JP4987557B2 - 液晶材料吐出装置、ノズルの製造方法 - Google Patents
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Description
二枚のガラス基板を貼り合わせ液晶セルとした後に液晶材料を注入する方法として、液晶材料注入口を備えた液晶セルで液晶セル内外の圧力差を用いて液晶材料を注入する方法や、液晶材料注入口および排気口を備えた液晶セルで液晶注入口から液晶材料を注入する方法(特開平7−281200号公報)がある。
ガラス基板上に形成されたシール剤の内側に液晶材料を滴下するための手段として、ガスの圧力を用いて液晶材料を液滴吐出ノズルから滴下する方法(特許公開2003−287730号公報)、ピストンを用いて液晶材料自体に圧力をかけ液滴吐出ノズルから液晶材料を吐出する方法(特許公開2001−272640号公報)さらには、マイクロシリンジを液滴吐出ノズルとし、液晶材料の計測および吐出を行う方法(特許公開2006−106150号公報)等が考案されている。
そこで、本発明では長期にわたって安定した液滴の精度を保つための技術を提供することを目的とする。
本発明は液晶材料吐出装置であって、前記貫通孔の内壁面にはセラミック材料が露出する液晶材料吐出装置である。
本発明は液晶材料吐出装置であって、前記撥液被膜は、表面にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンの結晶が成長可能な下地膜を有し、前記下地膜は前記ノズル本体表面に形成され、前記ダイヤモンド薄膜は前記下地膜の表面に形成された液晶材料吐出装置である。
本発明は、ノズル本体に形成された貫通孔に吐出液を通し、前記貫通孔先端の吐出口から前記吐出液を吐出するノズルの製造方法であって、前記貫通孔が形成された状態の前記ノズル本体の表面にスパッタ法又は蒸着法により下地膜を形成した後、前記下地膜が形成された前記ノズル本体を、真空雰囲気に配置した状態で、前記真空雰囲気中で炭化水素ガスを含む原料ガスをプラズマ化させ、前記下地膜の表面に、ダイヤモンドとダイヤモンドライクカーボンのいずれか一方又は両方を含有するダイヤモンド薄膜を成膜するノズルの製造方法である。
本発明はノズルの製造方法であって、前記ノズル本体として、前記貫通孔の内壁面にセラミック材料が露出するものを用い、前記下地膜として、ダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンの結晶が成長可能な材料の膜を形成するノズルの製造方法である。
微粒子はノズル本体の表面には到達して下地膜が形成されるが、貫通孔の内壁面はノズル本体の影となって、原料微粒子がノズル本体で遮蔽され、下地膜が形成されない。従って、貫通孔の内壁面はノズル本体が露出する状態が維持される。
ダイヤモンド薄膜は、上述したセラミック材料に比べて、液晶材料等の吐出液に対する撥液性が高く、ノズル本体の表面(ノズル本体の先端及び側面を含む)に吐出液の液溜りができない。
本発明に用いるノズル本体は、上述したセラミック材料に、機械加工やレーザ加工といった加工手段によって直線状の貫通孔を形成し、その先端を吐出口とする。これにより、液滴吐出位置および位置精度を十分満たす事ができる。
図1は、本発明の液晶材料吐出装置を示しており、ノズル103を有している。ノズル103の構造については後述する。
この液晶材料吐出装置はシリンジ101内に溜めた液晶材料をピストン104にてシリンジ101内の液晶材料に圧力をかけ、ノズル接続部102に接続しているノズル103から液晶材料を吐出する機構となっている。
ノズル103は、ルビーで構成されたノズル本体301を有しており、ノズル本体301には液晶材料を吐出するための直線状の貫通孔が形成されている。
貫通孔203は一端の開口がノズル103のネジ部202と反対側の先端に位置し、他端はシリンジ101に接続されており、上述したように液晶材料に圧力がかかると、液晶材料は貫通孔203内部を通って、ノズル103先端の開口(吐出口)から吐出される。
ここでは、吐出口302の開口径は0.3mm、ノズル本体301の肉厚は0.1mmである。また、ノズル103の外形形状として、吐出口302に接続された傾斜面の貫通孔203の中心軸線と成す傾斜角度は10°である。ノズル本体301の先端の面と貫通孔203とは垂直である。
真空槽内部を真空排気しながら、Ar、Kr等のスパッタガスを供給し、真空槽内部で金属ターゲット(ここではTiターゲット)をスパッタし、下地膜(ここではチタン薄膜)を形成する。
このとき、原料ガスのプラズマは貫通孔203内部にも入り込むが、貫通孔203の内壁面406にはルビー等、ダイヤモンドもダイヤモンドライクカーボンも結晶成長しないセラミック材料が露出しているから、ダイヤモンド薄膜は形成されず、内壁面406が露出する状態が維持される。
この結果、撥液被膜を備えていないノズルでは、図5(a)に示すように、液晶材料がノズルの側面に接触したときに、液晶材料がルビー製のノズル本体502表面に吸着してしまい、液溜り503ができてしまう。図6はルビー製のノズル本体502の表面に液溜り503ができた状態を撮影した写真である。液溜り503によってノズルの吐出口が覆われると、液晶材料の液滴を吐出できなくなる。
撥液被膜402を供えた本発明のノズル103を用い、上記吐出試験と同じ吐出条件で、6時間連続して液晶材料の吐出を行ったところ、液晶材料の吐出の滞りや不均一な液量での吐出は見られず、安定した液晶材料の吐出が認められた。
ダイヤモンド薄膜の成膜方法はCVD法に限定されず、スパッタ法で成膜することができる。いずれも真空雰囲気中でノズルに原料微粒子を付着させて成膜する方法である。
Claims (5)
- ノズル本体に貫通孔が形成され、液晶材料が前記貫通孔を通って、前記貫通孔先端の吐出口から吐出される液晶材料吐出装置であって、
前記ノズル本体の表面には撥液被膜が形成され、
前記撥液被膜の表面にはダイヤモンドとダイヤモンドライクカーボンのいずれか一方又は両方を含有するダイヤモンド薄膜が露出し、
前記貫通孔の内壁面には前記ノズル本体が露出する液晶材料吐出装置。 - 前記貫通孔の内壁面にはセラミック材料が露出する請求項1記載の液晶材料吐出装置。
- 前記撥液被膜は、表面にダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンの結晶が成長可能な下地膜を有し、
前記下地膜は前記ノズル本体表面に形成され、
前記ダイヤモンド薄膜は前記下地膜の表面に形成された請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の液晶材料吐出装置。 - ノズル本体に形成された貫通孔に吐出液を通し、前記貫通孔先端の吐出口から前記吐出液を吐出するノズルの製造方法であって、
前記貫通孔が形成された状態の前記ノズル本体の表面にスパッタ法又は蒸着法により下地膜を形成した後、
前記下地膜が形成された前記ノズル本体を、真空雰囲気に配置した状態で、前記真空雰囲気中で炭化水素ガスを含む原料ガスをプラズマ化させ、前記下地膜の表面に、ダイヤモンドとダイヤモンドライクカーボンのいずれか一方又は両方を含有するダイヤモンド薄膜を成膜するノズルの製造方法。 - 前記ノズル本体として、前記貫通孔の内壁面にセラミック材料が露出するものを用い、
前記下地膜として、ダイヤモンド又はダイヤモンドライクカーボンの結晶が成長可能な材料の膜を形成する請求項4記載のノズルの製造方法。
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