64 of the panel receiver 14 is surrounded on four sides by the four support portions of the panel receiver 14, the upper part is surrounded by the liquid crystal panel 48, and the lower part is surrounded by the diffusion plate 66.

次に，図６を参照して，この液晶パネル検査装置のパネル冷却作用を説明する。パネル受け１４の上に液晶パネル４８が吸着保持されて，液晶パネル４８の背面にバックライト装置３４（図４を参照）からの照明光が当たった状態で，プローブステージの複数のプローブ針が液晶パネル４８の複数の電極に接触し，液晶パネルの点灯検査が実施される。バックライト装置で照明している間は，ノズル６２から室温の空気６８が液晶パネル４８の背面に向けて吹き付けられる。したがって，バックライト装置の照明光に起因する液晶パネル４８の温度上昇は，わずかである。例えば，３０型の液晶パネルの場合，空気の吹き付けがない従来装置では，バックライトが点灯した検査ステージに液晶パネルを載せて２０分が経過すると，液晶パネルの温度上昇は約１５℃であった。これに対して，この実施例の場合は，同様の条件で，液晶パネルの温度上昇は５〜８℃であった。このように温度上昇がわずかであるので，液晶パネル４８の熱膨張量はわずかなものとなり，液晶パネルの複数の電極とプローブステージの複数のプローブ針との間の位置ずれは問題にならない程度におさまる。なお，ノズル６２から流出する空気は，室温よりも低い温度に冷却したものでもよい。ただし，空気を冷却する場合は，液晶パネルに結露が生じない程度の温度にする必要があり，例えば，室温よりも５〜１０℃程度低い温度にする。   Next, the panel cooling action of the liquid crystal panel inspection apparatus will be described with reference to FIG. The liquid crystal panel 48 is sucked and held on the panel receiver 14, and the plurality of probe needles of the probe stage are liquid crystal while the back surface of the liquid crystal panel 48 is irradiated with illumination light from the backlight device 34 (see FIG. 4). The lighting inspection of the liquid crystal panel is performed in contact with the plurality of electrodes of the panel 48. During illumination with the backlight device, air 68 at room temperature is blown from the nozzle 62 toward the back surface of the liquid crystal panel 48. Therefore, the temperature rise of the liquid crystal panel 48 due to the illumination light of the backlight device is slight. For example, in the case of a 30-inch liquid crystal panel, the temperature rise of the liquid crystal panel was about 15 ° C. after 20 minutes had passed since the liquid crystal panel was placed on the inspection stage where the backlight was lit in the conventional device without air blowing. . On the other hand, in this example, the temperature rise of the liquid crystal panel was 5 to 8 ° C. under the same conditions. As described above, since the temperature rise is slight, the thermal expansion amount of the liquid crystal panel 48 is small, and the positional deviation between the plurality of electrodes of the liquid crystal panel and the plurality of probe needles of the probe stage is not problematic. Stop. The air flowing out from the nozzle 62 may be cooled to a temperature lower than room temperature. However, when cooling the air, it is necessary to set the temperature so that condensation does not occur on the liquid crystal panel. For example, the temperature is set to about 5 to 10 ° C. lower than room temperature.

図７は，スペーサ２６の役割を説明する断面図である。（Ａ）及び（Ｂ）において，図の左側は第１支持部１８の付近の断面を示し，図の右側は第３支持部２２の付近の断面を示す。液晶パネル４８は下ガラス板７０（ＴＦＴが形成されているガラス板）と上ガラス板７２（カラーフィルタが形成されているガラス板）の間に液晶を封入した構造になっている。図７（Ａ）は液晶パネル４８の下ガラス板７０の下面に下側偏光板が存在しない場合のスペーサ配置例であり，図７（Ｂ）は下ガラス板７０の下面に下側偏光板７４が存在する場合のスペーサ配置例である。上側偏光板については，スペーサと無関係なので図示を省略してある。   FIG. 7 is a cross-sectional view for explaining the role of the spacer 26. In (A) and (B), the left side of the figure shows a cross section in the vicinity of the first support part 18, and the right side of the figure shows a cross section in the vicinity of the third support part 22. The liquid crystal panel 48 has a structure in which liquid crystal is sealed between a lower glass plate 70 (a glass plate on which TFTs are formed) and an upper glass plate 72 (a glass plate on which color filters are formed). FIG. 7A shows an example of spacer arrangement in the case where the lower polarizing plate does not exist on the lower surface of the lower glass plate 70 of the liquid crystal panel 48, and FIG. 7B shows the lower polarizing plate 74 on the lower surface of the lower glass plate 70. This is an example of spacer arrangement in the case where there is. The upper polarizing plate is not shown because it is not related to the spacer.

