JPH10177109A - カラーフィルタおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶層の厚み設定用としての十分な高さをも
つ柱状凸部を備えたカラーフィルタと、このカラーフィ
ルタの製造方法を提供する。 【解決手段】 カラーフィルタのブラックマトリックス
上に形成されている複数の柱状凸部を、複数色の着色層
に加えてレジスト層が積層された構造とし、このレジス
ト層は、ブラックマトリックスの形成工程においてブラ
ックマトリックス上に残存する感光性レジスト層を硬化
させて形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はカラーフィルタとそ
の製造方法に係り、特に表示品質に優れたカラー液晶表
示装置の製造が可能なカラーフィルタとその製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、フラットディスプレイとして、カ
ラーの液晶表示装置が注目されている。一般に、カラー
液晶表示装置は、ブラックマトリックスおよび複数の色
（通常、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３原色）から
なる着色層を備えたカラーフィルタと、薄膜トランジス
タ（ＴＦＴ素子）を備えたＴＦＴアレイ基板とを向かい
合わせ、所定の間隙をもたせて貼り合わせており、この
間隙部に液晶材料を注入している。したがって、この間
隙部は液晶層の厚みそのものであり、液晶層の厚みにム
ラがあると、カラー液晶表示装置内で輝度ムラ、色ムラ
が生じ、表示品位を著しく損なうことになるので、液晶
層の厚みはできる限り均一であることが望ましい。

【０００３】従来、カラー液晶表示装置における液晶層
の厚みを決定する方法として、カラーフィルタとＴＦＴ
アレイ基板とを貼り合わせる時に、ガラスビーズやプラ
スチックビーズをスペーサーとして使用している。すな
わち、カラーフィルタとＴＦＴアレイ基板とを貼り合わ
せる前に、所定の直径で粒径の揃ったガラスビーズやプ
ラスチックビーズをスペーサーとしてカラーフィルタお
よびＴＦＴアレイのいずれか一方に散在させ、その後、
両基板の貼り合わせを行い、ガラスビーズやプラスチッ
クビーズの直径をもって両基板の間隙部の大きさ、つま
り、液晶層の厚みを決定している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ようなカラーフィルタとＴＦＴアレイ基板との間隙部を
形成する方法では、カラー液晶表示装置の動作の上で次
のような問題点が生じる。

【０００５】まず、ガラスビーズやプラスチックビーズ
をスペーサーとして用いる場合、基板面上に散在させる
密度が適正で、かつ、基板面上に均一に分散されていな
ければ、カラー液晶表示装置の全面に亘って大きさが均
一な間隙部は形成されない。一般に、スペーサーの散在
量（密度）を増した場合、間隙部の厚みのばらつき偏差
は少なくなるが、散在量（密度）が多くなると表示画素
部上に存在するスペーサーの数も増し、これによって、
表示領域の面積の低下が生じる。すなわち、スペーサー
が存在する部分が表示領域として無効となり、開口率が
低下するという不都合が生じる。

【０００６】また、ガラスビーズやプラスチックビーズ
は凝集しやすく、散在させた時の分散度が悪いために偏
在を生じ、画素領域に位置する偏在箇所は液晶分子の配
向を阻害するという問題もある。さらに、画素領域に存
在するガラスビーズやプラスチックビーズは、黒表示を
行った際に光を透過するので、これらのスペーサーが輝
点となってコントラスト比を著しく低下させるという問
題もある。

【０００７】このような問題を解消するために、カラー
フィルタに予め間隙（液晶層の厚み）を決定する凸部を
形成しておく方法が提案されている。この方法では、着
色層の形成と同時に、ブラックマトリックス上の所定の
複数箇所に着色層を形成してＲ、Ｇ、Ｂの３色の着色層
が積層された凸部を形成しておき、この凸部をスペーサ
ーとして２枚の基板を貼り合わせるものである。

【０００８】しかし、上記のようなＲ、Ｇ、Ｂの３色か
らなる凸部は、着色層の光透過性による厚みの制限か
ら、その高さがスペーサーとしては不十分であり、特
に、ブラックマトリックスとしてクロム等の金属薄膜を
使用した場合には、必要な液晶層の厚みが得られないと
いう問題があった。

