KR20120136186A - Array test apparatus - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: An array test device is provided to prevent formation of an air layer between a glass panel and a supporting plate, thereby exactly performs an inspection on a glass panel. CONSTITUTION: A supporting plate(31) includes a test part(311). An inspected region is attached to the test part of a glass panel. Multiple inlet holes(312) are formed in both sides of the test part. Multiple absorption grooves(313) are formed in one side of the test part of the supporting plate. The multiple absorption grooves are connected with the inlet holes.

Description

어레이 테스트 장치 {ARRAY TEST APPARATUS}Array Test Device {ARRAY TEST APPARATUS}

본 발명은 글라스패널을 검사하기 위한 어레이 테스트 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an array test apparatus for inspecting a glass panel.

일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display; FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는, 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이패널(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.In general, a flat panel display (FPD) is an image display device that is thinner and lighter than a television or a monitor employing a CRT. The flat panel display includes a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), a field emission display (FED), organic light emitting diodes (OLED), and the like. It is developed and used.

이와 같은 평판디스플레이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정셀들의 광투과율을 조절함으로써 원화는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작전압이 낮은 장점 등으로 인하여 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.Among such flat panel displays, a liquid crystal display is a display device in which an original image can be displayed by controlling a light transmittance of liquid crystal cells by individually supplying data signals according to image information to liquid crystal cells arranged in a matrix form. Liquid crystal displays are widely used due to their thin, light, low power consumption and low operating voltage. The manufacturing method of the liquid crystal panel generally employed in such a liquid crystal display will be described.

먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판과 대응되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.First, a color filter and a common electrode are formed on an upper substrate, and a thin film transistor (TFT) and a pixel electrode are formed on a lower substrate corresponding to the upper substrate. Subsequently, after the alignment films are applied to the substrates, the alignment films are rubbed to provide a pre-tilt angle and an orientation direction to the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer to be formed therebetween.

그리고, 기판들 사이의 갭을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.Then, the paste is applied to at least one substrate in a predetermined pattern to form a paste pattern so as to maintain a gap between the substrates and to prevent the liquid crystal from leaking to the outside and to seal the gaps between the substrates. Through the process of forming a liquid crystal layer in the liquid crystal panel is manufactured.

이러한 공정 중에 박막트랜지스터(TFT) 및 화소전극이 형성된 하부기판(이하, "글라스패널"이라 한다.)에 구비되는 게이트라인 및 데이터라인의 단선, 화소셀의 색상 불량 등의 결함이 있는지를 검사하는 공정을 수행하게 된다.During this process, the gate line and data lines of the thin film transistor TFT and the lower substrate (hereinafter, referred to as the "glass panel") on which the pixel electrodes are formed are inspected for defects such as disconnection of color lines and color defects of the pixel cells. The process will be carried out.

글라스패널의 검사를 위하여, 광원과, 전광물질층이 구비되는 모듈레이터와, 촬상유닛이 구비되는 어레이 테스트 장치가 사용된다. 모듈레이터와 글라스패널에 일정한 전압을 가한 상태에서 모듈레이터를 글라스패널에 인접되도록 하면, 글라스패널에 결함이 없는 경우에는 모듈레이터와 글라스패널 사이에 전기장이 형성되지만, 글라스패널에 결함이 있는 경우에는 모듈레이터와 글라스패널 사이에 전기장이 형성되지 않거나 전기장이 약하게 형성되는데, 어레이 테스트 장치는 이러한 모듈레이터와 글라스패널 사이의 전기장의 크기를 검출하고 이를 이용하여 글라스패널의 결함여부를 검출한다.For inspection of the glass panel, an array test apparatus provided with a light source, a modulator provided with an all-optical material layer, and an imaging unit is used. If the modulator is adjacent to the glass panel while a constant voltage is applied to the modulator and the glass panel, an electric field is formed between the modulator and the glass panel if the glass panel is not defective, but if the glass panel is defective, the modulator and glass The electric field is not formed or the electric field is weakly formed between the panels. The array test apparatus detects the magnitude of the electric field between the modulator and the glass panel and detects whether the glass panel is defective.