図７（Ａ）において，スペーサ２６の厚さはｔ１である。このｔ１は，第１支持部１８の上面の高さと第３支持部２２の上面の高さの差に等しい。このｔ１は排出空間２８（図６を参照）の厚さに等しい。一方，図７（Ｂ）に示すように，下側偏光板７４がある場合は，スペーサ２６の厚さをｔ２に変更する。このｔ２は上述のｔ１から下側偏光板７４の厚さを引き算したものに等しい。下側偏光板７４の外縁は，電極のある辺（第１支持部１８に載る側）では下ガラス板７０の外縁から後退しており，電極のない辺（第３支持部２２に載る側）では下ガラス板７０の外縁まで延びている。   In FIG. 7A, the thickness of the spacer 26 is t1. This t1 is equal to the difference between the height of the upper surface of the first support portion 18 and the height of the upper surface of the third support portion 22. This t1 is equal to the thickness of the discharge space 28 (see FIG. 6). On the other hand, as shown in FIG. 7B, when there is the lower polarizing plate 74, the thickness of the spacer 26 is changed to t2. This t2 is equal to the value obtained by subtracting the thickness of the lower polarizing plate 74 from the above-described t1. The outer edge of the lower polarizing plate 74 recedes from the outer edge of the lower glass plate 70 on the side where the electrode is present (the side on which the first support portion 18 is placed), and the side where no electrode is present (the side on which the third support portion 22 is placed). Then, it extends to the outer edge of the lower glass plate 70.

図８は，本発明の液晶パネル検査装置の第２実施例を示すものであり，プローブステージと，検査ステージ上の液晶パネル４８だけを上方から見た平面図である。プローブステージは，第１のプローブベース７６，第２のプローブベース７８，第１の対向ベース８０（第１のプローブベース７６に対向している），及び，第２の対向ベース８２（第２のプローブベース７８に対向している）を備えている。第１のプローブベース７６と第１の対向ベース８０はＹ方向に延びており，第２のプローブベース７８と第２の対向ベース８２はＸ方向に延びている。Ｘ方向とＹ方向は互いに直交している。液晶パネル４８は長方形をしており，そのひとつの短辺８４に沿って複数のゲート電極が配列されており，また，ひとつの長辺８６に沿ってデータ電極が配列されている。   FIG. 8 shows a second embodiment of the liquid crystal panel inspection apparatus of the present invention, and is a plan view of only the probe stage and the liquid crystal panel 48 on the inspection stage as viewed from above. The probe stage includes a first probe base 76, a second probe base 78, a first opposing base 80 (opposing the first probe base 76), and a second opposing base 82 (second It faces the probe base 78). The first probe base 76 and the first opposing base 80 extend in the Y direction, and the second probe base 78 and the second opposing base 82 extend in the X direction. The X direction and the Y direction are orthogonal to each other. The liquid crystal panel 48 has a rectangular shape, and a plurality of gate electrodes are arranged along one short side 84, and a data electrode is arranged along one long side 86.

第１のプローブベース７６にはゲート側プローブユニット８８が搭載されている。このゲート側プローブユニット８８には複数のプローブブロック９０が固定されている。各プローブブロック９０には複数のプローブ針９２が取り付けられている。プローブ針９２は液晶パネル４８のゲート電極に接触する。第２のプローブベース７８にはデータ側プローブユニット９４が搭載されている。このデータ側プローブユニット９４にも，複数のプローブブロック９５とそれに付属するプローブ針が設けられている。そのプローブ針は液晶パネル４８のデータ電極に接触する。   A gate-side probe unit 88 is mounted on the first probe base 76. A plurality of probe blocks 90 are fixed to the gate side probe unit 88. A plurality of probe needles 92 are attached to each probe block 90. The probe needle 92 is in contact with the gate electrode of the liquid crystal panel 48. A data probe unit 94 is mounted on the second probe base 78. The data side probe unit 94 is also provided with a plurality of probe blocks 95 and probe needles attached thereto. The probe needle contacts the data electrode of the liquid crystal panel 48.

