WO2024004765A1 - ノズルおよびノズルユニット - Google Patents

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WO2024004765A1
WO2024004765A1 PCT/JP2023/022790 JP2023022790W WO2024004765A1 WO 2024004765 A1 WO2024004765 A1 WO 2024004765A1 JP 2023022790 W JP2023022790 W JP 2023022790W WO 2024004765 A1 WO2024004765 A1 WO 2024004765A1
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WO
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wall surface
hole
nozzle
diameter
central axis
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PCT/JP2023/022790
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English (en)
French (fr)
Inventor
利幸 水越
Original Assignee
京セラ株式会社
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B1/00—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means
    • B05B1/02—Nozzles, spray heads or other outlets, with or without auxiliary devices such as valves, heating means designed to produce a jet, spray, or other discharge of particular shape or nature, e.g. in single drops, or having an outlet of particular shape
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work

Definitions

  • the present disclosure relates to a nozzle and a nozzle unit.
  • Patent Document 1 is known as a nozzle for applying an adhesive used when bonding the above-mentioned electronic components to a mounting board or the like (see Patent Document 1).
  • the invention described in Patent Document 1 describes a nozzle that is composed of a cylindrical portion (12 in Patent Document 1) and a tapered portion (13 in Patent Document 1) and is made of a ceramic material. (For example, see FIG. 2 of Patent Document 1).
  • the nozzle includes a base mainly made of ceramic and a through hole.
  • the base has a first end surface and a second end surface located on the opposite side of the first end surface.
  • the through hole penetrates from the first end surface to the second end surface and has a central axis extending in the first direction.
  • the base further includes a first part, a second part, and a third part.
  • the first part has a first end surface and a cylindrical first outer wall surface connected to the first end surface and at least a portion of which is press-fitted into the fixing member.
  • the second portion is connected to the first outer wall surface and has a conical second outer wall surface having a first outer diameter that decreases as it moves away from the first end surface in the first direction.
  • the third portion has a second end surface, a second outer wall surface, and a cylindrical third outer wall surface that is connected to the second end surface and has a second outer diameter that is equal to or less than the first outer diameter.
  • the through hole further includes a first hole, a second hole, and a third hole.
  • the first hole has a first hole diameter and is located in the first part.
  • the second hole has a second hole diameter and is located from the first part to the second part.
  • the third hole has a third hole diameter and is located from the second part to the third part.
  • the second hole diameter becomes smaller as it moves away from the first part in the first direction.
  • the third hole diameter is constant in the first direction.
  • the first hole diameter is constant in the first direction.
  • the first hole has a first inner wall surface that connects to the first end surface.
  • the second hole has a second inner wall surface that connects with the first inner wall surface.
  • the third hole has a third inner wall surface that connects with the second inner wall surface.
  • the second inner wall surface has a first end portion that connects to the first inner wall surface, and a second end portion that connects to the third inner wall surface.
  • the surface roughness Ra1 of the second inner wall surface is larger than the surface roughness Ra2 of the third inner wall surface.
  • the base has zirconia as a main component.
  • the second inner wall surface has a circular arc shape when viewed in cross section passing through the central axis and parallel to the first direction.
  • the inclination ⁇ 3 of the second inner wall surface with respect to the central axis is 10 to 20 degrees in a cross-sectional view passing through the central axis and parallel to the first direction.
  • the second outer wall surface and the third outer wall surface have a first connecting portion having an arc shape. connected via.
  • the base further includes a fourth portion connected to the second end surface.
  • the fourth portion has a cylindrical fourth outer wall surface having a third outer diameter smaller than the second outer diameter.
  • the third hole further extends from the third part to the fourth part.
  • the dimension of the fourth part in the first direction is less than half of the combined dimension of the fourth part and the third part in the first direction.
  • a nozzle unit includes the nozzles of (1) to (14) above and a fixing member.
  • the fixing member has a first opening. At least a portion of the first portion of the nozzle is press-fitted into the first opening.
  • FIG. 1 is a perspective view of a nozzle according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a plan view of a nozzle according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 2 is a sectional view taken along line II of the nozzle shown in FIG. 1; 4 is an enlarged view of main part A shown in FIG. 3.
  • FIG. 5 is an enlarged view of main part B shown in FIG. 4.
  • FIG. FIG. 2 is an exploded cross-sectional view of a nozzle and a nozzle unit according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 7 is a perspective view of a nozzle according to another embodiment of the present disclosure. 8 is a sectional view taken along line II-II of the nozzle shown in FIG. 7.
  • FIG. 9 is an enlarged view of main part C shown in FIG. 8.
  • FIG. 8 is a perspective view of a nozzle according to another embodiment of the present disclosure.
  • nozzle configuration ⁇ Nozzle configuration>
  • the nozzle may be directed either upward or downward, but for convenience, the orthogonal coordinate system xyz is defined and the negative side of the z direction is assumed to be downward.
  • the first direction refers to, for example, the z direction in the drawings.
  • plan view is a concept that includes plan view.
  • the nozzle 3 includes a base 1 mainly made of ceramic and a through hole 2.
  • the base 1 has a first end surface 1a and a second end surface 1b located on the opposite side to the first end surface 1a.
  • the material for the base 1 include ceramic materials such as aluminum oxide sintered bodies, mullite sintered bodies, silicon carbide sintered bodies, aluminum nitride sintered bodies, and silicon nitride sintered bodies, and glass ceramics. Materials etc. can be used.
  • the size of the base portion 1 in the z direction is, for example, 5 mm to 50 mm. Ceramic materials and glass-ceramic materials are easier to process than general metal materials, so the nozzle 3 can be manufactured easily.
  • the base 1 further includes a first part 11, a second part 12, and a third part 13.
  • the first portion 11 has a first end surface 1a and a first outer wall surface 111.
  • the first outer wall surface 11 is a cylindrical surface connected to the first end surface 1a and at least a portion of which is press-fitted into the fixing member 4.
  • the size of the first portion 11 in the z direction is, for example, 0.5 mm to 10 mm.
  • the second part 12 has a second outer wall surface 122.
  • the second outer wall surface 122 is connected to the first outer wall surface 111 and is a conical surface having a first outer diameter D12 that becomes smaller as it moves away from the first end surface 1a in the z direction (first direction).
  • the size of the second portion 12 in the z direction is, for example, 1 mm to 45 mm.
