JP2008181061A - 液晶材料吐出装置、ノズル製造方法 - Google Patents
液晶材料吐出装置、ノズル製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008181061A JP2008181061A JP2007059501A JP2007059501A JP2008181061A JP 2008181061 A JP2008181061 A JP 2008181061A JP 2007059501 A JP2007059501 A JP 2007059501A JP 2007059501 A JP2007059501 A JP 2007059501A JP 2008181061 A JP2008181061 A JP 2008181061A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle
- liquid crystal
- crystal material
- liquid
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
【解決手段】液晶材料吐出装置のノズル103の表面をパーフルオロアルキル基を有する高分子化合物から成る撥液被膜で覆う。液滴がノズルの表面に接触しても拡がらないので、ノズル先端に液溜まりが生じず、吐出不良や吐出方向不良が生じない。
【選択図】図1
Description
このような液晶表示装置を作製する際に、液晶材料を二枚のガラス基板を貼り合わせた液晶セルに封止する方法として以下のような方法が考案されている。
この方法では基板サイズに対して液晶材料の封止精度が十分満たされ、さらには液晶材料注入口を備える必要がなく液晶表示装置の製造方法として有効な手段である。
そこで、本発明では長期にわたって安定した液滴の精度を保つための技術を提供することを目的とする。
また、本発明は、ノズルの先端に形成された吐出口から、液晶材料の液滴を吐出する液晶材料吐出装置であって、前記ノズルの表面には、金属膜中にフッ素樹脂粒子が分散された撥液被膜が配置された液晶材料吐出装置である。
また、本発明は、パーフルオロアルキル基を含む樹脂原料液中に、液晶材料の液滴を先端の吐出口から吐出するノズルを浸漬し、前記ノズル表面に前記樹脂原料液を付着させた後、硬化させ、前記ノズルの表面に、パーフルオロアルキル基を含む高分子化合物を形成するノズル製造方法である。
また、本発明は、液晶材料の液滴を先端の吐出口から吐出するノズルと、パーフルオロアルキル基を含む樹脂原料とを真空槽内に配置し、真空雰囲気中で前記真空槽内に前記樹脂原料の蒸気を発生させ、前記ノズルの表面に前記蒸気を到達させ、前記ノズルの表面に、パーフルオロアルキル基を含む樹脂から成る撥液被膜を形成するノズル製造方法である。
これらの材料に、機械加工やレーザ加工といった加工手段によって直線状の貫通孔を形成し、その先端を吐出口とする。これにより、液滴吐出位置および位置精度を十分満たす事ができる。
撥液被膜としては、液晶材料は誘電率の低い溶媒や粘度の高い溶媒が使用されるため、フッ素樹脂やパーフルオロアルキルから構成されるシラン、シラザン等のカップリング剤もしくはポリマーの被膜を用いることができる。
樹脂原料液を加熱し、重合させて、パーフルオロアルキル基を有する高分子化合物(ポリマー)を形成することもできる。
樹脂原料液は、溶剤を含んでいてもよい。
真空中で樹脂原料の蒸気を発生させる場合、液状の樹脂原料を加熱しても良いし、固体状の樹脂原料を昇華させてもよい。
この結果、吐出される液晶材料液滴の位置精度および液滴特性が十分満足されるノズルを提供することが可能となる。
図1は、本発明の液晶材料吐出装置を示しており、ノズル103を有している。ノズル103の構造については後述する。
この液晶材料吐出装置はシリンジ101内に溜めた液晶材料をピストン104にてシリンジ101内の液晶材料に圧力をかけ、ノズル接続部102に接続しているノズル103から液晶材料を吐出する機構となっている。
点線で示しているのはφ0.3mmのノズル孔203でレーザ加工により形成されている。図3(a)は、ノズル103の拡大断面図と、同図(b)は、吐出口302の先端部から見た平面図である。
このノズルには、図4に示すように、撥液被膜402が形成されている。同図符号401は、ノズル本体301の先端部分である。
前記撥液被膜を有さず、ルビーから成るノズル本体301が露出したノズルによって液晶材料を吐出すると、図5(a)に示すように、ノズルの側面に液晶材料が接触したときに液晶材料がノズルの表面上を広がり、ノズルの先端が液溜まり503で覆われた状態になってしまう。
このノズル601では、部材であるステンレスに機械加工によりネジ部602とφ0.4mmの貫通孔603を形成し、電解研磨処理を行ったものである。
このノズル601の先端部の詳細図を図7に示す。ノズル孔の液晶材料吐出口の開口径702は0.4mm、ノズル先端部の肉厚が0.15mm、ノズル先端部の傾斜角度はノズル孔に対して30°の角度を有している。
30秒間放出させると、ノズル本体の表面に、10nm〜20nmの膜厚の撥液被膜(パーフルオロアルキル基を有する高分子樹脂膜)が形成された。
前記撥液被膜を有さず、ステンレスから成るノズル本体801が露出されたノズルによって液晶材料を吐出すると、図9(a)に示すように、ノズルの側面に液晶材料が接触したときに液晶材料がノズルの表面上を広がり、ノズルの先端が液溜まり903で覆われた状態になってしまう。
撥液被膜を備えたノズルを用いて、前記条件の液晶材料吐出試験を6時間連続で行ったが、図13の写真に示すように液溜まりは生じず、液晶材料の吐出の滞りや不均一な液量での吐出は見られなかった。従って、撥水被膜が形成されたノズルは十分な吐出性能を得る事ができる。
なお、水と各材料との間の接触角を測定したところ、ステンレス上では60.5°であり、上記の撥液被膜上では109°〜110°であった。水のルビー上の接触角は、少なくともステンレスよりも小さい。
ノズル孔開口径が0.3mmのルビー製のノズル本体の表面に、スパッタリング法により、厚さ20nmのクロム層と、厚さ300nmのプラチナ層を記載した順番に積層した。このとき、クロム層とプラチナ層の積層膜は、ノズル本体の表面(外周面)には形成されるが、ノズル本体の貫通孔内壁面は、ノズル本体の影となってスパッタリング粒子が到達せず、積層膜が形成されない。
そこで、ノズル本体をメッキ液に浸漬し、無電解メッキ法により、プラチナ層の表面と、ノズル本体の貫通孔の内壁面に金属等の導電層を形成した。
