KR100807916B1

KR100807916B1 - 표시 장치

Info

Publication number: KR100807916B1
Application number: KR1020050101686A
Authority: KR
Inventors: 요헤이 기무라; 고지 나까야마
Original assignee: 도시바 마쯔시따 디스플레이 테크놀로지 컴퍼니, 리미티드
Priority date: 2004-10-29
Filing date: 2005-10-27
Publication date: 2008-02-27
Also published as: US20060103412A1; TW200638143A; KR20060052251A

Abstract

복수의 표시 화소에 의하여 구성된 유효 표시부(6)와, 유효 표시부를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선(80)과, 검사용 배선(80)과 소정의 간격(G)을 두고 대향하도록 배치되어 검사용 배선(80)에 축적된 전하의 방전을 유도하는 방전 유도부를 갖는 도전층(90)을 구비한 것을 특징으로 한다.

검사용 배선, 유효 표시부, 표시 화소, 방전 유도부

Description

표시 장치{DISPLAY DEVICE}

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 액정 표시 장치의 액정 표시 패널의 구성을 개략적으로 도시하는 도면.

도 2는 도 1에 도시한 액정 표시 패널의 검사부의 구성을 개략적으로 도시하는 도면.

도 3은 검사용 제어 배선의 단부 부근에 위치하는 스위치 소자에서의 방전에 기인한 쇼트의 발생을 설명하기 위한 도면.

도 4는 커먼 배선의 굴곡부 부근에서의 방전에 기인한 단선의 발생을 설명하기 위한 도면.

도 5는 도 1에 도시한 바와 같은 하나의 액정 표시 패널을 잘라내기 전의 표시 장치용 마더 기판의 구성을 개략적으로 도시하는 도면.

도 6a는 검사용 배선과 이것에 대향하는 도전층의 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 6b는 도 6a에 도시한 검사용 배선 및 도전층을 A-A'선으로 절단하였을 때의 단면 구조를 개략적으로 도시하는 단면도.

도 7a는 검사용 배선과 이것에 대향하는 도전층의 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 7b는 도 7a에 도시한 검사용 배선 및 도전층을 A-A'선으로 절단하였을 때의 단면 구조를 개략적으로 도시하는 단면도.

도 8a는 검사용 배선과 이것에 중첩되는 도전층의 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 8b는 도 8a에 도시한 검사용 배선 및 도전층을 A-A'선으로 절단하였을 때의 단면 구조를 개략적으로 도시하는 단면도.

도 9a는 검사용 배선의 방전 유도부 및 도전층의 대향부의 형상예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 9b는 검사용 배선의 방전 유도부 및 도전층의 대향부의 형상예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 9c는 검사용 배선의 방전 유도부 및 도전층의 대향부의 형상예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 9d는 검사용 배선의 방전 유도부 및 도전층의 대향부의 형상예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 10a는 검사용 배선과 도전층을 마주 대하였을 때의 패턴의 조합예를 도시하는 평면도.

도 10b는 검사용 배선과 도전층을 마주 대하였을 때의 패턴의 조합예를 도시하는 평면도.

도 10c는 검사용 배선과 도전층을 마주 대하였을 때의 패턴의 조합예를 도시하는 평면도.

도 10d는 검사용 배선과 도전층을 마주 대하였을 때의 패턴의 조합예를 도시하는 평면도.

도 11a는 검사용 배선과 도전층을 서로 겹치게 하였을 때의 패턴의 조합예를 도시하는 평면도.

도 11b는 검사용 배선과 도전층을 서로 겹치게 하였을 때의 패턴의 조합예를 도시하는 평면도.

도 11c는 검사용 배선과 도전층을 서로 겹치게 하였을 때의 패턴의 조합예를 도시하는 평면도.

도 11d는 검사용 배선과 도전층을 서로 겹치게 하였을 때의 패턴의 조합예를 도시하는 평면도.

도 11e는 검사용 배선과 도전층을 서로 겹치게 하였을 때의 패턴의 조합예를 도시하는 평면도.

도 12a는 제1 실시예에 따른 검사용 제어 배선과 이것에 대향하는 도전층의 배치를 개략적으로 도시하는 평면도이다.

도 12b는 도 12a에 도시한 검사용 제어 배선 및 도전층을 B-B'선으로 절단하였을 때의 단면 구조를 개략적으로 도시하는 단면도.

도 13a는 제2 실시예에 따른 검사용 제어 배선과 이것에 대향하는 도전층의 배치를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 13b는 도 13a에 도시한 검사용 제어 배선 및 도전층을 B-B'선으로 절단하였을 때의 단면 구조를 개략적으로 도시하는 단면도.

도 14a는 제3 실시예에 따른 검사용 제어 배선과 이것에 대향하는 도전층의 배치를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 14b는 도 14a에 도시한 검사용 제어 배선 및 도전층을 B-B'선으로 절단하였을 때의 단면 구조를 개략적으로 도시하는 단면도.

도 15는 embodiment1에서의 검사용 배선과 접속 패드가 대향하는 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 16은 embodiment1에서의 검사용 배선과 접속 패드에 접속된 접속 배선이 대향하는 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 17a는 제4 실시예에 따른 검사용 제어 배선과 접속 패드의 배치를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 17b는 도 17a에 도시한 검사용 제어 배선과 접속 패드의 대향 부분(도면에서 파선으로 나타낸 영역 B)을 확대한 평면도.

도 17c는 도 17b에 도시한 검사용 제어 배선 및 접속 패드를 B-B'선으로 절단하였을 때의 단면 구조를 개략적으로 도시하는 단면도.

도 18은 embodiment2에서의 검사용 배선과 더미 패턴이 대향하는 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 19는 embodiment2에서의 검사용 배선과 더미군이 대향하는 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 20은 embodiment2에서의 검사용 배선, 더미 패턴, 및 신호 공급 가능한 배선의 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 21은 embodiment2에서의 검사용 배선, 더미군, 및 신호 공급 가능한 배선의 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 22a는 제5 실시예에 따른 검사용 제어 배선, 더미군, 및 접속 패드의 배치를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 22b는 도 22a에 도시한 검사용 제어 배선, 더미군, 및 접속 패드의 대향 부분(도면에서 파선으로 나타낸 영역 B)을 확대한 평면도.

도 22c는 도 22b에 도시한 검사용 제어 배선, 더미군, 및 접속 패드를 B-B'선으로 절단하였을 때의 단면 구조를 개략적으로 도시하는 단면도.

도 23은 embodiment3에서의 검사용 배선과 커먼 배선의 분기부가 대향하는 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 24는 embodiment3에서의 검사용 배선과 커먼 배선의 종단부가 대향하는 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 25a는 제6 실시예에 따른 검사용 제어 배선과 커먼 배선의 배치를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 25b는 도 25a에 도시한 검사용 제어 배선과 커먼 배선의 대향 부분(도면에서 파선으로 나타낸 영역 B)을 확대한 평면도.

도 25c는 도 25b에 도시한 검사용 제어 배선 및 커먼 배선을 B-B'선으로 절단하였을 때의 단면 구조를 개략적으로 도시하는 단면도.

도 26은 embodiment4에서의 검사용 배선과 공통 신호선의 분기부가 대향하는 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 27은 embodiment4에서의 검사용 배선과 공통 신호선의 단부가 대향하는 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 28a는 제7 실시예에 따른 검사용 제어 배선과 공통 신호선의 배치를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 28b는 도 28a에 도시한 검사용 제어 배선과 공통 신호선의 대향 부분(도면에서 파선으로 나타낸 영역 B)을 확대한 평면도.

도 28c는 도 28b에 도시한 검사용 제어 배선 및 공통 신호선을 B-B'선으로 절단하였을 때의 단면 구조를 개략적으로 도시하는 단면도.

도 29a는 embodiment5에서의 액정 표시 패널의 접속부 부근의 구조를 개략적으로 도시하는 단면도.

도 29b는 embodiment5에서의 액정 표시 패널의 접속부 부근의 구조를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 30은 embodiment5에서의 검사용 배선과 접속부의 급전 패드가 대향하는 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 31은 embodiment5에서의 검사용 배선과 접속부의 전극부가 대향하는 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 32a는 제8 실시예에 따른 검사용 제어 배선과 접속부의 배치를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 32b는 도 32a에 도시한 검사용 제어 배선과 접속부의 대향 부분(도면에서 파선으로 나타낸 영역 B)을 확대한 평면도.

도 32c는 도 32b에 도시한 검사용 제어 배선 및 접속부를 B-B'선으로 절단하였을 때의 단면 구조를 개략적으로 도시하는 단면도.

도 33은 embodiment6에서의 액정 표시 패널에서 검사용 배선과 얼라인먼트 마크가 대향하는 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 34는 embodiment6에서의 표시 장치용 마더 기판에서 검사용 배선과 얼라인먼트 마크가 대향하는 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 35a는 제9 실시예에 따른 검사용 제어 배선과 얼라인먼트 마크의 배치를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 35b는 도 35a에 도시한 검사용 제어 배선과 얼라인먼트 마크의 대향 부분(도면에서 파선으로 나타낸 영역 B)을 확대한 평면도.

도 35c는, 도 35b에 도시한 검사용 제어 배선 및 얼라인먼트 마크를 B-B'선으로 절단하였을 때의 단면 구조를 개략적으로 도시하는 단면도.

도 36은 embodiment7에서의 제1 검사 배선부와 제2 검사 배선부가 대향하는 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 37은 embodiment7에서의 제1 검사 배선부와 제2 검사 배선부가 대향하는 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 38은 embodiment7에서의 제1 검사 배선부와 제2 검사 배선부가 대향하는 배치예를 개략적으로 도시하는 평면도.

도 39a는 제10 실시예에 따른 제1 검사 배선부와 제2 검사 배선부의 배치를 개략적으로 도시하는 평면도이다.

도 39b는 도 39a에 도시한 제1 검사 배선부와 제2 검사 배선부의 대향 부분(도면에서 파선으로 나타낸 영역 B)을 확대한 평면도.

도 39c는 도 39b에 도시한 제1 검사 배선부와 제2 검사 배선부를 B-B'선으로 절단하였을 때의 단면 구조를 개략적으로 도시하는 단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

6 : 유효 표시부

80 : 검사용 배선

G : 간격

90 : 도전층

<특허 문헌1> 일본 특개평06-160898호 공보

<특허 문헌2> 일본 특개2003-157053호 공보

<특허 문헌3> 일본 특개평02-7019호 공보

<특허 문헌4> 일본 특개평11-282016호 공보

본 발명은, 표시 장치에 관한 것으로, 특히 품질에 관한 검사를 행하기 위한 검사부를 구비한 표시 장치에 관한 것이다.

액정 표시 장치 등의 표시 장치는, 매트릭스 형상의 표시 화소에 의하여 구 성된 유효 표시부를 구비하고 있다. 이 유효 표시부는, 표시 화소의 행 방향을 따라 연장하는 복수의 주사선, 표시 화소의 열 방향을 따라 연장하는 복수의 신호선, 이들 주사선과 신호선의 교차부 부근에 배치된 스위칭 소자, 스위칭 소자에 접속된 화소 전극 등을 구비하고 있다. 이들 각 주사선 및 각 신호선은, 유효 표시부의 외주부에 인출되어 있다.

최근에는, 표시 화소수의 증가에 수반하여, 유효 표시부 및 그 외주부에서, 주사선이나 신호선 등의 각종 배선은 가는 선 폭이며, 게다가 아주 적은 간격으로 인접하도록 배치되어 있다. 이 때문에, 배선 사이에서의 쇼트나 각 배선의 단선 등이라고 한 배선 불량을 엄밀하게 검사할 필요가 있다. 예를 들면, 검사 제어 회로를 액정 표시 장치에 접속하고, 인접하는 주사선에 위상이 상이한 신호를 공급함으로써, 배선 불량을 검사하는 방법이 제안되고 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 또한, 유효 표시부의 외주부에 검사 배선을 구비한 액정 표시 장치도 제안되고 있다(예를 들면, 특허 문헌 2 참조).

또한, 제조 공정에서의 대전에 의한 악영향에 대처하기 위해, 표시용 투명 전극과 동일층에 소정의 간격을 갖고 방전용 보조 패턴을 배치하는 액정 표시 장치의 제조 방법(예를 들면, 특허 문헌 3 참조)이나, 절연층을 개재하여 배치된 제1 전극 배선 및 제2 전극 배선이 이들의 대향하는 위치에 방전 부위를 갖는 전극 배선 기판(예를 들면, 특허 문헌 4 참조) 등이 개시되어 있다.

본 발명은, 전술한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적은, 품질에 관한 검사를 안정적으로 행하는 것이 가능하고, 또한 제조 수율의 저하를 억제하는 것이 가능한 표시 장치를 제공하는 것에 있다.

본 발명의 양태에 의한 표시 장치는,

복수의 표시 화소에 의하여 구성된 유효 표시부와,

상기 유효 표시부를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선과,

상기 검사용 배선과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되고, 상기 검사용 배선에 축적된 전하의 방전을 유도하는 방전 유도부를 갖는 도전층

을 구비한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 품질에 관한 검사를 안정적으로 행하는 것이 가능하고, 또한 제조 수율의 저하를 억제하는 것이 가능한 표시 장치를 제공할 수 있다.

본 발명의 추가의 목적 및 장점은 다음의 디스크립션에서 설명되며, 일부는 그 디스크립션으로부터 명백해지거나 또는 본 발명의 실시에 의해 학습될 것이다. 본 발명의 목적 및 장점은 여기에서 특별히 지적한 수단 및 이들의 조합에 의해 실현되고 얻어진다.

이하, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 표시 장치에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

<표시 장치의 구성>

도 1에 도시한 바와 같이 표시 장치의 일례로서의 액정 표시 장치는, 대략 사각형의 평판 형상의 표시 패널로서의 액정 표시 패널(1)을 구비하고 있다. 이 액정 표시 패널(1)은, 한 쌍의 기판, 즉 어레이 기판(3) 및 대향 기판(4)과, 이들 한 쌍의 기판 사이에 광 변조층으로서 유지된 액정층(5)에 의하여 구성되어 있다. 이 액정 표시 패널(1)은, 화상을 표시하는 사각 형상의 유효 표시부(6)를 구비하고 있다. 이 유효 표시부(6)는, 매트릭스 형상으로 배치된 복수의 표시 화소 PX에 의하여 구성되어 있다.

어레이 기판(3)은, 유효 표시부(6)에 배치된 배선, 예를 들면 표시 화소 PX의 행 방향을 따라 연장하는 복수의 주사선 Y(1, 2, 3, …, m)이나, 표시 화소 PX의 열 방향을 따라 연장하는 복수의 신호선 X(1, 2, 3, …, n) 등을 구비하고 있다. 또한, 어레이 기판(3)은 유효 표시부(6)에서, 이들 각종 배선 외에, 이들 주사선 Y와 신호선 X의 교차부 부근에서 표시 화소 PX마다 배치된 스위칭 소자(7), 스위칭 소자(7)에 접속된 화소 전극(8) 등을 구비하고 있다.

스위칭 소자(7)는, 박막 트랜지스터(TFT) 등으로 구성되어 있다. 이 스위칭 소자(7)의 게이트 전극(7G)은, 대응하는 주사선 Y에 전기적으로 접속되어 있다(혹은 주사선과 일체로 형성되어 있음). 스위칭 소자(7)의 소스 전극(7S)은, 대응하는 신호선 X에 전기적으로 접속되어 있다(혹은 신호선과 일체로 형성되어 있음). 스위칭 소자(7)의 드레인 전극(7D)은, 대응하는 표시 화소 PX의 화소 전극(8)에 전기적으로 접속되어 있다.

대향 기판(4)은, 유효 표시부(6)에서, 전체 표시 화소 PX에 공통된 대향 전극(9) 등을 구비하고 있다. 이들 어레이 기판(3) 및 대향 기판(4)은, 전체 표시 화소 PX의 화소 전극(8)과 대향 전극(9)을 대향시킨 상태에서 배치되고, 이들 사이 에 갭을 형성한다. 액정층(5)은, 어레이 기판(3)과 대향 기판(4)의 갭에 밀봉된 액정 조성물에 의하여 형성되어 있다.

백 라이트 유닛으로부터의 백 라이트광을 선택적으로 투과함으로써 화상을 표시하는 투과형의 액정 표시 패널(1)은, 어레이 기판(3) 및 대향 기판(4)의 외면에 실장된 편향판 등의 광학 필름을 구비하고 있다. 또한, 외광을 선택적으로 반사함으로써 화상을 표시하는 반사형의 액정 표시 패널(1)은, 대향 기판(4)의 외면에 실장된 편향판 등의 광학 필름을 구비하고 있다.