  • the size of the first outer diameter D12 is, for example, 0.1 mm to 5 mm. As shown in FIGS. 2 and 3, in one embodiment, the first outer diameter D12 decreases at a constant rate as it moves away from the first end surface 1a in the z direction (first direction).
  • the third portion 13 has a second end surface 1b and a third outer wall surface 133.
  • the third outer wall surface 133 is connected to the second outer wall surface 122 and the second end surface 1b, and is a cylindrical surface having a second outer diameter D13 less than or equal to the first outer diameter D12.
  • the size of the third portion 13 in the z direction is, for example, 0.1 mm to 3 mm.
  • the size of the second outer diameter D13 is, for example, 0.01 mm to 2 mm.
  • the through hole 2 has a central axis C1 that penetrates from the first end surface 1a to the second end surface 1b and extends in the z direction (first direction).
  • the through hole 2 may be manufactured by injection molding a ceramic material or the like, or may be manufactured by punching a ceramic material formed in the outer shape of the nozzle 3.
  • a fluid such as an adhesive using the nozzle 3
  • the fluid flows through the through hole 2 in the positive direction of the z-axis.
  • the fluid By pressurizing the fluid from the first end surface 1a side, the fluid passes through the first hole 21, the second hole 22, and the third hole 23 in this order, and can be discharged from the second end surface 1b side.
  • examples of the fluid include conductive adhesives such as epoxy adhesive, acrylic adhesive, and silver paste, and cream solder. Note that in the present disclosure, fluid is a concept that includes paste-like fluids.
  • the through hole 2 further includes a first hole 21, a second hole 22, and a third hole 23.
  • the first hole portion 21 has a first hole diameter D1 and is located in the first portion 11.
  • the size of the first hole diameter D1 is, for example, 0.5 mm to 4 mm.
  • the second hole portion 22 has a second hole diameter D2 and is located from the first portion 11 to the second portion 12.
  • the second hole diameter D2 becomes smaller as the distance from the first portion 11 increases in the z direction.
  • the size of the second hole diameter D2 is, for example, 0.5 mm to 4 mm.
  • the third hole portion 23 has a third hole diameter D3 and is located from the second portion 12 to the third portion 13.
  • the third hole diameter D3 is constant in the z direction. By this, the straightness of the fluid passing through the third hole 23 can be improved compared to the case where the third hole 23 has a tapered shape (the third hole diameter changes).
  • the size of the third hole diameter D3 is, for example, 0.005 mm to 3 mm. In other words, the length of the third hole in the z direction is longer than the length of the third portion 13 in the z direction.
  • constant may include manufacturing errors.
  • pressure is required to discharge the fluid. Therefore, by adjusting the length of the third hole 23, it is possible to adjust the flow path resistance and reduce the possibility that the fluid drips unintentionally from the second end surface 1b of the nozzle 3.
  • the fluid such as adhesive can be accurately applied to a desired position using the nozzle 3.
  • the viscosity of the fluid is, for example, 100,000 cP to 500,000 cP, the above-mentioned effects can be more effectively achieved.
  • the size of the second outer diameter D13 of the third part 13 can be reduced and the size of the third part 13 can be increased. It is possible to easily manufacture a nozzle 3 having a long length in the z direction. For example, when manufacturing by the manufacturing method described later, etc., the length of the third portion 13 in the z direction can be easily adjusted by cutting and polishing the second outer wall surface 122.
  • the third portion 13 of the nozzle 3 has a long length in the z direction, when applying adhesive to electronic components and mounting boards using the nozzle 3, it is difficult to apply adhesive in the positive direction of the z axis of the through hole 2. A flowing fluid such as adhesive can be accurately applied to a desired position.
  • the first hole diameter D1 may be constant in the z direction.
  • the length of the nozzle 3 that is press-fitted into the fixing member 4, which will be described later, protrudes in the z direction (see FIG. 6) can be adjusted to the second opening.
  • the first hole diameter D1 can be adjusted in accordance with the second opening diameter D42 of the portion 42. Therefore, it becomes easy to manufacture various nozzles 3 according to user needs.
  • the first hole portion 21 and the second hole portion 22 may be continuous and flush.
  • the second inner wall surface 222 which will be described later, is a straight line having an inclination with respect to the central axis C1 in a cross-sectional view (e.g., xz plane or yz plane) passing through the central axis C1 and parallel to the z direction. may be the same as the inclination of the first inner wall surface 211 with respect to the central axis C1.
  • the first hole 21 has a first inner wall surface 211 that connects with the first end surface 1a.
  • the second hole 22 has a second inner wall surface 222 that connects to the first inner wall surface 211 .
  • the third hole 23 has a third inner wall surface 233 that connects to the second inner wall surface 222 .
  • the second inner wall surface 222 has a first end 222 a connected to the first inner wall surface 211 and a second end 222 b connected to the third inner wall surface 233 .
  • a straight line passing through the central axis C1 and connecting the first end 222a and the second end 222b in a cross-sectional view (for example, an xy plane) parallel to the z direction is the first imaginary line T1
  • the second outer wall surface 122 The inclination ⁇ 1 of the first virtual line T1 with respect to the central axis C1 may be greater than or equal to the inclination ⁇ 2 of the first virtual line T1 with respect to the central axis C1. That is, the thickness (distance between the second inner wall surface 222 and the second outer wall surface 122) of at least a portion of the second portion 12 of the nozzle 3 does not have to be constant.
  • the surface roughness Ra1 of the second inner wall surface 222 may be larger than the surface roughness Ra2 of the third inner wall surface 233.
  • the third hole diameter D3 is less than or equal to the second hole diameter D2.
  • the flow path resistance to the fluid is greater than that in the second hole portion 22. Therefore, by making the surface roughness Ra1 of the second inner wall surface 222 larger than the surface roughness Ra2 of the third inner wall surface 233, the flow resistance of the fluid in the third hole 23 can be reduced. It can be brought close to the flow path resistance.
  • the base 1 may have zirconia as a main component.
  • the "main component” in the present disclosure may be at least a component having the highest content, for example, refers to a component having a content of 90% or more.
  • Zirconia has higher strength than aluminum oxide or the like, so as shown in FIG. 5, the length of the third portion 13 in the z direction can be increased while decreasing the second outer diameter D13. Moreover, the thickness (distance between the third inner wall surface 233 and the third outer wall surface 133) of the third portion 13 of the nozzle 3 can be reduced. Furthermore, since zirconia has superior wear resistance and chemical resistance compared to aluminum oxide and the like, it is possible to reduce the possibility that the nozzle 3 will be worn out or damaged.
