KR100868398B1 - 컬러필터 제조방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 컬러필터 제조방법은, 투명기판(300) 상에 유기 블랙 포토레지스트층(304)을 형성하는 단계와, 상기 유기 블랙 포토레지스트층을 포토마스크를 이용해서 노광시키는 단계, 상기 투명기판 상에 유기 블랙 매트릭스(3041)를 형성하기 위해 상기 유기 블랙 포토레지스트층을 현상하는 단계, 상기 투명기판 상에 포지티브 포토레지스트층(306)을 형성함으로써 상기 유기 블랙 매트릭스를 상기 포지티브 포토레지스트층으로 덮는 단계, 상기 포지티브 포토레지스트층을 노광하도록 상기 포지티브 포토레지스트층으로부터 떨어져서 면하는 상기 투명기판의 표면을 조사하는 단계, 상기 유기 블랙 매트릭스 상에 복수의 뱅크(3061)를 형성하기 위해 상기 포지티브 포토레지스트층을 현상하는 단계, 잉크젯 장치를 이용해서 상기 뱅크와 상기 유기 블랙 매트릭스에 의해 정의된 공간으로 잉크를 주입하는 단계 및, 상기 잉크를 고화시키는 단계를 포함하고 있다.

Description

컬러필터 제조방법{METHOD FOR MANUFACTURING COLOR FILTER}
도 1은 컬러필터를 제조하기 위한 종래 방법의 플로우차트,
도 2는 컬러필터를 제조하기 위한 종래 방법의 이어지는 단계에서 투명기판 상의 금속재료층과 제1포토레지스트층의 도면,
도 3은 도 2와 유사하지만, 컬러필터를 제조하기 위한 종래 방법의 이어지는 단계에서 금속재료층 상에 형성된 패턴화된 포토레지스트층을 나타낸 도면,
도 4는 도 3과 유사하지만, 컬러필터를 제조하기 위한 종래 방법의 이어지는 단계에서 투명기판 상에 형성된 블랙 매트릭스를 나타낸 도면,
도 5는 도 4와 유사하지만, 컬러필터를 제조하기 위한 종래 방법의 이어지는 단계에서 블랙 매트릭스와 투명기판 상의 제2포토레지스트층을 나타낸 도면,
도 6은 도 5와 유사하지만, 컬러필터를 제조하기 위한 종래 방법의 이어지는 단계에서 블랙 매트릭스 상에 형성된 다수의 뱅크를 나타낸 도면,
도 7은 도 6과 유사하지만, 컬러필터를 제조하기 위한 종래 방법의 이어지는 단계에서 뱅크와 블랙 매트릭스에 의해 형성된 공간에 주입된 잉크-드롭을 나타낸 도면,
도 8은 도 7과 유사하지만, 컬러필터를 제조하기 위한 종래 방법의 이어지는 단계에서 뱅크와 블랙 매트릭스에 의해 정의된 공간에 수용된 잉크를 나타낸 도면,
도 9는 컬러필터를 제조하기 위한 종래 방법의 이어지는 단계에서 뱅크와 블랙 매트릭스에 의해 정의된 공간에 고화된 잉크를 나타낸 도면,
도 10은 제1실시예에 따른 컬러필터 제조방법의 플로우차트,
도 11은 제1실시예에 따른 컬러필터 제조방법의 단계에서 투명기판 상의 유기 블랙 매트릭스를 나타낸 도면,
도 12는 도 11과 유사하지만, 제1실시예에 따른 컬러필터 제조방법의 이어지는 단계에서 투명기판 상의 유기 블랙 매트릭스를 나타낸 도면,
도 13은 도 12와 유사하지만, 제1실시예에 따른 컬러필터 제조방법의 이어지는 단계에서 투명기판 상의 포지티브 포토레지스트층을 나타낸 도면,
도 14는 도 13과 유사하지만, 제1실시예에 따른 컬러필터 제조방법의 이어지는 단계에서 유기 블랙 매트릭스 상의 다수의 뱅크를 나타낸 도면,
