KR100825167B1 - 전기 광학 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법, 및 전자기기 - Google Patents

전기 광학 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법, 및 전자기기 Download PDF

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Abstract

유효 표시 영역과 주변 영역을 갖는 구조의 전기 광학 장치에 있어서, 유효 표시 영역과 주변 영역의 양자 사이에서 배향막을 균일하게 도포하여, 표시의 휘도에 얼룩이 발생하는 것을 방지한다. 소자 기판(11)과 컬러 필터 기판(12) 사이에 프레임 형상으로 마련되는 밀봉재(13)와, 그 밀봉재(13)에 의해 둘러싸인 영역 내에 액정을 밀봉하여 이루어지는 액정층(14)과, 컬러 필터 기판(12) 상으로서 밀봉재(13)에 의해 둘러싸인 영역 내에 마련되는 제 2 오버코팅층(43b)과, 제 2 오버코팅층(43b)과 액정층(14) 사이에 마련되는 배향막(23b)을 갖는 액정 표시 장치(1)이다. 밀봉재(13)에 의해 둘러싸인 영역은, 표시가 행해지는 유효 표시 영역(Vi)과, 유효 표시 영역(Vi)과 밀봉재(13) 사이에 있는 주변 영역(Vc)을 구비하고, 주변 영역(Vc) 내의 제 2 오버코팅층(43b)에는 배향막(23b)의 재료가 들어가는 오목부(49)가 형성된다.

Description

전기 광학 장치, 전기 광학 장치의 제조 방법, 및 전자 기기{ELECTRO-OPTICAL DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND ELECTRONIC APPARATUS}
도 1은 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 일 실시예를 나타내는 사시도,
도 2는 도 1의 B-B선에 따른 단면도,
도 3은 도 2의 화살표 E로 나타내는 부분을 확대하여 나타내는 단면도,
도 4는 도 2의 C-C선에 따른 단면도,
도 5는 도 1의 화살표 A에 따른 액정 표시 장치의 평면도,
도 6은 도 4의 화살표 H로 나타내는 부분을 나타내는 평면도,
도 7은 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 다른 실시예를 나타내는 단면도,
도 8은 도 7의 C-C선에 따른 단면도,
도 9는 도 7의 화살표 F로 나타내는 부분을 확대하여 나타내는 단면도,
도 10은 도 8의 화살표 I로 나타내는 부분을 나타내는 평면도,
도 11은 도 4의 화살표 H로 나타내는 부분의 다른 예를 나타내는 도면으로서, (a)는 평면을 나타내고, (b)는 (a)의 P1-P1선에 따른 단면을 나타내고, (c)는 (a)의 P2-P2선에 따른 단면을 나타내는 도면,
도 12는 도 8의 화살표 I로 나타내는 부분의 다른 예를 나타내는 도면으로서, (a)는 평면을 나타내고, (b)는 (a)의 P1-P1선에 따른 단면을 나타내고, (c)는 (a)의 P2-P2선에 따른 단면을 나타내는 도면,
도 13은 도 4의 화살표 H로 나타내는 부분의 또 다른 예를 나타내는 도면으로서, (a)는 평면을 나타내고, (b)는 (a)의 P3-P3선에 따른 단면을 나타내고, (c)는 (a)의 P4-P4선에 따른 단면을 나타내는 도면,
도 14는 도 8의 화살표 I로 나타내는 부분의 또 다른 예를 나타내는 도면으로서, (a)는 평면을 나타내고, (b)는 (a)의 P3-P3선에 따른 단면을 나타내고, (c)는 (a)의 P4-P4선에 따른 단면을 나타내는 도면,
도 15는 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 제조 방법의 일 실시예를 나타내는 공정도,
도 16은 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 제조 방법의 다른 실시예를 나타내는 공정도,
도 17은 본 발명에 따른 전자 기기의 일 실시예를 나타내는 블록도,
도 18은 본 발명에 따른 전자 기기의 다른 실시예를 나타내는 사시도.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1, 51 : 액정 표시 장치(전기 광학 장치)
2, 52 : 액정 패널(전기 광학 패널)
3 : 구동용 IC 4 : 조명 장치
6 : LED 7 : 도광체
7a : 광 입사면 7b : 광 출사면
8 : 광 확산층 9 : 광 반사층
11, 61 : 소자 기판 11a, 61a : 제 1 투광성 기판
12, 62 : 컬러 필터 기판 12a, 62a : 제 2 투광성 기판
13 : 밀봉재 14 : 액정층
15a, 15b : 편광판 16 : 연장부
17 : FPC 기판 21a : 화소 전극
21b : 공통 전극 22a, 22b : 포토 스페이서
23a, 23b : 배향막 24 : 콘택트 홀
25 : 층간 절연막(절연층) 26 : 광 반사층
31 : TFT 소자 32 : 드레인 전극
33 : 게이트 전극 33’ : 게이트 전극선
34 : 게이트 절연막 35 : 반도체층
36 : 소스 전극 36’ : 소스 전극선
41a, 41b : 차광 부재 42 : 착색 요소
43a : 제 1 오버코팅층 43b : 제 2 오버코팅층
44 : 외부 접속용 단자 46 : ACF
47, 48 : 배선 49, 99 : 오목부
75a : 제 1 층간 절연막 75b : 제 2 층간 절연막(절연층)
100 : 제어 회로
101 : 액정 표시 장치(전기 광학 장치)
102 : 액정 패널(전기 광학 패널)
103 : 구동 회로 110 : 휴대 전화기(전자 기기)
113 : 표시 장치(전기 광학 장치) D : 서브 화소 영역
R : 반사 표시 영역 T : 투과 표시 영역
Vi : 유효 표시 영역 Vc : 주변 영역
본 발명은, 액정 표시 장치 등의 전기 광학 장치에 관한 것이다. 또 본 발명은, 그 전기 광학 장치를 제조하기 위한 제조 방법에 관한 것이다. 또, 본 발명은 그 전기 광학 장치를 이용하여 구성되는 전자 기기에 관한 것이다.
현재, 휴대 전화기, 휴대 정보 단말기 등의 각종의 전자 기기에 있어서 전기 광학 장치가 널리 이용되고 있다. 예컨대, 전자 기기에 관한 각종 정보를 시각적으로 표시하기 위한 표시부로서 전기 광학 장치가 이용되고 있다. 이 전기 광학 장치에 있어서, 전기 광학 물질로서 액정을 이용한 장치, 즉 액정 표시 장치가 알려져 있다.
상기 액정 표시 장치는 전기 광학 패널로서의 액정 패널을 갖는다. 이 액정 패널은, 예컨대, 각각이 전극을 구비한 한 쌍의 기판 사이에 액정층을 개재시킨 구조를 갖는다. 이 액정 표시 장치에서는, 액정층에 광을 공급하는 동시에 해당 액 정층에 인가되는 전압을 화소마다 제어함으로써, 액정층 내의 액정 분자의 배향을 화소마다 제어한다. 액정층으로 공급된 광은 액정 분자의 배향 상태에 따라서 변조되어, 이 변조된 광이 편광판의 액정측 표면에 공급됨으로써, 그 편광판의 관찰측 표면에 문자, 숫자, 도형등의 이미지가 표시된다.
상기한 바와 같은 액정 패널에는, 이미지의 표시를 행하는 유효 표시 영역과, 그 유효 표시 영역의 주위의 영역으로서 표시에 기여하지 않는 주변 영역을 갖는다(예컨대, 특허 문헌 1 참조). 그리고, 액정 패널을 형성하는 한 쌍의 기판의 각각에 마련된 전극 위에는, 유효 표시 영역과 주변 영역에 걸쳐 배향막이 형성된다. 이 배향막은, 예컨대, 폴리이미드 등을 인쇄함으로써 도포할 수 있다.
[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 제2003-262856호 공보(8쪽, 도 1)
특허 문헌 1에 개시된 전기 광학 장치에 있어서, 액정 패널을 구성하는 기판의 표면에는, 절연막 등의 여러가지 요소가 적층되어 있다. 이들 적층된 요소의 높이는, 유효 표시 영역에 대하여 주변 영역쪽이 높게 되는 경우가 생각된다. 예컨대, 이른바 멀티갭 구조에 있어서 하나의 화소 내에서의 액정층의 층 두께를 다르게 한 경우 등에는, 유효 표시 영역에 비해 주변 영역이 높게 되는 부분이 발생하는 경우가 생각된다. 이러한 경우에는, 주변 영역에 도포된 배향막이 유효 표시 영역으로 흘러 들어와, 유효 표시 영역과 주변 영역의 경계 부분에서 배향막이 두껍게 형성될 우려가 있었다. 이렇게 되면, 유효 표시 영역에서 배향막의 두께가 불균일해져, 배향막이 두껍게 형성된 부분에서 배향 불량이 발생하여, 표시의 휘도에 얼룩이 발생할 우려가 있었다.
본 발명은, 상기 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 유효 표시 영역과 주변 영역을 갖는 구조의 전기 광학 장치에 있어서, 유효 표시 영역과 주변 영역의 양자 사이에서 배향막을 균일하게 도포하여, 표시의 휘도에 얼룩이 발생하는 것을 방지하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 전기 광학 장치는, 한 쌍의 기판 사이에 프레임 형상으로 마련되는 밀봉재와, 해당 밀봉재에 의해 둘러싸인 영역 내에 전기 광학 물질을 밀봉하여 이루어지는 전기 광학 물질층과, 상기 한 쌍의 기판 중 적어도 한쪽 기판 상으로서 상기 밀봉재에 의해 둘러싸인 영역 내에 마련되는 절연층과, 해당 절연층과 상기 전기 광학 물질층 사이에 마련되는 배향막을 갖고, 상기 밀봉재에 의해 둘러싸인 영역은, 표시가 행해지는 유효 표시 영역과, 해당 유효 표시 영역과 상기 밀봉재 사이에 있는 주변 영역을 구비하고, 상기 주변 영역 내의 상기 절연층에는 상기 배향막의 재료가 들어가는 오목부가 형성되는 것을 특징으로 한다.
상기 배향막은, 예컨대, 폴리이미드 등의 재료의 용액을 예컨대 스핀 코트법 등에 의해 기판 상에 도포하고, 그 후 도포한 재료를 소성함으로써, 막 형상으로 형성된다. 종래의 전기 광학 장치에서는, 배향막의 재료를 도포했을 때, 그 재료가 유동하여 주변 영역에서 유효 표시 영역 내에 필요 이상으로 유입될 우려가 있 었다. 이렇게 되면, 주변 영역과 유효 표시 영역에서 배향막의 막 두께가 불균일해져, 표시의 휘도가 불균일해질 우려가 있었다.
상기 전기 광학 장치에 의하면, 주변 영역 내에 배향막의 재료가 들어가는 오목부를 형성했다. 이에 따라, 주변 영역 내에 배향막을 형성할 때, 그 배향막의 재료가 주변 영역의 오목부에 유동하여 들어 갈 수 있다. 그 결과, 기판 상에 배향막을 형성할 때에, 배향막의 재료가 주변 영역에서 유효 표시 영역 내로 필요 이상으로 흘러 들어가는 것을 방지할 수 있다. 그 때문에, 유효 표시 영역과 주변 영역의 양쪽 영역 사이에서 배향막을 균일하게 형성할 수 있기 때문에, 표시의 휘도에 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
다음에, 본 발명에 따른 전기 광학 장치에 있어서, 상기 유효 표시 영역 내의 상기 절연층 중 상기 주변 영역에 인접하는 부분에는, 해당 주변 영역 내의 상기 절연층보다 얇은 부분이 있는 것이 바람직하다. 주변 영역에 인접하는 유효 표시 영역 내에 절연층이 얇은 부분이 있는 경우에는, 주변 영역에 도포된 배향막이 흘러 들어오기 쉽다. 이러한 경우에는, 유효 표시 영역 내에서의 배향막의 두께에 얼룩이 생기기 쉽다. 이러한 전기 광학 장치에 관해서도, 주변 영역에 오목부를 형성함으로써, 주변 영역에 도포된 배향막이 오목부에 들어갈 수 있기 때문에, 유효 표시 영역과 주변 영역의 양쪽 영역 사이에서 배향막을 균일하게 형성할 수 있다.
본 발명에 따른 전기 광학 장치에 있어서, 상기 오목부는 상기 유효 표시 영역에 따라 연장하는 홈인 것이 바람직하다.