  • the second inner wall surface 222 may have an arc shape in a cross-sectional view passing through the central axis C1 and parallel to the z direction.
  • the second inner wall surface 222 has an arcuate shape that is convex toward the central axis C1 side.
  • the inclination ⁇ 3 of the second inner wall surface 222 with respect to the central axis C1 may be 10 to 20 degrees.
  • the second outer wall surface 122 and the third outer wall surface 133 are connected via the first connecting portion 123 having an arc shape. It's okay. With such a configuration, it is possible to reduce the possibility that stress will be concentrated on the first connecting portion 123 and the nozzle 3 will be damaged.
  • the thickness of the third portion 13 (ie, D13-D3) may be 0.04 [mm] or more. With this configuration, it is possible to reduce the possibility that the third portion 13 will be damaged when processing or manufacturing the nozzle 3. L1 ⁇ 378 ⁇ [D13 3 -(D3 4 /D13)] ...(1)
  • Nozzles 3 according to other embodiments of the present disclosure will be described with reference to FIGS. 7 to 9.
  • FIGS. 7 to 9 In addition, among the configurations of other embodiments, only those that are different from the configurations of the previously described embodiments will be explained below, and other configurations will be given the same reference numerals as those of the previously described embodiments and will not be explained. Omitted.
  • the base 1 may further include a fourth portion 14 that connects to the second end surface 1b.
  • the fourth portion 14 may have a cylindrical fourth outer wall surface 144 having a third outer diameter D14 smaller than the second outer diameter D13.
  • the third hole portion 23 further extends from the third portion 13 to the fourth portion 14.
  • the fourth portion 14 having a smaller outer diameter may be connected to the tip of the third portion 13 .
  • the third hole diameter D3 of the third hole 23 in the fourth part 14 is the same as the third hole diameter D3 of the third hole 23 in the third part. It may be different or it may be different.
  • the third outer wall surface 133 and the fourth outer wall surface 144 have a second arc shape.
  • the connection may be made via the connection part 134.
  • the thickness of the fourth portion 14 (ie, D14-D3) may be 0.04 [mm] or more. L2 ⁇ 378 ⁇ [D14 3 -(D3 4 /D14)] ...(2)
  • the thickness of the third portion 13 may be 0.04 [mm] or more. L12 ⁇ 378 ⁇ [D13 3 -(D3 4 /D13)] ...(3)
  • ⁇ Nozzle manufacturing method> an example of a method for manufacturing the nozzle 3 will be described.
  • ceramics containing zirconia as a main component zirconia-based ceramics
  • the present disclosure is not limited to the following embodiments.
  • a molding material constituting a molded body that is a prototype of the nozzle 3 is prepared.
  • the molding material is prepared by thoroughly mixing and pulverizing a mixed powder of zirconium oxide powder and yttrium oxide powder using a ball mill or the like, and then adding a binder to the pulverized product and mixing the mixture.
  • the mixed powder is a mixture of 85 to 99 mass % of zirconium oxide powder and 1 to 15 mass % of yttrium oxide powder, particularly a mixture of 2 to 10 mass % of yttrium oxide powder to 90 to 98 mass % of zirconium oxide powder. It may be something that has been done.
  • the purity of zirconium oxide can be 95% or more, particularly 98% or more.
  • a molded body having through holes 2 is obtained using the prepared molding material. Specifically, a molded body is obtained by filling a molding material into a cavity of a molding die having a cavity including a structure for molding the through hole 2 and performing injection molding at a predetermined pressure. Note that the method for obtaining the molded body is not limited to the above-mentioned injection molding, and methods such as press molding, cast molding, cold isostatic pressing, or extrusion molding may be employed.
  • the obtained molded body is fired to obtain a sintered body.
  • the obtained molded body is degreased by placing it in a degreasing furnace at 500 to 600°C for 2 to 10 hours, and then the degreased molded body is heated at 1300 to 1500°C in an oxygen atmosphere.
  • a sintered body is obtained by firing for 0.5 to 3 hours.
  • the third inner wall surface 233 is formed by polishing the inner peripheral surface of the through hole 2 of the obtained sintered body. Specifically, the third inner wall surface 233 is formed by pressing the abrasive material against the through hole 2 while the nozzle 3 is rotated about the center axis C1 as the rotation axis. Further, similarly to the third inner wall surface 233, the first inner wall surface 211 and the second inner wall surface 222 may be subjected to polishing or the like. At this time, by using grinding oil, polishing can be performed while reducing increase in surface roughness.
  • the first outer wall surface 111, the second outer wall surface 122, and the third outer wall surface 133 are formed by performing cutting, polishing, etc. on the outer shape of the obtained sintered body.
  • the nozzle 3 can be manufactured as described above.
  • the nozzle unit 5 includes a nozzle 3 and a fixing member 4.
  • the fixing member 4 has a first opening 41 . At least a portion of the first portion 11 of the nozzle 3 is press-fitted into the first opening 41 .
  • the material of the fixing member 4 examples include metal materials.
  • the first opening 41 may have a first opening diameter D41.
  • the fixing member 4 may have a second opening 42 connected to the first opening 41.
  • the second opening 42 has a second opening diameter D42.
  • the second opening diameter D42 may be equal to or less than the first opening diameter D41.
  • the second opening 42 serves as a guide, and the nozzle 3 press-fitted into the first opening 41 is fixed at a desired position.
  • the second opening diameter D42 may be the same as the first hole diameter D1 of the nozzle 3.
  • the fluid When applying a fluid such as a conductive adhesive to an object using the nozzle unit 5, the fluid is pressurized inside a pressurizing device (not shown) to which the fixing member 4 is attached. The pressure forces it out through the second opening 42 into the through hole 2 of the nozzle 3 . The fluid is discharged from the second end surface 1b of the nozzle 3 through the through hole 2 and applied to the object to be coated.
  • a pressurizing device not shown
  • the present disclosure can be used as a nozzle and a nozzle unit.