【０００９】本発明は、上記のような事情に鑑みてなさ
れたものであり、液晶層の厚み設定用としての十分な高
さをもつ柱状凸部を備えたカラーフィルタと、このカラ
ーフィルタの製造方法を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明のカラーフィルタは、基板と、該基板
上に所定のパターンで形成されたブラックマトリックス
と複数色からなる着色層とを備え、かつ、前記ブラック
マトリックス上に複数の柱状凸部を備え、該柱状凸部は
レジスト層上に複数色の着色層が積層された構成とし
た。

【００１１】また、本発明のカラーフィルタの製造方法
は、基板上に遮光層を形成し、該遮光層上に感光性レジ
スト層を形成し、次いで、前記感光性レジスト層を所定
パターンで露光して現像し、露出した遮光層をエッチン
グして除去することにより所定のパターンの遮光層から
なるブラックマトリックスを形成し、その後、該ブラッ
クマトリックス上の感光性レジスト層を硬化してレジス
ト層とする第１の工程、前記基板上のブラックマトリッ
クス非形成領域内の所定色の着色層形成領域と、前記レ
ジスト層の柱状凸部形成領域とに着色層を形成する操作
を、着色層の色数分繰り返す第２の工程、を有するよう
な構成とした。

【００１２】さらに、本発明のカラーフィルタの製造方
法は、基板上に遮光層を形成し、該遮光層上にポジ型の
感光性レジスト層を形成し、次いで、前記感光性レジス
ト層を所定パターンで露光して現像し、露出した遮光層
をエッチングして除去することにより所定のパターンの
遮光層からなるブラックマトリックスを形成し、その
後、該ブラックマトリックス上の感光性レジスト層の柱
状凸部形成領域を除く領域を露光し現像した後、前記ブ
ラックマトリックス上に残った感光性レジスト層を硬化
してレジスト層とする第１の工程、前記基板上のブラッ
クマトリックス非形成領域内の所定色の着色層形成領域
と、前記レジスト層上とに着色層を形成する操作を、着
色層の色数分繰り返す第２の工程、を有するような構成
とした。

【００１３】このような本発明では、ブラックマトリッ
クス上に形成されている複数の柱状凸部が、複数色の着
色層に加えてレジスト層が積層されたものであり、これ
により、柱状凸部は液晶層の厚み設定用として十分な高
さをもち、カラーフィルタをＴＦＴアレイ基板と貼り合
わせた時に、この柱状凸部はカラーフィルタとＴＦＴア
レイ基板との間に液晶層用の間隙を高い精度で形成す
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の最良の実施形態に
ついて図面を参照して説明する。

【００１５】図１は本発明のカラーフィルタの一実施形
態を示す部分平面図であり、図２はＡ−Ａ線における縦
断面図である。図１および図２において、本発明のカラ
ーフィルタ１は、基板２と、この基板２上に形成された
ブラックマトリックス３および着色層７を備えている。
ブラックマトリックス３は、その上にレジスト層５（図
１において斜線で示される部分）を備えており、このレ
ジスト層５の所定の複数の箇所には柱状凸部８（図１で
は５箇所）が形成されている。また、着色層７は、赤色
パターン７Ｒ、緑色パターン７Ｇおよび青色パターン７
Ｂが所望のパターン形状で配列されてなり、ブラックマ
トリックス３およびレジスト層５は各着色パターンから
なる表示画素部の間および着色層７の形成領域の外側に
設けられている。

【００１６】本発明のカラーフィルタ１は、上記の柱状
凸部８がレジスト層５と着色層８Ｒ、８Ｇ、８Ｂとが積
層された構造であることを特徴とする。この柱状凸部８
は、ブラックマトリックス３および着色層７よりも２〜
１０μｍ程度の範囲で突出しており、この突出量はカラ
ー液晶表示装置の液晶層に要求される厚みから適宜設定
することができる。また、柱状凸部８の形成密度は、液
晶層の厚みムラ、開口率等を考慮して適宜設定すること
ができるが、例えば、着色層７を構成する赤色パターン
７Ｒ、緑色パターン７Ｇおよび青色パターン７Ｂの１組
に１個の割合で必要十分なスペーサー機能を発現する。
このような柱状凸部８の形状は、図示例では円柱形状と
なっているが、これに限定されるものではなく、角柱形
状、截頭錐体形状等であってもよい。