도 15는 도 14와 유사하지만, 제1실시예에 따른 컬러필터 제조방법의 이어지는 단계에서 뱅크와 유기 블랙 매트릭스에 의해 정의된 공간에 고화된 컬러잉크를 나타낸 도면,
도 16은 제2실시예에 따른 컬러필터 제조방법의 플로우차트,
도 17은 제2실시예에 따른 컬러필터 제조방법의 단계에서 투명기판에 정의된 다수의 홈을 나타낸 도면,
도 18은 도 17과 유사하지만, 제2실시예의 이어지는 단계에 따른 컬러필터 제조방법에서 홈에 형성된 유기 블랙 매트릭스를 나타낸 도면,
도 19는 도 18과 유사하지만, 제2실시예에 따른 컬러필터 제조방법의 이어지는 단계에서 투명기판 상의 포지티브 포토레지스트층을 나타낸 도면,
도 20은 도 19와 유사하지만, 제2실시예에 따른 컬러필터 제조방법의 이어지는 단계에서 블랙 매트릭스 상의 다수의 뱅크를 나타낸 도면,
도 21은 도 20과 유사하지만, 제2실시예에 따른 컬러필터 제조방법의 이어지는 단계에서 뱅크와 유기 블랙 매트릭스에 의해 정의된 공간에 고화된 컬러잉크를 나타낸 도면,
도 22는 제3실시예에 따른 컬러필터 제조방법의 플로우차트이다.
본 발명은 컬러필터에 관한 것으로, 특히 컬러필터 제조방법에 관한 것이다.
현재, LCD(liquid crystal displays)는 경량, 박형, 저전력소모와 같은 우수한 특성으로 인해 노트북 PC, 모바일 폰, 데스크톱 모니터, 디지탈 카메라와 같은 다양한 분야에서 이용되고 있다. LCD는 컬러 이미지를 디스플레이하기 위한 컬러필터를 포함한다. 컬러 능력을 갖춘 장치에 대해, 각 픽셀은 전형적으로 적색, 녹색, 청색인 컬러필터 어레이의 컬러 영역에 따라 정렬된다. 디스플레이되는 이 미지에 따라, 하나 이상의 픽셀 전극에는 해당 픽셀과 관련된 컬러필터 영역을 통해 전송되어지는 전체 광(full light), 무광(no light), 또는 부분 광(partial light)을 허용하도록 디스플레이 동작 동안 전압이 가해진다. 사용자에 의해 감지된 이미지는 인접하는 컬러필터 영역을 통한 광의 전송에 의해 형성된 컬러의 혼합이다.
도 1은 컬러필터를 제조하기 위한 통상적인 잉크젯 방법의 플로우차트를 나타낸 것이다. 이러한 방법은 주로 투명기판 상에 금속재료층과 금속재료층 상에 제1포토레지스트층을 형성하는 단계와; 포토마스크를 이용해서 제1포토레지스트층을 노출시키는 단계; 패턴화된 포토레지스트 마스크를 형성하도록 제1포토레지스트층을 현상하는 단계; 블랙 매트릭스를 형성하고 잔여 제1포토레지스트층을 제거하도록 금속재료층을 에칭하는 단계; 투명기판 상에 제2포토레지스트층을 형성함으로써 블랙 매트릭스를 제2포토레지스트층으로 덮는 단계; 제2포토레지스트층을 노출시키기 위해 제2포토레지스트층으로부터 떨어져 면하는 투명기판의 표면에 대해 방사하는 단계; 블랙 매트릭스 상에 다수의 뱅크(bank)를 형성하도록 제2포토레지스트층을 현상하는 단계; 잉크젯 장치를 이용해서 뱅크와 블랙 매트릭스에 의해 정의된 공간으로 잉크를 분사하는 단계 및; 잉크를 고화하는 단계를 포함한다.
도 2 내지 도 9는 통상적인 잉크젯 방법의 더욱 상세한 단계를 나타낸 것이다. 도 2에서는 투명기판(100)이 제공된다. 금속재료층(102) 및 제1포토레지스트층(104)이 차례로 투명기판(100) 상에 형성된다. 금속재료층(102)은 크롬막층 또는 크롬합금막층이고, 일반적으로 증발(evaporation) 또는 스퍼터링(sputtering) 공정에 의해 형성된다.
