KR100873360B1 - 위치조정수단이 구비된 인서트장치 - Google Patents
위치조정수단이 구비된 인서트장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100873360B1 KR100873360B1 KR1020070022781A KR20070022781A KR100873360B1 KR 100873360 B1 KR100873360 B1 KR 100873360B1 KR 1020070022781 A KR1020070022781 A KR 1020070022781A KR 20070022781 A KR20070022781 A KR 20070022781A KR 100873360 B1 KR100873360 B1 KR 100873360B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- semiconductor device
- pressing
- position adjusting
- insert
- fixing
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 73
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 34
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 10
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 7
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 241000838698 Togo Species 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
- G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2889—Interfaces, e.g. between probe and tester
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
Description
Claims (6)
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 시험장비의 복수개의 프로브 단자들에 대응되는 위치에 복수개의 전극들이 구비된 반도체소자(50)를 위치시키는 위치조정수단을 구비한 인서트장치에 있어서,반도체소자(50)를 장착하기 위한 중앙개구부(12)를 가지며, 시험장비를 통한 상기 반도체소자(50)의 시험진행시에 상기 중앙개구부(12)를 통해 장착된 반도체소자(50)를 측면에서 밀어 위치를 조정하도록 상기 중앙개구부(12)의 일측면에 회동가능하게 설치된 위치조정수단을 포함하여 이루어지며,상기 중앙개구부(12)에서 대향하는 상하좌우측면(16-1, 16-2, 16-3, 16-4)의 상하측면(16-1, 16-2)에 설치된 각각 반도체소자(50)의 장착시 홀딩장치(300)의 푸쉬부재(310)에 눌려 회동되어 반도체소자가 장착된 후 다시 원위치로 복귀되면서 상기 반도체소자(50)를 고정시키는 회동수단(23, 26)이 각각 구비된 고정수단(22, 24)을 더 포함하여 이루어지며,상기 위치조정수단은 누름수단(32)과 위치조정 회동수단(34)을 포함하여 이루어지며, 상기 누름수단(32)은 상기 중앙개구부(12)의 일측면에 형성된 일자형 개구부(13)에 상하이동가능하게 장착되며, 상기 위치조정 회동수단(34)은 상기 누름수단(32)의 하방에 회동가능하게 장착되어 상기 누름수단(32)의 상하이동에 따라 상하이동방향에 수직하게 측면이동되어 상기 안착된 반도체소자(50)의 측면을 밀어 반도체소자의 위치를 조정하는 것을 특징으로 하는 위치조정수단을 구비한 인서트장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 고정수단(24)은 상기 인서트장치(100)의 몸체(10)의 하측면에 형성된 안내개구부(14)를 따라 상하이동가능하게 장착되며, 상면부에서 단턱을 이루며 연장형성되고 안내개구부(14)의 형상과 대응되는 형상을 가지는 돌출부를 더 포함하되,상기 돌출부(24a, 24b)의 하단에는 래치부재(24a-1, 24b-1)가 각각 돌출형성되어 압축스프링부재(27a, 27b)가 삽입고정되며, 상기 고정수단(24)의 상면부에서 상기 안내개구부(14) 내측을 향해 수직한 방향으로는 'ㄷ'자형 돌출부(25a, 25b)가 돌출형성되어있고,상기 회동수단(26)은 관통공(26a-1)이 형성된 장방형고정부(26a)와, 상기 장방향고정부(26a)의 상측면으로부터 연장돌출형성되며 하측면으로부터 곡선형태로 연장형성되고 관통형성된 곡선형장공(26-1)을 가진 돌출고정부(26b)를 포함하며,상기 관통공(26a-1)에는 일정길이의 고정봉(26c)이 관통되며, 관통된 고정봉(26c)의 양단은 상기 측면개구부(15)의 양측면에 고정되며,상기 회동수단(26)은 상기 고정수단(24)의 'ㄷ'자형 돌출부(25a, 25b)사이에 개재되며 상기 회동수단(26)의 곡선형장공(26-1)을 관통한 고정봉(28)의 양단이 상기 'ㄷ'자형 돌출부(25a, 25b)사이에 대응하는 측면내에 삽입고정되며,상기 고정수단(22)은 상기 인서트장치(100)의 몸체(10)의 상측면에 형성된 안내개구부를 따라 상하이동가능하게 장착된 것을 특징으로 하는 위치조정수단을 구비한 인서트장치.