第１の対向ベース８０と第２の対向ベース８２には，それぞれ，複数の上部ノズル９６が固定されている。これらの上部ノズル９６からは室温の空気が流出し，その空気が液晶パネル４８の前面（上面）に沿って流れて，液晶パネル４８の上面の温度上昇を防ぐ。上部ノズル９６は本発明における第２の気体吹き付け装置に該当する。   A plurality of upper nozzles 96 are fixed to the first opposing base 80 and the second opposing base 82, respectively. Room temperature air flows out from these upper nozzles 96, and the air flows along the front surface (upper surface) of the liquid crystal panel 48 to prevent the temperature of the upper surface of the liquid crystal panel 48 from rising. The upper nozzle 96 corresponds to the second gas spraying device in the present invention.

図９は図８の９−９線で切断した断面図であり，プローブステージの下方の，検査ステージとアライメントステージについても図示している。検査ステージとアライメントステージの断面部分は，図４と同じものである。ゲート側プローブユニット８８に固定されたプローブブロック９０と，データ側プローブユニット９４に固定されたプローブブロック９５が見えている。そして，第１の対向ベース８０には上部ノズル９６が固定されている。また，液晶パネル４８の背面もノズル６２から流出する空気で冷却されるが，背面側の冷却については，第１実施例と同じである。   FIG. 9 is a cross-sectional view taken along line 9-9 in FIG. 8, and also shows the inspection stage and alignment stage below the probe stage. The cross sections of the inspection stage and alignment stage are the same as those in FIG. The probe block 90 fixed to the gate side probe unit 88 and the probe block 95 fixed to the data side probe unit 94 are visible. An upper nozzle 96 is fixed to the first opposing base 80. Further, the back surface of the liquid crystal panel 48 is also cooled by the air flowing out from the nozzle 62, but the cooling on the back surface side is the same as in the first embodiment.

この第２実施例は，液晶パネル４８の背面と前面の両方に空気が吹き付けられるので，第１実施例よりも液晶パネル４８の温度上昇が抑制される。   In the second embodiment, since air is blown to both the back surface and the front surface of the liquid crystal panel 48, the temperature rise of the liquid crystal panel 48 is suppressed more than in the first embodiment.

液晶パネルの上面に吹き付ける空気については，イオナイザから流出させたイオン化空気とすることもできる。イオナイザは空気中のガス分子を正及び負のイオンに帯電させるものであり，イオナイザから流出する空気は多量の正負のイオンを含んでいる。このようなイオン化空気を液晶パネルの前面に吹き付けると，液晶パネルの前面に帯電した静電気が除電され，液晶パネル上の電気回路の静電気破壊を防ぐ。また，液晶パネルの背面に吹き付ける空気もイオン化空気とすることができる。   The air blown onto the upper surface of the liquid crystal panel can be ionized air that has flowed out of the ionizer. The ionizer charges gas molecules in the air to positive and negative ions, and the air flowing out of the ionizer contains a large amount of positive and negative ions. If such ionized air is blown to the front of the LCD panel, the static electricity charged on the front of the LCD panel is removed, preventing the electrostatic circuit on the LCD panel from being destroyed. Moreover, the air sprayed on the back surface of the liquid crystal panel can also be ionized air.