글라스패널에 대한 검사는 글라스패널을 지지플레이트상에 탑재시킨 상태에서 수행되는데, 이를 위하여 지지플레이트에는 부압원과 연결되는 공기흡입홀을 복수로 형성하고 공기흡입홀을 통하여 공기를 흡입하는 것을 통하여 글라스패널을 지지플레이트상에 흡착하여 고정하고 있다. 그러나, 종래의 경우에는, 공기의 흡입동작이 복수의 공기흡입홀에서 동시에 진행되었기 때문에 글라스패널의 영역 중 공기흡입홀 부근에 해당하는 영역은 공기흡입홀을 통한 공기의 흡입에 의하여 지지플레이트상에 흡착되지만 글라스패널의 영역 중 공기흡입홀 부근에 해당하지 않는 영역에서는 공기가 미쳐 공기흡입홀을 통하여 배출되지 않아 글라스패널과 지지플레이트의 상면 사이에 공기층이 형성되는 현상이 발생된다. 이러한 현상에 의하여 글라스패널의 상면의 높이가 전체적으로 균일하지 않게 되며, 이에 따라, 글라스패널에 대한 검사가 정확하게 수행될 수 없는 문제점이 있다.Inspection of the glass panel is performed in a state where the glass panel is mounted on the support plate. For this purpose, a plurality of air suction holes connected to the negative pressure source are formed in the support plate, and the glass is sucked through the air suction hole. The panel is sucked onto the support plate and fixed. However, in the conventional case, since the air suction operation was simultaneously performed in the plurality of air suction holes, the area corresponding to the air suction hole in the area of the glass panel was formed on the support plate by the suction of air through the air suction hole. In the area of the glass panel that does not correspond to the air suction hole, air is absorbed and is not discharged through the air suction hole, so that an air layer is formed between the glass panel and the upper surface of the support plate. Due to this phenomenon, the height of the upper surface of the glass panel is not uniform as a whole, and thus, there is a problem that the inspection of the glass panel cannot be performed accurately.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 글라스패널이 지지플레이트에 흡착된 후 글라스패널과 지지플레이트 사이에 공기층이 형성되는 것을 방지하여 글라스패널에 대한 검사를 정확하게 수행할 수 있는 어레이 테스트 장치를 제공하는 데에 있다.The present invention is to solve the above problems of the prior art, the glass panel is adsorbed to the support plate after preventing the formation of an air layer between the glass panel and the support plate array that can accurately inspect the glass panel It is to provide a test apparatus.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널의 피검사영역이 부착되는 테스트부가 구비되며 상기 테스트부의 양측에 복수의 공기흡입홀이 형성되는 지지플레이트를 포함하고, 상기 글라스패널에 대향하는 상기 지지플레이트의 테스트부의 일면에는 상기 복수의 공기흡입홀 중 적어도 하나의 공기흡입홀과 연통되는 복수의 흡착홈이 형성될 수 있다.The array test apparatus according to the present invention for achieving the above object is provided with a test unit to which the inspection region of the glass panel is attached and includes a support plate on which a plurality of air suction holes are formed on both sides of the test unit, and the glass A plurality of suction grooves may be formed on one surface of the test unit of the support plate opposite to the panel to communicate with at least one air suction hole of the plurality of air suction holes.

본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널의 피검사영역이 부착되는 테스트부에 공기흡입홀과 연통되는 흡착홈을 형성함으로써, 글라스패널이 지지플레이트에 흡착되는 과정에서, 글라스패널의 피검사영역과 지지플레이트의 테스트부 사이에 존재하는 공기를 흡착홈을 통하여 배출시킬 수 있으므로, 글라스패널과 지지플레이트 사이에 공기층이 존재하는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라, 글라스패널의 상면의 높이를 전체적으로 균일하게 하여 글라스패널에 대한 검사를 정확하게 수행할 있는 효과가 있다.In the array test apparatus according to the present invention, an adsorption groove communicating with an air suction hole is formed in a test unit to which an inspection region of the glass panel is attached, and thus the glass panel is adsorbed to the support plate, thereby inspecting the inspection region of the glass panel. Since the air existing between the test portion of the and the support plate can be discharged through the adsorption groove, it is possible to prevent the presence of an air layer between the glass panel and the support plate, thereby making the overall height of the upper surface of the glass panel uniform. By doing so, there is an effect of accurately performing the inspection on the glass panel.

또한, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널을 공기흡입홀이 형성되는 흡착부에 흡착시킬 수 있을 뿐만 아니라 흡착홈이 형성되는 테스트부에도 흡착시킬 수 있으므로, 글라스패널을 지지플레이트에 더욱 견고하게 지지시킬 수 있고, 이에 따라, 글라스패널에 대한 검사를 보다 정확하게 수행할 있는 효과가 있다.In addition, the array test apparatus according to the present invention can not only adsorb the glass panel to the adsorption part in which the air suction hole is formed, but also the test part in which the adsorption groove is formed, so that the glass panel is more firmly supported on the support plate. It can be supported, and accordingly, there is an effect that can more accurately perform the inspection on the glass panel.

도 1은 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 어레이 테스트 장치의 테스트모듈이 도시된 개략도이다.
도 3은 도 1의 어레이 테스트 장치의 테스트모듈의 다른 예가 도시된 개략도이다.
도 4는 도 1의 어레이 테스트 장치의 지지플레이트가 도시된 사시도이다.
도 5는 도 1의 어레이 테스트 장치의 지지플레이트의 다른 예가 도시된 사시도이다.
도 6은 도 1의 어레이 테스트 장치의 지지플레이트의 흡착홈이 도시된 단면도이다.1 is a perspective view showing an array test apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a test module of the array test apparatus of FIG. 1.
3 is a schematic diagram illustrating another example of a test module of the array test apparatus of FIG. 1.
4 is a perspective view illustrating a support plate of the array test apparatus of FIG. 1.
5 is a perspective view illustrating another example of the support plate of the array test apparatus of FIG. 1.
6 is a cross-sectional view illustrating an adsorption groove of a support plate of the array test apparatus of FIG. 1.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of an array test apparatus according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치(10)는, 글라스패널(P)을 로딩하는 로딩유닛(20)과, 로딩유닛(20)에 의하여 로딩된 글라스패널(P)에 대한 검사를 수행하는 테스트유닛(30)과, 테스트유닛(30)에 의하여 검사가 완료된 글라스패널(P)을 언로딩하는 언로딩유닛(40)을 포함하여 구성될 수 있다.As shown in FIG. 1, the array test apparatus 10 according to the present invention includes a loading unit 20 for loading a glass panel P, and a glass panel P loaded by the loading unit 20. It may be configured to include a test unit 30 for performing a test for, and an unloading unit 40 for unloading the glass panel (P) is completed by the test unit 30.