본 발명에 따른 전기 광학 장치에 있어서, 상기 오목부는 상기 유효 표시 영역을 둘러싸는 환상의 홈인 것이 바람직하다.
다음에, 본 발명에 따른 전기 광학 장치에 있어서, 상기 오목부는 환상의 홈인 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 주변 영역에 도포된 배향막이, 주변 영역의 전체 주위에 걸쳐 균일하게 오목부에 들어갈 수 있기 때문에, 유효 표시 영역과 주변 영역의 양쪽 영역 사이에서 배향막을 보다 균일하게 형성할 수 있다.
다음에, 본 발명에 따른 전기 광학 장치에 있어서는, 상기 유효 표시 영역은, 반사 표시를 행하는 반사 표시 영역과, 투과 표시를 행하는 투과 표시 영역을 갖고, 상기 유효 표시 영역 내의 상기 절연층은, 상기 반사 표시 영역에서의 상기 전기 광학 물질층의 두께를 상기 투과 표시 영역에서의 상기 전기 광학 물질층의 두께보다 얇게 하도록, 적어도 상기 반사 표시 영역에 형성되고, 상기 반사 표시 영역 내의 상기 절연층은 상기 주변 영역 내의 상기 절연층과 같은 두께로 형성되는 것이 바람직하다.
상기 전기 광학 장치는, 이른바 반투과 반사형으로서 멀티갭 구조를 갖는 전기 광학 장치이다. 이 전기 광학 장치에서는, 주변 영역에서의 절연층의 두께에 비해 투과 표시 영역에서의 절연층의 두께가 얇게 형성되기 때문에, 주변 영역에 도포된 배향막이 유효 표시 영역, 특히 투과 표시 영역 내에 필요 이상으로 흘러 들어오기 쉽다. 따라서, 유효 표시 영역 내에서의 배향막의 두께에 얼룩이 생기기 쉽다. 이러한 전기 광학 장치에 관해서도, 주변 영역에 오목부를 형성함으로써 유효 표시 영역과 주변 영역의 양쪽 영역 사이에서 배향막을 균일하게 형성할 수 있 다.
다음에, 본 발명에 따른 전기 광학 장치에 있어서, 상기 주변 영역에 인접하는 상기 투과 영역과 상기 오목부 사이에 있는 상기 절연층의 높이는, 상기 반사 표시 영역과 상기 오목부 사이에 있는 상기 절연층의 높이보다 낮은 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 투과 표시 영역과 주변 영역 사이에서 절연층의 높이가 갑자기 변화되는 부분이 없어지기 때문에, 그 투과 표시 영역과 주변 영역 사이에서, 절연층 위에 형성되는 막, 예컨대 전극의 막이 끊어지는 것을 방지할 수 있다.
다음에, 본 발명에 따른 전기 광학 장치에서는, 상기 주변 영역 중 상기 오목부가 형성되어 있지 않은 영역과 상기 반사 표시 영역의 양쪽에 스페이스 부재를 마련하는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 유효 표시 영역과 마찬가지로 주변 영역에서도 전기 광학 물질층의 층 두께를 일정하게 유지할 수 있다. 이에 따라, 유효 표시 영역과 주변 영역의 경계 근방에서, 전기 광학 물질층의 층 두께의 변화에 의한 표시의 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
다음에, 본 발명에 따른 전기 광학 장치에 있어서, 상기 스페이스 부재는 포토 스페이서인 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 유효 표시 영역 및 주변 영역에 절연층을 형성하는 것과 동시에 스페이스 부재를 형성할 수 있다.
본 발명에 따른 전기 광학 장치는, 한 쌍의 기판 사이에 전기 광학 물질이 유지되어 이루어지고, 반사 표시를 행하는 반사 표시 영역 및 투과 표시를 행하는 투과 표시 영역을 구비하는 유효 표시 영역과, 해당 유효 표시 영역의 외측에 배치되어 이루어지는 주변 영역을 구비하는 전기 광학 장치로서, 상기 한 쌍의 기판 중 적어도 한쪽 기판은, 절연층과, 해당 절연층의 상기 전기 광학 물질쪽에 마련되어 이루어지는 배향막을 갖고, 상기 절연층은, 상기 반사 표시 영역에서의 상기 전기 광학 물질의 두께를 상기 투과 표시 영역에서의 상기 전기 광학 물질의 두께보다 얇게 하도록, 적어도 상기 반사 표시 영역 및 상기 주변 영역에 마련되어 이루어지고, 또한, 상기 주변 영역 내에 상기 배향막의 재료가 들어가는 오목부가 형성되어 이루어지고, 상기 표시 영역에서, 상기 절연층의 두께가 반영되어 상기 전기 광학 물질의 두께가 두꺼운 영역은, 상기 주변 영역의 상기 오목부와 연결되어 있는 것을 특징으로 한다.
다음에, 본 발명에 따른 전기 광학 장치에서는, 상기 한쪽 기판은 상기 절연층에 덮여 이루어지는 착색층을 구비하는 것이 바람직하다.
다음에, 본 발명에 따른 전기 광학 장치에서는, 상기 한쪽 기판은 상기 절연층에 덮여 이루어지는 스위칭 소자를 구비하는 것이 바람직하다.
다음에, 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 제조 방법은, 표시가 행해지는 유효 표시 영역과, 해당 유효 표시 영역의 주변에 있는 주변 영역을 갖는 전기 광학 장치의 제조 방법으로서, 상기 유효 표시 영역 및 상기 주변 영역에 절연층을 형성하는 절연층 형성 공정과, 상기 절연층을 소정의 형상으로 패터닝하는 패터닝 공정을 갖고, 해당 패터닝 공정에서는, 상기 주변 영역의 상기 절연층에 오목부를 형성하는 것을 특징으로 한다.
상기 전기 광학 장치의 제조 방법에 의하면, 패터닝 공정에서 주변 영역 내에 배향막의 재료가 들어가는 오목부를 형성했다. 이에 따라, 주변 영역 내에 배 향막을 형성할 때, 그 배향막의 재료가 주변 영역의 오목부에 유동하여 들어갈 수 있다. 그 결과, 기판 상에 배향막을 형성할 때에, 배향막의 재료가 주변 영역에서 유효 표시 영역 내로 필요 이상으로 흘러 들어오는 것을 방지할 수 있다. 그 때문에, 유효 표시 영역과 주변 영역의 양쪽 영역 사이에서 배향막을 균일하게 형성할 수 있기 때문에, 표시의 휘도에 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
다음에, 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 제조 방법에서, 상기 패터닝 공정에서는, 상기 주변 영역에 상기 오목부를 형성하는 것과 동시에 상기 투과 표시 영역의 절연층을 패터닝하여 해당 투과 표시 영역의 절연층을 얇게 하거나 또는 제거하는 것이 바람직하다. 이렇게 하면, 한번의 패터닝 공정에서, 투과 표시 영역의 절연층과 오목부를 패터닝할 수 있기 때문에, 제조 공정을 늘리지 않고 오목부를 형성할 수 있다.
다음에, 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 제조 방법에서, 상기 패터닝 공정 후에, 상기 절연층 상에 배향막을 도포하는 공정을 갖고, 상기 배향막을 도포하는 공정에서, 상기 배향막은 상기 절연층의 상기 오목부로 유동하는 것이 바람직하다.
다음에, 본 발명에 따른 전자 기기는, 이상에서 기재한 구성의 전기 광학 장치를 갖는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따른 전기 광학 장치는, 주변 영역 내에 배향막의 재료가 들어가는 오목부를 형성함으로써, 유효 표시 영역과 주변 영역의 양쪽 영역 사이에서 배향막을 균일하게 형성할 수 있기 때문에, 표시의 휘도에 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 전기 광학 장치를 이용한 전자 기기에서도, 표시의 휘도에 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
(전기 광학 장치의 실시예 1)
이하, 본 발명에 따른 전기 광학 장치 및 그 전기 광학 장치의 제조 방법을 그 일 실시예를 들어 설명한다. 또, 본 발명이 본 실시예로 한정되지 않는 것은 물론이다. 또한, 앞으로의 설명에서 이용하는 도면으로서는, 특징이 되는 부분을 이해하기 쉽게 나타내기 위해서, 실제의 치수 비율과 다른 치수 비율로 구성 요소를 도시하는 경우가 있는 것에 주의가 필요하다.
도 1은 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 일 실시예인 액정 표시 장치(1)를 나타내고 있다.
도 2는 도 1의 B-B선에 따른 단면을 나타내고 있다. 또한, 도 3은 도 2의 화살표 E로 나타내는 부분을 확대하여 나타내고 있다. 또한, 도 4는 도 2의 C-C선에 따른 단면을 나타내고 있다.
또한, 도 5는 도 1에 나타내는 액정 패널을 화살표 A 방향으로부터 평면적으로 본 도면이다. 도 5에서는, 주요한 구조를 보기 쉽게 하기 위해서 주로 소자나 배선을 도시하고, 그 밖의 요소는 도시를 생략하고 있다. 또한, 도 6은 도 4의 화살표 H로 나타내는 부분을 화살표 J가 그려진 쪽으로부터 평면적으로 본 경우를 나타내고 있다.
본 실시예는, 3단자형의 능동 소자인 TFT(Thin Film Diode) 소자를 스위칭 소자로서 이용하는 액티브 매트릭스 방식으로서, 반투과 반사형이며, 또한 컬러 표시가 가능한 액정 표시 장치이다. 또, TFT 소자에는, 아몰퍼스 실리콘 TFT, 저온 폴리 실리콘 TFT, 고온 폴리 실리콘 TFT 등과 같이 각종 소자가 있지만, 본 실시예 에서는 아몰퍼스 실리콘 TFT를 이용하는 것으로 한다. 물론, 그 밖의 종류의 TFT 소자를 이용한 액정 표시 장치에 대하여 본 발명을 적용할 수도 있다.
도 1에서, 본 실시예의 액정 표시 장치(1)는, 전기 광학 패널로서의 액정 패널(2)과, 그 액정 패널(2)에 실장된 반도체 요소로서의 구동용 IC(3)와, 그 액정 패널(2)에 부설된 조명 장치(4)를 갖는다. 이 액정 표시 장치(1)에 관해서는, 화살표 A가 그려진 쪽이 관찰쪽이며, 상기 조명 장치(4)는 액정 패널(2)에 관해서 관찰쪽과 반대쪽에 배치되어 백 라이트로서 기능한다.
조명 장치(4)는, 광원, 구체적으로는 점 형상 광원으로서의 LED(Light Emitting Diode)(6)와, LED(6)로부터 출사된 점 형상의 광을 면 형상으로 변환하여 출사하는 도광체(7)를 갖는다. 도광체(7)는, 예컨대 투광성의 수지에 의해 형성된다. 각 LED(6)는, 그 발광면이 도광체(7)의 하나의 측면인 광 입사면(7a)에 대향하도록 마련된다. 각 LED(6)로부터 나간 광은, 광 입사면(7a)으로부터 도광체(7)의 내부로 도입되어, 그 도광체(7)의 광 출사면(7b)에서 면 형상의 광으로서 출사하여 액정 패널(2)로 공급된다. 또, 도광체(7)의 광 출사면(7b)에는 필요에 따라 광 확산층(8)이 마련된다. 또한, 도광체(7)의 광 출사면(7b)과 반대 면에는 필요에 따라 광 반사층(9)이 마련된다. 또한, 광원은 LED(6) 이외의 점 형상 광원이나, 냉음극관 등의 선 형상 광원에 의해 구성할 수도 있다.
액정 패널(2)은, 프레임 형상의 밀봉재(13)에 의해 서로 접합된 한 쌍의 기판(11, 12)을 갖는다. 이들 기판(11, 12)은 모두 화살표 A 방향으로부터 보아 직사각형 또는 정사각형으로 형성되어 있다. 기판(11)은 스위칭 소자가 형성되는 소 자 기판이다. 또한, 기판(12)은 컬러 필터가 형성되는 컬러 필터 기판이다. 밀봉재(13)는 그 일부에 액정 주입구(13a)를 갖고, 이 액정 주입구(13a)를 거쳐서 소자 기판(11)과 컬러 필터 기판(12) 사이에 전기 광학 물질로서의 액정, 예컨대 TN 액정이 부어진다. 이렇게 해서, 전기 광학 물질층으로서의 액정층(14)이 형성된다. 액정 주입구(13a)는 액정의 주입이 완료된 후에 수지에 의해 밀봉된다. 또, 액정의 모드로서는 TN 액정 외에, 필요에 따라 여러가지의 액정을 채용할 수 있다. 예컨대, 부의 유전율 이방성을 갖는 액정, 즉 수직 배향 모드의 액정이라도 좋다.