컬러 표시 타입의 액정 표시 장치에서는, 액정 표시 패널(1)은, 복수 종류의 표시 화소, 예를 들면 적(R)을 표시하는 적색 화소, 녹(G)을 표시하는 녹색 화소, 청(B)을 표시하는 청색 화소를 갖고 있다. 즉, 적색 화소는, 적색의 주 파장의 광을 투과하는 적색 컬러 필터를 구비하고 있다. 녹색 화소는, 녹색의 주 파장의 광을 투과하는 녹색 컬러 필터를 구비하고 있다. 청색 화소는, 청색의 주 파장의 광을 투과하는 청색 컬러 필터를 구비하고 있다. 이들 컬러 필터는, 어레이 기판(3)또는 대향 기판(4)의 주면에 배치된다.

액정 표시 패널(1)은, 유효 표시부(6)의 외측에 위치하는 외주부(비표시부)(10)에 배치된 구동 IC 칩(11)을 구비하고 있다. 도 1에 도시한 예에서는, 구동 IC 칩(11)은, 대향 기판(4)의 단부(4A)로부터 외측에 연장된 어레이 기판(3)의 연장부(10A) 상에 배치되어 있다. 또한, 액정 표시 패널(1)은, 유효 표시부(6)에 구동 신호를 공급하는 구동 회로를 갖는 플렉시블 배선 기판 FPC를 접속 가능한 복수의 접속 패드를 갖는 패드부 PP를 구비하고 있다. 도 1에 도시한 예에서는, 패드 부 PP는, 구동 IC 칩(11)과 마찬가지로 연장부(10A) 상에 형성되어 있다.

액정 표시 패널(1)에 실장된 구동 IC 칩(11)은, 유효 표시부(6)의 각 신호선 X에 구동 신호(영상 신호)를 공급하는 신호선 구동부(11X), 및 유효 표시부(6)의 각 주사선 Y에 구동 신호(주사 신호)를 공급하는 주사선 구동부(11Y)를 갖고 있다.

주사선 구동부(11Y)는, 홀수번 주사선 Y(1, 3, 5, …)에 대하여 구동 신호를 출력하는 제1 구동부(11Y1), 및 짝수번 주사선 Y(2, 4, 6, …)에 대하여 구동 신호를 출력하는 제2 구동부(11Y2)를 포함하고 있다. 이들 제1 구동부(11Y1) 및 제2 구동부(11Y2)는, 신호선 구동부(11X)를 끼운 양측에 각각 배치되어 있다.

보다 상세하게 설명하면, 제1 구동부(11Y1)는, 외주부(10)의 일단측(10b)에 배치된 제1 배선군(20)을 통하여 홀수번 주사선 Y(1, 3, 5, …)과 전기적으로 접속되어 있다. 이 제1 배선군(20)은, 홀수번 주사선 Y(1, 3, 5, …) 각각에 접속된 배선 W(1, 3, 5, …)에 의하여 구성되어 있다. 즉, 제1 구동부(11Y1)로부터 출력된 구동 신호는, 각 배선 W(1, 3, 5, …)을 통하여 대응하는 홀수번 주사선 Y(1, 3, 5, …)에 공급되고, 홀수행째의 표시 화소 PX를 온·오프시킨다. 즉, 홀수행째의 각 표시 화소 PX에 포함되는 스위칭 소자(7)는, 대응하는 주사선 Y로부터 공급된 구동 신호에 기초하여 온·오프 제어된다.

제2 구동부(11Y2)는, 외주부(10)의 타단측(10C)에 배치된 제2 배선군(30)을 통하여 짝수번 주사선 Y(2, 4, 6, …)와 전기적으로 접속되어 있다. 이 제2 배선군(30)은, 짝수번 주사선 Y(2, 4, 6, …) 각각에 접속된 배선 W(2, 4, 6, …)에 의하여 구성되어 있다. 즉, 제2 구동부(11Y2)로부터 출력된 구동 신호는, 각 배선 W(2, 4, 6, …)를 통하여 대응하는 짝수번 주사선 Y(2, 4, 6, …)에 공급되고, 짝수행째의 표시 화소 PX를 온·오프시킨다. 즉, 짝수행째의 각 표시 화소 PX에 포함되는 스위칭 소자(7)는, 대응하는 주사선 Y로부터 공급된 구동 신호에 기초하여 온·오프 제어된다.

또한, 신호선 구동부(11X)는, 각 신호선 X(1, 2, 3, …)와 전기적으로 접속되어 있다. 각 열의 각 표시 화소 PX에 포함되는 스위칭 소자(7)는, 온 타이밍에서 대응하는 신호선 X로부터 공급된 영상 신호를 화소 전극(8)에 기입한다.

어레이 기판(3)은, 도 2에 도시한 바와 같이 외주부(10)에서의 제1 배선군(20)의 배선 불량, 제2 배선군(30)의 배선 불량, 및 유효 표시부(6)에서의 배선 불량이나 표시 화소 PX의 표시 품위 등, 유효 표시부(6)에서의 품질에 관한 검사를 행하기 위한 검사부(40)를 구비하고 있다. 이 검사부(40)는, 신호선 구동부(11X)에 대응하여 설치된 신호선 검사부(41), 주사선 구동부(11Y)의 제1 구동부(11Y1)에 대응하여 설치된 제1 주사선 검사부(42), 제2 구동부(11Y2)에 대응하여 설치된 제2 주사선 검사부(43), 및 각 검사부(41, 42, 43)에 각종 검사용의 신호를 입력하기 위한 패드부(44)를 갖고 있다.

신호선 검사부(41)는, 유효 표시부(6)를 검사할 때에 검사용의 구동 신호가 공급됨과 함께 각 신호선 X에 접속된 신호선 검사용 구동 배선(51)을 구비하고 있다. 또한, 신호선 검사부(41)는, 각 신호선 X(1, 2, …, n)와 신호선 검사용 구동 배선(51) 사이에 스위치 소자(61)를 구비하고 있다. 또한, 신호선 검사부(41)는 유효 표시부(6)를 검사할 때에 스위치 소자(61)의 온·오프를 제어하는 검사용의 제어 신호가 공급되는 검사용 제어 배선(55)을 구비하고 있다. 즉, 신호선 검사용 구동 배선(51) 및 검사용 제어 배선(55)은, 신호선 검사부(41)에서, 유효 표시부(6)를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선으로서 기능한다.

스위치 소자(61)는, 예를 들면 박막 트랜지스터에 의하여 구성되어 있다. 즉, 각 스위치 소자(61)의 게이트 전극(61G)은, 검사용 제어 배선(55)에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 각 스위치 소자(61)의 소스 전극(61S)은, 신호선 검사용 구동 배선(51)에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 각 스위치 소자(61)의 드레인 전극(61D)은, 대응하는 신호선 X에 전기적으로 접속되어 있다.

제1 주사선 검사부(42)는, 유효 표시부(6)를 검사할 때에 검사용의 구동 신호가 공급됨과 함께 제1 배선군(20)의 각 배선(21), 예를 들면 배선 W1, W3, W5…에 접속된 제1 검사용 구동 배선(52)을 구비하고 있다. 또한, 제1 주사선 검사부(42)는, 각 배선(21)과 제1 검사용 구동 배선(52) 사이에 스위치 소자(62)를 구비하고 있다. 또한, 제1 주사선 검사부(42)는, 유효 표시부(6)를 검사할 때에 스위치 소자(62)의 온·오프를 제어하는 검사용의 제어 신호가 공급되는 검사용 제어 배선(55)을 구비하고 있다. 이 검사용 제어 배선(55)은, 신호선 검사부(41)와 공통이다. 즉, 제1 검사용 구동 배선(52) 및 검사용 제어 배선(55)은, 제1 주사선 검사부(42)에서, 유효 표시부(6)를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선으로서 기능한다.

스위치 소자(62)는, 예를 들면 박막 트랜지스터에 의하여 구성되어 있다. 각 스위치 소자(62)의 게이트 전극(62G)은, 검사용 제어 배선(55)에 전기적으로 접 속되어 있다. 또한, 각 스위치 소자(62)의 소스 전극(62S)은, 제1 검사용 구동 배선(52)에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 각 스위치 소자(62)의 드레인 전극(62D)은, 대응하는 배선(21)에 전기적으로 접속되어 있다.

제2 주사선 검사부(43)는, 유효 표시부(6)를 검사할 때에 검사용의 구동 신호가 공급됨과 함께 제2 배선군(30)의 각 배선(31), 예를 들면 배선 W2, W4, W6…에 접속된 제2 검사용 구동 배선(53)을 구비하고 있다. 또한, 제2 주사선 검사부(43)는, 각 배선(31)과 제2 검사용 구동 배선(53) 사이에 스위치 소자(63)를 구비하고 있다. 또한, 제2 주사선 검사부(43)는, 유효 표시부(6)를 검사할 때에 스위치 소자(63)의 온·오프를 제어하는 검사용의 제어 신호가 공급되는 검사용 제어 배선(55)을 구비하고 있다. 이 검사용 제어 배선(55)은, 신호선 검사부(41)와 공통이다. 즉, 제2 검사용 구동 배선(53) 및 검사용 제어 배선(55)은, 제2 주사선 검사부(43)에서, 유효 표시부(6)를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선으로서 기능한다.

스위치 소자(63)는, 예를 들면 박막 트랜지스터에 의하여 구성되어 있다. 각 스위치 소자(63)의 게이트 전극(63G)은, 검사용 제어 배선(55)에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 각 스위치 소자(63)의 소스 전극(63S)은, 제2 검사용 구동 배선(53)에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 각 스위치 소자(63)의 드레인 전극(63D)은, 대응하는 배선(31)에 전기적으로 접속되어 있다.

패드부(44)는, 신호선 검사용 구동 배선(51)의 일단부에 검사용의 구동 신호의 입력을 가능하게 하는 입력 패드(71), 제1 검사용 구동 배선(52)의 일단부에 검 사용의 구동 신호의 입력을 가능하게 하는 입력 패드(72), 제2 검사용 구동 배선(53)의 일단부에 검사용의 구동 신호의 입력을 가능하게 하는 입력 패드(73), 및 검사용 제어 배선(55)의 일단부에 검사용의 제어 신호의 입력을 가능하게 하는 입력 패드(75)를 구비하고 있다.

입력 패드(71)로부터 입력되는 구동 신호는, 검사 단계에서, 각 표시 화소 PX의 화소 전극(8)에 기입되는 검사 신호이다. 입력 패드(72 및 73)로부터 입력되는 구동 신호는, 검사 단계에서, 각 표시 화소 PX의 스위칭 소자(7)의 온·오프를 제어하기 위한 검사 신호이다. 입력 패드(75)로부터 입력되는 제어 신호는, 검사 단계에서, 신호선 검사부(41)의 스위치 소자(61), 제1 주사선 검사부(42)의 스위치 소자(62), 및 제2 주사선 검사부(43)의 스위치 소자(63)의 온·오프를 제어하기 위한 검사 신호이다.

각 신호선 X(1, 2, …, n), 제1 배선군(20)의 각 배선(21), 및 제2 배선군(30)의 각 배선(31)은, 각각의 중도부에 구동 IC 칩(11)과의 접속을 가능하게 하는 접속 패드 PD를 구비하고 있다.

또한, 어레이 기판(3)은, 도 1에 도시한 바와 같이 액정 표시 패널(1)에 부품을 실장할 때에 액정 표시 패널(1)과 부품의 위치 정렬에 필요한 얼라인먼트 마크 AMP를 구비하고 있다. 액정 표시 패널(1)에 실장되는 부품이란, 예를 들면 편광판, 구동 IC 칩, 플렉시블 배선 기판 등이다. 얼라인먼트 마크 AMP는, 예를 들면 주사선, 신호선, 화소 전극 등과 동일 공정에서 형성되는 금속막이다. 이 얼라인먼트 마크 AMP는, 도 1에 도시한 예에서는, 어레이 기판(3)의 연장부(10A)에 배 치되어 있지만, 특히 이 예에 한정되는 것은 아니고, 어레이 기판(3) 상이면 어떤 위치라도 되며, 또한 어레이 기판(3) 상에 복수 배치해도 된다. 또한, 여기서의 얼라인먼트 마크 AMP란, 로트 번호나 제조 이력 등의 식별 정보가 각인된 마크이어도 된다.

또한, 액정 표시 패널(1)은, 도 1에 도시한 바와 같이 어레이 기판(3)측으로부터 대향 전극(9)에 대하여 전체 표시 화소 PX에 공통된 전위를 공급하기 위한 접속부 CN을 구비하고 있다. 이 접속부 CN은, 도 1에 도시한 예에서는, 액정 표시 패널(1)의 외주부(10)에 배치되어 있지만, 특히 이 예에 한정되는 것은 아니고, 액정 표시 패널(1)에서의 어레이 기판(3)과 대향 기판(4)이 대향하는 위치이면 어떤 위치이어도 되고, 또한 액정 표시 패널(1)에 복수 배치해도 된다.

전술한 바와 같은 구성의 액정 표시 장치에 따르면, 제1 배선군에서의 배선 사이에서의 쇼트나 각 배선의 단선이라고 한 배선 불량, 제2 배선군에서의 배선 사이에서의 쇼트나 각 배선의 단선이라고 한 배선 불량, 또한 유효 표시부(6)에서의 배선 불량과 간 패널 상에서의 배선 불량을 확실하게 검출하는 것이 가능하게 된다.

또한, 신호선 검사부(41), 제1 주사선 검사부(42), 및 제2 주사선 검사부(43)는, 구동 IC 칩(11)이 배치되는 영역에 대응하고, 어레이 기판(3)의 연장부(10A) 상에 배치되어 있다. 당연한 일이지만, 신호선 검사용 구동 배선(51), 제1 검사용 구동 배선(52), 제2 검사용 구동 배선(53), 및 검사용 제어 배선(55)은, 구동 IC 칩(11)이 배치되는 영역에 대응하여 연장부(10A) 상에 배치되어 있다. 이들 의 검사용 배선(51, 52, 53, 55)은, 구동 IC 칩(11)의 길이 방향을 따라 신장하고 있다. 즉, 이들 검사용 배선(51, 52, 53, 55)은, 구동 IC 칩(11)을 실장하였을 때에 구동 IC 칩(11)에 겹쳐진다. 결국, 외형 치수를 확대하지 않고, 어레이 기판 상에 검사용 배선을 배치하는 것이 가능하게 된다.

또한, 구동 IC 칩(11)을 접속 가능한 접속 패드 PD는, 유효 표시부(6)와 검사부(40) 사이에 배치되어 있다. 이 때문에, 유효 표시부(6)에서의 품질에 관한 검사를 행하기 위한 검사 신호가 검사부(40)를 통하여 공급되는 배선 경로와, 유효 표시부(6)에 화상을 표시하기 위한 구동 신호(영상 신호 및 주사 신호)가 구동 IC 칩(11)으로부터 공급되는 배선 경로가 일치한다. 따라서, 검사부(40)를 통한 검사에 의해 양품이라고 판정된 액정 표시 패널(1)에, 정상이라고 판정된 구동 IC 칩(11)을 실장함으로써, 신뢰성이 높은 액정 표시 장치를 제공하는 것이 가능하게 된다.

<전하의 축적>

전술한 바와 같은 구성의 표시 장치에서는, 그 제조 과정에서 비교적 설치 면적이 큰 배선에 전하가 축적되기 쉽다. 특히, 신호선 검사용 구동 배선(51), 제1 검사용 구동 배선(52), 제2 검사용 구동 배선(53), 검사용 제어 배선(55), 혹은 대향 전극(9)에 대하여 복수의 표시 화소 PX에 공통된 전위를 공급하기 위한 커먼 배선 등, 유효 표시부(6)를 검사하는 검사 공정에서 검사용의 신호(검사 신호)가 공급되는 검사용 배선은, 넓은 선 폭을 갖고, 게다가 긴 배선 길이를 갖기 때문에, 설치 면적이 커서, 전하가 축적되기 쉽다. 축적된 전하는, 배선의 종단부나 굴곡 부에 집중되기 쉽고, 인접하는 다른 도전층(배선이나 전극 등) 사이에서 정전 방전을 발생하는 원인으로 된다. 이러한 정전 방전은, 절연 상태를 유지할 인접하는 배선 사이에서의 쇼트나, 인접하는 배선의 단선을 초래할 우려가 있다.

