KR100802234B1

KR100802234B1 - 액제 토출 디스펜서

Info

Publication number: KR100802234B1
Application number: KR1020040018644A
Authority: KR
Inventors: 스기무라히로유끼; 무라따사또시; 기다테쯔야; 마끼모또쇼오따
Original assignee: 샤프 가부시키가이샤
Priority date: 2003-03-20
Filing date: 2004-03-19
Publication date: 2008-02-11
Also published as: KR20040082982A; US20040182887A1; JP2004283714A; US7216782B2; TWI254826B; TW200424706A

Abstract

본 발명은 액제 토출 디스펜서에 관한 것으로, 액제를 오염시키는 일 없이 안정적으로 토출할 수 있는 액제 토출 디스펜서를 제공하는 것을 목적으로 한다.

액제 토출 디스펜서는 일단부에 노즐을 갖는 시린지(12)와, 상기 시린지의 타단부로부터 상기 시린지에 끼워 맞추어진 플런저(14)와, 상기 시린지의 상기 일단부와 상기 타단부 사이의 부분에 접속된 관(18)과, 상기 관의 타단부에 접속된 액제 탱크(16)를 구비하고, 상기 액제 탱크는 상기 액제 탱크의 액면이 상기 시린지보다 위가 되도록 배치되는 구성으로 한다.

플런저, 시린지, 관, 액제 탱크, 밸브

Description

액제 토출 디스펜서{DISPENSER FOR DISCHARGING LIQUID MATERIAL}

도1은 본 발명의 실시예에 따른 액제 토출 디스펜서를 도시하는 도면.

도2는 필터를 도시하는 단면도.

도3은 토출 밸브를 도시하는 도면.

도4는 액제 탱크의 액제를 시린지에 공급하는 경우를 도시하는 도면.

도5는 액제를 시린지의 노즐로부터 토출하는 경우를 도시하는 도면.

도6은 액정 표시 장치를 도시하는 도면.

도7은 적하 주입 공정을 도시하는 도면.

도8은 액제 탱크 가압력과 액제 공급과의 관계를 나타낸 그래프.

도9는 일정한 기체의 가압력으로 소정량의 액제를 이동시키는 데 필요로 하는 플런저의 이동 시간을 나타내는 그래프.

도10은 액제 토출 처리 횟수와 토출 변동과의 관계를 나타내는 그래프.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10 : 액제 토출 디스펜서

12 : 시린지

14 : 플런저

16 : 액제 탱크

18, 34 : 관

20 : 노즐

22 : 펄스 모터

26 : 토출 밸브

28 : 액제

30 : 캡

32 : 기체 공급 장치

36 : 누설 구멍

38 : 필터

40 : 공급 밸브

본 발명은, 예를 들어 액정 적하 주입 방법으로 사용되는 데 적합한 액제 토출 디스펜서에 관한 것이다.

액정 표시 장치는, 한 쌍의 기판과 이들 기판 사이에 삽입된 액정으로 이루어진다. 예를 들어, 한 쪽 기판은 TFT를 형성한 TFT 기판이고, 다른 쪽 기판은 컬러 필터를 형성한 컬러 필터 기판이다. 또한, 한 쪽 기판에는 광경화성 밀봉제로 이루어지는 환형의 밀봉 장치가 형성되고, 환형의 밀봉 장치는 한 쌍의 기판을 접합시킨 후에 자외선을 조사함으로써 경화한다. 액정은 환형의 밀봉 장치에 의해 둘러싸인 영역에 삽입된다.

종래의 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서는, 환형의 밀봉 장치에 주입 구멍이 마련되어 한 쌍의 기판을 접합시킨 후, 액정은 진공 챔버 내에서 환형의 밀봉 장치에 마련한 주입 구멍으로부터 주입된다. 그 후, 환형의 밀봉 장치 주입 구멍은 폐색되고, 한 쌍의 기판으로 이루어지는 액정 패널은 진공 챔버의 외부로 취출된다.