【００１７】上記の柱状凸部８を備える本発明のカラー
フィルタ１をＴＦＴアレイ基板と貼り合わせた場合、柱
状凸部８がカラーフィルタ１とＴＦＴアレイ基板との間
に間隙を形成する。このため、従来のスペーサーとして
ガラスビーズやプラスチックビーズを使用した場合に比
べて、両基板の間隙精度は極めて高いものとなる。ま
た、画素部分には柱状凸部８が存在しないため、表示領
域の面積低下による開口率の低下はなく、かつ、柱状凸
部８は遮光性を有するので、コントラスト比の低下も生
じることがない。

【００１８】上記のカラーフィルタ１を構成する基板２
としては、石英ガラス、パイレックスガラス、合成石英
板等の可撓性のないリジット材、あるいは透明樹脂フィ
ルム、光学用樹脂板等の可撓性を有するフレキシブル材
を用いることができる。この中で特にコーニング社製７
０５９ガラスは、熱膨脹率の小さい素材であり寸法安定
性および高温加熱処理における作業性に優れ、また、ガ
ラス中にアルカリ成分を含まない無アルカリガラスであ
るため、アクティブマトリックス方式によるＬＣＤ用の
カラー液晶表示装置に適している。

【００１９】また、カラーフィルタ１を構成するブラッ
クマトリックス３は、スパッタリング法、真空蒸着法等
により厚み１０００〜２０００Å程度のクロム等の金属
薄膜を形成し、この薄膜をパターニングして形成したも
の、カーボン微粒子等の遮光性粒子を含有させたポリイ
ミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等の樹脂層を形
成し、この樹脂層をパターニングして形成したもの、カ
ーボン微粒子等の遮光性粒子を含有させた感光性樹脂層
を形成し、この感光性樹脂層をパターニングして形成し
たもの等、いずれであってもよい。

【００２０】柱状凸部８を構成するレジスト層５は、通
常、ブラックマトリックス３の形成において使用したポ
ジ型あるいはネガ型の感光性レジスト層を硬化させたも
のであり、厚みは柱状凸部８に要求される高さ、着色層
７の赤色パターン７Ｒ、緑色パターン７Ｇおよび青色パ
ターン７Ｂの厚み等を考慮して設定でき、例えば、０．
５〜２μｍ程度とすることができる。

【００２１】また、本発明の着色層７、および、柱状凸
部８を構成する着色層８Ｒ、８Ｇ、８Ｂは、所望の着色
材を含有した感光性樹脂を使用した顔料分散法により形
成することができ、さらに、印刷法、電着法、無電解メ
ッキ法等の公知の方法により形成することができる。例
えば、顔料分散法の場合、アクリレート系コポリマーと
アクリレート系モノマーと多官能アクリレートモノマー
と光ラジカル発生剤との混合物からなる感光性樹脂等を
使用することにより、ダレのないシャープな形状の柱状
凸部８を形成することができる。

【００２２】次に、本発明のカラーフィルタの製造方法
の一実施形態について、図１および図２に示されたカラ
ーフィルタ１を例に図３を参照しながら説明する。

【００２３】本発明のカラーフィルタの製造方法では、
まず、第１の工程として、基板２上に遮光層３´を形成
し、さらに、この遮光層３´上に感光性レジスト層５´
を形成する（図３（Ａ））。遮光層３´は、スパッタリ
ング法、真空蒸着法等により形成したクロム等の金属薄
膜、カーボン微粒子等の遮光性粒子を含有した樹脂層等
いずれであってもよい。また、感光性レジスト層５´
は、公知のポジ型およびネガ型の感光性レジストを用い
て形成することができる。図示例では、ポジ型感光性レ
ジストを使用した場合について説明する。

【００２４】次に、上記の感光性レジスト層５´をブラ
ックマトリックス用のフォトマスクＭを介して露光し
（図３（Ｂ））、現像する。そして、現像により露出し
た遮光層３´をエッチングすることによって、ブラック
マトリックス３を形成する（図３（Ｃ））。このように
形成されたブラックマトリックス３は、その表面に未露
光の感光性レジスト層５´が積層された状態となってい
る。次いで、この残存している感光性レジスト層５´を
硬化させてレジスト層５を形成する（図３（Ｄ））。