예를 들면, 도 3에 도시한 바와 같이 검사용 제어 배선(55)의 단부 부근에 위치하는 스위치 소자(63)에서는, 반도체층(63SC)은, 소스 전극(63S) 및 드레인 전극(63D)과 전기적으로 접속되어 있다. 이러한 구성에서, 검사용 제어 배선(55)에 전하가 축적되면, 그 종단부 부근에 배치된 스위치 소자(63)의 게이트 전극(63G)에 전하가 집중되기 쉬워, 방전을 발생시켜, 게이트 전극(63G)과 소스 전극(63S) 사이나 게이트 전극(63G)과 드레인 전극(63D) 사이에서의 쇼트를 일으킬 우려가 있다.

또한, 도 4에 도시한 바와 같이 커먼 배선 COM에 전하가 축적되면, 그 굴곡부 BD에 전하가 집중되기 쉬워, 방전을 발생시켜, 다른 전위가 공급되는 배선 WX와 굴곡부 BD 사이에서의 쇼트를 일으킬 우려가 있다. 또한, 방전의 규모가 큰 경우에는, 인접하는 배선 WX의 단선을 초래할 우려가 있다. 이러한 쇼트나 단선이라고 한 배선 불량은, 완성된 액정 표시 패널에서의 화소 결함을 발생시키기 때문에, 제조 수율을 저하시킨다.

또한, 전술한 바와 같은 구성의 표시 장치는, 표시 장치용 마더 기판을 이용하여 복수개 동시에 제조하는 것도 가능하다. 즉, 도 5에 도시한 바와 같이 액정 표시 장치를 제조하기 위한 표시 장치용 마더 기판은, 어레이 기판용의 제1 마더 기판 M1 및 대향 기판용의 제1 마더 기판 M2를 구비하고 있다. 이들 제1 마더 기판 M1 및 제2 마더 기판 M2는, 각각 스크라이브된 후에 하나의 액정 표시 패널(1) 로 되는 셀 영역 C1, C2, …를 복수 개소 구비하고 있다.

즉, 제1 마더 기판 M1 및 제2 마더 기판 M2는, 각 셀 영역 C에서 유효 표시부(6)를 포함하고, 각 유효 표시부(6)를 둘러싸도록 배치된 시일재에 의하여 접합되어 있다. 이들 제1 마더 기판 M1 및 제2 마더 기판 M2는, 각 셀 영역 C에서, 시일재에 의하여 둘러싸인 내측에 액정층(5)을 유지하는 것이 가능하다. 이러한 구성의 제1 마더 기판 M1을 각 셀 영역 C를 따라 스크라이브함으로써, 각 액정 표시 패널(1)의 어레이 기판(3)이 형성된다. 또한, 제2 마더 기판 M1을 각 셀 영역 C를 따라 스크라이브함으로써, 각 액정 표시 패널(1)의 대향 기판(4)이 형성된다.

한편, 제1 마더 기판 M1은, 셀 영역 밖에서, 각 셀 영역 내에 공통된 신호를 공급하기 위한 공통 신호선 CSL을 구비하고 있다. 이 공통 신호선 CSL은, 스크라이브 전에 각 셀 영역 C에서의 품질에 관한 검사를 행할 때에 각종 검사 신호가 공급되는 것이다. 이 공통 신호선 CSL은, 예를 들면 루프 형상으로 형성되고, 그 일부가 검사용 패드 CSP에 접속되어 있다.

또한, 제1 마더 기판 M1은, 셀 영역 밖에 배치됨과 함께 제조 과정에서 표시 장치용 마더 기판에 대한 위치 정렬에 필요한 얼라인먼트 마크 AMM을 구비하고 있다. 즉, 이 얼라인먼트 마크 AMM은, 제1 마더 기판 M1 상에 각종 도전층 및 절연층을 형성할 때에 제1 마더 기판 M1과 각종 제조 장치 사이나, 혹은 제1 마더 기판 M1과 각종 패터닝용의 마스크 사이에서의 위치 정렬 등에 이용된다. 또한, 이 제1 마더 기판 M1 상의 얼라인먼트 마크 AMM은, 제2 마더 기판 M2를 접합할 때에 제1 마더 기판 M1과 제2 마더 기판 M2 사이에서의 위치 정렬에도 이용된다.

이 얼라인먼트 마크 AMM은, 도 1에 도시한 바와 같은 셀 영역 내에 배치된 얼라인먼트 마크 AMP와 같이, 금속막으로 형성된다. 이 얼라인먼트 마크 AMM은, 도 5에 도시한 예에서는, 제1 마더 기판 M1의 주변 영역에 배치되어 있지만, 특별히 이 예에 한정되는 것은 아니고, 제1 마더 기판 M1 상이면 어떤 위치라도 되며, 또한 제1 마더 기판 M1 상에 복수 배치해도 된다. 또한, 여기서의 얼라인먼트 마크 AMM은, 로트 번호나 제조 이력 등의 식별 정보가 각인된 마크라도 된다.

이러한 표시 장치용 마더 기판에서도, 그 제조 과정에서 비교적 설치 면적이 큰 배선에 전하가 축적되기 쉽다. 특히, 각 셀 영역 C의 검사용 배선은, 전하를 축적하기 쉽기 때문에, 도 3 및 도 4를 참조하여 설명한 것과 마찬가지의 쇼트나 단선이라고 한 배선 불량을 일으킬 우려가 있다.

<구성예>

따라서, 이 실시 형태에 따른 표시 장치는, 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치된 도전층(90)을 구비하고 있다. 이 도전층(90)은, 검사용 배선(80)에 대향하여 검사용 배선(80)에 축적된 전하의 방전을 유도하는 방전 유도부(90A)를 갖고 있다. 즉, 방전 유도부(90A)는, 도전층(90)에서의 검사용 배선(80)과 대향한 부분에 상당한다. 검사용 배선(80)에서, 방전 유도부(90A)와 대향하는 대향부(80A)는, 검사용 배선(80)의 중도부이어도 되고, 검사용 배선(80)의 단부이어도 된다. 방전 유도부(90A)는, 검사용 배선(80)에서, 특히 전하가 집중 되기 쉬운 검사용 배선(80)의 단부와 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되는 것이 바람직하다.

이하에, 검사용 배선(80)과 도전층(90)의 레이아웃 예에 대하여 설명한다.

도 6a 및 도 6b에 도시한 예에서는, 도전층(90)은, 검사용 배선(80)과 동일층에서, 검사용 배선(80)과 소정의 간격 G를 두고 대향하도록 배치되어 있다. 이 도전층(90)은, 검사용 배선(80)과 동일층에 배치되기 때문에, 검사용 배선(80)과 동일 재료를 이용하여 동일 공정에서 형성 가능하다. 이 때문에, 별도로 도전층(90)을 형성하는 공정이 불필요하고, 제조 코스트의 증대나 제조 수율의 대폭적인 열화를 초래하지는 않는다.

도 7a 및 도 7b에 도시한 예에서는, 도전층(90)은, 검사용 배선(80)과는 절연층(100)을 개재하여 상이한 층에서, 검사용 배선(80)과 소정의 간격 G를 두고 대향하도록 배치되어 있다. 여기서는, 특히 도 7a에 도시한 바와 같이 도전층(90) 및 검사용 배선(80)은, 이들이 배치되는 기판(즉 어레이 기판(3))의 면 내에서 상호 중첩되지 않도록 배치되어 있다(즉, 어레이 기판(3)의 면 내에서, 도전층(90)과 검사용 배선(80)의 간격 G가 제로로 되지 않음). 또한, 도 7b에 도시한 예에서는, 검사용 배선(80)을 절연층(100)의 하층에 배치하고, 도전층(90)을 절연층(100)의 상층에 배치하였지만, 이 예에 한정되지는 않으며, 검사용 배선(80)을 절연층(100)의 상층에 배치하고, 도전층(90)을 절연층(100)의 하층에 배치해도 되는 것은 물론이다.

도 8a 및 도 8b에 도시한 예에서는, 도전층(90)은, 검사용 배선(80)과는 절연층(100)을 개재하여 상이한 층에 배치되고, 게다가 절연층(100)을 개재하여 검사용 배선(80)과 그 적어도 일부가 겹쳐지도록 배치되어 있다. 즉, 도 8a에 도시한 바와 같이 도전층(90) 및 검사용 배선(80)은, 이들이 배치되는 기판(즉 어레이 기판(3))의 면 내에서 상호 중첩됨과 함께, 이들 사이에 개재되는 절연층(100)을 개재하여 상호 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 도 8b에 도시한 예에서는, 검사용 배선(80)을 절연층(100)의 하층에 배치하고, 도전층(90)을 절연층(100)의 상층에 배치하였지만, 이 예에 한정되지 않고, 검사용 배선(80)을 절연층(100)의 상층에 배치하고, 도전층(90)을 절연층(100)의 하층에 배치해도 되는 것은 물론이다. 또한, 도 8b에 도시한 예에서는, 검사용 배선(80)을 도전층(90)보다 폭 넓게 형성하였지만, 이 예에 한정되지 않고, 도전층(90)을 검사용 배선(80)보다 폭 넓게 형성해도 되는 것은 물론이다.

이들 예에서 설명한 도전층(90)은, 검사용 배선(80)에 집중된 전하의 방전을 유도하는 것으로, 만약 방전이 발생하였다고 하여도(혹은, 방전의 결과로 쇼트나 단선이 발생하였다고 하여도) 완성된 액정 표시 패널에서 아무런 영향을 미치지 않는 도전층이다. 예를 들면, 도전층(90)은, 검사용 배선(80)에 대향하여 섬 형상으로 배치된(즉 전기적으로 플로팅한 상태의) 도전 부재이어도 되고, 소정 신호(혹은 소정 전압)을 공급하기 위한 배선 등이어도 된다. 도전층(90)이 배선인 경우, 완성된 액정 표시 패널에서 표시에 기여하는 신호가 입력되지 않는 배선을 도전층(90)으로서 이용하는 것이 바람직하다. 즉, 도전층(90)으로서 이용하는 배선은, 플렉시블 배선 기판 FPC나, 구동 IC 칩 등을 실장한 후에는, 신호가 입력되지 않거나, 혹은 검사부(40)에 설치된 각 스위치 소자(61, 62, 63)를 오프한 상태에서 고정하는 신호가 입력되는 배선인 것이 바람직하다. 이러한 배선이나 섬 형상의 도 전 부재를 도전층(90)으로서 이용함으로써, 비록 검사용 배선(80)과 쇼트하였다고 해도 완성된 액정 표시 패널에서, 표시 품위에 아무런 영향을 미치지 않는다. 또한, 도전층(90)이 배선인 경우, 쇼트나 단선을 발생시키지 않고 검사용 배선(80)의 전하를 밀어낼 정도의 소규모의 방전으로 억제하는 것이 가능하면, 표시에 기여하는 신호가 입력되는 배선을 도전층(90)으로서 이용해도 된다.

도 7a 및 도 7b에 도시한 예나 도 8a 및 도 8b에 도시한 예의 경우, 도전층(90)은, 이것과 대향한 상태에서 배치할 검사용 배선(80)과는 상이한 층에 형성되는 전극이나 배선과 동일 재료를 이용하여 동일 공정에서 형성 가능하다. 예를 들면, 검사용 배선(80)이 검사용 제어 배선(55)인 경우, 도전층(90)은, 검사용 배선(80)은 절연층(100)을 개재하여 상이한 층에 배치되는 소스 전극이나 드레인 전극 등과 동일 재료를 이용하여 동일 공정에서 형성 가능하다. 이 때문에, 별도로 도전층(90)을 형성하는 공정이 불필요하여, 제조 코스트의 증대나 제조 수율의 대폭적인 열화를 초래하지는 않는다.

도전층(90)과 검사용 배선(80) 사이의 소정의 간격 G는, 방전을 유도 가능한 거리로 설정되고, 가능한 한 작은 것이 바람직하지만, 양자가 쇼트되면(간격을 제로로 하면) 저항이 지나치게 작아져, 정전 파괴의 에너지를 소비할 수 없다. 이 때문에, 간격 G는, 양자가 전기적으로 절연 상태로 되는 거리로 설정되는 것이 바람직하다.

도 6a 및 도 6b에 도시한 예나, 도 7a 및 도 7b에 도시한 예에서는, 소정의 간격 G는, 도전층(90)과 검사용 배선(80)이 배치되는 어레이 기판(3)의 면 내에서 의 거리에 상당한다. 또한, 도 8a 및 도 8b에 도시한 예에서는, 도전층(90)과 검사용 배선(80)이 절연층(100)을 개재하여 겹쳐지도록 배치되어 있기 때문에, 양자의 간격은, 실질적으로 절연층(100)의 막 두께 G에 상당한다. 또한, 경우에 따라서는, 상층(여기서는 도전층(90))이 하층(여기서는 검사용 배선(80))을 얹게 한 단차부 BP에서, 상층과 하층 사이에 개재하는 절연층(100)의 두께 G'가 실질적인 막 두께 G보다도 얇게 되는 경우가 있다. 이러한 경우, 도전층(90)과 검사용 배선(80) 사이의 간격은, 단차부 BP에서의 절연층(100)의 두께 G'에 상당한다. 어떤 경우든, 도전층(90)과 검사용 배선(80) 사이의 간격은, 이들이 배치되는 어레이 기판(3)의 단면 내에서의 최단 거리에 상당하는 것으로서 정의한다.

도 6a 및 도 6b에 도시한 예와 같이, 도전층(90)과 검사용 배선(80)을 동일층에 배치하는 경우, 이들 패터닝 공정에서의 해상도 한계에 의해, 양자의 간격 G에는 어느 정도의 한계가 있다. 한편, 도 7a 및 도 7b에 도시한 예나, 도 8a 및 도 8b에 도시한 예와 마찬가지로, 도전층(90)과 검사용 배선(80)을 상이한 층에 배치하는 경우, 이들 패터닝 공정에서의 제약으로부터 해방되어, 어레이 기판(3)의 면 내에서 양자가 겹쳐지도록 배치되었다고 하여도, 절연층(100)에 의해 양자를 전기적으로 절연한 상태를 형성하는 것이 가능하게 된다. 즉, 검사용 배선(80) 및 도전층(90)을 동일층에 배치한 경우와 비교하여, 도전층(90)과 검사용 배선(80)의 간격을 보다 작게 하는 것이 가능하게 되고, 보다 방전을 유도하기 쉽게 하는 것이 가능하게 된다. 또한, 절연층(100)을 통하여 도전층(90)과 검사용 배선(80)을 겹쳐서 배치하는 경우, 양자의 간격은 단면 내에서의 최단 거리에 상당하기 때문에, 절연층(100)의 막 두께에 의하여 양자의 간격을 제어하는 것이 가능하다. 절연층(100)의 막 두께는 0.1㎛ 정도로 설정하는 것이 가능하고, 어레이 기판면 내에서 소정의 간격을 형성하려고 하는 경우보다, 더 작은 간격을 형성하는 것이 가능하게 되고, 또한 방전을 유도하기 쉽게 하는 것이 가능하게 된다.

또한, 도 6a 및 도 6b에 도시한 예와 같이, 검사용 배선(80) 및 도전층(90)을 동일층에 근접한 간격으로 형성하는 경우에, 패터닝 공정에서 필요하게 되는 노광용 마스크를 고정밀도로 작성할 필요가 있거나, 패터닝 공정에서 노광용 마스크를 고정밀도로 위치 정렬할 필요가 있기도 하다. 이것에 대하여, 도 7a 및 도 7b 에 도시한 예나, 도 8a 및 도 8b에 도시한 예와 같이, 검사용 배선(80) 및 도전층(90)을 상이한 층으로 형성함으로써, 이러한 요구를 만족시킬 필요가 없게 되어, 제조 코스트를 저감시키는 것이 가능하게 됨과 함께 제조 수율을 향상시키는 것이 가능하게 된다.

전술한 예에서, 도전층(90)에서의 검사용 배선(80)의 대향부, 즉 방전 유도부(90A), 및 검사용 배선(80)에서의 도전층(90)의 대향부(80A)의 형상은, 사각 형상에 한정되는 것은 아니다. 즉, 방전 유도부(90A) 및 대향부(80A) 중 적어도 한 쪽은, 전하가 집중되기 쉬운 형상(즉, 예리한 형상)인 것이 바람직하다. 즉, 대향부(80A)는, 도전층(90)을 향하여 돌출된, 적어도 하나의 다각 형상의 돌각부를 갖고 있다. 또한, 방전 유도부(90A)는, 검사용 배선(80)을 향하여 돌출된, 적어도 하나의 다각 형상의 돌각부를 갖고 있다. 방전 유도부(90A)에서의 돌각부 중 적어도 하나의 정점은, 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하고 있다. 또한, 대향부(80A)에서의 돌각부 중 적어도 하나의 정점은, 도전층(90)과 소정의 간격을 두고 대향하고 있다.