최근, 적하 주입법이라 불리우는 액정 표시 장치의 제조 방법이 제안되어 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조). 적하 주입법에서는, 한 쪽 기판에 환형의 밀봉 장치를 형성하여, 액적형의 액정을 그 기판의 환형의 밀봉 장치 내에 적하한다. 그 후, 한 쌍의 기판은 진공 챔버 내에서 접합된다. 적하 주입법에 따르면, 제조 공정이 단축되어 액정 표시 장치의 제조 비용을 저감할 수 있다.

적하 주입법에서는, 액정을 기판에 적하하기 위해 액제 토출 디스펜서가 사용된다. 액제 토출 디스펜서는, 일단부에 노즐을 갖는 시린지와 시린지의 타단부로부터 시린지에 끼워 맞추어진 플런저로 이루어진다. 플런저를 시린지 내에서 전진시킴으로써, 액적형의 액정이 노즐로부터 토출된다.

[특허 문헌 1]

일본 특허 공개 제2002-229044호 공보

액정 표시 장치를 제조하기 위한 적하 주입법에 있어서, 소량의 액정을 액제 토출 디스펜서로부터 똑같이 안정성 좋게 토출하는 것이 필요하다. 토출되는 액정 량이 변동되면 액정 셀의 두께가 변동되어, 표시 품질이 저하되거나 또한 기포(진공층)가 혼입되거나 하는 문제가 발생한다. 또한, 시린지 내의 액정에 기포나 이물질이 혼입되면, 국소적인 셀 두께 이상이나 액정 오염이 발생한다. 따라서, 액정은 일정량씩 또한 기포가 들어가지 않도록 시린지에 공급되고, 그리고 일정량씩 또한 기포가 들어가지 않도록 시린지로부터 토출될 필요가 있다.

액정 표시 장치를 제조하기 위한 적하 주입법에 사용되는 액제 토출 디스펜서에 한정되지 않고, 그 밖의 액제를 토출하는 액제 토출 디스펜서의 시린지에 있어서는, 액제 공급량이 불안정해지면 액제 토출량도 불안정해져 안정 공급 및 안정 토출이 행해지지 않는다. 액제 내의 이물질 및 액제 자신의 오염 등이 발생된 경우에는, 용도에 따라 다양한 장해가 발생한다.

본 발명의 목적은, 액제를 오염시키는 일 없이 안정적으로 토출할 수 있는 액제 토출 디스펜서를 제공하는 것이다.

본 발명에 따른 액제 토출 디스펜서는 일단부에 노즐을 갖는 시린지와, 상기 시린지의 타단부로부터 상기 시린지에 끼워 맞추어진 플런저와, 상기 시린지의 상기 일단부와 상기 타단부 사이의 부분에 접속된 관과, 상기 관의 타단부에 접속된 액제 탱크를 구비하고, 상기 액제 탱크는 상기 액제 탱크의 액면이 상기 시린지보다 위가 되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 것이다.

본 구성에 따르면, 플런저를 시린지 내에서 전진시킴으로써 액적형의 액정이 노즐로부터 토출된다. 플런저를 시린지 내에서 후퇴시킴으로써, 액제 탱크 내의 액제가 시린지로 공급된다. 액제 탱크는 액제 탱크 내의 액면이 시린지보다 위가 되도록 배치되어 있기 때문에, 액제 탱크로부터 시린지로 액제를 공급할 때에 기포가 들어가는 일 없이 원활하게 액제를 공급할 수 있다.

이하, 본 발명의 실시예에 대해 도면을 참조하여 설명한다.

도1은 본 발명의 실시예에 따른 액제 토출 디스펜서를 도시하는 도면이다. 액제 토출 디스펜서(10)는 시린지(12)와, 플런저(14)와, 액제 탱크(16)와, 시린지(12)와 액제 탱크(16)를 접속하는 관(18)을 갖는다. 시린지(12)의 일단부에는 노즐(20)이 설치되고, 플런저(14)는 시린지(12)의 타단부로부터 시린지(12)에 끼워 맞추어진다.

플런저(14)는 펄스 모터(22)에 의해 구동된다. 시린지(12)는 플런저(14)와 함께 케이싱(24)에 배치되어 있고, 펄스 모터(22) 및 운동 전달 기구도 케이싱(24)에 배치되어 있다. 또, 시린지(12) 내의 액제를 가열하기 위해, 히터가 케이싱(24)에 배치되어 있다. 또한, 시린지(12)의 노즐(20) 근방에는 토출 밸브(26)가 배치된다.