ニッケルと、カチオン系界面活性剤と、PTFE(ポリテトラフルオロエタン)粒子とが分散された樹脂原料液を作成し、導電層が形成された状態のノズル本体301を樹脂原料液に浸漬し、電界メッキ法により、ニッケル金属膜中にPTFE粒子が分散された状態の撥液被膜(膜厚20μm)を導電層表面に形成して、ノズルを作成した。導電層はノズル本体の表面と貫通孔内壁面に形成されているから、撥液被膜はノズル本体表面上と、貫通孔内壁面上に形成されている。
更に、上記液晶材料吐出試験と同じ条件で4時間連続液晶材料の吐出を行っても、液晶材料の吐出が滞るといった不具合は見られなかった。
以上は、撥液被膜の金属膜としてニッケル金属膜を用いる場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、他の金属膜を用いることもできる。
302、702……吐出口
402、802……撥液被膜
Claims (4)
- ノズルの先端に形成された吐出口から、液晶材料の液滴を吐出する液晶材料吐出装置であって、
前記ノズルの表面には、パーフルオロアルキル基を含む樹脂から成る撥液被膜が配置された液晶材料吐出装置。 - ノズルの先端に形成された吐出口から、液晶材料の液滴を吐出する液晶材料吐出装置であって、
前記ノズルの表面には、金属膜中にフッ素樹脂粒子が分散された撥液被膜が配置された液晶材料吐出装置。 - パーフルオロアルキル基を含む樹脂原料液中に、液晶材料の液滴を先端の吐出口から吐出するノズルを浸漬し、前記ノズル表面に前記樹脂原料液を付着させた後、硬化させ、前記ノズルの表面に、パーフルオロアルキル基を含む高分子化合物を形成するノズル製造方法。
- 液晶材料の液滴を先端の吐出口から吐出するノズルと、パーフルオロアルキル基を含む樹脂原料とを真空槽内に配置し、
真空雰囲気中で前記真空槽内に前記樹脂原料の蒸気を発生させ、前記ノズルの表面に前記蒸気を到達させ、前記ノズルの表面に、パーフルオロアルキル基を含む樹脂から成る撥液被膜を形成するノズル製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007059501A JP2008181061A (ja) | 2006-12-26 | 2007-03-09 | 液晶材料吐出装置、ノズル製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006349925 | 2006-12-26 | ||
JP2007059501A JP2008181061A (ja) | 2006-12-26 | 2007-03-09 | 液晶材料吐出装置、ノズル製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008181061A true JP2008181061A (ja) | 2008-08-07 |
Family
ID=39724996
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007059501A Pending JP2008181061A (ja) | 2006-12-26 | 2007-03-09 | 液晶材料吐出装置、ノズル製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008181061A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010094029A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Ulvac Japan Ltd | 表面修飾基板、表面修飾基板の製造方法及び表面修飾基板の製造システム |
JP2010094028A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Ulvac Japan Ltd | 表面修飾基板、表面修飾基板の製造方法及び表面修飾基板の製造システム |
JPWO2014203768A1 (ja) * | 2013-06-20 | 2017-02-23 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | ノズルヘッド及び液体滴下装置 |
JP2018207128A (ja) * | 2018-09-12 | 2018-12-27 | 東芝メモリ株式会社 | テンプレート、テンプレート基材、テンプレート形成方法、および半導体装置の製造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0813147A (ja) * | 1994-06-28 | 1996-01-16 | Citizen Watch Co Ltd | フッ素樹脂微粒子を分散した硬質カーボン膜が被覆された機構部品 |
JP2003057666A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-26 | Sharp Corp | 液晶パネルの製造方法、その製造装置および製造システム |
JP2003126749A (ja) * | 2001-10-25 | 2003-05-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 塗布装置および塗布方法 |
JP2003266001A (ja) * | 2002-03-15 | 2003-09-24 | Seiko Epson Corp | 成膜装置、デバイスの製造方法及び電子機器 |
JP2006061273A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Olympus Corp | 内視鏡光学系 |
JP2006133556A (ja) * | 2004-11-08 | 2006-05-25 | Seiko Epson Corp | 表示装置及び表示装置の製造方法 |
JP2006201661A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Nisca Corp | Ndフィルタ及びそのndフィルタの製造方法並びにそのndフィルタを用いた光量調整装置 |
-
2007
- 2007-03-09 JP JP2007059501A patent/JP2008181061A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0813147A (ja) * | 1994-06-28 | 1996-01-16 | Citizen Watch Co Ltd | フッ素樹脂微粒子を分散した硬質カーボン膜が被覆された機構部品 |