보다 구체적으로 설명하면, 도 9a에 도시한 바와 같이 대향부(80A) 및 방전 유도부(90A) 중 적어도 한 쪽은, 하나의 사각 형상의 돌각부 C를 갖고, 2개의 정점 T를 갖는 형상이어도 된다. 또한, 도 9b에 도시한 바와 같이 대향부(80A) 및 방전 유도부(90A) 중 적어도 한 쪽은, 하나의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖고, 하나의 정점 T를 갖는 형상이어도 된다. 또한, 도 9c에 도시한 바와 같이 대향부(80A) 및 방전 유도부(90A) 중 적어도 한 쪽은, 복수(n개)의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖고, 복수(n개)의 정점 T를 갖는 형상이어도 된다. 즉, 도 9c에 도시한 예는, 연속하는 삼각형으로 이루어지는 톱니 형상의 돌각부 C를 갖는 형상(즉 복수의 정점 T를 갖는 형상)을 나타내고 있다. 도 9b 및 도 9c에 도시한 바와 같은 예에서는, 도 9a 에 도시한 예와 비교하여, 정점 T를 더 예리한 형상으로 할 수 있어, 전계가 집중되기 쉽게 된다.

또한, 도 9d에 도시한 바와 같이 대향부(80A) 및 방전 유도부(90A) 중 적어도 한 쪽은, 길이가 상이한 복수의 돌각부 C1, C2, C3, …를 갖는 형상이어도 된다. 도 9d에 도시한 예에서는, 이러한 형상과 대향하는 부분 사이의 간격(혹은 겹쳐지는 양)을 돌각부마다 상이하게 하는 것이 가능하다.

또한, 대향부(80A) 및 방전 유도부(90A) 중 적어도 한 쪽은, 도시하지 않은이, n개의 ㎡ 형상의 돌각부 C를 갖고, 복수의 정점을 갖는 형상이어도 되지만, 정점 T의 형상은 전계의 집중되기 쉬운 것을 고려하면 더 예리한 것이 바람직하다. 또한, 복수의 돌각부 C 및 복수의 정점 T는, 일렬로 배열될 필요는 없으며, 기판면 내에서 모든 방위를 향하고 있어도 된다.

대향부(80A) 및 방전 유도부(90A)가 도 9a 내지 도 9c에 도시한 바와 같은 돌각부 C를 갖는 경우, 소정의 간격 G는, 돌각부 C의 선단(즉 정점 T)과, 이것에 대향하는 대향부의 거리로 정의해도 된다.

검사용 배선(80)의 대향부(80A)와 도전층(90)의 방전 유도부(90A)를 마주 대하였을 때의 패턴의 조합은, 도 6a 및 도 7a에 도시한 바와 같은 사각 형상의 대향부끼리의 조합에 한정되는 것은 아니다.

즉, 도 10a에 도시한 바와 같이 검사용 배선(80)과 도전층(90)을 마주 대하였을 때, 한 쪽의 대향부가 사각 형상이고, 다른 쪽의 대향부가 삼각 형상의 돌각부인 조합이어도 된다. 또한, 도 10b에 도시한 바와 같이 검사용 배선(80)과 도전층(90)을 마주 대하였을 때, 한 쪽의 대향부가 사각 형상이고, 다른 쪽의 대향부가 톱니 형상의 돌각부인 조합이어도 된다. 또한, 도 10c에 도시한 바와 같이 검사용 배선(80)과 도전층(90)을 마주 대하였을 때, 한 쪽의 대향부가 삼각 형상이고, 다른 쪽의 대향부가 삼각 형상의 돌각부인 조합이어도 된다. 도 10c에 도시한 예에서는, 한 쪽의 대향부의 정점 T가 다른 쪽의 대향부의 정점 T와 최단 거리에서 대향하는 것이 더 바람직하다. 또한, 도 10d에 도시한 바와 같이 검사용 배선(80)과 도전층(90)을 마주 대하였을 때, 한 쪽의 대향부가 톱니 형상이고, 다른 쪽의 대향부가 톱니 형상의 돌각부인 조합이어도 된다. 이 도 10d에 도시한 예에서는, 한 쪽의 대향부의 정점 T가 다른 쪽의 대향부의 정점 T와 최단 거리에서 대향하는 것 이 더 바람직하다.

또한, 검사용 배선(80)의 대향부(80A)와 도전층(90)의 방전 유도부(90A)를 마주 대하였을 때, 검사용 배선(80)과 도전층(90)이 중첩하는 겹침부 OL의 패턴의 조합은, 도 8a에 도시한 바와 같은 사각 형상의 대향부끼리의 조합에 한정되는 것은 아니다. 즉, 검사용 배선(80) 및 도전층(90) 중 적어도 한 쪽은, 전하가 집중되기 쉬운 형상으로서 적어도 하나의 다각 형상의 돌각부를 갖고 있고, 이 돌각부 중 적어도 하나의 정점을 포함하는 일부가 겹침부 OL을 구성하고 있으면 된다.

먼저 도 9b 및 도 9c을 참조하여 설명한 바와 같은 예에서는, 도 9a에 도시한 예와 비교하여, 겹침부 OL을 구성하는 엣지 길이를 늘리는 것이 가능해지고, 게다가 정점 T를 보다 예리한 형상으로 할 수 있어, 전계가 집중되기 쉽게 된다.

전술한 바와 같은 형상의 검사용 배선(80) 및 도전층(90)에서는, 적어도 한 쪽에 형성된 돌각부 중 적어도 하나의 정점을 포함하는 일부가 겹침부 OL을 구성하고 있으면 된다. 즉, 도전층(90)은, 적어도 하나의 다각 형상의 돌각부 C를 갖고, 게다가 돌각부 C 중 적어도 하나의 정점 T를 포함하는 일부가 검사용 배선(80)과 겹쳐지도록 배치되어도 된다. 또한, 검사용 배선(80)은, 적어도 하나의 다각 형상의 돌각부 C를 갖고, 게다가 돌각부 C 중 적어도 하나의 정점 T를 포함하는 일부가 도전층(90)과 겹쳐지도록 배치되어도 된다.

예를 들면, 도 11a에 도시한 바와 같이 도전층(90)의 방전 유도부(90A)가 하나의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖는 경우, 도전층(90)은, 그 돌각부 C의 전체가 검사용 배선(80)과 겹쳐지도록 배치하면 된다. 이 경우, 당연히, 도전층(90)에서의 돌각부 C의 정점 T는 검사용 배선(80)과 겹쳐진다. 혹은, 검사용 배선(80)이 하나의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖는 경우, 검사용 배선(80)은 그 돌각부 C의 전체가 도전층(90)의 방전 유도부(90A)와 겹쳐지도록 배치하면 된다. 이 경우에도, 당연히 검사용 배선(80)에서의 돌각부 C의 정점 T는 도전층(90)과 겹쳐진다. 이러한 배치에 의하여 겹침부 OL을 구성함으로써, 검사용 배선(80) 및 도전층(90)은, 전계가 집중되기 쉬운 정점 T를 통하여 실질적으로 절연층(100)의 막 두께에 상당하는 간격으로 대향 배치되고, 검사용 배선(80)에 축적된 전하의 방전을 유도 가능하게 된다.

또한, 도 11b에 도시한 바와 같이 도전층(90)의 방전 유도부(90A)가 복수의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖는 경우, 도전층(90)은, 이들 돌각부 C의 전체가 검사용 배선(80)과 겹쳐지도록 배치해도 된다. 이 경우, 당연히, 도전층(90)에서의 돌각부 C의 정점 T는 검사용 배선(80)과 겹쳐진다. 혹은, 검사용 배선(80)이 복수의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖는 경우, 검사용 배선(80)은, 이들 돌각부 C의 전체가 도전층(90)의 방전 유도부(90A)와 겹쳐지도록 배치해도 된다. 이 경우도, 당연히 검사용 배선(80)에서의 돌각부 C의 정점 T는 도전층(90)과 겹쳐진다. 이러한 배치에 의하여 겹침부 OL을 구성함으로써, 검사용 배선(80) 및 도전층(90)은, 전계가 집중되기 쉬운 정점 T를 통하여 실질적으로 절연층(100)의 막 두께에 상당하는 간격으로 대향 배치되고, 검사용 배선(80)에 축적된 전하의 방전을 유도 가능하게 된다.

또한, 도 11c에 도시한 바와 같이 도전층(90)의 방전 유도부(90A)가 하나의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖는 경우, 도전층(90)은, 그 돌각부 C의 하나의 정점 T를 포함하는 일부가 검사용 배선(80)과 겹쳐지도록 배치해도 된다. 이 경우에는, 특히 도전층(90)에서의 돌각부 C의 정점 T가 검사용 배선(80)을 얹게 한 단차부 BP에 위치하는 것이 바람직하다. 혹은, 검사용 배선(80)이 하나의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖는 경우, 검사용 배선(80)은, 그 돌각부 C의 하나의 정점 T를 포함하는 일부가 도전층(90)의 방전 유도부(90A)와 겹쳐지도록 배치해도 된다. 이 경우에도 마찬가지로, 검사용 배선(80)에서의 돌각부 C의 정점 T가 도전층(90)을 얹게 한 단차부 BP에 위치하는 것이 바람직하다. 이러한 배치에 의하여 겹침부 OL을 구성함으로써, 검사용 배선(80) 및 도전층(90)은, 전계가 집중되기 쉬운 정점 T를 통하여, 양자간에 개재하는 절연층(100)의 두께에 상당하는 미소한 간격으로 대향 배치되고, 검사용 배선(80)에 축적된 전하의 방전을 더 유도 가능하게 된다.

또한, 도 11d에 도시한 바와 같이 도전층(90)의 방전 유도부(90A)가 복수의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖는 경우, 도전층(90)은, 이들 돌각부 C 중 적어도 하나의 정점 T를 포함하는 일부가 검사용 배선(80)과 겹쳐지도록 배치해도 된다. 이 경우에는, 특히 도전층(90)에서의 돌각부 C의 정점 T가 검사용 배선(80)을 얹게 한 단차부 BP에 위치하는 것이 바람직하다. 혹은, 검사용 배선(80)이 복수의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖는 경우, 검사용 배선(80)은, 이들 돌각부 C 중 적어도 하나의 정점 T를 포함하는 일부가 도전층(90)의 방전 유도부(90A)와 겹쳐지도록 배치해도 된다. 이 경우도 마찬가지로, 검사용 배선(80)에서의 돌각부 C의 정점 T가 도전층(90)을 얹게 한 단차부 BP에 위치하는 것이 바람직하다. 이러한 배치에 의하여 겹 침부 OL을 구성함으로써, 검사용 배선(80) 및 도전층(90)은, 전계가 집중되기 쉬운 정점 T를 통하여, 양자간에 개재하는 절연층(100)의 두께에 상당하는 미소한 간격으로 대향 배치되는 것으로 되어, 검사용 배선(80)에 축적된 전하의 방전을 더 유도 가능하게 된다.

또한, 도 11e에 도시한 바와 같이 도전층(90)의 방전 유도부(90A)가 복수의 돌각부 C1, C2, …를 갖는 경우, 도전층(90)은, 이들 돌각부 중 적어도 하나의 정점 T를 포함하는 일부가 검사용 배선(80)과 겹쳐지도록 배치해도 된다. 이 경우에는, 특히 도전층(90)에서의 하나의 돌각부(도 11e에 도시한 예에서는 C3)의 정점 T가 검사용 배선(80)을 얹게 한 단차부 BP에 위치하는 것이 바람직하다. 혹은, 검사용 배선(80)이 복수의 돌각부 C1, C2, …를 갖는 경우, 검사용 배선(80)은, 이들 돌각부 중 적어도 하나의 정점 T를 포함하는 일부가 도전층(90)의 방전 유도부(90A)와 겹쳐지도록 배치해도 된다. 이 경우도 마찬가지로, 검사용 배선(80)에서의 하나의 돌각부 C의 정점 T가 도전층(90)을 얹게 한 단차부 BP에 위치하는 것이 바람직하다. 이러한 배치에 의하여 겹침부 OL을 구성함으로써, 검사용 배선(80) 및 도전층(90)은, 전계가 집중되기 쉬운 정점 T를 통하여, 양자간에 개재하는 절연층(100)의 두께에 상당하는 미소한 간격으로 대향 배치되고, 검사용 배선(80)에 축적된 전하의 방전을 더 유도 가능하게 된다.

도 9d에 도시한 바와 같은 길이가 상이한 복수의 돌각부를 갖는 형상은, 특히 도 11e에서 설명한 바와 같이, 검사용 배선(80)과 도전층(90)을 상이한 층에 배치하고, 또한 상호 일부가 겹쳐지도록 배치한 경우에 적용하는 것이 효과적이다. 즉, 검사용 배선(80)에 축적되는 전하량은, 각종 조건에 따라 상이하다. 따라서, 방전 유도부(90A)에 의해 방전을 유도하기 쉬운 최적의 거리도, 각종 조건에 따라 상이하다. 이 때문에, 검사용 배선(80)과 도전층(90)은, 방전 유도부(90A)로부터의 거리가 여러가지 다른 조건에서 대향하고 있는 것이 바람직하다. 이에 의해, 검사용 배선(80)에 축적된 전하량의 대소에 상관없이, 방전 유도부(90A)에 의해 방전을 유도하기 쉽게 된다.

또한, 만약, 방전 유도부(90A)에 의해 방전을 유도하기 쉬운 최적의 검사용 배선(80)과 도전층(90)의 간격을 알 수 있다고 해도, 검사용 배선(80)과 도전층(90)을 상이한 층에 배치하는 경우, 검사용 배선(80) 및 도전층(90)을 각각 형성할 때의 얼라인먼트 정밀도에 의해, 최적의 간격으로 형성할 수 없는 경우가 있다. 따라서, 예를 들면, 방전 유도부(90A)에 전술한 바와 같은 길이가 상이한 복수의 돌각부를 갖는 형상을 적용함으로써, 어느 하나의 돌각부를 검사용 배선(80)과 최적의 간격으로 대향 배치하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 검사용 배선(80)에 축적된 전하의 방전을 더 유도 가능하게 된다.

또한, 도 11a 내지 도 11e에 도시한 예에서는, 정점 T를 포함하는 돌각부 C를 상층에 배치하였지만, 이 예에 한정되지 않고, 정점 T를 포함하는 돌각부를 하층에 배치해도 되는 것은 물론이다. 또한, 하층을 상층보다 폭 넓게 형성하였지만, 이 예에 한정되지 않고, 상층을 하층보다 폭 넓게 형성해도 물론 된다.

이러한 구성에 의해, 검사용 배선(80) 상에서 축적되어 있었던 전하를 도전층(90)의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 검사용 배선(80) 에 인접하는 다른 도전층 사이에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

따라서, 플렉시블 배선 기판 FPC나 구동 IC 칩(11)을 실장하기 전의 유효 표시부(6)에서의 품질에 관한 검사를 행하는 검사 단계에서, 검사부(40)를 이용하여 안정적으로 각종 배선의 배선 불량을 검사하는 것이 가능하게 됨과 함께, 완성된 액정 표시 패널에서의 결함의 발생을 방지할 수 있어, 제조 수율의 저하를 억제하는 것이 가능하게 된다.

(Example 1) 도전층 - 검사용 제어 배선 ; 동일층 배치

이 제1 실시예에서는, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에서의 방전을 유도하는 구성예에 대하여 설명한다. 도 12a 및 도 12b에 도시한 바와 같이 스위치 소자(63)의 게이트 전극(63G)과 일체적인 검사용 제어 배선(55)과 동일층에서, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)는, 소정의 간격을 두고 도전층(90)과 대향하도록 배치되어 있다. 검사용 제어 배선(55)의 도전층(90)과 대향하는 단부(55E)는, 도전층(90)을 향하여 돌출된 돌각부 C를 갖고 있다. 또한, 도전층(90)의 검사용 제어 배선(55)과 대향하는 방전 유도부(90A)는, 검사용 제어 배선(55)을 향하여 돌출된 돌각부 C를 갖고 있다. 즉, 검사용 제어 배선(55)과 도전층(90)은, 동일층에서, 서로의 돌각부 C의 정점 T가 소정의 간격 G를 두고 대향하도록 배치되어 있다.