액제 탱크(16)에는 액제(28)(예를 들어, 액정)가 들어 있다. 액제 탱크(16)는 액제 탱크 내의 액면(28a)이 시린지(12)보다 위가 되도록 배치된다. 바람직하게는, 액제 탱크(16)의 바닥부가 시린지(12)의 정상부보다 위에 있다. 따라서, 액제 탱크(16)로부터 시린지(121)로 액제(28)를 공급할 때에, 기포가 들어가는 일 없이 원활하게 액제(28)를 공급할 수 있다.

액제 탱크(16)는 캡(30)을 포함하고, 기체 공급 장치(32)에 접속된 관(34)이 캡(30)에 접속된다. 따라서, 기체 공급 장치(32)는 액제 탱크(16)의 액면(28a) 상에 기체(예를 들어, N₂)를 공급한다. 액제 탱크(16)의 액면(28a) 상에 기체를 공급하는 기체 공급 장치(32)가 액제 탱크(16) 내의 액제(28)에 압력을 가하는 수단을 구성한다.

또한, 누설 구멍(36)이 캡(30)에 마련되어 있다. 액제 탱크(16) 내에 공급된 기체의 일부는 누설 구멍(36)으로부터 릴리프된다. 따라서, 기체의 공급량과 누설되는 기체량에 의해 액제 탱크(16) 내의 압력이 조정된다. 기체의 공급 및 누설은, 액제 탱크(16)의 액면(28a)이 직접 공기에 접촉되어 수분 등에 의해 오염되지 않게 한다.

관(18)의 일단부는 시린지(12)의 하단부와 상단부 사이의 부분에 접속되고, 관(18)의 타단부는 액제 탱크(16)의 하단부에 접속된다. 필터(38) 및 공급 밸브(40)가 관(18)에 배치된다. 필터(38)는 액제 탱크(16)에 배치될 수도 있다.

도2는 필터(38)를 도시하는 단면도이다. 필터(38)는, 필터 케이스(38a)와 필터 케이스(38a) 내에 배치된 컵을 거꾸로 놓은 형상의 필터 부재(38b)로 이루어진다. 필터 케이스(38a)는 대략 직선형을 이루는 상하 통로(38c)를 갖는다. 필터 부재(38b)는 다공질 재료로 제작된다. 필터 부재(38b)는 구멍 직경 0.2 ㎛ 내지 5 ㎛의 구멍을 갖는 것이 바람직하다. 필터 부재(38b)의 구멍 직경이 크면 여과 효과는 저하하고, 필터 부재(38b)의 구멍 직경이 작으면 액제의 흐름에 저항을 부여한다.

공급 밸브(40)는 전자(電磁)적으로 작동되는 배럴 밸브 또는 다이어프램 밸브로 이루어진다. 토출 밸브(26)는 공기력에 의해 작동되는 시린지 밸브 또는 플래그 밸브로 이루어진다.

도3은 토출 밸브(26)의 일예를 도시하는 도면이다. 토출 밸브(26)는, 밸브 케이스(26a)와 밸브 케이스(26a) 내에 배치된 원통형의 밸브 부재(26b)로 이루어진다. 밸브 케이스(26a)는 대략 직선형을 이루는 상하 통로(26c)를 갖고, 밸브 부재(26b)는 직경 방향으로 관통하는 통로(26d)를 갖는다. 밸브 부재(26b)는 공기력 작동부(26e)에 접속되고, 밸브 부재(26b)는 공기력 작동부(26e)로 도입된 공기에 의해 화살표로 나타내는 바와 같이 회전된다. 밸브 부재(26b)가 한 위치로 구동되면, 통로(26d)가 통로(26c)와 일직선형으로 정렬되어 토출 밸브(26)가 개방된다. 밸브 부재(26b)가 다른 위치로 구동되면, 통로(26d)가 통로(26c)와 정렬되지 않게 되고 밸브 부재(26b)가 통로(26c)를 차단하여 토출 밸브(26)가 폐쇄된다.