【００２５】上記の第１の工程により、基板２上にブラ
ックマトリックス３とレジスト層５の積層パターン（図
１に斜線で示されているパターン）が形成される。

【００２６】次に、第２の工程として、まず、ブラック
マトリックス３およびレジスト層５を覆うように基板２
上に赤色着色材を含有した赤色感光性樹脂層を形成し、
所定のフォトマスクを介して上記の赤色感光性樹脂層を
露光する。この露光においては、ブラックマトリックス
３の非形成領域内の赤色パターン７Ｒの形成領域と、レ
ジスト層５の柱状凸部形成領域とに赤色の着色層が形成
されるような露光が行われる。そして、次に現像を行う
ことにより、基板２上の赤色パターン形成領域に赤色パ
ターン７Ｒが形成されるとともに、レジスト層５上の柱
状凸部形成領域に柱状凸部８用の赤色着色層８Ｒが形成
される（図３（Ｅ））。以下、同様に、基板２上の緑色
パターン形成領域に緑色パターン７Ｒを形成するととも
に、柱状凸部８用の赤色着色層８Ｒ上に緑色着色層８Ｇ
を積層し、さらに、基板２上の青色パターン形成領域に
青色パターン７Ｂを形成するとともに、柱状凸部８用の
緑色着色層８Ｇ上に青色着色層８Ｂを積層する。これに
より、赤色パターン７Ｒ、緑色パターン７Ｇおよび青色
パターン７Ｂからなる着色層７が形成され、同時に、レ
ジスト層５の柱状凸部形成領域に着色層８Ｒ、８Ｇ、８
Ｂが積層され、この着色層８Ｒ、８Ｇ、８Ｂとレジスト
層５からなる積層構造の柱状凸部８が形成されて、本発
明のカラーフィルタ１が得られる（図３（Ｆ））。

【００２７】次に、本発明のカラーフィルタの他の実施
形態について説明する。図４は本発明のカラーフィルタ
の他の実施形態を示す部分平面図であり、図５は図４の
Ｂ−Ｂ線における縦断面図である。図４および図５にお
いて、本発明のカラーフィルタ１１は、基板１２と、こ
の基板１２上に形成されたブラックマトリックス１３お
よび着色層１７を備えている。ブラックマトリックス１
３は、その上に柱状凸部１８を構成する複数のレジスト
層１５（図４において斜線で示される５箇所）を備えて
いる。また、着色層１７は、赤色パターン１７Ｒ、緑色
パターン１７Ｇおよび青色パターン１７Ｂが所望のパタ
ーン形状で配列されてなり、ブラックマトリックス１３
は各着色パターンからなる表示画素部の間および着色層
１７の形成領域の外側に設けられている。

【００２８】本発明のカラーフィルタ１１は、上記の柱
状凸部１８がレジスト層１５と着色層１８Ｒ、１８Ｇ、
１８Ｂとが積層された構造であることを特徴とする。こ
の柱状凸部１８は、ブラックマトリックス１３および着
色層１７よりも２〜１０μｍ程度の範囲で突出してお
り、この突出量はカラー液晶表示装置の液晶層に要求さ
れる厚みから適宜設定することができる。また、柱状凸
部１８の形成密度は、液晶層の厚みムラ、開口率等を考
慮して適宜設定することができるが、例えば、着色層１
７を構成する赤色パターン１７Ｒ、緑色パターン１７Ｇ
および青色パターン１７Ｂの１組に１個の割合で必要十
分なスペーサー機能を発現する。このような柱状凸部１
８の形状は、図示例では円柱形状となっているが、これ
に限定されるものではなく、角柱形状、截頭錐体形状等
であってもよい。

【００２９】上記の柱状凸部１８を備える本発明のカラ
ーフィルタ１１をＴＦＴアレイ基板と貼り合わせた場
合、柱状凸部１８がカラーフィルタ１１とＴＦＴアレイ
基板との間に間隙を形成する。このため、従来のスペー
サーとしてガラスビーズやプラスチックビーズを使用し
た場合に比べて、両基板の間隙精度は極めて高いものと
なる。また、画素部分には柱状凸部１８が存在しないた
め、表示領域の面積低下による開口率の低下はなく、か
つ、柱状凸部１８は遮光性を有するので、コントラスト
比の低下も生じることがない。

【００３０】上記のカラーフィルタ１１を構成する基板
１２としては、上述のカラーフィルタ１を構成する基板
２と同様の材料を用いることができる。

【００３１】また、カラーフィルタ１１を構成するブラ
ックマトリックス１３は、スパッタリング法、真空蒸着
法等により厚み１０００〜２０００Å程度のクロム等の
金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニングして形成し
たもの、カーボン微粒子等の遮光性粒子を含有させたポ
リイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等の樹脂層
を形成し、この樹脂層をパターニングして形成したも
の、カーボン微粒子等の遮光性粒子を含有させた感光性
樹脂層を形成し、この感光性樹脂層をパターニングして
形成したもの等、いずれであってもよい。