도 3은 제1포토레지스트층(104)이 포토마스크(도시되지 않았음)를 이용해서 노출되고 이어 패턴화된 포토레지스트 매트릭스(1041)를 형성하도록 현상되는 것을 나타낸다. 따라서, 포토 마스트의 패턴은 패턴화된 포토레지스트 매트릭스(1041)로 전이된다.
도 4는 금속재료층(102)이 투명기판(100) 상에 블랙 매트릭스(1021)를 형성하도록 에칭되고, 패턴화된 포토레지스트 매트릭스(1041)가 모두 제거된 것을 나타낸 것이다. 따라서, 패턴화된 포토레지스트 매트릭스의 패턴이 블랙 매트릭스(1021)로 전이된다.
도 5는 제2포토레지스트층(106)이 투명기판(100) 상에 형성됨으로써 블랙 매트릭스(1021)를 제2포토레지스트층(106)으로 덮는 것을 나타낸 것이다. 제2포토레지스트층(106)을 노출시키기 위해 자외선 광원(112)으로부터 방사된 U.V.(ultraviolet)가 제2포토레지스트층(106)으로부터 떨어져 면하는 투명기판(100)의 표면 상으로 전해진다.
도 6은 블랙 매트릭스(1021) 상에 다수의 뱅크를 형성하도록 포토레지스트층(106)이 형성되는 것을 나타낸다. 공간은 뱅크(1061)와 블랙 매트릭스(1021)에 의해 정의된다.
도 7 및 도 8은 마이크로-범위 크기의 원하는 컬러의 잉크-방울(108)이 뱅크(1061)와 블랙 매트릭스(1021)에 의해 정의된 공간으로 주입되고, 잉크-방울(108)이 잉크(11)를 형성하도록 공간에서 함께 혼합되는 것을 나타낸 것이다.
도 9는 잉크(11)가 평탄컬러층(114)을 형성하도록 가열장치 또는 발광장치와 같은 고화장치에 의해 건조되거나 교차결합(cross-linked)되거나 또는 양쪽 모두를 나타낸 것이다. 따라서, 청색컬러층 및 녹색컬러층과 같은 다른 컬러층은 컬러층(114)에 인접하여 형성될 수 있다.
포토마스크로부터 블랙 매트릭스(1021)로 패턴을 전이하기 위한 컬러필터를 제조하기 위한 통상적인 방법에서, 첫째로, 포토마스크의 패턴이 패턴화된 포토레지스트층(1041)을 형성하도록 제1포토레지스트층(104)으로 전이된다. 둘째로, 패턴화된 포토레지스트층(1041)의 패턴이 블랙 매트릭스(1021)를 형성하도록 금속재료층(102)으로 전이된다. 따라서, 블랙 매트릭스(1021)의 패턴 정밀도가 블랙 매트릭스(1021) 형성공정의 2단계 특성으로 인해 감소될 수 있다. 뱅크(1061)와 컬러층(114) 등의 정밀도가 또한 감소될 수 있다. 더욱이, 크롬은 중금속이고 살아있는 생물체에 대해 유독성을 갖고 있기 때문에 환경에 유해하다.
따라서, 블랙 매트릭스를 위한 높은 패턴 정밀도를 가는 컬러필터를 제조하기 위한 방법이 필요로 된다.
하나의 실시예에 따른 컬러필터 제조방법은, 투명기판 상에 유기 블랙 포토레지스트층을 형성하는 단계와, 상기 유기 블랙 포토레지스트층을 포토마스크를 이용해서 노광시키는 단계, 상기 투명기판 상에 유기 블랙 매트릭스를 형성하기 위해 상기 유기 블랙 포토레지스트층을 현상하는 단계, 상기 투명기판 상에 포지티브 포 토레지스트층을 형성함으로써 상기 유기 블랙 매트릭스를 상기 포지티브 포토레지스트층으로 덮는 단계, 상기 포지티브 포토레지스트층을 노광하도록 상기 포지티브 포토레지스트층으로부터 떨어져서 면하는 상기 투명기판의 표면을 조사하는 단계, 상기 유기 블랙 매트릭스 상에 복수의 뱅크를 형성하기 위해 상기 포지티브 포토레지스트층을 현상하는 단계, 잉크젯 장치를 이용해서 상기 뱅크와 상기 유기 블랙 매트릭스에 의해 정의된 공간으로 잉크를 주입하는 단계 및, 상기 잉크를 고화시키는 단계를 포함한다.