로딩유닛(20)은 소정의 간격으로 이격되게 배치되어 검사의 대상이 되는 글라스패널(P)을 지지하는 복수의 제1지지플레이트(22)를 포함하여 구성되고, 언로딩유닛(40)은 소정의 간격으로 이격되게 배치되어 검사가 완료된 글라스패널(P)을 지지하는 복수의 제2지지플레이트(42)를 포함하여 구성된다. 로딩유닛(20)의 제1지지플레이트(22)와 언로딩유닛(40)의 제2지지플레이트(42)에는 글라스패널(P)의 하측면을 향하여 공기를 분사하여 글라스패널(P)을 부양시키기 위한 공기구멍(24)(44)이 형성될 수 있다. 또한, 로딩유닛(20) 및 언로딩유닛(40)에는 글라스패널(P)의 하측면을 흡착한 후 직선형으로 이동하면서 글라스패널(P)을 이송시키기 위한 글라스패널이송유닛(70)이 구비될 수 있다.The loading unit 20 is configured to include a plurality of first support plates 22 are arranged spaced apart at predetermined intervals to support the glass panel (P) to be inspected, the unloading unit 40 is a predetermined A plurality of second support plates 42 are arranged to be spaced apart from each other to support the glass panel P which has been inspected. The first support plate 22 of the loading unit 20 and the second support plate 42 of the unloading unit 40 blow air toward the lower side of the glass panel P to support the glass panel P. Air holes 24 and 44 can be formed. In addition, the loading unit 20 and the unloading unit 40 may be provided with a glass panel transfer unit 70 for transporting the glass panel P while adsorbing the lower side of the glass panel P and moving in a straight line. Can be.

테스트유닛(30)은, 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 것으로, 로딩유닛(20)에 의하여 로딩되는 글라스패널(P)이 배치되는 지지플레이트(31)와, 지지플레이트(31)상에 배치된 글라스패널(P)의 전기적 결함여부를 검사하는 테스트모듈(32)과, 지지플레이트(31)상에 배치된 글라스패널(P)상의 전극으로 전기신호를 인가하기 위한 프로브모듈(33)을 포함하여 구성될 수 있다. 여기에서, 테스트모듈(32)은 지지플레이트(31)의 상측에서 X축방향으로 연장되는 테스트모듈이송유닛(60)에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치될 수 있고, 테스트모듈(32)은 테스트모듈이송유닛(60)의 연장방향(X축방향)을 따라 복수로 구비될 수 있다.The test unit 30 inspects whether the glass panel P has an electrical defect, and includes a support plate 31 and a support plate 31 on which the glass panel P loaded by the loading unit 20 is disposed. Test module 32 for inspecting the electrical defect of the glass panel (P) disposed on the probe module 33 for applying an electrical signal to the electrode on the glass panel (P) disposed on the support plate 31. It may be configured to include). Here, the test module 32 may be installed to be movable in the X-axis direction to the test module transfer unit 60 extending in the X-axis direction from the upper side of the support plate 31, the test module 32 is A plurality of test modules may be provided along the extension direction (X-axis direction) of the transfer unit 60.

테스트모듈(32)은, 도 2에 도시된 바와 같은 반사방식의 테스트모듈(32)과, 도 3에 도시된 바와 같은 투과방식의 테스트모듈(32)로 구분될 수 있는데, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치의 테스트유닛(30)에는 반사방식의 테스트모듈(32)와 투과방식의 테스트모듈(32)이 모두 적용될 수 있다.The test module 32 may be divided into a reflective test module 32 as shown in FIG. 2 and a transmissive test module 32 as shown in FIG. 3. Both the reflective test module 32 and the transmissive test module 32 may be applied to the test unit 30 of the test apparatus.

먼저, 도 2에 도시된 바와 같이, 반사방식의 테스트모듈(32)은, 광원(321)과, 광원(321)로부터 출사되는 광을 편광시키는 제1편광판(323)과, 제1편광판(323)에 의하여 편광된 광의 방향이 지지플레이트(31)를 향하도록 조절하는 하프프리즘(322)과, 지지플레이트(31)상에 탑재된 글라스패널(P)의 상측에서 글라스패널(P)에 대향하도록 배치되는 모듈레이터(120)와, 모듈레이터(120)를 촬상하는 촬상유닛(100)과, 모듈레이터(120)와 촬상유닛(100) 사이에 구비되어 모듈레이터(120)를 통과한 광을 편광시키는 제2편광판(324)을 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 반사방식의 테스트모듈(32)이 적용되기 위해서 지지플레이트(31)의 표면에 반사물질이 코팅된다. 이러한 구성에 따르면, 광원(321)으로부터 출사된 광은 제1편광판(323)에 의하여 편광된 후 하프프리즘(322)에 의하여 경로가 변경된 후 모듈레이터(120) 및 글라스패널(P)을 통과한다. 그리고, 모듈레이터(120) 및 글라스패널(P)을 통과한 광은 지지플레이트(31)에 반사된 후 다시 모듈레이터(120) 및 글라스패널(P)을 통과하며, 모듈레이터(120)를 통과한 광은 제2편광판(324)에 의하여 편광된 후 촬상유닛(100)으로 입사된다.First, as shown in FIG. 2, the reflective test module 32 includes a light source 321, a first polarizing plate 323 for polarizing light emitted from the light source 321, and a first polarizing plate 323. Half prism 322 for adjusting the direction of the light polarized by the light toward the support plate 31 and the glass panel P on the upper side of the glass panel P mounted on the support plate 31. A second polarizing plate disposed between the modulator 120, the imaging unit 100 for imaging the modulator 120, and the polarizer light polarized between the modulator 120 and the imaging unit 100 to pass through the modulator 120. And 324. In order to apply the reflective test module 32, a reflective material is coated on the surface of the support plate 31. According to this configuration, the light emitted from the light source 321 passes through the modulator 120 and the glass panel P after the path is changed by the half prism 322 after being polarized by the first polarizing plate 323. The light passing through the modulator 120 and the glass panel P is reflected by the support plate 31, and then passes through the modulator 120 and the glass panel P. The light passing through the modulator 120 is Polarized light is incident on the imaging unit 100 after being polarized by the second polarizing plate 324.