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Abstract

ノズルは、セラミックを主成分とする基部と、貫通孔と、を備えている。基部は、第１部と、第２部と、第３部と、を有している。第１部は、円柱状の第１外壁面を有している。第２部は、第１外壁面に接続され、第１端面から遠ざかるにつれて小さくなる第１外径を有する円錐状の第２外壁面を有している。第３部は、第２外壁面に接続される円柱状の第３外壁面と、を有している。貫通孔は、第１穴部と、第２穴部と、第３穴部と、を有している。第１穴部は、第１穴径を有し、第１部に位置している。第２穴部は、第２穴径を有し、第１部から第２部にかけて位置している。第３穴部は、第３穴径を有し、第２部から第３部にかけて位置している。第２穴径は、第１部から遠ざかるにつれて小さくなる。第３穴径は、一定である。

Description

ノズルおよびノズルユニット
　本開示は、ノズルおよびノズルユニットに関する。
　近年、電子機器には、非常に多くの電子部品が実装されるようになっている。また、電子部品の大きさも小型化や微細化しており、実装基板に塗布すべき接着剤も非常に少量である。また、狭小領域に正確に接着剤等を塗布する必要がある。
　上述のような電子部品を実装基板などに接着する際に用いられる接着剤を塗布するノズルとして、特許文献１に記載された発明が知られている（特許文献１参照）。特許文献１に記載の発明には、円筒状の円筒状部（特許文献１の１２）と、テーパ状のテーパ状部分（特許文献１の１３）から構成され、セラミック材からなるノズルが記載されている（例えば、特許文献１の図２等参照）。
特開２０１９－５８８８６号公報
　本開示の一実施形態において（１）ノズルは、セラミックを主成分とする基部と、貫通孔と、を備えている。基部は、第１端面と、第１端面と反対側に位置する第２端面と、を有している。貫通孔は、第１端面から第２端面にかけて貫通するとともに、第１方向に延びる中心軸を有している。また、基部は、第１部と、第２部と、第３部と、を更に有している。第１部は、第１端面と、第１端面に接続し、少なくとも一部が固定部材に圧入される円柱状の第１外壁面と、を有している。第２部は、第１外壁面に接続され、第１方向において第１端面から遠ざかるにつれて小さくなる第１外径を有する円錐状の第２外壁面を有している。第３部は、第２端面と、第２外壁面および第２端面に接続されるとともに第１外径以下の第２外径を有する円柱状の第３外壁面と、を有している。貫通孔は、第１穴部と、第２穴部と、第３穴部と、を更に有している。第１穴部は、第１穴径を有し、第１部に位置している。第２穴部は、第２穴径を有し、第１部から第２部にかけて位置している。第３穴部は、第３穴径を有し、第２部から第３部にかけて位置している。第２穴径は、第１方向において第１部から遠ざかるにつれて小さくなっている。第３穴径は、第１方向において一定である。
　（２）上記（１）のノズルにおいて、第１穴径は、第１方向において一定である。
　（３）上記（１）又は（２）のノズルにおいて、第１穴部は、第１端面と接続する第１内壁面を有している。第２穴部は、第１内壁面と接続する第２内壁面を有している。第３穴部は、第２内壁面と接続する第３内壁面を有している。第２内壁面は、第１内壁面と接続する第１端部と、第３内壁面と接続する第２端部と、を有している。中心軸を通り、第１方向と平行な断面視において、第１端部と第２端部を結ぶ直線を第１仮想線とした場合、第２外壁面の中心軸に対する傾きθ１は、第１仮想線の中心軸に対する傾きθ２以上である。
　（４）上記（３）のノズルにおいて、第２内壁面の表面粗さＲａ１は、第３内壁面の表面粗さＲａ２よりも大きい。
　（５）上記（１）～（４）のノズルにおいて、基部は、ジルコニアを主成分としている。
　（６）上記（３）～（５）のノズルにおいて、中心軸を通り、第１方向と平行な断面視で、第２内壁面は、円弧形状である。
　（７）上記（３）～（６）のノズルにおいて、中心軸を通り、第１方向と平行な断面視で、第２内壁面の中心軸に対する傾きθ３は、１０～２０度である。
　（８）上記（３）～（７）のノズルにおいて、中心軸を通り、第１方向と平行な断面視で、第２外壁面と第３外壁面は、円弧形状を有する第１接続部を介して接続されている。
　（９）上記（１）～（８）のノズルにおいて、第３部の第１方向における寸法をＬ１、第３穴径をＤ３、第２外径をＤ１３、としたときに、Ｌ１≦３７８×［Ｄ１３３－（Ｄ３４／Ｄ１３）］である。
　（１０）上記（１）～（９）のノズルにおいて、基部は、第２端面と接続する第４部を更に有している。第４部は、第２外径より小さい第３外径を有する円柱状の第４外壁面を有している。第３穴部は、第３部から第４部にかけて更に延在している。
　（１１）上記（１０）のノズルにおいて、中心軸を通り、第１方向と平行な断面視において、第３外壁面と第４外壁面は、円弧形状を有する第２接続部を介して接続されている。
　（１２）上記（１０）又は（１１）のノズルにおいて、第４部の第１方向における寸法は、第４部と第３部とを合わせた第１方向における寸法の半分以下である。
　（１３）上記（１０）～（１２）のノズルにおいて、第４部の第１方向における寸法をＬ２、第３穴径をＤ３、第３外径をＤ１４、としたときに、Ｌ２≦３７８×［Ｄ１４３－（Ｄ３４／Ｄ１４）］である。
　（１４）上記（１３）のノズルにおいて、第４部と第３部とを合わせた第１方向における寸法をＬ１２、第２外径をＤ１３、としたときに、Ｌ１２≦３７８×［Ｄ１３３－（Ｄ３４／Ｄ１３）］である。
　（１５）本開示の一実施形態に係るノズルユニットは、上記（１）～（１４）のノズルと、固定部材と、を備えている。固定部材は、第１開口部を有している。第１開口部には、ノズルの第１部の少なくとも一部が圧入されている。
