KR100794851B1 - 다중빔 패턴 발생기 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (17)
- 감광성 기판(11)상에 고정밀 패턴의 마이크로리소그래피 다중빔 기록을 위한 주사 패턴 발생기로서,적어도 두 개의 광빔을 발생시키는 레이저와 같은 광원(1), 컴퓨터-제어 광 변조기(4), 상기 기판상에 빔을 주사하는 편향기 및 상기 광원으로부터의 적어도 하나의 빔이 상기 기판에 도달하기 전에 수렴하는 대물렌즈(10)를 포함하며, 적어도 상기 대물렌즈는 상기 기판(11)과 상기 광원(1)에 대해 상대적 이동 가능한 캐리어(22) 상에 배치되며, 상기 캐리어는 나머지 고정 광학 경로에 대해 가동 광학 경로를 형성하며, 상기 캐리어와 상기 가동 광학 경로의 이동 동안 상기 빔이 상기 감광성 기판상에 부딪힐 때 상기 빔에 대한 텔레센트리시티를 유지하도록 상기 고정 광학 경로를 변경하는 수단을 더 포함하는, 주사 패턴 발생기.
- 제 1 항에 있어서, 상기 고정 광학 경로를 변경하는 수단은 상기 캐리어(22)의 이동에 대해 자동적으로 제어되는 것을 특징으로 하는 주사 패턴 발생기.
- 제 2 항에 있어서, 상기 캐리어(22)의 위치를 나타내는 위치 신호가 공급되며, 제어 신호를 발생시켜 이에 따라 상기 고정 광학 경로를 변경하는 수단을 제어하는 제어기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 주사 패턴 발생기.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 편향기(6)는 상기 캐리어 상에 배치되며, 상기 고정 광학 경로를 변경하는 수단은 상기 빔이 상기 편향기와 일치하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 주사 패턴 발생기.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 고정 광학 경로를 변경하는 수단은 상기 고정 광학 경로의 공간 경로 길이를 변경하는 수단(24)을 포함하는 것을 특징으로 하는 주사 패턴 발생기.
- 제 5 항에 있어서, 상기 고정 광학 경로를 변경하는 수단은 가동 반사 엘리먼트를 구비하는 광학 우회로(24)를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사 패턴 발생기.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 고정 광학 경로를 변경하는 수단은 제어 가능한 빔 분할기(20)를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사 패턴 발생기.
- 제 7 항에 있어서, 상기 빔 분할기는 회절 광학 엘리먼트인 것을 특징으로 하는 주사 패턴 발생기.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 고정 광학 경로를 변경하는 수단은 상기 변조기 뒤에 배치되는 적어도 하나의 가동 렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사 패턴 발생기.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 변조기는 음향-광학 변조기인 것을 특징으로 하는 주사 패턴 발생기.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 편향기는 음향-광학 편향기인 것을 특징으로 하는 주사 패턴 발생기.
- 감광성 기판(10)상에 고정밀 패턴의 마이크로리소그래피 다중빔 기록을 위한 주사 방법으로서,적어도 두 개의 빔이 광원(1)으로부터 발생하여, 컴퓨터-제어 광 변조기(4), 상기 기판상에 빔을 주사하는 편향기, 및 상기 광원으로부터의 적어도 하나의 광빔이 상기 기판에 도달하기 전에 수렴하는 대물렌즈에 의해 제어되며, 적어도 상기 대물렌즈는 상기 기판(11)과 상기 광원(1)에 대해 상대적 이동 가능한 캐리어(22) 상에 배치되며, 상기 캐리어는 나머지 고정 광학 경로에 대해 가동 광학 경로를 형성하며,상기 방법은 상기 빔이 상기 캐리어 및 상기 가동 광학 경로의 이동 동안 상기 감광성 기판상에 부딪힐 때 상기 빔에 대한 텔레센트리시티를 유지하도록 상기 고정 광학 경로를 변경하는 단계를 포함하는, 주사 방법.
- 제 12 항에 있어서, 상기 고정 광학 경로를 변경하는 단계는 상기 캐리어(22)의 이동에 대해 자동적으로 제어되는 것을 특징으로 하는 주사 방법.
- 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서, 상기 편향기(6)는 상기 캐리어 상에 배치되며, 상기 고정 광학 경로를 변경하는 단계는 상기 빔을 상기 편향기와 일치시키는 것을 특징으로 하는 주사 방법.
- 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서, 상기 고정 광학 경로를 변경하는 단계는 상기 고정 광학 경로의 공간 경로 길이를 변경하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 주사 방법.
- 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서, 상기 고정 광학 경로를 변경하는 단계는 가동 빔 분할기(20)의 제어된 이동을 포함하는 것을 특징으로 하는 주사 방법.
- 제 12 항 또는 제 13 항에 있어서, 상기 고정 광학 경로를 변경하는 단계는 상기 변조기 뒤에 배치된 적어도 하나의 렌즈의 제어된 이동을 포함하는 것을 특징으로 하는 주사 방법.
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