이러한 구성에 의해, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에 집중한 전하를 도전층(90)의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 검사용 제어 배선(55)의 단부 부근에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

(Example 2) 도전층 - 검사용 제어 배선 ; 이층(異層) 배치

이 제2 실시예에서는, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에서의 방전을 유도하는 구성예에 대하여 설명한다. 도 13a 및 도 13b에 도시한 바와 같이 도전층(90)은, 절연층(100)의 하층에 배치되어 있다. 또한, 스위치 소자(63)의 게이트 전극(63G)과 일체적인 검사용 제어 배선(55)은, 절연층(100)의 상층에 배치되어 있다. 검사용 제어 배선(55)의 도전층(90)과 대향하는 단부(55E)는, 도전층(90)을 향하여 돌출된 돌각부 C를 갖고 있다. 또한, 도전층(90)의 검사용 제어 배선(55)과 대향하는 방전 유도부(90A)는, 검사용 제어 배선(55)을 향하여 돌출된 돌각부 C를 갖고 있다. 즉, 도전층(90)과는 상이한 층에서, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)는, 어레이 기판(3)의 면 내에서 서로의 돌각부 C의 정점 T가 소정의 간격 G를 두고 도전층(90)과 대향하도록 배치되어 있다.

이러한 구성에 의해, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에 집중된 전하를 도전층(90)의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 검사용 제어 배선(55)의 단부 부근에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

(Example 3) 도전층 - 검사용 제어 배선 ; 이층 또한 일부 중첩 배치

이 제3 실시예에서는, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에서의 방전을 유도하는 구성예에 대하여 설명한다. 도 14a 및 도 14b에 도시한 바와 같이 도전층(90)은, 절연층(100)의 상층에 배치되어 있다. 또한, 스위치 소자(63)의 게이트 전극(63G)과 일체적인 검사용 제어 배선(55)은, 절연층(100)의 하층에 배치되어 있다. 검사용 제어 배선(55)의 도전층(90)의 대향부, 즉 단부(55E)는, 도전층(90)보다 폭 넓게 형성되어 있다. 도전층(90)은, 검사용 제어 배선(55)의 대향부에, 복수의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖는 방전 유도부(90A)를 구비하고, 게다가 돌각부 C의 각 정점 T를 포함하는 일부가 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에 겹쳐져 있다. 즉, 도전층(90)은, 검사용 제어 배선(55)과는 상이한 층에 배치되어 있고, 게다가 절연층(100)을 개재하여 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)와 적어도 일부가 겹쳐지도록 배치되어 있다.

<Embodiment1> 도전층 - 접속 패드 또는 접속 배선

전술한 표시 장치는, 구동 IC 칩(11)의 접속을 가능하게 하는 접속 패드 PD 혹은 플렉시블 배선 기판 FPC의 접속을 가능하게 하는 복수의 접속 패드를 갖는 패드부 PP를 구비하고 있다.

이하에, 전술한 도전층(90)이, 이들 접속 패드 또는 접속 패드에 접속된 접속 배선인 경우에 대해 설명한다. 예를 들면, 도 15에 도시한 바와 같이 패드부 PP에 포함되는 접속 패드 CP1은, 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되어 있다. 혹은, 도 16에 도시한 바와 같이 접속 패드 CP1에 접속된 접속 배선 CW는, 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되어 있다.

이들 접속 패드 CP1 및 접속 배선 CW는, 검사용 배선(80)에 집중한 전하의 방전을 유도하는 것으로, 만약 방전이 발생하였다고 해도(혹은, 방전의 결과로 쇼트나 단선이 발생하였다고 해도) 완성된 액정 표시 패널에서 아무런 영향을 미치지 않는 도전층이다. 즉, 접속 패드 CP1 및 접속 배선 CW는, 패드부 PP에 플렉시블 배선 기판 FPC를 접속하여 완성된 액정 표시 패널에서 표시에 기여하는 신호가 입력되지 않는 도전층이다. 즉, 접속 패드 CP1 및 접속 배선 CW는, 플렉시블 배선 기판 FPC나 구동 IC 칩 등을 실장한 후에는, 플렉시블 배선 기판 FPC의 구동 회로로부터 아무런 신호가 입력되지 않거나, 혹은 플렉시블 배선 기판 FPC의 구동 회로로부터 검사부(40)에 설치된 각 스위치 소자(61, 62, 63)를 오프한 상태에서 고정하는 신호가 입력되는 도전층이다.

이러한 도전층을 접속 패드 CP1 및 접속 배선 CW로서 이용함으로써, 비록 검사용 배선(80)과 쇼트하였다고 해도 완성된 액정 표시 패널에서, 표시 품위에 아무런 영향을 미치지 않는다. 또한, 쇼트나 단선을 생기게 하지 않고 검사용 배선(80)의 전하를 밀어낼 정도의 소규모의 방전으로 억제하는 것이 가능하면, 표시에 기여하는 신호가 입력되는 도전층을 접속 패드 CP1 및 접속 배선 CW로서 이용해도 된다.

또한, 도전층(90)이 구동 IC 칩(11)과의 접속을 가능하게 하는 접속 패드 PD 및 이 접속 패드 PD에 접속된 접속 배선인 경우에도, 도 15 및 도 16에 도시한 바와 같이, 이들 접속 패드 PD 또는 접속 배선을, 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치해도 된다. 이들 접속 패드 PD 및 접속 배선도, 접속 패드 PD에 구동 IC 칩(11)을 접속하여 완성된 액정 표시 패널에서 표시에 기여하는 신호가 입력되지 않는 도전층이면 된다.

접속 패드 CP1 또는 접속 배선 CW와 검사용 배선(80) 사이의 소정의 간격 G란, 방전을 유도 가능한 거리로서, 가능한 한 작은 것이 바람직하지만, 양자가 쇼트되면(간격을 제로로 하면) 저항이 지나치게 작아져, 정전 파괴의 에너지를 소비할 수 없기 때문에, 양자가 전기적으로 절연 상태로 되는 거리인 것이 바람직하다.

이러한 구성에 의해, 검사용 배선(80) 상에서 축적되어 있었던 전하를 접속 패드 CP1 또는 접속 배선 CW의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 검사용 배선(80)에 인접하는 다른 도전층 사이에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

(Example 4)

이 제4 실시예에서는, 검사용 배선(80)으로서 기능하는 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에서의 방전을, 도전층(90)으로서 기능하는 접속 패드에 의해 유 도하는 구성예에 대하여 설명한다. 도 17a에 도시한 바와 같이 어레이 기판(3)은, 연장부(10A)에서, 접속 패드 CP1을 포함하는 패드부 PP를 구비하고 있다. 또한, 어레이 기판(3)은, 스위치 소자(63)의 게이트 전극(63G)과 일체적인 검사용 제어 배선(55)을 구비하고 있다. 한편, 플렉시블 배선 기판 FPC는, 어레이 기판(3)의 패드부 PP의 접속 패드 CP1과 접속 가능한 접속 패드 CP2를 포함하는 배선부 PP'를 구비하고 있다. 이러한 구성에서, 어레이 기판(3)의 패드부 PP와 플렉시블 배선 기판 FPC의 배선부 PP'를 전기적으로 접속하였을 때, 접속 패드 CP1과 접속 패드 CP2가 전기적으로 접속된다.

도 17b 및 도 17c에 도시한 바와 같이 접속 패드 CP1은, 절연층(100)의 상층에 배치되어 있다. 검사용 제어 배선(55)은, 절연층(100)의 하층에 배치되어 있다. 즉, 접속 패드 CP1은, 검사용 제어 배선(55)과는 상이한 층에 배치되어 있고, 게다가 검사용 제어 배선(55)과 소정의 간격 G를 두고 대향하도록 배치되어 있다. 여기서는, 특히 접속 패드 CP1은, 절연층(100)을 개재하여 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)와 그 적어도 일부(대향부 CA)가 겹쳐지도록 배치되어 있다.

검사용 제어 배선(55)의 접속 패드 CP1의 대향부, 즉 단부(55E)는, 접속 패드 CP1보다 폭이 넓은 사각 형상으로 형성되어 있다. 접속 패드 CP1은, 검사용 제어 배선(55)의 대향부에, 복수의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖는 방전 유도부(90A)를 구비하고, 게다가 돌각부 C의 각 정점 T를 포함하는 일부가 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에 겹쳐져 있다. 즉, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)와 접속 패드 CP1의 방전 유도부(90A)가 소정 간격 G를 두고 대향하고 배치되어 있다. 이 때, 방전 유도부(90A)에 포함되는 돌각부 C의 정점 T가 단부(55E)와 실질적으로 절연층(100)의 막 두께에 상당하는 소정 간격 G를 두고 대향한다.

이러한 구성에 의해, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에 집중된 전하를 접속 패드 CP1의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이 때, 전계를 집중되기 쉬운 형상의 접속 패드 CP1의 정점 T가 단부(55E)와 최단 거리에서 대향 배치되기 때문에, 정점 T 부근에서 방전을 유도하기 쉽게 된다. 이에 의해, 검사용 제어 배선(55)의 단부 부근에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

<Embodiment2> 도전층 - 더미 패턴

전술한 표시 장치는, 전기적으로 플로팅한 상태의 더미 패턴 DP, 또한 섬 형상으로 배치된 도전 부재로 이루어져 전기적으로 플로팅한 상태에서 상호 소정의 간격을 두고 배열된 복수의 더미 패턴 DP를 갖는 더미군 DG를 구비하고 있다. 이하에, 전술한 도전층(90)이, 더미 패턴 DP인 경우에 대해 설명한다. 예를 들면, 도 18에 도시한 바와 같이 더미 패턴 DP는, 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되어 있다. 혹은, 도 19에 도시한 바와 같이 더미군 DG 중 적어도 하나의 더미 패턴 DP는, 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되어 있다.

이들 더미 패턴 DP는, 검사용 배선(80)에 집중된 전하의 방전을 유도하는 것으로, 만약 방전이 발생하였다고 해도(혹은, 방전의 결과로 쇼트나 단선이 발생하였다고 해도) 완성된 액정 표시 패널에서 아무런 영향을 미치지 않는 도전층이다. 즉, 더미 패턴 DP는, 플렉시블 배선 기판 FPC나 구동 IC 칩 등을 접속하여 완성된 액정 표시 패널에서 표시에 기여하는 신호가 입력되지 않는 도전층이다. 즉, 더미 패턴 DP는, 플렉시블 배선 기판 FPC나 구동 IC 칩 등을 실장한 후에는, 이들 구동 회로로부터 아무런 신호가 입력되지 않는 도전층이다. 이러한 도전층을 더미 패턴 DP로서 이용함으로써, 비록 검사용 배선(80)과 쇼트하였다고 해도 완성된 액정 표시 패널에서, 표시 품위에 아무런 영향을 미치지 않는다.

또한, 도 19에 도시한 바와 같은 더미군 DG를 구성하는 더미 패턴 DP와, 검사용 배선(80)은, 도 6a 및 도 6b에 도시한 검사용 배선(80)과 도전층(90)의 관계와 같이, 상호 소정의 간격 G를 두고 동일층에 배치해도 된다. 또한, 더미 패턴 DP와, 검사용 배선(80)은, 도 7a 및 도 7b에 도시한 검사용 배선(80)과 도전층(90)의 관계와 같이, 절연층(100)을 개재하여 서로 다른 층에 배치해도 된다. 또한, 더미 패턴 DP와, 검사용 배선(80)은, 도 8a 및 도 8b에 도시한 검사용 배선(80)과 도전층(90)의 관계와 같이, 절연층(100)을 개재하여 서로 다른 층으로서 또한 각각의 적어도 일부가 겹쳐지도록 배치해도 된다.

또한, 도 19에 도시한 바와 같은 더미군 DG를 구성하는 인접하는 2개의 더미 패턴 DP도, 도 6a 및 도 6b에 도시한 검사용 배선(80)과 도전층(90)의 관계와 같이, 전부가 상호 소정의 간격 G를 두고 동일층에 배치해도 되고, 도 7a 및 도 7b 에 도시한 검사용 배선(80)과 도전층(90)의 관계와 같이, 절연층(100)을 개재하여 서로 다른 층에 배치해도 되고, 도 8a 및 도 8b에 도시한 검사용 배선(80)과 도전층(90)의 관계와 같이, 절연층(100)을 개재하여 서로 다른 층으로서 또한 각각의 적어도 일부가 겹쳐지도록 배치해도 된다.

더미 패턴 DP과 검사용 배선(80) 사이의 소정의 간격 G, 및 더미군 DG를 구성하는 더미 패턴 DP 사이의 소정의 간격 G란, 방전을 유도 가능한 거리로서, 가능한 한 작은 것이 바람직하지만, 양자가 쇼트되면(간격을 제로로 하면) 저항이 지나치게 작아져, 정전 파괴의 에너지를 소비할 수 없기 때문에, 양자가 전기적으로 절연 상태로 되는 거리인 것이 바람직하다.

또한, 검사용 배선(80) 및 더미 패턴 DP를 동일층에 근접한 간격으로 형성하는 경우에, 패터닝 공정에서 필요하게 되는 노광용 마스크를 고정밀도로 작성할 필요가 있거나, 패터닝 공정에서 노광용 마스크를 고정밀도로 위치 정렬할 필요가 있기도 하였지만, 인접하는 검사용 배선(80) 및 더미 패턴 DP, 혹은 인접하는 2개의 더미 패턴을 상이한 층에 형성함으로써, 이러한 요구를 만족할 필요가 없게 되어, 제조 코스트를 저감시키는 것이 가능하게 됨과 동시에 제조 수율을 향상시키는 것이 가능하게 된다.

또한, 도 20에 도시한 바와 같이 더미 패턴 DP는, 그 일단부(즉 제1 대향부) DA1에서 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향함과 함께, 그 타단부(즉 제2 대향부) DA2에서 소정 신호(혹은 소정 전압)을 신호 공급 가능한 배선 WD와 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되어도 된다. 이 때, 검사용 배선(80), 더미 패턴 DP, 및 배선 WD는, 도 6a 및 도 6b에 도시한 바와 같이 전부 동일층에 배치되어도 되고, 도 7a 및 도 7b에 도시한 바와 같이 적어도 하나가 절연층을 개재하여 상이한 층에 배치되어도 되고, 도 8a 및 도 8b에 도시한 바와 같이 적어도 하나의 일부 가 절연층을 개재한 상이한 층에서 다른 것과 겹쳐지도록 배치되어도 된다.

또한, 도 21에 도시한 바와 같이 더미군 DG는, 그 일단부 DA1이 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치된 제1 더미 패턴 DP1, 및 그 일단부 DA2에서 소정 신호(혹은 소정 전압)를 신호 공급 가능한 배선 WD와 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치된 제2 더미 패턴 DP2를 포함하고 있어도 된다. 이 때, 검사용 배선(80), 더미군 DG를 구성하는 더미 패턴 DP, 및 배선 WD는, 도 6a 및 도 6b에 도시한 바와 같이 전부 동일층에 배치되어도 되고, 도 7a 및 도 7b에 도시한 바와 같이 적어도 하나가 절연층을 개재하여 상이한 층에 배치되어도 되고, 도 8a 및 도 8b에 도시한 바와 같이 적어도 하나의 일부가 절연층을 개재한 상이한 층에서 다른 것과 겹쳐지도록 배치되어도 된다.

도 20 및 도 21에 도시한 배선 WD는, 플렉시블 배선 기판 FPC나 구동 IC 칩 등을 실장한 후에는, 이들 구동 회로로부터 아무런 신호가 입력되지 않는 배선, 혹은 이들 구동 회로로부터 검사부(40)에 설치하는 각 스위치 소자(61, 62, 63)를 오프한 상태에서 고정하는 신호가 입력되는 배선이다. 또한, 배선 WD는, 쇼트나 단선을 발생시키지 않고 검사용 배선(80)의 전하를 밀어낼 정도의 소규모의 방전으로 억제하는 것이 가능하면 표시에 기여하는 신호가 입력되는 배선이어도 된다.

이러한 구성에 의해, 검사용 배선(80) 상에서 축적되어 있었던 전하를 더미 패턴 DP의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 검사용 배선(80)에 인접하는 다른 도전층 사이에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

(Example 5)

이 제5 실시예에서는, 검사용 배선(80)으로서 기능하는 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에서의 방전을, 도전층(90)으로서 기능하는 더미 패턴에 의해 유도하는 구성예에 대하여 설명한다. 도 22a에 도시한 바와 같이 어레이 기판(3)은, 연장부(10A)에서, 접속 패드 CP1을 포함하는 패드부 PP를 구비하고 있다. 또한, 어레이 기판(3)은, 스위치 소자(63)의 게이트 전극(63G)과 일체적인 검사용 제어 배선(55)을 구비하고 있다. 한편, 플렉시블 배선 기판 FPC는, 어레이 기판(3)의 패드부 PP의 접속 패드 CP1과 접속 가능한 접속 패드 CP2를 포함하는 배선부 PP'를 구비하고 있다. 이러한 구성에서, 어레이 기판(3)의 패드부 PP와 플렉시블 배선 기판 FPC의 배선부 PP'를 전기적으로 접속하였을 때, 접속 패드 CP1과 접속 패드 CP2가 전기적으로 접속된다.