각 부재는 오염되기 어려운 재료로 제작된다. 예를 들어, 시린지(12)는 스테인레스강으로 제작되고, 액제 탱크(16)는 PE 수지로 제작된다. 관(18)은 테플론(등록 상표)의 튜브로 제작되고, 필터(38)는 테플론 또는 스테인레스강으로 제작된다. 공급 밸브(40)의 내부는 테플론으로 제작되고, 토출 밸브(26)는 스테인레스강에 테플론 코팅한 재료로 제작된다.

예를 들어, 액제 탱크(16)는 PE제 배럴(다케시 엔지니어링제)로 형성되고, 필터(38)는 파이프 삽입 필터(니뽄 폴제) 또는 플로로라인 - s(니뽄 밀리포어제), 공급 밸브(40)는 다이어프램 밸브(다케시 엔지니어링제), 토출 밸브(26)는 플래그 밸브(NUPRO제)에 의해 형성된다.

제어 장치(42)가 펄스 모터(22)와 기체 공급 장치(32)를 제어한다. 또한, 제어 장치(42)는 공급 밸브(40)와 토출 밸브(26)를 제어한다. 또 플런저(14)의 이동 제어에는, SMP II(다케시 엔지니어링제)를 이용할 수 있다.

도4는 액제 탱크(16)의 액제(28)를 시린지(12)로 공급하는 경우를 도시하는 도면이다. 도5는 액제(28)를 시린지(12)의 노즐(20)로부터 토출하는 경우를 도시한 도면이다.

도4에 있어서, 액제(28)를 액제 탱크(16)로부터 시린지(12)로 공급하는 경우에는, 처음에 시린지(12)에 배치된 액제 토출 밸브(26)를 폐쇄하고, 그 후 시린지(12)와 액제 탱크(16)를 접속하는 관(18)에 배치된 액제 공급 밸브(40)를 개방하여 플런저(14)를 시린지(12) 내에서 후퇴시킨다. 플런저(14)를 후퇴시킴으로써, 액제(28)는 시린지(12) 내로 빨아 올려진다. 이 때, 액제 탱크(16)의 액면(28a) 상의 가압 기체가 액제(28)에 배압을 부여하므로, 액제(28)는 보다 안정적으로 시린지(12) 내로 빨아 올려진다.

도5에 있어서, 액제(28)를 시린지(12)의 노즐(20)로부터 토출하는 경우에는, 처음에 시린지(12)와 액제 탱크(16)를 접속하는 관(18)에 배치된 액제 공급 밸브(40)를 폐쇄하고, 그 후 시린지(12)에 배치된 액제 토출 밸브(26)를 개방하여 시린지(12)에 배치된 플런저(14)를 전진시킨다.

도4 및 도5에 있어서, 플런저(14)의 하단부 위치는 시린지(12)와 관(18)과의 접속부보다도 약간 위에 있다. 플런저(14)의 상단부 위치 및 하단부 위치는 대략 일정하여, 플런저(14)는 대략 일정한 스트로크의 범위 내에서 액제 공급과 액제 토출을 반복할 수 있다. 따라서, 액제 공급과 액제 토출은 보다 안정적으로 행해질 수 있다. 액제 공급시에 노즐(20)로부터 혹은 액제 탱크(16)측으로부터 시린지(12)로 기포 등이 흡입되지 않는다. 또한, 액제 토출시에 액제 탱크(16)측으로부터 시린지(12)로 기포 등이 들어가는 일은 없다.

이와 같이, 액제 탱크(16) 내의 액제(28)의 액면(28a)을 시린지(12)보다 위에 배치하는 것, 및 액제 탱크(16)의 내부에 압력을 가하여 액제 공급을 행함으로써, 액제 탱크(16)로부터 시린지(12)로의 액제(28)의 이동을 원활하게 행하여 액제 안정 공급을 실현할 수 있다.

또한, 액제(28)의 종류 및 액제 탱크(16)로부터 관(18)을 통해 시린지(12)에 이르기까지의 흐름의 압력 손실에 의한 유량 변동이 있는 경우에는, 가압력 및 플런저 이동 속도를 가변으로 함으로써 항상 최적의 반송을 실현할 수 있다.