도 2에서, 소자 기판(11)은, 관찰쪽인 화살표 A 쪽으로부터 보아 직사각형 또는 정사각형의 제 1 투광성 기판(11a)을 갖는다. 이 제 1 투광성 기판(11a)은, 예컨대 투광성의 유리, 투광성의 플라스틱 등에 의해 형성된다. 또한, 이 제 1 투광성 기판(11a)의 외측 표면에는 편광판(15a)이, 예컨대, 점착 등에 의해 장착된다. 필요에 따라, 편광판(15a) 이외의 광학 요소, 예컨대 위상차판을 부가적으로 마련할 수도 있다.
제 1 투광성 기판(11a)의 내측 표면에는, 능동 소자 또는 스위칭 소자로서의 TFT 소자(31)가 복수개 형성된다. 이들 TFT 소자(31)를 피복하도록 절연층으로서의 층간 절연막(25)이 형성되어 있다. 이 층간 절연막(25)은, 예컨대, 투광성, 감광성, 및 절연성을 갖는 수지, 예컨대 아크릴 수지를 포토리소그래피 처리에 의해 패터닝함으로써 형성된다.
층간 절연막(25)의 표면에는 복수의 화소 전극(21a)이 마련되어 있다. 이들 화소 전극(21a)은, 예컨대 ITO(Indium Tin Oxide : 인듐 주석 산화물) 등의 금속 산화물을 재료로 하여 포토 에칭 처리에 의해 형성된다. 복수의 화소 전극(21a)은 화살표 A가 그려진 쪽으로부터 보아 각각이 도트 형상으로 형성되어 있고, 그것들이 종횡 방향, 즉 행렬 방향, 즉 X-Y 방향으로 매트릭스 형상으로 배열되어 있다.
화소 전극(21a)과 층간 절연막(25) 사이에는, 도 3에 도시하는 바와 같이 광 반사층(26)이, 예컨대 Al(알루미늄), Al 합금 등에 의해 형성된다. 본 실시예에서, 광 반사층(26)은, 복수의 화소 전극(21a) 각각에 대응한 위치에 도트 매트릭스 형상으로 마련된다. 또한, 각각의 광 반사층(26)은 각각의 화소 전극(21a) 중 일부에 마련되어 있다. 즉, 각각의 화소 전극(21a)과 층간 절연막(25) 사이에는, 광 반사층(26)이 있는 영역(R)과 광 반사층(26)이 없는 영역(T)이 형성된다. 광 반사층(26)이 있는 영역(R)은 외부광 L0을 이용하여 반사형 표시를 행하는 영역, 즉 반사 표시 영역(R)이다. 한편, 광 반사층(26)이 없는 영역(T)은, 조명 장치(4)로부터의 광 L1을 이용하여 투과형 표시를 행하는 영역, 즉 투과 표시 영역(T)이다.
층간 절연막(25)은, 반사 표시 영역(R)에 대응하는 부분의 표면에 광 산란용의 요철 패턴을 갖고 있다. 그 때문에, 이 요철 패턴 상에 있는 광 반사막(26) 및 화소 전극(21a)에도 요철 패턴이 형성된다. 이 때문에, 광 반사막(26)에서 반사된 광은 산란광이 된다. 이에 따라, 광 반사층(26)에서 경면 반사가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 화소 전극(21a)의 아래에 층간 절연막(25)을 마련하는 것에 의해, 화소 전극(21a)의 층과 TFT 소자(31)의 층을 별도의 층으로 나누고 있다. 이 구조는, 화소 전극(21a)과 TFT 소자(31)를 같은 층에 형성하는 구조에 비해, 소자 기 판(11)의 표면을 유효하게 활용할 수 있다. 예컨대, 화소 전극(21a)의 면적, 즉 화소 면적을 크게 할 수 있기 때문에, 액정 표시 장치(1)에서 표시를 보기 쉽게 할 수 있다.
층간 절연막(25)은 TFT 소자(31)를 피복하도록 형성된다. 화소 전극(21a)은 이 층간 절연막(25) 위에 형성되어 있다. 이 층간 절연막(25)에는 화소 전극(21a)과 TFT 소자(31)를 전기적으로 접속하기 위한 콘택트 홀(24)이 형성된다. 이 콘택트 홀(24)은 층간 절연막(25)을 포토리소그래피 처리에 의해 형성할 때에 동시에 형성된다. 이 콘택트 홀(24)은 화살표 A 쪽으로부터 평면적으로 보아, 즉 평면에서 보아 TFT 소자(31)와 겹치지 않는 위치에서, 화소 전극(21a)과 겹치는 위치에 형성된다.
본 실시예에서 이용하는 TFT 소자(31)는 아몰퍼스 실리콘 TFT이며, 이 TFT 소자(31)는, 게이트 전극(33), 게이트절연층(34), a-Si(아몰퍼스 실리콘) 등에 의해 형성된 반도체층(35), 소스 전극(36), 그리고 드레인 전극(32)을 갖는다.
드레인 전극(32)은, 그 한쪽 단부가 반도체층(35)에 접속하고, 다른쪽 단부가 화소 전극(21a)에 콘택트 홀(24)을 거쳐서 접속한다. 소스 전극(36)은 도 3의 지면 수직 방향으로 연장하는 소스 전극선(36')의 일부로서 형성되어 있다. 또한, 게이트 전극(33)은, 소스 전극선(36')과 직각 방향, 즉 도 3의 좌우 방향으로 연장되는 게이트 전극선(33')으로부터 연장되어 있다.
도 4에서, 복수의 화소 전극(21a) 사이의 영역, 즉 차광 영역 또는 블랙 마스크 영역으로서 층간 절연막(25) 상에는, 스페이스 부재로서의 복수의 포토 스페 이서(22a)가 적절한 간격으로 형성되어 있다. 이들 포토 스페이서(22a)는, 예컨대, 감광성 수지를 포토리소그래피 처리에 의해 패터닝함으로써 형성된다. 포토 스페이서(22a)는, 예컨대, 선 상태의 원주 또는 각주 형상으로 형성되어 있고, 셀갭(G)이 균일한 치수를 유지하도록 기능한다.
화소 전극(21a) 및 포토 스페이서(22a) 위에는 배향막(23a)이 형성된다. 그리고, 이 배향막(23a)에 배향 처리, 예컨대 연마 처리가 실시되고, 이에 따라, 그 배향막(23a) 근방의 액정 분자의 초기 배향을 결정할 수 있다. 배향막(23a)은, 예컨대, 폴리이미드 용액을 도포 및 소성하여 형성하거나, 오프셋 인쇄에 의해 형성하거나 한다.
도 2에서, 소자 기판(11)에 대향하는 컬러 필터 기판(12)은, 화살표 A로 나타내는 관찰쪽으로부터 보아 직사각형 또는 정사각형의 제 2 투광성 기판(12a)을 갖는다. 이 제 2 투광성 기판(12a)은, 예컨대 투광성의 유리, 투광성의 플라스틱 등에 의해 형성된다. 또한, 이 제 2 투광성 기판(12a)의 외측 표면에는 편광판(15b)이, 예컨대, 점착에 의해 장착된다. 필요에 따라, 편광판(15b) 이외의 광학 요소, 예컨대 위상차판을 부가적으로 마련할 수도 있다.
제 2 투광성 기판(12a)의 내측 표면에는 복수의 착색 요소(42)가 마련된다. 이들 착색 요소(42)는 B(청색), G(녹색), R(적색)또는 C(시안), M(마젠타), Y(옐로우) 중 어느 하나로 착색되어, 화살표 A 방향으로부터 보아 소정의 배열로 나열된다. 본 실시예에서는, 도 6에 도시하는 바와 같이 B, G, R이 세로 1열로 나열되는 스트라이프 배열을 채용한다. 또, 그 밖의 배열, 예컨대, 모자이크 배열, 델타 배 열 등을 채용할 수도 있다. 이들 착색 요소(42) 사이에는 차광 부재(41a)가 화살표 A 방향으로부터 보아 스트라이프 형상으로 마련되어 있다. 이들 차광 부재(41a)는, 색이 다른 착색 요소(42), 예컨대 B, G, R의 3색의 착색 요소(42)를 모두 겹치는 것에 의해, 또는 그 중 2색을 겹치는 것에 의해 형성할 수 있다. 또, 차광 부재(41a)는, 크롬(Cr) 등의 차광성의 금속 재료에 의해 형성할 수도 있다.
도 4에서, 차광 부재(41a) 및 착색 요소(42) 위에는 제 1 오버코팅층(43a)이 마련된다. 그리고 그 위에, 제 2 오버코팅층(43b)이 마련된다. 제 1 오버코팅층(43a) 및 제 2 오버코팅층(43b) 위에는 공통 전극(21b)이 마련되고, 또한 그 위에 배향막(23b)이 마련된다. 공통 전극(21b)은, 예컨대, ITO를 재료로 하여 포토 에칭 처리에 의해 형성된다. 이 공통 전극(21b)은 제 2 투광성 기판(12a) 상에 똑같은 두께로 형성된 면 형상 전극이다. 상기 배향막(23b)에는 배향 처리, 예컨대 연마 처리가 실시되고, 이에 따라, 그 배향막(23b) 근방의 액정 분자의 초기 배향을 결정할 수 있다. 이 배향막(23b)은, 예컨대, 폴리이미드 용액을 도포 및 소성하여 형성하거나, 오프셋 인쇄에 의해 형성하거나 한다.
제 2 오버코팅층(43b)은, 도 2에 도시하는 바와 같이 대향하는 소자 기판(11)에 형성된 화소 전극(21a) 중 반사 표시 영역(R)에 대응하는 위치에만 형성된다. 제 1 오버코팅층(43a) 및 제 2 오버코팅층(43b)은, 예컨대, 에폭시계 또는 아크릴계의 수지 재료를 도포 및 소성하여 형성하거나, 또는, 필요에 따라, 에폭시계 또는 아크릴계의 수지 재료에 포토리소그래피 처리를 실시하는 것에 의해 형성된다.
제 2 오버코팅층(43b)은, 반사 표시 영역(R)과 투과 표시 영역(T) 사이에서 액정층(14)의 층 두께를 조정하기 위한 층 두께 조정막으로서 기능한다. 구체적으로는, 도 3에서, 광 반사층(26)이 마련되는 반사 표시 영역(R)에 소정의 층 두께를 갖는 제 2 오버코팅층(43b)을 마련한다. 이에 따라, 반사 표시 영역(R)에 대응하는 액정층(14)의 층 두께 t0을 얇게 설정한다.
한편, 광 반사층(26)이 마련되지 않는 투과 표시 영역(T)에는 제 2 오버코팅층(43b)을 마련하지 않는다. 즉 투과 표시 영역(T)에는 제 1 오버코팅층(43a)만이 마련된다. 이에 따라, 투과 표시 영역(T)에 대응하는 액정층(14)의 층 두께 t1을 t0에 비해 두껍게, 즉 t1>t0으로 설정한다.
반사형 표시가 행하여질 때, 반사광 L0은 액정층(14)을 왕복으로 2회 통과한다. 이에 대하여, 투과 표시가 행하여질 때, 투과광 L1은 액정층(14)을 한번만 통과한다. 따라서, 액정층(14)이 t1=t0으로 설정되어 있으면, 반사형 표시와 투과형 표시 사이에서 표시의 농도가 불균일해질 우려가 있다. 이에 대하여, 본 실시예와 같이 t1>t0으로 설정하면, 반사광 L0과 투과광 L1 사이에서 액정층(14)을 통과하는 광로의 길이를 같게 하거나 또는 가깝게 할 수 있고, 그 때문에, 반사형 표시와 투과형 표시 사이에서 농도가 균일한 표시를 행할 수 있다.