또한, 검사용 제어 배선(55)과 접속 패드 CP1 사이에는, 복수의 더미 패턴 DP로 이루어지는 더미군 DG가 배치되어 있다. 즉, 도 22b 및 도 22c에 도시한 바와 같이 더미군 DG는, 검사용 제어 배선(55)과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치된 제1 더미 패턴 DP1, 및 접속 패드 CP1과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치 된 제2 더미 패턴 DP2를 포함하고 있다. 더미군 DG를 구성하는 다른 더미 패턴 DP는, 제1 더미 패턴 DP1 및 제2 더미 패턴 DP2는 절연층(100)을 개재하여 상이한 층에 배치되어 있다.

제1 더미 패턴 DP1은, 검사용 제어 배선(55)과는 절연층(100)을 개재하여 상이한 층에 배치되어 있다. 여기서는, 특히 제1 더미 패턴 DP1은, 절연층(100)을 개재하여 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)와 그 적어도 일부(대향부 DA1)가 겹쳐지도록 배치되어 있다. 제2 더미 패턴 DP2는, 접속 패드 CP1은 절연층(100)을 개재하여 상이한 층에 배치되어 있다. 여기서는, 특히 제2 더미 패턴 DP2는, 절연층(100)을 개재하여 접속 패드 CP1의 단부 CPE와 그 적어도 일부(대향부 DA2)가 겹쳐지도록 배치되어 있다.

검사용 제어 배선(55)의 제1 더미 패턴 DP1의 대향부, 즉 단부(55E)는, 제1 더미 패턴 DP1보다 폭이 넓은 사각 형상으로 형성되어 있다. 접속 패드 CP1의 제2 더미 패턴 DP2의 대향부, 즉 단부 CPE는, 제2 더미 패턴 DP2보다 폭이 넓은 사각 형상으로 형성되어 있다.

제1 더미 패턴 DP1의 검사용 제어 배선(55)의 대향부 DA1은, 방전 유도부로서 기능한다. 이 대향부 DA1은, 삼각 형상의 돌각부 C를 갖고, 게다가 돌각부 C의 정점 T를 포함하는 일부가 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에 겹쳐져 있다. 즉, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)와 제1 더미 패턴 DP1의 대향부 DA1이 소정 간격 G를 두고 대향하고 배치되어 있다. 이 때, 대향부 DA1에 포함되는 돌각부 C의 정점 T가 단부(55E)와 실질적으로 절연층(100)의 막 두께에 상당하는 소정 간격 G를 두고 대향한다.

제2 더미 패턴 DP2의 접속 패드 CP1의 대향부 DA2는, 삼각 형상의 돌각부 C를 갖고, 게다가 돌각부 C의 정점 T를 포함하는 일부가 접속 패드 CP1의 단부 CPE에 겹쳐져 있다. 즉, 접속 패드 CP1의 단부 CPE와 제2 더미 패턴 DP2의 대향부 DA2가 소정 간격 G를 두고 대향하고 배치되어 있다. 이 때, 대향부 DA2에 포함되는 돌각부 C의 정점 T가 단부 CPE와 실질적으로 절연층(100)의 막 두께에 상당하는 소정 간격 G를 두고 대향한다.

이러한 구성에 의해, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에 집중한 전하를 제1 더미 패턴 DP1의 방전, 또한 이것에 나란히 배열된 다른 더미 패턴의 방전, 또한 더미군 DG의 제2 더미 패턴 DP2와 근접하여 배치된 접속 패드 CP1의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이 때, 전계를 집중하기 쉬운 형상의 더미 패턴의 정점 T가 단부(55E)와 최단 거리에서 대향 배치되기 때문에, 정점 T 부근에서 방전을 유도하기 쉽게 된다. 이에 의해, 검사용 제어 배선(55)의 단부 부근에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

<Embodiment3> 도전층 - 커먼 배선

전술한 표시 장치는, 유효 표시부(6)에서 복수의 표시 화소 PX에 공통된 전위를 공급하는 커먼 배선 COM을 구비하고 있다. 이하에, 전술한 도전층(90)이, 커먼 배선 COM인 경우에 대해 설명한다. 예를 들면, 도 23 및 도 24에 도시한 바와 같이 커먼 배선 COM은, 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되 어 있다. 도 23에 도시한 예에서는, 커먼 배선 COM은, 분기부 COMB를 갖고, 이 분기부 COMB가 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하고 있다. 또한, 도 24에 도시한 예에서는, 커먼 배선 COM의 종단부 CE가 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하고 있다.

이 커먼 배선 COM은, 검사용 배선(80)에 집중한 전하의 방전을 유도하는 것으로, 만약 방전이 발생하였다고 해도 완성된 액정 표시 패널에서 아무런 영향을 미치지 않는 도전층이다. 즉, 커먼 배선 COM은, 플렉시블 배선 기판 FPC나 구동 IC 칩 등을 접속하여 완성된 액정 표시 패널에서, 대향 전극(9)에 대하여 전체 표시 화소 PX에 공통된 전위를 공급하기 위한 배선이다. 이 때문에, 방전의 결과로 커먼 배선 COM에 쇼트나 단선이 발생하는 것은 바람직하지 않지만, 쇼트나 단선을 발생시키지 않고 검사용 배선(80)의 전하를 밀어낼 정도의 소규모의 방전으로 억제하는 것이 가능하면, 커먼 배선 COM을 방전 유도하기 때문에 이용할 수 있다.

커먼 배선 COM과 검사용 배선(80) 사이의 소정의 간격 G는, 방전을 유도 가능한 거리로서, 가능한 한 작은 것이 바람직하지만, 양자가 쇼트되면(간격을 제로로 하면) 저항이 지나치게 작아져, 정전 파괴의 에너지를 소비할 수 없기 때문에, 양자가 전기적으로 절연 상태로 되는 거리인 것이 바람직하다.

이러한 구성에 의해, 검사용 배선(80) 상에서 축적되어 있었던 전하를 커먼 배선 COM의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 검사용 배선(80)에 인접하는 다른 도전층 사이에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

(Example 6)

이 제6 실시예에서는, 검사용 배선(80)으로서 기능하는 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에서의 방전을, 도전층(90)으로서 기능하는 커먼 배선 COM에 의해 유도하는 구성예에 대하여 설명한다. 도 25a 내지 도 25c에 도시한 바와 같이 어레이 기판(3)은, 스위치 소자(63)의 게이트 전극(63G)과 일체적인 검사용 제어 배선(55)을 구비하고 있다. 또한, 어레이 기판(3)은, 대향 전극에 대하여 전체 표시 화소 PX에 공통된 전위를 공급하기 위한 커먼 배선 COM을 구비하고 있다.

도 25b 및 도 25c에 도시한 바와 같이 커먼 배선 COM은, 절연층(100)의 상층에 배치되어 있다. 검사용 제어 배선(55)은, 절연층(100)의 하층에 배치되어 있다. 즉, 커먼 배선 COM은, 검사용 제어 배선(55)과는 상이한 층에 배치되어 있고, 더구나 검사용 제어 배선(55)과 소정의 간격 G를 두고 대향하도록 배치되어 있다. 여기서는, 특히 커먼 배선 COM은, 절연층(100)을 개재하여 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)와 그 적어도 일부(대향부 CA)가 겹쳐지도록 배치되어 있다.

검사용 제어 배선(55)의 커먼 배선 COM의 대향부, 즉 단부(55E)는, 커먼 배선 COM보다 폭이 넓은 사각 형상으로 형성되어 있다. 커먼 배선 COM의 검사용 제 어 배선(55)의 대향부 CA는, 방전 유도부로서 기능한다. 이 대향부 CA는, 복수의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖고, 게다가 돌각부 C의 각 정점 T를 포함하는 일부가 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에 겹쳐져 있다. 즉, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)와 커먼 배선 COM의 대향부 CA가 소정 간격 G를 두고 대향하여 배치되어 있다. 이 때, 대향부 CA에 포함되는 돌각부 C의 정점 T가 단부(55E)와 실질적으로 절연층(100)의 막 두께에 상당하는 소정 간격 G를 두고 대향한다.

이러한 구성에 의해, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에 집중한 전하를 커먼 배선 COM의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이 때, 전계를 집중되기 쉬운 형상의 커먼 배선 COM의 정점 T가 단부(55E)와 최단 거리에서 대향 배치되기 때문에, 정점 T 부근에서 방전을 유도하기 쉽게 된다. 이에 의해, 검사용 제어 배선(55)의 단부 부근에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

<Embodiment4> 도전층 - 공통 신호선

전술한 표시 장치용 마더 기판은, 셀 영역 밖에서 각 셀 영역 내에 공통된 신호를 공급하기 위한 공통 신호선 CSL을 구비하고 있다. 이하에, 전술한 도전층(90)이, 공통 신호선 CSL인 경우에 대해 설명한다. 이 경우, 검사용 배선(80)은, 각 셀 영역으로부터 셀 영역 밖으로 인출되어 있다. 예를 들면, 도 26 및 도 27에 도시한 바와 같이 공통 신호선 CSL은, 셀 영역 밖에서, 각 셀 영역 C로부터 인출된 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되어 있다. 도 26에 도시한 예에서는, 공통 신호선 CSL은, 분기부 CSLB를 갖고, 이 분기부 CSLB가 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하고 있다. 또한, 도 27에 도시한 예에서는, 공통 신호선 CSL의 종단부 CSLE가 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하고 있다.

이 공통 신호선 CSL은, 검사용 배선(80)에 집중한 전하의 방전을 유도하는 것으로, 만약 방전이 발생하였다고 해도(혹은, 방전의 결과로 쇼트나 단선이 발생하였다고 해도) 완성된 액정 표시 패널에서 아무런 영향을 미치지 않는 도전층이다. 즉, 공통 신호선 CSL은, 마더 기판으로부터 각 셀 영역으로 분단되었을 때, 액정 표시 패널(1)에는 남지 않는다. 이러한 도전층을 공통 신호선 CSL로서 이용함으로써, 비록 검사용 배선(80)과 쇼트하였다고 해도 완성된 액정 표시 패널에서, 표시 품위에 아무런 영향을 미치지 않는다.

공통 신호선 CSL과 검사용 배선(80) 사이의 소정의 간격 G는, 방전을 유도 가능한 거리로서, 가능한 한 작은 것이 바람직하지만, 양자가 쇼트되면(간격을 제로로 하면) 저항이 지나치게 작아져, 정전 파괴의 에너지를 소비할 수 없기 때문에, 양자가 전기적으로 절연 상태로 되는 거리인 것이 바람직하다.

이러한 구성에 의해, 검사용 배선(80) 상에서 축적되어 있었던 전하를 공통 신호선 CSL의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 검사용 배선(80)에 인접하는 다른 도전층 사이에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

따라서, 플렉시블 배선 기판 FPC나 구동 IC 칩(11)을 실장하기 전, 특히 마더 기판으로부터 하나의 액정 표시 패널로 분단하기 전의 유효 표시부(6)에서의 품 질에 관한 검사를 행하는 검사 단계에서, 검사부(40)를 이용하여 안정적으로 각종 배선의 배선 불량을 검사하는 것이 가능하게 됨과 함께, 완성된 액정 표시 패널에서의 결함의 발생을 방지할 수 있어, 제조 수율의 저하를 억제하는 것이 가능하게 된다.

(Example 7)

이 제7 실시예에서는, 검사용 배선(80)으로서 기능하는 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에서의 방전을, 도전층(90)으로서 기능하는 공통 신호선 CSL에 의해 유도하는 구성예에 대하여 설명한다. 도 28a 내지 도 28c에 도시한 바와 같이 어레이 기판용의 제1 마더 기판 M1은, 각 셀 영역 C1, C2, …에서, 검사부(40)를 구비하고 있다. 검사부(40)는, 스위치 소자(63)의 게이트 전극(63G)과 일체적인 검사용 제어 배선(55)을 구비하고 있다. 이 검사용 제어 배선(55)은, 셀 영역 C 내의 패드부 PP에서의 접속 패드 PD를 경유하여 셀 영역 C 밖으로 인출되어 있다. 한편, 제1 마더 기판 M1은, 셀 영역 C의 밖에서, 각 셀 영역 C1, C2, …에 공통된 신호를 공급하기 위한 공통 신호선 CSL을 구비하고 있다.

이러한 구성에서, 셀 영역 밖에 배치된 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)는, 공통 신호선 CSL과 소정의 간격을 두고 대향하고 있다. 도 28a 내지 도 28c 에 도시한 예에서는, 단부(55E)는, 공통 신호선 CSL의 분기부 CSLB와 대향하고 있다. 즉, 도 28b 및 도 28c에 도시한 바와 같이 분기부 CSLB는, 절연층(100)의 상층에 배치되어 있다. 검사용 제어 배선(55)은, 절연층(100)의 하층에 배치되어 있다. 즉, 분기부 CSLB는, 검사용 제어 배선(55)과는 상이한 층에 배치되어 있고, 더구나 검사용 제어 배선(55)과 소정의 간격 G를 두고 대향하도록 배치되어 있다. 여기서는, 특히 분기부 CSLB는, 절연층(100)을 개재하여 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)와 그 적어도 일부(대향부 CSLA)가 겹쳐지도록 배치되어 있다.

검사용 제어 배선(55)의 분기부 CSLB의 대향부, 즉 단부(55E)는 분기부 CSLB보다 폭이 넓은 사각 형상으로 형성되어 있다. 분기부 CSLB의 검사용 제어 배선(55)의 대향부 CSLA는, 방전 유도부로서 기능한다. 이 대향부 CSLA는, 복수의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖고, 게다가 돌각부 C의 각 정점 T를 포함하는 일부가 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에 겹쳐져 있다. 즉, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)와 분기부 CSLB의 대향부 CSLA가 소정 간격 G를 두고 대향하고 배치되어 있다. 이 때, 대향부 CSLA에 포함되는 돌각부 C의 정점 T가 단부(55E)와 실질적으로 절연층(100)의 막 두께에 상당하는 소정 간격 G를 두고 대향한다.

이러한 구성에 의해, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에 집중된 전하를 분기부 CSLB의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이 때, 전계를 집중하기 쉬운 형상의 분기부 CSLB의 정점 T가 단부(55E)와 최단 거리에서 대향 배치되기 때문에, 정점 T 부근에서 방전을 유도하기 쉽게 된다. 이에 의해, 검사용 제어 배선(55)의 단부 부근에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

전술한 실시예에서는, 검사용 제어 배선의 단부와 공통 신호선을 대향 배치하고, 검사용 제어 배선에서의 방전을 유도하는 구성예에 대하여 설명하였지만, 공통 신호선과 대향 배치하는 단부는, 검사용 배선의 중도부로부터 분기한 분기부 등 배선에서의 어느 한 부위이어도 된다.

<Embodiment5> 도전층 - 접속부

전술한 표시 장치는, 커먼 배선 COM과 대향 전극(9)을 접속하는 접속부 CN을 구비하고 있다. 이하, 전술한 도전층(90)이, 접속부 CN인 경우에 대해 설명한다.

즉, 도 29a 및 도 29b에 도시한 바와 같이 어레이 기판(3)은, 외주부(10)에서 커먼 전위를 공급하기 위한 커먼 배선 COM을 구비하고 있다. 이 커먼 배선 COM은, 그 일부, 예를 들면 커먼 배선 COM의 단부에 형성된 전극부 COME가 절연층(100)으로부터 노출되어 있다. 급전 패드 CP는, 커먼 배선 COM의 노출 부분(예를 들면 전극부 COME)에 접속되어 있다. 접속 부재 CX는, 급전 패드 CP 상에 배치된 페이스트 형상의 도전성 부재로서, 어레이 기판(3)과 대향 기판(4)을 접합하였을 때에 대향 전극(9)과 접촉함으로써 급전 패드 CP와 대향 전극(9)을 접속한다.

즉, 도 29a 및 도 29b에 도시한 예에서는, 전극부 COME, 급전 패드 CP, 및 접속 부재 CX는, 접속부 CN을 구성하고 있다. 이 접속부 CN은, 커먼 배선 COM과 대향 전극(9) 사이에 배치되고, 커먼 배선 COM으로부터 대향 전극(9)에 커먼 전위를 공급한다.