액제 공급시에 액제 토출 밸브(26)를 폐쇄하고, 그 후 액제 공급 밸브(40)를개방하여 액제 탱크(16) 내의 액제(28)를 시린지(12)에 공급하는 것, 및 액제 토출시에 액제 공급 밸브(40)를 폐쇄하고, 그 후 액제 토출 밸브(26)를 개방하여 시린지(12) 내의 액제(28)를 토출함으로써 공급 토출 동작으로 액제 경로 내로 기포가 혼입하는 일 없이 안정된 공급 및 안정된 토출을 실현할 수 있다.

액제 탱크(16)와 액제 공급 밸브(40) 사이에 필터(38)를 설치함으로써, 토출 정밀도에 영향을 미치지 않고 액제(28)의 오염을 방지할 수 있다.

액제 탱크(16)에 누설 구멍(36)을 마련함으로써, 액제(28)의 수분 흡착에 의 해 발생하는 오염을 방지할 수 있다.

도6은 액정 표시 장치를 도시하는 도면이다. 액정 표시 장치(50)는 한 쌍의 기판(52, 54)과, 한 쌍의 기판(52, 54)의 기판 사이에 삽입된 액정(56)으로 이루어진다. 부호 58은 환형의 밀봉 장치이다.

도7은 적하 주입 공정을 도시하는 도면이다. 도7의 기판(60)은 다면 취득 머더 유리이고, 도6의 기판(52)(또는 54)이 4 분할로 함께 형성된다. 액정(56)은 도1에 도시한 액제 토출 디스펜서(10)로부터 액적형으로 기판(52) 상에서 환형의 밀봉 장치(58)에 둘러싸인 영역으로 적하된다. 이 경우, 액정(56)은 도1의 액제(28)에 상당한다. 액제 토출 디스펜서(10)는 XY 방향으로 이동하면서 액정(56)을 환형의 밀봉 장치(18)로 둘러싸인 영역으로 적하한다. 환형의 밀봉 장치(58)를 형성하는 밀봉제는 UV 경화성 접착성 수지, 또는 UV와 열의 병용에 의해 경화하는 접착성 수지로 이루어진다. 그러한 밀봉제가 기판(60)에 도포되고 난 다음 경화된다. 다른 한 쪽의 기판에는 스페이서에 접착제를 코팅한 접착성 스페이서가 도포된다. 스페이서 대신에 지지 기둥을 설치하여 스페이스 산포 공정을 생략할 수도 있다.

1개의 액정 표시 장치(50)에는, 예를 들어 250 ㎎의 액정(56)이 포함된다. 액정(56)은 1개의 환형의 밀봉 장치(58)로 둘러싸인 영역에, 예를 들어 50점에 적하된다. 따라서, 1 방울당 액정의 양은 5 ㎎이다. 액제 토출 디스펜서(10)는 어떤 점에서 5 ㎎의 액정을 토출하고, 다음 점으로 이동하여 5 ㎎의 액정을 토출하고, 이를 50회 반복한다. 본 발명의 액제 토출 디스펜서(10)는, 그와 같이 미소한 양의 액정을 안정적으로 토출할 수 있는 것이다.

시린지(12)는, 예를 들어 1 내지 1.5 g의 액정을 포함할 수 있다. 액제 토출 디스펜서(10)는 다음과 같이 하여 사용된다. 1개의 환형의 밀봉 장치(58)로 둘러싸인 영역에서 50회의 토출이 종료되면, 다음 환형의 밀봉 장치(58)로 둘러싸인 영역에서 50회의 토출을 행한다. 단, 1개의 환형의 밀봉 장치(58)로 둘러싸인 영역에서 50회의 토출을 행한 후, 계속해서 다음의 환형의 밀봉 장치(58)로 둘러싸인 영역에서 50회의 토출을 행하는 것이 아니라, 1개의 환형의 밀봉 장치(58)로 둘러싸인 영역에서 50회의 토출을 행한 후 액제 공급을 행한다. 즉, 액제 토출 밸브(26)를 폐쇄하고, 그 후 액제 공급 밸브(40)를 개방하여 플런저(14)를 후퇴시키고, 액제(28)에 압력을 가하면서 액정 공급을 행하여 액제 탱크(16) 내의 액제(28)를 시린지(12)로 공급한다. 그 후, 다음의 환형의 밀봉 장치(58)로 둘러싸인 영역에서 50회의 토출을 행한다. 공급과 토출에 있어서, 플런저(14)는 시린지(12) 내의 대략 동일한 범위 내에서 이동하기 때문에, 각각의 액정 표시 장치마다의 액정의 양의 변동은 상당히 저하한다.