다른 실시예에 따른 컬러필터 제조방법은, 투명기판의 표면에 다수의 홈을 형성하는 단계와, 유기 블랙 매트릭스를 형성하기 위해 상기 다수의 홈 내로 블랙 유기물질을 인가하는 단계, 상기 투명기판 상에 포지티브 포토레지스트층을 형성함으로써 상기 유기 블랙 매트릭스를 상기 포지티브 포토레지스트층으로 덮는 단계, 상기 포지티브 포토레지스트층을 노광하도록 상기 포지티브 포토레지스트층으로부터 떨어져서 면하는 상기 투명기판의 표면을 조사하는 단계, 상기 유기 블랙 매트릭스 상에 복수의 뱅크를 형성하기 위해 상기 포지티브 포토레지스트층을 현상하는 단계, 잉크젯 장치를 이용해서 상기 뱅크와 상기 유기 블랙 매트릭스에 의해 정의된 공간으로 잉크를 주입하는 단계 및, 상기 잉크를 고화시키는 단계를 포함한다.
(실시예)
도 10에는, 제1 실시예에 따른 컬러 필터 제조방법의 흐름도가 개시되어 있다. 상기 방법은 주로: 투명 기판상에 유기 블랙 포토레지스트층을 형성하는 단계; 포토 마스크를 이용하여 상기 유기 블랙 포토레지스트층을 노출시키는 단계; 상기 투명 기판상에 유기 블랙 매트릭스를 형성하기 위해 상기 유기 블랙 포토레지스트층을 현상하는 단계; 상기 투명 기판상에 포지티브 포토레지스트층을 형성하여, 상기 포지티브 포토레지스트층으로 상기 유기 블랙 매트릭스를 덮는 단계; 상기 포지티브 포토레지스트층을 노출시키기 위해 상기 포지티브 포토레지스트층에 떨어져서 면하는 상기 투명 기판의 표면에 빛을 조사하는 단계; 상기 블랙 매트릭스 상에 복수의 뱅크(banks)를 형성하기 위해 상기 포지티브 포토레지스트층을 현상하는 단계; 잉크젯 장치를 이용하여 상기 유기 블랙 매트릭스와 뱅크에 의해 정의된 공간으로 잉크를 주입하는 단계; 및 상기 잉크를 고화시키는 단계를 포함한다.
도 11 내지 도 15를 참고로 하면, 제1 실시예에 따른 컬러 필터 제조방법이 보다 상세하게 개시되어 있다.
도 11에서는, 유리 기판과 같은 투명 기판(300)이 제공된다. 유기 블랙 포토레지스트층(304)은 상기 투명 기판(300) 상에 형성된다. 상기 유기 블랙 포토레지스트층(304)의 재료는 일반적으로 수지 기반 합성물이다. 상기 수지 기반 합성물은 카본 블랙을 포함할 수 있다.
도 12에서는, 상기 유기 블랙 포토레지스트층(304)이 포토 마스크(도시되지 않음)를 이용하여 노출되고, 상기 투명 기판(300) 상에 유기 블랙 매트릭스(3041)를 형성하기 위해 현상된다. 따라서, 상기 포토 마스크의 패턴대로 상기 유기 블랙 매트릭스(3041)가 형성된다.
도 13에서는, 포지티브 포토레지스트층(306)이 상기 투명 기판(300) 상에 형 성되어, 상기 포지티브 포토레지스트층(306)으로 상기 유기 블랙 매트릭스(3041)를 덮는다. 다음, 상기 포지티브 포토레지스트층(306)에 떨어져서 면하는 상기 투명 기판(300)의 표면은, 상기 포지티브 포토레지스트층(306)을 노출시키기 위해, 자외선 광원(312)에 의해 조사된다. 여기서, 상기 유기 블랙 매트릭스(3041)는 상기 포지티브 포토레지스트층(306)에 대해 포토 마스크로서 이용된다.