따라서, 예를 들면, 도 30 및 도 31에 도시한 바와 같이 접속부 CN은, 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되어 있다. 도 30에 도시한 예에서는, 접속부 CN을 구성하는 급전 패드 CP는, 커먼 배선 COM의 전극부 COME보다 큰 사이즈를 갖고, 이 급전 패드 CP가 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하고 있다. 또한, 도 31에 도시한 예에서는, 접속부 CN을 구성하는 커먼 배선 COM 의 전극부 COME는, 급전 패드 CP보다 큰 사이즈를 갖고, 이 전극부 COME가 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하고 있다.

이 접속부 CN은, 검사용 배선(80)에 집중한 전하의 방전을 유도하는 것으로, 만약 방전이 발생하였다고 해도 완성된 액정 표시 패널에서 아무런 영향을 미치지 않는 도전층이다. 즉, 접속부 CN은, 플렉시블 배선 기판 FPC나 구동 IC 칩 등을 접속하여 완성된 액정 표시 패널에서, 대향 전극(9)에 대하여 전체 표시 화소 PX에 공통된 전위를 공급하기 위한 도전 부재이다. 이 때문에, 방전의 결과로 접속부 CN에 쇼트나 단선이 발생하는 것은 바람직하지 않지만, 쇼트나 단선을 발생시키지 않고 검사용 배선(80)의 전하를 밀어낼 정도의 소규모의 방전으로 억제하는 것이 가능하면, 접속부 CN을 방전 유도하기 때문에 이용할 수 있다. 결국, 접속부 CN은, 전극부 COME 또는 급전 패드 CP 중 어느 것이어도 된다.

접속부 CN과 검사용 배선(80) 사이의 소정의 간격 G는, 방전을 유도 가능한 거리로서, 가능한 한 작은 것이 바람직하지만, 양자가 쇼트되면(간격을 제로로 하면) 저항이 지나치게 작아져, 정전 파괴의 에너지를 소비할 수 없기 때문에, 양자가 전기적으로 절연 상태로 되는 거리인 것이 바람직하다.

이러한 구성에 의해, 검사용 배선(80) 상에서 축적되어 있었던 전하를 접속부 CN의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 검사용 배선(80)에 인접하는 다른 도전층 사이에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

따라서, 플렉시블 배선 기판 FPC나 구동 IC 칩(11)을 실장하기 전의 유효 표 시부(6)에서의 품질에 관한 검사를 행하는 검사 단계에서, 검사부(40)를 이용하여 안정적으로 각종 배선의 배선 불량을 검사하는 것이 가능하게 됨과 함께, 완성된 액정 표시 패널에서의 결함의 발생을 방지할 수 있어, 제조 수율의 저하를 억제하는 것이 가능하게 된다.

(Example 8)

이 제8 실시예에서는, 검사용 배선(80)으로서 기능하는 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에서의 방전을, 도전층(90)으로서 기능하는 접속부 CN에 의해 유도하는 구성예에 대하여 설명한다. 도 32a 내지 도 32c에 도시한 바와 같이 어레이 기판(3)은, 연장부(10A)에서, 검사부(40)를 구비하고 있다. 검사부(40)는, 스위치 소자(63)의 게이트 전극(63G)과 일체적인 검사용 제어 배선(55)을 구비하고 있다. 또한, 어레이 기판(3)은, 대향 전극에 대하여 전체 표시 화소 PX에 공통된 전위를 공급하기 위한 커먼 배선 COM을 구비하고 있다. 이 커먼 배선 COM은, 대향 전극과 대향하는 위치에서 접속부 CN에 접속되어 있다.

이러한 구성에서, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)는, 접속부 CN과 소정의 간격을 두고 대향하고 있다.

즉, 도 32b 및 도 32c에 도시한 바와 같이 커먼 배선 COM은, 어레이 기판(3)의 외주부(10)에 배치되어 있다. 전극부 COME는, 커먼 배선 COM으로부터 이격되어 독립된 섬 형상으로 형성되어 있다. 이들 커먼 배선 COM 및 전극부 COME는, 절연층(100)의 하층에 배치되고, 각각의 일부가 절연층(100)으로부터 노출되어 있다. 급전 패드 CP는, 절연층(100)의 상층에 배치되어 있다. 이 급전 패드 CP는, 절연 층(100)을 관통하는 컨택트홀을 통하여 커먼 배선 COM과 전극부 COME를 전기적으로 접속하고 있다. 또한, 급전 패드 CP는, 실질적으로 전극부 COME보다 작은 사이즈로 형성되어 있다.

검사용 제어 배선(55)은, 절연층(100)의 상층에 배치되어 있다. 즉, 전극부 COME는, 검사용 제어 배선(55)과는 상이한 층에 배치되어 있고, 더구나 검사용 제어 배선(55)과 소정의 간격 G를 두고 대향하도록 배치되어 있다. 여기서는, 특히 전극부 COME는, 절연층(100)을 개재하여 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)와 그 적어도 일부(대향부 CNA)가 겹쳐지도록 배치되어 있다.

검사용 제어 배선(55)의 전극부 COME의 대향부, 즉 단부(55E)는, 전극부 COME보다 폭이 넓은 사각 형상으로 형성되어 있다. 전극부 COME의 검사용 제어 배선(55)의 대향부 CNA는, 방전 유도부로서 기능한다. 이 대향부 CNA는, 복수의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖고, 게다가 돌각부 C의 각 정점 T를 포함하는 일부가 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에 겹쳐져 있다. 즉, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)와 전극부 COME의 대향부 CNA가 소정 간격 G를 두고 대향하여 배치되어 있다. 이 때, 대향부 CNA에 포함되는 돌각부 C의 정점 T가 단부(55E)와 실질적으로 절연층(100)의 막 두께에 상당하는 소정 간격 G를 두고 대향한다.

이러한 구성에 의해, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에 집중한 전하를 전극부 COME의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이 때, 전계를 집중되기 쉬운 형상의 전극부 COME의 정점 T가 단부(55E)와 최단 거리에서 대향 배치되기 때문에, 정점 T 부근에서 방전을 유도하기 쉽게 된다. 이에 의해, 검사용 제어 배선 (55)의 단부 부근에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

<Embodiment6> 도전층 - 얼라인먼트 마크

전술한 바와 같이 표시 장치는, 유효 표시부(6) 및 검사용 배선(80)을 구비한 표시 패널에 부품을 실장할 때에 표시 패널과 부품의 위치 정렬에 필요한 얼라인먼트 마크 AMP를 구비하고 있다. 또한, 전술한 표시 장치용 마더 기판은, 셀 영역 밖에 배치됨과 함께 제조 과정에서 표시 장치용 마더 기판의 위치 정렬에 필요한 얼라인먼트 마크 AMM을 구비하고 있다. 이하에, 전술한 도전층(90)이, 얼라인먼트 마크 AMP 또는 AMM인 경우에 대해 설명한다.

예를 들면, 도 33에 도시한 바와 같이 액정 표시 패널(1)에서는, 얼라인먼트 마크 AMP는, 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 표시 장치용 마더 기판에서는, 제1 마더 기판 M1에서, 도 34에 도시한 바와 같이 얼라인먼트 마크 AMM은, 셀 영역 C의 밖에서, 각 셀 영역 C로부터 인출된 검사용 배선(80)과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되어 있다.

이들 얼라인먼트 마크 AMP 및 AMM은, 검사용 배선(80)에 집중된 전하의 방전을 유도하는 것으로, 만약 방전이 발생하였다고 해도(혹은, 방전의 결과로 쇼트나 단선이 발생하였다고 해도) 완성된 액정 표시 패널에서 아무런 영향을 미치지 않는 도전층이다. 즉, 얼라인먼트 마크 AMP는, 플렉시블 배선 기판 FPC나 구동 IC 칩 등을 접속하여 완성된 액정 표시 패널에서 표시에 기여하는 신호가 입력되지 않는 도전층이다. 또한, 얼라인먼트 마크 AMM은, 표시 장치용 마더 기판으로부터 각 액 정 표시 패널(1)로 분단되었을 때, 액정 표시 패널(1)에는 남지 않는 도전층이다.

이러한 얼라인먼트 마크 AMP 및 AMM을 방전 유도용의 도전층으로서 이용함으로써, 비록 검사용 배선(80)과 쇼트하였다고 해도 완성된 액정 표시 패널에서, 표시 품위에 아무런 영향을 미치지 않는다.

얼라인먼트 마크 AMP 또는 AMM과 검사용 배선(80) 사이의 소정의 간격 G는, 방전을 유도 가능한 거리로서, 가능한 한 작은 것이 바람직하지만, 양자가 쇼트되면(간격을 제로로 하면) 저항이 지나치게 작아져, 정전 파괴의 에너지를 소비할 수 없기 때문에, 양자가 전기적으로 절연 상태로 되는 거리인 것이 바람직하다.

이러한 구성에 의해, 검사용 배선(80) 상에서 축적되어 있었던 전하를 얼라인먼트 마크 AMP 또는 AMM의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 검사용 배선(80)에 인접하는 다른 도전층 사이에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

따라서, 플렉시블 배선 기판 FPC나 구동 IC 칩(11)을 실장하기 전이나, 마더 기판으로부터 하나의 액정 표시 패널로 분단하기 전의 유효 표시부(6)에서의 품질에 관한 검사를 행하는 검사 단계에서, 검사부(40)를 이용하여 안정적으로 각종 배선의 배선 불량을 검사하는 것이 가능하게 됨과 함께, 완성된 액정 표시 패널에서의 결함의 발생을 방지할 수 있어, 제조 수율의 저하를 억제하는 것이 가능하게 된다.

(Example 9)

이 제9 실시예에서는, 검사용 배선(80)으로서 기능하는 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에서의 방전을, 도전층(90)으로서 기능하는 얼라인먼트 마크 AMP에 의해 유도하는 구성예에 대하여 설명한다. 도 35a 내지 도 35c에 도시한 바와 같이 어레이 기판(3)은, 연장부(10A)에서, 검사부(40) 및 얼라인먼트 마크 AMP를 구비하고 있다. 검사부(40)는, 스위치 소자(63)의 게이트 전극(63G)과 일체적인 검사용 제어 배선(55)을 구비하고 있다. 이러한 구성에서, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)는, 얼라인먼트 마크 AMP와 소정의 간격을 두고 대향하고 있다.

즉, 도 35b 및 도 35c에 도시한 바와 같이 얼라인먼트 마크 AMP는, 절연층(100)의 상층에 배치되어 있다. 검사용 제어 배선(55)은, 절연층(100)의 하층에 배치되어 있다. 즉, 얼라인먼트 마크 AMP는, 검사용 제어 배선(55)과는 상이한 층에 배치되어 있고, 더구나 검사용 제어 배선(55)과 소정의 간격 G를 두고 대향하도록 배치되어 있다. 여기서는, 특히 얼라인먼트 마크 AMP는, 절연층(100)을 개재하여 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)와 그 적어도 일부(대향부 MA)가 겹쳐지도록 배치되어 있다.

얼라인먼트 마크 AMP의 검사용 제어 배선(55)의 대향부 MA는, 검사용 제어 배선(55)보다 폭이 넓은 사각 형상으로 형성되어 있다. 검사용 제어 배선(55)의 얼라인먼트 마크 AMP의 대향부, 즉 단부(55E)는, 방전 유도부로서 기능한다. 이 단부(55E)는, 복수의 삼각 형상의 돌각부 C를 갖고, 게다가 돌각부 C의 각 정점 T를 포함하는 일부가 얼라인먼트 마크 AMP의 대향부 MA에 겹쳐져 있다. 즉, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)와 얼라인먼트 마크 AMP의 대향부 MA가 소정 간격 G를 두고 대향하여 배치되어 있다. 이 때, 단부(55E)에 포함되는 돌각부 C의 정점 T가 대향부 MA와 실질적으로 절연층(100)의 막 두께에 상당하는 소정 간격 G를 두고 대향한다.

이러한 구성에 의해, 검사용 제어 배선(55)의 단부(55E)에 집중한 전하를 얼라인먼트 마크 AMP의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이 때, 전계를 집중하기 쉬운 형상의 단부(55E)의 정점 T가 얼라인먼트 마크 AMP와 최단 거리에서 대향 배치되기 때문에, 정점 T 부근에서 방전을 유도하기 쉽게 된다. 이에 의해, 검사용 제어 배선(55)의 단부 부근에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

전술한 실시예에서는, 검사용 제어 배선의 단부와 얼라인먼트 마크를 대향 배치하고, 검사용 제어 배선에서의 방전을 유도하는 구성예에 대하여 설명하였지만, 얼라인먼트 마크와 대향 배치하는 단부는, 검사용 배선의 중도부로부터 분기한 분기부 등 배선에서의 어느 한 부위이어도 된다.

<Embodiment7> 도전층 - 다른 검사용 배선

전술한 표시 장치에서는, 도 36 내지 도 38에 도시한 바와 같이 복수의 검사용 배선 중, 유효 표시부(6)를 검사할 때에, 제1 검사 신호가 공급되는 제1 검사용 배선(81W)를 갖는 제1 검사 배선부(81)과, 제1 검사 신호와는 상이한 제2 검사 신호가 공급되는 제2 검사용 배선(82W) 및 제2 검사용 배선(82W)에 제2 검사 신호를 입력하기 위한 입력 패드(82b)를 갖는 제2 검사 배선부(82)를 구비하고 있다. 이하에, 전술한 도전층(90)이, 제1 검사 배선부(81)인 경우에 대해 설명한다. 즉, 이 제2 검사 배선부(82)는, 제2 검사용 배선(82W)의 단부(82E), 입력 패드(82b), 및 제2 검사용 배선(82W)의 중도부(82C) 중 적어도 하나가 제2 검사 배선부(82)의 다른 부위보다도 근접한 소정의 간격을 두고 제1 검사 배선부(81)와 대향하도록 배치되어 있다.

도 36에 도시한 예에서는, 제2 검사 배선부(82)는, 제2 검사용 배선(82W)의 단부(82E)가 제1 검사 배선부(81)에 근접하도록 배치되어 있다. 도 37에 도시한 예에서는, 제2 검사 배선부(82)는, 입력 패드(82b)가 제1 검사 배선부(81)에 근접하도록 배치되어 있다. 도 38에 도시한 예에서는, 제2 검사 배선부(82)는, 제2 검사용 배선(82W)의 중도부(82C)(여기서는, 제2 검사용 배선(82W)에서 분기한 분기부)가 제1 검사 배선부(81)에 근접하도록 배치되어 있다. 또한, 제2 검사 배선부(82)가 제1 검사 배선부(81)와 근접하여 대향하도록 배치되어 있다고 하는 것은, 제2 검사 배선부(82)의 일부가 제1 검사 배선부(81)의 일부, 즉 제1 검사 배선부(81)가 갖는 제1 검사용 배선(81W)의 단부(81E) 및 그 중도부(81C), 및 제1 검사용 배선(81W)에 검사 신호를 입력하기 위한 입력 패드(81B) 중 어느 하나에 근접하여 있는 상태에 상당한다.

즉, 도 36에서는, 점선으로 둘러싼 바와 같이, 제2 검사용 배선(82W)의 단부(82E)가 제1 검사용 배선(81W)의 단부(81E)에 근접한 상태를 도시하고 있지만, 제2 검사 배선부(82)는, 제2 검사용 배선(82W)의 단부(82E)가 입력 패드(81B)나 제1 검사용 배선(81W)의 중도부(81C)에 근접하도록 배치되어도 된다.

마찬가지로, 도 37에서는, 점선으로 둘러싼 바와 같이, 제2 검사 배선부(82) 의 입력 패드(82b)가 제1 검사 배선부(81)의 입력 패드(81B)에 근접한 상태를 도시하고 있지만, 제2 검사 배선부(82)는, 입력 패드(82b)가 제1 검사용 배선(81W)의 단부(81E)나 제1 검사용 배선(81W)의 중도부(81C)에 근접하도록 배치되어도 된다.

마찬가지로, 도 38에서는, 점선으로 둘러싼 바와 같이, 제2 검사용 배선(82W)의 중도부(82C)가 제1 검사용 배선(81W)의 중도부(81C)에 근접한 상태를 도시하고 있지만, 제2 검사 배선부(82)는, 중도부(82C)가 제1 검사용 배선(81W)의 단부(81E)나 입력 패드(81B)에 근접하도록 배치되어도 된다.