이와 같이 하여, 액정 표시 장치의 제조에 있어서의 적하 주입법에 있어서 액정의 적하를 고정밀도로 실시할 수 있다. 액정의 적하 주입법에 있어서, 액정량의 증감에 의해 셀 두께 이상 및 기포(진공층) 혼입 등의 장해가 없고, 또한 액정 내에 혼입되어 있는 이물질에 의해 국소적인 셀 두께 이상이 발생하는 일이 없으며, 액정의 수분 오염이 없어 우수한 표시 품질의 액정 표시 장치를 얻을 수 있다.

도8은 액제 탱크 가압력과 액제 공급과의 관계를 나타내는 그래프이다. 선 A는 플런저(14)를 127초간 소정량 이동시킨 경우를 나타내고, 선 B는 플런저(14)를 42초간 소정량 이동시킨 경우를 나타내고, 선 C는 플런저(14)를 25초간 소정량 이동시킨 경우를 나타낸다. 선 A로 나타난 바와 같이, 플런저(14)의 이동 속도가 느릴수록 액제의 공급량은 많아진다. 또한, 기체의 가압력이 클수록 액제의 공급량은 많아진다.

도9는 일정한 기체의 가압력으로 소정량의 액제를 이동시키는 데 필요로 하는 플런저의 이동 시간을 나타내는 그래프이다. 설정치는 제어기의 설정치로, 플런저의 속도에 관계되는 값이다. 이 경우, 필터(38)는 니뽄 밀리포어제의 필터(구멍 직경 0.2 ㎛)를 사용하고 있다. 플런저(14)의 이동 속도가 느릴수록 소정량의 액제를 이동시키는 데 필요로 하는 플런저의 이동 시간은 길어진다.

도10은 액제 토출 처리 횟수와 토출 변동과의 관계를 나타내는 그래프이다. 사각의 점과 마름모형의 점은 필터 종류, 탱크 가압력, 플런저 상승 속도를 바꾼 조건 하에서의 측정 결과이다. 사각의 점은 처리 횟수가 일정치가 되면, 토출 변동이 커지는 것을 나타내며 불안정한 조건 하에서 얻어진 것을 나타낸다. 마름모형의 점은 처리 횟수가 많아져도 토출 변동은 작으며, 불안정한 조건 하에서 얻어진 것을 나타낸다.

도8 내지 도10에 나타낸 바와 같이, 액제 공급시에 있어서는 플런저의 이동 속도만으로는, 또는 기체의 가압력만으로는 대상으로 하는 액제에 대해 최적의 액제 공급 조건을 설정하는 것은 어렵고, 플런저의 이동 속도와 기체의 가압력을 바꾸면서 이들을 조합하여 제어하는 것이 바람직하다. 또한, 액제 탱크의 가압력과 플런저의 이동 속도를 가변으로 하는 것이 바람직하다.

본 발명의 액제 토출 디스펜서는, 액정 표시 장치의 제조를 위해 적하 주입법에서 사용되는 액제 토출 디스펜서뿐만 아니라, 그 밖의 용도로 사용될 수 있다.

이상 설명한 예는 하기의 특징을 포함한다.

(부기 1)

일단부에 노즐을 갖는 시린지와, 상기 시린지의 타단부로부터 상기 시린지에 끼워 맞추어진 플런저와, 상기 시린지의 상기 일단부와 상기 타단부 사이의 부분에 접속된 관과, 상기 관의 타단부에 접속된 액제 탱크를 구비하고, 상기 액제 탱크는 상기 액제 탱크 내의 액면이 상기 시린지보다 위가 되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 액제 토출 디스펜서. (1)

(부기 2)

상기 액제 탱크 내의 액제에 압력을 가하는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 부기 1에 기재된 액제 토출 디스펜서. (2)

(부기 3)

상기 액제 탱크 내의 액제에 압력을 가하는 수단은 상기 액제 탱크의 액면 상에 기체를 공급하는 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 부기 2에 기재된 액제 토출 디스펜서.