또, 도 3에 나타내는 실시예에서는, 투과 표시 영역(T)에서 제 2 오버코팅층(43b)을 마련하지 않는다, 즉 제 2 오버코팅층(43b)의 층 두께를 0으로 했지만, 액정층(14)의 층 두께를 t1>t0으로 설정할 수 있으면, 투과 표시 영역(T)에서의 제 2 오버코팅층(43b)의 층 두께는 반드시 0으로 한정되는 것이 아니다. 또한, 본 실 시예에서는, 제 1 오버코팅층(43a)과 제 2 오버코팅층(43b)의 2개의 오버코팅층을 마련하도록 했지만, 액정층(14)의 층 두께를 t1>t0으로 설정할 수 있으면, 오버코팅층은 1층으로 할 수도 있다. 요는, 오버코팅층의 층 두께를 반사 표시 영역(R)에 비해 투과 표시 영역(T)에서 얇게 함으로써, 반사 표시 영역(R)에 대응하는 액정층(14)의 층 두께를 투과 표시 영역(T)에 비해 얇게 되도록 하면 좋은 것이다.
도 2에서, 소자 기판(11) 상에 형성된 복수의 화소 전극(21a)은 화살표 A 방향으로부터 보아 도트 매트릭스 형상으로 배열된다. 이들 화소 전극(21a)은 화살표 A 방향으로부터 보아 공통 전극(21b)과 겹쳐 있다. 이와 같이 화소 전극(21a)과 공통 전극(21b)이 겹치는 영역은 표시를 위한 최소 영역인 서브 화소 영역(D)을 구성한다. 컬러 필터 기판(12) 상의 각각의 착색 요소(42)는 서브 화소 영역(D)에 대응하여 마련되어 있다. 착색 요소(42)를 이용하지 않는 흑백 표시의 경우에는 하나의 서브 화소 영역(D)에 의해 하나의 화소가 형성되지만, 본 실시예와 같이 3색의 착색 요소(42)를 이용하여 컬러 표시를 행하는 구조의 경우에는, B, G, R 또는 C, M, Y의 3색의 착색 요소(42)의 모임에 의해 하나의 화소가 형성된다. 도 6에 도시하는 바와 같이 서브 화소 영역(D)의 길이 방향의 한 쪽은 광 반사층(26)에 의해 규정되는 반사 표시 영역(R)이며, 나머지의 한 쪽은 광 반사층(26)이 형성되지 않는 투과 표시 영역(T)이다.
도 2에서, 소자 기판(11)은 컬러 필터 기판(12)의 외측으로 연장하여, 연장부(16)를 구성하고 있다. 구동용 IC(3)는 이 연장부(16)의 표면에 실장되어 있다. 본 실시예에서는, 도 5에 도시하는 바와 같이 1개의 구동용 IC(3a)와 2개의 구동용 IC(3b)가 실장되어 있다. 이 실장은, 예컨대, ACF(Anisotropic Conductive Film : 이방성 도전막)(46)을 이용한 COG 기술을 이용하여 실행할 수 있다.
연장부(16)의 표면에는, 복수의 배선(47, 48), 및 복수의 외부 접속용 단자(44)가 포토 에칭 처리에 의해 형성된다. 복수의 배선(47)은, 밀봉재(13)에 둘러싸인 영역 안을 향해서 Y 방향으로 연장하도록 형성되어 있다. 이들 배선(47)은, 소자 기판(11) 상의 게이트 전극선(33')(도 3 참조)에 직접 연결되어 주사선으로서 기능한다. 또한, 복수의 배선(48)은, 밀봉재(13)에 둘러싸인 영역 안에서 소자 기판(11)의 측변(11b)을 따라 Y 방향으로 연장하도록 형성되고, 또한 절곡되어 X 방향으로 연장하도록 형성되어 있다. 이들 배선(48)은, 소자 기판(11) 상의 소스 전극선(36')(도 3 참조)에 직접 연결되어 데이터선으로서 기능한다.
소자 기판(11) 상에서는, 주사선(47)과 데이터선(48)의 교차 부분에 서브 화소 영역(D)이 형성된다. 각 서브 화소 영역(D)을 전기적인 등가 회로로 나타내면, 도 5의 화살표 H로 확대하여 도시하는 바와 같이, TFT 소자(31)와 화소 전극(21a)이 직렬로 접속되어 있다. 그리고, TFT 소자(31)에는 주사선(47)과 데이터선(48)이 접속되어 있다. 각 주사선(47)은 구동용 IC(3a)에 의해 구성되는 주사선 구동 회로에 의해 구동된다. 한편, 각 데이터선(48)은 구동용 IC(3b)에 의해 구성되는 데이터선 구동 회로에 의해 구동된다. 또, 주사선 구동 회로 및 데이터선 구동 회로는 공통의 구동용 IC로 구성하더라도 좋다.
연장부(16)의 근처 단부에는, 도 1에 도시하는 바와 같이 가요성을 갖는 배선 기판인 FPC(Flexible Printed Circuit) 기판(17)이, 예컨대 ACF(46)를 이용하여 접속되어 있다. FPC 기판(17)에는, 액정 패널(2)을 구동하기 위해서 필요로 되는 복수의 전자 부품(도시하지 않음)이 실장된다. 이 전자 부품으로서는, 예컨대, 저항, 코일, 콘덴서, 전원 IC 등이 생각된다. 또한, FPC 기판(17) 상에는, 외부의 입력용 기기(예컨대, 휴대 전화기 등의 전자 기기의 제어 회로)나 외부 전원 등이 접속된다. 그리고, 액정 패널(2)을 구동하기 위한 신호나 전력이, FPC 기판(17)을 통해서 입력용 기기나 외부 전원으로부터 공급된다.
도 5에서, 서브 화소 영역(D)은 복수개가 매트릭스 형상으로 나열되어 있다. 이와 같이 복수의 서브 화소 영역(D)이 나열되는 것에 의해 유효 표시 영역(Vi)이 형성되고, 그 유효 표시 영역(Vi)에 화상이 표시된다. 이 유효 표시 영역(Vi)의 주변 영역으로서 밀봉재(13)의 내측 영역이 주변 영역(Vc)이다. 이 주변 영역(Vc)은 배선(48)이 배치되는 영역으로서 화상이 표시되지 않는 영역이다.
이상과 같이 구성된 액정 표시 장치(1)에 의하면, 도 2에서, 액정 표시 장치(1)가 밝은 실외나 밝은 실내에 놓여지는 경우에는, 태양광이나 실내광의 외부광을 이용하여 반사형의 표시가 행하여진다. 한편, 액정 표시 장치(1)가 어두운 실외나 어두운 실내에 놓여지는 경우에는, 조명 장치(4)를 백 라이트로서 이용하여 투과형의 표시가 행하여진다.
상기 반사형 표시를 행하는 경우, 관찰쪽인 화살표 A 방향으로부터 컬러 필터 기판(12)을 통해서 액정 패널(2) 내로 입사한 외부광 L0은, 액정층(14)을 통과하여 소자 기판(11)으로 들어 간 후, 반사 표시 영역(R)에 있어서 광 반사막(26)에서 반사되어 다시 액정층(14)으로 공급된다. 다른 한편, 상기 투과형 표시를 행하 는 경우, 조명 장치(4)의 LED(6)가 점등하고, 그것으로부터의 광이 도광체(7)의 광 입사면(7a)에서 도광체(7)로 도입되고, 또한, 광 출사면(7b)으로부터 면 형상의 광으로서 출사된다. 이 출사광은 부호 L1로 도시하는 바와 같이 투과 표시 영역(T)에서 컬러 필터 기판(12)을 투과하여 액정층(14)으로 공급된다.
이상과 같이 하여 액정층(14)으로 광이 공급되는 동안, 소자 기판(11)쪽의 화소 전극(21a)과 컬러 필터 기판(12)쪽의 공통 전극(21b) 사이에는, 주사 신호 및 데이터 신호에 의해 특정되는 소정의 전압이 인가되고, 이에 따라, 액정층(14) 내의 액정 분자의 배향이 서브 화소 영역(D)마다 제어되고, 이 결과, 액정층(14)에 공급된 광이 서브 화소 영역(D)마다 변조된다. 이 변조된 광이, 컬러 필터 기판(12)쪽의 편광판(15b)을 통과할 때, 그 편광판(15b)의 편광 특성에 따라서 서브 화소 영역(D)마다 통과를 허용하거나 또는 통과를 저지하고, 이에 따라, 컬러 필터 기판(12)의 표면에 문자, 숫자, 도형 등의 상이 표시되어, 이것이 화살표 A 방향으로부터 시인된다.
이하, 주변 영역(Vc)에 관해서 자세히 설명한다. 우선, 도 3에서, 제 2 투광성 기판(12a) 상에서의 주변 영역(Vc)의 전역에는, 차광 부재(41b)가 마련된다. 여기에 나타내는 주변 영역(Vc)은 도 5에서의 상하의 주변 영역(Vc)이다. 이 차광 부재(41b)는, 도 4의 착색 요소(42) 사이에 스트라이프 형상으로 마련된 차광 부재(41a)와 마찬가지로, 색이 다른 착색 요소(42), 예컨대 B, G, R의 3색의 착색 요소(42)를 모두 겹치는 것에 의해, 또는 그중 2색을 겹치는 것에 의해 형성할 수 있다. 또한, Cr 등의 차광성의 금속 재료에 의해 형성하더라도 좋다.
또한, 도 3에서, 주변 영역(Vc)에 형성된 제 1 오버코팅층(43a) 상에는, 유효 표시 영역(Vi) 내의 반사 표시 영역(R)과 마찬가지로, 제 2 오버코팅층(43b)이 마련되어 있다. 즉, 컬러 필터 기판(12)의 내측 표면에 형성된 적층 구조의 층 두께는, 주변 영역(Vc)과 반사 표시 영역(R)에서 같은 두께로 형성되어 있다. 또, 반사 표시 영역(R)에 형성되는 제 2 오버코팅층(43b)과 주변 영역(Vc) 내에 형성된 제 2 오버코팅층(43b)은 같은 재료를 이용하여 동시에 형성할 수 있다.
주변 영역(Vc) 내의 제 2 오버코팅층(43b)에는 오목부(49)가 형성되어 있다. 도 3에 나타내는 오목부(49)는 도 5의 상하의 주변 영역(Vc) 내에 마련된 것이지만, 오목부(49)는 도 6에 도시하는 바와 같이 도 5의 좌우의 주변 영역(Vc) 내에도 마련된다. 즉, 오목부(49)는, 주변 영역(Vc) 내의 전역에 걸쳐 끝이 없는 고리 형상으로 마련된다. 이 오목부(49)는, 유효 표시 영역(Vi) 내의 제 2 오버코팅층(43b)을 반사 표시 영역(R) 내에 형성하도록 패터닝할 때에 동시에 형성할 수 있다. 본 실시예에서는, 도 6에 도시하는 바와 같이 오목부(49)는 홈, 즉 가늘고 길게 패인 것이다. 또한, 도 3에서, 오목부(49)의 높이는 제 2 오버코팅층(43b)의 높이와 같은 높이로 형성되어 있지만, 배향막(23b)의 재료가 흘러 들어갈 수 있으면, 제 2 오버코팅층(43b)의 높이보다 낮더라도 좋다. 즉, 오목부(49)의 바닥부에는 제 2 오버코팅층(43b)이 남아 있더라도 좋다.
도 4에 도시하는 바와 같이 주변 영역(Vc) 내에서 오목부(49)에 겹치지 않는 장소의 소자 기판(11)의 층간 절연막(25) 상에는, 포토 스페이서(22b)가 형성되어 있다. 이 포토 스페이서(22b)는, 유효 표시 영역(Vi) 내에 형성되어 있는 포토 스 페이서(22a)와 마찬가지로, 감광성 수지를 포토리소그래피 처리에 의해 패터닝함으로써, 예컨대, 선 상태의 원주 또는 각주 형상으로 형성된다. 이 포토 스페이서(22b)는, 유효 표시 영역(Vi) 내의 포토 스페이서(22a)와 동시에 형성할 수 있다. 이와 같이 주변 영역(Vc)에 포토 스페이서(22b)를 마련하는 것에 의해, 주변 영역(Vc)에서도 액정층(14)의 층 두께를 일정하게 유지할 수 있다. 이에 따라, 유효 표시 영역(Vi)과 주변 영역(Vc)의 경계 근방에서, 액정층(14)의 층 두께의 변화에 의한 표시의 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 2 및 도 4에 나타내는 오목부(49)를 갖고 있지 않은 종래의 액정 표시 장치에서는, 컬러 필터 기판 상에 배향막을 형성할 때, 주변 영역 내에 도포된 배향막의 재료가, 유효 표시 영역 내에서 주변 영역보다 낮은 부분, 즉 투과 표시 영역 내에 흘러 들어오는 경우가 있었다. 이에 따라, 유효 표시 영역과 주변 영역의 경계 부분에서 배향막이 두껍게 형성될 우려가 있었다. 이렇게 되면, 유효 표시 영역에서 배향막의 두께가 불균일해져, 배향막이 두껍게 형성된 부분에서 배향 불량이 발생하여, 표시의 휘도에 얼룩이 발생할 우려가 있었다.