本開示の実施形態に係るノズルの斜視図である。 本開示の実施形態に係るノズルの平面図である。 図１に示すノズルのＩ－Ｉ断面図である。 図３に示す要部Ａの拡大図である。 図４に示す要部Ｂの拡大図である。 本開示の実施形態に係るノズルおよびノズルユニットの分解断面図である。 本開示のその他の実施形態に係るノズルの斜視図である。 図７に示すノズルのＩＩ－ＩＩ断面図である。 図８に示す要部Ｃの拡大図である。
　　＜ノズルの構成＞
　以下、本開示のいくつかの例示的な実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、ノズルは、いずれの方向が上方もしくは下方とされてもよいが、便宜的に、直交座標系ｘｙｚを定義するとともに、ｚ方向の負側を下方とする。また、以下において、第１方向とは、例えば、図面で言うｚ方向を指す。また、本開示においては、平面視は平面透視を含む概念である。
　図１～図５を参照して本開示の実施形態に係るノズル３について説明する。ノズル３は、セラミックを主成分とする基部１と、貫通孔２と、を備えている。
　図１および図２に示すように、基部１は、第１端面１ａと、第１端面１ａと反対側に位置する第２端面１ｂと、を有している。基部１の材料としては、例えば、酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、炭化珪素質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体又は窒化珪素質焼結体等のセラミック材料や、ガラスセラミック材料などを用いることができる。また、基部１のｚ方向における大きさは、例えば、５ｍｍ～５０ｍｍである。セラミック材料や、ガラスセラミック材料は、一般的な金属材料と比較して、加工が容易であるため、ノズル３を製造することを容易にすることができる。
　また、基部１は、第１部１１と、第２部１２と、第３部１３と、を更に有している。第１部１１は、第１端面１ａと、第１外壁面１１１と、を有している。第１外壁面１１は、第１端面１ａに接続し、少なくとも一部が固定部材４に圧入される円柱状の面である。第１部１１のｚ方向における大きさは、例えば、０．５ｍｍ～１０ｍｍである。
　第２部１２は、第２外壁面１２２を有している。第２外壁面１２２は、第１外壁面１１１に接続され、ｚ方向（第１方向）において第１端面１ａから遠ざかるにつれて小さくなる第１外径Ｄ１２を有する円錐状の面である。第２部１２のｚ方向における大きさは、例えば、１ｍｍ～４５ｍｍである。第１外径Ｄ１２の大きさは、例えば、０．１ｍｍ～５ｍｍである。図２および図３に示すように、一実施形態においては、第１外径Ｄ１２は、ｚ方向（第１方向）において第１端面１ａから遠ざかるにつれて一定の割合で小さくなっている。
　第３部１３は、第２端面１ｂと、第３外壁面１３３と、を有している。第３外壁面１３３は、第２外壁面１２２および第２端面１ｂに接続されるとともに、第１外径Ｄ１２以下の第２外径Ｄ１３を有する円柱状の面である。第３部１３のｚ方向における大きさは、例えば、０．１ｍｍ～３ｍｍである。第２外径Ｄ１３の大きさは、例えば、０．０１ｍｍ～２ｍｍである。
　貫通孔２は、第１端面１ａから第２端面１ｂにかけて貫通するとともに、ｚ方向（第１方向）に延びる中心軸Ｃ１を有している。貫通孔２は、セラミック材料などを射出成型等することによって製造しても良いし、ノズル３の外形に形成されたセラミック材料に打ち抜き加工を施すことによって製造しても良い。接着剤等の流体を、ノズル３を用いて塗布する場合、流体は、ｚ軸の正の方向に貫通孔２を流れている。第１端面１ａ側から流体を加圧することによって、流体は、第１穴部２１、第２穴部２２、第３穴部２３をこの順に通り、第２端面１ｂ側から吐出することができる。ここで、流体としては、例えば、エポキシ接着剤、アクリル接着剤、銀ペーストなどの導電性接着剤や、クリーム半田などが挙げられる。なお、本開示において、流体とは、ペースト状のものを含む概念である。
　貫通孔２は、第１穴部２１と、第２穴部２２と、第３穴部２３と、を更に有している。第１穴部２１は、第１穴径Ｄ１を有し、第１部１１に位置している。第１穴径Ｄ１の大きさは、例えば、０．５ｍｍ～４ｍｍである。
　第２穴部２２は、第２穴径Ｄ２を有し、第１部１１から第２部１２にかけて位置している。第２穴径Ｄ２は、ｚ方向において第１部１１から遠ざかるにつれて小さくなっている。第２穴径Ｄ２の大きさは、例えば、０．５ｍｍ～４ｍｍである。
　第３穴部２３は、第３穴径Ｄ３を有し、第２部１２から第３部１３にかけて位置している。第３穴径Ｄ３は、ｚ方向において一定である。このことによって、第３穴部２３がテーパー形状（第３穴径が変化する）である場合と比較して、第３穴部２３を通る流体の直進性を向上させることができる。第３穴径Ｄ３の大きさは、例えば、０．００５ｍｍ～３ｍｍである。言い換えると、第３穴部のｚ方向における長さは、第３部１３のｚ方向における長さよりも長い。ここで、一定とは、製造誤差を含んでいてもよい。
　第３穴部２３が長ければ長いほど、第３穴部２３における流体に対する流路抵抗を増加させることができる。流体に対する流路抵抗が増加すると、流体の吐出に圧力が必要となる。このため、第３穴部２３の長さを調整することによって、流路抵抗を調整し、流体がノズル３の第２端面１ｂから意図せず垂れる可能性を低減することができる。また、流体に対する圧力を調整することで接着剤などの流体を、ノズル３を用いて所望の位置に精度よく塗布することができる。ここで、流体の粘度が、例えば、１０万ｃＰ～５０万ｃＰである場合には、より効果的に上述の効果を奏することができる。
　ノズル３の第３穴部２３が、第２部１２から第３部１３にかけて位置していることによって、第３部１３の第２外径Ｄ１３の大きさを小さくしつつ、第３部１３のｚ方向における長さが長い、ノズル３を製造することを容易にすることができる。例えば、後述する製造方法等によって製造する場合に、第２外壁面１２２を切削・研磨することによって、第３部１３のｚ方向における長さの調整を容易にすることができる。
　また、ノズル３は、第３部１３のｚ方向における長さが長いため、電子部品および実装基板にノズル３を用いて接着剤を塗布する際に、貫通孔２のｚ軸の正の方向に流れる接着剤などの流体を、所望の位置に精度よく塗布することができる。
