KR100814238B1 - 기판 반송 장치 및 이를 이용한 기판 처리 시스템 - Google Patents

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100919828B1 (ko) * 2008-01-09 2009-10-01 주식회사 뉴파워 프라즈마 다중 기판 처리 시스템 및 이를 위한 기판 이송 장치
WO2010009048A2 (en) * 2008-07-15 2010-01-21 Applied Materials, Inc. Tube diffuser for load lock chamber

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100912432B1 (ko) * 2007-12-05 2009-08-14 주식회사 나온테크 웨이퍼 이송장치 및 그 이송방법
KR100976193B1 (ko) * 2008-01-29 2010-08-17 주식회사 뉴파워 프라즈마 기판 이송 장치
KR100980283B1 (ko) * 2008-02-12 2010-09-06 주식회사 뉴파워 프라즈마 기판 이송 장치 및 이를 구비한 기판 처리 시스템
US9117870B2 (en) * 2008-03-27 2015-08-25 Lam Research Corporation High throughput cleaner chamber
KR100984174B1 (ko) * 2008-04-22 2010-09-28 엘아이지에이디피 주식회사 기판 처리 시스템
KR101486243B1 (ko) * 2008-06-10 2015-01-27 주식회사 뉴파워 프라즈마 기판 반송 장치 및 그것을 갖는 기판 처리 시스템
KR101968855B1 (ko) 2009-06-30 2019-04-12 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 반도체 장치 제조 방법
JP2011071293A (ja) * 2009-09-25 2011-04-07 Tokyo Electron Ltd プロセスモジュール、基板処理装置、および基板搬送方法
US8562272B2 (en) * 2010-02-16 2013-10-22 Lam Research Corporation Substrate load and unload mechanisms for high throughput
US8893642B2 (en) 2010-03-24 2014-11-25 Lam Research Corporation Airflow management for low particulate count in a process tool
US8282698B2 (en) 2010-03-24 2012-10-09 Lam Research Corporation Reduction of particle contamination produced by moving mechanisms in a process tool
TWI587995B (zh) * 2011-07-13 2017-06-21 布魯克斯自動機械公司 小型化直接驅動心軸
US9186799B2 (en) 2011-07-13 2015-11-17 Brooks Automation, Inc. Compact direct drive spindle
KR101406172B1 (ko) * 2013-01-08 2014-06-12 (주)에스티아이 반도체 웨이퍼의 연속 처리 장치 및 방법
KR101527901B1 (ko) * 2013-10-10 2015-06-10 피에스케이 주식회사 기판 처리 장치 및 기판 반송 방법
TW202300305A (zh) * 2013-11-13 2023-01-01 美商布魯克斯自動機械美國公司 可變磁阻馬達總成
US9889567B2 (en) * 2015-04-24 2018-02-13 Applied Materials, Inc. Wafer swapper
JP6487266B2 (ja) * 2015-04-27 2019-03-20 日本電産サンキョー株式会社 製造システム
JP6487267B2 (ja) * 2015-04-27 2019-03-20 日本電産サンキョー株式会社 製造システム
KR20180053487A (ko) * 2016-11-11 2018-05-23 주식회사 탑 엔지니어링 패널 합착 장치 및 방법
CN113474485A (zh) * 2019-02-19 2021-10-01 维易科仪器公司 自动批次生产薄膜沉积系统及其使用方法
CN113314448B (zh) * 2021-05-13 2022-07-22 长江存储科技有限责任公司 半导体传输设备及其控制方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04164583A (ja) * 1990-10-29 1992-06-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 中空関節装置
JPH0963939A (ja) * 1995-08-17 1997-03-07 Nikon Corp 基板搬送装置

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100497731C (zh) * 2002-11-15 2009-06-10 株式会社荏原制作所 基板处理装置和基板处理方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04164583A (ja) * 1990-10-29 1992-06-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd 中空関節装置
JPH0963939A (ja) * 1995-08-17 1997-03-07 Nikon Corp 基板搬送装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100919828B1 (ko) * 2008-01-09 2009-10-01 주식회사 뉴파워 프라즈마 다중 기판 처리 시스템 및 이를 위한 기판 이송 장치
WO2010009048A2 (en) * 2008-07-15 2010-01-21 Applied Materials, Inc. Tube diffuser for load lock chamber
WO2010009048A3 (en) * 2008-07-15 2010-03-18 Applied Materials, Inc. Tube diffuser for load lock chamber

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