이에 대하여, 주변 영역(Vc)에 오목부(49)를 형성한 본 실시예의 액정 표시 장치(1)에 의하면, 도 3의 배향막(23b)을 컬러 필터 기판(12) 상에 도포했을 때, 주변 영역(Vc)에 도포된 배향막(23b)의 재료가, 오목부(49)에 유동하여 들어갈 수 있다. 따라서, 배향막(23b)의 재료가 도 6에서 유효 표시 영역(Vi), 특히, 주변 영역(Vc)에 인접하는 투과 표시 영역(T)에 필요 이상으로 흘러 들어오는 것을 방지할 수 있기 때문에, 유효 표시 영역(Vi)과 주변 영역(Vc) 사이에서 배향막(23b)을 균일하게 도포할 수 있다. 그 결과, 액정 표시 장치(1)의 표시에 휘도의 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
(전기 광학 장치의 실시예 2)
다음에, 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 다른 실시예인 액정 표시 장치(51)를 도 7, 도 8, 도 9 및 도 10을 이용하여 설명한다. 본 실시예의 전체적인 구성은 도 1에 나타내는 구조와 같다고 할 수 있다. 도 7은, 앞 실시예의 경우의 도 2와 같이 도 1의 B-B선을 따라서 액정 표시 장치(51)의 단면을 나타내고 있다. 또한, 도 8은, 전번의 실시예의 경우의 도 4와 같이 도 7의 C-C선을 따라서 액정 표시 장치(51)의 단면을 나타내고 있다. 또한, 도 9는 전번의 실시예의 경우의 도 3과 같이 도 7의 화살표 F로 나타내는 부분을 확대하여 나타내고 있다. 또한, 도 10은 전번의 실시예의 경우의 도 6과 같이 도 8의 화살표 I로 나타내는 부분을 화살표 A가 그려진 쪽으로부터 평면적으로 본 경우를 나타내고 있다.
전번의 실시예로 도 2에 나타내는 액정 패널(2)과, 본 실시예에서 도 7에 나타내는 액정 패널(52)이 다른 점은 다음과 같다. 즉, 도 2의 액정 패널(2)은 컬러 필터 기판(12)의 제 1 오버코팅층(43a) 상에 제 2 오버코팅층(43b)를 형성하고, 이 제 2 오버코팅층(43b)에 의해 액정층(14)의 층 두께를 다르게 하도록 했다. 또한, 주변 영역(Vc) 내에는, 제 2 오버코팅층(43b)에 의해 컬러 필터 기판(12) 상에 홈 형상의 오목부(49)를 형성했다. 이에 대하여, 도 7의 액정 패널(52)은, 소자 기판(61)의 제 1 층간 절연막(75a) 상에 제 2 층간 절연막(75b)을 형성하고, 이 제 2 층간 절연막(75b)에 의해 액정층(14)의 층 두께를 다르게 하고 있다. 즉, 본 실시예에서는, 컬러 필터 기판(62)쪽에서 액정층 두께를 조정하는 것이 아니라, 소자 기판(61)쪽에서 조정하고 있다. 또한, 주변 영역(Vc) 내에는, 제 2 층간 절연막(75b)에 의해 소자 기판(61) 상에 홈 형상의 오목부(99)를 형성하고 있다.
이하, 본 실시예를 전번의 실시예 1과 다른 점을 중심으로 하여 설명한다. 본 실시예에서 전번의 실시예와 같은 구성 요소는 같은 부호를 부여하여 나타내고, 그 설명은 생략한다.
도 8에서, 컬러 필터 기판(62)을 구성하는 제 2 투광성 기판(62a)의 내측 표면에, 착색 요소(42)와 차광 부재(41a, 41b)가 형성되고, 그 위에 제 1 오버코팅층(43a)이 형성되고, 그 위에 공통 전극(21b)이 형성되고, 그리고 그 위에 배향막(23b)이 형성된다. 이들 구성 요소에 관해서는, 도 4의 제 2 오버코팅층(43b)을 형성하지 않고서 제 1 오버코팅층(43a)의 1층만이 형성되어 있는 것을 제외하고, 도 2의 실시예의 경우와 동일하다.
도 7에서, 소자 기판(61)을 구성하는 제 1 투광성 기판(61a)의 내측 표면에는, TFT 소자(31)가 복수개 형성된다. 이들 TFT 소자(31)를 피복하도록 제 1 층간 절연막(75a)이 형성된다. 그리고 그 위에, 절연층으로서의 제 2 층간 절연막(75b)이 소정의 패턴, 즉, 반사 표시 영역(R)에 대응하는 위치에 형성된다. 도 9에 도시하는 바와 같이 이 제 2 층간 절연막(75b) 위에 광 반사층(26)을 형성하고, 또한 광 반사층(26) 상 및 제 1 층간 절연막(75a) 상에 걸쳐 화소 전극(21a)이 형성된다. 제 2 층간 절연막(75b)의 표면에는, 광 산란용의 요철 패턴이 형성되어 있다. 그 때문에, 이 요철 패턴 상에 있는 광 반사층(26) 및 화소 전극(21a)에도 요철 패턴이 형성된다. 이 때문에, 광 반사층(26)에서 반사된 광은 산란광이 된다.
제 2 층간 절연막(75b)은, 반사 표시 영역(R)과 투과 표시 영역(T) 사이에서 액정층(14)의 층 두께를 조정하기 위한 층 두께 조정막으로서 기능한다. 구체적으로는, 광 반사층(26)이 마련되는 반사 표시 영역(R)에 소정의 막 두께를 갖는 제 2 층간 절연막(75b)을 마련한다. 이에 따라, 반사 표시 영역(R)에 대응하는 액정층(14)의 층 두께 t0을 얇게 설정한다. 한편, 광 반사층(26)이 마련되지 않는 투과 표시 영역(T)에는 제 2 층간 절연막(75b)을 마련하지 않는다. 즉 투과 표시 영역(T)에는 제 1 층간 절연막(75a)만이 마련된다. 이에 따라, 투과 표시 영역(T)에 대응하는 액정층(14)의 층 두께 t1을 t0에 비해 두껍게, 즉 t1>t0으로 설정한다. 이에 따라, 반사광 L0과 투과광 L1 사이에서 액정층(14)을 통과하는 광로의 길이를 같게 하거나 또는 가깝게 할 수 있고, 그 때문에, 반사형 표시와 투과형 표시 사이에서 농도가 균일한 표시를 행할 수 있다.
또, 도 3에 나타내는 실시예에서는, 투과 표시 영역(T)에서 제 2 층간 절연막(75b)을 마련하지 않는다, 즉 제 2 층간 절연막(75b)의 층 두께를 0으로 했지만, 액정층(14)의 층 두께를 t1>t0으로 설정할 수 있으면, 투과 표시 영역(T)에서의 제 2 층간 절연막(75b)의 층 두께는 반드시 0으로 한정되는 것이 아니다. 또한, 본 실시예에서는, 제 1 층간 절연막(75a)과 제 2 층간 절연막(75b)의 2개의 층간 절연막(75)을 마련하도록 했지만, 액정층(14)의 층 두께를 t1>t0으로 설정할 수 있으면, 층간 절연막은 1층으로 할 수도 있다. 요는, 층간 절연막의 층 두께를 반사 표시 영역(R)에 비해 투과 표시 영역(T)에서 얇게 함으로써, 반사 표시 영역(R)에 대응하는 액정층(14)의 층 두께를 투과 표시 영역(T)에 비해 ??게 되도록 하면 좋은 것이다.
도 8에서, 서로 인접하는 화소 전극(21a) 사이의 영역(즉, 차광 영역 또는 블랙 마스크 영역)으로서 제 2 층간 절연막(75b) 상에는, 스페이스 부재로서의 복수의 포토 스페이서(22a)가 적절한 간격으로 형성되어 있다. 화소 전극(21a) 및 포토 스페이서(22a) 위에는 배향막(23a)이 형성된다. 그리고, 이 배향막(23a)에 배향 처리, 예컨대 연마 처리가 실시되고, 이에 따라, 그 배향막(23a) 근방의 액정 분자의 초기 배향을 결정할 수 있다.
도 9에서, 주변 영역(Vc)에 형성된 제 1 층간 절연막(75a) 상에는, 유효 표시 영역(Vi) 내의 반사 표시 영역(R)과 마찬가지로, 제 2 층간 절연막(75b)이 마련되어 있다. 즉, 소자 기판(12)의 내측의 표면에 형성된 적층 구조의 층 두께는, 주변 영역(Vc)과 반사 표시 영역(R)에서 같은 두께로 형성되어 있다. 또, 반사 표시 영역(R)에 형성되는 제 2 층간 절연막(75b)과 주변 영역(Vc) 내에 형성되는 제 2 층간 절연막(75b)은 같은 재료를 이용하여 동시에 형성할 수 있다.
주변 영역(Vc) 내의 제 2 층간 절연막(75b)에는 오목부(99)가 형성되어 있다. 이 오목부(99)는, 유효 표시 영역(Vi) 내의 제 2 층간 절연막(75b)을 반사 표시 영역(R) 내에 형성하도록 패터닝할 때에 동시에 형성할 수 있다. 본 실시예에서는, 도 10에 도시하는 바와 같이 오목부(99)는 홈, 즉 가늘고 길게 패인 것으로서, 유효 표시 영역(Vi)의 전체 주위를 둘러싸는 주변 영역(Vc)의 전역에 고리 형 상으로 형성되어 있다. 또한, 도 9에서, 오목부(99)의 높이는 제 2 층간 절연막(75b)의 높이와 같은 높이로 형성되어 있지만, 배향막(23a)의 재료가 흘러 들어갈 수 있으면, 제 2 층간 절연막(75b)의 높이보다 낮더라도 좋다. 즉, 오목부(99)의 바닥부에는 제 2 층간 절연막(75b)이 남아 있더라도 좋다.
도 8에 도시하는 바와 같이 주변 영역(Vc) 안으로서 오목부(99)에 겹치지 않는 장소의 제 2 층간 절연막(75b) 상에는, 포토 스페이서(22b)가 형성되어 있다. 이 포토 스페이서(22b)는, 유효 표시 영역(Vi) 내의 포토 스페이서(22a)와 동시에 형성할 수 있다. 이와 같이 주변 영역(Vc)에 포토 스페이서(22b)를 마련하는 것에 의해, 주변 영역(Vc)에서도 액정층(14)의 층 두께를 일정하게 유지할 수 있다. 이에 따라, 유효 표시 영역(Vi)과 주변 영역(Vc)의 경계 근방에서, 액정층(14)의 층 두께의 변화에 의한 표시의 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
본 실시예의 액정 표시 장치(51)에서는, 주변 영역(Vc)에 오목부(99)를 형성했다. 이에 따라, 도 9의 배향막(23a)을 소자 기판(61) 상에 도포했을 때, 주변 영역(Vc)에 도포된 배향막(23a)의 재료가 오목부(99)에 유동하여 들어갈 수 있다. 따라서, 배향막(23a)의 재료가 도 10에서 유효 표시 영역(Vi), 특히, 주변 영역(Vc)에 인접하는 투과 표시 영역(T)에 필요 이상으로 흘러 들어오는 것을 방지할 수 있기 때문에, 유효 표시 영역(Vi)과 주변 영역(Vc) 사이에서 배향막(23a)을 균일하게 도포할 수 있다. 그 결과, 액정 표시 장치(51)의 표시에 휘도의 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
(전기 광학 장치의 그 밖의 실시예)
이상, 바람직한 실시예를 들어 본 발명을 설명했지만, 본 발명은 그 실시예로 한정되는 것이 아니라, 청구의 범위에 기재한 발명의 범위 내에서 여러 가지로 변경될 수 있다.