이들 검사용 배선의 구조는, 검사용 배선에 집중한 전하의 방전을 유도하는 것으로, 만약 검사용 배선끼리 방전이 발생하였다고 해도 완성된 액정 표시 패널에서 아무런 영향을 미치지 않는 검사용 배선이 선택된다. 즉, 여기서 선택되는 검사용 배선은, 검사 단계, 혹은 플렉시블 배선 기판 FPC나 구동 IC 칩 등을 접속하여 완성된 액정 표시 패널에서, 서로 다른 신호를 공급하기 위한 도전 부재이다. 이 때문에, 방전의 결과로 검사용 배선끼리의 쇼트나 검사용 배선의 단선이 발생하는 것은 바람직하지 않지만, 쇼트나 단선을 발생시키지 않고 한 쪽의 검사용 배선의 전하를 밀어낼 정도의 소규모의 방전으로 억제하는 것이 가능하면, 다른 쪽의 검사용 배선을 방전 유도하기 위해 이용할 수 있다.

일례로서는, 전하가 축적되기 쉬운 검사용 제어 배선(55)이나 커먼 배선 COM 등의 검사용 배선을 제2 검사 배선부(82)가 갖는 것으로 하여, 방전을 유도하기 위한 신호선 검사용 구동 배선(51), 제1 검사용 구동 배선(52), 제2 검사용 구동 배선(53) 등의 검사용 배선을 제1 검사 배선부(81)가 갖는 경우가 상당한다. 또한, 제2 검사 배선부(82)가 검사용 제어 배선(55)을 갖는 경우에는, 제1 검사 배선부(81)가 커먼 배선 COM을 갖고 있어도 된다.

제1 검사 배선부(81)과 제2 검사 배선부(82) 사이의 소정의 간격 G는, 방전을 유도 가능한 거리로서, 가능한 한 작은 것이 바람직하지만, 양자가 쇼트되면(간격을 제로로 하면) 저항이 작아져, 정전 파괴의 에너지를 소비할 수 없기 때문에, 양자가 전기적으로 절연 상태로 되는 거리인 것이 바람직하다.

이러한 구성에 의해, 제2 검사 배선부(82) 상에서 축적되어 있었던 전하를 제1 검사 배선부(81)의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 제2 검사 배선부(82)에 인접하는 다른 도전층 사이에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

(Example 1O)

이 제10 실시예에서는, 제2 검사용 배선(82W)으로서 기능하는 검사용 제어 배선(55)에서의 방전을, 도전층(90)으로서 기능하는 제1 검사 배선부(81)에 의해 유도하는 구성예에 대하여 설명한다. 도 39a 내지 도 39c에 도시한 바와 같이 어 레이 기판(3)은, 외주부(10)에서, 제1 검사 배선부(81) 및 제2 검사 배선부(82)를 구비하고 있다. 제1 검사 배선부(81)은, 커먼 배선(제1 검사용 배선) C0M 및 이 커먼 배선 COM에 제1 검사 신호(커먼 전위의 신호)를 입력하기 위한 입력 패드 COMP를 구비하고 있다. 제2 검사 배선부(82)는, 검사부(40)에서 스위치 소자(63)의 게이트 전극(63G)과 일체적인 검사용 제어 배선(제2 검사용 배선)(55) 및 이 검사용 제어 배선(55)에 제2 검사 신호를 입력하기 위한 입력 패드(75)를 구비하고 있다. 커먼 배선 COM은, 패드부 PP의 접속 패드 CP1에 접속되어 있다.

이러한 구성에서, 제2 검사 배선부(82)는, 그 입력 패드(75)가 제2 검사 배선부(82)의 다른 부위보다도 근접한 소정의 간격을 두고 제1 검사 배선부(81)과 대향하도록 배치되어 있다.

즉, 도 39b 및 도 39c에 도시한 바와 같이 검사용 제어 배선(55)은, 절연층(100)의 하층에 배치되어 있다. 입력 패드(75)는, 절연층(100)의 상층에 배치되어 있고, 절연층(100)을 관통하는 컨택트 홀을 통하여 검사용 제어 배선(55)과 전기적으로 접속되어 있다. 커먼 배선 COM은, 절연층(100)의 하층에 배치되어 있다. 입력 패드 COMP는, 절연층(100)의 상층에 배치되어 있고, 절연층(100)을 관통하는 컨택트홀을 통하여 커먼 배선 COM과 전기적으로 접속되어 있다.

제2 검사 배선부(82)에서의 입력 패드(75)의 제1 검사 배선부(81)의 대향부, 즉 입력 패드 COMP의 대향부(82A)는, 사각 형상이다. 제1 검사 배선부(81)에서의 입력 패드 COMP의 제2 검사 배선부(82)의 대향부, 즉 입력 패드(75)의 대향부(81A)는, 방전 유도부로서 기능한다. 이 대향부(81A)는, 복수의 삼각 형상의 돌각부 C 를 갖고, 게다가 돌각부 C의 각 정점 T가 입력 패드(75)에 근접하여 배치되어 있다.

즉, 이 제10 실시예에서는, 제2 검사 배선부(82)의 입력 패드(75)는, 제1 검사 배선부(81)의 입력 패드 COMP와 동일층에 배치되어 있고, 더구나 입력 패드 COMP와 소정의 간격 G를 두고 대향하도록 배치되어 있다.

이러한 구성에 의해, 제2 검사 배선부(82)에 집중한 전하를 제1 검사 배선부(81)의 방전에 의해 밀어내는 것이 가능하게 된다. 이 때, 전계를 집중하기 쉬운 형상의 제1 검사 배선부(81)(여기서는 입력 패드 COMP)의 정점 T가 제2 검사 배선부(81)(여기서는 입력 패드75)와 최단 거리에서 대향 배치되기 때문에, 정점 T 부근에서 방전을 유도하기 쉽게 된다. 이에 의해, 검사용 제어 배선(55)에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 원하지 않는 쇼트나 단선의 발생을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다.

이상 설명한 바와 같이, 이 실시 형태에 따른 표시 장치에 따르면, 검사부를 구비한 어레이 기판에서, 검사용 배선에서, 전하가 집중되기 쉬운 부위에 대향하여 도전층을 배치함으로써, 방전을 유도하는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 검사용 배선 상에서 방전 규모를 확대하는 전하의 집중을 방지할 수 있다. 이 때문에, 검사용 배선에 근접한 다른 도전층 사이에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 배선 불량의 발생을 억제하는 것이 가능하게 된다.

또한, 이 실시 형태에 따른 표시 장치용 마더 기판에 의하면, 각 셀 영역 내 의 검사부에 구비된 검사용 배선을 셀 영역 밖으로 인출하고, 이 검사용 배선에서, 전하가 집중되기 쉬운 부위에 대향하여 공통 신호선이나 얼라인먼트 마크 등의 도전층을 배치함으로써, 방전을 유도하는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 검사용 배선 상에서 방전 규모를 확대하는 전하의 집중을 방지할 수 있다. 이 때문에, 검사용 배선에 근접한 다른 도전층 사이에서의 원하지 않는 방전, 및 이 방전에 기인한 배선 불량의 발생을 억제하는 것이 가능하게 된다.

이 때문에, 구동 IC 칩이나 플렉시블 배선 기판 등을 실장하기 전, 혹은 마더 기판으로부터 복수의 액정 표시 패널로 분단하기 전의 검사 단계에서, 검사부를 이용하여 유효 표시부의 품질에 관한 검사를 안정적으로 행하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 배선 불량의 액정 표시 패널의 후공정에의 유출을 미연에 방지하는 것이 가능하게 된다. 또한, 완성된 액정 표시 패널에서의 결함의 발생을 방지하는 것이 가능하게 된다. 이에 의해, 제조 수율의 저하를 억제하는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 발명은, 상기 실시 형태 그 대로 한정되는 것은 아니고, 그 실시의 단계에서는 그 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성 요소를 변형하여 구체화할 수 있다. 또한, 상기 실시 형태에 개시되어 있는 복수의 구성 요소가 적당한 조합에 의해 다양한 발명을 형성할 수 있다. 예를 들면, 실시 형태에 도시되는 전체 구성 요소로부터 몇개의 구성 요소를 삭제하여도 된다. 또한, 다른 실시 형태에 걸친 구성 요소를 적절하게 조합하여도 된다.

예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 주사 신호를 액정 표시 패널의 양측으로 부터 급전하는 구성의 액정 표시 패널에 대하여 진술하여 왔지만, 제1 구동부와 제2 구동부에서 각각 주사 신호를 급전하는 배선수가 상이하여도 되고, 제1 구동부 혹은 제2 구동부를 갖지 않고 단일의 주사선 구동부에 의해 편측으로부터만 각 주사선에 주사 신호를 급전하는 레이아웃이어도 되고, 반대로 주사선 구동부가 제3 구동부 및 제4 구동부를 더 갖는 구성이어도 된다.

또한, 본 발명의 표시 장치는, 전술한 액정 표시 장치에 한정되는 것은 아니며, 자기 발광 소자를 표시 소자로 하는 표시 패널을 구비한 유기 일렉트로루미네센스 표시 장치 등 다른 표시 장치이어도 된다.

Claims

삭제
복수의 표시 화소에 의하여 구성된 유효 표시부와,

상기 유효 표시부를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선과,

상기 검사용 배선과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되고, 상기 검사용 배선에 축적된 전하의 방전을 유도하는 방전 유도부를 갖는 도전층

을 구비하며, 상기 도전층은 상기 검사용 배선과 동일층에 배치된 것을 특징으로 하는 표시 장치.
삭제
복수의 표시 화소에 의하여 구성된 유효 표시부와,

상기 유효 표시부를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선과,

상기 검사용 배선과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되고, 상기 검사용 배선에 축적된 전하의 방전을 유도하는 방전 유도부를 갖는 도전층

을 구비하며, 상기 도전층은 상기 검사용 배선과는 절연층을 개재하여 상이한 층에 배치되고, 또한 상기 절연층을 개재하여 상기 검사용 배선과 적어도 일부가 겹쳐지도록 배치된 것을 특징으로 하는 표시 장치.
삭제
삭제
삭제
복수의 표시 화소에 의하여 구성된 유효 표시부와,

상기 유효 표시부를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선과,

상기 검사용 배선과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되고, 상기 검사용 배선에 축적된 전하의 방전을 유도하는 방전 유도부를 갖는 도전층

을 구비하며, 상기 방전 유도부는, 상기 검사용 배선의 단부와 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치된 것을 특징으로 하는 표시 장치.
복수의 표시 화소에 의하여 구성된 유효 표시부와,

상기 유효 표시부를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선과,

상기 검사용 배선과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되고, 상기 검사용 배선에 축적된 전하의 방전을 유도하는 방전 유도부를 갖는 도전층과,

상기 유효 표시부에 접속되고, 상기 유효 표시부 밖으로 인출된 배선

을 구비하며,

상기 검사용 배선은, 상기 유효 표시부 밖으로 인출된 상기 배선에 스위치 소자를 통하여 접속됨과 함께 상기 유효 표시부를 검사할 때에 검사용의 구동 신호가 공급되는 검사용 구동 배선과, 상기 유효 표시부를 검사할 때에 상기 스위치 소자의 온·오프를 제어하는 검사용의 제어 신호가 공급되는 검사용 제어 배선을 포함하고,

상기 도전층은, 상기 검사용 제어 배선과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치된 것을 특징으로 하는 표시 장치.
제9항에 있어서,

상기 유효 표시부 밖으로 인출된 상기 배선은, 주사선 및 신호선 중 적어도 한 쪽인 것을 특징으로 하는 표시 장치.
제9항에 있어서,

상기 스위치 소자는, 박막 트랜지스터로서, 그 게이트 전극이 상기 검사용 제어 배선과 접속된 것을 특징으로 하는 표시 장치.
복수의 표시 화소에 의하여 구성된 유효 표시부와,

상기 유효 표시부를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선과,

상기 검사용 배선과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되고, 상기 검사용 배선에 축적된 전하의 방전을 유도하는 방전 유도부를 갖는 도전층

을 구비하며, 상기 도전층은 섬 형상으로 배치된 도전 부재인 것을 특징으로 하는 표시 장치.
복수의 표시 화소에 의하여 구성된 유효 표시부와,

상기 유효 표시부를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선과,

상기 검사용 배선과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되고, 상기 검사용 배선에 축적된 전하의 방전을 유도하는 방전 유도부를 갖는 도전층

을 구비하며, 상기 도전층은 신호 공급 가능한 배선인 것을 특징으로 하는 표시 장치.
삭제
삭제
제4항에 있어서,

상기 검사용 배선은, 구동 IC 칩이 배치되는 영역에 대응하여 배치된 것을 특징으로 하는 표시 장치.
복수의 표시 화소에 의하여 구성된 유효 표시부와,

상기 유효 표시부를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선과,

상기 검사용 배선과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되고, 상기 검사용 배선에 축적된 전하의 방전을 유도하는 방전 유도부를 갖는 도전층과,

상기 유효 표시부에 구동 신호를 공급하는 구동 회로를 갖는 플렉시블 배선 기판 또는 구동 IC 칩을 접속하기 위한 접속 패드를 갖는 패드부

를 구비하며, 상기 도전층은, 상기 접속 패드 또는 상기 접속 패드에 접속된 접속 배선인 것을 특징으로 하는 표시 장치.
복수의 표시 화소에 의하여 구성된 유효 표시부와,

상기 유효 표시부를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선과,

상기 검사용 배선과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되고, 상기 검사용 배선에 축적된 전하의 방전을 유도하는 방전 유도부를 갖는 도전층과,

전기적으로 플로팅한 상태의 더미 패턴

을 구비하며, 상기 도전층은 상기 더미 패턴인 것을 특징으로 하는 표시 장치.
복수의 표시 화소에 의하여 구성된 유효 표시부와,

상기 유효 표시부를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선과,

상기 검사용 배선과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되고, 상기 검사용 배선에 축적된 전하의 방전을 유도하는 방전 유도부를 갖는 도전층과,

상기 유효 표시부에서 복수의 표시 화소에 공통 전위를 공급하는 커먼 배선을 구비하며, 상기 도전층은, 상기 커먼 배선인 것을 특징으로 하는 표시 장치.
제19항에 있어서,

상기 유효 표시부는, 표시 화소마다 화소 전극을 구비한 어레이 기판과 복수의 상기 화소 전극에 대향하는 대향 전극을 구비한 대향 기판과의 사이에 액정층을 유지함으로써 구성된 액정 표시 패널에 구비되고,

상기 커먼 배선과 상기 대향 전극을 접속하는 접속부를 더 구비하고,

상기 도전층은, 상기 접속부인 것을 특징으로 하는 표시 장치.
복수의 표시 화소에 의하여 구성된 유효 표시부와,

상기 유효 표시부를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선과,

상기 검사용 배선과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되고, 상기 검사용 배선에 축적된 전하의 방전을 유도하는 방전 유도부를 갖는 도전층과,

상기 유효 표시부 및 상기 검사용 배선을 구비한 표시 패널에 부품을 실장할 때에 상기 표시 패널과 상기 부품과의 위치 정렬에 필요한 얼라인먼트 마크

를 구비하며, 상기 도전층은 상기 얼라인먼트 마크인 것을 특징으로 하는 표시 장치.
복수의 표시 화소에 의하여 구성된 유효 표시부와,

상기 유효 표시부를 검사할 때에 검사용의 신호가 공급되는 검사용 배선과,

상기 검사용 배선과 소정의 간격을 두고 대향하도록 배치되고, 상기 검사용 배선에 축적된 전하의 방전을 유도하는 방전 유도부를 갖는 도전층

을 구비하며,

상기 검사용 배선은, 상기 유효 표시부를 검사할 때에 제1 검사 신호가 공급되는 제1 검사용 배선 및 상기 제1 검사 신호와는 다른 제2 검사 신호가 공급되는 제2 검사용 배선을 포함하고,

상기 제1 검사용 배선을 갖는 제1 검사 배선부와, 상기 제2 검사용 배선 및 상기 제2 검사용 배선에 제2 검사 신호를 입력하기 위한 입력 패드를 갖는 제2 검사 배선부를 더 구비하며,

상기 제2 검사 배선부는, 상기 제2 검사용 배선의 단부, 상기 입력 패드, 및 상기 제2 검사용 배선의 중도부 중 적어도 하나가 상기 제2 검사 배선부의 다른 부위보다도 근접한 소정의 간격을 두고 상기 제1 검사 배선부와 대향하도록 배치된 것을 특징으로 하는 표시 장치.
제4항에 있어서,

상기 검사용 배선의 상기 방전 유도부와 대향하는 대향부 및 상기 방전 유도부 중 적어도 한 쪽은, 길이가 다른 복수의 돌각부를 갖는 것을 특징으로 하는 표시 장치.
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