또한, 도 3에 도시된 바와 같이, 투과방식의 테스트모듈(32)은, 지지플레이트(31)상에 탑재된 글라스패널(P)의 상측에서 글라스패널(P)에 대향하도록 배치되는 모듈레이터(120)와, 지지플레이트(31)의 하측에 위치되는 광원(321)과, 모듈레이터(120)를 촬상하는 촬상유닛(100)과, 지지플레이트(31)와 광원(321) 사이에 구비되어 광원(321)으로부터 출사되는 광을 편광시키는 제1편광판(323)과, 모듈레이터(120)와 촬상유닛(100) 사이에 구비되어 모듈레이터(120)를 통과한 광을 편광시키는 제2편광판(324)을 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 투과방식의 테스트모듈(32)이 적용되기 위해서 지지플레이트(31)는 광이 투과할 수 있는 재질로 형성된다. 이러한 구성에 따르면, 광원(321)으로부터 출사된 광은 제1편광판(323)에 의하여 편광된 후 지지플레이트(31), 글라스패널(P) 및 모듈레이터(120)를 통과하고, 모듈레이터(120)를 통과한 광은 제2편광판(324)에 의하여 편광된 후 촬상유닛(100)으로 입사된다.In addition, as illustrated in FIG. 3, the transmissive test module 32 is disposed above the glass panel P mounted on the support plate 31 so as to face the glass panel P. ), A light source 321 positioned below the support plate 31, an imaging unit 100 for imaging the modulator 120, and a support light source 321 provided between the support plate 31 and the light source 321. A first polarizing plate 323 for polarizing the light emitted from the second polarizer 323, and a second polarizing plate 324 provided between the modulator 120 and the imaging unit 100 to polarize the light passing through the modulator 120. Can be configured. In order to apply the transmission module 32 of the transmission method, the support plate 31 is formed of a material that can transmit light. According to this configuration, the light emitted from the light source 321 is polarized by the first polarizing plate 323 and then passes through the support plate 31, the glass panel P and the modulator 120, and passes through the modulator 120. The passed light is polarized by the second polarizing plate 324 and then incident to the imaging unit 100.

여기에서, 제1편광판(323) 및 제2편광판(324)은 모듈레이터(120)를 통과한 광을 촬상유닛(100)으로 촬상하여 분석할 수 있도록 광을 일정한 방향으로 배열해주는 역할을 수행한다.Here, the first polarizing plate 323 and the second polarizing plate 324 serves to arrange the light in a predetermined direction so that the light passing through the modulator 120 can be picked up and analyzed by the imaging unit 100.

모듈레이터(120)는, 광이 투과할 수 있는 재질로 이루어지는 제1기판(121) 및 제2기판(122)과, 제1기판(121) 및 제2기판(122)의 사이에 구비되는 전광물질층(123)과, 제1기판(121) 및 제2기판(122)에 서로 마주보도록 형성되는 제1배향막(124) 및 제2배향막(125)과, 제1기판(121)에 구비되는 모듈레이터전극층(126)을 포함하여 구성될 수 있다.The modulator 120 is an electroluminescent material provided between the first substrate 121 and the second substrate 122 and the first substrate 121 and the second substrate 122 made of a material that can transmit light. The modulator provided in the first alignment layer 124 and the second alignment layer 125 and the first substrate 121 formed to face each other on the layer 123, the first substrate 121, and the second substrate 122. It may be configured to include an electrode layer 126.

전광물질층(123)은 글라스패널(P)상의 전극과 모듈레이터(120)의 모듈레이터전극층(126)으로 전기신호가 인가될 때 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에서 발생되는 전기장에 의하여 특정의 물성이 변경되는 물질로 이루어질 수 있는데, 예를 들면, 전광물질층(123)은 전기장의 크기에 따라 광량을 변화시키는 액정(LC, liquid crystal)으로 이루어질 수 있다. 또한, 전광물질층(122)은 전기장의 크기에 따라 일정한 방향으로 배열되는 특성을 가지는 물질로 이루어져 이에 입사하는 광을 편광시키는 고분자 분산형 액정표시소자(PDLC, polymer dispersed liquid crystal)로 이루어질 수 있다.The all material layer 123 is specified by an electric field generated between the glass panel P and the modulator 120 when an electric signal is applied to the electrode on the glass panel P and the modulator electrode layer 126 of the modulator 120. It may be made of a material that changes the physical properties of, for example, the electro-optical layer 123 may be made of a liquid crystal (LC) that changes the amount of light according to the size of the electric field. In addition, the all-optical layer 122 may be made of a polymer dispersed liquid crystal (PDLC) that is made of a material having a characteristic of being arranged in a predetermined direction according to the size of an electric field and polarizes light incident thereto. .