예컨대, 상기 실시예에서는, 도 6에서, 오목부(49)는 홈, 즉 가늘고 길게 패인 것으로 형성되어 있고, 오목부(49)와 투과 표시 영역(T)은 제 2 오버코팅층(43b)에 의해 격리되어 있다. 그러나, 이 오목부(49)는, 도 11(a)에 도시하는 바와 같이 주변 영역(Vc)에 인접하는 투과 표시 영역(T)에 연결시켜 형성할 수도 있다. 이 경우, 도 11(a)의 P1-P1선에 따른 단면, 즉, 주변 영역(Vc)과 반사 표시 영역(R)이 인접하는 부분의 단면에서는, 도 11(b)에 도시하는 바와 같이 오목부(49)가 도 4와 같이 주변 영역(Vc) 내의 제 2 오버코팅층(43b)에 홈 형상으로 형성되어 있다.
한편, 도 11(a)의 P2-P2선에 따른 단면, 즉, 주변 영역(Vc)과 투과 표시 영역(T)이 인접하는 부분의 단면에서는, 도 11(c)에 도시하는 바와 같이 밀봉재(13)에 인접하는 부분에 제 2 오버코팅층(43b)을 형성하고, 투과 표시 영역(T)에 인접하는 부분에는 제 2 오버코팅층(43b)을 형성하지 않는다. 따라서, 오목부(49)의 저면과 투과 표시 영역(T)은 같은 높이로 되어 있다. 이렇게 하면, 투과 표시 영역(T)과 주변 영역(Vc) 사이에서 제 2 오버코팅층(43b)의 두께가 갑자기 변화되는 부분이 없어진다. 그 결과, 투과 표시 영역(T)과 주변 영역(Vc) 사이에서, 제 2 오버코팅층(43b) 위에 형성되는 막, 예컨대, 공통 전극(21b) 등이 끊어지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 도 10에서, 오목부(99)는 홈, 즉 가늘고 길기 패여 형성되어 있고, 오목부(99)와 투과 표시 영역(T)은 제 2 층간 절연막(75b)에 의해 격리되어 있다. 그러나, 이 오목부(99)는, 도 12(a)에 도시하는 바와 같이 주변 영역(Vc)에 인접하는 투과 표시 영역(T)에 연결시켜 형성할 수도 있다. 이 경우, 도 12(a)의 P1-P1선에 따른 단면, 즉, 주변 영역(Vc)과 반사 표시 영역(R)이 인접하는 부분의 단면에서는, 도 12(b)에 도시하는 바와 같이 오목부(99)가 도 8과 같이 주변 영역(Vc) 내의 제 2 층간 절연막(75b)에 홈의 형상으로 형성되어 있다.
한편, 도 12(a)의 P2-P2선에 따른 단면, 즉, 주변 영역(Vc)과 투과 표시 영역(T)이 인접하는 부분의 단면에서는, 도 12(c)에 도시하는 바와 같이 밀봉재(13)에 인접하는 부분에 제 2 층간 절연막(75b)을 형성하고, 투과 표시 영역(T)에 인접하는 부분에는 제 2 층간 절연막(75b)을 형성하지 않는다. 따라서, 오목부(99)의 저면과 투과 표시 영역(T)은 같은 높이로 형성되어 있다. 이렇게 하면, 투과 표시 영역(T)과 주변 영역(Vc) 사이에서 제 2 층간 절연막(75b)의 두께가 갑자기 변화되는 부분이 없어진다. 그 결과, 투과 표시 영역(T)과 주변 영역(Vc) 사이에서, 제 2 층간 절연막(75b) 위에 형성되는 막이 끊어지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 도 6에서, 오목부(49)는, 유효 표시 영역(Vi)을 둘러싸는 주변 영역(Vc)의 전역에 고리 형상으로 형성되어 있다. 그러나, 이 오목부(49)는, 도 13(a)에 도시하는 바와 같이 고리 형상이 아니라 불연속으로 도중에서 끊긴 구멍으로 형성하더라도 좋다. 이 경우, 도 13(a)의 P3-P3선에 따른 단면에서는, 도 13(b)에 도시하는 바와 같이 오목부(49)를 도 4와 같이 주변 영역(Vc) 내의 제 2 오버코팅층(43b)에 홈 형상으로 형성하고 있다. 한편, 도 13(a)의 P4-P4선에 따른 단면에서는, 도 13(c)에 도시하는 바와 같이 오목부(49)를 형성하지 않고서 제 2 오버코팅층(43b)을, 주변 영역(Vc)과 유효 표시 영역(Vi)에 걸쳐 똑같은 높이로 형성하고 있다.
또한, 도 10에서, 오목부(99)는, 유효 표시 영역(Vi)을 둘러싸는 주변 영역(Vc)의 전역에 고리 형상으로 형성되어 있다. 그러나, 이들 오목부(99)는, 도 14(a)에 도시하는 바와 같이 고리 형상이 아니라 불연속으로 도중에서 끊긴 구멍으로 형성하더라도 좋다. 이 경우, 도 14(a)의 P3-P3선에 따른 단면에서는, 도 14(b)에 도시하는 바와 같이 오목부(99)를 도 8과 같이 주변 영역(Vc) 내의 제 2 층간 절연막(75b)에 홈 형상으로 형성하고 있다. 한편, 도 14(a)의 P4-P4선에 따른 단면에서는, 도 14(c)에 도시하는 바와 같이 오목부(99)를 형성하지 않고서 제 2 층간 절연막(75b)을, 주변 영역(Vc)과 유효 표시 영역(Vi)에 걸쳐 똑같은 높이로 형성하고 있다.
(전기 광학 장치의 제조 방법의 실시예 1)
이하, 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 제조 방법의 실시예를 도 2에 나타낸 액정 표시 장치(1)를 제조하는 경우를 예로 들어 설명한다. 도 15는 그 액정 표시 장치의 제조 방법의 일 실시예를 공정도로서 나타내고 있다. 도 15에서, 공정 P1∼공정 P8에 이르는 공정은 도 2의 소자 기판(11)을 형성하는 공정이다. 또 한, 도 2의 공정 P11∼공정 P16에 이르는 공정은 도 2의 컬러 필터 기판(12)을 형성하는 공정이다. 또한, 도 15의 공정 P21∼공정 P28에 이르는 공정은 그들의 기판을 접합하여 제품인 액정 표시 장치를 형성하는 공정이다.
또, 본 실시예에서는, 도 2에 나타내는 소자 기판(11) 및 컬러 필터 기판(12)을 하나씩 형성하는 것이 아니라, 소자 기판(11)에 관해서는 복수의 소자 기판(11)을 형성할 수 있는 크기의 면적을 갖는 소자쪽 머더 투광성 기판 위에 소자 기판(11) 복수개분의 요소를 동시에 형성하는 것으로 한다. 또한, 컬러 필터 기판(12)에 관해서는, 복수의 컬러 필터 기판(12)을 형성할 수 있는 크기의 면적을 갖는 컬러 필터쪽 머더 투광성 기판 위에 컬러 필터 기판(12) 복수개분의 요소를 동시에 형성하는 것으로 한다. 소자쪽 머더 투광성 기판 및 컬러 필터쪽 머더 투광성 기판은, 예컨대, 투광성 유리, 투광성 플라스틱 등에 의해 형성된다.
우선, 도 15의 공정 P1에서, 도 2의 TFT 소자(31)를 포토 에칭 처리 등을 이용하여 소정의 적층 구조, 즉 도 3에 나타내는 적층 구조로 형성한다. 또한 동시에, 도 5의 배선(47), 배선(48) 및 단자(44)를 소정의 패턴으로 형성한다. 다음에, 도 15의 공정 P2에서, 도 2의 층간 절연막(25)을, 예컨대, 포지티브형 감광성 수지 재료에 의해 제 1 투광성 기판(11a) 상에 형성한다. 이 때, 도 3에 도시하는 바와 같이 층간 절연막(25)의 적소에 콘택트 홀(24) 및 요철 패턴이 포토리소그래피 처리에 의해 형성된다.
다음에, 도 15의 공정 P3에서, 도 3의 광 반사층(26)을, 예컨대 Al이나 Al 합금 등을 재료로 하여 포토 에칭 처리에 의해 형성한다. 이 때, 층간 절연막(25) 의 표면 중 요철 패턴이 형성되어 있는 부분에서는, 그 위에 적층된 광 반사층(26)에도 같은 요철 패턴이 형성되고, 그 광 반사층(26)에 광이 닿아 반사되는 경우에, 그 반사광은 산란광이 된다.
다음에, 도 15의 공정 P4에서, 도 3의 TFT 소자(31)에 평면에서 보아로 겹치도록 화소 전극(21a)을 ITO를 재료로 하여 포토 에칭 처리에 의해 소정의 형상으로 형성한다.
다음에, 도 15의 공정 P5에서, 도 4의 포토 스페이서(22a, 22b)를, 예컨대, 네가티브형 감광성 수지 재료를 재료로 하여 포토리소그래피 처리에 의해 형성하고, 도 15의 공정 P6에서, 도 4의 배향막(23a)을 폴리이미드 등의 감광성 수지를 재료로 하여 포토리소그래피 처리에 의해 형성한다. 다음에, 도 15의 공정 P7에서, 도 4의 배향막(23a)에 연마 처리를 실시하여 배향성을 부여한다. 다음에, 공정 P8에서, 도 4의 밀봉재(13)를 에폭시계 수지를 재료로 하여 인쇄 등에 의해 형성한다. 이상으로부터, 대면적의 소자 기판용 머더 투광성 기판 위에 소자 기판(11) 복수개분의 막 요소가 형성되어, 소자 기판(11)쪽의 대면적의 머더 기판이 형성된다.
다른 한편, 도 15의 공정 P11에서, 대면적의 컬러 필터쪽 머더 투광성 기판 상에, 도 4의 착색 요소(42)를 B, G, R의 각 색마다 순서대로 형성한다. 이들 착색 요소(42)는, 예컨대, 각 색의 안료나 염료를 감광성 수지에 분산시켜 이루어지는 착색 재료를 포토리소그래피 처리에 의해 소정의 배열로 형성한다. 이 때 동시에, 서로 인접하는 2색의 착색 요소(42)를 적층함으로써, 또는 3색의 착색 요 소(42)를 모두 적층함으로써, 각 색의 착색 요소(42) 사이에 차광 부재(41a)를 소정의 패턴으로 형성한다. 본 실시예의 경우에는, 다른 색의 착색 요소(42) 사이에 서브 화소 영역(D) 사이를 매립하기 위한 스트라이프 형상의 패턴으로 형성한다. 또한 동시에, 주변 영역(Vc)의 전역에 차광 부재(41b)를 형성한다. 또, 차광 부재(41a, 41b)는 Cr 등의 차광성을 갖은 금속을 재료로 하여 포토 에칭 처리에 의해 소정의 패턴으로 형성할 수도 있다.
다음에, 도 15의 공정 P12에서, 도 4의 차광 부재(41a, 41b) 및 착색 요소(42) 위에 제 1 오버코팅층(43a)을 아크릴 수지, 폴리이미드 수지 등의 감광성 수지를 재료로 하여 포토리소그래피 처리에 의해 형성한다. 다음에, 도 15의 공정 P13에서, 도 2의 제 1 오버코팅층(43a) 상에, 제 2 오버코팅층(43b)을 아크릴 수지, 폴리이미드 수지 등의 감광성 수지를 재료로 하여 포토리소그래피 처리에 의해 소정의 패턴으로 형성한다. 이 패터닝 공정에서, 유효 표시 영역(Vi) 내에서는, 서브 화소 영역(D) 내의 반사 표시 영역(R)에 대응하는 위치에 소정 패턴의 제 2 오버코팅층(43b)을 형성하고, 주변 영역(Vc) 내에서는 배향막(23b)의 재료가 들어가는 오목부(49)를 그 제 2 오버코팅층(43b) 내에 형성한다.