- 제 4 항에 있어서,상기 위치조정수단은 누름수단(32)과 위치조정 회동수단(34)을 포함하여 이루어지며,상기 누름수단(32)은 상기 인서트장치의 일자형 개구부(13)내에 삽입되도록 단차부(32a, 32b)가 형성된 'ㄷ'자형 돌출부(33a, 33b)를 구비하며,상기 위치조정 회동수단(34)은 측면에서 보면 전체적으로 'ㄱ'자형인 몸체로 이루어지고, 상기 'ㄱ'자형 몸체의 폭의 두께는 상기 'ㄷ'자형 돌출부(33a, 33b)의 사이 간격보다 약간 작게 형성되어 상기 'ㄷ'자형 돌출부(33a, 33b) 사이에 회동가능하도록 설치된 것을 특징으로 하며,상기 'ㄱ'자형 몸체의 일단부는 관통공(34-3)이 형성된 일측돌출부(34b)이고, 'ㄱ'자형 몸체부의 타단부에는 곡선형장공(34-1)과 소정길이만큼 내측으로 절개되어 형성된 절개부(34-2)가 구비되며, 상기 절개부(34-2)가 구비된 상기 'ㄱ'자형 몸체부의 타단부에는 그 표면이 탄성을 가진 탄성표면부(34a)가 형성되며, 상기 누름수단(32)이 수직하방으로 이동됨에 따라 상기 위치조정 회동수단(34)의 상기 탄성표면부의 단부표면(34a-1)이 상기 누름수단(32)의 누름방향에 수직하게 측면방향으로 이동되어 반도체소자(50)의 측면을 누르면서 반도체소자(50)의 위치를 조정하는 것을 특징으로 하는 위치조정수단을 구비한 인서트장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070022781A KR100873360B1 (ko) | 2007-03-08 | 2007-03-08 | 위치조정수단이 구비된 인서트장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070022781A KR100873360B1 (ko) | 2007-03-08 | 2007-03-08 | 위치조정수단이 구비된 인서트장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20080082228A KR20080082228A (ko) | 2008-09-11 |
KR100873360B1 true KR100873360B1 (ko) | 2008-12-10 |
Family
ID=40021647
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020070022781A KR100873360B1 (ko) | 2007-03-08 | 2007-03-08 | 위치조정수단이 구비된 인서트장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100873360B1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101069741B1 (ko) * | 2009-03-18 | 2011-10-04 | 에버테크노 주식회사 | 테스트 핸들러의 캐리어 모듈 |
KR101123080B1 (ko) * | 2009-03-18 | 2012-03-15 | 에버테크노 주식회사 | 테스트 핸들러의 캐리어 모듈 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001110537A (ja) | 1999-10-06 | 2001-04-20 | Texas Instr Japan Ltd | ソケット |
JP2003187937A (ja) | 2001-12-17 | 2003-07-04 | Texas Instr Japan Ltd | 半導体装置用ソケットおよび半導体装置のソケットへの取付け方法 |
KR20040076391A (ko) * | 2003-02-25 | 2004-09-01 | 삼성전자주식회사 | 칩 스케일 패키지(csp)용 인서트 |
KR20070045816A (ko) * | 2005-10-28 | 2007-05-02 | 삼성전자주식회사 | 얼라이너를 갖는 반도체 소자용 테스트 소켓 |
-
2007
- 2007-03-08 KR KR1020070022781A patent/KR100873360B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001110537A (ja) | 1999-10-06 | 2001-04-20 | Texas Instr Japan Ltd | ソケット |
JP2003187937A (ja) | 2001-12-17 | 2003-07-04 | Texas Instr Japan Ltd | 半導体装置用ソケットおよび半導体装置のソケットへの取付け方法 |
KR20040076391A (ko) * | 2003-02-25 | 2004-09-01 | 삼성전자주식회사 | 칩 스케일 패키지(csp)용 인서트 |
KR20070045816A (ko) * | 2005-10-28 | 2007-05-02 | 삼성전자주식회사 | 얼라이너를 갖는 반도체 소자용 테스트 소켓 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101069741B1 (ko) * | 2009-03-18 | 2011-10-04 | 에버테크노 주식회사 | 테스트 핸들러의 캐리어 모듈 |
KR101123080B1 (ko) * | 2009-03-18 | 2012-03-15 | 에버테크노 주식회사 | 테스트 핸들러의 캐리어 모듈 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20080082228A (ko) | 2008-09-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100613168B1 (ko) | 반도체소자 테스트용 인서트 블럭 | |
US4541676A (en) | Chip carrier test adapter | |
US7108535B1 (en) | Integrated circuit test socket | |
