JP2007017985A - カラーフィルターの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のカラーフィルターの製造方法は、透明の基板上に有機ブラックマトリックスのフォトレジスト層を形成する工程と、有機ブラックマトリックスのフォトレジスト層に露光を行う工程と、該透明の基板上に有機ブラックマトリックスを形成する工程と、該透明の基板上に該有機ブラックマトリックスを覆うポジ型フォトレジスト層を形成する工程と、ポジ型フォトレジスト層に露光を行う工程と、該ブラックマトリックスに複数の隔壁を形成するように、該ポジ型フォトレジスト層に現像を行う工程と、インクを複数の隔壁と有機ブラックマトリックスで区画された複数の領域に吐出させる工程と、該インクを固化させる工程と、を含む。
【選択図】図10
Description
102 金属材料層
104 第一フォトレジスト層
106 第二フォトレジスト層
108 インクの微流体
110 インク
112、312、512 紫外光源
114、310、510 着色層
304 有機ブラックマトリックスのフォトレジスト層
306、506 ポジ型フォトレジスト層
504 凹槽
1021、3041、5041 ブラックマトリックス
1041 フォトレジストマトリックス
1061、3061、5061 隔壁
Claims (10)
- 透明の基板上に有機ブラックマトリックスのフォトレジスト層を形成する工程と、
フォトマスクを利用して、該有機ブラックマトリックスのフォトレジスト層に露光を行う工程と、
前記透明の基板上に有機ブラックマトリックスを形成するように、該有機ブラックマトリックスのフォトレジスト層に現像を行う工程と、
前記透明の基板上に該有機ブラックマトリックスを覆うポジ型フォトレジスト層を形成する工程と、
該ポジ型フォトレジスト層に露光を行うために、該透明の基板のポジ型フォトレジスト層から離れる表面に照射する工程と、
該ブラックマトリックスに複数の隔壁を形成するように、該ポジ型フォトレジスト層に現像を行う工程と、
インクジェット装置を利用して、インクを複数の隔壁と有機ブラックマトリックスで区画された複数の領域に吐出させる工程と、
該インクを固化させる工程と、
を含むことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 - 前記有機ブラックマトリックスのフォトレジスト層は、カーボンブラックを含む有機樹脂であることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルターの製造方法。
- 透明の基板の表面に複数の凹槽を形成する工程と、
有機ブラックマトリックスを形成するように、該複数の凹槽に有機ブラック材料を配置する工程と、
前記透明の基板上に前記有機ブラックマトリックスを覆うポジ型フォトレジスト層を形成する工程と、
該ポジ型フォトレジスト層に露光を行うために、前記透明の基板のポジ型フォトレジスト層から離れる表面に照射する工程と、
前記ブラックマトリックスに複数の隔壁を形成するように、該ポジ型フォトレジスト層に現像を行う工程と、
インクジェット装置を利用して、インクを複数の隔壁と有機ブラックマトリックスで区画された複数の領域に吐出させる工程と、
該インクを固化させる工程と、
を含むことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 - 前記凹槽は、フォトマスクを利用して、レーザ、サンドブラストまたはエッチングを行い、或いは、位置決め装置を利用して、レーザまたはサンドブラストを行うことによって、形成することを特徴とする請求項3に記載のカラーフィルターの製造方法。
- 表面に複数の凹槽を有する透明の基板を提供する工程と、
有機ブラックマトリックスを形成するように、該複数の凹槽に有機ブラック材料を配置する工程と、
前記透明の基板上に該有機ブラックマトリックスを覆うポジ型フォトレジスト層を形成する工程と、
該ポジ型フォトレジスト層に露光を行うために、前記透明の基板のポジ型フォトレジスト層から離れる表面に照射する工程と、
前記ブラックマトリックスに複数の隔壁を形成するように、該ポジ型フォトレジスト層に現像を行う工程と、
インクジェット装置を利用して、インクを複数の隔壁と有機ブラックマトリックスで区画された複数の領域に吐出させる工程と、
該インクを固化させる工程と、
を含むことを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 - 前記有機ブラック材料は、カーボンブラックを含む有機樹脂であることを特徴とする請求項3または請求項5に記載のカラーフィルターの製造方法。
- 前記透明の基板は、ガラスの基板であることを特徴とする請求項1、請求項3及び請求項5の何れかに記載のカラーフィルターの製造方法。
- 前記透明の基板のポジ型フォトレジスト層から離れる表面は、紫外線を発射する装置に照射されることを特徴とする請求項1、請求項3及び請求項5の何れかに記載のカラーフィルターの製造方法。
- 前記インクジェット装置は、熱式インクジェット装置または圧電式インクジェット装置であることを特徴とする請求項1、請求項3及び請求項5の何れかに記載のカラーフィルターの製造方法。
- 前記インクは、加熱装置、加熱装置と減圧乾燥装置または発光装置に固化されることを特徴とする請求項1、請求項3及び請求項5の何れかに記載のカラーフィルターの製造方法。
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