이와 같은 구성에 따르면, 글라스패널(P)상의 전극과 모듈레이터(120)의 모듈레이터전극층(126)으로 전기신호가 인가될 때 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에는 전기장이 발생되는데, 이러한 전기장에 의하여 전광물질층(123)을 이루는 전광물질의 특성이 변경되며, 이에 따라, 모듈레이터(120)를 통과하는 광의 광량이 변경된다. 이때, 촬상유닛(100)을 이용하여 모듈레이터(120)를 촬상하고 촬상유닛(100)으로 촬상한 이미지로부터 광의 광량을 분석하면 글라스패널(P)과 모듈레이터(120) 사이에서 발생되는 전기장의 크기를 검출할 수 있다. 글라스패널(P)에 결함이 있는 경우에는 모듈레이터(120)와 글라스패널(P) 사이에 전기장이 형성되지 않거나 정상적인 경우에 비하여 작은 크기의 전기장이 형성되는데, 이에 따라, 검출된 전기장의 크기를 이용하여 글라스패널(P)의 결함여부를 측정할 수 있다.According to such a configuration, an electric field is generated between the glass panel P and the modulator 120 when an electric signal is applied to the electrode on the glass panel P and the modulator electrode layer 126 of the modulator 120. As a result, the characteristics of the all materials forming the all materials layer 123 are changed, and thus, the amount of light passing through the modulator 120 is changed. In this case, when the image of the modulator 120 is captured using the imaging unit 100 and the amount of light is analyzed from the image captured by the imaging unit 100, the magnitude of the electric field generated between the glass panel P and the modulator 120 may be determined. Can be detected. When the glass panel P is defective, an electric field is not formed between the modulator 120 and the glass panel P or a smaller electric field is formed as compared with the normal case. Accordingly, the detected electric field is used. The defect of the glass panel P can be measured.

제1배향막(124) 및 제2배향막(125)은 전광물질층(123) 내의 액정분자나 고분자 물질과 같은 전광물질을 일정한 방향으로 배향시키는 역할을 수행한다. 제1배향막(124) 및 제2배향막(125)은 소정의 배향방향을 가지도록 도포될 수 있다. 예를 들면, 제1배향막(124) 및 제2배향막(125)의 배향방향과 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)로 로딩되는 방향(Y축방향)이 이루는 각도가 45도가 될 수 있다.The first alignment layer 124 and the second alignment layer 125 serve to orient an electroluminescent material such as liquid crystal molecules or a polymer material in a predetermined direction in the electroluminescent layer 123. The first alignment layer 124 and the second alignment layer 125 may be coated to have a predetermined alignment direction. For example, the angle between the alignment direction of the first alignment layer 124 and the second alignment layer 125 and the direction in which the glass panel P is loaded into the support plate 31 (the Y-axis direction) may be 45 degrees. .

도 4에 도시된 바와 같이, 지지플레이트(31)는, 중앙에 배치되며 글라스패널(P)의 검사대상에 해당하는 피검사영역이 부착되는 테스트부(311)와, 테스트부(311)의 양측에 배치되고 복수의 공기흡입홀(312)이 형성되며 글라스패널(P)의 피검사영역의 양측의 흡착영역이 흡착되는 흡착부(313)를 포함하여 구성될 수 있다.As shown in FIG. 4, the support plate 31 is disposed at the center thereof, and includes a test unit 311 and a test unit 311 to which an inspection target area corresponding to an inspection target of the glass panel P is attached, and both sides of the test unit 311. It may be configured to include a suction unit 313 is disposed in the plurality of air suction holes 312 is formed in the suction area of both sides of the inspection target area of the glass panel (P).

테스트부(311)는 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)로 로딩되는 방향(Y축방향)에 수평으로 직교하는 방향(X축방향)을 따라 길게 연장되게 형성될 수 있다. 테스트부(311)는 평면으로 형성될 수 있다. 흡착부(313)는 테스트부(311)의 양측에서 테스트부(311)가 연장되는 방향(X축방향)을 따라 길게 형성될 수 있다. 복수의 공기흡입홀(312)은 공기를 흡입하는 공기흡입장치(미도시)와 연결되며, 공기흡입장치가 동작하는 경우 복수의 공기흡입홀(312)에는 부압이 작용된다.The test unit 311 may be formed to extend in a direction (X-axis direction) that is orthogonal to the horizontal direction orthogonal to the direction (Y-axis direction) in which the glass panel P is loaded onto the support plate 31. The test unit 311 may be formed in a plane. The adsorption part 313 may be formed long along the direction (X-axis direction) in which the test part 311 extends from both sides of the test part 311. The plurality of air suction holes 312 are connected to an air suction device (not shown) for sucking air, and a negative pressure is applied to the plurality of air suction holes 312 when the air suction device is operated.

한편, 지지플레이트(31)의 다른 예로서, 도 5에 도시된 바와 같이, 공기흡입홀(312)의 주위에는 공기흡입홀(312)과 연통되며 지지플레이트(31)의 상측으로 개방되는 공기흡입안내홈(314)이 형성될 수 있다. 공기흡입안내홈(314)의 길이 및 폭은 글라스패널(P)이 흡착되는 흡착부(313)의 면적에 대응되도록 형성될 수 있다. 이러한 공기흡입안내홈(314)이 형성되는 경우에는 글라스패널(P)의 흡착을 위한 부압이 작용하는 면적이 증가되므로, 글라스패널(P)을 안정적으로 흡착시킬 수 있다.Meanwhile, as another example of the support plate 31, as shown in FIG. 5, the air suction hole 312 communicates with the air suction hole 312 around the air suction hole 312 and is opened to the upper side of the support plate 31. Guide groove 314 may be formed. The length and width of the air suction guide groove 314 may be formed to correspond to the area of the adsorption portion 313 to which the glass panel P is adsorbed. In the case where the air suction guide groove 314 is formed, the area in which the negative pressure for the adsorption of the glass panel P acts increases, so that the glass panel P can be stably adsorbed.