도 14에서는, 상기 포지티브 포토레지스트층(306)이, 상기 유기 블랙 매트릭스(3041) 상에 복수의 뱅크(3061)를 형성하기 위해 현상된다. 상기 뱅크(3061) 및 상기 유기 블랙 매트릭스(3041)에 의해 공간들이 정의된다.
도 15에서는, 원하는 색상의 잉크가, 서멀 버블(thermal bubble) 잉크젯 장치 또는 압전(piezoelectrical) 잉크젯 장치와 같은 잉크젯 장치(도시되지 않음)를 이용하여 상기 유기 블랙 매트릭스(3041) 및 상기 뱅크(3061)들에 의해 정의된 상기 공간들로 주입된다. 다음으로, 상기 공간들 내의 상기 컬러 잉크는, 평평한 컬러층(310)을 형성하기 위해, 가열 장치 또는 발광 장치와 같은 고화 장치(도시되지 않음)에 의해 고화된다. 상기 평평한 컬러층(310)은 예를 들어 적색일 수 있다. 유사하게, 청색층들 및 녹색층들과 같은 다른 색의 층들이 상기 컬러층(310)에 인접하게 형성될 수 있다. 가열 장치 및 진공 펌핑 장치 또한 상기 뱅크(3061) 및 상기 유기 블랙 매트릭스(3041)에 의해 정의된 공간 내의 잉크를 고화시키기 위해 이용될 수 있다.
컬러 필터를 제조하는 종래의 방법과 비교하여, 상기 유기 블랙 매트릭스(3041)는 포토 마스크를 이용하여 직접적으로 형성되어, 상기 유기 블랙 매트릭스 (3041)의 정확도가 개선된다. 더욱이, 상기 블랙 매트릭스의 현재 재료는, 유독한 크롬이 없는, 환경친화적인 수지 기반 합성물이다.
도 16에는, 제2 실시예에 따른 컬러 필터 제조방법의 흐름도가 개시되어 있다. 상기 방법은 주로: 투명 기판의 표면에 복수의 홈들을 형성하는 단계; 유기 블랙 매트릭스를 형성하기 위해 상기 복수의 홈들에 흑색 유기 재료를 가하는 단계; 상기 투명 기판 상에 포지티브 포토레지스트층을 형성하여, 상기 유기 블랙 매트릭스를 상기 포지티브 포토레지스트층으로 덮는 단계; 상기 포지티브 포토레지스트층을 노출시키기 위해, 상기 포지티브 포토레지스트층에 떨어져서 면하는 상기 투명 기판의 표면에 빛을 조사하는 단계; 상기 유기 블랙 매트릭스 상에 복수의 뱅크를 형성하기 위해 상기 포지티브 포토레지스트층을 현상하는 단계; 잉크젯 장치를 이용하여 상기 유기 블랙 매트릭스 및 상기 뱅크들에 의해 정의된 상기 공간으로 잉크를 주입하는 단계; 및 상기 잉크를 고화시키는 단계를 포함한다.
도 17 내지 21을 참고로 하면, 제2 실시예에 따른 컬러 필터 제조방법이 보다 상세하게 기술된다.
도 17에서는, 유리 기판과 같은 투명 기판(500)이 제공된다. 복수의 홈(504)들이, 포토 마스크(도시되지 않음)를 이용한 에칭 공정 또는 모래 송풍(sand blasting) 공정 또는 레이저 공정에 의해 상기 투명 기판(500)의 표면에 정의된다. 또한, 상기 복수의 홈(504)들이 마스크 배치에 이용되는 것과 같은 정확한 위치정렬 매커니즘의 도움과 함께, 레이저 공정 또는 모래 송풍 공정에 의해 정의될 수 있다.
도 18에서는, 수지 기반 합성물과 같은 유기 재료가 주입 장치(도시되지 않음)에 의해 상기 복수의 홈(504)들에 인가된다. 이에, 유기 블랙 매트릭스(5041)가 형성된다. 상기 수지 기반 합성물은 카본 블랙을 포함할 수 있다.