JP2003057666A (ja) * | 2001-08-10 | 2003-02-26 | Sharp Corp | 液晶パネルの製造方法、その製造装置および製造システム |
JP2003126749A (ja) * | 2001-10-25 | 2003-05-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 塗布装置および塗布方法 |
JP2003266001A (ja) * | 2002-03-15 | 2003-09-24 | Seiko Epson Corp | 成膜装置、デバイスの製造方法及び電子機器 |
JP2006061273A (ja) * | 2004-08-25 | 2006-03-09 | Olympus Corp | 内視鏡光学系 |
JP2006133556A (ja) * | 2004-11-08 | 2006-05-25 | Seiko Epson Corp | 表示装置及び表示装置の製造方法 |
JP2006201661A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Nisca Corp | Ndフィルタ及びそのndフィルタの製造方法並びにそのndフィルタを用いた光量調整装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010094029A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Ulvac Japan Ltd | 表面修飾基板、表面修飾基板の製造方法及び表面修飾基板の製造システム |
JP2010094028A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Ulvac Japan Ltd | 表面修飾基板、表面修飾基板の製造方法及び表面修飾基板の製造システム |
JPWO2014203768A1 (ja) * | 2013-06-20 | 2017-02-23 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | ノズルヘッド及び液体滴下装置 |
US10031377B2 (en) | 2013-06-20 | 2018-07-24 | Sakai Display Products Corporation | Nozzle head and liquid dispensing device |
JP2018207128A (ja) * | 2018-09-12 | 2018-12-27 | 東芝メモリ株式会社 | テンプレート、テンプレート基材、テンプレート形成方法、および半導体装置の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100526931B1 (ko) | 박막 형성 장치와 박막 형성 방법, 액정 장치의 제조장치와 액정 장치의 제조 방법과 액정 장치, 및 박막구조체의 제조 장치와 박막 구조체의 제조 방법과 박막구조체, 및 전자 기기 | |
JP2008268973A (ja) | 液晶滴下装置 | |
US7659963B2 (en) | Liquid crystal dispensing apparatus with nozzle cleaning device | |
US7518702B2 (en) | Electrooptical manufacturing apparatus, electrooptical apparatus, and electronic device | |
JP2008181061A (ja) | 液晶材料吐出装置、ノズル製造方法 | |
JP3890002B2 (ja) | スプリングの張力調整により液晶滴下量の制御が可能な液晶滴下装置 | |
KR100511350B1 (ko) | 노즐의 보호가 가능한 액정적하장치 | |
JP2012230386A (ja) | ノズル、液晶材料吐出装置、ノズル製造方法 | |
US6874662B2 (en) | Liquid crystal dispensing apparatus | |
TW200426039A (en) | Drawing device, electro-optical device, and electronic apparatus | |
JP3895669B2 (ja) | ノズル保護手段を備えた液晶滴下装置 | |
JP4047742B2 (ja) | 一体化されたニードルシートを有した液晶滴下装置 | |
JP4987557B2 (ja) | 液晶材料吐出装置、ノズルの製造方法 | |
JP3871989B2 (ja) | 液晶滴下装置 | |
JP3822177B2 (ja) | 液晶滴下装置 | |
KR100511351B1 (ko) | 액정적하장치 | |
KR100859471B1 (ko) | 액정분배장치 | |
KR100960454B1 (ko) | 필터를 구비한 액정적하장치 | |
KR100532084B1 (ko) | 액정적하장치 | |
KR100841624B1 (ko) | 대용량 액정적하장치 | |
KR100518268B1 (ko) | 노즐에 홈이 형성된 액정적하장치 | |
KR20090067890A (ko) | 잉크젯 헤드 세정장치 및 세정방법 | |
KR101265086B1 (ko) | 복수의 액정적하기를 구비한 액정적하장치 | |
KR100832294B1 (ko) | 액정적하장치 | |
JP2007090282A (ja) | 微粒子含有インク用インクジェットヘッド |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20090901 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20110810 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20110816 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20111012 Effective date: 20111012 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120508 |