(부기 4)

상기 액제 탱크는 액면보다 위에 누설 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 부기 3에 기재된 액제 토출 디스펜서. (3)

(부기 5)

상기 플런저를 이동시키는 구동 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 부기 1에 기재된 액제 토출 디스펜서.

(부기 6)

상기 액제 탱크 내의 액제에 압력을 가하는 수단과, 상기 플런저를 이동시키는 구동 수단과, 상기 액제 탱크 내의 액제에 압력을 가하는 수단과, 상기 구동 수단을 제어하는 제어 수단을 구비하고, 상기 시린지로부터 액제를 토출할 때에는 상기 플런저를 전진시키고, 상기 액제 탱크 내의 액제를 상기 시린지에 공급할 때에는 상기 플런저를 후퇴시켜 또한 상기 액제 탱크 내부에 압력을 가하는 것을 특징으로 하는 부기 1에 기재된 액제 토출 디스펜서.

(부기 7)

상기 시린지와 액제 탱크를 접속하는 관에 배치된 액제 공급 밸브와, 상기 시린지에 배치된 액제 토출 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 부기 1에 기재된 액제 토출 디스펜서. (4)

(부기 8)

상기 시린지와 액제 탱크를 접속하는 관에 배치된 필터를 구비하는 것을 특징으로 하는 부기 1에 기재된 액제 토출 디스펜서. (5)

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 액제의 안정 공급 및 토출을 실현할 수 있고, 액제 오염에 의한 장해의 발생을 억제하여 안정적으로 프로세스를 확 립할 수 있다.

Claims

일단부에 노즐을 갖는 시린지와, 상기 시린지의 타단부로부터 상기 시린지에 끼워 맞추어진 플런저와, 상기 시린지의 상기 일단부와 상기 타단부 사이의 부분에 접속된 관과, 상기 관의 타단부에 접속된 액제 탱크를 구비하고, 상기 액제 탱크는 상기 액제 탱크 내의 액면이 상기 시린지보다 위가 되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 액제 토출 디스펜서.
제1항에 있어서, 상기 액제 탱크 내의 액제에 압력을 가하는 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 액제 토출 디스펜서.
제2항에 있어서, 상기 액제 탱크는 액면보다 위에 누설 구멍을 갖는 것을 특징으로 하는 액제 토출 디스펜서.
제1항에 있어서, 상기 시린지와 액제 탱크를 접속하는 관에 배치된 액제 공급 밸브와, 상기 시린지에 배치된 액제 토출 밸브를 구비하는 것을 특징으로 하는 액제 토출 디스펜서.
제1항에 있어서, 상기 시린지와 액제 탱크를 접속하는 관에 배치된 필터를 구비하는 것을 특징으로 하는 액제 토출 디스펜서.
제1항에 있어서, 상기 액제 탱크의 바닥부가 상기 시린지의 정상부보다 위에 있는 것을 특징으로 하는 액제 토출 디스펜서.
제3항에 있어서, 상기 액제 탱크 내에 압력을 가하는 수단은, 액제 탱크 내의 액면 위에 기체를 공급하는 동시에, 상기 기체의 일부를 상기 누설 구멍으로부터 누설시키는 것을 특징으로 하는 액제 토출 디스펜서.
제7항에 있어서, 상기 액제 탱크 내에 압력을 가하는 수단은, 상기 액제 탱크 내의 액제가 직접 공기와 접촉하지 않도록 상기 기체의 공급 및 누설을 행하는 것을 특징으로 하는 액제 토출 디스펜서.
제8항에 있어서, 상기 기체는 질소인 것을 특징으로 하는 액제 토출 디스펜서.
제8항에 있어서, 상기 액제 탱크 내에 압력을 가하는 수단의 가압력 및 상기 플런저의 이동 속도는 모두 가변인 것을 특징으로 하는 액제 토출 디스펜서.
제1항에 있어서, 상기 플런저의 하단 위치는, 상기 시린지와 상기 관의 접속부보다 위에 있는 것을 특징으로 하는 액제 토출 디스펜서.
제11항에 있어서, 상기 플런저의 상단 위치 및 하단 위치는 일정한 것을 특징으로 하는 액제 토출 디스펜서.