도 19에서는, 포지티브 포토레지스트층(506)이 상기 투명 기판(500) 상에 형성되어, 상기 유기 블랙 매트릭스(5041)를 상기 포지티브 포토레지스트층(506)으로 덮는다. 다음으로, 상기 포지티브 포토레지스트층(506)에 떨어져서 면하는 상기 투명 기판(500)의 표면이, 상기 포지티브 포토레지스트층(506)을 노출시키기 위해, 자외선 광원(512)에 의해 조사된다. 여기서, 상기 유기 블랙 매트릭스(5041)는 상기 포지티브 포토레지스트층(506)에 대해 포토 마스크로서 이용된다.
도 20에서는, 상기 포지티브 포토레지스트층(506)이, 상기 유기 블랙 매트릭스(5041) 상에 복수의 뱅크(5061)를 형성하기 위해, 현상된다. 바람직하게는, 상기 뱅크(5061)들이 가시광선에 대해 투명하지 않다. 상기 뱅크(5061)들 및 상기 유기 블랙 매트릭스(5041)에 의해 공간이 정의된다.
도 21에서는, 원하는 색상의 잉크가, 서멀 버블 잉크젯 장치 또는 압전 잉크젯 장치와 같은 잉크젯 장치(도시되지 않음)를 이용하여 상기 뱅크(5061) 및 상기 유기 블랙 매트릭스(5041)에 의해 정의된 공간들로 주입된다. 이후, 상기 공간 내의 잉크는, 평평한 컬러층(510)을 형성하기 위해, 가열 장치 또는 발광 장치와 같은 고화 장치(도시되지 않음)에 의해 고화된다. 상기 평평한 컬러층(510)은 예를 들어 적색일 수 있다. 유사하게, 청색층들 및 녹색층들과 같은 다른 색상의 층들이 상기 컬러층(510)에 인접하게 형성될 수 있다. 가열 장치 및 진공 펌프 장치 또한 상기 유기 블랙 매트릭스(5041) 및 상기 뱅크(5061)에 의해 정의된 공간 내의 잉크를 고화시키기 위해 이용될 수 있다.
제2 실시예에 따른 방법의 장점들은 제1 실시예에 따른 컬러 필터 제조 방법의 장점과 같다. 게다가, 상기 뱅크들 및 상기 유기 블랙 매트릭스에 의해 정의된 공간들 내의 잉크가 상기 뱅크들에 의해 완전하게 분리되기 때문에, 상기 유기 블랙 매트릭스(5041) 내에 기공이 존재하더라도 다른 색상의 잉크의 혼합 및 번짐은 회피된다.
도 22에서는, 제3 실시예에 따른 컬러 필터 제조 방법의 흐름도가 개시된다. 상기 방법은 주로: 투명 기판에 복수의 홈들을 형성시키는 단계; 유기 블랙 매트릭스를 형성하기 위해 복수의 홈들 내에 흑색 유기 재료를 가하는 단계; 상기 투명 기판상에 포지티브 포토레지스트층을 형성하여, 상기 유기 블랙 매트릭스를 상기 포지티브 포토레지스트층으로 덮는 단계; 상기 포지티브 포토레지스트층을 노출시키기 위해, 상기 포지티브 포토레지스트층에 떨어져서 면하는 상기 투명 기판의 표면에 빛을 조사하는 단계; 상기 유기 블랙 매트릭스 상에 복수의 뱅크를 형성하기 위해 상기 포지티브 포토레지스트층을 현상하는 단계; 잉크젯 장치를 이용하여 상기 유기 블랙 매트릭스 및 상기 뱅크들에 의해 정의된 공간들로 잉크를 주입하는 단계; 및 상기 잉크를 고화시키는 단계를 포함한다.
제3 실시예에 따른 컬러 필터 제조 방법의 보다 상세한 단계들 및 장점들은 제2 실시예에 따른 컬러 필터 제조 방법의 단계들 및 장점들과 유사하다. 그 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제2 실시예에 따른 컬러 필터 제조 방법을 참고 할 수 있을 것이다.