図１は本発明の液晶パネル検査装置のひとつの実施例における検査ステージ及びアライメントステージの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an inspection stage and an alignment stage in one embodiment of the liquid crystal panel inspection apparatus of the present invention. 図１のＡ部を拡大して示した拡大斜視図である。It is the expansion perspective view which expanded and showed the A section of FIG. 図１に示す検査ステージの平面図である。It is a top view of the inspection stage shown in FIG. 図３の４−４線断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line 4-4 of FIG. 図３の５−５線断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line 5-5 of FIG. 図４の第２支持部の付近（左側）と第４支持部の付近（右側）を拡大して示した断面図である。FIG. 5 is an enlarged sectional view showing the vicinity (left side) of the second support part and the vicinity (right side) of the fourth support part in FIG. 4. スペーサの役割を説明する断面図である。It is sectional drawing explaining the role of a spacer. 第２実施例の平面図である。It is a top view of 2nd Example. 図８の９−９線で切断した断面図である。It is sectional drawing cut | disconnected by the 9-9 line | wire of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１０ 検査ステージ
１２ アライメントステージ
１４ パネル受け
１６ ベース
１８ 第１支持部
２０ 第２支持部
２２ 第３支持部
２４ 第４支持部
２６ スペーサ
２８ 排出空間
３４ バックライト装置
４８ 液晶パネル
５８ 継手
６０ チューブ
６２ ノズル
６４ 内部空間
６６ 拡散板
６８ 空気
９０ プローブブロック
９２ プローブ針
９５ プローブブロック
９６ 上部ノズル DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Inspection stage 12 Alignment stage 14 Panel receiver 16 Base 18 1st support part 20 2nd support part 22 3rd support part 24 4th support part 26 Spacer 28 Discharge space 34 Backlight apparatus 48 Liquid crystal panel 58 Joint 60 Tube 62 Nozzle 64 Internal space 66 Diffuser plate 68 Air 90 Probe block 92 Probe needle 95 Probe block 96 Upper nozzle

Claims (5)

次の構成を備える液晶パネル検査装置。
（ア）液晶パネルをその周辺部で支持する検査ステージであって，液晶パネルの背面の少なくとも一部が露出する内部空間を有する検査ステージ。
（イ）前記内部空間に開口する気体導入口を有する気体吹き付け装置であって，前記検査ステージに支持された液晶パネルの背面に気体を吹き付ける気体吹き付け装置。
（ウ）前記検査ステージに支持された液晶パネルの複数の電極に接触可能な複数のプローブ針を有するプローブステージ。
（エ）前記検査ステージに支持された液晶パネルを背面から照明するバックライト装置。 A liquid crystal panel inspection apparatus having the following configuration.
(A) An inspection stage that supports the liquid crystal panel at the periphery thereof and has an internal space in which at least a part of the back surface of the liquid crystal panel is exposed.
(A) A gas spraying device having a gas inlet opening in the internal space, the gas spraying device spraying gas onto the back surface of the liquid crystal panel supported by the inspection stage.
(C) A probe stage having a plurality of probe needles that can contact a plurality of electrodes of a liquid crystal panel supported by the inspection stage.
(D) A backlight device that illuminates the liquid crystal panel supported by the inspection stage from the back. 請求項１に記載の液晶パネル検査装置において，前記検査ステージは，矩形の液晶パネルの四つの辺を支持するための四つの支持部を備えていて，少なくともひとつの支持部において，液晶パネルと前記支持部との間に，前記内部空間から気体を排出させるための気体排出口が形成されていることを特徴とする液晶パネル検査装置。   The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the inspection stage includes four support portions for supporting four sides of a rectangular liquid crystal panel, and at least one support portion includes the liquid crystal panel and the liquid crystal panel. A liquid crystal panel inspection apparatus, wherein a gas discharge port for discharging gas from the internal space is formed between the support portion and the support portion. 請求項２に記載の液晶パネル検査装置において，前記四つの支持部のうち，隣り合う二つの支持部に前記気体吹き付け装置が設けられていて，残りの二つの支持部に前記気体排出口が形成されていることを特徴とする液晶パネル検査装置。   3. The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 2, wherein the gas spraying device is provided in two adjacent support portions among the four support portions, and the gas discharge port is formed in the remaining two support portions. A liquid crystal panel inspection apparatus characterized by the above. 請求項１に記載の液晶パネル検査装置において，前記液晶パネルの前面に気体を吹き付ける第２の気体吹き付け装置を有することを特徴とする液晶パネル検査装置。   The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, further comprising a second gas spraying device that sprays gas onto a front surface of the liquid crystal panel. 請求項１から４までのいずれか１項に記載の液晶パネル検査装置において，液晶パネルに吹き付けられる気体は，イオンを含む気体であることを特徴とする液晶パネル検査装置。   5. The liquid crystal panel inspection apparatus according to claim 1, wherein the gas sprayed on the liquid crystal panel is a gas containing ions.
JP2004370059A 2004-12-21 2004-12-21 Device for inspecting liquid crystal panel Pending JP2006178107A (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004370059A JP2006178107A (en) 2004-12-21 2004-12-21 Device for inspecting liquid crystal panel
TW094140142A TW200622388A (en) 2004-12-21 2005-11-15 Apparatus for inspecting of LCD panel
KR1020050114091A KR100725896B1 (en) 2004-12-21 2005-11-28 Apparatus for Inspecting of Liquid Crystal Panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004370059A JP2006178107A (en) 2004-12-21 2004-12-21 Device for inspecting liquid crystal panel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006178107A true JP2006178107A (en) 2006-07-06