US6217341B1 (en) | Integrated circuit test socket having torsion wire contacts | |
CN108885227B (zh) | 测试座单元 | |
JP2001522523A (ja) | フレキシブルコネクタシート上に集積回路を配置するソケット | |
JP5095964B2 (ja) | ソケット用アタッチメント及びそれを有する半導体デバイス試験装置 | |
US6283780B1 (en) | Test socket lattice | |
KR100873360B1 (ko) | 위치조정수단이 구비된 인서트장치 | |
KR20070045816A (ko) | 얼라이너를 갖는 반도체 소자용 테스트 소켓 | |
KR20010013205A (ko) | 테스트용 소켓의 격자 배열 | |
KR101509485B1 (ko) | 반도체 패키지용 플로팅 인서트 | |
KR101333874B1 (ko) | Ic 소자를 제거 가능하게 장착하기 위한 소켓 및 번인 소켓에 사용하기 위한 어댑터 기능을 갖는 일체형 슬라이더 | |
KR101077940B1 (ko) | 반도체 패키지 인서트 장치 | |
KR101593634B1 (ko) | 전기적 검사소켓 | |
US6267603B1 (en) | Burn-in test socket | |
KR20140057700A (ko) | 테스트핸들러용 인서트 | |
KR100496634B1 (ko) | 테스트 소켓 | |
JPH075228A (ja) | バーンインテスト用接触装置 | |
KR100466483B1 (ko) | 집적회로패키지용소켓장치 | |
KR101000735B1 (ko) | 반도체 칩 검사용 소켓 | |
KR200394112Y1 (ko) | 실리콘 콘택터를 이용한 반도체 테스트용 소켓 하우징 | |
KR20070062082A (ko) | 반도체 패키지 인서트와 테스트 소켓의 결합 구조 | |
JPH04155790A (ja) | ソケット | |
KR100563603B1 (ko) | 인서트 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20070308 |
|
PA0201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
PE0902 | Notice of grounds for rejection |
Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20080411 Patent event code: PE09021S01D |
|
PG1501 | Laying open of application | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
PE0701 | Decision of registration |
Patent event code: PE07011S01D Comment text: Decision to Grant Registration Patent event date: 20081128 |
|
GRNT | Written decision to grant | ||
PR0701 | Registration of establishment |
Comment text: Registration of Establishment Patent event date: 20081204 Patent event code: PR07011E01D |
|
PR1002 | Payment of registration fee |
Payment date: 20081205 End annual number: 3 Start annual number: 1 |
|
PG1601 | Publication of registration | ||
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20111201 Start annual number: 4 End annual number: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20120927 Year of fee payment: 5 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20120927 Start annual number: 5 End annual number: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131004 Year of fee payment: 6 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20131004 Start annual number: 6 End annual number: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141124 Year of fee payment: 7 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20141124 Start annual number: 7 End annual number: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150916 Year of fee payment: 8 |
|
PR1001 | Payment of annual fee |
Payment date: 20150916 Start annual number: 8 End annual number: 8 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee | ||
PC1903 | Unpaid annual fee |
Termination category: Default of registration fee Termination date: 20170914 |