　図３に示すように、第１穴径Ｄ１は、ｚ方向において一定であってもよい。このような構成であることによって、後述する固定部材４へ圧入されたノズル３がｚ方向に突き出す長さ（図６参照）を、第１端面ａ１の切削・研磨をすることで、第２開口部４２の第２開口部径Ｄ４２に合わせて第１穴径Ｄ１を調整することができる。このため、ユーザーのニーズに応じた種々のノズル３の製造が容易となる。
　なお、図３に示す一実施形態と異なり、第１穴部２１および第２穴部２２は、連続し、面一であってもよい。更に、この場合、中心軸Ｃ１を通り、ｚ方向と平行な断面視（例えば、ｘｚ平面又はｙｚ平面）において、後述する第２内壁面２２２が中心軸Ｃ１に対して傾きを有する直線である場合には、第１内壁面２１１の中心軸Ｃ１に対する傾きと同じであってもよい。
　図３に示すように、第１穴部２１は、第１端面１ａと接続する第１内壁面２１１を有している。第２穴部２２は、第１内壁面２１１と接続する第２内壁面２２２を有している。第３穴部２３は、第２内壁面２２２と接続する第３内壁面２３３を有している。第２内壁面２２２は、第１内壁面２１１と接続する第１端部２２２ａと、第３内壁面２３３と接続する第２端部２２２ｂと、を有している。中心軸Ｃ１を通り、ｚ方向と平行な断面視（例えば、ｘｙ平面）において、第１端部２２２ａと第２端部２２２ｂを結ぶ直線を第１仮想線Ｔ１とした場合、第２外壁面１２２の中心軸Ｃ１に対する傾きθ１は、第１仮想線Ｔ１の中心軸Ｃ１に対する傾きθ２以上であってもよい。つまり、ノズル３の第２部１２の少なくとも一部における肉厚（第２内壁面２２２と第２外壁面１２２との距離）は、一定でなくてもよい。上述のような構成であることによって、第２部１２（第２外壁面１２２）を把持して、ノズル３を後述する固定部材４の第１開口部４１に圧入する際に、ノズル３が破損する可能性を低減することができる。
　また、第２内壁面２２２の表面粗さＲａ１は、第３内壁面２３３の表面粗さＲａ２よりも大きくてもよい。第２内壁面２２２の表面粗さＲａ１が、第３内壁面２３３の表面粗さＲａ２と同じである場合、第３穴径Ｄ３は、第２穴径Ｄ２以下であるので、第３穴部２３では、第２穴部２２よりも流体に対する流路抵抗が大きい。従って、第２内壁面２２２の表面粗さＲａ１を、第３内壁面２３３の表面粗さＲａ２よりも大きくすることによって、第３穴部２３における流体の流路抵抗を、第２穴部２２における流路抵抗に近づけることができる。このことによって、流体に圧力をかけた際に、流体が吐出されるタイミングがズレる可能性を低減することができる。従って、第２端面１ｂから吐出される流体の塗布径にバラつきが生じる可能性を低減することができる。このような構成であることによって、貫通孔２を流れる流体が意図せず、ノズル３の第２端面１ｂから垂れる可能性を低減することができる。
　基部１は、ジルコニアを主成分としていてもよい。ここで、本開示における「主成分」とは、少なくとも、含有率が最も高い成分であればよく、例えば含有率が９０％以上である成分のことを指す。ジルコニアは、酸化アルミニウム等と比較して、強度が高いので、図５に示すように、第２外径Ｄ１３を小さくしつつ、第３部１３のｚ方向における長さを長くすることができる。また、ノズル３の第３部１３における肉厚（第３内壁面２３３と第３外壁面１３３との距離）を小さくすることができる。また、ジルコニアは、酸化アルミニウム等と比較して耐摩耗性、耐薬品性に優れるため、ノズル３が摩耗や、破損する可能性を低減することができる。
　図３に示すように、中心軸Ｃ１を通り、ｚ方向と平行な断面視で、第２内壁面２２２は、円弧形状であってもよい。一実施形態においては、第２内壁面２２２は、中心軸Ｃ１側に凸の円弧形状である。このような構成であることによって、第２穴部２２を通る流体に対する流路抵抗を低減することができる。このことによって、流体に圧力をかけた際に、流体が吐出されるタイミングがズレる可能性を低減することができる。従って、第２端面１ｂから吐出される流体の塗布径にバラつきが生じる可能性を低減することができる。
　図３に示すように、中心軸Ｃ１を通り、ｚ方向と平行な断面視で、第２内壁面２２２の中心軸Ｃ１に対する傾きθ３は、１０～２０度であってもよい。このような構成であることによって、後述する製造方法でノズル３を製造する際に、射出成型したノズル３の成形体を、成形用金型から、取り外すことを容易にすることができる。
　図４に示すように、中心軸Ｃ１を通り、ｚ方向と平行な断面視で、第２外壁面１２２と第３外壁面１３３は、円弧形状を有する第１接続部１２３を介して接続されていてもよい。このような構成であることによって、第１接続部１２３に応力が集中し、ノズル３が破損する可能性を低減することができる。
　図４および図５に示すように、第３部１３のｚ方向における寸法をＬ１［ｍｍ］、第２外径をＤ１３［ｍｍ］、第３穴径をＤ３［ｍｍ］、とした場合、次の式（１）を満たしていてもよい。該構成であれば、第３部１３が第２部１２から折れてしまう可能性を更に低減することができる。
　なお、この場合、第３部１３の肉厚（つまり、Ｄ１３－Ｄ３）は、０．０４［ｍｍ］以上であればよい。該構成であれば、ノズル３を加工したり、製造したりする際に、第３部１３が破損する可能性を低減することができる。
　
　Ｌ１≦３７８×［Ｄ１３３－（Ｄ３４／Ｄ１３）］　・・・（１）
　
　　（その他の実施形態）
　図７～図９を参照して本開示のその他の実施形態に係るノズル３について説明する。なお、以下では、その他の実施形態の構成のうち、既述の実施形態の構成と異なるものについてのみ説明し、それ以外の構成については、既述の実施形態と同様の符号を付すとともに説明を省略する。