Family

ID=36732285

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004370059A Pending JP2006178107A (en) 2004-12-21 2004-12-21 Device for inspecting liquid crystal panel

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2006178107A (en)
KR (1) KR100725896B1 (en)
TW (1) TW200622388A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008281439A (en) * 2007-05-10 2008-11-20 Nippon Eng Kk Carrier for semiconductor device
CN105486689A (en) * 2015-12-23 2016-04-13 苏州精濑光电有限公司 Optical detection machine

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101615181B1 (en) * 2014-12-30 2016-04-25 주식회사 아이에스시 camera module testing socket
CN109426012B (en) * 2017-08-21 2023-11-10 凌云光技术股份有限公司 Backlight jig for display screen detection

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004094140A (en) * 2002-09-04 2004-03-25 Sony Corp Inspection apparatus of liquid crystal panel
KR20060024051A (en) * 2004-09-13 2006-03-16 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Liquid crystal display device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008281439A (en) * 2007-05-10 2008-11-20 Nippon Eng Kk Carrier for semiconductor device
CN105486689A (en) * 2015-12-23 2016-04-13 苏州精濑光电有限公司 Optical detection machine
CN107655899A (en) * 2015-12-23 2018-02-02 苏州精濑光电有限公司 Optical detector

Also Published As

Publication number Publication date
TWI299800B (en) 2008-08-11
TW200622388A (en) 2006-07-01
KR100725896B1 (en) 2007-06-08
KR20060071313A (en) 2006-06-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102818185B (en) Backlight module and liquid crystal display device
US20040257792A1 (en) Backlight module
CN102799023B (en) Liquid crystal display (LCD) device
CN102705744B (en) Light emitting diode (LED) lamp strip and lateral-entering type backlight module using same
KR100725896B1 (en) Apparatus for Inspecting of Liquid Crystal Panel
TWI391739B (en) Lamp guide with optical member holder and liquid crystal display device having the same
US7961272B2 (en) Liquid crystal display module having non-conductive first lamp holders and conductive second lamp holders
CN101859071A (en) Light irradiation device
KR100769158B1 (en) flat lamp for emitting light to surface and liquid crystal display having it
KR100971959B1 (en) multi-model glass supporting unit for detecting LCD cell
KR100932751B1 (en) Array test device
CN104806931A (en) Backlight module and display device
US7404663B2 (en) Backlight module
JP4092938B2 (en) Flat light source for liquid crystal display panel inspection equipment
CN201804834U (en) Nondefective rate detection device
US20100232140A1 (en) Lamp holder, backlight unit and display device
KR101959414B1 (en) Visual Inspection Apparatus And Visual Inspecting Method Using The Same
CN212870662U (en) Anti-atomization device
TWI391651B (en) Optic chuck for array tester
KR100707007B1 (en) Back light unit
CN206594416U (en) A kind of backlight module and liquid crystal display
TWI486667B (en) Liquid crystal display and assembling method thereof
CN101999058A (en) Light emitting device and liquid crystal display device
CN101960214A (en) Lighting device, display device, and television receiving device
KR200159459Y1 (en) A lighting apparatus in exposure equipment