상기 기술된 실시예들이 본 발명을 제한하기 보다는 예시적 의도로 기술되었음이 이해되어야 한다. 청구항에 기재된 바와 같은 본 발명의 사상을 벗어남이 없이 상기 실시예들에 대한 변형이 이뤄질 수 있다. 상기 언급된 실시예들은 본 발명의 범위를 제시하기 위한 것이며, 본 발명의 범위를 제한하지 않는다.
컬러필터를 제조하기 위한 종래 방법과 비교하면, 다음과 같은 이점이 있다. 유기 블랙 매트릭스는 포토 마스크를 이용해서 직접 형성되어, 유기 블랙 매트릭스의 패턴 정밀도가 증가된다. 더욱이, 블랙 매트릭스의 제공되는 재료가 종래의 크롬을 대체하는 수지를 기초로 한 혼합물이어서 환경적으로 친숙하다.

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  9. 투명기판의 표면에 다수의 홈을 형성하는 단계와,
    유기 블랙 매트릭스를 형성하기 위해 상기 다수의 홈 내로 블랙 유기물질을 인가하는 단계,
    상기 투명기판 상에 포지티브 포토레지스트층을 형성함으로써 상기 유기 블랙 매트릭스를 상기 포지티브 포토레지스트층으로 덮는 단계,
    상기 포지티브 포토레지스트층을 노광하도록 상기 포지티브 포토레지스트층으로부터 떨어져서 면하는 상기 투명기판의 표면을 조사하는 단계,
    상기 유기 블랙 매트릭스 상에 복수의 뱅크를 형성하기 위해 상기 포지티브 포토레지스트층을 현상하는 단계,
    잉크젯 장치를 이용해서 상기 뱅크와 상기 유기 블랙 매트릭스에 의해 정의된 공간으로 잉크를 주입하는 단계 및,
    상기 잉크를 고화시키는 단계를 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법.
  10. 청구항 9에 있어서, 상기 홈이 레이저 처리, 분사(sand blasting) 처리 또는 포토마스크를 이용한 에칭 처리로 이루어진 그룹으로부터 선택된 처리를 이용해서 형성되는 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법.
  11. 청구항 9에 있어서, 상기 홈이 레이저 처리 또는 정확한 위치결정 메커니즘을 이용한 분사 처리에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법.
  12. 청구항 9에 있어서, 상기 잉크젯 장치가 서멀 버블 잉크젯 장치 또는 압전 잉크젯 장치인 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법.
  13. 청구항 9에 있어서, 상기 잉크가 가열장치에 의해 고화되는 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법.
  14. 청구항 9에 있어서, 상기 잉크가 가열장치와 진공 펌핑장치에 의해 고화되는 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법.
  15. 청구항 9에 있어서, 상기 잉크가 발광장치에 의해 고화되는 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법.
  16. 청구항 9에 있어서, 상기 투명기판이 유리기판인 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법.
  17. 청구항 9에 있어서, 상기 유기 블랙 포토레지스트층이 카본 블랙을 함유한 수지를 기초로 한 화합물인 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법.
  18. 청구항 9에 있어서, 상기 투명기판의 표면이 자외선 발광장치에 의해 조사되는 포지티브 포토레지스트층으로부터 떨어져서 면하는 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법.
  19. 다수의 홈이 형성된 투명기판을 제공하는 단계와,
    유기 블랙 매트릭스를 형성하기 위해 상기 다수의 홈 내로 블랙 유기물질을 인가하는 단계,
    상기 투명기판 상에 포지티브 포토레지스트층을 형성함으로써 상기 유기 블랙 매트릭스를 상기 포지티브 포토레지스트층으로 덮는 단계,
    상기 포지티브 포토레지스트층을 노광하도록 상기 포지티브 포토레지스트층으로부터 떨어져서 면하는 상기 투명기판의 표면을 조사하는 단계,
    상기 유기 블랙 매트릭스 상에 복수의 뱅크를 형성하기 위해 상기 포지티브 포토레지스트층을 현상하는 단계,
    잉크젯 장치를 이용해서 상기 뱅크와 상기 유기 블랙 매트릭스에 의해 정의된 공간으로 잉크를 주입하는 단계 및,
    상기 잉크를 고화시키는 단계를 구비하여 이루어진 것을 특징으로 하는 컬러필터 제조방법.
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