다음에, 도 15의 공정 P14에서, 도 2의 공통 전극(21b)을 ITO를 재료로 하여 포토 에칭 처리에 의해 형성한다. 다음에, 도 15의 공정 P15에서, 도 2의 배향막(23b)을 폴리이미드 등의 감광성 수지를 재료로 하여 포토리소그래피 처리에 의해 형성하고, 또한, 도 15의 공정 P16에서 도 2의 배향막(23b)의 표면에 배향 처리로서의 연마 처리를 행한다. 이상으로부터, 대면적의 컬러 필터 기판쪽 머더 투광 성 기판 위에 컬러 필터 기판(12) 복수개분의 막 요소가 형성되어, 컬러 필터 기판(12)쪽의 대면적의 머더 기판이 형성된다.
그 후, 도 15의 공정 P21에서, 소자쪽 머더 기판과 컬러 필터쪽 머더 기판을 접합한다. 이에 따라, 소자쪽 머더 기판과 컬러 필터쪽 머더 기판이 각각의 액정 표시 장치의 영역에서 도 2의 밀봉재(13)를 사이에 두고 접합된 구조의 대면적의 패널 구조체가 형성된다.
다음에, 이상과 같이 하여 형성된 대면적의 패널 구조체에 포함되는 밀봉재(13)를, 도 15의 공정 P22에서 열 경화 또는 자외선 경화에 의해 경화시켜 양 머더 기판을 접착하여 대면적의 패널 구조체를 형성한다. 다음에, 공정 P23에서, 그 패널 구조체를 1차 절단, 즉 1차 브레이킹하여, 도 1의 액정 패널(2)의 복수가 1열로 나열된 상태로 포함되는 중면적의 패널 구조체, 이른바 직사각형의 패널 구조체를 복수 형성한다. 밀봉재(13)에는 미리 적소에 개구(13a)가 형성되어 있고, 상기 1차 브레이킹에 의해 직사각형의 패널 구조체가 형성되면, 그 밀봉재(13)의 개구(13a)가 외부에 노출된다.
다음에, 도 15의 공정 P24에서, 상기 밀봉재(13)의 개구(13a)를 통해서 각 액정 패널 부분의 내부로 액정을 주입하고, 그 주입 완료 후, 그 개구(13a)를 수지에 의해 밀봉한다. 다음에 공정 P25에서, 두번째의 절단, 즉 2차 브레이킹을 행하여, 직사각형의 패널 구조체로부터 도 1에 나타내는 각각의 액정 패널(2)을 잘라낸다.
다음에, 도 15의 공정(26)에서, 도 1의 구동용 IC(3)를 ACF(46)를 이용하여 열 압착함으로써 실장한다. 다음에, 도 15의 공정 P27에서, 도 2의 액정 패널(2)에 편광판(15a, 15b)를 점착에 의해 장착한다. 또한 도 15의 공정 P28에서, 도 2의 조명 장치(4)를 액정 패널(2)에 설치한다. 이에 따라, 액정 표시 장치(1)가 완성된다.
이상과 같이, 본 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법에서는, 도 15의 공정 P13에서, 도 3에 도시하는 바와 같이 주변 영역(Vc) 내의 컬러 필터 기판(12) 상의 제 2 오버코팅층(43b)에 오목부(49)를 형성했다. 이에 따라, 도 15의 공정 P15에서, 도 3의 배향막(23b)의 재료를 컬러 필터 기판(12) 상에 도포했을 때, 주변 영역(Vc)에 도포된 배향막(23b)의 재료가, 오목부(49)에 유동하여 들어갈 수 있다. 따라서, 배향막(23b)의 재료가 유효 표시 영역(Vi), 특히, 주변 영역(Vc)에 인접하는 투과 표시 영역(T)에 필요 이상으로 흘러 들어가는 것을 방지할 수 있기 때문에, 유효 표시 영역(Vi)과 주변 영역(Vc) 사이에서 배향막(23b)을 균일하게 도포할 수 있다. 그 결과, 액정 표시 장치(1)의 표시에 휘도의 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
(전기 광학 장치의 제조 방법의 실시예 2)
다음에, 본 발명에 따른 전기 광학 장치의 제조 방법의 다른 실시예를 도 16을 이용하여 설명한다.
본 실시예에서는, 도 7에 나타내는 구조를 갖는 액정 표시 장치(51)를 제조하는 것으로 한다. 또, 이 액정 표시 장치(51)의 전체적인 구성은, 액정 패널(52) 의 구성을 제외하고 도 2에 나타낸 액정 표시 장치(1)와 같은 것으로 한다.
도 16에서, 공정 P31∼공정 P39에 이르는 공정은 도 7의 소자 기판(61)을 형성하는 공정이다. 또한, 도 16의 공정 P41∼공정 P45에 이르는 공정은 도 7의 컬러 필터 기판(62)을 형성하는 공정이다. 또한, 공정 P51∼공정 P58에 이르는 공정은 그들의 기판을 접합하여 제품인 액정 표시 장치를 형성하는 공정이다.
본 실시예에서도, 도 15에 나타내는 실시예와 마찬가지로, 도 7에 나타내는 소자 기판(61) 및 컬러 필터 기판(62)을 하나씩 형성하는 것은 아니고, 소자 기판(61)에 관해서는, 복수의 소자 기판(61)을 형성할 수 있는 크기의 면적을 갖는 소자쪽 머더 투광성 기판 위에 소자 기판(61) 복수개분의 요소를 동시에 형성하는 것으로 한다. 또한, 컬러 필터 기판(62)에 관해서는, 복수의 컬러 필터 기판(62)을 형성할 수 있는 크기의 면적을 갖는 컬러 필터쪽 머더 투광성 기판 위에 컬러 필터 기판(62) 복수개분의 요소를 동시에 형성하는 것으로 한다. 소자쪽 머더 투광성 기판 및 컬러 필터쪽 머더 투광성 기판은, 예컨대, 투광성 유리, 투광성 플라스틱 등에 의해 형성된다.
우선, 도 16의 공정 P31에서, 도 9의 TFT 소자(31)를 포토 에칭 처리 등을 이용하여 소정의 적층 구조로 형성한다. 다음에, 도 16의 공정 P32에서, 도 9의 제 1 층간 절연막(75a)을, 예컨대, 포지티브형 감광성 수지 재료에 의해 제 1 투광성 기판(61a) 상에 형성한다. 다음에, 도 16의 공정 P33에서, 도 9의 제 1 층간 절연막(75a) 상에 제 2 층간 절연막(75b)을, 예컨대, 포지티브형 감광성 수지 재료에 의해 소정의 패턴으로 형성한다.
본 실시예에서는, 유효 표시 영역(Vi) 내에서는, 서브 화소 영역(D) 내의 반사 표시 영역(R)에 대응하는 위치에 형성하고, 주변 영역(Vc) 내에서는 배향막(23b)의 재료가 들어가는 오목부(99)를 형성한다. 또한 이 때, 제 2 층간 절연막(75b)의 표면의 적소에는 요철 패턴이 포토리소그래피 처리에 의해 형성된다. 또한 동시에, 제 1 층간 절연막(75a) 및 제 2 층간 절연막(75b)을 관통하는 콘택트 홀(24)도 형성된다.
다음에, 도 16의 공정 P34에서, 도 9의 광 반사층(26)을, 예컨대 Al이나 Al 합금 등을 재료로 하여 포토 에칭 처리에 의해 형성한다. 이 때, 제 2 층간 절연막(75b)의 표면중의 요철 패턴이 형성되어 있는 부분에서는, 그 위에 적층된 광 반사층(26)에도 같은 요철 패턴이 형성되고, 그 광 반사층(26)에 광이 닿아 반사되는 경우에는, 그 반사광은 산란광이 된다.
다음에, 도 16의 공정 P35에서, 도 9의 TFT 소자(31)에 평면에서 보아 겹치도록 화소 전극(21a)을 ITO를 재료로 하여 포토 에칭 처리에 의해 소정의 형상으로 형성한다. 다음에, 도 16의 공정 P36에서, 도 8의 포토 스페이서(22a, 22b)가, 예컨대, 네가티브형 감광성 수지 재료를 재료로 하여 포토리소그래피 처리에 의해 형성되고, 도 16의 공정 P37에서, 도 8의 배향막(23a)을 폴리이미드 등의 감광성 수지를 재료로 하여 포토리소그래피 처리에 의해 형성한다. 다음에, 도 16의 공정 P38에서, 도 8의 배향막(23a)에 연마 처리를 실시하여 배향성을 부여한다. 다음에, 도 16의 공정 P39에서, 도 8의 밀봉재(13)를 에폭시계 수지를 재료로 하여 인쇄 등에 의해 형성한다. 이상으로부터, 대면적의 소자 기판용 머더 투광성 기판 위에 소자 기판(61) 복수개분의 막 요소가 형성되어, 소자 기판(61)쪽의 대면적의 머더 기판이 형성된다.
다른 한편, 도 16의 공정 P41에서, 대면적인 컬러 필터쪽 머더 투광성 기판 상에, 도 8의 착색 요소(42)를 B, G, R의 각 색마다 순서대로 형성한다. 예컨대, 각 색의 안료나 염료를 감광성 수지에 분산시켜 이루어지는 착색 재료를 포토리소그래피 처리에 의해 소정의 배열로 형성한다. 이 때 동시에, 서로 인접하는 2색의 착색 요소(42)를 적층함으로써, 또는 3색의 착색 요소(42)를 모두 적층함으로써, 각 색의 착색 요소(42) 사이에 차광 부재(41a, 41b)를 소정의 패턴으로 형성한다. 본 실시예의 경우에는, 다른 색의 착색 요소(42) 사이에 서브 화소 영역(D) 사이를 매립하기 위한 스트라이프 형상의 패턴으로 형성한다. 또, 차광 부재(41a, 41b)는 Cr 등의 차광성을 갖은 금속을 재료로 하여 포토 에칭 처리에 의해 소정의 패턴으로 형성할 수도 있다.
다음에, 도 16의 공정 P42에서, 도 8의 차광 부재(41a, 41b) 및 착색 요소(42) 위에 오버코팅층(43a)을 아크릴 수지, 폴리이미드 수지 등의 감광성 수지를 재료로 하여 포토리소그래피 처리에 의해 형성한다. 다음에, 도 16의 공정 P43에서, 도 7의 공통 전극(21b)을 ITO를 재료로 하여 포토 에칭 처리에 의해 형성한다. 다음에, 도 16의 공정 P44에서, 도 7의 배향막(23b)을 폴리이미드 등의 감광성 수지를 재료로 하여 포토리소그래피 처리에 의해 형성하고, 또한, 도 16의 공정 P45에서 도 7의 배향막(23b)의 표면에 배향 처리로서의 연마 처리를 행한다. 이상으로부터, 대면적의 컬러 필터 기판쪽 머더 투광성 기판의 위에 컬러 필터 기판(62) 복수개분의 막 요소가 형성되어, 컬러 필터 기판(62)쪽의 대면적의 머더 기판이 형성된다.
그 후, 도 16의 공정 P51에서, 소자쪽 머더 기판과 컬러 필터쪽 머더 기판을 접합한다. 이에 따라, 소자쪽 머더 기판과 컬러 필터쪽 머더 기판이 각각의 액정 표시 장치의 영역에서 도 7의 밀봉재(13)를 사이에 두고 접합된 구조의 대면적의 패널 구조체가 형성된다.
다음에, 이상과 같이 하여 형성된 대면적의 패널 구조체에 포함되는 밀봉재(13)를, 도 16의 공정 P52에서 열 경화 또는 자외선 경화에 의해 경화시켜 양 머더 기판을 접착하여 대면적의 패널 구조체를 형성한다. 다음에, 공정 P53에서, 그 패널 구조체를 1차 절단, 즉 1차 브레이킹하여, 도 7의 액정 패널(52)의 복수가 1열로 나열된 상태로 포함되는 중면적의 패널 구조체, 이른바 직사각형의 패널 구조체를 복수 형성한다. 밀봉재(13)에는 미리 적소에 개구(13a)가 형성되어 있고, 상기 1차 브레이킹에 의해 직사각형의 패널 구조체가 형성되면, 그 밀봉재(13)의 개구(13a)가 외부에 노출된다.
다음에, 도 16의 공정 P54에서, 상기 밀봉재(13)의 개구(13a)를 통해서 각 액정 패널 부분의 내부로(에) 액정을 주입하여, 그 주입의 완료후, 그 개구(13a)를 수지에 의해 밀봉한다. 다음에 공정 P55에서, 두번째의 절단, 즉 2차 브레이킹을 하여, 직사각형의 패널 구조체로부터 도 7에 나타내는 각각의 액정 패널(52)을 잘라낸다.