【００３２】柱状凸部１８を構成するレジスト層１５
は、通常、ブラックマトリックス１３の形成において使
用したポジ型の感光性レジスト層を硬化させたものであ
り、厚みは柱状凸部１８に要求される高さ、着色層１７
の赤色パターン１７Ｒ、緑色パターン１７Ｇおよび青色
パターン１７Ｂの厚み等を考慮して設定でき、例えば、
０．５〜２μｍ程度とすることができる。

【００３３】また、本発明の着色層１７、および、柱状
凸部１８を構成する着色層１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、
所望の着色材を含有した感光性樹脂を使用した顔料分散
法により形成することができ、さらに、印刷法、電着
法、無電解メッキ法等の公知の方法によっても形成する
ことができる。

【００３４】次に、本発明のカラーフィルタの製造方法
の実施形態について、図４および図５に示されたカラー
フィルタ１１を例に図６を参照しながら説明する。

【００３５】本発明のカラーフィルタの製造方法では、
まず、第１の工程として、基板１２上に遮光層１３´を
形成し、さらに、この遮光層１３´上にポジ型の感光性
レジスト層１５´を形成する。遮光層１３´は、スパッ
タリング法、真空蒸着法等により形成したクロム等の金
属薄膜、カーボン微粒子等の遮光性粒子を含有した樹脂
層等いずれであってもよい。また、ポジ型の感光性レジ
スト層１５´は、キノンジアジド基含有化合物（例え
ば、東京応化工業（株）製ＯＦＰＲシリーズ、ヘキスト
ジャパン（株）製ＡＺシリーズ、富士ハント（株）製Ｈ
ＰＲ，ＭＰＲシリーズ）等のポジ型感光性レジストを使
用し、スピンコーティング法等により塗布して形成する
ことができる。

【００３６】次に、上記の感光性レジスト層１５´をブ
ラックマトリックス用のフォトマスクＭを介して露光し
（図６（Ａ））、現像する。そして、現像により露出し
た遮光層１３´をエッチングすることによって、ブラッ
クマトリックス１３を形成する（図６（Ｂ））。このよ
うに形成されたブラックマトリックス１３は、その表面
に未露光の感光性レジスト層１５´が積層された状態と
なっている。次いで、柱状凸部形成領域に対応した非透
光部（図１に斜線で示されているパターンに対応）を備
えたフォトマスクＭ´を用いて、残存している感光性レ
ジスト層１５´を露光し（図６（Ｃ））、その後、現像
し硬化させて、柱状凸部１８を構成するレジスト層１５
を形成する（図６（Ｄ））。

【００３７】上記の第１の工程により、基板１２上にブ
ラックマトリックス１３と、その表面の柱状凸部形成領
域にレジスト層１５のパターン（図１に斜線で示されて
いるパターン）が形成される。

【００３８】次に、第２の工程として、まず、ブラック
マトリックス１３およびレジスト層１５を覆うように基
板１２上に赤色着色材を含有した赤色感光性樹脂層を形
成し、所定のフォトマスクを介して上記の赤色感光性樹
脂層を露光する。この露光においては、ブラックマトリ
ックス１３の非形成領域内の赤色パターン１７Ｒの形成
領域と、柱状凸部１８を構成するレジスト層１５上とに
赤色の着色層が形成されるような露光が行われる。そし
て、次に現像を行うことにより、基板１２上の赤色パタ
ーン形成領域に赤色パターン１７Ｒが形成されるととも
に、レジスト層１５上に赤色着色層１８Ｒが積層される
（図６（Ｅ））。以下、同様に、基板１２上の緑色パタ
ーン形成領域に緑色パターン１７Ｒを形成するととも
に、柱状凸部１８用の赤色着色層１８Ｒ上に緑色着色層
１８Ｇを積層し、その後、基板１２上の青色パターン形
成領域に青色パターン１７Ｂを形成するとともに、柱状
凸部１８用の緑色着色層１８Ｇ上に青色着色層１８Ｂを
積層する。これにより、赤色パターン１７Ｒ、緑色パタ
ーン１７Ｇおよび青色パターン１７Ｂからなる着色層１
７が形成され、同時に、レジスト層１５上に着色層１８
Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが積層され、この着色層１８Ｒ、１
８Ｇ、１８Ｂとレジスト層１５からなる積層構造の柱状
凸部１８が形成されて、本発明のカラーフィルタ１１が
得られる（図６（Ｆ））。