테스트부(311)에는 글라스패널(P)에 대향하는 일면에서 복수의 공기흡입홀(312) 중 적어도 하나의 공기흡입홀(312)과 연통되는 복수의 흡착홈(315)이 형성될 수 있다. 흡착홈(315)은 테스트부(311)에 글라스패널(P)의 피검사영역이 부착될 때 글라스패널(P)과 테스트부(311) 사이에 존재하는 공기가 공기흡입홀(312)을 통하여 배출되는 통로로서의 역할을 한다.The test unit 311 may be provided with a plurality of suction grooves 315 communicating with at least one air suction hole 312 of the plurality of air suction holes 312 on one surface facing the glass panel P. The suction groove 315 has air existing between the glass panel P and the test unit 311 when the inspection region of the glass panel P is attached to the test unit 311 through the air suction hole 312. It serves as a discharge passage.

흡착홈(315)은 직선형으로 길게 연장되는 형상으로 형성될 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 흡착홈(315) 중 일부의 흡착홈(315)은 그 양단이 모두 공기흡입홀(312)과 연통될 수 있으며, 다른 일부의 흡착홈(315)은 그 양단 중 일단만이 공기흡입홀(312)과 연통될 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 공기흡입홀(312)의 주위에 공기흡입안내홈(314)이 형성되는 경우에는, 흡착홈(315)은 공기흡입안내홈(314)을 통하여 공기흡입홀(312)과 연통될 수 있다.Adsorption groove 315 may be formed in a shape extending in a straight line. As shown in FIG. 4, both of the suction grooves 315 of the plurality of suction grooves 315 may communicate with both air suction holes 312, and the other suction grooves 315 may be connected thereto. Only one end of both ends may be in communication with the air suction hole (312). As shown in FIG. 5, when the air suction guide groove 314 is formed around the air suction hole 312, the suction groove 315 is an air suction hole 312 through the air suction guide groove 314. ) Can be communicated with.

또한, 흡착홈(315)은 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)로 로딩되는 방향(Y축방향)에 대하여 소정의 각도로 경사진 직선형의 형상으로 형성될 수 있다. 즉, 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)로 로딩되는 방향(Y축방향)과 흡착홈(315)이 연장되는 방향(도 4 및 도 5에서의 E축방향)은 소정의 각도(A)를 이룰 수 있다.In addition, the suction groove 315 may be formed in a linear shape inclined at a predetermined angle with respect to the direction (Y-axis direction) in which the glass panel P is loaded onto the support plate 31. That is, the direction in which the glass panel P is loaded into the support plate 31 (the Y-axis direction) and the direction in which the suction groove 315 extends (the E-axis direction in FIGS. 4 and 5) have a predetermined angle (A). ) Can be achieved.

이때, 흡착홈(315)의 형성에 의하여 지지플레이트(31)에 반사되거나 투과된 광이 왜곡되는 현상을 방지하기 위하여, 흡착홈(315)이 연장되는 방향(E축방향)은, 제1배향막(124) 및 제2배향막(125)의 배향방향과 동일하게 설정되는 바람직하다. 즉, 흡착홈(315)이 연장되는 방향(E축방향)과 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)로 로딩되는 방향(Y축방향)이 이루는 각도(A)는 제1배향막(124) 및 제2배향막(125)의 배향방향과 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)로 로딩되는 방향(Y축방향)이 이루는 각도와 동일하게 설정되는 것이 바람직하다. 제1배향막(124) 및 제2배향막(125)의 배향방향과 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)로 로딩되는 방향(Y축방향)이 이루는 각도가 45도가 되는 경우, 흡착홈(315)이 연장되는 방향(E축방향)과 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)로 로딩되는 방향(Y축방향)이 이루는 각도(A)는 45도가 될 수 있다.At this time, in order to prevent a phenomenon in which the light reflected or transmitted to the support plate 31 is distorted by the formation of the adsorption groove 315, the direction in which the adsorption groove 315 extends (the E-axis direction) is the first alignment film. 124 and the second alignment film 125 are preferably set in the same direction. That is, the angle A between the direction in which the adsorption groove 315 extends (the E-axis direction) and the direction in which the glass panel P is loaded into the support plate 31 (the Y-axis direction) is formed in the first alignment layer 124. And an angle formed between the alignment direction of the second alignment layer 125 and the direction in which the glass panel P is loaded into the support plate 31 (the Y-axis direction). When the angle between the alignment direction of the first alignment layer 124 and the second alignment layer 125 and the direction in which the glass panel P is loaded into the support plate 31 (Y-axis direction) becomes 45 degrees, the adsorption groove 315 The angle A between the extending direction (E-axis direction) and the direction in which the glass panel P is loaded into the support plate 31 (the Y-axis direction) may be 45 degrees.