　一実施形態において、基部１は、第２端面１ｂと接続する第４部１４を更に有していてもよい。第４部１４は、第２外径Ｄ１３より小さい第３外径Ｄ１４を有する円柱状の第４外壁面１４４を有していてもよい。第３穴部２３は、第３部１３から第４部１４にかけて更に延在している。つまり、第３部１３の先に外径の小さい第４部１４が接続されていてもよい。該構成により、ノズル３の先端の径（第３外径Ｄ１４）を小さくしつつ、ノズル３の先端を長くした場合であっても、ノズル３の先端部（ここでは、第３部１３および第４部１４を合わせた部分を指す）が破損する可能性を低減することができる。このようなノズル３は、より狭い領域への流体の塗布を可能にすることができる。
　一実施形態において、図９に示すように、第４部１４における第３穴部２３の第３穴径Ｄ３は、第３部における第３穴部２３の第３穴径Ｄ３と同じであってもよいし、異なっていてもよい。
　図９に示すように、中心軸Ｃ１を通り、ｚ方向と平行な断面視（例えば、ｘｚ平面又はｙｚ平面）において、第３外壁面１３３と第４外壁面１４４は、円弧形状を有する第２接続部１３４を介して接続されていてもよい。該構成により、第２外径Ｄ１３から第３外径Ｄ１４にかけて寸法の急激な変化を低減することができるので、第４部１４の強度を向上させることができる。また、第４部１４に外部から障害物が当たった場合であっても、第４部１４が第３部１３から折れてしまう可能性を低減することができる。更に、ノズル３内に流体を流し込んだ場合に、流体の圧力によって、第３部１３および第４部１４が破損する可能性を低減することができる。上記構成の場合、第２接続部１３４は、第２端面１ｂと一致していてもよい。
　より具体的には、第４部１４のｚ方向における寸法をＬ２［ｍｍ］、第３穴径Ｄ３をＤ３［ｍｍ］、第３外径Ｄ１４をＤ１４［ｍｍ］、としたときに、次の式（２）を満たしていてもよい。なお、この場合、第４部１４の肉厚（つまり、Ｄ１４－Ｄ３）は、０．０４［ｍｍ］以上であってもよい。
　
　Ｌ２≦３７８×［Ｄ１４３－（Ｄ３４／Ｄ１４）］　・・・（２）
　
　更に、第４部１４と第３部１３とを合わせたｚ方向における寸法をＬ１２［ｍｍ］、第２外径Ｄ１３をＤ１３［ｍｍ］、としたときに、次の式（３）を満たしていてもよい。なお、この場合、第３部１３の肉厚（つまり、Ｄ１３－Ｄ３）は、０．０４［ｍｍ］以上であってもよい。
　
　Ｌ１２≦３７８×［Ｄ１３３－（Ｄ３４／Ｄ１３）］　・・・（３）
　
　　＜ノズルの製造方法＞
　ここで、ノズル３の製造方法の例について説明する。本例では、ノズル３の構成材料として、ジルコニアを主成分とするセラミックス（ジルコニア系セラミックス）を用いて説明する。なお、本開示は以下の実施形態に限定されるものではない。
　（１）まず、ノズル３の原型となる成形体を構成する成形材料を調製する。具体的には、成形材料は、酸化ジルコニウム粉末と酸化イットリウム粉末との混合粉末をボールミルなどによって十分に混合粉砕した後、この粉砕物にバインダを添加した上で混合することにより、調製される。混合粉末は、酸化ジルコニウム粉末８５～９９質量％に対して酸化イットリウム粉末１～１５質量％を混合したもの、特に酸化ジルコニウム粉末９０～９８質量％に対して酸化イットリウム粉末２～１０質量％を混合したものであっても良い。酸化ジルコニウム粉末としては、酸化ジルコニウムの純度が９５％以上、特に９８％以上とすることができる。
　（２）次に、調製された成形材料を用いて、貫通孔２を有する成形体を得る。具体的には、貫通孔２を成形するための構造を含むキャビティを有する成形用金型のキャビティに成形材料を充填し、所定の圧力で射出成形を行なうことによって成形体を得る。なお、成形体を得るための手法は、上述の射出成形には限られず、プレス成形、鋳込成形、冷間静水圧成形又は押出成形などの手法を採用してもよい。
　（３）次に、得られた成形体を焼成することにより、焼結体を得る。具体的には、得られた成形体を５００～６００℃の脱脂炉内に２～１０時間投入することによって脱脂を行なった後、脱脂済の成形体を酸素雰囲気中にて１３００～１５００℃で０．５～３時間焼成することにより、焼結体を得る。
　（４）次に、得られた焼結体の貫通孔２の内周面に対して研磨加工などを施すことによって、第３内壁面２３３を形成する。具体的には、中心軸Ｃ１を回転軸としてノズル３を回転させた状態で研磨材を貫通孔２に押し当てることによって、第３内壁面２３３を形成する。また、第３内壁面２３３と同様に、第１内壁面２１１および第２内壁面２２２に対して研磨加工などを施してもよい。このとき、研削油を用いることで、表面粗さの増加を低減しつつ研磨を行なうことができる。
　（５）次に得られた焼結体の外形に対して、切削・研磨加工などを施すことによって、第１外壁面１１１、第２外壁面１２２、第３外壁面１３３を形成する。以上のようにして、ノズル３を製造することができる。
　　＜ノズルユニットの構成＞
　図６に示すように、ノズルユニット５は、ノズル３と、固定部材４と、を備えている。固定部材４は、第１開口部４１を有している。第１開口部４１には、ノズル３の第１部１１の少なくとも一部が圧入されている。
　固定部材４の材料としては、例えば金属材料が挙げられる。また、第１開口部４１は、第１開口部径Ｄ４１を有していてもよい。また、固定部材４は、第１開口部４１と接続する第２開口部４２を有していてもよい。第２開口部４２は、第２開口部径Ｄ４２を有している。この場合、第２開口部径Ｄ４２は、第１開口部径Ｄ４１以下であってもよい。このような構成であることによって、第２開口部４２がガイドとなり、第１開口部４１に圧入されたノズル３が、所望の位置に固定される。また、第２開口部径Ｄ４２は、ノズル３の第１穴径Ｄ１と同じであってもよい。
　ノズルユニット５を用いて導電性接着剤等の流体を塗布対象物に塗布する際には、流体は、固定部材４が取り付けられた加圧装置（図示せず）の内部で加圧され、この圧力により第２開口部４２を介してノズル３の貫通孔２内へ押し出される。流体は、貫通孔２を介してノズル３の第２端面１ｂから吐出され、塗布対象物に塗布される。
　このような構成であることによって、流体が吐出される部分が細長い形状のノズルの製造を容易にすることができる。
　また、このような構成であるによって、例えば、電子部品の間のような狭小領域にも流体を塗布可能なノズルを提供することができる。