【００３９】尚、上述の実施形態では、着色層７、１７
の形成、および、柱状凸部８、１８を構成する着色層８
Ｒ、８Ｇ、８Ｂおよび着色層１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂの
形成は、顔料分散法により形成されるが、本発明はこれ
に限定されるものではない。例えば、印刷法、無電解メ
ッキ法等を用いることができ、また、基板２、１２上に
予め透明導電膜を形成して電着法を用いることもでき
る。

【００４０】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によればカ
ラーフィルタにおいてブラックマトリックス上に形成さ
れている複数の柱状凸部は、複数色の着色層に加えてレ
ジスト層が積層されており、液晶層の厚み設定用として
の設計が可能な十分な高さを有するので、カラーフィル
タがＴＦＴアレイ基板と貼り合わされた時に、この柱状
凸部によりカラーフィルタとＴＦＴアレイ基板との間に
液晶層用の間隙が高い精度で形成され、これにより、均
一な厚みの液晶層を備え、輝度ムラ、色ムラのないコン
トラスト比の高い表示品質の優れたカラー液晶表示装置
が可能となり、また、上記の柱状凸部を構成するレジス
ト層は、ブラックマトリックスの形成工程においてブラ
ックマトリックス上に残存する感光性レジスト層を硬化
させて形成され、柱状凸部を構成する着色層は表示画素
部の着色層の形成と同時に形成されるので、工程が簡略
化され製造コストの低減が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカラーフィルタの一実施形態を示す部
分平面図である。

【図２】図１に示された本発明のカラーフィルタのＡ−
Ａ線における縦断面図である。

【図３】本発明のカラーフィルタの製造方法の一例を説
明するための工程図である。

【図４】本発明のカラーフィルタの他の実施形態を示す
部分平面図である。

【図５】図４に示された本発明のカラーフィルタのＢ−
Ｂ線における縦断面図である。

【図６】本発明のカラーフィルタの製造方法の他の例を
説明するための工程図である。

【符号の説明】

１，１１…カラーフィルタ ２，１２…基板 ３，１３…ブラックマトリックス ３´，１３´…遮光層 ５，１５…レジスト層 ５´，１５´…感光性レジスト層 ７，１７…着色層 ８，１８…柱状凸部 ８Ｒ，８Ｇ，８Ｂ，１８Ｒ，１８Ｇ，１８Ｂ…柱状凸部
を構成する着色層

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板と、該基板上に所定のパターンで形
   成されたブラックマトリックスと複数色からなる着色層
   とを備え、かつ、前記ブラックマトリックス上に複数の
   柱状凸部を備え、該柱状凸部はレジスト層上に複数色の
   着色層が積層されたものであることを特徴とするカラー
   フィルタ。
2. 【請求項２】 基板上に遮光層を形成し、該遮光層上に
   感光性レジスト層を形成し、次いで、前記感光性レジス
   ト層を所定パターンで露光して現像し、露出した遮光層
   をエッチングして除去することにより所定のパターンの
   遮光層からなるブラックマトリックスを形成し、その
   後、該ブラックマトリックス上の感光性レジスト層を硬
   化してレジスト層とする第１の工程、 前記基板上のブラックマトリックス非形成領域内の所定
   色の着色層形成領域と、前記レジスト層の柱状凸部形成
   領域とに着色層を形成する操作を、着色層の色数分繰り
   返す第２の工程、を有することを特徴とするカラーフィ
   ルタの製造方法。
3. 【請求項３】 基板上に遮光層を形成し、該遮光層上に
   ポジ型の感光性レジスト層を形成し、次いで、前記感光
   性レジスト層を所定パターンで露光して現像し、露出し
   た遮光層をエッチングして除去することにより所定のパ
   ターンの遮光層からなるブラックマトリックスを形成
   し、その後、該ブラックマトリックス上の感光性レジス
   ト層の柱状凸部形成領域を除く領域を露光し現像した
   後、前記ブラックマトリックス上に残った感光性レジス
   ト層を硬化してレジスト層とする第１の工程、 前記基板上のブラックマトリックス非形成領域内の所定
   色の着色層形成領域と、前記レジスト層上とに着色層を
   形成する操作を、着色層の色数分繰り返す第２の工程、
   を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。