또한, 광의 편광손실을 최소화할 수 있도록 흡착홈(315)이 연장되는 방향(E축방향)은 제1편광판(323) 및 제2편광판(324)에 의한 광의 편광방향과 동일하게 설정되는 바람직하다. 이때, 흡착홈(315)이 연장되는 방향(E축방향), 제1배향막(124) 및 제2배향막(125)의 배향방향, 제1편광판(323) 및 제2편광판(324)에 의한 광의 편광방향이 모두 동일한 경우에는 흡착홈(315)의 형성에 따른 광의 왜곡을 방지할 수 있으면서, 광의 편광손실을 최소화할 수 있다.In addition, the direction in which the adsorption groove 315 extends (the E-axis direction) may be set to be the same as the polarization direction of the light by the first polarizing plate 323 and the second polarizing plate 324 so as to minimize the polarization loss of the light. . At this time, the direction in which the adsorption groove 315 extends (in the E-axis direction), the alignment direction of the first alignment layer 124 and the second alignment layer 125, and the light of the first polarizing plate 323 and the second polarizing plate 324. When the polarization directions are the same, the distortion of the light due to the formation of the adsorption groove 315 can be prevented and the polarization loss of the light can be minimized.

도 6에 도시된 바와 같이, 흡착홈(315)을 지지플레이트(31)에 용이하게 가공할 수 있도록 흡착홈(315)은 소정의 곡률반경을 가지는 반원형으로 형성되는 것이 바람직하다. 흡착홈(315)은 폭(W)이 6mm가 되고, 깊이(D)가 0.15mm가 되며, 곡률반경(R)이 30mm가 되는 것이, 글라스패널(P)과 테스트부(311) 사이에 공기층이 존재하는 것을 방지하면서, 가공을 용이하게 하는 데에 있어 바람직하다.As shown in FIG. 6, the adsorption groove 315 is preferably formed in a semicircle having a predetermined radius of curvature so that the adsorption groove 315 can be easily processed on the support plate 31. The suction groove 315 has a width W of 6 mm, a depth D of 0.15 mm, and a radius of curvature R of 30 mm. An air layer between the glass panel P and the test part 311 is provided. It is preferable in order to make process easy, preventing this existence.

특히, 흡착홈(315)의 곡률반경(R)은 20mm ~ 40mm의 범위 내에서 설정되는 것이 바람직하다. 실제 테스트 결과에 따르면, 흡착홈(315)의 곡률반경(R)이 20mm 보다 작은 경우에는 흡착홈(315)의 가공이 어렵다는 문제점이 있었으며, 흡착홈(315)의 곡률반경(R)이 40mm 보다 큰 경우에는, 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)상에 흡착될 때, 글라스패널(P)이 흡착홈(315)의 내부로 구부러지면서 글라스패널(P)의 상측면의 높이가 균일하지 않게 되거나 글라스패널(P)의 하측면이 손상되는 문제가 발생하였다.In particular, the radius of curvature R of the suction groove 315 is preferably set within the range of 20mm ~ 40mm. According to the actual test results, when the radius of curvature R of the suction groove 315 is smaller than 20mm, there was a problem that the processing of the suction groove 315 is difficult, the radius of curvature R of the suction groove 315 is more than 40mm In a large case, when the glass panel P is adsorbed on the support plate 31, the glass panel P is bent into the suction groove 315 and the height of the upper side of the glass panel P is not uniform. There was a problem that the lower side of the glass panel (P) is not damaged.

또한, 흡착홈(315)의 깊이(D)는 0.10mm 이상이 되는 것이 바람직하며, 실제 테스트 결과에 따르면, 흡착홈(315)의 깊이(D)가 0.10mm ~ 0.20mm의 범위 내에서 설정되는 것이 글라스패널(P)과 테스트부(311) 사이에 존재하는 공기를 흡착홈(315)을 통하여 배출시키는 데에 유리함을 알 수 있었다. 흡착홈(315)의 깊이(D)가 0.10mm 보다 작은 경우에는 흡착홈(315)을 통한 공기의 배출성능이 저하됨을 알 수 있었다.In addition, the depth D of the suction groove 315 is preferably at least 0.10 mm, and according to the actual test result, the depth D of the suction groove 315 is set within the range of 0.10 mm to 0.20 mm. It can be seen that it is advantageous to discharge the air existing between the glass panel P and the test unit 311 through the adsorption groove 315. When the depth D of the suction groove 315 is smaller than 0.10 mm, it was found that the discharge performance of the air through the suction groove 315 is reduced.

이와 같은 구성에 의하여, 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)상에 위치된 상태에서, 공기흡입장치의 동작에 의하여 공기흡입홀(312)에 부압이 작용되면, 글라스패널(P)의 흡착영역이 흡착부(313)에 흡착되는 것에 의하여 글라스패널(P)의 피검사영역이 테스트부(311)에 부착된다. 이때, 테스트부(311)의 흡착홈(315)에도 부압이 작용하게 되는데, 이에 따라, 글라스패널(P)의 피검사영역과 테스트부(311) 사이에 존재하는 공기는 흡착홈(315)에 안내되어 공기흡입홀(312)쪽으로 배출된다. 따라서, 글라스패널(P)의 피검사영역과 테스트부(311) 사이에 공기층이 형성되는 것이 방지될 수 있다. 또한, 글라스패널(P)은 공기흡입홀(312)에 작용하는 부압에 의하여 흡착부(313)에 흡착될 뿐만 아니라 흡착홈(315)에 작용하는 부압에 의하여 테스트부(311)에도 흡착될 수 있다.By such a configuration, when the negative pressure is applied to the air suction hole 312 by the operation of the air suction device in the state where the glass panel P is located on the support plate 31, the adsorption of the glass panel P occurs. The area to be inspected of the glass panel P is attached to the test part 311 by the area being adsorbed by the adsorption part 313. At this time, the negative pressure also acts on the adsorption groove 315 of the test unit 311, so that the air existing between the area under test of the glass panel P and the test unit 311 is applied to the adsorption groove 315. It is guided and discharged toward the air suction hole 312. Therefore, it is possible to prevent the formation of an air layer between the region under test of the glass panel P and the test unit 311. In addition, the glass panel P may not only be adsorbed to the adsorption unit 313 by the negative pressure acting on the air suction hole 312 but also may be adsorbed to the test unit 311 by the negative pressure acting on the adsorption groove 315. have.