　なお、一実施形態における特徴部の種々の組み合わせは上述の実施形態の例に限定されるものでない。また、各実施形態同士の組み合わせも可能である。
　本開示は、ノズルおよびノズルユニットとして利用できる。
１　基部
１ａ　第１端面
１ｂ　第２端面
１１　第１部
１１１　第１外壁面
１２　第２部
１２２　第２外壁面
１２３　第１接続部
１３　第３部
１３３　第３外壁面
１３４　第２接続部
１４　第４部
１４４　第４外壁面
２　貫通孔
２１　第１穴部
２１１　第１内壁面
２２　第２穴部
２２２　第２内壁面
２２２ａ　第１端部
２２２ｂ　第２端部
２３　第３穴部
２３３　第３内壁面
Ｃ１　中心軸
Ｔ１　第１仮想線
Ｄ１　第１穴径
Ｄ２　第２穴径
Ｄ３　第３穴径
Ｄ１２　第１外径
Ｄ１３　第２外径
Ｄ１４　第３外径
Ｄ４１　第１開口部径
Ｄ４２　第２開口部径
Ｌ１　第３部の第１方向における寸法
Ｌ２　第４部の第１方向における寸法
Ｌ１２　第４部と第３部とを合わせた第１方向おける寸法
θ１　第１仮想線の傾き
θ２　第２外壁面の傾き
θ３　第２内壁面の傾き
３　ノズル
４　固定部材
４１　第１開口部
４２　第２開口部
５　ノズルユニット

Claims (15)

  1. 　第１端面と、該第１端面と反対側に位置する第２端面と、を有し、セラミックを主成分とする基部と、
    　前記第１端面から前記第２端面にかけて貫通するとともに、第１方向に延びる中心軸を有する貫通孔と、を備え、
    　前記基部は、
    　前記第１端面と、前記第１端面に接続し、少なくとも一部が固定部材に圧入される円柱状の第１外壁面と、を有する第１部と、
    　前記第１外壁面に接続され、前記第１方向において前記第１端面から遠ざかるにつれて小さくなる第１外径を有する円錐状の第２外壁面を有する第２部と、
    　前記第２端面と、前記第２外壁面および前記第２端面に接続されるとともに前記第１外径以下の第２外径を有する円柱状の第３外壁面と、を有する第３部と、を更に有しており、
    　前記貫通孔は、
    　第１穴径を有し、前記第１部に位置する第１穴部と、
    　第２穴径を有し、前記第１部から前記第２部にかけて位置する第２穴部と、
    　第３穴径を有し、前記第２部から前記第３部にかけて位置する第３穴部と、を有しており、
    　前記第２穴径は、前記第１方向において前記第１部から遠ざかるにつれて小さくなり、
    　前記第３穴径は、前記第１方向において一定である、ノズル。
  2. 　前記第１穴径は、前記第１方向において一定である、請求項１に記載のノズル。
  3. 　前記第１穴部は、前記第１端面と接続する第１内壁面を有し、
    　前記第２穴部は、前記第１内壁面と接続する第２内壁面を有し、
    　前記第３穴部は、前記第２内壁面と接続する第３内壁面を有し、
    　前記第２内壁面は、前記第１内壁面と接続する第１端部と、前記第３内壁面と接続する第２端部と、を有しており、
    　前記中心軸を通り、前記第１方向と平行な断面視において、
    　前記第１端部と前記第２端部を結ぶ直線を第１仮想線とした場合、
    　前記第１仮想線の前記中心軸に対する傾きθ１は、前記第２外壁面の前記中心軸に対する傾きθ２は、以下である、請求項１又は２に記載のノズル。
  4. 　前記第２内壁面の表面粗さＲａ１は、前記第３内壁面の表面粗さＲａ２よりも大きい、請求項３に記載のノズル。
  5. 　前記基部は、ジルコニアを主成分とする、請求項１～４のいずれか一項に記載のノズル。
  6. 　前記中心軸を通り、前記第１方向と平行な断面視において、前記第２内壁面は、円弧形状である、請求項３又は４に記載のノズル。
  7. 　前記中心軸を通り、前記第１方向と平行な断面視において、前記第２内壁面の前記中心軸に対する傾きθ３は、１０～２０度である、請求項３又は４又は６のいずれか一項に記載のノズル。
  8. 　前記中心軸を通り、前記第１方向と平行な断面視において、前記第２外壁面と前記第３外壁面は、円弧形状を有する第１接続部を介して接続されている、請求項１～７のいずれか一項に記載のノズル。
  9. 　前記第３部の前記第１方向における寸法をＬ１、
    　前記第３穴径をＤ３、
    　前記第２外径をＤ１３、としたときに、
    　Ｌ１≦３７８×［Ｄ１４３－（Ｄ３４／Ｄ１４）］である、請求項１～８のいずれか一項に記載のノズル。
  10. 　前記基部は、前記第２端面と接続する第４部を更に有しており、
    　前記第４部は、前記第２外径より小さい第３外径を有する円柱状の第４外壁面を有し、
    　前記第３穴部は、前記第３部から前記第４部にかけて更に延在している、請求項１～９のいずれか一項に記載のノズル。
  11. 　前記中心軸を通り、前記第１方向と平行な断面視において、前記第３外壁面と前記第４外壁面は、円弧形状を有する第２接続部を介して接続されている、請求項１０に記載のノズル。
  12. 　前記第４部の前記第１方向における寸法は、前記第４部と前記第３部とを合わせた第１方向における寸法の半分以下である、請求項１０又は１１に記載のノズル。
  13. 　前記第４部の前記第１方向における寸法をＬ２、
    　前記第３穴径をＤ３、
    　前記第３外径をＤ１４、としたときに、
    　Ｌ２≦３７８×［Ｄ１４３－（Ｄ３４／Ｄ１４）］である、請求項１０～１２のいずれか一項に記載のノズル。
  14. 　前記第４部と前記第３部とを合わせた前記第１方向における寸法をＬ１２、
    　前記第２外径をＤ１３、としたときに、
    　Ｌ１２≦３７８×［Ｄ１３３－（Ｄ３４／Ｄ１３）］である、請求項１０～１３のいずれか一項に記載のノズル。
  15. 　請求項１～１４に記載のノズルと、
    　前記第１部が圧入される第１開口部を有する固定部材と、を備える、ノズルユニット。
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