다음에, 도 16의 공정 P56에서, 도 7의 구동용 IC(3)를 ACF(46)를 이용하여 열 압착함으로써 실장한다. 다음에, 도 16의 공정 P57에서, 도 7의 액정 패널(52)에 편광판(15a, 15b)을 점착에 의해 장착한다. 또한 도 16의 공정 P58에서, 도 7의 조명 장치(4)를 액정 패널(52)에 설치한다. 이에 따라, 액정 표시 장치(51)가 완성된다.
이상과 같이, 본 실시예에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법에서는, 도 16의 공정 P33에서, 도 9에 도시하는 바와 같이 주변 영역(Vc) 내의 소자 기판(61) 상의 제 2 층간 절연막(75b)에 오목부(99)를 형성했다. 이에 따라, 도 16의 공정 P37에서, 도 9의 배향막(23a)을 소자 기판(61) 상에 도포했을 때, 주변 영역(Vc)에 도포된 배향막(23a)의 재료가, 오목부(99)에 유동하여 들어갈 수 있다. 따라서, 배향막(23a)의 재료가 유효 표시 영역(Vi), 특히, 주변 영역(Vc)에 인접하는 투과 표시 영역(T)에 필요 이상으로 흘러 들어가는 것을 방지할 수 있기 때문에, 유효 표시 영역(Vi)과 주변 영역(Vc) 사이에서 배향막(23a)을 균일하게 도포할 수 있다. 그 결과, 액정 표시 장치(51)의 표시에 휘도의 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
(전자 기기의 실시예)
이하, 본 발명에 따른 전자 기기를 실시예를 들어 설명한다. 또, 본 실시예는 본 발명의 일례를 나타내는 것으로서, 본 발명은이 실시예에 한정되는 것이 아니다.
도 17은 본 발명에 따른 전자 기기의 일 실시예를 나타내고 있다. 여기에 나타내는 전자 기기는, 액정 표시 장치(101)와, 이것을 제어하는 제어 회로(100)를 갖는다. 제어 회로(100)는, 표시 정보 출력원(104), 표시 정보 처리 회로(105), 전원 회로(106) 및 타이밍 생성기(107)에 의해 구성된다. 그리고, 액정 표시 장치(101)는 액정 패널(102) 및 구동 회로(103)를 갖는다.
표시 정보 출력원(104)은, RAM(Random Access Memory) 등의 메모리나, 각종 디스크 등의 스토리지 유닛이나, 디지털 화상 신호를 동조 출력하는 동조 회로 등을 구비하고, 타이밍 생성기(107)에 의해 생성되는 각종 클럭 신호에 근거하여, 소정 포맷의 화상 신호 등의 표시 정보를 표시 정보 처리 회로(105)에 공급한다.
다음에, 표시 정보 처리 회로(105)는, 증폭·반전 회로나, 로테이션 회로나, 감마 보정 회로나, 클램프 회로 등의 주지의 회로를 다수 구비하고, 입력된 표시 정보의 처리를 실행하여, 화상 신호를 클럭 신호 CLK와 동시에 구동 회로(103)로 공급한다. 여기서, 구동 회로(103)는, 주사선 구동 회로나 데이터선 구동 회로와 동시에, 검사 회로 등을 총칭한 것이다. 또한, 전원 회로(106)는, 상기 각 구성 요소에 소정의 전원 전압을 공급한다.
액정 표시 장치(101)는, 예컨대, 도 2에 나타낸 액정 표시 장치(1)나, 도 7에 나타낸 액정 표시 장치(51)를 이용하여 구성할 수 있다. 도 2의 액정 표시 장치(1)에서는, 주변 영역(Vc) 내에 배향막(23b)의 재료가 들어가는 오목부(49)를 형성한 것에 의해, 유효 표시 영역(Vi)과 주변 영역(Vc)의 양쪽 영역 사이에서 배향막(23b)을 균일하게 형성할 수 있기 때문에, 표시의 휘도에 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 도 7의 액정 표시 장치(51)에서는, 주변 영역(Vc) 내에 배향막(23a)의 재료가 들어가는 오목부(99)를 형성한 것에 의해, 유효 표시 영역(Vi) 과 주변 영역(Vc)의 양쪽 영역 사이에서 배향막(23a)을 균일하게 형성할 수 있기 때문에, 표시의 휘도에 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 이들 액정 표시 장치(1, 51)를 이용한 전자 기기에서도, 표시의 휘도에 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 18은 본 발명에 따른 전자 기기의 다른 실시예인 휴대 전화기를 나타내고 있다. 여기에 나타내는 휴대 전화기(110)는, 본체부(111)와, 이것에 개폐 가능하게 마련된 표시체부(112)를 갖는다. 액정 표시 장치 등의 전기 광학 장치에 의해 구성된 표시 장치(113)는, 표시체부(112)의 내부에 배치되고, 전화 통신에 관한 각종 표시는, 표시체부(112)에서 표시 화면(114)에 의해 시인할 수 있다. 본체부(111)에는 조작 버튼(116)이 배열되어 있다.
표시체부(112)의 일단부에는 안테나(116)가 신축할 수 있게 설치되어 있다. 표시체부(112)의 상부에 마련된 수화부(117)의 내부에는, 도시하지 않은 스피커가 배치된다.
또한, 본체부(111)의 하단부에 마련된 송화부(118)의 내부에는 도시하지 않은 마이크가 내장되어 있다. 표시 장치(113)의 동작을 제어하기 위한 제어부는, 휴대 전화기 전체의 제어를 담당하는 제어부의 일부로서, 또는 그 제어부와는 별도로, 본체부(111) 또는 표시체부(112)의 내부에 저장된다.
표시 장치(113)는, 예컨대, 도 2에 나타낸 액정 표시 장치(1)나, 도 7에 나타낸 액정 표시 장치(51) 등을 이용하여 구성할 수 있다. 도 2의 액정 표시 장치(1)에서는, 주변 영역(Vc) 내에 배향막(23b)의 재료가 들어가는 오목부(49)를 형 성한 것에 의해, 유효 표시 영역(Vi)과 주변 영역(Vc)의 양쪽 영역 사이에서 배향막(23b)을 균일하게 형성할 수 있기 때문에, 표시의 휘도에 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 도 7의 액정 표시 장치(51)에서는, 주변 영역(Vc) 내에 배향막(23a)의 재료가 들어가는 오목부(99)를 형성한 것에 의해, 유효 표시 영역(Vi)과 주변 영역(Vc)의 양쪽 영역 사이에서 배향막(23a)을 균일하게 형성할 수 있기 때문에, 표시의 휘도에 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 이들 액정 표시 장치(1, 51)를 이용한 전자 기기에서도, 표시의 휘도에 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
(변형예)
또, 전자 기기로서는, 이상에서 설명한 휴대 전화기 등 외에도, 퍼스널 컴퓨터, 액정 텔레비젼, 뷰 파인더형 또는 모니터 직시형의 비디오 테이프 레코더, 카 네비게이션 장치, 페이저, 전자 수첩, 전자 계산기, 워드 프로세서, 워크 스테이션, 화상 전화기, POS 단말기 등을 들 수 있다.
상술한 본 발명에 의하면, 전기 광학 장치의 유효 표시 영역과 주변 영역의 양자 사이에서 배향막을 균일하게 도포하여, 표시의 휘도에 얼룩이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (15)

  1. 한 쌍의 기판 사이에 프레임 형상으로 마련되는 밀봉재와,
    상기 밀봉재에 의해 둘러싸인 영역 내에 전기 광학 물질을 밀봉하여 이루어지는 전기 광학 물질층과,
    상기 한 쌍의 기판중 적어도 한쪽 기판 상에 있어 상기 밀봉재에 의해서 둘러싸인 영역 내에 마련되는 절연층과,
    상기 절연층과 상기 전기 광학 물질층 사이에 마련되는 배향막
    을 갖고,
    상기 밀봉재에 의해서 둘러싸인 영역은,
    표시가 행해지는 유효 표시 영역과,
    상기 유효 표시 영역과 상기 밀봉재 사이에 있는 주변 영역
    을 구비하고,
    상기 주변 영역 내의 상기 절연층에는 상기 밀봉재와 겹치지 않는 영역에 상기 배향막의 재료가 들어가는 오목부가 형성되는 것을 특징으로 하는
    전기 광학 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 유효 표시 영역 내의 상기 절연층중 상기 주변 영역에 인접하는 부분에 는, 그 주변 영역 내의 상기 절연층보다 얇은 부분이 있는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 오목부는 상기 유효 표시 영역을 따라 연장되는 홈인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 오목부는 상기 유효 표시 영역을 둘러싸는 환상(環狀)의 홈인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 유효 표시 영역은 반사 표시를 행하는 반사 표시 영역과 투과 표시를 행하는 투과 표시 영역을 갖고,
    상기 유효 표시 영역 내의 상기 절연층은, 상기 반사 표시 영역에서의 상기 전기 광학 물질층의 두께를 상기 투과 표시 영역에서의 상기 전기 광학 물질층의 두께보다 얇게 하도록, 적어도 상기 반사 표시 영역에 형성되고,
    상기 반사 표시 영역 내의 상기 절연층은 상기 주변 영역 내의 상기 절연층과 같은 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는
    전기 광학 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 주변 영역에 인접하는 상기 투과 영역과 상기 오목부 사이에 있는 상기 절연층의 높이는, 상기 반사 표시 영역과 상기 오목부 사이에 있는 상기 절연층의 높이보다 낮은 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 주변 영역 중 상기 오목부가 형성되어 있지 않은 영역과 상기 반사 표시 영역의 양쪽에 스페이스 부재를 마련하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  8. 삭제
  9. 한 쌍의 기판 사이에 전기 광학 물질이 유지되어 이루어지고, 반사 표시를 행하는 반사 표시 영역 및 투과 표시를 행하는 투과 표시 영역을 구비하는 유효 표시 영역과, 상기 유효 표시 영역의 외측에 배치되어 이루어지는 주변 영역을 구비하는 전기 광학 장치로서,
    상기 한 쌍의 기판중 적어도 한쪽 기판은, 절연층과, 상기 절연층의 상기 전기 광학 물질쪽에 마련되어 이루어지는 배향막을 갖고,
    상기 절연층은, 상기 반사 표시 영역에서의 상기 전기 광학 물질의 두께를 상기 투과 표시 영역에서의 상기 전기 광학 물질의 두께보다 얇게 하도록, 적어도 상기 반사 표시 영역 및 상기 주변 영역에 마련되어 이루어지고, 또한, 상기 주변 영역 내에 상기 배향막의 재료가 들어가는 오목부가 형성되어 이루어지고,
    상기 표시 영역에서, 상기 절연층의 두께가 반영되어 상기 전기 광학 물질의 두께가 두꺼운 영역은, 상기 주변 영역의 상기 오목부와 연결되어 있는 것을 특징으로 하는
    전기 광학 장치.
  10. 제 1 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 한쪽 기판은 상기 절연층에 덮여 이루어지는 착색층을 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  11. 제 1 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 한쪽 기판은 상기 절연층에 덮여 이루어지는 스위칭 소자를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  12. 표시가 행해지는 유효 표시 영역과, 상기 유효 표시 영역의 주변에 있는 주변 영역을 갖는 전기 광학 장치의 제조 방법으로서,
    상기 유효 표시 영역 및 상기 주변 영역에 절연층을 형성하는 절연층 형성 공정과,
    상기 절연층을 소정의 형상으로 패터닝하는 패터닝 공정
    을 갖고,
    상기 패터닝 공정에서는, 상기 주변 영역의 상기 절연층에 오목부를 형성하고, 상기 주변 영역에 상기 오목부를 형성하는 것과 동시에 상기 투과 표시 영역의 절연층을 패터닝하여 상기 투과 표시 영역의 절연층을 얇게 하거나 또는 제거하는 것
    을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 방법.
  13. 삭제
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 패터닝 공정 후에 상기 절연층상에 배향막을 도포하는 공정을 더 갖고,
    상기 배향막을 도포하는 공정에서, 상기 배향막은 상기 절연층의 상기 오목부로 유동하는 것을 특징으로 하는
    전기 광학 장치의 제조 방법.
  15. 청구항 1 또는 청구항 9에 기재된 전기 광학 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 전자 기기.
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