본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널(P)의 피검사영역이 부착되는 테스트부(311)에 공기흡입홀(312)과 연통되는 흡착홈(315)을 형성함으로써, 글라스패널(P)이 지지플레이트(31)에 흡착되는 과정에서, 글라스패널(P)의 피검사영역과 지지플레이트(31)의 테스트부(311) 사이에 존재하는 공기를 흡착홈(315)을 통하여 배출시킬 수 있다. 따라서, 글라스패널(P)과 지지플레이트(31) 사이에 공기층이 존재하는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라, 글라스패널(P)의 상면의 높이를 전체적으로 균일하게 하여 글라스패널(P)에 대한 검사를 정확하게 수행할 있는 효과가 있다.In the array test apparatus according to the present invention, the glass panel P is formed by forming an adsorption groove 315 in communication with the air suction hole 312 in the test unit 311 to which the inspected region of the glass panel P is attached. In the process of being adsorbed by the support plate 31, air existing between the region under test of the glass panel P and the test unit 311 of the support plate 31 may be discharged through the adsorption groove 315. . Therefore, the presence of an air layer between the glass panel P and the support plate 31 can be prevented, and accordingly, the height of the upper surface of the glass panel P is made uniform so as to inspect the glass panel P. This has the effect of doing exactly that.

또한, 본 발명에 따른 어레이 테스트 장치는, 글라스패널(P)을 공기흡입홀(312)이 형성되는 흡착부(313)에 흡착시킬 수 있을 뿐만 아니라 흡착홈(315)이 형성되는 테스트부(311)에도 흡착시킬 수 있으므로, 글라스패널(P)을 지지플레이트(31)에 더욱 견고하게 지지시킬 수 있고, 이에 따라, 글라스패널(P)에 대한 검사를 보다 정확하게 수행할 있는 효과가 있다.In addition, the array test apparatus according to the present invention may not only adsorb the glass panel P to the adsorption part 313 in which the air suction hole 312 is formed, but also the test part 311 in which the adsorption groove 315 is formed. ), The glass panel (P) can be more firmly supported on the support plate (31), and thus, the glass panel (P) can be inspected more accurately.

본 발명의 실시예에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며 서로 조합되어 실시될 수 있다.The technical ideas described in the embodiments of the present invention may be implemented independently or in combination with each other.

31: 지지플레이트 32: 테스트모듈
311: 테스트부 312: 공기흡입홀
313: 흡착부 315: 흡착홈31: support plate 32: test module
311: test unit 312: air suction hole
313: adsorption unit 315: adsorption groove

Claims (5)

글라스패널의 피검사영역이 부착되는 테스트부가 구비되며 상기 테스트부의 양측에 복수의 공기흡입홀이 형성되는 지지플레이트를 포함하고,
상기 글라스패널에 대향하는 상기 지지플레이트의 테스트부의 일면에는 상기 복수의 공기흡입홀 중 적어도 하나의 공기흡입홀과 연통되는 복수의 흡착홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.A test unit is provided to which the inspection region of the glass panel is attached, and includes a support plate having a plurality of air suction holes formed at both sides of the test unit.
And a plurality of suction grooves formed on one surface of the test unit of the support plate facing the glass panel to communicate with at least one air suction hole of the plurality of air suction holes. 제1항에 있어서,
제1기판 및 제2기판의 사이에 구비되는 전광물질층과, 상기 제1기판 및 상기 제2기판에 서로 마주보도록 형성되는 제1배향막 및 제2배향막과, 상기 제1기판에 구비되는 모듈레이터전극층으로 구성되는 모듈레이터를 포함하고,
상기 지지플레이트의 흡착홈이 연장되는 방향과 상기 모듈레이터의 제1배향막 및 제2배향막의 배향방향은 서로 동일한 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method of claim 1,
An electroluminescent layer provided between the first substrate and the second substrate, a first alignment layer and a second alignment layer formed to face each other on the first substrate and the second substrate, and a modulator electrode layer provided on the first substrate. Including a modulator composed of
And a direction in which the adsorption groove of the support plate extends and an alignment direction of the first alignment layer and the second alignment layer of the modulator are the same. 제2항에 있어서,
상기 모듈레이터를 향하여 광을 발광하는 광원; 및
상기 광원과 상기 모듈레이터의 사이에 설치되어 상기 광원으로부터 출사되는 광을 편광시키는 편광판을 포함하고,
상기 지지플레이트의 흡착홈이 연장되는 방향과 상기 편광판에 의한 광의 편광방향은 서로 동일한 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.The method of claim 2,
A light source emitting light toward the modulator; And
A polarizing plate disposed between the light source and the modulator to polarize light emitted from the light source,
And the direction in which the adsorption groove of the support plate extends and the polarization direction of the light by the polarizing plate are the same. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 흡착홈의 곡률반경은 20mm ~ 40mm의 범위 내인 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The radius of curvature of the adsorption groove is an array test device, characterized in that in the range of 20mm ~ 40mm. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 흡착홈의 깊이는 0.10mm ~ 0.20mm의 범위 내인 것을 특징으로 하는 어레이 테스트 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The depth of the suction groove array test apparatus, characterized in that in the range of 0.10mm ~ 0.20mm.
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